JPH0710266A - クリーンルーム用搬送装置 - Google Patents
クリーンルーム用搬送装置Info
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- JPH0710266A JPH0710266A JP15921893A JP15921893A JPH0710266A JP H0710266 A JPH0710266 A JP H0710266A JP 15921893 A JP15921893 A JP 15921893A JP 15921893 A JP15921893 A JP 15921893A JP H0710266 A JPH0710266 A JP H0710266A
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- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
- B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
- B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
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- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
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- B65G49/063—Transporting devices for sheet glass
- B65G49/064—Transporting devices for sheet glass in a horizontal position
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- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G2249/00—Aspects relating to conveying systems for the manufacture of fragile sheets
- B65G2249/02—Controlled or contamination-free environments or clean space conditions
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G2249/00—Aspects relating to conveying systems for the manufacture of fragile sheets
- B65G2249/04—Arrangements of vacuum systems or suction cups
Abstract
(57)【要約】
【目的】ガラス基板等の板状電子部品を１枚づつ保持し
て、プロセス装置等の各ステーションに安全に且つ迅速
に搬送することができ、構造も簡単化することができる
クリーンルーム用搬送装置を提供する。 【構成】この搬送装置は、クリーンルーム内でガラス基
板等の板状電子部品をプロセス装置等の各ステーション
へ搬送するクリーンルーム用搬送装置である。各ステー
ショに沿って巡回するように敷設され、直線部とその直
線部に接続可能に水平・回動するコーナ部１ａと有する
レール１と、レール１上にまたぐように載置され、複数
対のガイドローラと複数対の走行車輪によりレールを挟
持しながら走行し、上部に１枚の板状電子部品を保持す
る保持機構２１を設けたモノレール搬送車１０と、を備
える。
て、プロセス装置等の各ステーションに安全に且つ迅速
に搬送することができ、構造も簡単化することができる
クリーンルーム用搬送装置を提供する。 【構成】この搬送装置は、クリーンルーム内でガラス基
板等の板状電子部品をプロセス装置等の各ステーション
へ搬送するクリーンルーム用搬送装置である。各ステー
ショに沿って巡回するように敷設され、直線部とその直
線部に接続可能に水平・回動するコーナ部１ａと有する
レール１と、レール１上にまたぐように載置され、複数
対のガイドローラと複数対の走行車輪によりレールを挟
持しながら走行し、上部に１枚の板状電子部品を保持す
る保持機構２１を設けたモノレール搬送車１０と、を備
える。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、液晶ディスプレイ等を
製造するクリーンルーム内の工程で、ガラス基板等の板
状電子部品を、各プロセス装置等へ搬送するクリーンル
ーム用搬送装置に関する。
製造するクリーンルーム内の工程で、ガラス基板等の板
状電子部品を、各プロセス装置等へ搬送するクリーンル
ーム用搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば、液晶ディスプレイを製造する工
程では、ガラス基板上に多数の薄膜トランジスタや電極
を形成し、重ね合わせたガラス基板の間隙に液晶を封入
するなど多数の処理が、無塵状態で実施される必要があ
るため、その殆どの工程をクリーンルーム内で実施して
いる。
程では、ガラス基板上に多数の薄膜トランジスタや電極
を形成し、重ね合わせたガラス基板の間隙に液晶を封入
するなど多数の処理が、無塵状態で実施される必要があ
るため、その殆どの工程をクリーンルーム内で実施して
いる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】このガラス基板を各プ
ロセス装置の各ステージまで搬送する場合、従来では、
例えば１０枚程度のガラス基板がカセット（収納ケー
ス）内に収納され、そのカセットをベルトコンベヤで、
或は汎用の無人搬送車により各ステージまで搬送してい
た。
ロセス装置の各ステージまで搬送する場合、従来では、
例えば１０枚程度のガラス基板がカセット（収納ケー
ス）内に収納され、そのカセットをベルトコンベヤで、
或は汎用の無人搬送車により各ステージまで搬送してい
た。
【０００４】しかし、前者のものは、ベルトの摩擦等に
より静電気が発生し、表面に塵が付着しやすく、ＬＣＤ
の薄膜トランジスタ等に悪影響を及ぼしやすい。また、
後者のものは、床上に埋設されたマークプレートを検出
しながら床の通路上を走行するため、高速化が難しく、
検出機構等の装置が複雑化する問題があった。
より静電気が発生し、表面に塵が付着しやすく、ＬＣＤ
の薄膜トランジスタ等に悪影響を及ぼしやすい。また、
後者のものは、床上に埋設されたマークプレートを検出
しながら床の通路上を走行するため、高速化が難しく、
検出機構等の装置が複雑化する問題があった。
【０００５】さらに、ガラス基板の形状が大形化した場
合、複数枚のガラス基板を収納したカセットの重量が非
常に重くなるため、カセットの搬送に使用する搬送車の
構造を強固に且つ大形化する必要があり、搬送通路や載
せ替えのために必要なスペースが増大する問題があっ
た。
合、複数枚のガラス基板を収納したカセットの重量が非
常に重くなるため、カセットの搬送に使用する搬送車の
構造を強固に且つ大形化する必要があり、搬送通路や載
せ替えのために必要なスペースが増大する問題があっ
た。
【０００６】本発明は、上記の点に鑑みてなされたもの
で、ガラス基板等の板状電子部品を１枚づつ保持して、
プロセス装置等の各ステーションに安全に且つ迅速に搬
送することができ、構造も簡単化することができるクリ
ーンルーム用搬送装置を提供することを目的とする。
で、ガラス基板等の板状電子部品を１枚づつ保持して、
プロセス装置等の各ステーションに安全に且つ迅速に搬
送することができ、構造も簡単化することができるクリ
ーンルーム用搬送装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のクリーンルーム用搬送装置は、クリーンル
ーム内でガラス基板等の板状電子部品をプロセス装置等
の各ステーションへ搬送するクリーンルーム用搬送装置
において、各ステーショに沿って巡回するように敷設さ
れ、直線部とその直線部に接続可能に水平・回動するコ
ーナ部と有するレールと、レール上にまたぐように載置
され、複数対のガイドローラと複数対の走行車輪により
レールを挟持しながら走行し、上部に１枚の板状電子部
品を保持する保持機構を設けたモノレール搬送車と、を
備えて構成される。
に、本発明のクリーンルーム用搬送装置は、クリーンル
ーム内でガラス基板等の板状電子部品をプロセス装置等
の各ステーションへ搬送するクリーンルーム用搬送装置
において、各ステーショに沿って巡回するように敷設さ
れ、直線部とその直線部に接続可能に水平・回動するコ
ーナ部と有するレールと、レール上にまたぐように載置
され、複数対のガイドローラと複数対の走行車輪により
レールを挟持しながら走行し、上部に１枚の板状電子部
品を保持する保持機構を設けたモノレール搬送車と、を
備えて構成される。
【０００８】
【作用・効果】このように構成されたクリーンルーム用
搬送装置では、プロセス装置等の各ステーションで、搬
送する板状電子部品がある場合、モノレール搬送車がレ
ール上をそのステーションまで走行し、そこで１枚の板
状電子部品を搬送車上の保持機構に保持させ、レール上
を走行して目的のステーションまで板状電子部品を搬送
する。
搬送装置では、プロセス装置等の各ステーションで、搬
送する板状電子部品がある場合、モノレール搬送車がレ
ール上をそのステーションまで走行し、そこで１枚の板
状電子部品を搬送車上の保持機構に保持させ、レール上
を走行して目的のステーションまで板状電子部品を搬送
する。
【０００９】このように、モノレール搬送車により板状
電子部品を１枚づつ保持して搬送するため、大形のガラ
ス基板であっても、保持機構に安全に保持させて、レー
ル上を迅速に搬送することができる。また、モノレール
搬送車のレールは、直線部とその直線部に接続可能に水
平・回動するコーナ部とからなるため、搬送車は直線部
を走行するだけの簡単な構造とすることができ、搬送車
の構造を小形化、簡単化することができ、また、小さい
曲率で方向転換させることができるため、搬送路のスペ
ースがより少なくてすむ。
電子部品を１枚づつ保持して搬送するため、大形のガラ
ス基板であっても、保持機構に安全に保持させて、レー
ル上を迅速に搬送することができる。また、モノレール
搬送車のレールは、直線部とその直線部に接続可能に水
平・回動するコーナ部とからなるため、搬送車は直線部
を走行するだけの簡単な構造とすることができ、搬送車
の構造を小形化、簡単化することができ、また、小さい
曲率で方向転換させることができるため、搬送路のスペ
ースがより少なくてすむ。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。
する。
【００１１】図１はクリーンルーム用搬送装置の全体の
概略平面図を示している。１はクリーンルーム内に敷設
された１本のＨ形鋼からなるレールで、プロセス装置２
とストック装置３との間を、モノレール搬送車１０が巡
回するように環状に配置される。
概略平面図を示している。１はクリーンルーム内に敷設
された１本のＨ形鋼からなるレールで、プロセス装置２
とストック装置３との間を、モノレール搬送車１０が巡
回するように環状に配置される。
【００１２】被搬送物は、ＬＣＤ等のガラス基板４であ
り、モノレール搬送車１０が１枚のガラス基板４をその
上部に水平に保持し、ストック装置３の各ステーション
からプロセス装置２の各ステーションに、或はその逆方
向に搬送する。ストック装置３の各ステーションとプロ
セス装置２の各ステーションには、搬送されたガラス基
板４を載せ替える移載機５が配置される。
り、モノレール搬送車１０が１枚のガラス基板４をその
上部に水平に保持し、ストック装置３の各ステーション
からプロセス装置２の各ステーションに、或はその逆方
向に搬送する。ストック装置３の各ステーションとプロ
セス装置２の各ステーションには、搬送されたガラス基
板４を載せ替える移載機５が配置される。
【００１３】レール１は、脚柱１ｂ上にＨ形鋼を水平に
固定して形成され、直線部とコーナ部１ａとからなる。
コーナ部１ａは、床上に立設された支柱６に対し、９０
°の範囲で水平回動可能に支持される。また、コーナ部
１ａは、図示しない駆動装置により回転駆動され、モノ
レール搬送車１０が直線部からコーナ部１ａに進入した
際、これを載せた状態で、開放端が反対側の直線部の端
部に接続されるまで、約９０°回動する。このようなコ
ーナ部１ａを回動させてモノレール搬送車１０の移動方
向を変えるため、モノレール搬送車１０の構造を複雑化
せずに、小さな曲率で方向転換をさせることができる。
固定して形成され、直線部とコーナ部１ａとからなる。
コーナ部１ａは、床上に立設された支柱６に対し、９０
°の範囲で水平回動可能に支持される。また、コーナ部
１ａは、図示しない駆動装置により回転駆動され、モノ
レール搬送車１０が直線部からコーナ部１ａに進入した
際、これを載せた状態で、開放端が反対側の直線部の端
部に接続されるまで、約９０°回動する。このようなコ
ーナ部１ａを回動させてモノレール搬送車１０の移動方
向を変えるため、モノレール搬送車１０の構造を複雑化
せずに、小さな曲率で方向転換をさせることができる。
【００１４】モノレール搬送車１０は、図２〜図４に示
すように、跨座式モノレールとして構成され、その下部
がレール１を両側からまたぐようにレール１上に載置さ
れ、２対の走行車輪１３をレールの下部の内側水平面に
当て、２対のガイドローラ１９を中間部両側の垂直面に
当て、さらに、２対のガイドローラ２０をレールの上部
内側下面に当てる状態で保持される。
すように、跨座式モノレールとして構成され、その下部
がレール１を両側からまたぐようにレール１上に載置さ
れ、２対の走行車輪１３をレールの下部の内側水平面に
当て、２対のガイドローラ１９を中間部両側の垂直面に
当て、さらに、２対のガイドローラ２０をレールの上部
内側下面に当てる状態で保持される。
【００１５】即ち、１１はモノレール搬送車１０の本体
フレームであり、本体フレーム１１の前部と後部の下端
部に、２対の軸１２が回転自在に水平に軸支され、それ
らの軸１２の内側に２対の走行車輪１３が取付けられ
る。さらに、軸１２の両外側にプーリ１４が固定され、
本体フレーム１１内の中間部には、両端にプーリ１５を
固定した駆動軸１６と、その駆動軸１６を駆動するため
の減速機付きモータ１７が本体フレーム１１内に取付け
られる。
フレームであり、本体フレーム１１の前部と後部の下端
部に、２対の軸１２が回転自在に水平に軸支され、それ
らの軸１２の内側に２対の走行車輪１３が取付けられ
る。さらに、軸１２の両外側にプーリ１４が固定され、
本体フレーム１１内の中間部には、両端にプーリ１５を
固定した駆動軸１６と、その駆動軸１６を駆動するため
の減速機付きモータ１７が本体フレーム１１内に取付け
られる。
【００１６】モータ１７の出力軸はプーリとベルトを介
して駆動軸１６に連係され、駆動軸１６の両端のプーリ
１５はベルト１８を介して２対のプーリ１４と連係され
る。したがって、モータ１７の回転駆動により、駆動軸
１６、プーリ１５、ベルト１８、プーリ１４を介して、
２対の走行車輪１３が回転し、レール１の下部の内側水
平面上を転動する。
して駆動軸１６に連係され、駆動軸１６の両端のプーリ
１５はベルト１８を介して２対のプーリ１４と連係され
る。したがって、モータ１７の回転駆動により、駆動軸
１６、プーリ１５、ベルト１８、プーリ１４を介して、
２対の走行車輪１３が回転し、レール１の下部の内側水
平面上を転動する。
【００１７】また、本体フレーム１１内には、２対のガ
イドローラ１９がレール１の中間部両側の垂直面に当た
る位置に軸支され、さらに、２対のガイドローラ２０が
レール１の上水平部下面に当たるように取付けられ、搬
送車は２対の走行車輪１３と４対のガイドローラ１９、
２０によりレールの直線部上を良好にガイドされ、安定
して迅速に走行する。
イドローラ１９がレール１の中間部両側の垂直面に当た
る位置に軸支され、さらに、２対のガイドローラ２０が
レール１の上水平部下面に当たるように取付けられ、搬
送車は２対の走行車輪１３と４対のガイドローラ１９、
２０によりレールの直線部上を良好にガイドされ、安定
して迅速に走行する。
【００１８】モノレール搬送車１０の上部には、ガラス
基板４を水平に保持する保持機構２１が設けられる。こ
の保持機構２１は、本体フレーム１１の上板上に架台２
２が取付けられ、その架台２２上の４隅に支持凸部２３
が突設され、支持凸部２３上にガラス基板４が載置され
る。
基板４を水平に保持する保持機構２１が設けられる。こ
の保持機構２１は、本体フレーム１１の上板上に架台２
２が取付けられ、その架台２２上の４隅に支持凸部２３
が突設され、支持凸部２３上にガラス基板４が載置され
る。
【００１９】さらに、本体フレーム１１の上板１１ａ上
には、レール１の横断方向に２本のガイドレール２４が
固定され、各ガイドレール２４上に摺動ブロック２５が
摺動自在に係合され、各摺動ブロック２５には、ガラス
基板の両側縁部を保持する２つの保持片２６ａを設けた
保持フレーム２６が左右の外側に突出するように取付け
られる。
には、レール１の横断方向に２本のガイドレール２４が
固定され、各ガイドレール２４上に摺動ブロック２５が
摺動自在に係合され、各摺動ブロック２５には、ガラス
基板の両側縁部を保持する２つの保持片２６ａを設けた
保持フレーム２６が左右の外側に突出するように取付け
られる。
【００２０】２本のガイドレール２４に隣接してワイヤ
３１が４個のプーリ３２に掛け渡して配設され、ワイヤ
３１の一部が両摺動ブロック２５に連結される。ワイヤ
３１は別のプーリを介してモータ３３に連係される。し
たがって、モータ３３の駆動により、ワイヤ３１が回転
し、両摺動ブロック２５がガイドレール２４に沿って反
対方向に移動し、これにより、両側の保持フレーム２６
は、架台２２の支持凸部２３上に載置したガラス基板の
両側縁部を挟持するように動作する。
３１が４個のプーリ３２に掛け渡して配設され、ワイヤ
３１の一部が両摺動ブロック２５に連結される。ワイヤ
３１は別のプーリを介してモータ３３に連係される。し
たがって、モータ３３の駆動により、ワイヤ３１が回転
し、両摺動ブロック２５がガイドレール２４に沿って反
対方向に移動し、これにより、両側の保持フレーム２６
は、架台２２の支持凸部２３上に載置したガラス基板の
両側縁部を挟持するように動作する。
【００２１】一方、本体フレーム１１の上板１１ａの下
側には、同様に、レールの進行方向に２本のガイドレー
ル２７が固定され、各ガイドレール２７上に摺動ブロッ
ク２８が摺動自在に係合され、各摺動ブロック２８に
は、ガラス基板の両側縁部を保持する２つの保持片２９
ａを設けた保持フレーム２９が外側前後に突出するよう
に取付けられる。
側には、同様に、レールの進行方向に２本のガイドレー
ル２７が固定され、各ガイドレール２７上に摺動ブロッ
ク２８が摺動自在に係合され、各摺動ブロック２８に
は、ガラス基板の両側縁部を保持する２つの保持片２９
ａを設けた保持フレーム２９が外側前後に突出するよう
に取付けられる。
【００２２】２本のガイドレール２７に隣接してワイヤ
３４が４個のプーリ３５に掛け渡して配設され、ワイヤ
３４の一部が両摺動ブロック２８に連結される。ワイヤ
３４は別のプーリを介してモータ３６に連係される。し
たがって、モータ３６の駆動により、ワイヤ３４が回転
し、両摺動ブロック２８がガイドレール２７に沿って反
対方向に移動し、これにより、両側の保持フレーム２９
は、架台２２の支持凸部２３上に載置したガラス基板の
前後縁部を前後から挟持するように動作する。
３４が４個のプーリ３５に掛け渡して配設され、ワイヤ
３４の一部が両摺動ブロック２８に連結される。ワイヤ
３４は別のプーリを介してモータ３６に連係される。し
たがって、モータ３６の駆動により、ワイヤ３４が回転
し、両摺動ブロック２８がガイドレール２７に沿って反
対方向に移動し、これにより、両側の保持フレーム２９
は、架台２２の支持凸部２３上に載置したガラス基板の
前後縁部を前後から挟持するように動作する。
【００２３】プロセス装置２の各ステーションとストッ
ク装置３の各ステーション位置に配設される移載機５
は、ガラス基板４を吸着して保持する吸着保持部５ａを
有し、上下動と共に前後方向に移動する移動アーム５ｂ
の先端にその吸着保持部５ａを取付けて構成される。
ク装置３の各ステーション位置に配設される移載機５
は、ガラス基板４を吸着して保持する吸着保持部５ａを
有し、上下動と共に前後方向に移動する移動アーム５ｂ
の先端にその吸着保持部５ａを取付けて構成される。
【００２４】なお、モノレール搬送車１０の各モータ用
の電源は、図示が省略されているが、搬送車に搭載され
る蓄電池から、或はレールに沿って敷設されたトロリー
線から集電ブラシを介して電力供給される。
の電源は、図示が省略されているが、搬送車に搭載され
る蓄電池から、或はレールに沿って敷設されたトロリー
線から集電ブラシを介して電力供給される。
【００２５】次に、上記構成のクリーンルーム用搬送装
置の動作を説明する。
置の動作を説明する。
【００２６】モノレール搬送車１０は、モータ１７の駆
動により２対の走行車輪１３が回転し、レール１の直線
部を走行する。走行する際、搬送車１０は、レールの中
間部垂直面を両側から挟持する２対のガイドローラ１９
と、レールの上部水平下面に当る２対のガイドローラ２
０により、確実にガイドされ、安定して且つ迅速に走行
する。このモノレール搬送車１０は、直線部のみを走行
するため、曲線部を走行させるために走行車輪やガイド
ローラの向きを変える操舵機構等を設ける必要がないた
め、構造を簡単化することができ、直線部の走行安定性
が増し、高速化が可能となる。
動により２対の走行車輪１３が回転し、レール１の直線
部を走行する。走行する際、搬送車１０は、レールの中
間部垂直面を両側から挟持する２対のガイドローラ１９
と、レールの上部水平下面に当る２対のガイドローラ２
０により、確実にガイドされ、安定して且つ迅速に走行
する。このモノレール搬送車１０は、直線部のみを走行
するため、曲線部を走行させるために走行車輪やガイド
ローラの向きを変える操舵機構等を設ける必要がないた
め、構造を簡単化することができ、直線部の走行安定性
が増し、高速化が可能となる。
【００２７】レール１のコーナ部１ａは、図１に示すよ
うに、常時、モノレール搬送車１０が進入する側にその
端部を接続した状態にある。モノレール搬送車１０がコ
ーナ部１ａに入った場合、図示しない検出器がそれを検
出し、搬送車はその上で停止する。次に、図示しないコ
ーナ部１ａの駆動装置が起動し、搬送車を載置したま
ま、支柱６を中心にコーナ部１ａを約９０°水平回動さ
せ、コーナ部１ａの他端を次の直線部の一端に接続す
る。これで、モノレール搬送車１０は９０°向きを変
え、再び直線部を走行する。
うに、常時、モノレール搬送車１０が進入する側にその
端部を接続した状態にある。モノレール搬送車１０がコ
ーナ部１ａに入った場合、図示しない検出器がそれを検
出し、搬送車はその上で停止する。次に、図示しないコ
ーナ部１ａの駆動装置が起動し、搬送車を載置したま
ま、支柱６を中心にコーナ部１ａを約９０°水平回動さ
せ、コーナ部１ａの他端を次の直線部の一端に接続す
る。これで、モノレール搬送車１０は９０°向きを変
え、再び直線部を走行する。
【００２８】このようにして、空のモノレール搬送車１
０が例えばストック装置３のステーションに到達し、搬
送するガラス基板４がそこにある場合、移載機５の真下
の所定位置に停止する。移載機５は、ストック装置３の
ステーションにあるガラス基板４を、その吸着保持部５
ａで吸着保持し、移動アーム５ｂを動かしてモノレール
搬送車１０の上方位置まで搬送し、保持機構２１の支持
凸部２３上にガラス基板４を載置する。
０が例えばストック装置３のステーションに到達し、搬
送するガラス基板４がそこにある場合、移載機５の真下
の所定位置に停止する。移載機５は、ストック装置３の
ステーションにあるガラス基板４を、その吸着保持部５
ａで吸着保持し、移動アーム５ｂを動かしてモノレール
搬送車１０の上方位置まで搬送し、保持機構２１の支持
凸部２３上にガラス基板４を載置する。
【００２９】モノレール搬送車１０の保持機構２１は、
モータ３３、３６を駆動して保持フレーム２６と２９を
各々内側に動かし、前後左右から４対の保持片２６ａと
２９ａによりガラス基板４の縁部を挟むように保持す
る。この状態で、ガラス基板４はモノレール搬送車１０
の上部に確実に水平状態で保持され、モノレール搬送車
１０はモータ１７の起動によりスタートし、直線部から
上記のようなコーナ部１ａを経て、指示されたプロセス
装置２のステーション位置まで走行し、その移載機５の
真下で停止する。
モータ３３、３６を駆動して保持フレーム２６と２９を
各々内側に動かし、前後左右から４対の保持片２６ａと
２９ａによりガラス基板４の縁部を挟むように保持す
る。この状態で、ガラス基板４はモノレール搬送車１０
の上部に確実に水平状態で保持され、モノレール搬送車
１０はモータ１７の起動によりスタートし、直線部から
上記のようなコーナ部１ａを経て、指示されたプロセス
装置２のステーション位置まで走行し、その移載機５の
真下で停止する。
【００３０】そして、上記と同様に、移載機５は、モノ
レール搬送車１０上にあるガラス基板４を、その吸着保
持部５ａで吸着保持し、移動アーム５ｂを動かしてプロ
セス装置２のステーション位置まで搬送し、そこにガラ
ス基板４を載置する。そして、プロセス装置２において
処理を行なったガラス基板４は、再びステーションに出
され、移載機５により空のモノレール搬送車１０に載せ
られ、次のステーション等に搬送される。
レール搬送車１０上にあるガラス基板４を、その吸着保
持部５ａで吸着保持し、移動アーム５ｂを動かしてプロ
セス装置２のステーション位置まで搬送し、そこにガラ
ス基板４を載置する。そして、プロセス装置２において
処理を行なったガラス基板４は、再びステーションに出
され、移載機５により空のモノレール搬送車１０に載せ
られ、次のステーション等に搬送される。
【００３１】このように、ガラス基板４を一枚づつモノ
レール搬送車１０に載せて所定位置まで搬送するため、
ガラス基板が大形化しても、比較的簡単な構造で小形の
搬送車により効率良く迅速に、また安全に搬送すること
ができる。
レール搬送車１０に載せて所定位置まで搬送するため、
ガラス基板が大形化しても、比較的簡単な構造で小形の
搬送車により効率良く迅速に、また安全に搬送すること
ができる。
【００３２】なお、上記実施例では、モノレール搬送車
の保持機構２１がガラス基板を水平に保持して搬送した
が、ガラス基板を垂直に保持して搬送する構造にするこ
ともできる。ガラス基板を垂直状態で搬送すれば、水平
状態より塵の付着を低減することができる。
の保持機構２１がガラス基板を水平に保持して搬送した
が、ガラス基板を垂直に保持して搬送する構造にするこ
ともできる。ガラス基板を垂直状態で搬送すれば、水平
状態より塵の付着を低減することができる。
【図１】本発明の一実施例を示すクリーンルーム用搬送
装置の概略平面図である。
装置の概略平面図である。
【図２】モノレール搬送車の部分断面付きの側面図であ
る。
る。
【図３】同搬送車の部分断面付きの正面図である。
【図４】同搬送車の平面図である。
１−レール、１ａ−コーナ部、２−プロセス装置、４−
ガラス基板、１０−モノレール搬送車、１３−走行車
輪、１９、２０−ガイドローラ、２１−保持機構。
ガラス基板、１０−モノレール搬送車、１３−走行車
輪、１９、２０−ガイドローラ、２１−保持機構。
Claims (1)
- 【請求項１】 クリーンルーム内でガラス基板等の板状
電子部品をプロセス装置等の各ステーションへ搬送する
クリーンルーム用搬送装置において、 該各ステーショに沿って巡回するように敷設され、直線
部とその直線部に接続可能に水平・回動するコーナ部と
有するレールと、 該レール上にまたぐように載置され、複数対のガイドロ
ーラと複数対の走行車輪により該レールを挟持しながら
走行し、上部に１枚の板状電子部品を保持する保持機構
を設けたモノレール搬送車と、 を備えたことを特徴とするクリーンルーム用搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15921893A JPH0710266A (ja) | 1993-06-29 | 1993-06-29 | クリーンルーム用搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15921893A JPH0710266A (ja) | 1993-06-29 | 1993-06-29 | クリーンルーム用搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0710266A true JPH0710266A (ja) | 1995-01-13 |
Family
ID=15688917
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15921893A Withdrawn JPH0710266A (ja) | 1993-06-29 | 1993-06-29 | クリーンルーム用搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0710266A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6129496A (en) * | 1997-08-08 | 2000-10-10 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Semiconductor wafer cassette transportation apparatus and stocker used therein |
| KR100678304B1 (ko) * | 2003-12-09 | 2007-02-01 | 삼성코닝정밀유리 주식회사 | 유리기판 포장 시스템 |
| EP1753679A1 (de) * | 2004-06-03 | 2007-02-21 | OC Oerlikon Balzers AG | Tisch zur aufnahme eines werkstücks sowie verfahren zur bearbeitung eines werkstücks auf einem solchen |
| CN106144686A (zh) * | 2014-12-23 | 2016-11-23 | 株式会社索尼克 | 背光单元组装设备 |
-
1993
- 1993-06-29 JP JP15921893A patent/JPH0710266A/ja not_active Withdrawn
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6129496A (en) * | 1997-08-08 | 2000-10-10 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Semiconductor wafer cassette transportation apparatus and stocker used therein |
| KR100678304B1 (ko) * | 2003-12-09 | 2007-02-01 | 삼성코닝정밀유리 주식회사 | 유리기판 포장 시스템 |
| EP1753679A1 (de) * | 2004-06-03 | 2007-02-21 | OC Oerlikon Balzers AG | Tisch zur aufnahme eines werkstücks sowie verfahren zur bearbeitung eines werkstücks auf einem solchen |
| US8785812B2 (en) | 2004-06-03 | 2014-07-22 | Tel Solar Ag | Table for receiving a workpiece and method for processing a workpiece on such table |
| CN106144686A (zh) * | 2014-12-23 | 2016-11-23 | 株式会社索尼克 | 背光单元组装设备 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20000905 |