CN116217053A - 玻璃微粒沉积体的制造装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种玻璃微粒沉积体的制造装置，其能够防止用于制作玻璃微粒沉积体的燃烧器的劣化、损坏。玻璃微粒沉积体的制造装置具有燃烧器，该燃烧器通过向火焰中供给玻璃原料，从而生成用于制作玻璃微粒沉积体的玻璃微粒。燃烧器包含金属制的燃烧器主体、以及用于对气流向由燃烧器主体形成的火焰的影响进行限制的管状的罩。罩以向从燃烧器主体将玻璃原料喷出的方向即喷出方向延伸的方式安装于燃烧器主体。罩由具有比石英玻璃的热膨胀系数大且形成燃烧器主体的金属的热膨胀系数以下的热膨胀系数的材料形成。

Description

玻璃微粒沉积体的制造装置

技术领域

本发明涉及玻璃微粒沉积体的制造装置。

背景技术

在专利文献1公开了在燃烧器的前端部的外周安装有对气流向火焰的影响进行限制的气流限制部件的光纤用多孔质母材的制造装置。

在专利文献2公开了由耐热性合金材料构成的金属制的多孔质玻璃制造用燃烧器。

专利文献1：日本特开2019－172545号公报

专利文献2：日本特开2010－076982号公报

关于作为在专利文献1及2公开那样的用于制造光纤用母材的燃烧器安装的气流限制部件的罩的长寿命化，存在改善的余地。

发明内容

因此，本发明的目的在于，提供一种玻璃微粒沉积体的制造装置，其能够防止用于制作玻璃微粒沉积体的燃烧器的劣化、损坏。

本发明的一个方式所涉及的玻璃微粒沉积体的制造装置具有燃烧器，该燃烧器通过向火焰中供给玻璃原料，从而生成用于制作玻璃微粒沉积体的玻璃微粒，

所述燃烧器包含金属制的燃烧器主体、以及用于对气流向由所述燃烧器主体形成的所述火焰的影响进行限制的管状的罩，

所述罩以向从所述燃烧器主体将所述玻璃原料喷出的方向即喷出方向延伸的方式安装于所述燃烧器主体，

所述罩由热膨胀系数比石英玻璃的热膨胀系数大且为形成所述燃烧器主体的金属的热膨胀系数以下的材料形成。

发明的效果

根据上述结构，提供能够防止用于制作玻璃微粒沉积体的燃烧器的劣化、损坏的玻璃微粒沉积体的制造装置。

附图说明

图1是本发明的实施方式所涉及的玻璃微粒沉积体的制造装置的结构图。

图2是表示在图1所示的制造装置使用的纤芯合成用燃烧器的一个例子的剖视图。

图3是表示构成纤芯合成用燃烧器的托架及罩的斜视图。

图4是表示纤芯合成用燃烧器的第一变形例的图。

图5是表示纤芯合成用燃烧器的第二变形例的图。

图6是表示纤芯合成用燃烧器的现有例的图。

具体实施方式

(本发明的实施方式的说明)

首先，列举本发明的实施方式而进行说明。

本发明的一个方式所涉及的玻璃微粒沉积体的制造装置，

(1)具有燃烧器，该燃烧器通过向火焰中供给玻璃原料，从而生成用于制作玻璃微粒沉积体的玻璃微粒，

所述燃烧器包含金属制的燃烧器主体、以及用于对气流向由所述燃烧器主体形成的所述火焰的影响进行限制的管状的罩，

所述罩以向从所述燃烧器主体将所述玻璃原料喷出的方向即喷出方向延伸的方式安装于所述燃烧器主体，

所述罩由具有比石英玻璃的热膨胀系数大且形成所述燃烧器主体的金属的热膨胀系数以下的热膨胀系数的材料形成。

根据上述结构，不易发生由于与金属制的燃烧器主体的热膨胀系数的差异引起的罩的损坏。因此，能够提供能防止用于制作玻璃微粒沉积体的燃烧器的劣化、损坏的玻璃微粒沉积体的制造装置。

(2)形成所述罩的所述材料可以是碳化硅及氮化硅的任一者。

根据上述结构，能够防止由于与形成燃烧器主体的金属的热膨胀系数的差异引起的罩的损坏。另外，通过抑制玻璃微粒向罩的内壁面的附着，从而能够防止发生该内壁面的表面凹凸，抑制由该表面凹凸引起的玻璃微粒沉积体的沉积面的变形。

(3)所述罩可以包含：

圆筒部，其向所述喷出方向延伸；以及

锥部，其比所述圆筒部处于靠所述喷出方向侧，随着朝向所述喷出方向侧而内径扩大。

根据上述结构，能够将烧到玻璃微粒沉积体的沉积面的火焰的范围适当地扩大，进一步提高玻璃微粒沉积体的堆积密度。另外，能够将罩的锥部和从锥部喷出的火焰之间的距离设得远，因此能够抑制罩的锥部前端由于火焰而劣化。

(4)所述罩可以相对于所述燃烧器主体可自由装卸。

根据上述结构，在由于火焰等的影响而罩劣化的情况下，能够将劣化的罩拆下而更换为新的罩。即，在罩劣化的情况下，无需更换燃烧器主体，仅对罩进行更换即可，因此能够削减成本。

(5)可以在所述罩的端部形成有朝向所述罩的径向的外侧凸出的凸缘部，

所述凸缘部能够装卸地固定于所述燃烧器主体。

根据上述结构，通过在罩形成的凸缘部将罩牢固地固定于燃烧器主体。由此，能够防止罩相对于燃烧器主体的位置偏移，因此能够制作没有畸变的稳定的玻璃微粒沉积体。

(6)所述凸缘部可以通过金属制螺栓而固定于所述燃烧器主体。

根据上述结构，通过使用金属制螺栓，从而将热膨胀的影响抑制为最小限度。由此，燃烧器主体和罩的固定不易松弛，能够更可靠地防止罩相对于燃烧器主体的位置偏移。

(7)可以还具有能够装卸地固定于所述燃烧器主体的固定夹具，

在所述凸缘部的外周面被所述固定夹具覆盖的状态下，所述凸缘部被夹持在所述燃烧器主体和所述固定夹具之间，由此将所述罩固定于所述燃烧器主体。

根据上述结构，能够将罩从燃烧器主体容易地拆装，因此对燃烧器进行分解的清扫变得容易。

(8)所述燃烧器主体及所述罩可以在VAD法的纤芯合成用燃烧器被使用。

本发明的结构优选应用于对光纤特性影响大的纤芯合成用燃烧器。

(本发明的实施方式的详细内容)

参照附图，对本发明的实施方式所涉及的玻璃微粒沉积体的制造装置的具体例进行说明。此外，本发明不受这些例示所限定，而是由权利要求书示出，意在包含与权利要求书等同的内容及范围内的全部变更。

图1是表示本发明的实施方式所涉及的玻璃微粒沉积体的制造装置的一个例子的结构图。

此外，在下面的实施方式，作为制造玻璃微粒沉积体的方法，以VAD(Vapor phaseAxial Deposition汽相轴向沉积)法为例进行说明，但并不限定于VAD法。也能够对与VAD法同样地从玻璃原料利用火焰热分解反应而使玻璃微粒沉积的方法，例如在OVD(OutsideVapor phase Deposition外部气相沉积)法等应用本实施方式。

如图1所示，本实施方式的玻璃微粒沉积体的制造装置1具有反应容器2。支撑棒3从反应容器2的上方悬挂于容器内部，在支撑棒3的下侧安装有伪玻璃杆(初始杆)4。在该伪玻璃杆4通过使玻璃微粒沉积，从而形成玻璃微粒沉积体(光纤用母材)M。支撑棒3的上端部由升降装置10抓持，通过升降装置10进行旋转并升降。升降装置10由控制部20控制。在反应容器2的侧壁部安装有排气管5。

在反应容器2的内部下方设置有纤芯合成用燃烧器6及包层合成用燃烧器7。纤芯合成用燃烧器6的前端部和包层合成用燃烧器7的前端部向反应容器2的内部凸出地配置。向纤芯合成用燃烧器6及包层合成用燃烧器7分别供给原料气体、火焰形成气体(可燃性气体及助燃性气体)等。向纤芯合成用燃烧器6及包层合成用燃烧器7供给的气体的流量由MFC(Mass Flow Controller流量控制器)21控制。MFC 21基于从控制部20发送的控制信号而对气体的供给量进行控制。使在原料容器11内收容的液体原料汽化后的气体作为原料气体而供给至纤芯合成用燃烧器6及包层合成用燃烧器7。火焰形成气体从气体供给装置12向纤芯合成用燃烧器6及包层合成用燃烧器7供给。

图2是纤芯合成用燃烧器6的长度方向上的一部分剖视图。图3是表示构成纤芯合成用燃烧器6的托架63和罩64的斜视图。

如图2及图3所示，纤芯合成用燃烧器6具有纤芯合成用的燃烧器主体61(燃烧器主体的一个例子)和相对于燃烧器主体61能够装卸地固定的罩64。燃烧器主体61具有燃烧器基部62和在燃烧器基部62的周围安装的托架63。

燃烧器基部62省略其内部构造的图示，但例如是直径不同的多个气体吹出管同心圆状地配置的部件。即，纤芯合成用燃烧器6例如优选是至少使玻璃原料流动的中心端口和将该中心端口包围地可燃性气体或助燃性气体的至少1个气体喷出端口同心圆状地排列的多重管燃烧器。燃烧器基部62形成为气体喷出侧(在图2中为右侧)的规定范围的前端部分62a的直径比根部部分62b的直径细。即，在燃烧器基部62，在前端部分62a和根部部分62b的边界形成有台阶部62c。燃烧器基部62例如是由不锈钢钢材等构成的金属制的部件。

托架63是构成为大致圆筒状的部件。托架63的内径形成为比燃烧器基部62的前端部分62a的外径稍大。另一方面，托架63的内径形成为比燃烧器基部62的根部部分62b的外径小。托架63安装于燃烧器基部62的前端部分62a的周围。在托架63的两端部设置有朝向径向的外侧凸出的凸缘部65、66。托架63是凸缘部65、66之中的一个凸缘部65通过螺栓68而螺栓紧固于燃烧器基部62的台阶部62c，由此被固定于燃烧器基部62。托架63及螺栓68例如是由不锈钢钢材、钛等构成的金属制的部件。

罩64是用于对由纤芯合成用燃烧器6形成的火焰的气流带来的影响进行限制的管状的部件。罩64具有圆筒部64A和锥部64B。圆筒部64A形成为在将罩64装载于燃烧器主体61的状态下，向从燃烧器主体61喷出的玻璃原料的喷出方向延伸。圆筒部64A的内径形成为比燃烧器基部62的前端部分62a的外径稍大。通过如上所述的结构，在将燃烧器基部62的前端部分62a向圆筒部64A的内部插入的状态下，对燃烧器基部62和罩64进行固定变得容易。圆筒部64A在燃烧器基部62的前端部分62a的周围，以具有与燃烧器基部62的中心轴相同的中心轴的方式进行安装。

锥部64B形成为从圆筒部64A的喷出方向侧的端部向喷出方向延伸。锥部64B形成为随着朝向喷出方向侧即前端而内径扩大。在锥部64B的前端部形成有开口部64C。从燃烧器主体61喷出的玻璃原料气体等经过圆筒部64A及锥部64B的内部，从开口部64C向罩64的外部喷出。

在圆筒部64A的与锥部64B相反侧的端部(在图2中为左侧的端部)，设置有朝向径向的外侧凸出的凸缘部67。罩64是凸缘部67通过螺栓69而螺栓紧固于托架63的凸缘部66，由此可自由装卸地固定于燃烧器主体61。

在本例，作为用于形成罩64的材料，从耐热性高这一观点出发，例如优选使用碳化硅(SiC)或者氮化硅(Si₃N₄)，以耐热冲击性的观点更优选氮化硅。此外，罩64的材料并不限定于这些，从热膨胀性的观点出发，能够使用具有与构成燃烧器基部62、托架63的不锈钢钢材等金属的热膨胀系数接近的热膨胀系数的其他材料。具体地说，作为罩64的材料，例如能够使用热膨胀系数比石英玻璃的热膨胀系数大且为构成燃烧器基部62、托架63的金属的热膨胀系数以下的材料。作为罩64的材料，优选使用热膨胀系数比以往使用的石英玻璃的热膨胀系数(0.5×10^－6/℃左右)大、并为不锈钢钢材等金属的热膨胀系数(9×10^－6～15×10^－6/℃左右)以下的材料。碳化硅的热膨胀系数是3.7×10^－6～4.6×10^－6/℃左右，氮化硅的热膨胀系数是2.4×10^－6～3.5×10^－6/℃左右。例如，罩64可以由矾土(氧化铝)或者氧化锆构成。

本例的罩64例如由氮化硅形成，因此能够将圆筒部64A及锥部64B的厚度设得比石英玻璃制的罩的情况厚。罩64的圆筒部64A及锥部64B的厚度分别为大约5mm。用于将罩64安装于托架63的螺栓69，例如是由不锈钢钢材、钛等构成的金属制的部件。

对罩64的凸缘部67进行固定的托架63的固定面，即托架63的凸缘部66的外侧(在图2中为右端部)的面66a，设置于从燃烧器基部62的气体喷出侧的端部62d向燃烧器基部62的轴向的根部部分62b方向分离规定的距离L的位置。规定的距离L优选为0mm以上且100mm以下。更优选规定的距离L为50mm。在罩64的凸缘部67和托架63的凸缘部66的固定面即面66a之间，设置有碳制或者氟树脂制、例如Teflon(注册商标)制的垫圈70。垫圈70例如可形成为环状。

(玻璃微粒沉积体的制造方法)

如上所述地构成的玻璃微粒沉积体(光纤用母材)M的制造装置1如图1所示，将玻璃原料供给至纤芯合成用燃烧器6及包层合成用燃烧器7，在由各个燃烧器形成的火焰中进行氧化或者水解反应而生成玻璃微粒，使该玻璃微粒在进行旋转的伪玻璃杆4的前端或者外周沉积而制造玻璃微粒沉积体M。

向纤芯合成用燃烧器6供给玻璃原料气体及火焰形成气体。在玻璃原料气体例如包含四氯化硅(SiCl₄)或硅氧烷。另外，玻璃原料气体例如作为掺杂剂而优选包含四氯化锗。在作为玻璃原料气体而使用四氯化硅和四氯化锗的情况下，以二氧化硅(SiO₂)及二氧化锗(GeO₂)为主要成分的玻璃微粒在纤芯合成用燃烧器6的火焰中生成。火焰形成气体例如是氢氧气体，包含作为可燃性气体的氢气和作为助燃性气体的氧气。

供给至纤芯合成用燃烧器6的玻璃原料气体从燃烧器主体61喷出，与由火焰形成气体形成的火焰一起经过罩64的圆筒部64A及锥部64B，从开口部64C向罩64外喷出。在该过程中生成的玻璃微粒不断沉积于处在喷出方向的沉积面。

此外，沉积面在沉积工序的初期是处于伪玻璃杆4上的面，在伪玻璃杆4上沉积玻璃微粒沉积体M后，是玻璃微粒沉积体M上的面。在玻璃微粒沉积体M中成为纤芯的玻璃微粒充分地沉积的区域，此后通过包层合成用燃烧器7对成为包层的玻璃微粒进行沉积。

如以上说明所述，本实施方式所涉及的玻璃微粒沉积体M的制造装置1具有纤芯合成用燃烧器6，该纤芯合成用燃烧器6向火焰中供给玻璃原料，由此生成用于制作玻璃微粒沉积体M的玻璃微粒。纤芯合成用燃烧器6包含有：金属制的燃烧器主体61；以及用于对气流向由燃烧器主体61形成的火焰的影响进行限制的管状的罩64。而且，罩64以从燃烧器主体61向玻璃原料的喷出方向延伸的方式安装于燃烧器主体61。罩64由热膨胀系数比石英玻璃的热膨胀系数大且为形成燃烧器主体61的金属的热膨胀系数以下的材料(例如，碳化硅、氮化硅、氧化铝或者氧化锆)形成。

另外，还考虑作为形成罩的材料而使用耐热性高的石英玻璃，但石英玻璃不耐冲击，损坏频度比较高。另外，在将石英玻璃制的罩固定于金属制的燃烧器主体的情况下，由于石英玻璃和金属的热膨胀系数的差异，在罩的特别是凸缘部容易产生裂纹。

与此相对，根据本实施方式的结构，使用热膨胀系数比石英玻璃更接近形成燃烧器主体61的金属材料的热膨胀系数的材料，例如碳化硅、氮化硅、氧化铝或者氧化锆等而形成罩64。即，与使用石英玻璃制的罩的情况相比，使用耐冲击性强，并且由与金属制的燃烧器主体61的热膨胀系数的差异引起的凸缘部67的裂纹也不易发生的罩64而形成纤芯合成用燃烧器6。因此，能够防止玻璃微粒沉积体M的制造过程的罩64的劣化、损坏，能够实现纤芯合成用燃烧器6的长寿命化。

另外，在使用石英玻璃制的罩的情况下，有时由燃烧器主体生成的玻璃微粒的一部分作为剩余烟灰而附着于罩的内壁面而在内壁面产生表面凹凸。由于由烟灰向该内壁面的附着而产生的表面凹凸，在火焰、玻璃微粒的喷出方向、喷出量发生变化，有可能导致发生玻璃微粒沉积体M的沉积面的变形。

与此相对，如本实施方式这样，在使用碳化硅、氮化硅、氧化铝或者氧化锆而形成罩64的情况下，与使用石英玻璃的情况相比罩64的内壁面的表面粗糙度变小。因此，烟灰向罩64的内壁面的附着变少。由此，在罩64的内壁面不发生凹凸等历时变化，能够防止发生由烟灰向罩64的附着引起的玻璃微粒沉积体M的沉积面的变形。

另外，在本实施方式所涉及的制造装置1，罩64具有：圆筒部64A，其向玻璃微粒的喷出方向延伸；以及锥部64B，其比圆筒部64A处于靠前端(喷出方向)侧，随着朝向前端侧而内径扩大。根据该结构，能够将烧到玻璃微粒沉积体M的沉积面的火焰的范围适当地扩大，提高玻璃微粒沉积体M的堆积密度。另外，能够将罩64的开口部64C和从开口部64C喷出的火焰之间的距离设得远，因此能够抑制开口部64C附近由于火焰而劣化。

另外，本实施方式所涉及的罩64相对于燃烧器主体61、具体地说相对于托架63可自由装卸。根据该结构，在由于火焰等的影响而罩64劣化的情况下，能够将劣化的罩64拆下而更换为新的罩64。即，在罩64劣化的情况下，无需将纤芯合成用燃烧器6整体更换，只要仅对罩64进行更换即可，因此能够削减成本。

另外，作为将罩固定于燃烧器主体的方法，以往例如如图6所示，采用了将带310等粘贴于燃烧器主体301和罩302的方法。但是，仅通过带310，固定力不一定足够，例如在对附着于燃烧器主体301的前端部、罩302的污物进行清扫时，有时罩302的安装角度、安装位置偏移。如果罩302的安装位置等变化，则从燃烧器主体301喷出的玻璃微粒的方向也发生变化，因此难以制作没有畸变的稳定的玻璃微粒沉积体M。

与此相对，在上述实施方式所涉及的制造装置1，在罩64的圆筒部64A的端部形成有朝向罩64的径向的外侧凸出的凸缘部67，凸缘部67能够装卸地固定于燃烧器主体61。如上所述，将在罩64的圆筒部64A形成的凸缘部67固定于燃烧器主体61的托架63，由此能够将罩64相对于燃烧器主体61而牢固地固定。因此，能够防止罩64相对于燃烧器主体61的位置偏移。由此，在反应容器2内，能够可靠地抑制气流向纤芯合成用燃烧器6的火焰的影响，能够制作没有畸变的稳定的玻璃微粒沉积体M。

另外，在制造装置1，罩64的凸缘部67通过金属制的螺栓69而固定于燃烧器主体61。根据该结构，能够相对于燃烧器主体61使罩64不松弛而是可靠地进行固定。在此基础上，能够防止由螺栓腐蚀引起的杂质的产生，因此能够抑制杂质向玻璃微粒沉积体M的附着。

此外，在图2及图3所示的实施方式，对纤芯合成用燃烧器6进行了说明，但关于包层合成用燃烧器7，也能够设为与本实施方式相同的结构。

(实施例)

下面，示出本发明所涉及的实施例及对比例而对本发明更详细地进行说明。此外，本发明并不限定于下面的实施例。

(制造例1)

作为制造例1，作为现有的纤芯合成用燃烧器使用在金属制的燃烧器主体安装了石英玻璃制的罩的燃烧器而制造出玻璃微粒沉积体。玻璃原料气体使用包含四氯化硅和四氯化锗在内的气体。火焰形成气体使用氢气和氧气。

(制造例2)

作为制造例2，作为本发明的实施方式所涉及的纤芯合成用燃烧器使用在金属制的燃烧器主体安装了氮化硅(Si₃N₄)制的罩的燃烧器而制造出玻璃微粒沉积体。除了不使用石英玻璃制而是使用氮化硅制的罩这点以外，使用与制造例1相同的方法而制造出玻璃微粒沉积体。

(评价)

在制造例1及制造例2，对制造出的玻璃微粒沉积体中的在沉积面发生了规定范围以上的变形的个体的比率(变形发生率)和设置有纤芯合成用燃烧器的1台玻璃微粒沉积体的制造装置的1年期间的罩的损坏根数进行了评价。首先，玻璃微粒沉积体的沉积面的变形发生率在制造例1为5.5％，在制造例2为1.5％。并且，罩的损坏根数在制造例1为1年期间0.9根/台，在制造例2为1年期间0根/台。如上所述，作为形成罩的材料不使用石英玻璃，而是使用例如氮化硅等热膨胀系数与金属近似的材料，由此能够确认到能有效地减少玻璃微粒沉积体的变形发生率及罩的损坏发生率。

(第一变形例)

接下来，参照图4对纤芯合成用燃烧器的第一变形例进行说明。在上述的实施方式的纤芯合成用燃烧器6，为了将罩64固定于燃烧器主体61而设置有托架63，在该托架63对罩64进行螺栓紧固，但并不限定于该结构。例如，罩也可以不经由托架而是直接螺栓紧固于燃烧器基部。

图4是表示第一变形例所涉及的纤芯合成用燃烧器106的结构的剖视图。如图4所示，纤芯合成用燃烧器106具有纤芯合成用的燃烧器主体161和相对于燃烧器主体161能够装卸的罩164。燃烧器主体161具有燃烧器基部162。燃烧器基部162例如是金属制的部件。

罩164是凸缘部167通过螺栓169而螺栓紧固于燃烧器基部162的台阶部162c，由此被固定于燃烧器基部162(燃烧器主体161)。罩164例如由氮化硅(Si₃N₄)形成。螺栓169例如由不锈钢钢材、钛等形成。

在本变形例的纤芯合成用燃烧器106的结构，罩164的凸缘部167被直接固定于燃烧器主体161的燃烧器基部162。在该结构，也能够得到与使用上述实施方式的纤芯合成用燃烧器6的情况相同的效果。

(第二变形例)

接下来，参照图5对纤芯合成用燃烧器的第二变形例进行说明。图5是表示第二变形例所涉及的纤芯合成用燃烧器206的结构的剖视图。如图5所示，纤芯合成用燃烧器206具有纤芯合成用的燃烧器主体261、相对于燃烧器主体261能够装卸的罩264、以及用于将罩264固定于燃烧器主体261的固定夹具81。

在燃烧器主体261的气体喷出侧(在图5中为右侧)的端部，设置有朝向径向的外侧凸出的凸缘部91。在凸缘部91的外周面实施了螺纹切削加工。

罩264与上述的实施方式的罩64同样地，例如由氮化硅形成。在罩264的一个端部(在图5中为左侧的端部)设置有朝向径向的外侧凸出的凸缘部267。罩264的另一个端部(在图5中为右侧的端部)与上述的实施方式的罩64不同，没有扩径。

固定夹具81例如是由与燃烧器主体261相同的金属形成而构成为圆筒状的部件。固定夹具81在沿燃烧器主体261的轴向的一端部侧具有底部82。在底部82的中央形成有孔部83。孔部83的直径形成为比罩264的凸缘部267以外的圆筒部分的外径稍大。在固定夹具81的另一端部侧的内周面实施了螺纹切削加工。固定夹具81通过与燃烧器主体261的凸缘部91的螺合，从而安装于凸缘部91的周围。即，固定夹具81相对于燃烧器主体261能够装卸地固定。

第二变形例的罩264向燃烧器主体261的安装方法如下面所述。首先，使罩264从设置有凸缘部267侧的相反侧的端部插入贯穿于固定夹具81的孔部83。在该状态下，向罩264内插入燃烧器主体261的气体喷出侧的端部，使固定夹具81与燃烧器主体261的凸缘部91螺合。由此，罩264的凸缘部267被固定夹具81的底部82推压，与燃烧器主体261的凸缘部91的面91a接触。以上述方式，在罩264的凸缘部267的外周面被固定夹具81覆盖的状态下，凸缘部267被夹持在固定夹具81的底部82和燃烧器主体261的凸缘部91之间，将罩264固定于燃烧器主体261。

如以上说明所示，第二变形例的纤芯合成用燃烧器206具有能够装卸地固定于燃烧器主体261的固定夹具81。纤芯合成用燃烧器206构成为在罩264的凸缘部267的外周面被固定夹具81覆盖的状态下在燃烧器主体261的凸缘部91和固定夹具81的底部82之间对罩264的凸缘部267进行夹持，由此将罩264固定于燃烧器主体261。如上所述，通过使用螺栓以外的部件对罩264的凸缘部91进行固定，从而能够容易地拆装罩264。在此基础上，使固定夹具81与燃烧器主体261的凸缘部91螺合，因此能够从燃烧器主体261容易地拆装罩264，能够容易地实施对纤芯合成用燃烧器206进行分解的清扫等。

以上，详细且参照特定的实施方式对本发明进行了说明，但对于本领域的技术人员而言，显然可以在不脱离本发明的精神、范围的前提下进行各种变更或修正。上述说明的构成部件的根数、位置、形状等并不限定于上述实施方式，能够变更为适于实施本发明的根数、位置、形状等。

标号的说明

1：玻璃微粒沉积体的制造装置

2：反应容器

3：支撑棒

4：伪玻璃杆(初始杆)

5：排气管

6、106、206、300：纤芯合成用燃烧器

7：包层合成用燃烧器

10：升降装置

11：原料容器

12：气体供给装置

20：控制部

21：MFC(Mass Flow Controller)

61、161、261、301：纤芯合成用的燃烧器主体(燃烧器主体的一个例子)

62、162：燃烧器基部

62a、162a：前端部分

62b、162b：根部部分

62c、162c：台阶部

62d：端部

63：托架

64、164、264、302：罩

64A：圆筒部

64B：锥部

64C：开口部

65、66、67、91、167、267：凸缘部

66a、91a：面(固定面)

68、69、169：螺栓

70：垫圈

81：固定夹具

82：底部

83：孔部

310：带

M：玻璃微粒沉积体(光纤用母材)

Claims (8)

1.一种玻璃微粒沉积体的制造装置，其具有燃烧器，该燃烧器通过向火焰中供给玻璃原料，从而生成用于制作玻璃微粒沉积体的玻璃微粒，

所述燃烧器包含金属制的燃烧器主体、以及用于对气流向由所述燃烧器主体形成的所述火焰的影响进行限制的管状的罩，

所述罩以向从所述燃烧器主体将所述玻璃原料喷出的方向即喷出方向延伸的方式安装于所述燃烧器主体，

所述罩由具有比石英玻璃的热膨胀系数大且形成所述燃烧器主体的金属的热膨胀系数以下的热膨胀系数的材料形成。

2.根据权利要求1所述的玻璃微粒沉积体的制造装置，其中，

形成所述罩的所述材料是碳化硅及氮化硅的任一者。

3.根据权利要求1或2所述的玻璃微粒沉积体的制造装置，其中，

所述罩包含：

圆筒部，其向所述喷出方向延伸；以及

锥部，其比所述圆筒部处于靠所述喷出方向侧，随着朝向所述喷出方向侧而内径扩大。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的玻璃微粒沉积体的制造装置，其中，

所述罩相对于所述燃烧器主体可自由装卸。

5.根据权利要求4所述的玻璃微粒沉积体的制造装置，其中，

在所述罩的端部形成有朝向所述罩的径向的外侧而凸出的凸缘部，

所述凸缘部能够装卸地固定于所述燃烧器主体。

6.根据权利要求5所述的玻璃微粒沉积体的制造装置，其中，

所述凸缘部通过金属制螺栓而固定于所述燃烧器主体。

7.根据权利要求5所述的玻璃微粒沉积体的制造装置，其中，

还具有能够装卸地固定于所述燃烧器主体的固定夹具，

在所述凸缘部的外周面被所述固定夹具覆盖的状态下，所述凸缘部被夹持在所述燃烧器主体和所述固定夹具之间，由此将所述罩固定于所述燃烧器主体。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的玻璃微粒沉积体的制造装置，其中，

所述燃烧器主体及所述罩在VAD法的纤芯合成用燃烧器被使用。

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