JPH09221335A - 光ファイバ用ガラス母材に係わる前駆体の製造方法 - Google Patents
光ファイバ用ガラス母材に係わる前駆体の製造方法Info
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Abstract
備えた光ファイバ用ガラス母材の製造において、フッ素
添加物を成長方向に関して均一にドープすることが困難
であった。 【解決手段】 スス付け容器400で、出発ガラス棒3
00の先端に、コア用堆積バーナ510に原料ガス、燃
焼ガス、キャリアガスを供給すると共に、クラッド用堆
積バーナ520に原料ガス、燃焼ガス、キャリアガス、
およびフッ素添加用ガスを供給し、コア用ガラススート
100およびクラッド用ガラススート200からなる多
孔質ガラススートを形成する。スート成長に伴って、他
のガス供給量は一定にしつつ、フッ素添加用ガスの供給
量を増加させる。次に、スートの脱水処理及び透明化処
理を行い、光ファイバ用ガラス母材の前駆体を得る。
Description
D)法により光ファイバ用ガラス母材の前駆体を製造す
る方法に関するものであり、特に、ガラス微粒子の堆積
時にフッ素を添加する手法の改良に係わる。
低いクラッドがコアの周囲に配置された構造を備える。
こうした屈折率差を利用して、光をコア付近に閉じ込め
て光を伝送する。
めには、屈折率を高めたり、低めたりする添加物を主材
に添加して、所望の屈折率分布を実現する。そして、主
材が石英ガラスである場合には、屈折率を低める添加物
としてフッ素が好適に使用される。
光ファイバは、フッ素が添加された石英ガラス部を有す
る光ファイバ用ガラス母材を加熱線引して得られる。こ
うした光ファイバ用ガラス母材は、従来、以下のように
して製造されていた。
従来の第1の方法(以下、従来例1と呼ぶ)は、例えば
特開昭59−232934号公報に開示される。ここで
は、VAD法によりガラス微粒子体を成長させるにあた
って、ガラス原料ガスまたは燃焼ガス中に、時間的に変
化しない濃度のフッ素化合物ガスを含有させて供給し、
火炎加水分解反応を用いて、ターゲット軸方向にガラス
微粒子を堆積させ、その後にガラス微粒子を透明ガラス
化して光ファイバ用ガラス母材を得ている。
の第2の方法(以下、従来例2と呼ぶ)は、例えば特公
昭62−38292号公報に開示される。ここでは、V
AD法などによりガラス微粒子体を成長させるにあたっ
て、ガラス原料ガスおよび燃焼ガスを供給し、火炎加水
分解反応を用いて、ターゲット軸方向にガラス微粒子を
堆積させ、その後にガラス微粒子の透明ガラス化工程を
フッ素化合物ガス雰囲気下で行ってフッ素を添加したガ
ラス部を有する光ファイバ用ガラス母材を得ている。
ラス母材の製造方法は上記のように行われるので、以下
のような問題点があった。
方法で製造された光ファイバ用母材では、ガラス微粒子
堆積工程の最初に形成されたガラス微粒子堆積部のフッ
素濃度が、ガラス微粒子堆積工程の終期に形成されたガ
ラス微粒子堆積部のフッ素濃度よりも高くなるために、
長手方向についての径方向の屈折率分布の均一性の良い
光ファイバを得ることができない。この現象は、添加す
るフッ素量が多くなるほど顕著であり、フッ素が添加さ
れた石英ガラス部の純石英に対する比屈折率差が0.2
%を越えるフッ素添加はできなかった。
の製造方法では、例えば、「塙 他、電子情報通信学会
論分誌 C Vol.J71−C No.2 pp.2
12−220 1988年2月」に記載されているよう
に、雰囲気ガス中のフッ素化合物ガスの1/4乗に比例
したフッ素添加量となる。そのため、純石英に対する比
屈折率差が0.2%を越えて0.7%程度までフッ素添
加が可能であるが、純石英に対する比屈折率差が0.2
%以下の低濃度とするフッ素添加が困難であった。
り、成長方向に関して均一性が高くなるように、低濃度
のフッ素が添加された石英ガラス部を備えた光ファイバ
用ガラス母材に係わる前駆体の製造方法を提供すること
を目的とする。
ラス母材に係わる前駆体の製造方法は、フッ素が添加さ
れた石英ガラス部を有する光ファイバ用ガラス母材の前
駆体に係わる製造方法であって、(a)酸水素火炎中に
ガラス原料ガスとフッ素化合物ガスとを導入し、火炎加
水分解反応を用いて、ターゲット軸方向にガラス微粒子
を堆積させることにより、ガラス微粒子の堆積体をター
ゲット軸方向へ成長させるにあたって、供給されるフッ
素化合物ガスの流量を増加させる第1の工程と、(b)
ガラス微粒子の堆積体を加熱して透明化する第2の工程
とを備えることを特徴とする。
原料ガスとフッ素化合物ガスとを導入することにより、
微粒子ガラスの堆積体にフッ素を添加する。この場合、
ガラス微粒子の堆積の開始端側では、堆積後も雰囲気ガ
スが微量ながらもフッ素を含有し、しかも堆積体の熱伝
導率が悪いために高温の状態が継続する。すなわち、フ
ッ素含有ガスの雰囲気中に高温の微粒子ガラス堆積体が
さらされることになり、当初のガラス微粒子の堆積時よ
りもフッ素添加量が大きくなる。
前駆体の製造方法では、ターゲット軸方向にガラス微粒
子を堆積させることにより、ガラス微粒子の堆積体のタ
ーゲット軸方向へ成長させるにあたって、供給されるガ
スにおけるフッ素化合物ガスの流量を増加させる。この
ため、ガラス微粒子を堆積時からフッ素含有ガスの雰囲
気にさらされる時間の長いガラス微粒子の堆積の開始端
側ほどガラス微粒子の堆積時のフッ素添加量が少なく、
また、ガラス微粒子の堆積時からフッ素含有ガスの雰囲
気にさらされる時間の短いガラス微粒子の堆積の終了端
側ほどガラス微粒子の堆積時のフッ素添加量が多い。
気中に高温の微粒子ガラス堆積体がさらされると、さら
された時間に応じてフッ素添加量が多くなる。 したが
って、本発明の光ファイバ用ガラス母材に係わる前駆体
の製造方法の第1工程が終了した時点では、フッ素添加
量のターゲット軸方向に関する均一化が図られる。
物ガスの流量を初期流量の1.5倍〜2.5倍まで徐々
に増加すると、フッ素添加量のターゲット軸方向に関す
る均一化が図られるので好ましい。
素化合物ガスの初期流量、V2をフッ素化合物ガスの最
終流量、teを成長開始から成長終了までの経過時間、
tS を成長開始からフッ素化合物ガスの流量の増加開始
までの経過時間、tを成長開始時刻からの経過時間と
し、1<n<2としたときに、ガラス微粒子の堆積体の
軸方向への成長にともない、フッ素化合物ガスの流量V
fを、0≦t<tSの場合、 Vf=V1 tS≦t≦teの場合、下記式 Vf=(V2−V1)×((t−tS)/(te−tS))n
+V1 に従って増加すると、フッ素添加量のターゲット軸方向
に関する均一化が図られるので好ましい。
物ガスの流量を、ガラス微粒子の堆積体の軸方向への成
長にともない直線的に増加するか、あるいはガラス微粒
子の堆積体の堆積開始から所定時間までは一定に供給
し、その後、直線的に増加すると、フッ素添加量のター
ゲット軸方向に関する均一化が図られるので好ましい。
本発明における第1の工程は、V1をフッ素化合物ガス
の初期流量、V2をフッ素化合物ガスの最終流量、teを
成長開始から成長終了までの経過時間、tを成長開始時
刻からの経過時間としたときに、ガラス微粒子の堆積体
の軸方向への成長にともない、フッ素化合物ガスの流量
Vfを、下記式 Vf=(V2−V1)×(t/te)2+V1 に従って増加すると、フッ素添加量のターゲット軸方向
に関する均一化が図られるので好ましい。
素化合物ガスの初期流量、V2をフッ素化合物ガスの最
終流量、teを成長開始から成長終了までの経過時間、
tS を成長開始からフッ素化合物ガスの流量の増加開始
までの経過時間、tを成長開始時刻からの経過時間とし
たときに、ガラス微粒子の堆積体の軸方向への成長にと
もない、フッ素化合物ガスの流量Vfを、0≦t<tSの
場合、 Vf=V1 tS≦t≦teの場合、下記式 Vf=(V2−V1)×((t−tS)/(te−tS))2
+V1 に従って増加すると、フッ素添加量のターゲット軸方向
に関する均一化が図られるので好ましい。
発明の実施の形態を詳細に説明する。なお、図面の説明
において同一の要素には同一の符号を付し、重複する説
明を省略する。
に係わる前駆体の製造方法の一実施形態の工程を説明す
る図である。図1(a)に示すようなスス付け装置によ
って多孔質ガラススートを作製する。スス付け装置はス
ス付け容器400を有し、この下部にはコアおよびクラ
ッドのガラス微粒子を生成するバーナ510、520が
配置され、また排気ガスを放出する排気口420が設け
られている。容器400の上部には軸方向に移動すると
ともに回転可能に取り付けられた支持棒410を備え、
支持棒410の先端には出発棒300を備えている。
このスス付け装置において、コア用堆積バーナ510に
はGeCl4およびSiCl4を原料ガスとして供給する
とともに、H2およびO2を燃焼ガスとし、ArやHe等
をキャリアガスとして供給する。また、クラッド用堆積
バーナ520にはSiCl4を原料ガスとして供給する
とともに、H2およびO2を燃焼ガスとし、ArやHe等
をキャリアガスとして供給し、更に、CF4をフッ素添
加ガスとして供給する。
520の火炎中で、加水分解反応によりガラス微粒子を
形成し、これらのガラス微粒子が堆積して、コア用ガラ
ススート100およびクラッド用ガラススート200か
らなる多孔質ガラススートとなる。
転しながら引き上げることにより、軸方向に成長する。
この成長にともなって、他のガス供給量は一定としつ
つ、CF4の供給量を増加させ、堆積開始時に40cc
/分の供給量であったものを、堆積終了時に80cc/
分の供給量まで単調増加させる(以上、図1(a)参
照)。
(b)に示す透明化装置にセットする。透明化装置は透
明化容器405を有し、この下部には多孔質ガラススー
トを脱水・透明化するために必要なガスを供給する導入
口440が配置され、また排気ガスを放出する排気口4
20が設けられている。容器405の上部には排気ガス
を放出する排気口430が設けられ、また軸方向に移動
するとともに回転可能な支持棒410が設けられてい
る。支持棒410の先端には多孔質ガラススートを保持
した出発棒300を備えている。容器405の中間部に
は加熱器600が配置されている。
は、この装置において、Cl2/He=0.5/20
(slm)、加熱器600による1100℃の雰囲気中
で10mm/分の下降速度で脱水処理を行なう。次い
で、Heが略100%、加熱器600による1620℃
の雰囲気中で、7/分の下降速度で透明ガラス化を行
い、コアとなるべきガラス部110とクラッドとなるべ
きガラス部120とからなる光ファイバ用ガラス母材の
前駆体を得る。
ス母材の前駆体は、図1(c)の屈折率プロファイルで
示されるようになっている。すなわち、コアとなるべき
ガラス部110とクラッドとなるべきガラス部120と
の比屈折率差(ΔnT)が約0.37%,クラッドとな
るべきガラス部120の石英ガラスに対する比屈折率差
(ΔnF)が約0.04%となる。
/コア径の比が3〜6である。低損失の単一モードファ
イバとするためには、この比が14〜16まで必要とな
るので、外周部に第2のクラッド層が設けられる。
たガラス微粒子堆積部のフッ素濃度と、終期に形成され
たガラス微粒子堆積部のフッ素濃度を均質化するために
は、フッ素化合物ガスをどのように増加して供給するが
問題となる。本発明者らは、上記実施形態の製造方法に
おいてフッ素化合物ガスの流量を変化させ、長手方向の
屈折率変動を調査した。フッ素化合物ガスとしてCF4
を用いた。
る。同図において各曲線は、CF4の供給量を35cc
/分から70cc/分まで直線的に変化させた場合(実
験例1)、CF4の供給量を50cc/分に保持した場
合(実験例2)、CF4の供給量を5cc/分から10
0cc/分まで単調増加させた場合(実験例3)を示し
ている。
の供給量を一定に保持すると、母材に含有されるフッ素
の量はガラス微粒子堆積工程の終了時に近づくほど減少
し、長手方向の均一性が達成されないことが分かった。
また、実験例3のように、フッ素化合物ガスの供給量の
変化が大きい場合は、ガラス微粒子堆積工程の終了時に
近づくほどフッ素の含有量が多くなりすぎ、均一なもの
が得られない。実験例1の程度にフッ素供給量を増加さ
せることが好ましい。
合物ガスの最終供給量を初期流量に対して、1倍から最
大5倍まで変えた場合の長手方向の屈折率差を示す。こ
の結果から、フッ素化合物ガスの最終供給量を初期流量
に対して2倍近傍としたとき、長手方向の屈折率差は最
小値を示し、好ましい範囲は1.5〜2.5倍であるこ
とがわかる。
詳細に調査すると、ガラス微粒子堆積工程の終了時近傍
では、フッ素添加量の減少傾向が見られる。そこで、本
発明者らは、フッ素化合物ガスの供給量方法についてさ
らに検討を加えた。
すグラフである。同図において各曲線は、CF4の供給
量Vfを35cc/分から70cc/分まで直線的に変
化させた場合(実験例1)、Vf=b+at2の式で示さ
れるようにガラス微粒子堆積工程の時間tについて2乗
で変化させた場合(実験例4)、Vf=b+at3の式で
示されるように時間tについて3乗で変化させた場合
(実験例5)、Vf=b+at1/2の式で示されるように
時間tについて1/2乗で変化させた場合(実験例6)
をそれぞれ示している。
方向の屈折率分布は、図5に示すように、CF4の供給
量が時間tについて2乗で増加させた場合(実験例4)
に最も均一になる。2乗以上の乗数ではフッ素を添加す
ると長手方向の屈折率分布は凸型になり、1乗より小さ
くなると、長手方向に凹型になる。この結果から、フッ
素化合物ガスの供給量は時間に対して1乗から2乗の範
囲が好ましい。
と、微粒子堆積の開始端側では下側で堆積体を形成され
ているフッ素ガスの影響を受けなくなり、屈折率は一定
となる。一方、下側の堆積体は反応中のフッ素ガスの影
響を受けるので、堆積体の上部と下部とではフッ素添加
量に相違が生じる。
体の上部と下部とで生じるフッ素添加量の相違を均一化
する方法について試作実験を行なった。図6は、スス付
け装置によって得られた長尺ガラス微粒子堆積体を示す
図であり、この堆積体の直径はD、出発棒300の先端
にガラス微粒子を堆積し始めた時点(t=0)から、製
造が完了した時点teまでに形成された長さはLであ
る。
子の堆積開始時点(t=0)から一定時間tSまでフッ
素化合物ガスの供給量を一定とし、その後、前述の方法
にしたがって流量を増加することによってフッ素含有率
の長さ方向の不均一性を解消できることを見出だした。
すなわち、種々の実験結果、フッ素化合物ガスの増加時
点tSは、全長Lを堆積するに要する時間teから堆積体
外径の略4倍の長さを堆積するに要する時間tDを差引
いた時点(tS=te−tD)で行うことによって、実用
上問題のないところまで均一にフッ素化合物を添加でき
ることが分かった。
のではなく変形が可能である。例えば、上記図1に示し
た実施形態では、火炎加水分解反応によって生成したガ
ラス微粒子が上方から下方に向かって堆積される場合に
ついて説明したが、図7(a)、(b)に示す場合にも
適用できる。
が図8(a)のように2段階である分散シフトファイバ
のガラス微粒子堆積工程を説明する図である。第1及び
第2の堆積用バーナ510、515には、ガラス原料ガ
スとしてSiCl4とGeCl4が供給され、クラッド堆
積用バーナ520にはガラス原料ガスとしてSiC
l4、フッ素添加ガスとしてCF4が供給される。脱水処
理工程、透明ガラス処理工程等は図1(b)の場合と同
じである。
ッドの一部)からなる棒状のターゲットロッド300の
外周に、クラッドを堆積する場合のガラス微粒子堆積工
程を説明する図である。クラッド堆積用バーナ520に
はガラス原料ガスとしてSiCl4、フッ素添加ガスと
してCF4が供給される。得られた母材の屈折率分布を
図8(b)に示す。脱水処理工程、透明ガラス処理工程
等は図1(b)の場合と同じである。
たが、CCl2F2、SiF4、SF6などの他のフッ素化
合物でも同様の効果を奏する。
図1(c)に示す1.3μm帯で零分散特性を有するス
テップ・インデックス型プロファイルをなし、外径が2
00mm、長さ800mmの多孔質ガラススートを作製
した。この多孔質ガラススートを図1(b)に示す透明
化装置によって脱水・透明化した後、線引きして単一モ
ードファイバを得た。コアとクラッドとの比屈折率差は
0.34〜0.36%、ファイバのコア径は7.5〜
8.5μmである。コア堆積用バーナ510にはSiC
l4とGeCl4を供給し、クラッド堆積用バーナ520
にはSiCl4とCF4を供給した。CF4の供給はガラ
ス微粒子堆積の開始時に50cc/分とし、堆積終了時
は100cc/分まで直線的に増加しながら供給した。
形成された多孔質ガラススートの全長は800mmであ
った。
た後、クラッド部における長手方向の比屈折率分布を測
定した。測定結果は図9に示すように、製造開始端と終
了端では0.003%であった。
に、図7(b)で説明した方法によって、クラッド径/
コア径の比が16になるように第2クラッドを形成した
後、外径125μmの光ファイバに線引きした。線引の
開始端と終了端との間でカットオフ波長を測定したとこ
ろ、変動幅は10nm以下と安定した結果が得られた。
質ガラススートを長さ1100mmまで下記の条件で製
造した。ガラス微粒子を堆積開始した時のCF4の供給
は50cc/分とし、300mm成長するまで一定に保
持した。その後、多孔質ガラススートを1100mmま
で成長せしめるとともに、CF4の供給を直線的に増加
させ、堆積終了時は90cc/分とした。この時のフッ
素の供給量Vfは次式である。
e−tS))+50 (cc/分) ここで、teは成長開始から終了までの経過時間、tS
は成長開始からCF4の流量を増加開始するまでの経過
時間、tは成長開始時刻からの経過時間である。
た後、長手方向の屈折率分布を測定しクラッド部の純粋
シリカガラスに対する屈折率の低下量の変動を測定し
た。結果は図9に示すように、製造開始端と終了端では
0.004%であった。
た方法によって、クラッド径/コア径の比が16になる
ように第2クラッドを形成した後、外径125μmの光
ファイバに線引きした。線引の開始端と終了端との間で
カットオフ波長を測定したところ、変動幅は18nm以
下と安定した結果が得られた。
質ガラススートを下記の条件で製造した。ガラス微粒子
を堆積開始した時のCF4の供給は50cc/分とし、
堆積終了時に125cc/分となるように、時間に関し
て2乗に比例して増加させた。この時のフッ素の供給量
は次式である。 Vf=75 (cc/分)×(t/te)2+50 (cc/分) この多孔質ガラススートを透明ガラス化した後、長手方
向の屈折率分布を測定し、クラッド部の純粋シリカガラ
スに対する屈折率の低下量の変動を測定した。結果は図
10に示すように、製造開始端と終了端では0.001
%であった。
た方法によって、クラッド径/コア径の比が16になる
ように第2クラッドを形成した後、外径125μmの光
ファイバに線引きした。線引の開始端と終了端との間で
カットオフ波長を測定したところ、変動幅は5nmと安
定した結果が得られた。
質ガラススートを長さ1100mmまで下記の条件で製
造した。ガラス微粒子を堆積開始した時のCF4の供給
は30cc/分とし、300mm成長するまで一定に保
持した。その後、多孔質ガラススートを1100mmま
で成長せしめるとともに、CF4の供給を直線的に増加
して堆積終了時は65cc/分とした。この時のフッ素
の供給量Vfは次式である。
−tS))2+30(cc/分) この多孔質ガラススートを透明ガラス化した後、長手方
向の屈折率分布を測定し、クラッド部の純粋シリカガラ
スに対する屈折率の低下量の変動を測定した。結果は図
10に示すように、製造開始端と終了端では0.002
%であった。
た方法によって、クラッド径/コア径の比が16になる
ように第2クラッドを形成した後、外径125μmの光
ファイバに線引きした。線引の開始端と終了端との間で
カットオフ波長を測定したところ、変動幅は14nm以
下と安定した結果が得られた。
ラススートを長さ1100mmまで下記の条件で製造し
た。ガラス微粒子を堆積開始した時のCF4の供給は5
0cc/分とし、ガラス微粒子の堆積が終了する時の長
さ1100mmまで一定とした。
た後、長手方向の屈折率分布を測定し、クラッド部の純
粋シリカガラスに対する屈折率の低下量の変動を測定し
た。結果は図11に示すように、製造開始端と終了端で
は0.02%であった。
径の比が16になるように図7(b)に示した方法で第
2クラッドを形成した後、外径125μmの光ファイバ
に線引きした。線引の開始端と終了端との間でカットオ
フ波長を測定したところ、変動幅に100nmの差が生
じた。
によれば、VAD法におけるフッ素化合物の流量を適宜
増加させるので、成長方向の屈折率分布を均一に成長さ
せることができる。
母材に係わる前駆体の製造方法の工程説明図である。
給方式による屈折率低下量の位置による変化の仕方を示
す実験結果のグラフである。
給量を時間と共に増加させた場合に対応する長手方向の
屈折率変動量を示す実験結果のグラフである。
ラフである。
る変化の仕方を示す実験結果のグラフである。
ための図である。
母材に係わる前駆体の製造方法の工程説明図である。
の前駆体に係わる屈折率分布を示すグラフである。
の前駆体に係わる比屈折率差の位置による変化の仕方を
示す実験結果のグラフである。
材の前駆体に係わる比屈折率差の位置による変化の仕方
を示す実験結果のグラフである。
材の前駆体に係わる比屈折率差の位置による変化の仕方
を示す実験結果のグラフである。
となるべきガラス部、200・・・クラッド用ガラススー
ト、210・・・クラッドとなるべきガラス部、300・・・
出発棒、400・・・スス付け容器、405・・・透明化容
器、410・・・支持棒、420、430・・・排気口、44
0・・・導入口、510、515、520・・・バーナ、60
0・・・加熱器。
Claims (7)
- 【請求項1】 フッ素が添加された石英ガラス部を有す
る光ファイバ用ガラス母材に係わる前駆体の製造方法で
あって、 酸水素火炎中にガラス原料ガスとフッ素化合物ガスとを
導入し、火炎加水分解反応を用いて、ターゲット軸方向
にガラス微粒子を堆積させることにより、前記ガラス微
粒子の堆積体を前記ターゲット軸方向へ成長させるにあ
たって、供給される前記フッ素化合物ガスの流量を増加
させる第1の工程と、 前記ガラス微粒子の堆積体を加熱して透明化する第2の
工程と、を備えることを特徴とする光ファイバ用ガラス
母材に係わる前駆体の製造方法。 - 【請求項2】 前記第1の工程は、前記フッ素化合物ガ
スの流量を初期流量の1.5倍〜2.5倍まで徐々に増
加する工程であることを特徴とする請求項1に記載の光
ファイバ用ガラス母材に係わる前駆体の製造方法。 - 【請求項3】 前記第1の工程は、V1をフッ素化合物
ガスの初期流量、V2をフッ素化合物ガスの最終流量、
teを成長開始から成長終了までの経過時間、tS を成
長開始からフッ素化合物ガスの流量の増加開始までの経
過時間、tを成長開始時刻からの経過時間とし、1<n
<2としたときに、前記ガラス微粒子の堆積体の軸方向
への成長にともない、前記フッ素化合物ガスの流量Vf
を、 0≦t<tSの場合、 Vf=V1 tS≦t≦teの場合、下記式 Vf=(V2−V1)×((t−tS)/(te−tS))n
+V1 に従って増加する工程であることを特徴とする請求項1
に記載の光ファイバ用ガラス母材に係わる前駆体の製造
方法。 - 【請求項4】 前記第1の工程は、前記フッ素化合物ガ
スの流量を、前記ガラス微粒子の堆積体の軸方向への成
長にともない直線的に増加する工程であることを特徴と
する請求項1に記載の光ファイバ用ガラス母材に係わる
前駆体の製造方法。 - 【請求項5】 前記第1の工程は、前記フッ素化合物ガ
スの流量を前記ガラス微粒子の堆積体の堆積開始から所
定時間までは一定に供給し、その後、直線的に増加する
工程であることを特徴とする請求項1に記載の光ファイ
バ用ガラス母材に係わる前駆体の製造方法。 - 【請求項6】 前記第1の工程は、V1をフッ素化合物
ガスの初期流量、V2をフッ素化合物ガスの最終流量、
teを成長開始から成長終了までの経過時間、tを成長
開始時刻からの経過時間としたときに、前記ガラス微粒
子の堆積体の軸方向への成長にともない、前記フッ素化
合物ガスの流量Vfを、下記式 Vf=(V2−V1)×(t/te)2+V1 に従って増加する工程であることを特徴とする請求項1
に記載の光ファイバ用ガラス母材に係わる前駆体の製造
方法。 - 【請求項7】 前記第1の工程は、V1をフッ素化合物
ガスの初期流量、V2をフッ素化合物ガスの最終流量、
teを成長開始から成長終了までの経過時間、tS を成
長開始からフッ素化合物ガスの流量の増加開始までの経
過時間、tを成長開始時刻からの経過時間としたとき
に、前記ガラス微粒子の堆積体の軸方向への成長にとも
ない、前記フッ素化合物ガスの流量Vfを、 0≦t<tSの場合、 Vf=V1 tS≦t≦teの場合、下記式 Vf=(V2−V1)×((t−tS)/(te−tS))2
+V1 に従って増加する工程であることを特徴とする請求項1
に記載の光ファイバ用ガラス母材に係わる前駆体の製造
方法。
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-
1996
- 1996-11-11 JP JP29872396A patent/JP3562545B2/ja not_active Expired - Lifetime
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