TW407131B - Conveying apparatus of semiconductor wafer cassette and the storage device used by the same - Google Patents

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Yasushi Itami
Junji Iwasaki
Junichi Katsube
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Mitsubishi Electric Corp
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Description

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（92 1 1 (元 件編號之說明 ) 1 1 30 搬 運 裝 置 1 1 32 處 理 裝 置 /—V 請 先 1 1 34 處 理 裝 置 閲 背 之 36 儲 料 器 1 1 38 白 動 搬 運 車 意 事 1 項 | 40 匣 子 再 % 1 42 搬 運 裝 置 馬 本 頁 Γ 50 主 電 腦 V_X 1 1 52 主 機 1 I 54 輸 入 m 構 1 1 訂 56 終 m 機 1 58 通 信 電 纜 1 60 白 動 搬 運 車 控 制器 1 1 62 通 信 單 元 1 線 64 儲 料 器 控 制 器 1 I 66 搬 運 裝 置 控 制 器 1 1 7 0 半 導 體 晶 圓 1 1 72 ID卡 1 1 74 顯 示 部 1 I 76 通 信 部 1 1 I 80 起 重 機 1 1 82 移 載 機 1 1 84 移 動 裝 置 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21 OX 297公釐） 95 -修正頁 407131 Μ Β7
五、發明説明（U 〔發明之背景〕 〔發明之領域] (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本發明係闞於一種半導體晶圓匣搬運裝置及半導體晶圓 匣搬運裝置所使用之儲料器*尤其是關於使半専體晶圓匣 之搬運能力提高的半導體晶圓匣搬運装置及半導體晶圓匣 搬運裝置所使用之儲料器。 〔背景技術之說明〕 參照圖15至圖16，習知之半導體晶圓匣搬運裝置230 ， 係包含有：處理裝置32及34，K匣子23 2單位收納半導體 晶圓，並施行半導體積體電路之製造處理者；儲科器234 ，用K收納複數個匣子232者；自動搬運車38，用Μ在處 理裝置32、34和儲料器234之間進行匣子232之搬運作業 者；Μ及儲料器間搬運裝置42，用Μ在配置於製造線内之 複數個儲料器234之間進行匣子232之搬蓮者。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 處理裝置32、34係提供儲料器234用以作為處理前匣子 232和處理後匣子232的收納場所。2台自動搬運車38係用 以從事於該等之間的搬蓮作業。又，儲料器間搬運装置42 在此圖中雖係在中途切斷顧示但是其係進行週期蓮轉，而 多個儲料器2 34則被設置在其周圍。即使有闞其他的儲料 器234亦存在有各自成組的處理裝置32、34和自動搬運車 38 ° 尤其是參照圖16，半導餿晶圓匣搬運裝置230 ，更包含 有：主電腦50，用以控制處理裝置32、34、儲料器234、 自動搬運車38及儲料器間搬運裝置42者；Κ及通信電鳙58 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（ 210X 297公t) 4 407131 A7 ^ B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（93 ) 1 1 86 自 動 搬 運 車 用 出 P 埠 1 1 88 白 動 搬 運 車 用 入 □ 埠 1 1 90 g 動 搬 運 車 用 埠 外 遮 蔽 門 /—^ 請 先 閱 1 1 92 自 動 搬 蓮 車 用 埠 内 遮 蔽 門 背 Λ 之 1 94 儲 料 器 面 板 1 注 1 96 儲 料 器 架 意 事 1 項 1 98 搬 蓮 裝 置 用 埤 再 Φτ 1 % V 100 白 動 搬 運 車 用 出 P 交 接 埠 本 % 1 102 通 信 單 元 1 1 104 白 動 搬 運 車 用 入 □ 交 接 埠 1 I 110 搬 運 裝 置 用 埠 內 遮 蔽 門 1 訂 112 手 動 用 埠 内 遮 蔽 門 1 I 114 手 動 用 埠 外 遮 蔽 門 1 116 手 動 用 入 □ 塢 1 1 118 手 動 用 出 P 埠 1 線 120 ID卡讓寫裝置 1 I 121 操 作 面 板 1 1 122 搬 運 裝 置 用 埠 外 遮 蔽 門 1 1 124 升 降 m 1 1 130 匣 子 承 接 器 具 1 I 132 通 信 窗 口 1 1 I 140 台 車 1 1 142 通 信 單 元 1 1 144 機 器 臂 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） _ 96 -修正頁 經濟部中央標準局員工消費合作社印^. 407131 A7 B7 五、發明説明（2) ，用以連接各種装置和主電腦50者。 主霣臞50包含有：主櫬52，用K進行計算處理者；輸入 撻構54，用K提供製品之製造基準資料者；以及作業者终 端機56*在媒內配置有多個者。 作為儲料器2 34之一部分的儲料器控制器64係按照來自 通信電纜58之主電腦50的作業指示，而驅使儲科器234之 其他的構成要素K完成預定的作業。作為自動搬蓮車38之 —部分的自動搬運車控制器60，係按照來自通信電纜58之 主電腦50的作業指示，而驅使自動搬運車38之其他的構成 要素以完成預定的作業。自動搬運車控制器60和自動搬運 車38之通信係透過控制局側通信單元62而利用無媒電通信 來進行。作為髂科器間搬運裝置42之一部分的儲料器間搬 運装置控制器66,係按照來自通信電讕58之主電臞50的作 業指示，而透過儲料器間搬運装置42之構成要素、進而透 過通信電孀58而驅使儲料器234之構成要素以完成預定的 作業。 參照圖17，就半導體晶圓匣搬運装置230所搬運的半導 骽晶圓70及其半導體晶圓匣232暨被裝接於半導體晶圇匣 232上之習知的ID卡240加Μ說明。半導體晶圓（以下， 稱為「晶圓」。）70內裝入有多個半導體積體電路（未圖 示）。半導體晶圓匣（Μ下，稱為「匣子」。）232,收納 有複數片晶圓70而成為搬運之最小單位° ID卡240係装接 在匣子232上。ID卡240上，脯存有闢於被收納在匣子232 内的晶圆70及匣子232的資訊，且可利用顬示部74將其資 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） <請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝. *\se 五、發明説明（94 407131 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 146 機 器 手 148 機 器 手 爪 150 移 載 台 152 操 作 面 板 154 緩 衝 板 156 感 愿 帶 160 行 走 軌 道 162 台 車 164 懸 吊 金 屬 器 具 170 主 機 172 匣 子 台 階 174 通 信 單 元 182 匣 子 台 階 190 儲 料 器 192 g 動 搬 運 車 用 出 口 交 接 埠 194 g 動 搬 運 車 用 入 D 交 接 埠 196 自 動 搬 蓮 車 用 出 □ 漳 198 白 動 搬 運 車 用 入 P 璋 200 移 動 裝 置 202 移 動 裝 置 2 1 0 手 動 用 出 □ 璋 220 匣 子 承 接 器 具 230 搬 蓮 裝 置 232 匣 子 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 線！ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） - 97 _修正頁 407m Λ7 B7 五、發明説明（3) 訊之一部分予Μ顳示。又，11}卡240 ，在與後述之外部控 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 制系之間’可透過通信部76改寫被黼存的資訊之—部分。 又，可非接觸地報告被儲存的資訊。另外，通信部76被安 裝在ID卡2 40的正面上。圖17(a)及圖17(b)係各別顯示 裝接有ID卡2 40之g子232的晶圓70圼垂直的横放姿勢和 圼水平的縱放姿勢’圈17(c)係顯示ID卡240的詳细者。 W下’ Μ圖說明作為半導體晶圓匣搬運装置之構成要素 的處理装置32、34、儲科器234、自動搬運車38及儲料器 間搬蓮裝置42的詳细。 參照圈10’處理裝置32包含有：主機170 ，Μ每次一片 或複數Η地將晶圓7〇ife行半導體積體電路之製造處理者； 二個匣子台階（cassette stage)172 ，以1匣子單位收纳 應處理的匣子232者；自動搬運車通信單元174 ，對自動 搬運車38輪出匣子台階172之狀態以確認自動搬運車38在 朗匣子台階172置放處理前匣子232之前是否有弄錯之其 他的匣子232或在取出處理後匣子232之前該匣子232是 否已正確搭載在匣子台階172上。 經濟部中央標準局負工消費合作社印製 參照圓11，處理裝置34包含有：主櫬180 ，K每次一片 或複數Η地將晶圓70施行半導體積體霣路之製造處理者； 二個匣子台階182 ，Ml匣子單位收纳懕處理的匣子232者 ;自動搬運車通信單元174 ，對自動搬埋車38输出匣子台 階182之狀慇Μ確認自動搬運車38在朝匣子台階182置放處 理前匣子232 之前是否有弄錯之其他的匣子232或在取出 處理後匣子232之前該匣子23 2是杏已正確搭載在匣子台 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） 407131 五、發明説明（95 ) 2 3 4 儲料器 240 ID卡 250 移動裝置 25 2 自動搬運車用出口埠 254 自動搬運車用入口埠 260 手動用入口埠 262 手動用出口埠 270 ID卡讀寫裝置 A7 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -訂· 坡！ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） —98 _修正頁 407131 Λ7 B7 五、發明説明（4) 階182上。 參照圖18至圔20，說明儲料 別從自動搬蓮車作業面和位於 看到之情況下描繪儲料器234 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 繪手動 造之情 切除而 232的 向Μ確 包含有 分用Κ 232者 作業者 出口埠 子232 搬運車 100 .為 車用出 搬運車 為儲料 收匣子 配置於 所和做 搬運作 用入口埠 況下將作 描繪者。 儲料器架 保多個匣 :儲料器 收納或送 ;手動用 (未圖示 262 ，為 出庫而使 38用Κ接 儲料器架 口埠 252 38接收匣 器架96之 232 者； 其兩側用 為該儲料 業者；移 260者。又， 為外裝面板之 儲料器234 ， 96，且藉由將 子232的收納 間搬運裝置用 出由儲料器間 入口埠260 ， 器234 其相反 者。圖 該等圖 儲料器 係包含 複數個 場所。 埠98， 搬運装 為儲料 。圖1 8及圖 側的作業者 20係從箭視 面係在可看 面板94的一 横放搭載複 匣子232堆 儲料器234 為儲料器架 置42所運來 器架96之一 )為了將匣子232入 儲料器架9 6之 用者；自動搬 庫而使用者 部分且為作業者 收匣子232者 96之一部分用 者；自動搬蓮 子232者；自 一部分用Μ從 儲料器起重櫬 Μ進行該儲料 器架96之一部 載機82，用Μ 運車用出 ;自動搬 Μ送出匣 車用入口 動搬運車 自動搬運 80，將被 器架96所 分的各種 接收後述 口埠 252 運車用出 子232給 埠254,用 用入口交 車用入口 堆起之髄 形成的匣 埠間之匣 之儲料器 1 9，係各 作業面可 Α詳细描 到内部構 部分予K 數個匣子 於垂直方 更進一步 96之一部 的匣子 部分且為 ;手動用 為了將匣 ，為自動 口交接埠 自動搬理 以從自動 接埠104, 埠25 4接 料器架96 子收納場 子232的 間搬運装
In n"1 I— ^ί —^1 士 ¢1. i - - - - in t 、-° (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X 297公逄） 7 407131 Λ7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（5) 置42之台車上的匣子232且置放於儲料器間搬運裝置用埠 98上、或相反地從該處送出匣子232至空台車上者；Μ及 前進移動裝置250,用Μ使匣子232從自動搬運車用出口交 接埠100移動至自動搬運車用出口埠252上，或從自動搬 運車用入口埠254移動至自動搬運車用入口交接埠104上 者0 儲料器起重機80、移載機82、及前進移動裝置250係分 別進行1匣子、2匣子、1匣子單位的搬運作業。可載置於 儲料器間搬運装置用埠98、手動用入口埠26 0 、手動用出 口埠262、自動搬運車用出口交接増100、自動搬運車用入 口交接埠104、自動搬運車用出口埠252及自動搬運車用入 口埠254上的匣子個數係分別為2匣子、1匣子、1匣子、1 匣子、1匣子、1匣子、1匣子。又，前進移動装置250有準 備2台。隨之自動搬運車用出口埠252、自動搬運車用入口 埠254 、自動搬運車用出口交接漳100 、及自動搬運車用 入口交接埠104，係分別每次備有2個。又，手動用入口埠 260和手動用出口埠262 ，亦分別每次備有2個。 如圖20所示在手動用入口埠260上，安裝有ID卡讀寫裝 置270 。其安裝方向由於通信部76係位於ID卡2 40之正面 所以必需將ID卡讀寫裝置270安装在ID卡240的正面上。ID 卡240的正面若朝向作業者作業面而配置ID卡讀寫裝置270 時，ID卡讓寫装置270因會受到阻礙而很難取出匣子232。 因此，手動用人口埠260上的匣子232之方向，會被決定成 使被安裝在匣子232上的ID卡240之正面對作業者作業面注 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X 297公釐） -Hi In ? I 11 JT— -..... -- In 士 良 ml -- j— -- I -1--- -w .νφ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -8 - kl 407131 B7 . 五、發明説明（6) ----1 - I -·11-- I - · *II --- 士民 --I - - I - II - - - II I Τ» - Μ 、-» (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 右轉90度的方向。儲料器起重機80由於無法變更匣子232 之方向，所K在儲料器架96的匣子232之方向會變成與前 述手動用入口埠260上的匣子232之方向相同。被置於自動 搬運車用出口埠252和自動搬運車用入口埠254内的匣子 232之方向，係成為自動搬運車38所容易移載裝接的ID卡 2 40會成為將自動搬蓮車3S之作業面設為正面者。因而前 進移動裝置250亦必需在匣子232之移動作業中進行方向 之變更。 儲料器234更進一步包含有操作面板121 ，用Μ在作業 者將匣子232通過手動用入口埠260予Κ入庫之際或通過 手動用出口埠262予Μ出庫之際進行操作者。 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 參照圖8，自動搬運車38，包含有：台車140，被貼附在 地板上的感應帶156所導引而行走者；搬運車側通信單元 142，在與自動搬運車控制器60之控制局側通信單元62之 間用Κ進行資訊之交換者；機器臂144、機器手146、櫬器 手爪148，分別用Κ進行匣子232之移載作業者；4個移載 台150，於行走作業中係預先將由處理装置32及34或儲料 器234取入之匣子40以縱放姿勢保持者；操作面板152，在 與作業者之間用Μ進行資訊之交換者；Μ及媛衝板154 > 用以檢知障礙物俾使執行中之作業停止者。 參照圖9，儲料器間搬運裝置42包含有：行走軌道160， 成為環形狀；台車162，以一定方向移動於行走軌道160上 ，用以搬運最大2個匣子232者；以及懸吊金臑器具164, 用Μ將行走軌道160安裝在天花板上者。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公楚） -9 - Λ7 407131 B7 五、發明説明（7) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 其次，就習知之半導體晶圓匣搬運裝置230之控制方法 加Μ說明。首先發生於處理裝置32、34之處理後匣子232 會依自動搬運車38而被運送入庫於儲料器234内，其次就 利用儲料器間搬運裝置42朝儲料器234運出之際的控制方 法（1)加Μ敘述，接著就新的處理前匣子232自前段之儲 料器234運送而人庫於儲料器234內且按照處理裝置32、 34之要求將匣子232予Κ出庫而利用自動搬運車38朝處理 裝置32、34蓮送之際的控制方法（2)加Μ敘述，最後就來 自手動用入口埠260 之入庫和來自手動用出口埠262之出 庫的控制方法（3)加Κ敘述。 就發生於處理裝置32、34之處理後匣子232會依自動搬 運車38而被運送入庫於儲料器234内，其次利用儲料器間 搬運装置42朝儲料器234運出之際的控制方法（1)加Μ敘 述0 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 儲科器234之自動搬運車用入口埠254及儲料器間搬運裝 置用埠98係在開始著手時之初期化结束時空著。因此對主 電腦50透過通信電親58報告各埠的匣子232之可收納情況 。接收該等埠之空位資訊的主電腦50，不會感知儲料器 234之匣子232的充足狀況而只會Μ該資訊對使用自動搬 運車38及儲料器間搬運裝置42的匣子232之儲料器234進 行搬蓮作業之可能或不可能的判斷。 在如上述之狀況中，處理裝置32、34，會透過通信電纜 58將已結束半導體積體電路之製造處理的處理後匣子232 之退出要求，發送至主電腦50上。處理裝置32、34有時舍 本紙張尺度適用中國國家標準（〇呢）六4規格（210父297公釐） -10 - 407131 Λ7 B7 五、發明説明（S) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
Ml匣子單位要求其退出要求而有時會Μ複数個匣子單位 要求其退出要求。已接受該退出要求之主電腦50，由於事 先會由儲料器234報告自動搬運車用入口埠254之空位資 訊所Μ會立即透過通信電嫌58對自動搬運車38進行搬運作 業指示。但是可使用之自動搬運車用入口埠254 *每次會 在處理裝置32、34中決定，Μ將其資料預先透過輸入機構 5 4提供給主電腦50。又，來自處理装置32、34之退出要求 即使是Μ 2匣子單位來進行，由於來自自動搬運車用入口 埠254之入庫亦可Ml匣子單位進行所Μ主電腦50就必需將 1匣子單位之搬運作業指示送至自動搬運車38上。 由主電腦50接收1匣子之搬運作業指示的自動搬運車控 制器60，會從有複數個的自動搬運車38之中將作業分派至 最適於其搬運作業的部分上，且利用控制局側通信單元62 和搬運車側通信單元142與主機進行無線通信俾使搬運作 業之進行。該作業之内容，首先台車140會自待機地按照 被貼附在地板上的感應帶156 ，朝向作為搬運處的處理装 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 置32、34行進。當自動搬運車38到達該處時首先會透過自 動搬運車通信單元174進行在該匣子台階172、182上是否 存在有匣子232的確認。之後，會驅使機器臂144、櫬器手 146及機器手爪148*取入位於匣子台階172、182上的適當 匣子232，並置放在本身的移載台150上。當該載置作業完 成時，台車140會再次從搬運處的處理裝置32、34朝搬運 目的地之儲料器234所指示的自動搬運車用入口埠254移 動0 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X 297公f ) , ^ 407131 A7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 ---- B7 五、發明説明 ( 3 ) 1 1 當自動 搬 運 車38到 達該處 時會 以 與 之 前 相反 的 順 序 將 移 1 1 I 載 台150上的適當匣子232置 放在 被 指 示 的 自動 搬 運 車 用 入 1 1 □ 埠254上<= 自動搬運車38在將逋當匣子232置 放 在 被 指 示 請 先 1 1 的 自動搬 運 車 用入 P 埠254 上之 前 9 會 透 過對 白 動 搬 運 車 閲 讀 背 1 通 信單元 102 在自 動 搬運車 用入 口 埠 254 上確 認 是 否 存 在 面 1 有 弄錯的 匣 子 232 9 若存在 時就 立 即 發 報 錯誤 0 此 乃 根 據 意 事 項 1 | 因 匣子232 基 於來 白 儲料器 234 之 逋 當 g 動搬 蓮 車 用 入 □ 再 填 埠 254的 空 位 資訊 而 被蓮來 ，所 Μ 其 他 的 匣子 232 位 於 同 寫 本 頁 裝 1 I — 埠上時 為 異 常狀 態 的判斷 者。 當 被 指 示 之所 有 的 作 業 皆 1 1 完 成時自 動 搬 蓮車 控 制器60 會透 過 通 信 電 纜58對 主 電 腦 50 I 1 進 行作業 完 成 報告 〇 1 訂 接受來 白 白 動搬 運 車38之 作業 完 成 報 告 的主 電 腦 50 會 1 I 對 儲料器 234 進行 來 自適當 匣子 232 之 自 動搬 運 車 用 入 P 1 1 | 埠 254的 入 庫 作業 指 示。在 儲料 器 控 制 器 64按 昭 透 過 通 信 1 1 電 孀58所 送 來 的該 入 庫作業 指示 確 保 儲 料器 架 96上 的 收 1 'V 納 場所之 後 就會 著 手進行 作業 0 在 無 法 確保 收 納 場 所 時 1 1 * 醏料器 控 制 器64就 不會著 手作 業 而 會 Η 原狀 在 收 納 場 所 1 I 上 等待發 生 空 位者 0 已著手 人庫 作 業 之 儲 料器 234 首 先 I 1 I 會 驅使前 進 移 動裝 置 250將 該匣 子 232 旋 轉90度 方 向 之 後 J 從 自動搬 蓮 車 用入 口 埠254 移動 至 白 動 搬 運車 用 入 P 交 接 1 1 埠 104上 3當移動作業完成時儲料器起重機80會開始移動 1 1 而 自動搬 運 車 用入 P 交接埠 104 上 的 匣 子 232 會 被 運 送 至 1 I 已 更受儲 料 器 控制 器 64確認 之儲 料 器 架 96上的 收 纳 場 所 中 1 1 1 9 完成一 糸 列 的入 庫 作業。 當作 業 完 成 時 儲料 器 控 制 器 64 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 12 Λ7 4〇7lsi ________B7 五、發明説明（Kj) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 會透過通信霣纜58對主電腦50進行作業完成報告。在從自 動搬運車用入口埠254至自動搬運車用人口交接埠1〇4的 移動作業中當自動搬蓮車用入口埠254空著時，齡料器234 會與開始著手時的初期化完成時同樣地對主電腦5〇送出該 増之空位資訊，且備具於使用下一個自動搬運車38的搬運 作業。 已接收來自儲料器234之人庫作業完成報告的主電腦50 ’舍決定其匣子232的搬運目的地儲料器234 。又，進行 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 該搬運目的地儲科器234之髂科器間搬運装置用埠98是否 空著的確認。埠之空位資訊係從儲料器234開始著手時的 初期化完成時，或在該埠空著的時點上會向主霣腦50報告 。當搬蓮目的地儲料器2 34之儲料器間搬運裝置用埠98空 著時，主電腦50會對儲枓器間搬蓮装置42透過通信電纜58 向匣子232之儲料器234送出搬運作業指示。已接收此的 儲料器間搬運裝置控制器66，首先會透過通信電纜58對搬 運處儲科器234委託從該匣子232之收納場所至儲料器間 搬蓮裝置用埠9δ的移動作業。被委託作業的儲料器2 3 4係 使用儲料器起重機80而取入該匣子232 。接著，對儲料器 間搬運裝置控制器66進行作業完成報告。已接收該作業完 成報告的儲料器間搬浬裝置控制器66*係使空台車162移 動至與搬運處匣子232對應的站台上。若完成移動時，儲 料器間搬浬裝置控制器66，會再次對搬運處齡料器234委 託對該空台車162移載儲料器間搬運裝置用埠98上的該昆 子232 。被委託的脯料器234係使用移載櫬82移載遍當匣 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210Χ297公釐） 13 Λ7 407131 B7 五、發明説明（U ) 子232 。接著，對儲料器間搬運裝置控制器66進行作業完 成報告。已接收該作業完成報告的儲料器間搬運裝置控制 器66，使滿台車162移動至與搬運目的地儲料器2 3 4對應 的站台。儲料器間之搬運作業雖仍在繼缅進行中，但是在 處理裝置32、34中所發生的處理後匣子232會依自動搬運 車38而被運送入庫於儲料器234内，進而结束利用儲料器 間搬運裝置42對下一裝置之儲料器23 4出庫運送之一系列 的搬運作業控制方法的說明。 繼而就新的處理前匣子2 32會被前段之儲料器23 4運送 而入庫於儲料器234内且按照處理裝置32、34之要求將匣 子232予Μ出庫再利用自動搬運車38對處理裝置32、34運 送的方法（2)加Μ說明。 藉由搬運目的地儲料器23 4之儲料器間搬運裝置用埤98 的空位資訊會從儲料器控制器64透過通信電纜58而傳至主 電腦50上，新的處理前匣子232會載置於台車162上且對 搬運目的地儲料器234開始運送。當台車162到達時儲科 器間搬運装置控制器66，會透過通信電纜58向儲料器控制 器64委託將台車162上之匣子232載置於儲料器間搬運装 置用埠98上。被委託的儲料器234會將該匣子232使用移 載機82進行上述之作業，並對儲料器間搬運裝置控制器66 進行作業完成報告。 已接受該作業完成報告的儲料器間搬運裝置控制器66, 會對主電腦50報告作業完成的情況。已接受該報告的主電 腦50，會對儲料器23 4指示將儲料器間搬運裝置用埠98上 本紙張尺度適用中國國家標準（〇奶）八4規格（210>< 297公梦_) _ 1 4 _ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝. 訂 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 4〇nsi 經 濟 部 中 央 準 員 i 消 費 合 作 社 印 % ΑΊ '----^ Β7 五、發明説明U2) 1 1 的 匣 子232予 Μ入 庫 〇 按照透過通信 電 孀 58所 送 來 的該入 1 1 I 庫 作 業指示， 儲料 器 控 制器6 4在確保 儲 料 器架 96上 的收納 1 1 I 場 所 之後就著 手作 業 0 在無法確保收 納 場 所時 會 等待儲 請 先 1 1 料 器 控制器6 4 著手 作 業 而原狀在收納 場 所 中發 生 空 位者。 if 背 1 已 著 手於入庫 作業 的 儲 料器234 ，會 利 用 儲料 器 起 重機80 面 之 注 1 將 儲 料器間搬 運裝 置 用 埠98上的適當 匣 子 232 運 送 至被確 意 事 項 1 I 保 之 儲料器架 96上 的 收 納場所中。被 指 示 之作 業 完 成的儲 再 填 料 器 234 ，會 對主 電 腦 50進行作業完 成 報 告。 例 如 被收納 % 本 頁 裝 1 在 儲 料器234 内的 處 理 前匣子232 ， 會 在 該處 等 待 下一個 1 1 處 理 裝置32、 34之 匣 子 台階172、 182為 空 位者 〇 1 1 處 理前匣子 232 在 被 收納在儲料器 234 内的 狀 態 下，會 1 訂 1 I 從 處 理裝置3 2 、34透 過 通信電親58而 發 送 匣子 投 入 要求至 主 電 腦50上。 主電 腦 50係搜尋在儲科 器 234中 有 無 可處理 1 1 I 的 匣 子 232 ， 在有 的 情 況時會移至出 庫 作 業上 0 在 沒有的 1 1 情 況 時主電腦 50會 等 待 遘當的處理前 匣 子 232 被 入 庫於儲 1 料 器 234內。關於該投入要求處理裝置32, > 34會依其形式 1 1 有 時 一次要求 複數 個 匣 子232。在自動搬運車用出口埠252 1 I 上 由 於只設置 一個 匣 子 232，所以在複數個要求被進行的 1 I 情 況 時只會Μ 其匣 子 個 数份反覆進行 來 白 後述 之 鋪 科器 ί 1 234的出庫作業及從儲料器234至處理 裝 置 32 ' 34的 搬蓮作 1 1 業 0 I I 已 移至出庫 作業 之 主 電腦50，係按 照 有 投入 要 求 之處理 I I 裝 置 32 ^ 34 * 選擇 有 複 数個自動搬埋 車 用 出口 埠 252之中 I 1 的 一 個。又， 將朗 該 處 之出庫作業指 示 對 儲料 器 234透過 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X 297公f ) Λ7 407131 B7 五、發明説明（13) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 通信電纜58送出。在此可使用的自動搬運車用出口埠252 ，與自動搬運車用入口埠254同樣，可每次在處理裝置32 、34上決定。該資料，可透過輪入機構54提供至主電腦50 内。已接受出庫作業指示之儲料器234，係使用儲料器起 重機80，將適當的匣子232朝自動搬運車用出口交接埠100 運送。之後，儲料器234會驅使前進移動裝置250將自動搬 運車用出口交接埠100上的匣子232往前送至自動搬運車用 出口埠252上。更進一步，使匣子232旋轉90度Μ便容易移 載自動搬蓮車38。Μ此完成對自動搬蓮車用出口埠252之 出庫作業，且儲料器234會對主電腦50進行作業完成報告。 經濟部中央標準局員工消費合作社印策 已接受來自儲料器2 34之出庫作業之完成報告的主電腦 50*接著會將自動搬運車用出口埠252上的匣子232蓮送至 處理裝置32、34的匣子台階172、182上且透過通信電嫌58 對自動搬運車38下達命令。已接受該命令的自動搬蓮車控 制器60，會從複數個自動搬運車38之中分派作業至最適於 其搬運作業的部分，且利用控制局側通信單元62和搬運車 側通信單元142與主機進行無線通信俾使在自動搬運車38 上進行匣子232之搬運作業。 Κ下說明其作業之内容。首先台車140會自待櫬位置按 照被貼附在地板上的感應帶156 ，朝向作為搬運處的儲料 器234之自動搬運車用出口埠252行進。當自動搬運車38 到達時首先會透過對自動搬運車通信單元102 ·進行在該 自動搬運車用出口埠252上是否存在有匣子232的確認。 之後，自動搬運車38會驅使機器臂144 、機器手146及機 本紙張尺度適用中國國家標準（〇奶）/\4規格（210'乂 297公釐） -16 - 407131 Λ7 B7 五、發明説明（ 器手爪148，取入位於自動搬運車用出口埠252上的適當匣 子232，並置放在本身的移載台150上。自動搬運車38，在 透過對自動搬運車通信單元102而在自動搬運車用出口埠 252 進行是否有適當匣子232 的確認之際，在沒有匣子 232時會立即發報錯誤。當該載置作業完成時，台車140會 再次從儲科器234朝搬運目的地之處理装置32、34所指示 的匣子台階172、182之前移動。當自動搬運車38到達時會 K與之前相反的顒序將移載台150上的適當匣子232置放在 被指示的匣子台階172、182上。自動搬運車38在將適當的 匣子232置放在被指示的自匣子台階172、 1S2上之前，會 透過對自動搬運車通信單元174在匣子台階172、182上確 認是否存在有弄錯的匣子232 。接著在存在有弄錯的匣子 2 3 2 時就立即發報錯誤。此乃根據因匣子232基於來自處 理裝置32、34之匣子台階172、182的空資訊而被蓮來，所 K其他的匣子232位於同一台階上為異常狀態的判斷者。 當被指示之所有的作業皆完成時自動搬運車控制器60會透 過通信電纜58對主電腦50進行作業完成報告。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 利用自動搬運車38對適當匣子232之處理装置32、34完 成投入作業之後，主電腦50，會透過通信電纜58對處理裝 置32、34指示預定處理之開始。 最後就來自手動用入口埠260之入庫和來自手動用出口 埠262之出庫的方法（3)加Μ敘述。 作業者在將匣子232入庫於儲料器234内時，苜先會將匣 子232置於手動用人口埠260内且操作作為儲科器234之一 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210Χ297公釐） _ ! 7 _ 407131 Λ7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明 (J r- 1 1 部分 的 操 作 面 板 121。利用該操作可知匣子232被 置 放在 手 1 1 | 動用 入 P 埠 260 內的儲料器234 係利用 ID卡 讀 寫裝 置 1 1 270 讀 取 適 當 匣 子232 之 ID 卡 240 的 資訊。 接 著 f 將該 資 請 1 1 料透 過 通 信 電 纜 58向主 電 腦50報告 〇 主電腦 50係 依 此而 得 閱 讀 1 Λ 背 Ί I 知作 業 者 運 來 匣 子232 之 情況。主 電 腦50不 會 感 知 儲料 器 之 1 注 ,[ 234内的匣子232 之充足狀況而會對儲料器23 4送 出 該匣 子 意 事 項 1 | 232 之 入 庫 的 作業指 示 。但是， 可 使用的 手 動 用 入口 埠 再 填 1 寫 裝 1 2 6 0係每次在處理裝置3 2、 34上決定 >該資料可預先透過 本 頁 輪入 機 構 54而 提 供給主 電 腦50。按 照 透過通 信 電 m 58所 送 1 1 來的 該 入 庫 作 業 指示， 儲 料器控制 器 6 4係在 確 保 儲 料器 架 1 | 96上 之 收 納 場 所 之後開 始 著手作業 0 在無法 確 保 收 納場 所 1 訂 時， 儲 料 器 控 制 器64， 就 不會著手 作 業而原 狀 等 待 在收 納 1 I 場所 發 生 空 位 者 。已著 手 於入庫作 業 指示的 儲 料 器 234 t 1 1 係使 用 儲 料 器 起 重機80將 手動用入 □ 埠260 上 之 週 當匣 子 1 1 232 朝 被 確 保 之 儲料器 架 96上的收 納 場所運 送 〇 已 完成 被 1 指示 之 作 業 的 儲 料器234 ，會對主 電 腦50進 行 作 業 完成 報 1 | 告。 以 此 就 可 依 作業者 完 成入庫作 業 0 1 1 I 繼 而 就 將 被 收 納在儲 料 器234的 匣 子232 經 由 手 動用 出 1 1 口埠 262 向 作 業 者之手 邊 交出的方 法 加Μ說 明 〇 例 如就 從 J 1 自動 搬 運 車 38所 未具備 的 儲料器234至處理裝置32、 34之 1 A 1 匣子 投 入 加 以 考 慮。處 理 裝置32、 34會透過 通 信 電 纜58向 1 I 主電 腦 50進 行 匣 子投入 要 求。主電 腦 50會搜 尋 在 儲 料器 1 1 1 234 上 是 否 有 可 處理的 匣 子 2 3 2 ， 若 有時就 移 至 出 庫作 業 1 1 上。 若 沒 有 時 適 當的處 理 前匣子會 被 入庫於 儲 料 器 23 4内 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨0X 297公釐） 407131 A7 ---—---------- . 五、發明説明（i 6) 。處理装置32、34會依其形式一次要求複數個匣子232。 在複數個要求被進行時來自下述所示的儲料器234之出w 作業可只Μ其匣子之個數反覆進行。 已移至出庫作業之主電腦50’係按照已進行投入要求的 處理裝置32、34選擇有複數個之手動用出口璋262中之一 個’且將至該處之出庫作業指示透過通信電嫌58對儲料器 234送出。在此可使用的手動用出口増262，係與自動搬運 車用出口漳252 同樣，每次在處理裝置32、34中決定。 該資料係預先透過輪入機構54提供給主電腦5〇。已接受此 之儲料器234，係使用儲料器起重櫬80將適當的匣子232蓮 送至手動用出口埠262。又，在儲料器234之操作面板121 上進行許可手動用出口埠262 上的適當匣子232之取出的 顯示。看到此的作業者，會從手動用出口埠262取出適當 匣子232 ，且操作操作面板121對儲料器234通知取出作 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 業完成之情況。接受此Κ判斷儲料器234已完成出庫作業 ，並透過通信電纜58對主電腦50進行該完成報告。已取出 匣子232之作業者，由於不知道是為已提出投入要求的處 理装置32、34或是哪一個所以會朝向主電腦50之作業者终 端櫬56調査其資訊。之後，將匣子232朗該處理裝置32、 34之遴當匣子台階172、182蓮送。 但是，在習知之半導體晶圓匣搬運装置230中，有如Κ 下的問題點。 在有來自處理裝置32、3 4之退出要求的匣子個數比可載 置於自動搬運車用入口埠254的匣子個數多時，超過該匣 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X29"/公t ) 407131 Λ7 B7 五 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 發明説明（1 7) 子個數之處理後匣子f被殘留在處理裝置32、34之匣子台 階172、182上者。因而，在該匣子232之搬運作業等待時間 變長的同時匣子台階172、182之空位會變延遲。因此至處 理前匣子之處理裝置32、34的供給上須花費時間。 儲料器234係透遇自動搛蓮車用入口交接埠104 、自動 搬運車用出口交接埠100 、儲科器間搬運裝置用璋98、手 動用入口埠260 、及手動用出口埠262而被解放在周圍之 環境裡。因此，灰塵或露氣會侵入於儲料器234内，且會 附著在被保管的匣子232内之晶圓70上而有帶給不良影響 的可能性。 在醏料器234之自動搬蓮車用人口埠254之匣子232的 方向和在自動搬運車用入口交接埠104之匣子232的方向 係相差90度p因此，前進移動装置250必需在作桊中途進 行匣子232之旋轉作業。 在來自處理裝置32、34之投人要求的匣子單位比可載置 於自動搬運車用出口埠252上的匣子個數多時，超過該匣 子個數的匣子232，會成為後纘之搬運作業的對象。因此 ，位於處理裝置32、34之匣子台階172、182之先到達的匣 子232 ，在後續匣子232到來之前不會進行處理装置32、 34之處理開始而會等待。 在儲料器234之自動搬運車用出口埠252之匣子232的 方向和在自動搬運車用出口交接埠100之匣子232的方向 相差90度。因此，前進移動裝置250必箱在作業中途進行 匣子232之旋轉作業。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ---1.--I,---裝------訂 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 20 Λ7 407131 B7 五、發明説明（丨S) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 被置於手動用人口埠260和手動用出口埠262之匣子232 的ID卡240並未朝向作業者作業面。因此，作業者，要確 認被置於同埠上的匣子232為哪個是很困難的。 在每一處理裝置32、34上可使用的手動用入口埠260會 被決定。因此，在手動用入口埠260有複數個時，因處理 裝置32、34之各自的裝置能力及工作狀況而會在手動用出 口埠262之使用混合狀況中發生不均等。 在從處理裝置32、34被要求投入的匣子之個數比可載置 於手動用出口埠262上的匣子個數多時，超過該匣子個數 的匣子會成為後壤之出庫作業的對象。因此作業者之作業 效率會降低。 在從手動用出口埠262取出匣子232時，作業者不知道 要運至哪一個處理装置32、3 4上才可。因此，作業者，為 了獲得該資訊就由必要朝主電腦50之作業者終端機56行進 而會浪費作業者時間。 〔發明之摘述〕 本發明為了解決該等問題點而成者。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 本發明之目的係在於提高一種作業者之作業效率佳的半 導體晶圓匣搬運装置者。 另一目的係在於提供一種在手動用入口埠之使用混合狀 況中不會發生不均等的半導體晶圓匣搬運裝置者。 更另一目的，係在於提高處理裝置之作業效率者。 更另一目的，係在於改善儲料器内之半導體晶圖匣保管 瑁境者。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X 297公釐） -21 - 407131 Λ7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明 (1 3 )_ 1 I 更 另 一 巨 的 係 在 於 簡 化 儲 料 器 之 半 専 體 晶 圓 匣 的 入 庫 1 1 | 機 構 者 〇 ，·. 1 I 更 另 一 巨 的 係 在 於 簡 化 儲 料 器 之 半 導 體 晶 圓 匣 的 出 庫 請 先 1 1 | 機 構 者 0 ih 背 1 ，ί 面 | 更 另 —- 巨 的 係 在 於 作 業 者 可 容 易 確 認 被 置 於 手 動 用 1 意 | 入 口 埠 及 手 動 用 出 □ 埠 上 之 半 導 體 晶 圓 匣 的 種 類 者 〇 事 項 1 | 再 ! 依 本 發 明 之 某 一 局 面 的 半 導 體 晶 圓 匣 搬 運 裝 置 包 含 有 填 寫 本 裝 : 儲 料 器 用 收 納 複 數 個 半 導 體 晶 圓 匣 者 : 處 理 裝 置 9 頁 1 I 用 Μ 向 半 導 體 晶 圓 匣 施 行 處 理 者 白 動 搬 蓮 車 用 以 進 行 1 1 儲料 器 和 處 理 裝 置 間 之 間 之 半 導 體 晶 画 匣 的 搬 運 作 業 者 1 1 儲 料 器 間 搬 運 裝 置 在 搬 蓮 處 之 儲 料 器 和 搬 運 巨 的 地 之 儲 訂 料 器 之 間 用 Κ 進 行 半 導 體 晶 圓 匣 之 搬 運 作 業 者 kk 及 主 電 1 1 腦 用 以 進 行 儲 料 器 儲 料 器 間 搬 運 裝 置 、 白 動 搬 運 車 及 1 1 I 處 理 裝 置 之 控 制 者 其 中 儲 料 器 包 含 有 依 作 業 者 用 Μ 進 行 1 1 之 半 導 體 晶 圓 匣 之 出 庫 的 手 動 用 出 Ρ 埠 可 置 於 手 動 用 出 1 、一 口 埠 上 之 半 導 體 晶 圓 匣 的 個 數 係 以 處 理 裝 置 一 次 要 求 之 半 1 1 導 體 晶 圓 匣 的 個 數 之 鼷 係 而 被 決 定 者 0 1 1 在 本 發 明 之 半 導 體 晶 圓 匣 搬 運 裝 置 中 可 置 於 手 動 用 出 1 1 1 P 埠 上 之 半 導 體 晶 圓 匣 的 個 數 係 Η 處 理 裝 置 一 次 要 求 之 半 1 1 導 體 晶 圓 匣 的 個 數 之 關 係 而 決 定 〇 因 此 作 業 者 可 一 次 運 1 1 送 處 理 装 置 一 次 要 求 之 半 導 體 晶 圓 匣 且 可 提 高 作 業 者 之 1 1 作 業 效 率 〇 1 I 較 佳 者 為 上 述 儲 料 器 更 進 一 步 包 含 有 依 作 業 者 用 以 1 1 I 進 行 半 導 體 晶 圓 匣 入 庫 的 手 動 用 入 □ 埠 可 置 於 上 述 手 動 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -22 - 407131 Λ7 經濟部中央標準局員工消費合作社印策 五、發明説明（2 〇) 用 入 P 埠 上 的 半 専 體 晶圓匣之個數為2個 0 在 本 發 明 之 半 導 體 晶 圓 匣 搬 運 裝 置 中 9 可 置 於 手 動 用 出 口 埠 上 之 半 導 體 晶 圓 匣 的 個 數 係 為 作 業 者 所 易 於 運 送 的 請 先 閱 讀 背 2個（ >因此， 至儲料器之入庫作業的作業會變佳 。伴此 ， 就 不 會 在 手 動 用 入 □ 掸 之 使 用 混 合 狀 況 中 發 生 不 均 等 0 意 較 佳 者 為 手 動 用 入 P 埠 和 處 理 裝 置 亦 可 不 被 對 應 〇 事 項 再 在 本 發 明 之 半 専 體 晶 圓 匣 搬 運 裝 置 中 在 某 —. 處 理 裝 置 填 的 马 本 裝 中 可 處 理 匣 子 亦 可 從 任 * 個 手 動 用 入 口 埠 中 入 庫 〇 因 頁 1 此 不 會 在 手 動 用 入 Ρ 埠 之 使 用 混 合 狀 況 中 發 生 不 均 等 0 1 1 較 佳 者 為 上 述 儲 科 器 更 進 一 步 包 含 有 自 動 搬 運 車 1 1 用 入 □ 埠 依 自 動 搬 運 車 用 Μ 進 行 前 述 半 導 體 晶 圓 匣 之 入 1 訂 庫 者 Μ 及 動 搬 蓮 車 用 出 □ 埠 依 白 動 搬 運 車 用 Μ 進 行 1 I 前 述 半 導 體 晶 圓 匣 之 出 庫 者 9 可 置 於 白 動 搬 運 車 用 入 Ρ 埠 1 1 上 之 半 導 體 晶 圓 匣 的 個 數 係 Μ 處 理 裝 置 一 次 要 求 排 出 之 半 1 1 導 體 晶 圓 匣 的 個 數 之 m 係 而 被 決 定 而 白 動 搬 蓮 車 可 一 次 1 搬 運 之 半 導 體 晶 圓 匣 的 個 數 亦 可 Μ 可 置 於 i 動 搬 運 車 用 入 1 | 口 埠 上 的 半 導 體 晶 圓 匣 之 個 數 及 可 置 於 白 動 搬 運 車 用 出 Ρ 1 I 埠 上 的 半 導 體 晶 圓 匣 之 個 數 之 關 係 而 被 決 定 〇 1 1 I 在 本 發 明 之 半 等 體 晶 圓 匣 搬 蓮 裝 置 中 處 理 装 置 所 要 求 1 投 入 之 半 導 體 晶 圓 匣 的 個 數 Λ 和 可 載 置 於 白 動 搬 運 車 出 Ρ 1 1 埠 上 的 匣 子 個 數 係 在 於 預 定 的 關 係 上 〇 因 此 依 白 動 搬 運 I I 車 就 可 進 行 有 效 率 的 搬 運 進 而 提 高 處 理 裝 置 之 作 業 效 率0 ! 1 依 本 發 明 之 另 — 局 面 的 儲 料 器 其 為 半 導 體 晶 圓 匣 搬 運 1 1 1 裝 置 所 使 用 之 儲 料 器 包 含 有 儲 料 器 用 收 納 複 数 個 1 1 表紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 0 2 407131 kl B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 五、發明説明 (2 1 ) 1 1 半 専 體 晶 圓 匣 者 處 理 裝 置 用 Μ 向 半 導 體 晶 圓 匣 施 行 處 1 1 I 理 者 白 動 搬 蓮 車 用 Μ 進 行 儲 料 器 和 處 理 裝 置 間 之 間 之 1 | 半 導 體 晶 圓 匣 的 搬 運 作 業 者 儲 料 器 間 搬 運 裝 置 在 搬 運 請 先 Μ 1 1 I 處 之 儲 料 器 和 搬 運 百 的 地 之 儲 料 器 之 間 用 進 行 半 導 體 晶 讀 背 Τ& 1 圓 匣 之 搬 運 作 業 者 Μ 及 主 電 腦 用 以 進 行 儲 料 器 儲 料 1 .\ 意 I 器 間 搬 運 裝 置 % 白 動 搬 運 車 及 處 理 裝 置 之 控 制 者 且 包 含 項 1 | k 1 有 儲 料 器 間 搬 運 裝 置 用 埠 依 儲 料 器 間 搬 運 裝 置 用 進 填 寫 本 裝 行 半 導 體 晶 圓 匣 之 入 出 庫 者 白 動 搬 蓮 車 用 入 Ρ 埠 依 頁 1 I 動 搬 運 車 用 Μ 進 行 半 導 體 晶 圓 匣 之 入 庫 者 白 動 搬 蓮 車 用 I 1 出 P 埠 依 白 動 搬 運 車 用 Κ 進 行 半 導 體 晶 圓 匣 之 出 庫 者 * 1 1 手 動 用 埠 依 作 業 者 用 Μ 進 行 半 導 體 晶 圓 匣 之 入 出 庫 者 * 1 訂 第 一 遮 蔽 門 被 設 在 儲 料 器 間 搬 蓮 裝 置 用 埠 上 者 第 二 遮 1 I 蔽 門 被 設 在 白 動 搬 運 車 用 入 0 埠 上 者 第 三 遮 蔽 門 9 被 1 1 I 設 在 自 動 搬 蓮 車 用 出 Ρ 埠 上 者 及 第 四 遮 蔽 門 被 設 在 1 1 手 動 用 埠 上 者 〇 I 在 本 發 明 之 儲 料 器 中 設 置 有 用 Μ 防 止 在 儲 料 器 內 部 混 i 1 入 灰 塵 或 霧 氣 的 遮 蔽 門 〇 因 此 可 改 善 儲 料 器 內 之 半 導 體 1 I 晶 圓 匣 保 管 環 境 0 1 1 I 依 本 發 明 之 另 一 局 面 的 半 導 體 晶 圓 匣 搬 運 装 置 其 為 半 1 1 導 體 晶 圓 匣 搬 運 装 置 所 使 用 之 儲 料 器 包 含 有 儲 料 器 ί 用 K 收 納 複 數 個 半 導 體 晶 圆 匣 者 處 理 裝 置 用 以 向 半 導 1 1 體 晶 圓 匣 施 行 處 理 者 自 動 搬 運 車 用 進 行 儲 料 器 和 處 1 I 理 裝 置 間 之 間 之 半 導 體 晶 圖 匣 的 搬 運 作 業 者 儲 料 器 間 搬 I 1 I 運 裝 置 f 在 搬 蓮 處 之 儲 料 器 和 搬 運 百 的 地 之 儲 料 器 之 間 用 1 1 本紙張尺度適用中國國家標隼（CMS ) A4規格（210X 297公釐） 407131 Λ7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明 (22 ) 1 1 1 以 進 行 半 専 體 晶 圓 匣 之 搬 運 作 業 者 Η 及 主 電 腦 9 用 Μ 進 1 1 I 行 儲 料 器 儲 料 器 間 搬 蓮 裝 置 白 動 搬 運 車 及 處 理 裝 置 之 1 I 控 制 者 在 半 導 體 晶 固 匣 上 連 接 有 用 記 憶 資 料 的 ID卡 請 先 1 1 閱 1 f ID卡 為 了 進 行 資 科 之 發 送 而 包 含 有 被 配 置 在 底 面 的 發 送 讀 背 & > 部 儲 料 器 包 含 有 手 動 用 埠 依 作 業 者 用 Μ 進 行 半 導 體 IE7 1 意 i I 晶 圓 匣 之 人 出 庫 者 Μ 及 ID卡 謓 寫 裝 置 與 ID卡 相 對 配 置 事 項 1 | 1 9 用 Μ 進 行 資 料 之 發 送 者 0 填 本 裝 在 本 發 明 之 半 導 體 晶 圓 匣 搬 運 裝 置 中 在 ID卡 之 底 面 設 頁 1 I 有 發 送 部 〇 随 之 可 在 儲 料 器 内 部 埋 置 ID卡 讀 寫 裝 置 且 1 1 由 手 動 用 埠 入 出 庫 半 導 體 晶 圓 匣 之 際 9 不 會 造 成 ID卡 謓 寫 1 1 裝 置 之 礙 0 因 此 可 簡 化 至 儲 料 器 之 半 導 體 晶 圓 匣 的 入 1 訂 庫 機 構 0 又 可 簡 化 來 自 儲 料 器 之 半 導 體 晶 圓 匣 的 出 庫 機 1 I 構 0 更 進 一 步 作 業 者 可 容 易 確 認 被 置 於 手 動 用 埠 上 的 1 1 I 半 導 體 晶 圓 匣 之 種 類 0 1 1 C 圖 式 之 簡 單 說 明 ] 1 圖 1為半導體晶圓匣搬運裝置30之鳥瞰圖c 、 1 1 圖 2為半導體晶圆匣搬運裝置30之鳥瞰圖< ) 1 I 圖 3 A 3C 為說明半導體晶圓匣40和ID卡72的圖 1 1 1 圖 4為從自動搬浬車側面觀看儲料器36的圖 > J 1 圖 5為從作業者側面觀看儲料器36的圖 ) 1 圖 6為說明儲料器36之手動用出口埠的圖 > 1 1 圖 7A為 說 明 從 自 動 搬 運 車 側 面 所 觀 看 的 儲 料 器 內 之 匣 子 1 | 收 納 場 所 的 圖 〇 1 I 圖 7B為 說 明 從 作 業 者 側 面 所 觀 看 的 儲 料 器 内 之 匣 子 收 納 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 25 407131 Β7 五、發明説明（23 ) 場所的圖。 圖8為自動搬運車38之外觀圖。 圔9為儲料器間搬運裝置42之外觀圖。 圖10為處理裝置32之外觀圖。 圖11為處理裝置34之外觀圖。 圖12為從自動搬運車側面觀看儲科器190的圖。 圖13為從作業者側面觀看儲料器190的圖。 圖14為說明儲料器190之手動用出口埠的圖。 圖15為習知之半導體晶圓匣搬蓮裝置230的鳥瞰圖。 圖16為習知之半専體晶圓匣搬運裝置2 30的鳥瞰圖。 圖17A’〜17C為說明半導體晶圓匣230和ID卡240的圖。 圖18為從自動搬運車側面觀看儲料器234的圖。 圖19為從作業者側面觀看儲料器234的圖。 圖20為說明儲料器234之手動用出口埠的圖。 〔較佳實施例之說明〕 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 參照圖1至圖2作為本發明之實施例之一的半導體晶圓匣 搬運裝置30，包含有：與習知相同的處理裝置32及34、新 的儲料器36、與習知相同的自動搬運車38、K及與習知相 同的儲料器間搬運装置42。在與習知相同的處理裝置32及 34上有提供某儲料器36以作為該等之處前和處理後之匣子 40的收納場所。2台自動搬運車38係從事於該等之間的搬 運作業。又，儲料器間搬運装置42在該圖中雖係Μ中途切 斷來表示但是卻係Μ周画旋轉運行著，且有複數個儲料器 36設置在其周圍上。即使對於其他的儲料器36而言亦存在 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） -26 - 407131 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明 ( 2 4 1 1 I 著 各 白 成 組 的 處 理 裝 置 32 ' 34和 白 動 搬運 車 38 〇 1 1 | 半 導 體 晶 圓 匣 搬 運 裝 置30 ，更 進 一 步包 含 有 與 習 知 相 r—^ I I 同 的 主 電 腦 50 其 主 機 52 ； 其輸 入 機 構54 其 作 業 者 终 端 請 1 1 | 機 56 • 各 白 連 结 主 電 腦 50和 處理 裝 置 32 ^ 34 儲 科 器 36及 讀 背 1 f 白 動 搬 運 車 38 且 連 结 儲料 器36和 白 動搬 運 車 38的 通 信 電 回 1 J· 意 1 I 纜 58 與 習 知 相 同 的 儲 料器 控制 器 64 ;與 習 知 相 同 的 S 動 事 項 1 1 I— 搬 運 車 控 制 器 60 Μ 及 與習 知相 同 的 儲料 器 間 搬 運 装 置 控 導 本 裝 制 器 66 〇 在 該 ΙΒ1 _ 中 白 動 搬運 車控 制 器 60和 白 動 搬 運 車 38之 頁 1 I 通 信 雖 係 經 由 控 制 局 側 通信 單元 62M 無媒 進 行 t 但 是 亦 可 1 1 Μ 有 線 來 進 行 〇 1 1 參 照 圖，3 就由半導體晶圓匣搬運裝置30所搬運的半導 1 訂 體 晶 圓 和 其 匣 子 及 ID卡加 K說 明 0 晶圓 70和 匣 子 40係 與 1 I 習 知 相 同 的 晶 圓 及 匣 子 。ID卡72雖 包 含有 與 習 知 相 同 的 顯 1 I 示 部 74和 通 信 部 76 但 是通 信部 76並 非備 附 在 ID卡 72之 正 1 1 面 上 而 是 備 附 在 其 底 面 0 1 下 Μ 圖 進 行 有 HB 關 本實 施形 態 之 半導 體 晶 圓 匣 搬 運 裝 1 1 置 30 之 構 成 要 素 的 詳 细 說明 〇 1 I 參 昭 八、、 圖 4至圖6 就 儲 料器 36加 kk 說 明° 圖 4至圖5 係 如 1 1 I 可 看 到 儲 料 器 36 之 内 部 構造 般， 將 儲 料器 面 板 94之 一 部 分 1 ] 予 VX 切 除 而 描 繪 者 〇 1 i 儲 料 器 36包 含 有 儲 料器 架96 儲 料器 間 搬 運 裝 置 用 埠 1 1 98 手 動 用 入 Ρ 埠 116' >手動用出口埠1 18 白 動 搬 運 車 用 1 | 出 Ρ 埠 86 白 動 搬 運 車 用出 口交 接 埠 100、 自動搬運車用 1 I 入 Ρ 埠 88 、 自 動 搬 運 車 用入 口交 接 埠 104 Λ 儲 料 器 起 重 機 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS )从見格（210χ歷楚） 407131 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（2：i )) 1 1 80 Λ 移 載櫬δ2 前 進 移動 裝 置 84及對自 動搬 運 車 通信 單元 1 1 | 102 0 1 I 儲 料 器起重 機 80 移載 4嫌 慨 82 及前進 移動 裝 置 8 4係 各自 請 先 Μ 1 1 1 進 行 1匣子、2匣 子 Λ 1匣子單位之搬運作業 >可載置於儲 讀 背 1 料 器 間 搬運裝 置 用 埠 98 ' 手 動 用 入口埠 116 手 動用 出口 之 注 1 意 I | 埠 118 '自動 搬 運 車 用出 D 交 接 埠100 、自 動 搬 運車 用人 事 項 1 I 1 P 交 接 埠104 、 白 動 搬運 車 用 出 口埠86及自 動 搬 運車 用入 填 • 寫 本 裝 □ 埠 88上的匣 子 個 数 係各 白 為 2匣子、2匣子 1匣子， ' 1匣 頁 1 I 子 1匣子、1 匣 子 1匣子< ) 1 1 前 進 移動裝 宣 84 9 與習 知 相 同 準備有 2台（ >伴随著自動 1 1 搬 運 車 用’出口 埠 86 自動 搬 運 車 用人口 埠88 動搬 運車 1 訂 用 出 □ 交接璋 100 、 及自 動 搬 運 車用入 口交 接 埠 104 ，各 1 I 備 附 有 2個。又 手動用入口埠1 16雖為 1個 但是手動用 1 1 1 出 □ 埠 118備 附 有 2個。 1 1 如 圖 6所示 在手動用出口埠1 18上安 装有 ID卡 謓寫 裝置 1 120 0 在手動 用 入 α 埠116 上 當 然與習 知相 同 備 附有 ID卡 1 1 讀 寫 裝 置 120 ( >在該儲科器36的情況，使用4 個 ID卡讀 寫裝 1 I 置 120 。但是 其 安 裝 方向 與 習 知 不同。 由於 ID卡 通信 部76 1 1 1 位 於 ID卡72的 底 面 所 以可 將 ID卡 讓寫裝 置120 安 裝在 匣子 ] 1 承 接 器 具130 下 〇 因 此， ID卡 72的正面 可朝 向 作 業者 之作 1 1 業 面 〇 儲料器 起 重 機 80， 與 習 知 相同無 法變 更 匣 子40的方 1 1 向 〇 因 此，在 儲 料 器 架96的 匣 子 40之方 向係 成 為 與在 手動 1 I 用 入 P 埠116 的 方 向 相同 0 被 置 於自動 搬運 車 用 出口 埠86 1 1 及 白 動 搬運車 用 入 □ 埠88上 的 匣 子40之 方向 係 與習 知相 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -28 407131 Λ7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（26 ) 1 1 同 為 白 動 搬 運車 38所 易 於 移 載 的 方 向 0 因 而 被 裝 接 的 ID 1 1 卡 7 2係 為 朝 向自 動 搬 運 車 之 作 業 面 的 方 向 0 因 而 成 為 與 被 1 1 置 於 作 為 儲 料器 架 96之 __· 部 分 的 i 動 搬 運 車 用 出 交 接 埠 ^-V 請 1 1 先 1 100 及 白 動 搬運 車 用 入 □ 交 接 埠 104 上 的 匣 子 40 之 方 向 相 閲 讀 J 同 0 因 此 儲料 器 36在 前 進 移 動 裝 置 84之 匣 子 40的 移 動 作 1 業 中 就 不 需 要如 晋 知 般 地 將 匣 子 40的 方 向 變 更 90度 〇 意 事 is 1 1 1 參 眧 八、、 圖 4及圖5 儲 料 器 36 更 進 一 步 包 含 有 : 白 動 搬 運 車 再 4 1 用 埠 外 遮 蔽 門90 可 上 下 動 且 用 K 保 持 位 於 自 動 搬 運 車 用 % 本 頁 裝 1 出 口 交 接 埠 100 和 i 動 搬 運 車 用 入 P 交 接 埠 104 之 外 側 的 1 I 氣 密 性 以 及自 動 搬 運 車 用 埠 内 遮 蔽 門 92 可 上 下 動 且 用 1 I Μ 保 持 位·於 自動 搬 運 車 用 出 □ 交 接 埠 100 和 白 動 搬 運 車 用 1 1 訂 入 Ρ 交 接 埠 104 之 内 側 的 氣 密 性 〇 1 在 該 圖 中 ，.雖 係 僅 就 被 安 裝 在 一 方 之 白 動 搬 運 車 用 出 □ 1 1 交 接 埠 100 及自 動 搬 運 車 用 入 □ 交 接 埠 104 之 内 外 的 自 動 1 1 搬 運 車 用 埠 内遮 蔽 門 92及 白 動 搬 運 車 用 埠 外 遮 蔽 門 90加 VX 1 W 顯 示 但 是 亦可 在 另 一 方 的 動 搬 蓮 車 用 出 P 交 接 埤 100 1 I 及 動 搬 運 車用 入 P 交 接 埠 104 之 内 外 備 附 有 同 樣 的 g 動 1 1 搬 運 車 用 埠 内遮 蔽 門 92及 白 動 搬 運 車 用 埠 外 遮 蔽 門 90 0 儲 1 1 料 器 36 更 進 一步 包 含 有 手 動 用 埠 外 遮 蔽 門 114 及 手 動 用 J 1 埠 内 遮 蔽 門 112 0 手 動 用 埠 外 遮 蔽 門 114 及 手 動 用 埠 內 遮 1 蔽 門 112 為 同樣 用 以 保 持 儲 料 器 36之 氣 密 性 且 可 上 下 動 的 1 I I 門 〇 手 動 用 埠外 遮 蔽 門 114 >係位於手動用入口埠1 1 6或 手 1 1 動 用 出 Ρ 埠 1 1 8之外側 ，手動用埠内遮蔽門1 12為 位 於 手 動 1 1 用 入 Ρ 埠 116或手動用出口埠1 18 之 内 側 的 手 動 用 埠 内 遮 蔽 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -〇9 - 407131 Λ7 B7 經濟部中央標隼局員工消費合作社印製 五、發明説明（27) 1 1 門 〇 1 1 I 在 該圖 中雖係 僅 就 手動 用入 P 埠 116 加 Μ 顯 示 但 是 即 1 I 使 有 關具 有2個手動用出口埠1 18 亦 各 白 同 樣 備 附 有 該 等 請 先 1 1 1 的 遮 蔽門 〇 讀 背 1 面 I 儲 料器 36更進 一 步 包含 有： 位 於 儲 料 器 間 搬 運 裝 置 用 埠 1 J- 意 1 I 98之 外側 的儲料 器 間 搬運 裝置 用 埠 外 遮 蔽 門 122 Μ 及 髂 事 項 I 1 再 1 料 器 間搬 運裝置 用 埠 内遮 蔽門 110 〇 儲 料 器 間 搬 運 裝 置 用 填 遮蔽 寫 本 裝 埠 外 門122 及 儲 料器 間搬 運 裝 置 用 埠 内 遮 蔽 門 110 9 頁 1 亦 為 用Μ 保持儲 料 器 36之 氣密 性 的 門 0 儲 料 器 間 搬 運 裝 置 1 1 用 埠 外遮 蔽門1 2 2 係 位於 儲料 器 間 搬 運 装 置 用 埠 98之 外 側 1 1 〇 儲 料器· 間搬運 裝 置 用埠 内遮 蔽 門 110 係 位 於 儲 料 器 間 搬 I 訂 運 裝 置用 埠98之 内 側 0 1 I 儲 料器 間搬運 裝 置 用埠 98係 可 打 開 儲 料 器 間 搬 運 裝 置 用 1 1 1 埠 外 遮蔽 門122 且 利 用儲 料器 間 搬 浬 裝 置 用 升 降 機 124 予 1 1 Μ 上 升下 降者。 儲 料 器間 搬運 裝 置 用 埠 外 遮 蔽 門 122 係 移 1 k- 動 於 水平 方向， 而 儲 料器 間搬 運 装 置 用 掸 内 遮 蔽 門 110 係 1 1 移 動 於上 下方向 〇 移 載機 82可 利 用 儲 料 器 間 搬 運 裝 置 用 升 1 I 降 機 124 對位於 上 升 位置 的儲 料 器 間 搬 蓮 裝 置 用 埠 98進 行 1 1 I 作 業 ，反 之儲料 器 起 重機 80可 對 位 於 下 降 位 置 的 同 埠 進 行 1 1 作 業 0 1 r 圖 Ί k、 7B係顯 示 圖 4至圖6中 所 示 之 儲 料 器 36的 收 納 場 所 1 1 者 f 圖7 A為看到 白 動 搬運 車作 業 面 的 儲 料 器 36之 收 納 場 所 1 1 ， 圖 7B為 從作業 者 作 業面 觀看 的 儲 料 器 36 之 收 納 埸 所 0 又 1 1 I 1 nai 画 中從 STK01 至 STK04 為儲 料 器 單 元 Ho • 且 分 m 成 容 易 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X 297公f ) 30 經濟部中央標準局員工消費合作社印策 術131 Μ Β7五、發明説明（^) 處理儲料器36之收納場所的管理單位者。從Τ01至Τ07為儲 料器架96的架子No.，係顯示横列的位置。從Ρ01至Ρ04為 位置No.，係顯示每一儲料器單元的縱列位置。 參照圖8*自動搬運車38包含有：台車140，受貼附在地 板上的感應帶156導引而行走者；搬運車側通信單元142, 在與自動搬運車控制器60之控制局側通信單元62之間進行 資訊之交換者；機器臂144、機器手146及機器手爪148， 各自用以進行匣子40之移載作業者；4個移載台150，在行 走作業中預先以縱放姿勢保持從處理裝置32及34或儲料器 36中取人的匣子40者；操作面板152 ，在與作業者之間進 行資訊之> 換者；Μ及緩衝板154 ，用Μ檢知障礙物K使 執行中之作業停止者。 自動搬運車38雖係作為由感應帶156所導引的無軌道式 機器人但是亦可為軌道式機器人。又，亦可為未持有移載 台150而在機器手爪148上，Μ抓住匣子40之狀態從搛蓮 處搬運至搬運目的地之形式的機器人。再者亦可為具備如 可一次移載複數個匣子40的機器手146者。 參照圖9，儲料器間搬運裝置42包含有：行走軌道160， 成為環形狀者；台車162 ，Κ單方向（圖中箭號方向）移 動於行走軌道160上，且最大搬運2個之匣子2者；Μ及懸 吊金鼷器具164»將行走軌道160安裝在天花板上者。 參照圖10，處理裝置32包含有：主機170，W每1片或複 數片對晶圓70施行半導體積體電路之製造處理者；2個匣 子台階172，以每1匣子單位收納懕處理之匣子40者；自動 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝 、-° Λ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 31 407131 Λ7 五、發明説明（ 搬運車通信單元174，自動搬運車38在對匣子台階172置放 處理前匣子40之前確認有無弄錯的其他匣子40或在取出處 理後匣子40之前確認該匣子40是否已正確載於匣子台階 172上俾使對自動搬運車38輸出匣子台階172的狀態者。 參照圖11，處理裝置34包含有：主機180，K毎1片或複 數片對晶圓70施行半導體積體電路之製造處理者；2個匣 子台階182，K每1匣子單位收納應處理之匣子40者；自動 搬運車通信單元174，自動搬蓮車3δ在對匣子台階182 置 放處理前匣子40之前確認有無弄錯的其他匣子40或在取出 處理後匣子40之前確認該匣子40是否已正確載於匣子台階 182上俾·使對自動搬蓮車38輪出匣子台階182的狀態者。 Μ下，就對半導體晶圓匣搬運裝置30中之匣子40的儲料 器36之入庫控制方法大致區分如下三種加Μ說明，（1)從 處理裝置32、34將處理後匣子40收納於儲料器36内的作業 ;(2)從搬運處儲料器36將匣子40運至搬運目的地儲料器 36内的作業；Κ及（3)從手動用入口埠116對儲料器36入 庫的作業。 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 首先就從處理裝置32、34將處理後匣子40收納於儲料器 36内的作業（1)加Μ敘述。主電腦50預先將可收納於由輸 入機構54所輸入之各儲料器36的儲料器架96内的匣子40之 最大數當作儲料器容量而予Μ記憶。當將匣子40收納於儲 料器36内時，主電腦50藉由從該數減去要收納的匣子40之 數Μ進行有無儲料器36之空位的判斷。如此由於主電腦50 進行儲料器36之空位管理•所Μ脯料器36會如習知所示不 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) 規格（210Χ 297公趋） -32 - 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 Λ7 B7 五 '發明説明（：i0) 需要將自動搬連車用入口埠88或儲料器間搬運裝置用埠98 之空位向主電腦50報告。 與習知相同，處理装置32、34透過通信電纜58對主電腦 50完成處理之後會要求匣子40之交換。在此，即使如圖10 和圖11所示*處理裝置32、34依其形式有時要求退出成1 匣子簞位或要求退出複數涸單位。已接受該退出要求的主 電腦50，會從前述儲料器容量中減去被要求的匣子數且移 至使用自動搬蓮車38的搬運作業。當已減去之结果變成負 數時，主電腦50會判斷無法收納匣子40而不移至使用自動 搬蓮車38的搬蓮作業。輿習知相同，會對複數個處理装置 32、34之’各個被分別分派一個自動搬運車用入口埠88，該 分派資訊，被預先提供給主電腦50。此時*例如來自處理 裝置32、34之退出要求即使是Μ 2匣子單位進行，在自動 搬蓮車用入口埠88上亦只有一個匣子40之載置場所。因此 主電腦50必需將1匣子單位之搬運作業指示送至自動搬運 車38上。 接收來自主電腦50之1匣子之搬運作業指示的自動搬運 車控制器60，與習知相同將處理裝置32、34之匣子台階 172、182上的適當匣子40運至儲料器36的自動搬運車用入 口埠88上。當被指示之所有的作業完成時自動搬運車控制 器60就會將作業完成報告對主電腦50透過通信電纜58來進 行。 接受來自自動搬運車38之作業完成報告的主電腦50*係 對儲料器控制器64進行來自儲料器36之適當匣子40之自動 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公犛） ϋ I. - V ί ii - < I _ _ 士^-- - I - - I —1 - —I— n ^J. • - 0¾ 、T (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -33 - Λ7 Β7 經濟部中央標準局員工消费合作社印裝 五、發明説明（ 3J) 1 I 搬 蓮 車 用 入 □ 埠 88的 入 庫 作 業指 示 。按 照 透 過 通信 電纜 58 1 1 I 而 送 來 的 該 入 庫 作業 指 示 儲料 器 控制 器 64在 確保 儲料 器 1 1 I 架 96上 的 收 納 場 所之 後 雖 會 著手 於 作業 但 是 只 有在 異常 時 請 1 1 才 無 法 確 保 收 納 場所 之 情 況 。為 何 如此 是 因 為主 電腦 50 Pij ik 背 ! 在 著 手 於 使 用 白 動搬 運 車 38的搬 蓮 作業 之 前 會 確認 儲料 器 面 1 意 | 36之 空 位 所 致 0 無問 題 地 著 手於 人 庫作 業 的 儲 料器 36 - 與 事 XS 1 I 再 I 習 知 相 同 會 將 白 動搬 運 車 用 入口 埠 88上 的 適 當 匣子 40運 至 填 寫 本 裝 儲 料 器 架 96所 確 保的 收 納 場 所上 〇 另外 與 習 知不 同， 由 頁 1 於 在 g 動 搬 運 車 用入 Ρ 埠 88的匣 子 40之 方 向 和 在自 動搬 運 1 1 車 用 入 P 交 接 埠 104 的 匣 子 40之 方 向相 同 所 Κ前 進移 動 1 1 裝 置 8 4沒· 有 必 要 在移 動 作 業 中途 使 匣子 40 旋 轉 90度 方向 〇 1 訂 1 I 當 作 業 完 成 時 儲 料器 控 制 器 6 4會 透 過通 信 電 親 58對 主電 腦 50進 行 作 業 完 成 報告 0 Μ 上 在處 理 裝置 32 34所發 生的 處 1 1 I 理 後 匣 子 40 會 被 收納 在 儲 料 器36内 〇 1 1 接 著 就 從 儲 料 器36將 匣 子 40運 至 搬蓮 巨 的 地 儲料 器36内 1 的 方 法 (2)加Μ敘述 >當在處理裝置3 2、 34之處理完成的 1 | 匣 子 40收 納 在 儲 料器 36 內 時 ，主 電 腦50 會 將 該 儲料 器36 當 1 I 作 搬 運 處 儲 料 器 36而 從 該 匣 子40 之 次處 理 裝 置 32 - 34中 決 1 1 1 定 適 當 搬 浬 百 的 地儲 料 器 36 。主 電 腦50接 著 會 從該 搬運 巨 3 1 的 地 儲 料 器 36 之 匣子 容 量 減 去匣 子 數並 使 用 儲 料器 間搬 運 1 裝 置 42而 移 至 搬 運作 業 上 〇 主電 腦 50 - 在 已 減 去的 结果 變 1 | 成 負 數 時 會 判 斷 為無 法 收 納 且不 移 至使 用 自 動 搬運 車38的 1 I 搬 運 作 業 上 0 1 1 | 移 至 搬 運 作 業 的主 罨 腦 50 ，與 習 知相 同 透 過 通信 電孀 58 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X 297公釐） -3 4 - 407131 Λ7 B7 五、發明説明（32: 經濟部中央標準局W3C工消費合作社印聚 對齡料器間搬運裝置42送出搬蓮 設定的搬運目的地非為習知之儲 是搬運目的地儲料器36之儲料器 $蓮作業指示的儲料器間搬浬装 電纜58對搬運處儲料器36，並委 &至儲料器間搬運裝置用埠98的 器36會對適當匣子40使用儲料器 $ *且對儲科器間搬運装置控制 接受該作業完成報告的儲料器間 空台車70移動至與搬運處儲料器 當移動> 成時儲料器間搬蓮裝 運處儲料器36委託將儲料器間搬 子40對遘當空台車162予Μ移載 用移載機82移載適當匣子40，且 器66進行作業完成報告。接受該 搬運裝置控制器66，會使滿台車 器36對懕的站台上。 移動完成的儲料器間搬蓮装置 58向儲料器控制器64，委託將台 料器間搬運装置用埠98而收納在 儲料器控制器64，會在髂料器架 所。儲料器控制器64會驅使移載 器間搬運装置用埠98上，接著使 中將匣子40朝β|料器架96所確保 作業指示。依該指示而被 料器間搬運裝置用埠98而 架96的收納場所。接收該 置控制器66，會透過通信 託從適當匣子40之收納場 移動作業。被委託的儲料 起重機80Μ進行預定的作 器66進行作業完成報告。 搬運装置控制器66，畲使 36對應的站台上。 置控制器66，會再次對搬 蓮裝置用埠98上的適當匣 。被委託的儲料器36會使 對儲科器間搬運装置控制 作業完成報告的儲料器間 移動至與搬運目的地儲料 控制器66舍透過通信電纘 車162上的匣子40經由儲 儲料器架96内。被委託的 96上確保匣子40的收纳埸 櫬82將匣子40移動至儲料 用雔料器起重機80從同埠 的收納場所予以收納。儲 本紙倀尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 35 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝· i i • i·1τ · ^07181 A1 B7 五、發明説明（33) 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 料器控制器64只有在異常時才會在收納匣子40時無法確保 收納場所。為何如此*是因為主電腦50在著手於該搬蓮作 業之前會確認搬運目的地儲料器36之空位所致° 作業完成的髂料器控制器64，舍向儲料器間搬運装置控 制器66報告該要旨。接受此的儲料器間搬運裝置控制器66 會向主電腦50報告作業完成報告。K上就可完成從搬運處 儲科器36至搬運目的地儲枓器36之匣子40的搬運作業。其 次，就從手動用入口埠116至醏料器36入庫的作業（3)加 Μ敘述。作業者（未画示）在將匣子40入庫於儲料器36内 時，苜先會將匣子40置於手動用入口埠116上再操作作為 儲科器36'之一部分的操作面板121 。依該操作得知匣子40 被置於手動用入口埠116上的髂料器36*會利用ID卡讀寫 裝置120讀取記錄在逋當匣子40的ID卡72上的資訊，且會 將該資料透過通信電嫌58向主電腦50報告。 主電腦50會依此而得知作業者蓮來匣子40的情形，且從 該儲料器36之匣子容量中減去其應入庫的匣子個數以移至 使用儲料器36的搬運作業上。但是，在減去之結果變成負 數且無法將匣子40朝醏科器36收納時就不移至入庫作業上 。移至入庫作業的主電腦50與習知相同會透過通信電瀵58 將入庫作業指示送至儲料器控制器64上。按照被送來的該 入庫作業指示，儲料器控制器64在賭料器架96上確保匣子 40之收納埸所之後就著手作業。βίί料器控制器64只有在異 常時才會在收納匣子40時無法確保收纳場所。為何如此* 是因為主鬣腦50在著手於該搬運作業之前會確認搬運目的 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) • Li 裝·
、1T
V 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） 36 ^〇7lsi Λ7 B7 五、發明説明（34) 地儲料器36之空位所致。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 著手 器起重 料器架 36，係 作業就 如此 制方法 子40的 ，在收 進行收 車用入 就可進 器間的 因而 之前自 的匣子 處理裝 38之工 題。 於入庫 機80將 96上之 對主電 算完成 在半導 ，會在 最大個 納匣子 納、所 作業指示的 手動用入口 收納場所運 腦50進行作 0 體晶圓匣搬 主電腦50上 數當作儲料 之際藉由從 之確保。因 口埠88和儲料器間 行從處理裝置32、 搬運作業。 ，在自動搬運車用 動搬運車3δ就會著 40之搬運作業上。 置32、34的搬運作 作效率無論是否低 儲料器36，與習知相同使用儲料 埠116上的匣子40朝被確保的儲 送使被指示的作業完成之儲料器 業完成報告。以此作業者之入庫 運装置30中之儲科器入庫作業控 ，預先使可收納各儲料器36之匣 器容量而從輸入機構54中被提供 儲料器容量中減去其匣子個數Κ 此，無須Μ儲料器36之自動搬運 搬運裝置用埠98的空位當作條件 34至儲料器36的收納作業及儲料 入口埤88上所先行的匣子40變無 手於在處理装置32、34中所發生 因此，可解消在處理後匣子40之 業等待時間變長，而自動搬運車 仍無法發揮預定的搬運能力的問 又，從處理裝置32、34至儲料器36的匣子40之搬運作業 僅是Μ儲料器36之自動搬運車用入口埠88的空位作為條件 ，而進行醏料器36之收納埸所的充足吠況之確認。因此， 在對自動搬運車用入口埠88完成搬運作業之後•即使至儲 本紙張尺度適用中國國家標準（〇~5)六4規格（210>< 297公1) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -37 Λ7 Β7 ^07131 五、發明説明（35) 空 變器匣 有40料缠 沒。子儲後 於題 匣處在 由問的運消 , 的行搬解 來間先於可 出時所位， 中長 上於此 LO 待 9 手因 腦等埠著。 電上 用會上 主埠置就業 從同裝42作 可在蓮置運 示消搬裝搬 指解間運之 業可器搬40 作 Μ 料間子 庫所 儲器匣 入所在料躕 的場，儲後 36納者前的 器收 再之内 料的 無36 -ϊ Λ^irJ. (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 子40之搬運處儲料 器間搬蓮裝置42之 搬運能力的問題。 再者，從搬運處 40之搬運作業僅是 装置用埠、8的空位 的充足狀況之確認 完成搬運作業之後 主電腦50中出來， 同埠上等待長時間 再者，被置於手 料器3 6的入庫作業 收納場所所以亦可 藉此，在自動搬 埠9 8上即使有先行 之匣子40的收納場 運車用入口埠88的 的地儲料器36的搬 、34或儲料器36中 器36的搬運作業等待 工作效率無論是否低 儲料器36至搬運目的 以搬運目的地儲料器 作為條件，而進行儲 。因此*在對儲料器 ，即使至儲料器36的 由於沒有空的收納場 的問題。 動用入口埠116上的 指示從主電腦50中出 解消在同埠上等待長 運車用人口埠88或儲 的匣子4 0只要在儲料 所就可著手從處理裝 搬運作業或從搬運處 運作業而匣子40就不 等待。又，到達自動 時間變長，而儲料 仍無法發揮預定的 地儲料器36的匣子 3 6之儲料器間搬運 料器36之收納場所 間搬運裝置用埠98 人庫作業指示可從 所所Μ亦可解消在 匣子40，即使至儲 來，由於沒有空的 時間的問題。 料器間搬運裝置用 器36内確保有後續 置32、34至自動搬 儲料器36至搬運目 箱要在處理装置32 搬運車用入口埠88 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公f ) 38 407131 經濟部中央標準局員工消费合作社印製 Β7五、發明説明（：j 6) 、儲料器間搬運装置用埠98或手動用入口埠116上的匣子 40由於可在儲料器36内之儲料器架96上確保收納場所所以 沒有等待長時間的效果。 其次，就來自半専體晶圓匣搬浬裝置30中之半専體晶圓 匣40之儲料器36的出庫控制方法大致區分如下三種加K說 明，（4)經由自動搬運車用出口埠86朝自動搬運車38付出 的作業；（5)在搬運處儲料器36中經由儲料器間搬運裝置 用埠98朝儲料器間搬蓮裝置42付出的作業；K及（6)經由 手動用出口璋118向作業者付出的作業。 首先就經由自動搬運車用出口埠δ 6朝自動搬運車38付出 匣子40的'作業（4)加Κ敘述。與習知相同當從處理裝置32 、34透過通信電纜58發送匣子投入要求給主電腦50時，主 電腦50在儲料器36上搜尋有無可處理的匣子40時會移至出 庫作業上。已移至出庫作業的主電腦50，會對儲料器36透 過通信電纜58送出在每一處理裝置32、3 4上預先決定一個 之位於自動搬運車用出口堉86之儲料器架96上的匣子40之 出庫作業指示。接受此的儲料器36，會使用儲料器起重機 80將適當的匣子40運至自動搬蓮車用出口交接埠100上， 之後驅使前進移動裝置84將自動搬運車用出口交接埠100 上的匣子40注前朝自動搬運車用出口埠86送出。與在自動 搬運車用入口埠88及自動搬蓮車用入口交接埠104的擠前 作業中已述者相同，在該作業中途，前進移動装置84沒必 要如習知般地使匣子40之方向旋轉90度。 依此朝自動搬運車用出口埠86之出庫作業就舍完成，儲 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ 297公尨) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝 *1Τ i .-1 -难 --I -J1-- - · -39 - 407131 Λ7 Β7
五、發明説明（J 料器36會對主電腦50進 料器36的作業中，儲料 從儲料器架96之收納場 資訊透過通信電網！ 58向 會在進行入庫作業時於 36之儲料器容量（匣子 出口埠86的匣子40與習 出投入要求的處理裝置 接著就在發送處儲料 98朝儲料器間搬運裝置 。接受來’自儲料器36之 從其匣子40之次處理裝 36，而對儲料器間搬運 間之搬運作業指示。已 蓮裝置控制器66，首先 36從適當匣子40之收納 埠98的移動作業。被委 機80M使適當匣子40移 66進行作業完成報告。 在該一系列之儲料器 料器起重機80從儲料器 之際•會將該資訊經由 腦50報告。或直接透過 此的主電腦50會在進行 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 行作業完成報告 器控制器6 4，係 所中取出適當匣 主電腦50報告。 下次加在減去匣 收納数）。被付 知相同被運至依 32、34上 〇 器36中經由儲料 42付出匣子40的 入庫作業完成報 置32、34中決定 装置42透過通信 接收該搬蓮作業 會透過通信電纜 場所中委託至儲 託作業的儲料器 動，且對儲科器 3 6的作業中儲料 架96之收納場所 儲科器間搬運装 通信電讕5 8向主 入庫作業時於下 。在該一系列之儲 在儲料器起重機80 子40之際*會將該 接受此的主電腦5 0 子數而得的儲料器 出至自動搬蓮車用 自動搬運車38而提 器間搬運裝置用埠 作業（5)加Μ敘述 告的主電腦50，會 適當搬蓮處儲料器 電纜5δ送出儲料器 指示的儲料器間搬 58對搬運處儲料器 料器間搬運装置用 36使用儲料器起重 間搬運裝置控制器 器控制器64係在儲 中取出適當匣子40 置控制器6 6向主電 電腦50報告。接受 次加在減去匣子數 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） 40 M7131 Λ7 Β7 五、發明説明（3S) 而得的儲料器36之匣子收納數。被付出至儲料器間搬運裝 置用埠98的匣子40，係按照從上述之搬運處儲料器36運送 匣子40至搬運目的地儲料器36的作業（2)，運送至搬運目 的地儲料器36上。 最後就經由手動用出口墀118向作業者付出匣子40的作 業（6)加Μ敘述。就自動搬運車38所未具備的儲料器36和 其處理裝置32、34加Μ考慮。當處理裝置32、34透過通信 電纜58向主電腦50進行匣子投人要求時*主電腦50會在儲 料器36上搜尋有無可處理的匣子40。 在有匣子40時，主電腦50會移至出庫作業。已移至出庫 作業的主'電腦50，與自動搬運車用出口埠86同樣會對儲料 器36透過通信電纜58送出在每一處理裝置32、34上預先決 定一個之位於手動用出口埠118之儲料器架96上的匣子40 之出庫作業指示。接受此的儲料器36，會使用儲料器起重 機80將適當的匣子40運至手動用出口埠118上，且在儲科 器36之操作面板121上進行允許手動用出口埠118上之適 當匣子40之取出的顯示。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 看到此的作業者，從手動用出口埠118取出適當匣子40 ，操作操作面板121向儲料器36通知完成取出作業之情況 。接受此的儲料器36會判斷出庳作業完成之情況，對主電 腦50透過通信電纜5δ進行其完成報告。在該等儲料器36的 作業中，對於儲料器控制器64而言在儲料器起重機80從儲 料器架96之收納場所中取出適當匣子40時，會透過通信電 纜58向主電腦50報告該資訊。已接受此的主電腦50會在進 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） ,, -41 - 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 407131 Λ7 B7 五、發明説明（33) 行入庫作業時於下次加在減去匣子數而得的儲料器36之匣 > 子收納數。由於取出匣子40的作業者不知道提出投入要求 的處理裝置32、34所K會朝向主電腦50的作業者終端機56 ，調査該資訊，而朝其處理裝置32、34之適當匣子台階 172、182運送。 在該種的儲料器出庫作業控制方法中，主電腦50就將匣 子40入庫於儲料器36内之際減去匣子數而得的匣子收納数 ，於儲料器起重機80從儲料器架96中取出適當匣子40時會 根據由儲料器控制器64所報告的資訊將其匣子個數加在匣 子收納數上。藉此，主電腦50會使空位在收納埸所上發生 。因此，'主電腦50會比將儲料器36之自動搬蓮車用入口埠 88和儲料器間搬蓮裝置用埠98的空位資訊當作觸發還更快 速地可著手於從處理裝置32、34至儲料器36的搬運作業或 儲料器36間的搬浬作業上。 因而，在自動搬蓮車用入口埠88上所先行的匣子40變無 之前自動搬運車38就會依在處理裝置32、34中所發生的處 理後匣子40之自動搬運車38而著手搬運作業。因此，可解 消在處理後匣子40之處理裝置32、34的搬運作業等待時間 變長，而自動搬運車38之工作效率無論是否低仍無法發揮 預定的搬運能力的問題。 又，儲料器間搬運装置42在儲料器間搬運裝置用埠98上 所先行的匣子40變無之前會著手於搬運處儲料器36的後績 匣子40之搬運作業上。因此，可解消在後續匣子40之搬運 處儲料器36的搬運作業等待時間變長，而儲料器間搬運裝 本紙張尺度適用中國國家標準（〇奶）八4規格（210><297公浼） -4 2 - ^ J 裝 訂v (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 407131 Λ7 B7 五、發明説明（4 Q) 置42之 問題。 藉此 就會立 的搬運 器36的 運處儲 上述 之收納 因而， 匣子數 數量而 。主電 工作效率無論是否低仍無法發揮預定的搬浬能力的 ，在儲料 即著手從 作業，且 搬蓮作業 料器36的 之主電腦 場所的資 預先將由 當Ί乍儲料 管理收納 腦50 *係 器36之儲 處理装置 著手從搬 。因此， 匣子40之 5 0，未持 訊，而在 輸入機構 器容量且 場所。K 如圖7A、 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 先取名的儲料器36之收納 成匣子40之收納作業時依 此主電腦50，就可知道在 器36之收納場所中有空位 又，主電腦5 0，係在進 示匣子40的收納場所，因 器64來決定。因此，主電 定儲料器36的收納場所， 會被考慮。此時，儲料器 場所而由主電腦50所指示 。藉此，主電腦50，可知 料器架96上 32、34至自 運處儲料器 有可縮短在 等待時間等 有關於儲料 儲料器控制 54所提供的 藉由減去從 下說明管理 7B所示從輸 場所的資訊 其名稱接受 收納場所中 的情況。 行入庫作業 而收納場所 腦50會在進 向儲料器控 控制器6 4， 的收納場所 道在收納場 發生物理上的空位時 動搬運車用入口埠88 36至搬運目的地儲料 處理裝置32、34或搬 的效果。 器36内之各個匣子40 器64上負責該管理。 儲料器36之最大收納 該處使用的數Μ作為 其他收納場所的方法 入機構54提供關於預 ，同時從儲料器36完 收納場所的報告。藉 沒有匣子40而在儲料 之際不向儲料器36指 最後會由儲料器控制 行人庫作業前自行決 制器64指示的態樣亦 會在未自行決定收納 中收納適當的匣子40 所中沒有匣子40而在 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 43 « /1 r? _ ^07131 Λ7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明 ( 41) 1 1 儲 料 器 36 之 收 納 場 所 中 有 空 位 的 情 況 〇 1 1 | 主 電 腦 50 > 係 可 對 一 個 處 理 裝 置 32 、 34從 輸入機構54中 1 I 指 定 複 數 個 可 使 用 的 g 動 搬 運 車 用 入 P 埠 88 。又，此時亦 請 先 1 1 I 可 配 合 設 定 使 用 順 序 〇 例 如 圖 1所示的情況 將與某一個 pcj 5 背 J 處 理 裝 置 32 34對 應 的 白 動 搬 浬 車 用 入 α 埠 88之數設定為 之 注 1 意 1 I 2個 並設定其使用順序c 當從處理裝置32中透過通信電 事 項 1 I 再 纜 5δ向 主 電 腦 50報 告 匣 子 40 之 退 出 要 求 時 主電腦50雖然 填 本 裝 從 具 有 複 數 個 的 白 動 搬 運 車 用 入 α 埠 88 中 即 使在前次已使 頁 1 I 用 過 但 是 在 下 一 個 使 用 順 序 的 § 動 搬 運 車 用 入口埠8 8或沒 1 1 有 下 一 個 使 用 順 序 時 就 會 將 位 於 第 一 使 用 順 序的自動搬運 1 1 車 用 入 口· 埠 88 當 作 其 匣 子 40之 搬 蓮 作 業 所 使 用者來決定。 1 訂 在 該 種 儲 料 器 入 庫 作 業 控 制 方 法 中 9 可 將 複 數個自動搬運 1 I 車 用 入 □ 埠 88分 派 於 1台處理裝置32， 34中 且藉由已預 1 1 I 先 被 決 定 的 順 序 予 以 分 派 就 可 大 致 均 等 地 使用自動搬運 1 1 車 用 入 口 埠 88 0 1 因 而 在 每 一 處 理 裝 置 32 34可 使 用 的 g 動搬運車用入 1 1 □ 埠 88由 於 係 預 先 被 決 定 為 1個 所Μ自動搬運車用入口 1 I 埠 88在 有 複 數 個 的 情 況 就 可 依 處 理 装 置 32 、3 4之處理能 1 1 力 及 工 作 狀 況 解 消 在 白 動 搬 運 車 用 入 口 埠 88 之使用混合狀 :丨 1 況 中 發 生 不 均 等 的 問 題 〇 藉 此 即 使 處 理 裝 置 32 34之 各 白 的 處 理 能力及工作狀 1 1 況 不 同 9 仍 可 對 各 白 的 處 理 裝 置 32 34大 致 均等使用複數 1 I 涸 自 動 搬 運 車 用 入 0 埠 88 且 無 在 § 動 搬 運 車用入口埠88 1 I 之 使 用 混 合 狀 況 中 發 生 不 均 等 的 問 題 〇 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X 297公t ) 44 407131 Λ7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印袋 五、發明説明 ( 4, 2) 1 1 更 佳 者 為 主 電 腦 50 可 對 一 個 處 理裝 置 32 Ν 34從 輪 入 1 1 機 構 54中 指 定 複 數 個 可 使 用 的 白 動 搬 蓮車 用 入 口 璋88 - 同 1 1 時 在 其 每 一 埠 88上 向 動 搬 運 車 38 發 出的 搬 運 作 業指 示 之 請 先 1 1 中 9 亦 可 具 有 預 先 記 憶 未 完 成 搬 運 作 業的 作 業 指 示之 數 的 閱 讀 皆 1 月 τέ 1 I 資 料 區 域 〇 該 主 電 腦 50在 接 受 來 白 處 理裝 置 32 % 34之 半 導 1 體 晶 圓 匣 40的 退 出 要 求 時 9 會 搜 尋 可 使用 該 處 理 装置 32 > 意 事 1 項 1 34的 § 動 搬 運 車 用 入 P 埠 88 0 結 果 在存 有 複 數 個可 使 用 再 填 寫 士 袭 1 的 動 搬 運 車 用 入 P 璋 88時 主 電 腦 50會 比 較 被 記憶 於 各 尽 頁 白 的 埠 動 搬 蓮 車 用 入 P 埠 88之 資 料 區域 內 的 作 業指 示 之 1 1 數 而 選 擇 數 量 小 的 一 方 的 白 動 搬 運 車用 人 口 埠88。 主 電 1 | 腦 50 會•將 關 於 該 堉 動 搬 蓮 車 用 入 口埠 88 之 資 料區 域 的 1 訂 值 加 1 且將搬運作業指示向自動搬運車38發送 >又 當 1 I 作 業 完 成 時 會 將 資 料 |w 域 之 值 減 1 ，另外 在該作業完成 1 1 前 的 搬 運 作 業 之 數 為 相 同 的 埠 88有 複 數個 時 9 主 電腦 50可 1 1 任 意 從 該 等 中 選 擇 個 埠 88 0 I 在 該 種 儲 料 器 入 庫 作 業 控 制 方 法 中 ，可 複 數 個 自動 搬 運 1 1 車 用 入 P 埠 88分 派 於 1台處理裝置3 2， ' 34 中‘ )又 可進行 1 1 至 新 的 自 動 搬 運 車 38 之 搬 運 作 業 指 示 以便 使 該 等 各自 的 作 1 1 業 完 成 前 之 作 業 數 可 為 均 等 0 因 此 就 可大 致 均 等 地使 用 埠 J 1 88的 使 用 頻 率 〇 1 1 因 而 ， 由 於 在 每 一 處 理 裝 置 32 34上可 使 用 的 自動 搬 運 1 I 車 用 入 口 埠 88預 先 被 決 定 為 1個 所Μ在自動搬運車用入 1 1 I □ 埠 88有 複 數 個 時 就 可 依 處 理 裝 置 32 ' 34 之 各 自的 處 理 1 1 能 力 及 工 作 狀 況 解 消 在 白 動 搬 運 車 用 人口 埠 88 之 使用 混 合 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X 297公釐） -45 - 407131 Λ7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明 (43 ) 1 1 狀 況 中 發 生 不 均 等 的 問 題 〇 1 1 I 藉 此 即 使 處 理 裝 置 32 34之 各 白 的 處 理 能 力 及 工 作 狀 1 I 況 不 同 仍 可 對 各 自 的 處 理 裝 置 32 Λ 34大 致 均 等 使 用 複 數 請 1 1 1 個 白 動 搬 運 車 用 入 P 埠 88 0 因 此 在 白 動 搬 運 車 用 入 P 埠 88 讀 背 I 之 使 用 混 合 狀 況 中 不 會 發 生 不 均 等 的 問 題 〇 面 冬 1 •ί 意 I 上 述 之 主 電 腦 50 只 要 有 來 白 處 理 裝 置 32 34的 匣 子 事 1 I 再 I 40之 退 出 要 求 且 在 適 當 儲 料 器 36上 有 收 納 場 所 的 話 則 會 從 填 運 本 裝 具 有 複 數 個 的 白 動 搬 運 車 用 入 P 埠 88 中 選 擇 1 * 涸 g 動 搬 頁 1 Ι 車 用 入 D 埠 88M 使 作 業 均 等 且 將 搬 蓮 作 業 指 示 送 至 白 動 搬 1 1 運 車 38上 0 因 此 即 使 將 白 動 搬 運 車 用 入 □ 埠 88之 匣 子 4 0 1 1 送 出 至 自· 動 搬 運 車 用 入 D 交 接 埠 104 上 的 前 進 移 動 裝 置 84 1 訂 1 1 例 如 發 生 故 障 等 問 題 時 主 電 腦 50亦 不 會 感 知 故 障 而 與 其 他 的 埠 88同 樣 地 將 至 iafiB Μ 合 的 g 動 搬 運 車 用 入 〇 埠 88之 匣 子 1 1 I 40之 搬 運 作 業 指 示 送 至 白 動 搬 蓮 車 38上 〇 1 1 因 此 主 電 腦 50 亦 可 具 有 由 輸 入 機 構 54所 輸 入 的 白 動 搬 1 運 車 用 入 P 埠 88 之 每 一 埠 的 白 動 搬 運 車 38記 憶 作 業 完 成 前 1 1 的 作 業 數 之 資 料 域 同 時 設 定 其 值 的 上 限 值 〇 主 電 腦 50 1 I 在 將 至 白 動 搬 運 車 用 入 P 埠 88的 搬 蓮 作 業 指 示 送 至 白 動 搬 1 1 J 運 車 38之 際 該 埠 的 上 述 資 科 區 域 之 值 在 到 達 其 上 限 值 時 j 1 就 會 Μ 閉 使 用 該 埠 而 考 慮 使 用 成 為 次 候 補 的 白 動 搬 運 車 1 用 入 Ρ 埠 88 〇 結 果 在 沒 有 適 合 的 埠 時 就 會 等 待 白 動 搬 運 車 1 1 用 入 Ρ 埠 88 之 搬 運 作 業 完 成 0 1 I 在 該 種 主 電 腦 50 中 可 在 每 一 白 動 搬 運 車 用 入 P 埠 88上 1 1 I 設 定 上 限 值 0 因 此 9 主 電 腦 50在 對 白 動 搬 運 車 用 入 P 埠 88 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X 297公釐） -46- 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 4〇7131 Λ7 Β7 五、發明説明（‘u) 發送搬運作業指示之際作業完成前的作業數不會超過其上 限值而發送。因而，因前進移動裝置84之故障等原因多數 的搬運作業指示滯留在自動搬運車38上的狀況就不會發生。 更佳者為，主電腦50在每一自動搬運車用入口埠δ8之各 埠上具有顯示可使用*不可使用的裝置狀況資料，該資料 亦可依作業者终端機56而變更。主電腦50在將自動搬蓮車 用入口埠88的搬運作業指示送至自動搬運車38之際，會核 對該裝置狀況資料而在該資料為不可使用時就閾閉使用該 埠*而考慮使用成為次候補的自動搬運車用人口埠88。结 果在沒有適合的埠時就會等待不可使用的自動搬運車用入 口埠88之·裝置狀況資料變更成可使用。 該種主電腦50，在每一自動搬蓮車用入口堉88上具備有 顯示可使用*不可使用的裝置狀況資料，在自動搬運車用 入口埠88變成故障之情況等時作業者可從作業者终端機56 中將該裝置狀況資料變更成不可使用。藉此主電腦50可檢 知發生故障的自動搬運車用入口埠88，且可停止將已故障 的埠88之搬運作業指示發送至自動搬蓮車38上。因而，因 前進移動裝置84之故障等原因多數的搬運作業指示滯留在 自動搬運車38上的狀況就不會發生。 上述的自動搬運車38，係當從主電腦50接受由處理裝置 32、34至自動搬運車用入口埠88的搬蓮作業指示時會著手 於作業。更進一步，自動搬運車38會從處理裝置32、34中 取入匣子40，並朝自動搬運車用入口埠88置放。自動搬運 車38，係在置放匣子40之前進行確認自動搬運車用入口埠 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) Α4規格（210Χ 297公ft ) 4 7 - m n^— ^^^1 [^^1 mu m· i m I n - 1 n m m ^ - ^ i V (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 407131 Λ7 B7 五、發明説明（45) 88中是否有留下其先行的匣子40。若有留下匣子40時就判 斷異常事態，且立即向主電腦50發報錯誤訊息。另一方面 ，先行之匣子40可發生留在自動搬蓮車用入口埠88上。因 此，此情況可考盧自動搬運車38會K異常事態而發報錯誤 訊息並會屢次中斷搬運作業。 因此，自動搬運車38，在將匣子40置放在自動搬蓮車用 入口埠88上的作業中，即使先行之匣子40位於該處亦不會 發報錯誤訊息而在一定時間内會等待其先行之匣子40變無 。自動搬運車38亦可在先行之匣子40變無時立即對位於自 動搬運車38之移載台150之搬蓮作業中對匣子40之自動搬 運車用乂口漳88著手装卸作業。另外，自動搬運車38即使 經遇一定時間先行之匣子40亦不會變無，亦即匣子40亦可 在利用前進移動装置8 4未被送至自動搬運車用入口交接埤 104時判斷異常事態，並對主電腦50發報錯誤訊息。 該種自動搬蓮車38，係在將匣子40置放在儲料器36之自 動搬運車用入口璋88上之際，即使有先行之匣子40亦不會 發報錯誤訊息而在一定時間内會等待該匣子40變無*且會 在先行之匣子40變無時著手作業。因此，主電腦50不用確 認自動搬運車用入口埠88之空位就可減少在處理裝置32、 34中發出退出要求的匣子40之搬運作業的等待時間。 習知之主電腦50，係在確認儲料器36之自動搬運車用入 口埠88的空位之後將從處理裝置32、34至同埠的搬運作業 指示送至自動搬運車38上。因而主電腦50之可發送至自動 搬運車38的搬運作業係被限制於該埠88的數量。另一方面 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X 297公釐） ^ ： 裝 訂------w (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 -48 - A7 B7 經濟部中央標隼局員工消費合作社印製 五、發明説明 (46 ) 1 I 9 上 述 的 主 電 腦 50 只 要 在 儲 料 器 36内確 保 匣 子 40的 收 納 1 1 場 所 就 會 向 自 動 搬 運 車 38發 送 搬 運 作 業指 示 〇 因 此 结 果 1 1 與 處 理 装 置 32 34的 匣 子 台 階 172 ' 182 之 数 相 當 的 多 數 搬 請 先 1 1 運 作 業 指 示 有 被 送 至 白 動 搬 運 車 38的 可能 性 〇 即 使 從 主 電 閱 讀 1 背 1 腦 50將 多 數 的 搬 運 作 業 指 示 送 至 g 動 搬運 車 38上 實 質 上 可 面 I 作 業 者 會 受 到 白 動 搬 運 車 38 之 搬 運 能 力限 制 0 因 此 多 数 * 事 1 1 I 的 匣 子 40 會 等 待 白 動 搬 蓮 車 38 之 處 理 順序 〇 因 而 即 使 將 再 4 1 寫 裝 I 超 過 限 度 的 多 數 作 業 指 示 送 至 白 動 搬 運車 38上 亦 無 意 義 0 頁 另 一 方 面 白 動 搬 運 車 38之 可 靠 度 比 主電 腦 50低 且 在 抱 1 1 著 多 數 作 業 指 示 而 故 障 時 會 有 要 復 舊 須花 費 相 當 時 間 的 問 1 I 題 〇 • 1 1 訂 因 此 主 電 腦 50可 利 用 其 輸 入 機 構 54指 定 白 動 搬 運 車 38 1 1 之 作 業 中 的 搬 運 作 業 數 之 限 制 值 9 同 時亦 可 具 有 記 憶 作 業 1 1 裝 置 數 的 資 料 區 域 0 該 主 電 腦 50 係 在向 白 動 搬 蓮 車 38 發 1 1 送 搬 運 作 業 指 示 之 際 在 確 認 被 記 憶 於該 資 料 域 内 的 作 1 I 業 装 置 数 未 到 達 被 設 定 的 限 制 值 之 後 會發 送 作 業 指 示 0 在 作 業 裝 置 數 未 到 達 限 制 值 時 主 電 腦 50會 將 該 資 料 區 域 的 1 1 值 加 1 >之後 當作業完成時會將該資料區域的值減1 0 又 1 1 f 資 料 區 域 的 值 在 未 到 達 限 制 值 時 ，會 等 待 資 料 區 域 的 1 i 值 下 降 在 被 指 定 的 限 制 值 下 之 後 才發 送 搬 運 作 業 指 示0 I 1 該 種 主 電 腦 50， 不 會 將 不 需 要 多 數 的搬 運 作 業 指 示 發 送 1 1 I 至 位 於 下 位 的 白 動 搬 運 車 38上 〇 因 此 ，因 白 動 搬 運 車 38之 1 1 1 故 障 等 原 因 多 數 的 搬 蓮 作 業 指 示 滯 留 在自 動 搬 運 車 控 制 器 1 1 60上 的 狀 況 就 不 會 發 生 〇 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -49 * ^07131 ΑΊ Β7 五、發明説明（47) 至上述之匣子40之儲料器36的入庫控制方法中，在作業 者將匣子40人庫於儲料器36内之際，會將匣子40置放在手 動用入口埠116上並操作作為儲料器36之一部分的操作面 板121。依該操作而知道匣子40被置放在手動用入口埠116 上的儲料器36，會利用ID卡讀寫裝置120而謓取被記憶於 適當匣子40之ID卡72的資訊，並將該資料透過通信電纜58 向主電腦50報告。主電腦50在判斷為無法收納匣子40時， 亦不會對儲料器36發送任何的作業指示而會等待儲料器36 内的收納場所為空位時。亦即被置放在手動用入口埠116 上的匣子40會一直在該埠116上等待在儲料器36之收納場 所中發生空位時。若作業者知道沒有收納場所不用進行該 匣子40之入庫作業就可结束。又，在手動用入口埠116和 手動用出口埠118係以一個埠來兼用時，由於有等待入庫 於該埠上的匣子40所以會發生無法進行出庫作業的狀況。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 因此，主電腦50，會接受由儲料器36所報告的匣子40之 手動用入口埠116的到達報告，而搜尋在儲料器36内的匣 子40之收納場所。在無法確保收納場所時主電腦50亦可向 儲料器36聯絡其要旨，而沒有該匣子40的到達報告。另一 方面，已接受此的儲科器36，亦可透過本身的操作面板 121而將無法收納匣子40的情況向作業者提示，K等待作 業者之操作。看到操作面板121之顧示的作業者，會從手 動用入口埠116中取出匣子40，並操作操作面板121將取出 之情況傳至儲料器36上。已接受此的儲料器36，會判斷匣 子40已被取出，且會回到匣子40被置於手動用入口埠116 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X 297公釐） -50 - Λ7 B7 ^07131 五、發明説明（4S) 之前的狀態。 在該種主電 1 1 6内的匣子 者傳達該項要 入於手動用入 進行不同的處 出口埠1 1 8係 住該埠，而沒 上述的主電 的退出要求， 動搬運車38， 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 作業指示。 有空位，則 運處儲料器 儲料器36的 達手動用入 之收納場所 。又，主電 的投入要求 料器36發出 方法和儲料 蓮車3 8或儲 上是否無法 該等裝置上 腦50中， 40之收納 旨。因而 口埠 116 理。又， Μ —個埠 有無法進 腦50，係 而只要在 發送從匣 又，只要在 會對儲料器 36内的匣子 搬運作業指 口埠116的 為空位則會 腦50 ，只要 且可收納儲 出庫的作業 器出庫作業 料器間搬運 作業主電腦 。因此，並 在無法確保 場所時，可 ，就可會到 之前的狀態 即使在手動 兼用時，相 行出庫作業 接受來自處 儲料器36中 子4 0之處理 搬運目的地 間搬運裝置 40之搬運處 示。再者， 情況被報告 將入庫的作 接受來自處 料器36中可 指示。在該 控制方法中 裝置42故障 50仍會將多 非只有故障 被置入於手動用人口埠 經由儲料器36而向作業 將成為問題之匣子40置 ，作業者可對該匣子40 用入口埠116和手動用 同的狀況，匣子40會塞 的情況。 理裝置32、34之匣子40 有收納場所，則會對自 裝置32、34至88的搬蓮 儲料器36之收納場所上 42，發送從被收納在搬 儲料器 當匣子 時，只 業指示 理裝置 處理的 種儲料 ，在儲 時，無 數的搬 之復舊 36至搬運 40從儲料 要在其儲 送至儲料 32、34之 匣子40則 器入庫作 料器36、 關該等裝 蓮作業指 的問題而 目的地 器3 6到 料器36 器36上 匣子40 會向儲 業控制 自動搬 置實質 示送至 已，尚 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X 297公釐） 51 407131 Λ7 B7 五、發明説明（43) 送至該等裝置的搬運作業指示之復舊 〇 理裝置32、34至儲料器36的匣子40之 腦50不持有顯示相關之處理裝置32、 及儲科器36之可使用、不可使用的裝 未確認。因此•由於作業開始後相關 所以會造成適當匣子40之作業在中途 料器36至處理裝置32、34的匣子40之 腦50不持有顯示相關之處理裝置32、 及儲料器36之可使用、不可使用的裝 未確認。因此，由於作業開始後相關 所以會造成適當匣子40之作業在中途 經濟部中央標隼局員工消費合作社印製 會有在從主電腦50發 上須花費時間的問題 又，在著手於從處 收納作業之際，主電 34、自動搬運車38、 置狀態資訊或發送前 機器會因故障而停止 停止的問題原因。 又，在著手於從儲 收納作業之際，主電 34、自献搬運車38、 置狀態資訊或發送前 機器會因故障而停止 停止的問題原因。 再者，在進行儲料 之際，主電腦50不持 搬運處儲料器36、及 使用的裝置狀態資訊 始後相關機器會因故 業在中途停止的問題 再者，在著手於來 自手動用出口埠118 示儲料器36之可使用 示發送前未確認。因 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 器36間之半導體晶圓匣40的搬運作業 有顯示相關之搬運目的地儲料器36、 儲料器間搬蓮裝置42之可使用、不可 或發送前未確認。因此，由於作業開 障而停止所Μ會造成適當匣子40之作 原因。 自手動用入口埠116之入庙作業和來 之出庫作業之際，主電腦50不持有顯 、不可使用的裝置狀態資訊或作業指 此，由於作業開始後儲料器36會因故 本紙浪尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ 297公釐） 52 Λ7 ^07131 B7 五、發明説明（50) 障而停止所Μ會造成適當匣子40之作業在中途停止的問題 原因。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 因此，在儲料器入庫作業控制方法及儲料器出庫作業控 制方法中，主電腦50，亦可具有從作業者终端機56中顯示 可變更的儲料器36、自動搬運車38及儲料器間搬運裝置42 之各自的可使用、不可使用的裝置狀況資料。該主電腦50 ，在自動將從處理裝置32、3 4至自動搬運車用入口埠88的 匣子40之搬運作業指示送至自動搬運車38之際，會確認自 動搬運車3δ和儲料器36之各自的裝置狀況資料為可使用之 情況並發送入庫作業指示。又，在將從搬蓮處儲料器36至 搬運目时地儲料器36的匣子40之搬運作業指示送至儲料器 間搬運裝置42之際*會確認搬運處儲料器36、儲料器間搬 運裝置42及搬運目的地儲料器36之各自的装置狀況資料為 可使用之情況並發送入庫作業指示。在從手動用入口埠 116中將入庫之作業指示送至儲料器3 6之際，會確認只有 儲料器36之装置狀況資料為可使用之情況並發送入庫作業 指示。在該等裝置裝狀況資料之確認中若連一個都不可使 用，則該主電腦50會等待其變成可使用時。又，即使與出 庫作業相關但是與入庫作業相同，主電腦50，在從儲料器 36至處理裝置32、34的搬運作業之際，在確認儲料器36和 自動搬運車38之各自的裝置狀況資料為可使用之後，就會 對儲料器36發送至手動用出口埠118的出庫作業指示。又 ，在將手動用出口埠118之出庫作業指示送至儲料器36之 際會確認只有儲料器36之裝置狀況資料為可使用之情況並 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） r ^ -5 3 - 407131 Λ7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明 (51 ) 1 1 發 送 出 庫 作 業 指 示 0 1 1 I 該 種 主 電 腦 50 在 將 搬 運 作 業 指 示 送 至 儲 料 器 36 白 動 r—v 1 I 搬 運 車 38及 儲 料 器 間 搬 蓮 装 置 42之 際 在 確 認 與 其 最 终 先 請 1 1 | 行 之 儲 料 器 36的 收 納 場 所 或 收 納 裝 置 為 止 的 搬 運 作 業 相 關 讀 背 1 1 之 所 有 的 搬 運 裝 置 之 裝 置 狀 況 資 料 為 可 使 用 之 後 就 將 搬 IS7 1 L 意 •Γ I 運 作 業 指 示 發 送 給 該 等 的 装 置 0 因 此 不 會 發 生 多 數 搬 運 事 項 I | 再 1 作 業 指 示 滯 留 在 因 故 障 而 無 法 使 用 的 搬 運 裝 置 上 的 狀 況 0 填 % 本 裝 又 亦 不 會 發 生 在 中 途 停 止 作 業 的 情 況 〇 頁 1 I 在 確 認 上 述 之 與 搬 運 作 業 相 m 之 所 有 的 裝 置 為 可 使 用 之 1 1 後 發 送 搬 運 作 業 指 示 的 儲 料 器 入 庫 作 業 控 制 方 法 係 在 從 1 1 手 動 用 X P 埠 116 將 匣 子 40予 以 出 庫 之 際 9 當 儲 料 器 36之 訂 裝 置 狀 況 資 料 為 不 可 使 用 時 就 會 變 成 作 業 等 待 狀 態 而 有 1 I 作 業 者 無 法 中 止 該 匣 子 40之 入 庫 作 業 的 問 題 〇 I 1 I 因 此 主 電 腦 50在 接 受 由 儲 料 器 36所 報 告 之 匣 子 40之 手 1 1 動 用 入 □ 埠 116 的 到 達 報 告 且 確 認 儲 料 器 36之 裝 置 狀 況 資 1 料 之 際 儲 料 器 36 之 裝 置 狀 況 資 料 為 不 可 使 用 時 亦 可 考 應 ! 1 將 該 要 旨 聯 絡 儲 料 器 36以 不 進 行 該 匣 子 40 之 到 達 報 告 〇 另 1 1 一 方 面 已 接 受 此 的 儲 料 器 36 亦 可 透 過 本 身 的 操 作 面 板 1 1 I 121 顯 示 作 業 者 無 法 收 納 的 情 況 而 等 待 作 業 者 的 操 作 0 J 1 看 到 操 作 面 板 121之顯示的作業者 會從手動用入口埠1 16 1 ] 取 出 匣 子 40 * 且 會 操 作 操 作 面 板 121 而 將 取 出 之 情 況 傳 至 1 1 儲 料 器 36上 0 已 接 受 此 的 儲 科 器 36 會 判 斷 匣 子 40 已 被 取 1 I 出 * 而 回 到 匣 子 40被 置 入 於 手 動 用 入 P 埠 116之前的狀態。 1 I 如 此 在 本 實 施 形 態 中 的 主 電 腦 50 由 於 櫧 料 器 36 之 裝 置 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X 297公釐） -54 - 407131 Μ Β7 五、發明説明（52) 狀況資料為不可使用所Μ在無法收納手動用入口埠116的 匣子40時，就可經由儲料器36而將該要旨傳至作業者。又 ，可回到將該匣子40置入於手動用入口埠116之前的狀態 。因此，作業者可對該匣子40進行不同的處理。 儲料器36之手動用入口埠116 ，係如習知所示沒必要預 先從輸人機構54中將可使用的處理裝置32、34當作資料來 提供，亦可在處理裝置32、34上無關地使用。又，該埠由 於作業者之作業性佳所Μ亦可一次置放被決定的2個匣子 40 〇 子40收納在儲料器36内時，首先將匣子40 116上置放最大2個匣子40。接著*操作作 部分的操作面板121 。此時作業者無須注 體晶圓匣40之處理的處理裝置32、3 4或進 處理装置32、34就可將匣子40置入於同埠 知道匣子40被置放在手動用入口埠116上 利用ID卡讀寫装置120謓取記錄在適當匣 的資訊，並將該資訊透過通信電纜58向主 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 作業者在使匣 在手動甩入口埠 為儲料器36之一 意完成該等半導 行下一個處理的 内。藉由該操作 的儲料器36，會 子40之ID卡72上 電腦50報告。 主電腦50如習 庫之確認，而會 匣子40之入庫的 該入庫作業指示 的收納場所之後 著手於入庫作 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 知所示不進行該等匣子40是否可從該埠入 在確保收納場所之後就對儲料器36發送該 作業指示。按照透過通信電級58而送來的 ，儲料器控制器64會在確保儲料器架96上 著手作業。 業的儲料器36，會利用儲料器起重櫬80而 本紙乐尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 55 A7 B7 五、發明説明（53) 依序將被載置於手動用入口埠116上的第一匣子40及第二 匣子40運至已被確保的儲料器架96上之收納場所中。使被 指示的作業完成之儲料器36，會對主電腦50進行作業完成 報告。依此就可完成作業者之入庫作業。 如此將可載置於儲料器36之手動用入口埠116上的匣子 40之個數設為作業者之作業性佳的2個，同時在主電腦50 中不需要在每一該埠116中設定可使用的處理装置32、34 。藉此，至作業者之儲料器36的匣子40之入庫作業的作業 性會變佳。 因而，在每一處理裝置32、34上可使用的手動用入口埠 116就可被決定，而在手動用入口埠116有複數個時，就 可解消因處理裝置32、3 4之各自的裝置能力及工作狀況而 在手動用入口埠116之使用混合狀況中發生不均等的問題。 藉此，就可Μ作業者之自由選擇來使用空的手動用入口 埠116 。上述之主電腦50，未持有闞於儲料器36内之各個 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 匣子40之收納場所的資訊。因此使儲料器控制器64負責該 管理。進而基於預先從輸入機構5 4所提供的儲料器36之最 大收納匣子數，將已出庫的匣子40之數加在儲料器容量上 |及將已入庫的匣子40之数從儲料器容量中減去，藉Μ管 理收納場所。以下係說明管理其他的收納埸所之方法。主 電腦50，係如圖7Α、7Β所示從輪人櫬構54提供關於預先取 名的儲料器36之收納場所的資訊。同時主電腦50從儲料器 36完成匣子40之收納作業時接受收納場所的報告。藉此主 電腦50，在儲料器起重機80從儲料器架96取出適當匣子40 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ 297公楚） -56 - A7 4〇7l3l B7 五、發明説明（H) 時基於由儲料器控制器64所報告的資訊，就可使收納有該 匣子40之收納場所中發生空位的情況。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 主電腦50，亦可更進一步使一個處理裝置32幻4從輸入 櫬構54中指定複數個可使用的自動搬運車用出口埠86。又 ，此時亦可配合設定使用順序。例如圖1所示的情況，處 理裝置32、34可使用2個自動搬運車用出口埠86。處理裝 置32、34係透過通信電纜58將匣子40之投人要求發送給主 電腦50。主電腦50雖從有複數個自動搬運車用出口埠86中 已於前次使用但是在沒有位於下次使用順序的自動搬運車 用出口埠86或在沒有位於下次使用順序的自動搬運車用出 口埠86時，會決定將第一個自動搬運車用出口埠86當作使 用於該匣子40之搬運作業者。 在該種的儲料器出庫作業控制方法中，可對1台處理装 置32、34，分派複數個自動搬運車用出口埠86。按照預先 被決定的順序就可大致均等地使用該等埠86。藉此就可解 消習知以來的下述問題。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 亦即，在每一處理裝置32、34中可使用的自動搬運車用 出口埠86被預先決定為一個，而自動搬運車用出口埠86有 複數個的情況，雖然因處理装置32、34之各自的處理能力 及工作狀況而在自動搬運車用出口埠86之使用混合狀況中 有發生不均等的問題，但是該問題可被解消*即使處理裝 置32、34之各自的處理能力及工作狀況有所不同，亦可對 各自的處理裝置32、34大致均等地使用複數個自動搬運車 用出口埠86且在自動搬運車用出口埠86之使用混合狀況中 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公犛） -57 - 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 407131 ΑΊ Β7 五、發明説明（55) 發生不均等的問題亦會變無。 較佳者為，主電腦50，可更進一步對一個處理裝置32、 34從輸入機構54中指定複數個可使用的自動搬運車用出口 埠δ6，同時主電腦50在其每一各埠86上向儲料器36發出的 出庫作業指示之中*亦可具有預先記憶未完成之作業指示 之數的資科區域。該主電腦50在接受來自處理裝置32、34 之匣子的投入要求時，該處理裝置32、34會搜尋可使用的 自動搬運車用出口埠86。结果在存有複數個可使用的自動 搬運車用出口埠86時，主電腦50會比較前述之各自的埠之 資科區域的值，而選擇該值為較小之一方的自動搬運車用 出口埠8’6。將關於被選擇之自動搬蓮車用出口埠86的資料 區域之值加1且將搬運作業指示發送給自動搬運車38。又 ，當作業完成時就將該值減1。另外，在該作業完成前的 出庫作業之數有複數個相同者時*主電腦50就會任意從埠 86之中選擇一個埠86，並將搬運作業指示發送給自動搬運 車38。 在該種的儲料器出庫作業控制方法中，可將複數個自動 搬運車用出口埠86分派在一個處理裝置32、34中。又，將 出庫作業指示發送給新的儲料器36Μ便可使埠86之作業完 成前的作業數變成均等。因此，就可大致均等地使用埠86。 因而，在每一處理裝置32、34中可使用的自動搬運車用 出口埠86被預先決定為一個，而自動搬運車用出口埠86有 複數個的情況，就可解消因處理裝置32、34之各自的處理 能力及工作狀況而在自動搬運車用出口埠86之使用混合狀 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X 297公釐） _ 5 8 一 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝- 、1Τ 407131 Λ7 B7 五、發明説明（ 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 況中發生不均等的問 藉此，即使處理裝 況有所不同*亦可對 用複数個自動搬蓮車 出口埠86之使用混合 上述之儲料器出庫作 、34之匣子40的投入 處理的匣子40，主電 車用出口埠86中均等 送至儲科器36上。因 接掸100’將匣子40送 移動裝置84發生故障 故障，而會將來自適 的出庫作業指示送至 因此，主電腦50具 儲料器36而記憶出庫 域，同時亦可利用輸 主電腦50在將至自動 送給儲料器36之際， 關閉使用該埠，且考 口埠86。结果在沒有 自動搬運車用出口埠 該種主電腦50，係 作業完成前之作業數 題。 置32、34之各自的處理能力及工作狀 各自的處理裝置32、34大致均等地使 用出口埠86，因而，在自動搬運車用 狀況中發生不均等的問題會變無。在 業控制方法中，在有來自處理裝置32 要求時，在儲料器36上只要有一個可 腦50，就可從具有複數個的自動搬浬 地決定一個埠86，且將出庫作業指示 此，即使發生從自動搬運車用出口交 出至自動搬運車用出口埠86上的前進 等的問題時，主電腦50，亦無法感知 當的自動搬運車用出口埠86之匣子40 自動搬蓮車 有依自動搬 作業之作業 入機構54來 搬運車用出 在該資料區 慮使用成為 適當的埠時 8 6之搬運作 可在各自動 的上限值。 38上。 運車用出 完成前的 設定其作 口埠86的 域之值到 次候補的 就會等待 業。 搬運車用 因此，在 口埠86之各埠的 作業数之資料區 業數的上限值。 出庫作業指示發 達其上限值時會 自動搬運車用出 完成至可使用的 出口埠86上設定 發送自動搬運車 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 59 407131 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明 ( 0 1 1 用 出 埠 86 之 出 庫 作 業 指 示 之 際 作 業 完 成 前 的 作 業 數 不 1 1 | 會 超 過 其 上 限 值 〇 又 不 會 發 生 因 -1—ί» 刖 進 移 動 裝 置 84之 故 障 1 I 等 的 原 因 使 多 數 的 出 庫 作 業 指 示 滯 留 在 儲 料 器 36上 的 狀 況。 請 先 閱 1 1 I 較 佳 者 為 主 電 腦 50 亦 可 在 白 動 撖 運 車 用 出 0 埠 86 之 讀 背 1 各 埠 上 具 有 顯 示 可 使 用 不 可 使 用 的 装 置 狀 況 資 料 抑 且 冬 1 意 •1 I 可 利 用 作 業 者 终 端 機 56 變 更 該 資 料 0 主 電 腦 50在 將 g 動 搬 拳 項 1 I 再 1 運 車 用 出 Π 埠 86 之 搬 運 作 業 指 示 發 送 給 儲 料 器 36之 際 會 填 本 裝 核 對 該 裝 置 狀 況 資 料 在 該 資 料 為 不 可 使 用 時 就 會 BB 關 閉 頁 1 1 使 用 該 埠 而 考 慮 使 用 成 為 次 候 補 的 動 搬 運 車 用 出 P 璋 1 1 86 0 结 果 在 沒 有 可 使 用 的 璋 時 就 會 等 待 不 可 能 使 用 的 白 動 1 1 搬 運 車 用 出 P 埠 86之 裝 置 狀 況 資 料 變 更 成 可 使 用 0 I 訂 該 種 的 主 電 腦 50 係 具 備 有 在 各 白 動 搬 運 車 用 出 P 埠 86 1 I 上 顯 示 可 使 用 不 可 使 用 的 裝 置 狀 況 資 料 且 在 i 動 搬 運 1 I 車 用 出 P 埠 86故 障 時 作 業 者 可 從 作 業 者 終 端 機 56 中 將 該 資 1 1 料 變 更 成 不 可 使 用 0 藉 此 主 電 腦 50可 檢 知 故 障 的 白 動 搬 運 1 *〆 車 用 出 口 埠 86且 可 中 止 將 該 埠 的 出 庫 作 業 指 示 發 送 給 儲 料 1 1 器 36 〇 又 不 會 發 生 因 前 進 移 動 裝 置 84之 故 障 等 的 原 因 使 1 I 多 數 的 出 庫 作 業 指 示 滯 留 在 櫧 料 器 36上 的 狀 況 0 1 1 I 主 電 腦 50 會 接 受 來 白 處 理 装 置 32 34的 匣 子 40之 投 入 ^1 要 求 而 移 至 使 用 儲 料 器 36的 出 庫 作 業 上 9 基 於 利 用 該 儲 料 1 1 器 36顧 示 從 作 業 開 始 至 兀 成 為 止 所 報 告 之 作 業 進 展 的 資 訊 1 1 9 無 論 是 否 為 出 庫 作 業 完 成 前 亦 可 將 從 適 當 的 白 動 搬 運 車 I | 用 出 □ 埠 86 至 處 理 装 置 32 34的 匣 子 40之 搬 運 作 業 指 示 送 1 I 至 自 動 搬 運 車 38上 0 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公1 ) 60 407131 Μ Β7 五、發明説明68 ) 該種的主電腦50，會接受來自處理裝置32、34的匣子40 之投入要求而將自動搬運車用出口埠86之出庫作業指示送 至儲料器36上。同時在完成出庫作業之前*可將從自動搬 運車用出口埠86至處理裝置32、34的搬運作業指示送至自 動搬運車38上。因而，可使之與在儲料器36的出庫作業平 行進行自動搬運車38的回送作業，亦即從自動搬運車38之 待機場所至搬運處的移動作業。 因而，在完成自動搬運車用出口埠86之出庫作業之後， 將從同埠δ6至處理裝置32、34的搬運作業指示送至自動 搬運車38上。因此，就可解消在自動搬運車3 8從待機場所 來到自動搬運車用出口埠86之間，匣子40在同埠86中等待 的問題。 藉此，就可縮短從匣子40之自動搬運車用出口埠86至處 理裝置32、34的搬運作業時間。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 習知之自動搬蓮車38，在由主電腦50接受從匣子40之自 動搬運車用出口埠86至處理裝置32、34的搬運作業指示時 ，就會著手作業而進行從待機埸所至指定的儲料器36之自 動搬運車用出口埠86前的移動作業。接著，取入自動搬運 車用出口埠86上的匣子40。在取入匣子40之前，自動搬運 車38會進行在自動搬運車用出口埠86上是否載有匣子40之 確認。在未載有匣子40時會判斷為異常事態，且立即將錯 誤發報送進主電腦50内。 另一方面，考慮在完成上述之匣子40的自動搬運車用出 口埠86之出庫作業之前主電腦50將作業指示發送給自動搬 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ 297公t ) 61 407131 Μ Β7 五、發明説明（53) 蓮車38的情況。此情況，在自動搬浬車38到達自動搬蓮車 用出口埠86時，就會發生匣子40載置於自動搬運車用出口 埠86上的情況。因此，自動搬運車38會Κ異常事態發報錯 誤訊息，且屢次使搬運作業中斷而成為很大的問題。 因此，自動搬運車38，會接收從由主電腦50所送來的儲 料器36之自動搬運車用出口埠86至處理裝置32、34的匣子 40之搬運作業指示而著手作業。與習知同樣從待機場所移 動至作為搬運處的自動搬運車用出口璋86上且在取入同埠 上的匣子40之際，自動搬運車38即使在該處沒有適當的匣 子40亦不會發報錯誤訊息而可在一定時間内等待半導體晶 画匣40出現在該處者。在一定時間内，當匣子40出現時， 會立即在自動搬運車38之移載台150上，著手裝載自動搬 運車用出口埠86上的匣子40之作業。另外，即時經過一定 時間而未出現適當匣子40時，亦即從自動搬運車用出口交 接埠100中匣子40未依前進移動裝置84送來時，就會判斷 異常事態而向主電腦50發報錯誤訊息。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 該種的自動搬運車38在從儲料器36之自動搬運車用出口 埠86中取人匣子40之際，即使沒有適當的匣子40亦不會發 報錯誤訊息，而在一定時間等待該匣子40出現。在一定時 間内出現匣子40時，會著手於匣子40之搬運作業。因此， 主電腦50在完成自動搬運車用出口埠86之匣子40的出庫作 業之前，可將從同埠86至處理裝置32、34的匣子40之搬運 作業指示發送至自動搬運車38上，且可減少發出投入要求 之處理装置3 2、3 4的等待時間。 本紙張尺度適用中國國家標準（〇奶）戍4規格（210'/ 297公釐） „ 0 407131 Λ7 B7 五、發明説明（6〇) 上述之主電腦50，係對自動搬運車38，發送從處理裝置 32、34至自動搬運車用人口埠88的匣子40之搬運作業指示 。已接受該作業指示的自動搬運車38會著手於搬運作業， 且從處理装置32、34之匣子台階172、182中取入匣子40, 並將匣子40運至目的地之自動搬運車用入口埠88上。處理 裝置32、3 4係利用自動搬蓮車38在匣子40從本身的匣子台 階172、182中被取出時，會將匣子40之投入要求送至主電 腦50上。 已接受此的主電腦50*係從儲料器36中搜尋出可處理的 半導體晶圓匣40，且使自動搬運車用出口埠86之匣子40的 出庫作業在儲料器36中進行。接著對自動搬運車38，送出 從自動搬運車用出口埠86至處理裝置32、34的匣子40之搬 運作業指示，俾使搬運作業進行。如參照圖8加Μ說明所 示，在自動搬運車38上有2個以上的匣子移載台150。自動 搬運車38，使供至處理裝置32、34的匣子40載於匣子移載 台150上，且往處理裝置32、3 4移動，並將位於匣子台階 172、182上有退出要求的匣子40載於空的匣子移載台150 上。自動搬運車38，亦可將載於匣子移載台150上之應供 給的匣子40，置放在現在空的匣子台階172、182上。無論 是否與此有翮，主電腦50會將從處理裝置32、34至自動搬 運車用入口埠88的匣子40之搬運作業指示和從自動搬運車 用出口埠86至處理裝置32、34的匣子40之搬運作業指示各 自分別送至自動搬運車38上，俾使之運送匣子40。為了改 菩此點，亦可使主電腦50進行如下之處理。主電腦50，在 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公f ) - n - - i— --r - ί , - 1^1 —^n n^i (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 4〇7l3l a7 B7 五、發明説明（G L) 接受來自處理裝置32、34的匣子40之退出要求時，會在儲 料器36上搜尋出可處理的匣子40。主電腦50，不會將從處 理装置32、34至自動搬運車用入口埠88的單獨之搬運作業 指示送至自動搬運車38上。首先，主電腦50，會對儲料器 36*發送可處理之匣子40之自動搬運車用出口埠86的出庫 作業指示。主電腦50，會等待出庫作業完成報告，且將從 處理裝置32、34至自動搬運車用入口埠88的匣子40之搬運 作業指示和從自動搬運車用出口埠86至處理裝置32、34的 匣子40之搬運作業指示作為一個搬蓮作業指示送至自動搬 運車38上。 如此接受2個搬運作業被組編成的一個搬運作業指示的 自動搬運車控制器60，首先使自動搬運車38朝向儲料器36 之自動搬運車用出口埠86，再驅使其機器臂144 、機器手 經濟部中央標準局員工消費合作社印聚 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 146、機器手爪148W將該埠上的匣子40置放在移載台150 上。之後，自動搬蓮車38，會朝向處理裝置32、34，當到 達處理裝置32、34時，移載台150上的匣子40會先保持原 狀，首先會與剛才相同地驅使機器臂144、機器手146、機 器手爪148，再將匣子台階172、182上的匣子40置放在空 的移載台150上。當該作業完成時，會先從自動搬運車用 出口埠86取入，再將載置於移載台150上的匣子40，置放 在相同的匣子台階172、182上。當完成此時，自動搬運車 控制器60 *會使台車140移動至醏料器36的自動搬運車用 入口埠88上，當台車140 到達時位於移載台150的匣子40 會朝自動搬運車用入口埠8 8予K裝載，而完成一系列的作 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X 297公釐） _ 54 - A7 ΒΊ 衝131 五、發明説明（62) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 業。 自動搬 34上之際 就會知道 開始之作 如此主電 要求，而 而發送將 ，接受此 匣子40之 業、從移 子40之装 的處理後 此自動搬 3 4至自動 搬運車用 的情況， 車38的工 3 4的時間 主電腦 中指定複 配合設定 用出口埠 透過通信 運車控制器 ，並將該要 匣子4 0已到 業指示透過 腦50 ，會依 搜尋出被收 之成對之一 的自動搬運 取入作業、 載台150至 卸作業、從 匣子40之裝 運車38，就 搬運車用入 出口埠86至 而可縮短搬 作效率，同 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 60，在將匣子40置放在處理裝置32、 旨向主電腦50報告。接受此主電腦50 達處理裝置32、34之情況，並將處理 通信電纜58向處理裝置32、34指示。 來自處理裝置32、34之匣子40的退出 納再儲料器36内之可處理的匣子40， 個自動搬運車38的搬運作業指示。又 車38係Μ自動搬運車用出口埠86上的 處理装置32、34上的匣子40之取入作 處理前匣子40之處理裝置32、34的匣 移載台150至自動搬運車用入口埠88 卸作業的順序進行一糸列的作業。藉 會比較分別各自進行從處理裝置32、 口埠88的匣子40之搬運作業和從自動 處理裝置32、34的匣子40之搬運作業 運作業時間。藉此就可降低自動搬運 時可縮短匣子40供姶至處理裝置32、 50，可更進一步對處理裝置32、34從輸入機構54 數個可使用的手動用出口埠118 ，又，此時亦可 使用順序。處理裝置32、34，亦可使用2個手動 118。當匣子40的投人要求從處理裝置32、34中 電孀58向主電腦50發送時•主電腦50雖從有複數 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） 65 407131 A7 B7 63 五、發明説明 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 個手動用出口埠118中已於前次使用但是卻選擇位於下次 使用順序的手動用出口埠118，或在沒有下次使用順序時 會選擇最初的手動用出口埠118*且決定將之當作於該匣 子40的搬運作業中使用者。 在該種的儲料器出庫作業控制方法中可將複數個手動用 出口埠118分派在1台處理裝置32、34上。手動用出口埠 118 ，可按照預先被決定的順序大致均等地被使用。 因而，可在每一處理裝置32、34中決定可使用的手動用 出口埠118 ，而在手動用出口埠118有複數個時，就可解 消因處理装置32、34之各自的裝置能力及工作條件而在手 動用出口'埠118之使用混合狀況中發生不均等的問題。 藉此，即使處理裝置32、34之各自的處理能力及工作狀 況有所不同*處理裝置32、34之各個亦可大致均等地使用 複數個手動用出口埠118，因而，在手動用出口璋118之使 用混合狀況中發生不均等的問題會變無。 較佳者為，主電腦50，可更進一步對一個處理裝置32、 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 34從輸入機構54中指定複數個可使用的手動用出口璋118 ，同時在每一埠118上向儲料器36發出的出庫作業指示之 中，亦可具有預先記憶未完成的作業指示之數的資料區域。 該主電腦50，在接受來自處理裝置32、34的匣子之投入 要求時*該處理裝置32、3 4會搜尋出可使用的手動用出口 埠118 。結果，可使用的手動用出口埠118在存有複數個 時，主電腦50，會比較被儲存在各自的埠118之資料區域 内的值，而選擇與最小值對應的手動用出口埠118 。主電 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 66 A7 407131 經濟部中央標準局員工消費合作社印聚 B7五、發明it明（^) 腦50，會將該埠資科區域之值加1，且將搬運作業指示發 送至36上，又，主電腦50，在完成作業時會將該值減1。 另外，在埠資科區域之值之中，當最小值有複數個時，主 電腦50，會任意選擇與該等值對應的埠118 。 在該種的儲料器出庫作業控制方法中，主電腦50，可將 複數個手動用出口埠118分派在1台處理裝置32、34上。又 ，主電腦50，對新的儲料器 各自的作業完成前的作業數 因而，可在每一處理装置 出口埠118 ，而在手動用出 消因處理裝置32、34之各自 動用出口埠118之使用混合 藉此，即使處理装置32、 況有所不同，亦可對各自的 用複數個手動用出口埠118 使用混合狀況中發生不均等 儲料器36*在透過通信電 動搬運車用出口埠86或至手 庫命令時，會著手於該搬運 、儲料器起重機80從儲料器 業完成時之各個將作業狀況 告。又，該儲料器36，即使 66透過通信電纜58所送來的 子40之移動作業指示，就作
本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X 36發送出庫作業指示俾使該等 成為均等。 32、34中決定可使用的手動用 口埠118有複數個時，就可解 的裝置能力及工作條件而在手 狀況中發生不均等的問題。 34之各自的装置能力及工作狀 處理裝置32、34大致均等地使 因而，在手動用出口埠118之 的問題會變無。 纜58而接受來自主電腦50之自 動用出口埠118的匣子40之出 作業，同時亦可就作業開始時 架96取出適當的匣子40時及作 透過通信電纜58向主電腦50報 對從儲料器間撖運裝置控制器 儲料器間搬運裝置用埠98的匣 業開始時、儲料器起重機80從 1, Μ 扣衣 訂 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 五、發明説明（ ^07131 A7 B7 子40時及作業完成時之各個將作 儲料器間搬運裝置控制器66報告。 裝置控制器66，係透過通信電纜 器間搬運作業指示的作業狀況報 業狀況報告，且在顯示儲料器起 出的情況之作業狀況報告到來之 器間搬運裝置42送出經由同埠的 儲料器間搬運作業指示。 供至儲料器36和儲料器間搬運裝 36，會報告顯示儲料盛起重機80 的匣子40之狀況。此外，主電腦 80從儲料器架96中取出適當的匣 來之前，不向儲料器36及儲料器 埠的匣子40之出庫作業指示及儲 此，俾使主電腦50送至儲料器36 作業指示之数不變多之情況、和 裝置42在等待作業中不空閒之情 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 儲料器架96取出適當的匣 業狀況透過通信電纜58向 接受此的儲料器間搬運 58向主電腦50進行對儲料 告。主電腦5 0，係接受作 重機80從儲料器架96中取 前，不向儲料器36及儲料 匣子40之出庫作業指示及 如此闞於從主電腦50提 置42的作業指示，儲料器 從儲料器架96中取出適當 50，在顯示儲科器起重機 子40的情況之狀況報告到 間搬運裝置42送出經由同 料器間搬運作業指示。藉 及儲料器間搬運裝置42的 儲料器36及儲料器間搬運 況得K兩立。 藉此，無論儲料器36及 的搬運能力，由於從主電 消無法掌握作為目標的作 無關於儲料器36及儲料器 多数的作業指示，且在儲 生故障時可解消其復舊所 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 儲料器間搬運裝置42是否有足夠 腦50中作業指示沒有來所Μ可解 業次數的問題。又，主電腦50係 間搬運裝置42之作業狀況而送出 料器36及儲料器間搬運裝置42發 需花費時間的問題。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） 68 Λ7 ^07131 B7 五、發明説明（66) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 上述之主電腦50，由於知道儲料器36之收納場所為空的 所K具有顯示儲料器36之匣子40之裝置狀況的資料。但是 ，該資料，與儲料器控制器64所具有之實際的匣子40之裝 置資科不同者，可考慮係因主電腦50和儲料器控制器64之 間的通信線路不良、或主電腦50之系統當機造成資料喪失 等所發生者》該種情況，主電腦50考慮在儲料器36上有收 納匣子40之空位的場所。因此，主電腦50，從處理裝置32 、34接受匣子40之退出要求，且在自動搬蓮車38上使適當 E子40從處理裝置32、34運至自動搬運車用入口埠88上。 接著當完成該作業時，主電腦50，會將該厘子40之入庫作 業指示邊至儲料器36上。但是，就儲料器控制器64所管理 之實際的儲料器36之收納場所而言由於沒有空位所以無法 進行自動搬運車用入口燁88上的匣子40之收納，且會發生 作業中止的狀況。同樣的狀況可考處即使在匣子40之儲料 器間搬運作業中亦會發生。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 此情況，雖然匣子40到達儲科器間搬運裝置用埠98，但 是由於沒有匣子40之收納場所所Μ會以原狀中止作業。又 ，在手動用入口埠116上有匣子40時，主電腦50，可考慮 在36内有空位的場所，且雖將入庫的作業指示送至儲料器 36上，但是由於實際上沒有空位的場所所Κ會發生作業中 止的狀況。反之實際上無論是否在儲料器36上有空位的場 所，主電腦50會判斷儲料器36所收納的匣子40已滿載，而 會發生無法著手於與入庫相闞的作業。 在發生該種問題時，為了可縮短因該問題而造成之儲料 本紙張尺度適用中國國家標準（€奶）六4規格（210'/ 297公釐） -69 -
五、發明説明（G «07133 A7 B7 器36相關的作業之停止時間， 理的儲料器36内之匣子40的裝 管理的裝置資料之不一致的方 此主電腦50，會依作業者而接 示，且對被指示的儲料器控制 36内之所有的匣子40之ID資料 向儲料器控制器64發送。接受 本身所持有的匣子40之裝置資 而在迅速發現主電腦50所管 置資科和儲科器控制器64所 面就為必要而不可缺乏。因 受來自作業者終端機56的指 器64，報告被收納在儲料器 。將該命令透過通信電纜58 此的儲料器控制器64，係將 料全部透過通信電親58向主 腦50，會進行被收納在本身 40之ID資料和由儲料器控制 校對，且對於不同者顯示在 業者。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 電腦50報告。 所持有的適當 器64所報告的 作業者终端機 如此在本實 埠88、儲料器 發生匣子40停 在儲料器36上 業等的問題時 示進行被收納 I D資料和儲料 接受回信的主電 儲料器36的匣子 裝置資料之比較 56上，並通知作 施形態中的主電 間搬運装置用埠 止而入庫作業不 有收納場所仍無 ，會按照來自作 在主電腦50所持 器控制器64所具 校對。又，將其 作業者通知在何 I D資料的比較 5 6上，且可向 採取適當的處置，且合併混合 控制器64之儲料器36内的匣子 前述之作業的狀況。 腦50，在 98、或手 被執行的 法著手與 業者终端 有之儲料 有之實際 差異點顯 處有間題 被收納在 40之ID資 自動搬運車用入口 動用入 問題、 入庫作 機56之 器36内 被收納 示在作 。结果 主電腦 料，就 口埠116上 及無論是否 業相闞的作 作業者的指 的匣子40之 的匣子40之 業者终端機 ，作業者會 50和儲料器 可恢復停止 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -70 - 4〇7l3l ΑΊ B7 五、發明説明63 ) 又，主電腦50在向儲料器控制器64發送詢問之際，雖可 一次詢問一個儲料器，但是在資料量多的情況等例如圖7A 、7B所示之STK01至04般可Μ儲料器單元單位進行詢問 。上述之主電腦50係按照由作業者終端機56所輸入的作業 者之指示，對儲料器控制器64詢問被收納在儲料器36内的 匣子40之ID資料。進行該ID料科和被收納在本身所持有的 儲料器36內的匣子40之ID資料的比較校對。ID資料有所差 異之原因，有K下二種情況，考慮主電腦50有匣子40而考 慮儲料器控制器64沒有的情況、和與此相反考慮主電腦50 沒有匣子40而考盧儲料器控制器64有的情況。無論是否與 此有關，主電腦50不做兩者之區別而將ID資料之差異顯示 在作業者終端機56上。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 作業者，就儲料器控制器64之資料為正確的情況時考盧 主電腦50沒有的匣子40，會利用作業者终端機56將該資料 追加在主電腦50之資料上。反之就考盧主電腦50為有的匣 子40而言，會利用作業者終端機56從主電腦50之資料中刪 除該資料。如此對於2個原因之各個的處理會不同。但是 ，在上述之主電腦50中，由於對應2個原因所區別的校對 結果未被顯示在終端機56上，所K有因作業者而在主電腦 50之ID資料的復舊上須花費時間的問題。 因此主電腦50·在校對由儲料器36所報告得來的資料和 被收納在其本身所有的儲料器36内的匣子40之ID資料之際 ，亦可區別考慮主電腦50有而考慮儲料器控制器64沒有的 匣子40之ID資料、和與此相反考慮主電腦50沒有而考慮儲 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 7 , _ ΑΊ 407131 Β7 五、發明説明（6:)) 料器控制器64有的匣子40之ID資料而輸出至作業者終端機 56上。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 如上所述，主電腦50的校對结果，由於可區別考慮主電 腦50有匣子40而考慮儲料器控制器64沒有的情況、和與此 相反考盧主電腦50沒有匣子40而考慮儲料器控制器64有的 情況且顯示在作業者終端機56上，所以看到此的作業者就 可明確復舊作業的内容，且可縮短復舊所需的時間。 上述之主電腦50*係按照來自作業者之作業者終端機56 的指示，對儲料器控制器64詢問被收納在儲料器36内的匣 子40之ID資料，且進行該資料和被收納在主電腦50所持有 之儲料器36内的匣子40之ID資料之比較校對，並僅將不同 的資科顯示在該作業者終端機56上。因此，作業者會朝向 作業者终端機56，且必需變更主電腦5 0所具有的資料。因 此，主電腦50，會將校對之结果顯示在作業者终端機5 6上 ，同時亦可藉由從作業者終端機56獲得作業者之允許從被 收納在本身所持有之儲料器36内的匣子40之ID資料全部改 寫成由儲料器控制器64所報告者。 經濟部中央標準局員工消費合作社印装 藉此作業者*可一次進行被收納在主電腦50之儲料器36 内的匣子40之ID資料之追加或刪除作業，且可大幅縮短發 生問題時的復舊時間。 上述之主電腦50，係按照來自作業者之作業者終端機56 的指示，對儲料器控制器64詢問被收納在儲科器36内的匣 子40之裝置資料》主電腦50，係進行該資料和被收納在本 身所持有之儲料器36内的匣子40之裝置資料之比較校對。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） -72- 五、發明説明（70) 407131 Λ7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 , 器匣，顯 收資位 納對料顯 之子自資校腦裝中 50料納異被 之ID及 Μ收校資者50匣50ID較電之36 腦儲收差不5〇之0.^示較所同 腦之腦將比主40器 電與賴有亦 腦40?Nk 顯比場不 電納電僅作有子料 主使信沒然 電子 與做納料 主收主不當具匣儲 而即50上當 主匣豸 .收資 自被的際亦於得的 因，腦料， 自答、.㈣料No於等 來告此之料對内大 。 時電資致 來回KOM 資置關該 在報受對資握36較 料理主ID一 對50元 MID位就與 納 * 接校所把器量 資管和之不 係腦單 P 之 及認對 收問，較場位料容 ID所況40會 ，電器以40確係 被詢又比納單儲納。 之場情子不36主料 U 子0.行， 對料。的收所在收40 40納之匣果 器向儲 t 匣?N進5064資料料於場納在子 子收40在结 料，之0»的 Η 異腦 器置資資關納收使匣 Ε的子於的。儲問料|5料豸差電。制裝所置就收被即的 的内匣由對上 此詢資If資 .之主上控之場裝象以之，題 納36納同校56在料所£1置No科 。56器40納之對可64又問 收器收不之機，資場 Μ 裝元資認機料子收有的，器。成 被料際所50端7Β置納 U 之單ID確端儲匣其持對此制致造 較儲實場腦終、裝收gjl±36器對行終，的和所校因控一現 比之在納電者7A的其Its器料針進者述内料身較。器不發 只4064收主業圖40為 1 料儲僅亦業所36資本比象料的易 , 子器之 Μ 作 照子做。.儲的非異作上器ID與作對儲科容 時匣制40K 於參匣和No之所並差在如料的行當的和資可 此在控子所示 納料置有場，之示 儲40進料對50置亦 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 73 407131 A7 B7 五、發明説明（7 ί ) 參照圖12至圖14，說明儲料器之其他的構成例。 儲料器190包含有與儲料器36之自動搬運車用出口埠86 相同的自動搬蓮車用出口埠196。但是，可載置於該埠196 上的匣子40之個數，係被決定成在處理裝置32、34之投入 要求，即與自動搬運車用出口埠196所應付出之最大的匣 子數為相同者。此情況有2個匣子40可載置於該埠196上。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 -I I I-- - - -I ίΊ ! i— n 士，〇! I -I n^i I t^n * - 、T (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 處理裝置32、34係對主電腦50透過通信電鑭58而進行匣 子40之投入要求。此時處理裝置32、34會進行作為該装置 之處理單位的2個匣子40之投入要求。接受此的主電腦50 係判斷在適當儲料器190上是否有可Μ該處理裝置32、34 處理的匣子40。在可處理的匣子40有2個以上時，在將出 庫的匣子數特定為2個之後，會對儲料器控制器64，送出2 個匣子40之自動搬運車用出口埠196的出庫作業指示。接 受此的儲料器控制器64，係利用儲料器起重機80將第一個 匣子40運至自動搬運車用出口交接埠192上。儲科器控制 器64，係驅使前進移動装置2 0 0而將自動搬運車用出口交 接埠192 上的匣子40注前送至自動搬運車用出口埠196上 。與第一個匣子40之出庫作業平行，而第二個匣子40之出 庫作業係對Μ同樣的順序不同的裝置進行。當2個匣子對 自動搬運車用出口埠196出庫時，儲料器控制器64會對主 電腦50進行作業完成報告。 接受來自儲料器控制器64之出庫作業之完成報告的主電 腦50，接著會對自動搬運車38透過通信電纜58下達將被載 置於自動搬運車用出口埠196上的2個匣子40運至處理裝置 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 407131 A*7 B7 五、發明説明（72 ) 32、34之匣子台階172、182上的命令。接受該命令的自動 搬運車控制器60，會從具有複數個的自動搬運車38之中， 分派作業至最適於該搬運作業者上，且驅使控制局側通信 單元62和搬運車側通信單元142 ，一面進行無線通信而一 面進行匣子40之搬運作業。 就自動搬運車38之匣子40的搬運作業加Μ說明。首先台 車140從待機位置按照被貼附在地板上的感應帶156朝向 作為搬運處的儲科器190之自動搬運車用出口埠196 。當 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 台車140到達自動搬運車用出口埠196時，自動搬運車38 首先會透過對自動搬運車通信單元102，進行第一個匣子 40是否有存在於自動搬運車用出口埠196上。若有第一個 匣子40，則自動搬運車38，會驅使機器臂144、機器手146 及機器手爪148，在自動搬運車用出口埠196 上取入第一 個匣子40，並置放在本身的移載台150上。關於第二個匣 子40亦按照同樣的順序，置放在與本身不同的移載台150 上。當該載置作業完成時，台車140*會再次從儲料器190 朝作為搬運處之處理裝置32、34所指示的匣子台階172、 1δ2移動。當台車140 到達匣子台階172、182時，自動搬 運車38，會以與剛才相反的順序將移載台150上的適當匣 子40依序置放在被指示的匣子台階172、182上。當被指示 之所有的作業完成時自動搬運車控制器60會對主電腦50透 過通信電纜58進行作業完成報告。 接受利用自動搬運車38Μ完成2個匣子40之處理裝置32 、34的供給作業的報告之主電腦50，係透過通信電嫌58對 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ 297公釐） _ 7 5 - 407131 A7 B7 五、發明説明（73 ) 處理裝置32、34指示處理之開始。 如此藉由將可載置於儲料器190之自動搬運車用出口埠 196的匣子40之個數設成與應朗該埠付出的處理裝置32、 34所投入要求的匣子40之數相同，就可在來自處理裝置32 、34之投入要求的匣子40之個數單位中進行從儲料器190 中之收納場所至自動搬運車用出口埠196的出庫作業、及 從自動搬運車用出口埠196至處理裝置32、34之匣子台階 172、182的搬運作業之一系列的作業。 因而，來自處理裝置32、34之投入要求的匣子單位在多 於可載置於自動搬運車用出口埠196上的匣子個數時，超 過該匣子個數的匣子40不會變成後續之搬運作業。因此， 可解消位於處理裝置32、34之匣子台階172、182首先到達 的匣子40，在後續之匣子40到來之前不能開始進行處理裝 置32、34之處理而須等待的問題。 藉此，先行之匣子40在到達處理裝置32、34之匣子台階 172、182之後》不會使處理開始的時刻依後續之匣子40而 延遲。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 儲料器190 ，更包含有與儲料器36之自動搬運車用入口 埠88同樣的自動搬運車用入口埠198 。但是，可載置於該 埠198上的匣子40之個數，被決定成與處理裝置32、34要 求退出之最大的匣子数為相同者。此情況2個匣子40可載 置於該埠198上。 處理裝置32、34係以2匣子單位進行匣子40之退出要求 。接受此的主電腦50係在確保該等匣子40之儲料器190的 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公f ) -76 - 407131A7 B7 五、發明説明（74 ) 收納埸所之後，將搬運作業指示一次送至自動搬運車38上 。由主電腦50接收最大2個匣子40之搬運作業指示的自動 搬運車控制器60，係從具有複數個的自動搬運車38中將作 業分派在最適於該搬運作業者上，且使之進行不利用控制 局側通信單元62和搬運車側通信單元142進行無線通信的 搬運作業。 就自動搬運車38之匣子40的搬運作業加Μ說明。首先台 車140從待機位置按照被貼附在地板上的感應帶156 ，朗 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 向作為搬運處的處理裝置32、34。當台車140到達處理裝 置32、34時，自動搬運車38首先會透過對自動搬運車通信 單元174迤行匣子40是否有存在於匣子台階172、182上。 若在匣子台階172、182上有第一個匣子40，則自動搬運車 3δ，會驅使機器臂144、機器手146及機器手爪148，取入 位於匣子台階172、182上的第一個匣子40，並置放在本身 的移載台150上。關於第二個匣子40亦按照同樣的順序， 從匣子台階172、182取人於不同的移載台150上。當2個匣 子40之載置作業完成時，台車140會再次從搬運處處理裝 置32、34朝作為搬運處之儲料器190所指示的自動搬運車 用入口埠198移動。當到達自動搬運車用入口埠198時，會 Μ與剛才相反的順序將2個匣子40依序從移載台150置放在 自動搬運車用入口埠198上。當被指示之所有的作業完成 時自動搬運車控制器60會對主電腦50透過通信電嫌58進行 作業完成報告。 接受來自自動搬運車38之作業完成報告的主電腦50，會 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ 297公t ) 407131 A7 B7 五、發明説明（75 ) 對儲料器190，進行來自2個匣子40之自動搬運車用入口埠 198的入庫作業指示。按照透過通信電讕58而送來的該人 庫作業指示，儲料器控制器64在儲料器架96上確保匣子40 之收納場所之後，就會著手於入庫作業。已著手於入庫作 業的儲料器190 ，首先會驅使前進移動裝置20 2而使第一 個匣子40從自動搬運車用入口埠198移動至自動搬運車用 入口交接璋194上。當移動作業完成時，儲科器起重機80 會開始移動，而自動搬運車用入口交接埠194上的匣子40 就會朝已更加受到儲料器控制器64確保的儲料器架96上之 收納場所蓮送。更且與第一個匣子40之作業平行而第二個 匣子40之出庫作業Μ同樣的順序對不同的載置點進行。當 2個匣子被收納在儲料器架96上的收納場所内時就完成一 系列的作業，而儲料器控制器64會透過通信電纜58對主電 腦50進行作業完成報告。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 如上所逑，將可載置於儲料器190之自動搬運車用入口 埠198的匣子40之個數，設成與可使用該埠198之處理裝 置32、34所要求的匣子40之退出要求數相同。藉此，就可 在處理裝置32、34之退出要求個數單位中進行從處理裝置 32、34至自動搬運車用入口埠198的匣子40之搬運作業及 從自動搬蓮車用入口埠198至儲料器190之收納場所的匣 子4 0之入庫作業之一系列的作業。 因而，來自處理裝置32、3 4之退出要求的匣子單位在多 於可載置於自動搬運車用入口埠198上的匣子個数時，超 過該匣子個數的匣子40不會被留在處理裝置32、34之匣子 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） -78 - 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 407^31 B7 五、發明説明¢6 ) 台階172、182上。因而，可解消由於在該匣子40之搬運作 業等待時間變長的同時匣子台階172、182之空位延遲而須 花時間在對處理前匣子40之處理裝置32、34的供給的問題。 藉此，在處理後匣子40之處理裝置32、34的匣子台階 172、182之殘留會變無，且匣子台階172、1δ2在處理後， 短時間內為空，而新的處理前匣子40不延遅且可從儲料器 1 9 0出庫及供給。 參照圖13，儲料器190，更包含有與儲料器36之手動用 出口埠118同樣的手動用出口埠210。但是，可載置於該埠 2 10上的匣子40之個數，被決定成與處理裝置32、34要求 投入的最天之匣子數為相同者。此情況2個匣子40就可載 置於該埠上。 例如就未具備有自動搬運車38之儲料器190和處理由該 儲料器190所出庫的匣子40之處理裝置32、34加Κ考盧。 處理装置32、34係透過通信電纜58向主電腦50進行匣子投 入要求。此時處理裝置32、34*係M2匣子單位進行匣子 40之投入要求。接受此的主電腦50係向儲科器36詢問有無 可Μ處理裝置32、34處理的匣子40。在可處理的匣子40有 2個Μ上時，在將匣子40特定為2個之後，會對儲料器控制 器64送出匣子40之手動用出口埠210的出庫作業指示。接 受此的儲料器控制器64係使用儲料器起重機80將2個匣子 40依序朗持有2個匣子40之載置點的手動用出口埠210運送 。儲料器控制器64，係進行在儲料器190之操作面板121 允許手動用出口埠210上的匣子40之取出的顳示。看到此 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ 297公釐） ----，--j---裝------訂------J. (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) -79 - 407131 A7 B7 五、發明説明) 的作業者，會從手動用出口埠210中取出2個匣子40，且操 作操作面板121將完成取出作業的情況通知儲料器190 。 接受此的儲料器190會判斷出庫作業已完成，且對主電腦 50透過通信電纜58進行該完成報告。取出匣子40的作業者 ，由於不知道發出投入要求的處理裝置32、3 4是為哪一個 所K會向主電腦50之作業者終端機56調査發出投入要求的 處理裝置32、34。作業者會將匣子40運至發出投入要求之 處理裝置32、34的適當匣子台階172、182上。 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 如此地將可載置於手動用出口埠210上的匣子40之個數 設定成與處理裝置32、3 4要求投入的匣子40之數為相同。 藉此，就可在處理裝置32、34所投入要求的匣子40之個數 單位中進行從儲料器190之收納場所至手動用出口埠210的 出庫作業、及從手動用出口埠210至處理裝置32、34之匣 子台階172、182之作業者的搬運作業之一系列的作業。因 而，來自處理裝置32、34之投入要求的匣子單位在多於可 載置於手動用出口埠210上的匣子個数時，超過該匣子個 數的匣子40會變成後鑛的出庫作業且可解消作業者之作業 效率降低的問題。 藉此，就可減少作業者之等待時間，同時可縮短至處理 裝置32、34之匣子40的供給時間。 參照圖4及圖5·儲料器36*係如上所述在髂料器間搬蓮 裝置用埠98上之儲料器間搬運装置42具備有儲料器間搬運 裝置用埠外遮蔽門122和使該埠升降的儲料器間搬運裝置 用升降櫬124，而在自動搬運車用出口交接埠192和自動搬 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 。。 一 8 0 一 五、發明説明（7S ) 407叫 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 運車用入 用璋外遮 埠210之 就該等遮 之作業時 首先就 處理裝置 納在適當 且對儲料 儲料器控 上的適當 著儲料器 使前進移 86上。此 首先會在 搬運車用 器6 4會使 闞閉。Μ 對主電腦 又，在 ，儲料器 用前進移 先移動至 動搬蓮車 口交接埠194之自動搬 蔽門90，進而在手動用 作業者側備附有手動用 蔽門之動作做簡單說明 該等的遮蔽門會處於全 自動搬運車用埠外遮蔽 32、34之匣子40的投入 儲料器36内的匣子40中 器36送出該匣子40的出 制器64係利用儲料器起 匣子40蓮至自動搬運車 控制器64，會從自動搬 動裝置84使該匣子40移 時，由於自動搬運車用 使該遮蔽門90下降且打 出口埠86移動。當該移 處於開狀態的自動搬運 此完成一系列的出庫作 50進行作業完成報告。 運車38側安 入口埠116 埠外遮蔽門 。另外，在 部被關閉的 門9 0加以敘 要求時主電 搜尋出可處 庫之作業指 重機80將位 用出口交接 運車用出口 動至自動搬 埠外遮蔽門 開之後，使 動作業完成 車用埠外遮 裝自動搬運車 和手動用出口 11 4 。Κ下係 沒有儲料器36 狀態。 述。當有來自 腦50會從被收 理的匣子40， 示。接受此的 於儲料器架96 埠100上。接 交接埠100驅 運車用出口掸 9 0被關閉所Μ 匣子40朝自動 時儲料器控制 蔽門9 0上升且 業，而儲料器控制器64會 將自動搬運車用入口埠88上的匣子40予以入庫時 控制器64會基於來自主電腦50的人庫作業指示使 動裝置84使自動搬運車用人口埠88上的匣子40苜 自動搬浬車用入口交接埠104上。此時，由於自 用埠外遮蔽門90被關閉所以首先在使該遮蔽門90 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 81 五、發明説明 79 407131 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 下降且打 104移動 於打開狀 當該作業 而將該匣 要旨向主 其次就 裝置32、 料器36内 36發送出 用儲料器 手動用出 上進行允 示0 看到此 作操作面 門11 4下 40。作業 蔽門1 1 4 制器64， 又，透 入庫於儲 料器控制 且打開。 開之後，會使匣子40朝自動搬蓮車用入口交接埠 。當該移動作業完成時，儲料器控制器64，使處 態之自動搬蓮車用埠外遮蔽門90上升且闞閉。而 完成時，儲料器控制器64會驅使儲料器起重機80 子40收納在儲料器架96上，Μ完成作業，並將該 電腦50報告。 手動用埠外遮蔽門114加Μ敘述。當有來自處理 34的投入要求時，主電腦50會從被收納在適當儲 的匣子40中搜尋出可處理的匣子40，且對儲料器 庫的作業指示。接受此的儲料器控制器64，係利 起重機80將位於儲料器架96上的適當匣子40運至 口埠118 上。接著，在儲料器36之操作面板121 許手動用出口埤118上的適當匣子40之取出的顧 的作業者 板 121 。 降且打開 者藉由再 上升關閉 會對主電 過手動用 料器36内 器64就會 儲料器控 為了要打開 接受該操作 。之後，作 次操作操作 ，一系列的 腦50透過通 入口埠116 時，作業者 使被關閉的 制器64，係 手動用埠外 儲料器控制 業者會從同 面板121 Μ 出庫作業就 信電纜58進 將位於作業 藉由操作操 手動用埠外 將亦可將匣 遮蔽門11 4而搡 器64會使該遮蔽 埠中取出該匣子 使打開狀態的遮 完成。儲料器控 行作業完成報告。 者手邊的匣子40 作面板121 ·儲 遮蔽門1 1 4下降 子40置放在手動 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） 82 經濟部中央標準局員工消費合作社印策 407131 A7 B7 五、發明説明00 ) 用入口埤116上的情況顯示在操作面板121上。看到此的作 業者就會將匣子40置放在同埠116上，且再次操作操作面 板121 。藉由該操作而知道匣子40被置放在手動用入口埤 116上的儲料器36，會使手動用埠外遮蔽門114上升且關閉 ，再利用ID卡讀寫裝置120讀取被記錄在適當匣子40之ID 卡72上的資訊，且將該資訊透過通信電编[58向主電腦50報 告。主電腦50藉此就可知道作業者運來匣子40之情況，而 對儲料器36發送該匣子40之入庫的作業指示。儲料器36會 驅使自動搬運車用出口埠86而將位於手動用入口埠116的 匣子40收納在儲料器架96上以完成入庫作業。 最後，·就儲料器間搬運裝置用埠外遮蔽門122加Μ敘述 。匣子40係從搬運處儲料器36載置於儲料器間搬運裝置42 之台車162上再被運至儲料器間搬運裝置用埠98上。當台 車162到達時儲料器間搬運裝置控制器66，會透過通信電 纜58向儲料器控制器64委託將台車162上的匣子40載置於 儲料器間搬運裝置用埠98上。 接受委託的36，首先使儲料器間搬蓮裝置用埠外遮蔽門 122往横移動並打開，再驅使儲料器間搬運裝置用升降機 124以使儲料器間搬運裝置用埠98上升。當該上升作業完 成時儲料器控制器64利用移載機82將台車162上的匣子40 往儲料器間搬運裝置用埠98運送。接著儲料器控制器64會 利用儲料器間搬運裝置用升降機124以載置匣子40之狀態 使儲料器間搬蓮裝置用埠98朝下方之位置移動。儲料器控 制器64，在移動完成後，會關閉儲料器間搬運裝置用埠外 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X 297公釐） _ a Q _ ---^---^---裝------訂-------』 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 4〇n3i A7 B7 五、發明説明 遮蔽門122 ，且利用儲料器起重機80將匣子40收納在儲料 器架96上。以此完成一糸列的作業，且醏料器控制器64會 將該要旨透過通信電纜58向儲料器間搬運裝置控制器66報 告。又，在將被收納在儲料器36内的匣子40送出至台車 162上之際，儲料器36會按照儲料器間搬運裝置控制器66 之指示，使用與現在所述之順序相反的順序利用儲料器起 重機80、儲料器間搬運裝置用埠外遮蔽門122 、儲料器間 搬運裝置用升降機124及移載機82進行作業。 如此藉由在成為儲料器36和外雰圍氣之接點的自動搬運 車用入口交接埠104 、自動搬運車用出口交接埯100 、儲 料器間搬'蓮装置用埠98、手動用入口埠116 、及手動用出 口埠118的儲料器36之外周上設置用K遮蔽外雰園氣的門 ，就可從外部隔離儲料器36之内部。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 習知Μ來，儲料器36由於係透過自動搬運車用入口交接 埠104、自動搬運車用出口交接埠100、儲料器間搬運裝置 用埠98、手動用入口埠116、及手動用出口埠118而在周圍 的環境中開放，所Μ灰塵或霧氣會進入儲料器36內，且附 著在被保管的匣子40之晶圓70上而有帶來不良影響的可能 性之問題。 但是藉由上述之構成，就可獲得不會使灰塵或孩氣混入 儲料器36内部，且不會帶給被收納在被管理的匣子40内的 晶圓70不良影響的效果。 上述儲料器36，由於像從外部隔離其内部，所以在儲料 器間搬運裝置用埠98之儲料器間搬運裝置42側上具備有儲 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ 297公釐） -84 - 五、發明説明（82) 料器間搬運裝置用 間搬蓮裝置用升降 100和自動搬運車 安裝自動搬運車用 116和手動用出口 蔽門11 4 。但是， 和外部相通遮蔽的 參照圖4至圖6， 上增加儲料器間搬 的儲料器間搬運裝 機80側上'安裝儲料 自動搬蓮車用出口 104上增加自動搬 用埠内遮蔽門92於 動用入口埠116和 蔽門11 4而備附有 器起重機8 0側。 Μ下係就該等遮 儲料器36之作業時 首先就自動搬運 處理裝置3 2、3 4的 儲料器36内的匣子 器36送出出庫之作 先使適當的自動搬 407叫 B7 埠外遮 機124 用入口 埠外遮 埠11δ 在該等 狀態會 儲料器 運裝置 置用升 器間搬 交接埠 運車用 該等璋 手動用 手動用 蔽門122和使該埠升 ，又在自動 交接埠104 蔽門90，進 之作業者側 遮蔽門打開 被打破。 36係在儲料 用埠外遮蔽 降機124 ， 蓮裝置用埠 100和自動 埠外遮蔽門 的儲料器起 出口埠118 埠内遮蔽門 搬運車用 之自動搬 而在手動 備附有手 時，儲料 器間搬運 門122和 在該璋之 內遮蔽門 搬蓮車用 90而安裝 重機80側 上增加手 112於該 降的儲料器 出口交接埠 運車38側上 用入口埯 動用埠外遮 器36之内部 裝置用埠98 使該埠升降 儲料器起重 110 ，又在 入口交接埠 自動搬運車 ，進而在手 動用埠外遮 等埠的儲料 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 蔽門的動作做簡單說明。另外，在沒有 該等的遮蔽門會處於全部被關閉的狀態。 車用埠内遮蔽門92加以敘述。當有來自 投人要求時主電腦50會從被收納在適當 40中搜尋出可處理的匣子40，且對儲料 業指示。接受此的儲料器控制器64，首 運車用埠内遮蔽門92下降且打開，之後 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 85 407131 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（83 ) 利用儲料器起重 至自動搬運車用 作業结束時儲料 埠内遮蔽門9 2上 搬運車用埠外遮 100驅使前進移 出口埠86上。 又，在將自動 ，儲料器控制器 首先會使用前進 匣子40首.先移動 當移動完成而關 控制器64會使自 利用儲料器起重 匣子40朝儲料器 制器6 4，會使自 此完成來自自動 如此一來，自動搬運車 外遮蔽門90之任一方必 器36之内部和外 其次就手動用 裝置32、34的投 料器36内的匣子 3 6發送出庫的作 機80將位於儲料器架96上的適當匣子40運 出口交接埠100上。當儲料器起重機80之 器控制器64，會使打開著的自動搬運車用 升且關閉。儲料器控制器64，會打開自動 蔽門90，且從自動搬運車用出口交接埠 動裝置84使該匣子40移動至自動搬運車用 搬運車用入口埠88上的匣子40予Μ人庫時 64會打開自動搬運車用埠外遮蔽門90，且 移動裝置84使自動搬運車用人口埤88上的 至自動搬運車用入口交接埠104上。接著 閉自動搬運車用埠外遮蔽門90時，儲科器 動搬運車用漳内遮蔽門92下降且打開*並 機80使自動搬運車用入口交接埠104上的 架96移動。當該移動作業完成時儲料器控 動搬運車用埠内遮蔽門92上升且闞閉。如 搬運車用入口埠88之一系列的入庫作業。 用埠内遮蔽門92和自動搬運車用埠 會呈闞閉狀態，而可完全防止儲料 部相通的情形。 埠内遮蔽門112加Μ敘述。當有來自處理 入要求時，主電腦50會從被收納在適當儲 40中搜尋出可處理的匣子40，旦對儲料器 業指示。接受此的髂料器控制器64·首先 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝·
、1T 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ 297公釐） 86 五、發明説明（84 ) 會使手動用 重機8 0將位 埠118上。 遮蔽門11 2 121上進行 的顯示。按 開手動用埠 子40。 又，透過 入庫於儲料 料器控制’器 40置放在手 11 4之狀態 裝置120讀 之ID卡72上 50報告。主 ，而對儲料 的儲料器控 且打開之後 1 1 6上的匣 後儲料器控 40^31 B7 埠内遮蔽門112下降且打開，再利用儲料器起 於儲料器架96上的適當匣子40運至手動用出口 儲料器控制器64*在使打開狀態之手動用埠内 上升且關閉之後，會在儲料器36之操作面板 允許手動用出口埠118上之適當匣子40之取出 照操作面板121之操作，儲料器控制器64會打 外遮蔽門114 *而操作者可從同埠中取出該匣 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 制器64會使手動用埠内遮蔽 Μ完成來自一系列之手動用入口埠116 用埠内遮蔽門112和手動用 呈關閉狀態，而可完全防止 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ 297公釐） 87 {請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 手動用入 器36內時 6 4，會打 動用入口 下儲料器 取被記錄 的資訊， 電腦50藉 器36發送 制器64， ，會驅使 子40收納 口埠116將 *作業者藉 開手動用埠 埠116上。 控制器6 4， 在置放於手 且將該資訊 此就可知道 該匣子40之 首先在使手 儲料器起重 在儲料器架 位於作 由操作 外遮蔽 在關閉 接著會 動用入 透過通 作業者 入庫的 動用埠 機80將 96上。 一來，手動 任一方必會 業者手邊的匣子40 操作面板1 2 1 ，儲 門1 1 4 ，以使匣子 手動用埠外遮蔽門 利用利用I D卡讀寫 口埠116之匣子40 信電嫌58向主電腦 運來匣子40之情況 作業指示。接受此 内遮蔽門11 2下降 位於手動用入口埠 該收納作業完成之 門11 2上升且關閉 的入庫作業。如此 埠外遮蔽門11 4之 儲料器3 6之內部和 407131 A7 B7 五、發明説明（8·$) 外部相通的情形。 最後，就儲料器間搬運裝置用埠内遮蔽門110加以敘述 。從搬運處儲料器36載置於儲料器間搬運裝置42之台車 162上運至而來的匣子40係驅使儲料器間搬運裝置用埠外 遮蔽門122 、儲料器間搬運裝置用升降機124及移載機82 而運至儲料器間搬運裝置用埠9 8上。此時儲科器間搬運裝 置用埠98係處於下方的位置，而儲料器間搬運装置用埠外 遮蔽門122亦處於備關閉的狀態。接著儲料器間搬運装置 控制器66，在使儲料器間搬運裝置用埠内遮蔽門110注下 方移動且打開之後，會利用儲料器起重機80將儲料器間搬 運裝置用'堤98上的匣子40收納在儲料器架96上。當收納作 業完成時儲料器間搬運裝置控制器66會將儲料器間搬運裝 置用埠内遮蔽門110送回原來的位置上且將之闞閉，以此 完成一糸列的作業。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 又，在將被收納在儲料器36之匣子40送出至台車162之 際，儲料器36在儲料器間搬運裝置控制器66之指示之下， 會以與琨在所述相反的順序利用儲料器起重機80、儲料器 間搬運裝置用埠內遮蔽門110 、儲料器間搬運裝置用埠外 遮蔽門122、儲料器間搬運裝置用升降機124及移載機82進 行作業。如此一來，儲料器間搬運裝置用埠内遮蔽門110 和儲料器間搬運裝置用埠外遮蔽門1 22之任一方必會呈關 閉狀態，而可完全防止儲料器36之内部和外部相通的情形。 如此藉由在成為儲料器36和外界之接點的自動搬運車用 入口交接埠104、自動搬運車用出口交接埠100、儲料器間 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4規格（210Χ 297公釐) -8 8 一 407131 ΑΊ Β7 五、發明説明沒S ) 搬運裝置用埠98、手動用入口埠116、及手動用出口埠118 的儲料器36之外側和内側之兩方上設置使其任一方皆呈闞 閉狀態的門，就可從外部完全隔離儲料器36之內部。因而 ，儲料器36由於可透過自動搬運車用入口交接埠104、自 動搬運車用出口交接埠100、儲料器間搬蓮裝置用埠98、 手動用入口埠116、及手動用出口掸118向四周環境解放， 所以可解消灰塵或霧氣會進入儲料器36內，且附著在被保 管的匣子40之晶圓70上而有帶來不良影響的可能性之問題。 藉此，就可獲得不會使儲料器36之外部的灰塵或霧氣混 入儲料器36内部，且不會帶給被收納在被管理的匣子40內 的晶圓70不良影響的效果。 儲料器36，更進一步在手動用出口埠118上包含有可讀 寫被裝接在匣子40上之ID卡72之資料的ID卡讀寫裝置120。 儲料器190亦更進一步在手動用出口堉210上包含有可 講寫被裝接在匣子40上之ID卡72之資料的ID卡讀寫裝置 120 。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 就被安裝在該手動用出口埠118上的ID卡讀寫裝置120 加Μ敘述。就自動搬運車38所未具備的儲料器36和用K處 理由該儲料器36所出庫之匣子40的處理裝置32、34加Κ考 盧。當處理裝置32、34透過通信電纜58向主電腦50進行匣 子投入要求時，主電腦50會搜尋在儲料器36上有無可處理 的匣子40，在有匣子40時會移至出庫作業上。移至出庫作 業的主電腦50，會對儲料器36，透過通信電纜58送出將位 於儲料器架96上的匣子40朝手動用出口埠118搬運的作業 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ 297公潑） 407131 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（87) 1 1 I 指 示 〇 1 1 接 受 此的儲料 器 36 > 會利用 儲料器 起 重機8 0將 適 當 的 匣 ^^ 1 | 子 40朗 手動用出 P 埠118蓮送 。儲料 器 3 6會利用 備 附 在 手 請 先 閱 1 I 動 用 出 口埠 118 的 ID卡 讀寫装 置120 9 讀入被記 錄 於 現 在 讀 背 面 1 | 所 蓮 來 的匣子40之 ID卡 72的資 料，且 ιίΛ> 將 該資訊透 via. 班 通 信 電 之 注 1 意 I 親 58向 主電腦50報 告。 事 項 1 I 再 1 接 受 此的主電 腦 5 0係 進行由 手動用 出 口埠 118 所 出 庫 的 填 本 裝 匣 子 40和發出出 庫 作業 指示的 匣子40之 比較校對 9 Μ 辨 識 頁 1 I 同 一 性 。之後， 由 於將 次處理 裝置32 34的裝置 名 稱 寫 入 1 1 1 於 該 ID卡72內所 >x 會透 過通信 電纜58對 儲料器36送 出 ID卡 1 1 | 寫 入 作 業'指示。 1 訂 接 受 此的儲料 器 36， 會在ID卡讀寫 裝 置120上 發 送 該 資 1 1 訊 9 而 在被装接 於 半導 體晶圓 匣40的 ID卡72上寫 入 次 處 理 1 I 裝 置 32 、34的裝 置 名稱 。裝置 名稱被 寫 入的ID卡 72 會 將 該 1 1 | 裝 置 名 稱顯示在 本 身的 顯示部 74上0 當 該寫入作 業 完 成 時 會 追 尋 相反的路 徑 ，向 主電腦 50報告 該 情況。 1 I 接 受 此的主電 腦 50， 由允許 來自作 業 者之匣子 40之 手 動 1 1 用 出 P 埠118的 取 出作 業*所 以畲將 作 業指示送 至 儲 料 器 1 | 36上 〇 接受此的 儲 科器 36，會 在儲料 器 36之搡作 面 板 121 I 1 I 上 進 行 允許手動 用 出口 埠118 上的適 當 匣子40之 取 出 的 顯 \ 4 1 I 示 0 1 1 看 到 此的作桊 者 ，會 從手動 用出口 埠 1 1 8中取 出 逋 當 匣 1 1 子 40 且操作操 作 面板 121向 儲料器 36通知取出 作 橥 完 成 1 I 的 情 況 。接受此 睇 料器 36就會 判斷出 庫 作業已完 成 且 透 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨0x297公釐） 407131 hi B7_ 五、發明説明（8S ) 過通信電纜58對主電腦50進行該完成報告。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 取出匣子40之作業者，與習知不同由於提出投入要求的 處理裝置32、34係被顯示在匣子40之ID卡72的顯示部74上 所Μ無須對作業者终端機56進行，就可直接朝該處理装置 32、34之適當匣子台階172、182運送。 如此藉由在儲料器36之手動用出口塢118上安裝ID卡謓 寫裝置120 ，主電臈50就可在被装接於匣子40之ID卡72的 顯示部74上寫入作為搬運目的地的次處理裝置32、34之裝 置名稱。 因而*在從手動用出口埠118取出匣子40時作業者無法 知道要運’送至哪一個處理裝置32、3 4上較佳，而為了取得 該資訊就沒有必要向主電腦50之作業者终端機56進行。因 此，就可解消作業時間浪費的問題。 藉此，作業者看到顯示在被裝接於匣子40之ID卡72的顯 示部74上之裝置名稱，就可將該匣子40直接朗處理裝置32 、34運送。 經濟部中央標隼局員工消費合作社印製 ID卡72，係將通信部76配置在其底面。藉由利用該ID卡 72儲料器36躭可在其手動用入口埠116或手動用出口埠Π8 中將ID卡讀寫裝置120對懕前述之ID卡72的通信部76之位 置而配置在匣子承接器具220之下。ID卡讀寫装置120，係 透過由匣子承接器具130所作成的通信窗口 132與備附在ID 卡72之底面的通信部76進行通信。藉由將ID卡讀寫裝置 12 0配置在匣子承接器具220之下方，作業者就可在手動 用入口埠116上置放匣子40之際*或從手動用出口埠118取 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) A4規格（210X 297公釐） _ 91 - 407131 A7 B7 五、發明説明P9 經濟部中央標準局員工消費合作社印聚 出匣子40之際 作該ID卡72朝 等的匣子40時 如此地藉由 手動用出口埠 配置ID卡讀寫 設為朝尚作業 運車用入口交 及儲料器間搬 為外側方向。 因而/由於 40之方向與在 向係相差9 0度 需進行旋轉作 又，由於在 之方向與在自 係相差9 0度， 進行旋轉作業 再者，由於 118上的匣子 所Μ就可解消 的問題。 藉此，作業 口埠1 1 6和手 ，即使將 向作業者 亦不會如 在被安装 118上之 裝置120 者側的方 接掸104 運裝置用 該等埠中 側的方向 習知般地 於儲料器 該等埠的 ，就可將 向。進而 、自動搬 埠98中的 在儲料器36之自動 自動搬蓮車用入口 ，所Μ可解消前進 業的問題。 儲料器36之自動搬 動搬運車用出口交 所Μ可解消前進移 的問題。 被置放在手動用入 40之ID卡72的方向 很難要確認被配置 者就可很容易謓取 動用出口埠1 18上 的匣子40之載置方向，當 ，作業者在置放或取出該 造成阻礙。 36之手動用人口埠116或 匣子承接器具220之下， 該處的匣子40之載置方向 可將儲料器架96、自動搬 運車用出口交接埠100 、 匣子40之載置方向全部設 搬運車用入口埠88的匣子 交接埠104的匣子40之方 移動裝置δ4在作業中途必 運車用出口埯86的匣子40 接埠100的匣子40之方向 動裝置84在作業中途必需 口埠116和手動用出口埠 沒有朝向作業者作業面， 在同埠上的匣子40是什麽 顯示於被置放在手動用入 的匣子40之ID卡72的顧示 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公麓） 92 407ί31Α7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（ 90) 1 1 | 部 74之 資 訊 〇 又 藉 由 將 i 動 搬 運 車 用 出 □ 交 接 埠 100和 1 1 1 自 動 搬 運 車 用 出 P 埠 86 之 匣 子 40的 載 置 方 向 設 為 相 同 9 或 /·-V 1 I 將 自 動 搬 運 車 用 入 口 交 接 埠 104 和 白 動 搬 運 車 用 入 Ρ 埠 88 請 先 閲 1 1 | 之 匣 子 40的 載 置 方 向 設 為 相 同 就 沒 必 要 在 該 等 埠 間 之 匣 讀 背 1 子 40的 移 動 作 業 之 中 途 將 前 進 移 動 裝 置 84之 匣 子 40的 方 向 1 4 意 1 1 旋 轉 90度 0 事 項 1 I 在 上 述 之 半 導 體 晶 圓 匣 搬 運 裝 置 中 的 匣 子 40 會 因 該 等 裝 本 製 程 而 有 非 常 討 厭 灰 塵 或 m 氣 等 雜 質 附 著 在 晶 画 70的 情 況 頁 —^ 1 1 和 沒 有 那 樣 程 度 的 情 況 0 因 此 關 於 儲 料 器 36之 保 管 環 境 1 1 I 的 要 求 亦 會 有 所 不 同 〇 因 此 對 於 用 Μ 保 管 翮 於 保 管 環 境 1 1 有 嚴 格 要 •求 之 製 程 的 匣 子 40之 儲 料 器 36而 言 就 可 使 用 具 1 訂 備 自 動 搬 運 車 用 埠 外 遮 蔽 門 90 白 動 搬 蓮 車 用 埠 內 遮 蔽 門 1 | 92 手 動 用 埠 外 遮 蔽 門 114 Λ 手 動 用 埠 内 遮 蔽 門 112 儲 1 I 料 器 間 搬 運 裝 置 用 埠 外 遮 蔽 門 122 儲 科 器 間 搬 蓮 裝 置 用 1 1 | 埠 内 遮 蔽 門 110 等 的 遮 蔽 門 而 對 於 用 保 管 沒 有 那 麽 嚴 I 格 要 求 之 製 程 的 匣 子 40之 儲 料 器 36而 言 就 可 使 用 沒 有 具 1 1 備 該 等 遮 蔽 門 者 0 1 | 如 此 按 昭 用 以 處 理 匣 子 40 之 處 理 装 置 32 Λ 34所 進 行 的 製 1 I 程 而 藉 由 將 用 保 管 該 匣 子 40 之 儲 料 器 36的 形 態 分 別 使 1 1 1 用 於 有 遮 蔽 門 和 無 遮 蔽 門 上 就 可 一 面 將 具 高 價 的 遮 蔽 門 J f 之 儲 料 器 36 之 使 用 抑 制 在 最 小 限 而 一 面 滿 足 闞 於 嚴 格 之 保 1 1 管 環 境 的 要 求 0 1 | 在 半 導 體 之 製 造 中 在 從 某 一 製 程 之 處 理 结 束 至 下 一 製 1 I 程 之 處 理 開 始 的 作 業 時 間 及 有 必 要 嚴 格 管 理 期 間 之 作 業 環 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公犛） — -93 - 407131 ΑΊ Β7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（9 L) 1 1 1 境 的 製 程 為 很 長 的 製 造 製 程 中 存 在 有 幾 個 〇 因 此 半 導 體 晶 1 1 | 圓 匣 搬 運 裝 置 混 合 有 有 遮 蔽 門 之 儲 料 器 36和 無 遮 蔽 門 之 '~S I 儲 料 器 36 0 而 且 主 電 腦 50亦 可 從 輸 入 ask 做 構 54中 提 供 從 處 請 先 1 1 閱 [ 理 结 束 至 處 理 開 始 的 作 業 時 間 和 嚴 格 管 理 其 間 之 作 業 時 間 讀 背 Xy 1 的 製 造 製 程 之 資 訊 0 對 於 在 被 嚴 格 管 理 之 製 造 製 程 中 所 使 1 意 1 I 用 的 儲 料 器 36而 言 可 全 不 使 用 具 有 遮 蔽 門 者 進 而 亦 可 進 事 項 1 I 再 1 行 提 高 優 先 順 序 的 搬 運 控 制 Μ 便 將 使 用 儲 科 器 間 搬 運 裝 置 為· 本 裝 42之 儲 料 器 間 之 搬 運 作 業 及 使 用 白 動 搬 運 車 38 之 儲 料 器 36 頁 '—^ 1 I 和 處 理 裝 置 32 Λ 3 4間 之 搬 運 作 業 與 其 他 的 製 造 製 程 比 較 而 1 1 可 快 速 進 行 〇 1 1 在 該 種 ，的 半 導 體 晶 圓 匣 搬 運 裝 置 上 混 合 有 有 遮 蔽 門 和 無 1 訂 遮 蔽 門 之 儲 料 器 36 0 進 而 主 電 腦 50可 在 嚴 格 管 理 作 業 環 境 1 I 之 製 造 製 程 和 除 此 Μ 外 的 製 程 中 分 別 使 用 該 等 儲 料 器 36 1 1 1 〇 同 時 主 電 腦 50可 進 行 提 高 優 先 順 序 的 搬 運 控 制 Μ 便 將 1 1 使 用 儲 料 器 間 搬 運 裝 置 42之 櫧 料 器 間 之 搬 運 作 業 暨 使 用 自 I 動 搬 運 車 38之 儲 料 器 36及 處 理 裝 置 32 34間 之 搬 運 作 業 與 1 1 其 他 的 製 造 製 程 比 較 而 可 快 速 進 行 〇 因 此 就 可 將 具 高 價 1 I 的 遮 蔽 門 之 儲 料 器 36之 使 用 抑 制 在 最 小 限 且 一 面 使 用 與 1 1 I 其 他 製 程 相 同 的 儲 料 器 間 搬 運 裝 置 42和 白 動 搬 運 車 38而 —. 1 1 面 滿 足 嚴 格 的 搬 運 作 業 時 間 和 關 於 其 作 業 環 境 的 要 求 0 1 1 1 1 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（2丨0X 297公釐） -9 4 一 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（92 1 1 (元 件編號之說明 ) 1 1 30 搬 運 裝 置 1 1 32 處 理 裝 置 /—V 請 先 1 1 34 處 理 裝 置 閲 背 之 36 儲 料 器 1 1 38 白 動 搬 運 車 意 事 1 項 | 40 匣 子 再 % 1 42 搬 運 裝 置 馬 本 頁 Γ 50 主 電 腦 V_X 1 1 52 主 機 1 I 54 輸 入 m 構 1 1 訂 56 終 m 機 1 58 通 信 電 纜 1 60 白 動 搬 運 車 控 制器 1 1 62 通 信 單 元 1 線 64 儲 料 器 控 制 器 1 I 66 搬 運 裝 置 控 制 器 1 1 7 0 半 導 體 晶 圓 1 1 72 ID卡 1 1 74 顯 示 部 1 I 76 通 信 部 1 1 I 80 起 重 機 1 1 82 移 載 機 1 1 84 移 動 裝 置 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21 OX 297公釐） 95 -修正頁 407131 A7 ^ B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（93 ) 1 1 86 自 動 搬 運 車 用 出 P 埠 1 1 88 白 動 搬 運 車 用 入 □ 埠 1 1 90 g 動 搬 運 車 用 埠 外 遮 蔽 門 /—^ 請 先 閱 1 1 92 自 動 搬 蓮 車 用 埠 内 遮 蔽 門 背 Λ 之 1 94 儲 料 器 面 板 1 注 1 96 儲 料 器 架 意 事 1 項 1 98 搬 蓮 裝 置 用 埤 再 Φτ 1 % V 100 白 動 搬 運 車 用 出 P 交 接 埠 本 % 1 102 通 信 單 元 1 1 104 白 動 搬 運 車 用 入 □ 交 接 埠 1 I 110 搬 運 裝 置 用 埠 內 遮 蔽 門 1 訂 112 手 動 用 埠 内 遮 蔽 門 1 I 114 手 動 用 埠 外 遮 蔽 門 1 116 手 動 用 入 □ 塢 1 1 118 手 動 用 出 P 埠 1 線 120 ID卡讓寫裝置 1 I 121 操 作 面 板 1 1 122 搬 運 裝 置 用 埠 外 遮 蔽 門 1 1 124 升 降 m 1 1 130 匣 子 承 接 器 具 1 I 132 通 信 窗 口 1 1 I 140 台 車 1 1 142 通 信 單 元 1 1 144 機 器 臂 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） _ 96 -修正頁 五、發明説明（94 407131 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 146 機 器 手 148 機 器 手 爪 150 移 載 台 152 操 作 面 板 154 緩 衝 板 156 感 愿 帶 160 行 走 軌 道 162 台 車 164 懸 吊 金 屬 器 具 170 主 機 172 匣 子 台 階 174 通 信 單 元 182 匣 子 台 階 190 儲 料 器 192 g 動 搬 運 車 用 出 口 交 接 埠 194 g 動 搬 運 車 用 入 D 交 接 埠 196 自 動 搬 蓮 車 用 出 □ 漳 198 白 動 搬 運 車 用 入 P 璋 200 移 動 裝 置 202 移 動 裝 置 2 1 0 手 動 用 出 □ 璋 220 匣 子 承 接 器 具 230 搬 蓮 裝 置 232 匣 子 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 線！ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） - 97 _修正頁 407131 五、發明説明（95 ) 2 3 4 儲料器 240 ID卡 250 移動裝置 25 2 自動搬運車用出口埠 254 自動搬運車用入口埠 260 手動用入口埠 262 手動用出口埠 270 ID卡讀寫裝置 A7 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -訂· 坡！ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） —98 _修正頁

Claims (1)

  1. A8 § 08 _ 六、申請專利範圍 業者； 儲料器間搬蓮裝置（42)，在搬蓮處之前述儲料器（190) 和搬運目的地之前述儲料器U 9 0)之間用以進行前述半導 體晶圓匣（4 0)之搬運作業者；Μ及 主電腦（5 0 )，用Μ進行前述儲料器（1 9 0 ):前述儲料器 間搬運裝置（42)、前述自動搬運車（38)及前述處理裝置 (3 2 )、（ 3 4 )之控制者，且包含有， 儲料器間搬運裝置用埠（9 8 )，依前述儲料器間搬運裝置 (42)用Μ進行前述半導體晶圓匣（40)之入出庫者； 自動搬運車用入口埠（88) >依前述自動搬運車（38)用以 進行前述半導體晶圓匣（40)之入庫者； 自動搬運車用出口埠（86)，依前述自動搬運車（38)用Μ 進行前述半導體晶圓匣（40)之出庫者； 手動用埠（1 1 6 )、（ 1 1 8 )，依作業者用Κ進行前述半導 體晶圓匣（40)之入出庫者； 第一遮蔽門（1 1 0 )、（ 1 2 2 )，被設在前述儲料器間搬蓮裝 置用埠（98)上者； 第二遮蔽門（90)、（92)，被設在前述自動搬運車用入口 埠（88)上者； 第三遮蔽門（90)、（92)，被設在前述自動搬運車用出口 埠（86)上者；Μ及 第四遮蔽門（112)'(114)，被設在前述手動用埠（116)、（ 1 18)上者。 6 .如申請專利範圍第5項之儲料器，其中前述第一遮蔽 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ~ ~ -3 -叙正頁： ^-----------------^ I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 經濟部中央標準局貝工消費合作社印裝 407131 A8 B8 C8 D8六、申請專利範圍 1. 一種半導體晶圓匣搬運裝置，包含有： 儲料器（190) *用以收納複數個半導體晶圓匣（40)者； 處理裝置（32)、（34)，用以在前述半導體晶圓匣（40)上 施行處理者； 自動搬運車（38)，用K進行前述儲料器（190)和前述處 理裝置（32)、（34)之間的前述半導體晶圓匣（40)之搬運作 業者； 儲料器間搬運裝置（42)，在搬蓮處之前述儲料器（190) 和搬運目的地之前述儲料器（190)之間用Μ進行前述半専 體晶圓匣（40)之搬運作業者；Μ及 主電腦.(50)，用W進行前述儲料器（190)、前述儲料器 間搬運裝置（42)、前述自動搬運車（38)及前述處理裝置 (32)、（34)之控制者，其中 前述儲料器（1 90 )包含有，依作業者用以進行之前述半 導體晶圓匣之出庫的手動用出口埠（210)， 可置於前述手動用出口埠（210)上之前述半導體晶圓匣 (40)的個數係Μ前述處理裝置（32)、（34) —次要求之前 述半専體晶圓匣（40)的個數之關係而被決定者。 2. 如申請專利範圍第1項之半導體晶圓匣搬運装置，其 中 前述儲科器（1 90 )，更進一步包含有依作業者用以進行 前述半導體晶圓匣（40)人庫的手動用入口埠（260), 可置於前述手動用人口埠（260)上的前述半導體晶圓匣 (4 0 )之個数為2個。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） ~~"~~I (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 407131 Α8 Β8 C8 D8 六、申請專利範圍 3. 如申請專利範圍第1項之半導體晶圓匣搬運裝置，其 中，前述手動用入口埠（260)和前述處理裝置（32)、（34) 不被對應者。 4. 如申請專利範圍第1項之半導體晶圓匣搬運裝置，其 中前逑儲料器（190)，更進一步包含有： 自動搬運車用入口埠（198)，依前述自動搬蓮車（38)用 K進行前述半導體晶圓匣（40)之入庫者；以及 自動搬運車用出口埠（196) ，依前述自動搬運車（38)用 Μ進行前述半等體晶圓匣（40)之出庫者， 可置於前述自動搬蓮車用入口埠（198)上之前述半等體 晶圓匣（4Τ))的個數係Κ前述處理裝置（3 2 )、（ 3 4) —次要 求排出之前述半導體晶圓匣（40)的個數之關係而被決定， 而前述自動搬運車（38)可一次搬運之前述半導體晶圓匣 (40)的個數可以可置於前述自動搬運車用入口埠（198)上 的前逑半導體晶圓匣（40)之個數及可置於前述自動搬運車 用出口埠（196)上的前述半導體晶圓匣（40)之個数之鼷係 而被決定。 經濟部中央橾準局貝工消費合作社印裝 5. —種儲料器，其為半導體晶圓匣搬運裝置（30)所使用 之儲料器（36)，包含有： 儲料器（190)，用Μ收納複数個半導體晶圓匣（40)者； 處理装置（32)、（34)，用以在前述半導體晶圓匣（40)上 施行處理者； 自動搬運車（38)，用Κ進行前述儲料器（190)和前述處 理装置（3 2 )、（ 3 4 )之間的前述半導體晶圓匣（4 0 )之搬運作 2 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標率（CNS〉Μ規格（210Χ297公釐）
    A8 § 08 _ 六、申請專利範圍 業者； 儲料器間搬蓮裝置（42)，在搬蓮處之前述儲料器（190) 和搬運目的地之前述儲料器U 9 0)之間用以進行前述半導 體晶圓匣（4 0)之搬運作業者；Μ及 主電腦（5 0 )，用Μ進行前述儲料器（1 9 0 ):前述儲料器 間搬運裝置（42)、前述自動搬運車（38)及前述處理裝置 (3 2 )、（ 3 4 )之控制者，且包含有， 儲料器間搬運裝置用埠（9 8 )，依前述儲料器間搬運裝置 (42)用Μ進行前述半導體晶圓匣（40)之入出庫者； 自動搬運車用入口埠（88) >依前述自動搬運車（38)用以 進行前述半導體晶圓匣（40)之入庫者； 自動搬運車用出口埠（86)，依前述自動搬運車（38)用Μ 進行前述半導體晶圓匣（40)之出庫者； 手動用埠（1 1 6 )、（ 1 1 8 )，依作業者用Κ進行前述半導 體晶圓匣（40)之入出庫者； 第一遮蔽門（1 1 0 )、（ 1 2 2 )，被設在前述儲料器間搬蓮裝 置用埠（98)上者； 第二遮蔽門（90)、（92)，被設在前述自動搬運車用入口 埠（88)上者； 第三遮蔽門（90)、（92)，被設在前述自動搬運車用出口 埠（86)上者；Μ及 第四遮蔽門（112)'(114)，被設在前述手動用埠（116)、（ 1 18)上者。 6 .如申請專利範圍第5項之儲料器，其中前述第一遮蔽 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ~ ~ -3 -叙正頁： ^-----------------^ I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 407131^8 C8 D8 六、申請專利範圍 門（110)、（122)、前述第二遮蔽門（90)、（92)、前述第三 遮蔽門（9 0 )、（ 9 2 )及前述第四遮蔽門（1 1 2 )、（ 11 4 )，係各 自為雙層的遮蔽門者。 7.—種半導體晶圓匣搬運裝置，包含有： 儲料器U90)，用Μ收納複數個半導體晶圓匣（40)者； 處理裝置（32)、（34)，用以在前述半導體晶圓匣（40)上 施行處理者； 自動搬運車（38)，用Μ進行前述儲料器（190)和前述處 理裝置（32)、（34)之間的前述半導體晶圇匣（40)之搬蓮作 業者； 儲料器間搬運裝置（42)，在搬運處之前述儲料器（190) 和搬運目的地之前述儲料器（190)之間用Μ進行前述半導 體晶圓匣（40)之搬蓮作業者；Μ及 主電腦（50)，用以進行前述儲料器（190)、前述儲料器 間搬蓮裝置（42)、前述自動搬運車（38)及前述處理裝置 (32)、（34)之控制者，其中， 經濟部中央標準局負工消费合作社印製 在前述半導體晶圓匣（40)上，連接有用Μ記憶資料的ID 卡（72)， 前述ID卡（72)為了進行資料之發送而包含有被配置在前 述ID卡（72)之底面的發送機構（76)， 前述儲料器（36)包含有， 手動用埠（116)、（118)，依作業者用Μ進行前述半導體 晶圓匣（40)之入出庫者；Κ及 ID卡讀寫裝置（120)，與前述ID卡（72)相對配置，用以 4 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家梯準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 407ί3| D8六、申請專利範圍進行資料之發送者。 ---------裝— (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) '1Τ 經濟部令央揉準局工消費合作社印裂 本紙張尺度適用中國國家揉準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） 5
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