JPH0535691B2 - - Google Patents
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- JPH0535691B2 JPH0535691B2 JP8037187A JP8037187A JPH0535691B2 JP H0535691 B2 JPH0535691 B2 JP H0535691B2 JP 8037187 A JP8037187 A JP 8037187A JP 8037187 A JP8037187 A JP 8037187A JP H0535691 B2 JPH0535691 B2 JP H0535691B2
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01413—Reactant delivery systems
- C03B37/0142—Reactant deposition burners
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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-
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- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、気相軸付け法（VAD法）による光
フアイバ用多孔質母材の製造に使用するガラス微
粒子合成トーチに関する。
フアイバ用多孔質母材の製造に使用するガラス微
粒子合成トーチに関する。
従来、光フアイバ用母材の製造方法の一つに気
相軸付け法がある。この方法により多孔質母材を
作製するには、Sicl4，Gecl4などのガラス原料ガ
スを酸水素火炎中で加熱加水分解反応させてガラ
ス微粒子を合成し、それを回転する出発部材の先
端に堆積、成長させながら引き上げて多孔質母材
を作製し、これを高温で焼結ガラス化させて透明
ガラス体とし、石英管をその外周にジヤケツトす
るか、コア多孔質体とクラツド多孔質体を同時に
形成させた多孔質母材を作製し、高温で焼結ガラ
ス化させて光フアイバ用母材とするものである。
これを第４図について説明すると、５，６，７，
８はガラス微粒子合成トーチ、そのうち５はガラ
ス原料ガスとしてSicl4とドーパントGecl4が同時
に供給されるコア合成用トーチ、６，７，８はガ
ラス原料としてSicl4のみが供給されるクラツド
形成用トーチ、９は上記複数のトーチによつて円
柱状に形成された多孔質母材、１０はコア合成用
トーチ５により形成されたコア多孔質体、１１は
クラツド形成用トーチ６，７，８により形成され
たクラツド多孔質体、１２は出発部材の石英棒、
１３は回転、引上げ装置、１４は保護容器、１５
は余剰ガラス微粒子の排気調整器である。第４図
ではコア多孔質体１０のみも作製できる。
相軸付け法がある。この方法により多孔質母材を
作製するには、Sicl4，Gecl4などのガラス原料ガ
スを酸水素火炎中で加熱加水分解反応させてガラ
ス微粒子を合成し、それを回転する出発部材の先
端に堆積、成長させながら引き上げて多孔質母材
を作製し、これを高温で焼結ガラス化させて透明
ガラス体とし、石英管をその外周にジヤケツトす
るか、コア多孔質体とクラツド多孔質体を同時に
形成させた多孔質母材を作製し、高温で焼結ガラ
ス化させて光フアイバ用母材とするものである。
これを第４図について説明すると、５，６，７，
８はガラス微粒子合成トーチ、そのうち５はガラ
ス原料ガスとしてSicl4とドーパントGecl4が同時
に供給されるコア合成用トーチ、６，７，８はガ
ラス原料としてSicl4のみが供給されるクラツド
形成用トーチ、９は上記複数のトーチによつて円
柱状に形成された多孔質母材、１０はコア合成用
トーチ５により形成されたコア多孔質体、１１は
クラツド形成用トーチ６，７，８により形成され
たクラツド多孔質体、１２は出発部材の石英棒、
１３は回転、引上げ装置、１４は保護容器、１５
は余剰ガラス微粒子の排気調整器である。第４図
ではコア多孔質体１０のみも作製できる。
上記、多孔質母材の作製に使用する酸化物ガラ
ス微粒子合成トーチとしては、第５図示すような
構造のものが種々知られている。
ス微粒子合成トーチとしては、第５図示すような
構造のものが種々知られている。
第５図において、Ａは、原料ガス流出ノズル１
を中心とし、その周囲に可燃性ガス流出ノズル
２、不活性ガス流出ノズル３、助燃性ガス流出ノ
ズル４を順次設けた公知の合成トーチである。
を中心とし、その周囲に可燃性ガス流出ノズル
２、不活性ガス流出ノズル３、助燃性ガス流出ノ
ズル４を順次設けた公知の合成トーチである。
Ｂは特開昭55−95635号に提案される合成トー
チであつて、（１−１），（１−２）はそれぞれ組
成の異なるガラス原料ガスと可燃性ガス（例えば
H2）との混合ガス流出ノズル、３は不活性ガス
（例えばAr，He）流出ノズル、４は助燃性ガス
（例えばO2）流出ノズルである。この合成トーチ
は、酸水素火炎にる流出ノズルの隔壁消耗を防止
してトーチの寿命をのばし、光フアイバ用多孔質
母材の製造の長時間安定化が図れるとしている。
チであつて、（１−１），（１−２）はそれぞれ組
成の異なるガラス原料ガスと可燃性ガス（例えば
H2）との混合ガス流出ノズル、３は不活性ガス
（例えばAr，He）流出ノズル、４は助燃性ガス
（例えばO2）流出ノズルである。この合成トーチ
は、酸水素火炎にる流出ノズルの隔壁消耗を防止
してトーチの寿命をのばし、光フアイバ用多孔質
母材の製造の長時間安定化が図れるとしている。
Ｃは特開昭59−3028号に提案される合成トーチ
であつて、（１−３）はガラス原料ガス、可燃性
ガスおよび不活性ガスとの混合ガス流出ノズル、
３は不活性ガス流出ノズル、４は助燃性ガス流出
ノズルである。この合成トーチの周辺に配置した
ガラス管よりN2ガスを流すが、その流量を変え
ることによつて多孔質母材の外径が制御できると
している。
であつて、（１−３）はガラス原料ガス、可燃性
ガスおよび不活性ガスとの混合ガス流出ノズル、
３は不活性ガス流出ノズル、４は助燃性ガス流出
ノズルである。この合成トーチの周辺に配置した
ガラス管よりN2ガスを流すが、その流量を変え
ることによつて多孔質母材の外径が制御できると
している。
Ｄは特開昭59−107934号に提案される合成トー
チで、１は原料ガス流出ノズル、４は助燃性ガス
流出ノズル、２は可燃性ガス流出ノズルである。
このようなノズル配置にすると、ガラス原料ガス
の反応率がよく、堆積速度を増加させることがで
きるので、安定且つ経済的に多孔質母材が製造で
きるとしている。
チで、１は原料ガス流出ノズル、４は助燃性ガス
流出ノズル、２は可燃性ガス流出ノズルである。
このようなノズル配置にすると、ガラス原料ガス
の反応率がよく、堆積速度を増加させることがで
きるので、安定且つ経済的に多孔質母材が製造で
きるとしている。
Ｅは特開昭59−227734号に提案される合成トー
チで、１は原料ガス流出ノズル、４は助燃性ガス
流出ノズル、３は不活性ガス流出ノズル、２は可
燃性ガス流出ノズルである。このようなノズル配
置にすると、火炎反応が酸化反応を主体にして行
われるので、弗素のドーピングも可能となりこれ
に伴い光フアイバ用母材の屈折率分布の制御範囲
が拡大できるとしている。
チで、１は原料ガス流出ノズル、４は助燃性ガス
流出ノズル、３は不活性ガス流出ノズル、２は可
燃性ガス流出ノズルである。このようなノズル配
置にすると、火炎反応が酸化反応を主体にして行
われるので、弗素のドーピングも可能となりこれ
に伴い光フアイバ用母材の屈折率分布の制御範囲
が拡大できるとしている。
Ｆは特開昭61−106435号に提案される合成トー
チで、（１−１）はガラス原料ガスと可燃性ガス
との混合ガス流出ノズル、（１−４）はガラス原
料ガスと不活性ガスとの混合ガス流出ノズル、４
は助燃性ガス流出ノズルである。この合成トーチ
によれば、屈折率分布の変化の少ない略ステツプ
インデツクス型光フアイバの多孔質母材を作製す
ることができるとしている。
チで、（１−１）はガラス原料ガスと可燃性ガス
との混合ガス流出ノズル、（１−４）はガラス原
料ガスと不活性ガスとの混合ガス流出ノズル、４
は助燃性ガス流出ノズルである。この合成トーチ
によれば、屈折率分布の変化の少ない略ステツプ
インデツクス型光フアイバの多孔質母材を作製す
ることができるとしている。
上記の各々の合成トーチは、原料ガス流出ノズ
ルを中心とし、その周囲にO2，H2、不活性ガス
の多重管組合わせ配置にして、回転し引き上げら
れる石英棒１２の先端をターゲツトとしてガラス
微粒子を堆積させながら多孔質母材９を作製する
が、第６図に示すように、合成トーチ５を多孔質
母材９に対して傾斜させて使用する場合、多孔質
母材９の成長端２２の上方になるにしたがつて原
料ガス濃度が希薄となると共に、酸水素火炎１９
の高温部２３にさらされるので、これにより多孔
質母材の表面焼結２４が進むという問題がある。
このように表面焼結部２４が多孔質母材の表面全
体に進行すると、該母材の表面と内部との密度差
の欠陥が生じるため、その後の焼結工程における
焼結ガラス化に支障をきたすことになる。すなわ
ち、第７図に示すように焼結させると多孔質母材
内に残留するガスが拡散して該母材外部へ脱気す
るときに、前記表面焼結２４が障壁となり、焼結
ガラス母材２５内に残留気泡２６が起きるという
問題がときに生じる。このように気泡の残留は光
フアイバの伝送特性のみならず、機械的強度も著
しく低下させるので気泡の残留を起こさない光フ
アイバ用多孔質母材の合成方法が求められてい
た。
ルを中心とし、その周囲にO2，H2、不活性ガス
の多重管組合わせ配置にして、回転し引き上げら
れる石英棒１２の先端をターゲツトとしてガラス
微粒子を堆積させながら多孔質母材９を作製する
が、第６図に示すように、合成トーチ５を多孔質
母材９に対して傾斜させて使用する場合、多孔質
母材９の成長端２２の上方になるにしたがつて原
料ガス濃度が希薄となると共に、酸水素火炎１９
の高温部２３にさらされるので、これにより多孔
質母材の表面焼結２４が進むという問題がある。
このように表面焼結部２４が多孔質母材の表面全
体に進行すると、該母材の表面と内部との密度差
の欠陥が生じるため、その後の焼結工程における
焼結ガラス化に支障をきたすことになる。すなわ
ち、第７図に示すように焼結させると多孔質母材
内に残留するガスが拡散して該母材外部へ脱気す
るときに、前記表面焼結２４が障壁となり、焼結
ガラス母材２５内に残留気泡２６が起きるという
問題がときに生じる。このように気泡の残留は光
フアイバの伝送特性のみならず、機械的強度も著
しく低下させるので気泡の残留を起こさない光フ
アイバ用多孔質母材の合成方法が求められてい
た。
本発明は上記の問題を解決することを目的とす
るもので、多孔質母材の成長端の上上方における
過剰の表面焼結を抑制し、焼結ガラス化で残留気
泡を発生しない表面脱泡性すぐれた多孔質母材を
容易に作製させるガラス微粒子合成トーチを提供
するものである。
るもので、多孔質母材の成長端の上上方における
過剰の表面焼結を抑制し、焼結ガラス化で残留気
泡を発生しない表面脱泡性すぐれた多孔質母材を
容易に作製させるガラス微粒子合成トーチを提供
するものである。
本考案、可燃性ガスと助燃性ガスを燃焼して得
られる火炎中にガラス原料ガスを吹き込み、火炎
加水分解または加熱分解によつてガラス微粒子を
合成させるトーチの断面において、中心の原料ガ
ス流出ノズルの上方に不活性ガス流出ノズルを配
置し、下方に可燃性ガス又は助燃性ガス流出ノズ
ル、不活性ガス流出ノズル、助燃性ガス又は可燃
性ガス流出ノズルを順次設けて成ることを特徴と
するものである。
られる火炎中にガラス原料ガスを吹き込み、火炎
加水分解または加熱分解によつてガラス微粒子を
合成させるトーチの断面において、中心の原料ガ
ス流出ノズルの上方に不活性ガス流出ノズルを配
置し、下方に可燃性ガス又は助燃性ガス流出ノズ
ル、不活性ガス流出ノズル、助燃性ガス又は可燃
性ガス流出ノズルを順次設けて成ることを特徴と
するものである。
以下、本発明の作用について説明する。
第２図は、本発明にかかる合成トーチの使用に
よる多孔質母材の形成と火炎との関係を示す模式
図である。火炎１６の中央付近は、原料ガス流出
ノズルの延長にあつて気相又は固相のガラス微粒
子の空間密度が高い部分１７で、その上方は不活
性ガスの包被部１８、下方は酸水素火炎部１９が
存在する。合成トーチ５から出たガラス原料ガス
２０は、主成分のSicl4とドーピング剤を含む塩
化物であつてAr，Heなどの不活性キヤリアガス
によつて火炎１６中に供給される。不活性ガスに
よつて包被されている火炎部分１８では、合成ト
ーチ５の出口からのある距離を経て、O2とH2と
の燃焼による加熱加水分解反応部２１で関与する
H2Oが拡散される。原料ガスのうちsicl4を例にと
れば、H2Oとの次の反応によりSiO2微粒子を生
成する。
よる多孔質母材の形成と火炎との関係を示す模式
図である。火炎１６の中央付近は、原料ガス流出
ノズルの延長にあつて気相又は固相のガラス微粒
子の空間密度が高い部分１７で、その上方は不活
性ガスの包被部１８、下方は酸水素火炎部１９が
存在する。合成トーチ５から出たガラス原料ガス
２０は、主成分のSicl4とドーピング剤を含む塩
化物であつてAr，Heなどの不活性キヤリアガス
によつて火炎１６中に供給される。不活性ガスに
よつて包被されている火炎部分１８では、合成ト
ーチ５の出口からのある距離を経て、O2とH2と
の燃焼による加熱加水分解反応部２１で関与する
H2Oが拡散される。原料ガスのうちsicl4を例にと
れば、H2Oとの次の反応によりSiO2微粒子を生
成する。
Sicl4(G)＋2H2O→SiO2（Ｇ，Ｓ）＋4HCl(G)
原料ガス２０と酸水素火炎１９とが隣接する界
面では、上記の反応が効率よく進行するので加熱
加水分解反応部２１を成長端２２に配置して、ガ
ラス微粒子を堆積、成長させ、不活性ガスの包被
部１８を成長端２２の側面にあてることにより、
多孔質母材９の表面焼結を抑制防止させることが
できる。従つて、該多孔質母材を高温で焼結ガラ
ス化させても、残留気泡が生じない良好な光フア
イバ用母材を得ることができる。
面では、上記の反応が効率よく進行するので加熱
加水分解反応部２１を成長端２２に配置して、ガ
ラス微粒子を堆積、成長させ、不活性ガスの包被
部１８を成長端２２の側面にあてることにより、
多孔質母材９の表面焼結を抑制防止させることが
できる。従つて、該多孔質母材を高温で焼結ガラ
ス化させても、残留気泡が生じない良好な光フア
イバ用母材を得ることができる。
本発明の実施例を第１図に示す合成トーチの断
面にもとづいて説明する。
面にもとづいて説明する。
Ａは円形型合成トーチであつて、１はガラス原
料ガス流出ノズル、３は１の外周に設けた半円形
の不活性ガス（例えばAr，He）流出ノズル、２
は可燃性ガス（例えばH2）流出ノズル、３は２
の外周に設けた不活性ガス流出ノズル、４は助燃
性ガス（例えばO2）流出ノズルである。Ｂは角
形型合成トーチで、１は原料ガス流出ノズル、３
は１の外周に設けた半角形の不活性ガス流出ノズ
ル、２は可燃性ガス流出ノズル、３′は２の外周
に設けた不活性ガス流出ノズル、４は助燃性ガス
流出ノズルである。Ｃは、上記合成トーチＢの可
燃性ガス流出ノズル２に助燃性ガスを供給、助燃
性ガス流出ノズル４に可燃性ガスを供給する合成
トーチであつて、酸水素火炎中における酸化反応
域を拡大させたものである。Ｄは角形型合成トー
チで、１中は中心の原料ガス流出ノズル、３″は
１の両端に設けた不活性ガス流出ノズル、３は
１，３″の外周に設けた半角形の不活性ガス流出
ノズル、４は助燃性ガスガス流出ノズル、３′は
４の外周に設けた不活性ガス流出ノズル、２は可
燃性ガス流出ノズルである。第１図Ａ，Ｂ，Ｃ，
Ｄの合成トーチを用い作製した多孔質母材を焼結
ガラス化した結果、得られた光フアイバ用母材は
いずれも気泡の残留がみられず、原料ガス流出ノ
ズル１の上方に不活性ガス流出ノズル３を設ける
本発明の合成トーチ構造とすることにより、多孔
質母材の表面焼結が抑止できることを確認した。
第１図に示した各合成トーチＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄによ
つて得た光フアイバ用母材の屈折率分布を測定し
た結果を第３図に示す。合成トーチＢ，Ｄによる
屈折率分布は、ほぼステツプインデツクス型を示
し、合成トーチＡ，Ｃでは二剰分布に近いものが
得られた。又、第１図Ｄの合成トーチで作製する
多孔質母材の外径は、10mmφ以下のものが容易に
得られ、表面焼結を起こさないので、焼結ガラス
化における多孔質母材の脱気性が良好であること
を確認できた。
料ガス流出ノズル、３は１の外周に設けた半円形
の不活性ガス（例えばAr，He）流出ノズル、２
は可燃性ガス（例えばH2）流出ノズル、３は２
の外周に設けた不活性ガス流出ノズル、４は助燃
性ガス（例えばO2）流出ノズルである。Ｂは角
形型合成トーチで、１は原料ガス流出ノズル、３
は１の外周に設けた半角形の不活性ガス流出ノズ
ル、２は可燃性ガス流出ノズル、３′は２の外周
に設けた不活性ガス流出ノズル、４は助燃性ガス
流出ノズルである。Ｃは、上記合成トーチＢの可
燃性ガス流出ノズル２に助燃性ガスを供給、助燃
性ガス流出ノズル４に可燃性ガスを供給する合成
トーチであつて、酸水素火炎中における酸化反応
域を拡大させたものである。Ｄは角形型合成トー
チで、１中は中心の原料ガス流出ノズル、３″は
１の両端に設けた不活性ガス流出ノズル、３は
１，３″の外周に設けた半角形の不活性ガス流出
ノズル、４は助燃性ガスガス流出ノズル、３′は
４の外周に設けた不活性ガス流出ノズル、２は可
燃性ガス流出ノズルである。第１図Ａ，Ｂ，Ｃ，
Ｄの合成トーチを用い作製した多孔質母材を焼結
ガラス化した結果、得られた光フアイバ用母材は
いずれも気泡の残留がみられず、原料ガス流出ノ
ズル１の上方に不活性ガス流出ノズル３を設ける
本発明の合成トーチ構造とすることにより、多孔
質母材の表面焼結が抑止できることを確認した。
第１図に示した各合成トーチＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄによ
つて得た光フアイバ用母材の屈折率分布を測定し
た結果を第３図に示す。合成トーチＢ，Ｄによる
屈折率分布は、ほぼステツプインデツクス型を示
し、合成トーチＡ，Ｃでは二剰分布に近いものが
得られた。又、第１図Ｄの合成トーチで作製する
多孔質母材の外径は、10mmφ以下のものが容易に
得られ、表面焼結を起こさないので、焼結ガラス
化における多孔質母材の脱気性が良好であること
を確認できた。
従来から使用された第５図Ａに示す合成トーチ
で多孔質母材を作製し、焼結ガラス化させて光フ
アイバ用母材としたところ第７図に示すような気
泡の残留２６が起き、光フアイバ用母材２５とし
ては不適当であつた。この合成トーチでは、中心
の原料ガス流出ノズルが同心円状に酸水素火炎で
包被されているため、第７図で説明した如く、多
孔質母材の成長端の上部が高温の酸水素火炎に連
続的にさらされ、多孔質母材の表面焼結が避けら
れない。第８図はこの合成トーチで作製した多孔
質母材の断面にそつてガラス密度を参考までに調
べたものである。結果において、該母材の表面内
部の多孔質密度は比較的に均一であるが、表面付
近は表面焼結が進み、多孔質密度が急昇している
ことがわかる。
で多孔質母材を作製し、焼結ガラス化させて光フ
アイバ用母材としたところ第７図に示すような気
泡の残留２６が起き、光フアイバ用母材２５とし
ては不適当であつた。この合成トーチでは、中心
の原料ガス流出ノズルが同心円状に酸水素火炎で
包被されているため、第７図で説明した如く、多
孔質母材の成長端の上部が高温の酸水素火炎に連
続的にさらされ、多孔質母材の表面焼結が避けら
れない。第８図はこの合成トーチで作製した多孔
質母材の断面にそつてガラス密度を参考までに調
べたものである。結果において、該母材の表面内
部の多孔質密度は比較的に均一であるが、表面付
近は表面焼結が進み、多孔質密度が急昇している
ことがわかる。
以上説明した如く、本発明によるガラス微粒子
合成トーチを多孔質母材の作製に用いることによ
り、該母材の表面焼結を抑止できるので、焼結ガ
ラス化において気泡の残留がなく、且つ安定で良
好な光フアイバ用母材を得ることができる。さら
に、該合成トーチを供給するO2，H2、不活性ガ
スの流出組合せを種々変更させることにより、屈
折率分布の形状をまた変えることができるので、
光フアイバのタイプに応じて作り分けを行える利
点がある。
合成トーチを多孔質母材の作製に用いることによ
り、該母材の表面焼結を抑止できるので、焼結ガ
ラス化において気泡の残留がなく、且つ安定で良
好な光フアイバ用母材を得ることができる。さら
に、該合成トーチを供給するO2，H2、不活性ガ
スの流出組合せを種々変更させることにより、屈
折率分布の形状をまた変えることができるので、
光フアイバのタイプに応じて作り分けを行える利
点がある。
第１図は本発明にかかるガラス微粒子合成トー
チの断面説明図、第２図は本発明にかかる合成ト
ーチの使用による多孔質母材と火炎との関係を示
す模式図、第３図は本発明の合成トーチによつて
得た光フアイバ用母材の屈折率分布図、第４図は
ガラス微粒子集合体の作製装置、第５図は公知の
合成トーチの断面説明図、第６図は公知の合成ト
ーチによる多孔質母材の表面焼結の説明図、第７
図は焼結ガラス母材に形成される残留気泡の状態
説明図、第８図は公知の合成トーチによる多孔質
母材の表面焼結とガラス密度との関係解析図であ
る。図中の主な符号は次の通りである。 １……ガラス原料流出ノズル、２……可燃性ガ
ス流出ノズル、３……不活性ガス流出ノズル、４
……助燃性ガス流出ノズル、５……合成トーチ、
９……多孔質母材、１７……原料ガスによるガラ
ス微粒子の高濃度分布部、１８……不活性ガスの
包被部、１９……酸水素火炎部、２０……ガラス
原料ガス、２１……加熱加水分解反応部、２２…
…成長端、２３……酸水素火炎の高温部、２４…
…表面焼結、２５……焼結ガラス母材、２６……
残留気泡。
チの断面説明図、第２図は本発明にかかる合成ト
ーチの使用による多孔質母材と火炎との関係を示
す模式図、第３図は本発明の合成トーチによつて
得た光フアイバ用母材の屈折率分布図、第４図は
ガラス微粒子集合体の作製装置、第５図は公知の
合成トーチの断面説明図、第６図は公知の合成ト
ーチによる多孔質母材の表面焼結の説明図、第７
図は焼結ガラス母材に形成される残留気泡の状態
説明図、第８図は公知の合成トーチによる多孔質
母材の表面焼結とガラス密度との関係解析図であ
る。図中の主な符号は次の通りである。 １……ガラス原料流出ノズル、２……可燃性ガ
ス流出ノズル、３……不活性ガス流出ノズル、４
……助燃性ガス流出ノズル、５……合成トーチ、
９……多孔質母材、１７……原料ガスによるガラ
ス微粒子の高濃度分布部、１８……不活性ガスの
包被部、１９……酸水素火炎部、２０……ガラス
原料ガス、２１……加熱加水分解反応部、２２…
…成長端、２３……酸水素火炎の高温部、２４…
…表面焼結、２５……焼結ガラス母材、２６……
残留気泡。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 可燃性ガスと助燃性ガスを燃焼して得られる
火炎中にガラス原料ガスを吹き込み、火炎加水分
解または加熱分解によつてガラス微粒子を合成さ
せるトーチの断面において、中心の原料ガス流出
ノズルの上方に不活性ガス流出ノズルを配置し、
下方に可燃性ガス又は助燃性ガス流出ノズル、不
活性ガス流出ノズル、助燃性ガス又は可燃性ガス
流出ノズルを順次設けて成ることを特徴とするガ
ラス微粒子合成トーチ。 ２ 中心の原料ガス流出ノズルの両端に、それぞ
れ不活性ガス流出ノズルを配置したことを特徴と
する特許請求の範囲第１項記載のガラス微粒子合
成トーチ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8037187A JPS63242939A (ja) | 1987-03-31 | 1987-03-31 | ガラス微粒子合成ト−チ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8037187A JPS63242939A (ja) | 1987-03-31 | 1987-03-31 | ガラス微粒子合成ト−チ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63242939A JPS63242939A (ja) | 1988-10-07 |
| JPH0535691B2 true JPH0535691B2 (ja) | 1993-05-27 |
Family
ID=13716414
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8037187A Granted JPS63242939A (ja) | 1987-03-31 | 1987-03-31 | ガラス微粒子合成ト−チ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63242939A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10745804B2 (en) * | 2017-01-31 | 2020-08-18 | Ofs Fitel, Llc | Parallel slit torch for making optical fiber preform |
-
1987
- 1987-03-31 JP JP8037187A patent/JPS63242939A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63242939A (ja) | 1988-10-07 |
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