TW397801B - Carrier and processing device with multiple carrier belts - Google Patents

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附件1: 第87111684號專利申請案 中文說明書修正頁 ^匕·— 五、發明說明（18 ) 圖1 1係有關本發明之其他實施形態之搬運裝置的第 1動作說明圖。 ·)1111 丨 — — — — — · I I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 圖1 2係在圖1 1所示之搬運裝置的第2動作說明圖 〇 〔符號之說明〕 1 :塗敷顯像處理系統，1 0 :卡匣站，1 1 :處理 站’ 1 2 :轉接部，2 0 :卡匣載置台，2 0 a :定位（ 用）突起’ 21 :晶圓搬運體，21a :搬運路，22 : 搬運裝置，23 :過濾器，24 :周邊曝光裝置，25 : 晶圓搬運體’ 3 1 ’ 3 2 :垂直壁部，3 3 ·筒狀支撐體 ’ 3 4 :搬運臂，3 5 :旋轉驅動馬達，3 6 :旋轉中心 軸’ 4 ◦:搬運底座’ 42，43，44 :夾持器，50 :同步（皮）帶，51 :從動帶輪，52 :驅動帶輪， 53:減速用帶輪’54:馬達（電動機），55:旋轉 輸出軸，56 :減速用（皮）帶，57 :切斷察覺器， 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 5 8 :控制部，5 9 :示警部，6 〇 ··第1搬運機構， 61 :第2搬運機構，63，81 :發光部，64，82 :受光部，70 :張力察覺器，71 :旋轉部，80 :接 觸察覺器，90 ’ 91，92 :導件，1〇〇 ;搬運裝置 ’W:晶圓，C :卡匣’ALIM:校準單元，EXT: 擴展單元，G :處理裝置群，C P :杯狀物，c Ο T :抗 蝕液塗敷裝置，DEV :顯像處理裝置，c〇L :冷卻裝 置，AD :黏著裝置’ PREBAKE :預烘焙裝置， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -21 - A7 A7 部中夹i?準^消費合作妇印製 B7 五、發明説明（1 ) 〔發明之技術領域〕 本發明係有關要適用（應用）於例如予以塗敷抗蝕劑 於晶圓上來顯像之塗敷顯像處理系統的搬運裝置及具備該 搬運裝置之處理裝置。 〔習知技術〕 在半導體裝置之製造時之光致抗蝕劑處理過程中，乃 以塗敷抗蝕液於半導體晶圓（以下簡稱爲 ' 晶圓等之 基板表面來形成抗蝕膜。然後，予以曝光所定之圖案後， 塗敷顯像液於該基板而進行顯像處理。當在進行如此之一 連串之處理時，傳統上乃使用著塗敷顯像處理裝置。 塗敷顯像處理裝置乃具備有個別地來進行在塗敷顯像 處理所必要之一連串處理的處理單元。塗敷顯像處理裝置 乃具備有疏水化處理單元，塗敷處理單元，加熱處理單元 ，顯像處理單元等。疏水化處理單元係要實施增進抗蝕劑 之固定性用之疏水化處理（附著處理）。塗敷處理單元係 要實施塗敷抗蝕液。加熱處理單元係要加熱塗敷抗蝕液後 之基板，以硬化抗蝕膜。又有關另外之加熱處理單元係要 以所定之溫度來加熱曝光後之基板。顯像處理單元係要實 施顯像曝光後之基板的顯像處理。 而對於搬運晶圓於各處理單元間，及對於各處理單元 之搬進搬出晶圓乙事，則使用著構成例如能以保持晶圓之 狀態下來搬運之搬運裝置。 然而，近來爲了節約設置空間，提案有以朝上下成多 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公釐） m —I— i I -I I 1-1- m -I—·- -I 1^1 I {請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) -4- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 __B7_ 五、發明說明（19 ) POBAKE :後烘焙裝置，EXTCOL :擴展•冷卻 裝置，C R :拾取卡匣，B R :緩衝卡匣，D W :假晶圓 ------------裝--------訂·--------絲 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -22- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 妗系部中夹桴率而只工消资合作社印衆 A7 B7_五、發明説明（2 ) 層叠層上述各處理單元之總匯化之型式的塗敷顯像處理裝 置》而在使用於如此型式之塗敷顯像處理裝置，亦被要求 著能迅速地朝上下方向移動，且可容易地實施停止之控制 。又當然亦需要考慮到可抑制產生塵埃成最小限度，且所 產生之粒子亦不會附著於晶圓之情事產生。 爲此，習知之搬運裝置具有如下之結構。亦即，朝上 下來配置驅動帶輪和從動帶輪。並在該等從動帶輪和驅動 帶輪之間，將架設同步皮帶。而在該同步皮帶，以藉適當 之安裝構件來安裝保持晶圓用之保持部。將產生塵埃可能 性爲高之馬達（電動機）予以設置於下方。並在該馬達之 輸出軸，及與上述驅動帶輪設成同軸之大直徑之減速用帶 輪之間，則架設有減速用皮帶。由該結構，將同步皮帶因 馬達輸出軸之正轉，倒轉而產生上下移動，而使保持形成 上下移動。 〔發明之摘要〕 然而，上述之減速用帶輪因較其他之帶輪在尺寸上更大 ，因而，減速用皮帶之一方，在移動速度上形成較同步皮 帶更爲快。使之減速用皮帶一方產生劣化（惡化）之狀況 ，會較同步皮帶更快，其結果，減速用皮帶較容易斷掉。 而在習知之搬運裝置，由於減速用皮帶僅爲一條而已 ，以致該皮帶斷掉之時，會有可能掉落保持部之狀況。又 在搬運裝置內之有限的狹窄之空間內，要架設粗且結實的 同步皮帶於減速帶輪乙事極爲困難。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙张尺度適用中國國家揉隼（CNS > A4规格（210X 297公釐） -5- 輕"部中央打tr而Λ工消費合作；ijfp" A7 _B7_ 五、發明説明（3 ) 本發明係鑑於如此之問題而發明者。 本發明之目的，係擬提供一種搬運系統之皮帶狀態即 使產生惡化，亦可防止保持部掉落之搬運裝置及處理裝置 者。 本發明之另一目的，係擬提供一種搬運系統之皮帶狀 態即使產生惡化，亦可對於皮帶採取迅速之措置的搬運裝 置及處理裝置者》 爲了達成如此之目的，本發明之搬運裝置乃具備有： 保持基板用之保持部；具有驅動帶輪，從動帶輪以及第1 無端皮帶，並架設前述第1無端皮帶於前述驅動帶輪和前 述從動帶輪之間，而前述保持部安裝於前述第1無端皮帶 之第1搬運機構；具備具有旋轉輸出之驅動源，被固定於 前述驅動帶輪之減速用帶輪及複數之第2無端皮帶，並架 設複數之前述第2無端皮端於前述旋轉輸出軸和前述減速 用帶輪之間的第2搬運機構；及偵測前述第2無端皮帶之 狀態用的第1偵測機構。 本發明之處理裝置乃具備有：形成多層地來配置對於 基板處理所定之處理用之處理單元的處理單元群；以接近 於前述各處理單元來進行授受前述基板用之保持部；具有 驅動帶輪，從動帶輪及第1無端皮帶，且架設前述第1無 端皮帶於前述驅動帶輪和前述從動帶輪之間，而安裝前述 保持部於前述第1無端皮帶的第1搬運機構；具備具有旋 轉輸軸之驅動源，被固定於前述驅動帶輪之減速用帶輸及 複數之第2無端皮帶，並架設複數之前述第2無端皮帶於 i i m - -I- I I*n m m m m i TJ (請先閲讀背面之注$項再填寫本页) 本紙張尺度適用中國國家標準{ CNS ) A4规格（210X297公釐） -6 - A7 _______ B7 五、發明説明（4 ) 前述旋轉輸出軸和前述減速用帶輪之間的第2搬運機構： 及偵測前述第2無端皮帶之狀態用的搬運機構。 依據本發明，在複數之第2無端皮帶中之例如一條無 端皮帶，甚至產生斷掉或伸長等，而形成惡化之狀態，亦 由於具備有其他之第2無端皮帶，因而可防止保持部之掉 落。再者，由於具備偵測該狀態成爲惡化之第2無端皮帶 用之機構，因而可對於狀態有惡化之第2無端皮帶採取迅 速的處置。 而上述本發明之該些之目的和其他和目的，容易地由 以下之說明及所附上之圖式來加以確認。 〔較佳之實施例〕 所採用之用語乃爲了方便於說明而使用以下所陳述者 ，惟並非僅限定於此。有關上，下，右及右之語句係表示 所參照圖式上之方向者。有關I N，OUT之語句係表示 要朝向裝置或所表示之該等部分之中心，或離開者。如此 之用語亦包括衍生生詞及同一意旨者。 好浐部中央扰準^κ-τ消资合作妇卬衆 (請先聞讀背面之注意事項再瑣寫本頁) 如圖1至圖3所示，該塗敷顯像處理系統1乃具有將 卡匣站1 0，處理站及轉接（Interface)部1 2成一體連 接之結構。在卡匣站1 0係將晶圓W (以卡匣單位之複數 片，例如以2 5片之單位）從外部來搬入於塗敷顯像處理 系統1，又從塗敷顯像處理系統1被搬出至外部。又對卡 匣C來實施搬出•搬入晶圓W。在處理站1 1係將在塗敷 顯像處理過程中，以一次一片地來對於晶圓W實施所定處 本紙張尺度適用中S國家標準（CNS ) Α4规格（2丨0X297公釐） A7 B7 鉀矛部中决"率而只工消費合作社卬^ 五、發明説明) 理用之單片之各種處理單元，予以配置於所定位置成多層 。在轉接部12係在與形成相鄰接於該轉接部12所配設 之曝光裝置之間，予以進行授受晶圓W。 在卡匣站1 0係如圖1所示，將在成爲載置部之卡匣 裝置台2 0上之定位突起2 0 a之位置，使複數個（例如 4個）之卡匣C以個別之晶圓W之出入口朝向處理站11 側，朝X方向（圖1中之上下方向）成一列地來被載置。 而可朝該卡匣C排列方向（X方向）及被收容於卡匣內之 晶圓W之晶圓W排列方向（Z方向；垂直方向）移動之晶 圓搬運體2 1，形成能沿著搬運路2 1 a移動自如且對於 各卡匣C以選擇性地來接近存取》 晶圓搬運體2 1乃被構成爲能朝Θ方向旋轉自如，且 亦對於如將後述之屬於處理站11側之第3處理裝置群 G 3之多層單元部的校準單元（A L I M)及擴展單元（ EXT)形成可接近存取。 在處理站1 1係如圖1所示，在其中心部配設有垂直 搬運型之搬運裝置2 2，並在其周圍，使做爲單元之各種 處理裝置以1組或複數組地叠層配置成多層來構成處理裝 置部。至於如此之塗敷顯像處理系統1係形成可配置5個 之處理裝置群Gl，G2，G3，G4，G5之結構，而 第1及第2之處理裝置群Gl，G 2乃被配置於正面側， 第3之B處理裝置群G 3係被配設於相鄰接於卡匣站1 0 ，第4之處理裝置群G 4係被配置於相鄰接於轉接部1 2 •再者，將以虛線所示之第5之處理裝置群G 5配置於背 (請先閲讀背面之注f項再填寫本頁) 策· 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公釐） -8- A7 B7 --- ---- —' 響— ' 1 — " _ I 1_ 丨 _ 五、發明説明（6 ) 面側之結構。搬運機構2 2係被構成爲朝0方向可旋轉自 如且可朝Z方向移動，而形成能在各處理裝置之間，予以 實施授受晶圓W。 在第1處理裝置群G 1係如圖2所示，將在杯狀物 C P內以載置晶圓W於旋轉卡盤（spin chuck )來進行所定 之處理用之2部旋轉型處理裝置，例如抗蝕液塗敷裝置（ COT)及顯像處理裝置（DEV)，從下面以順序疊層 爲2層。而與第1處理裝置群G 1同樣，在第2處理裝置 群G 2，亦將2部之旋轉型處理裝置，例如抗蝕液塗敷裝 置（COT)及顯像處理裝置（DEV)，從下面以順序 疊層爲2層。 如圖2所示，在該塗敷顯像處理系統1上部，配設有 例如U L P A過濾器等之高性能過濾器2 3於前述3個區 域（卡匣站1 0，處理站1 1，轉接部1 2)之每一區域 。以令從該高性能過濾器2 3之上流側所供應之空氣’會 在通過該高性能過濾器2 3之時’予以捕獲’去除粒子或 有機成分。因此，在上述之卡匣載置台2 0 ’晶圓搬運體 21之搬運體21a，第1〜第2之處理裝置群G1 ’ G2，將後述之第3〜第5之處理裝置群G3，G4， G 5及轉接部1 2，以藉該高性能過濾器2 3來朝同圖之 實線箭印或處線箭印之方向，供應有來自上方之淸淨（淸 潔乾淨）之向下流的空氣。 在第3之處理裝置群G 3係如圖3所示’叠層（重疊 )有以載置晶圓W於載置台（未圖示）來實施所定之處理 HI m m _··1-1 1 - I·-m tn n ί I TJ /iv (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適月】中國國家標準（CNS)A4规格（210X297公釐） ~ 鳑浐部中央*?.芈而刃工消費合竹41印家 A7 B7 五、發明説明（7 ) 的爐子型之處理裝置，例如要進行冷卻處理之冷卻裝置（ COL)，增進抗蝕之固定性用之所謂疏水化處理的黏著 (附著）裝置（AD)，要進行對準位置用之校準裝置（ ALIM)，擴展裝置（EXT)，要進行曝光處理前之 加熱處理的預烘焙裝置（PREBAKE)及後烘焙裝置 (POBBKE)，從下面以順序重叠成例如8層。 同樣，在第4之處理裝置群G 3係如圖3所示，重叠 有以載置晶圓W於載置台（未圖示）來實施所定之處理的 爐子型處理裝置，例如要進行冷卻處理之冷卻裝置（ COL)，亦兼有冷卻處理之擴展•冷卻裝置（ EXTCOL)，擴展裝置（EXT)，黏著裝置（AD )，預烘焙裝置（PREBAKE)及後烘焙裝置（ POBAKE)。從下面以順序重叠成例如8層。 以如此地.，將處理溫度爲低之冷卻裝置（COL)或 擴展•冷卻裝置（EXTCOL)予以配置於下層，而配 置處理溫度爲高之預烘焙裝置（PREBAKE)，後烘 焙（POBAKE)及黏著裝置（AD)於上層之時，就 可減少裝置間之熱性之干擾。 在轉接部1 2係如圖1所示，有關深度方向（X方向 )雖與上述處理站1 1具有相同之尺寸，惟在有關寬度方 向則被設定成更小之尺寸。如圖1及圖2所示，在該轉接 部1 2之正面側，予以配置可搬性之拾取卡匣CR，和固 定型之緩衝卡匣BR成2層，而在另一方背面則予以配設 有周邊曝光裝置2 4。在可搬性之拾取卡匣CR或固定型 ---------參-- 1 J#/ . . . u\ | (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 本紙張尺度適用中國國家橾準{ CNS ) A4规格（210X297公釐） -10 - 紹浐部中央4.Γ5?·ΛΚ.·1消费合作it印掣 A7 B7 五、發明説明（8 ) 之緩衝卡匣B R，將預先待命有將後述之至少有一片之假 晶圓D W。 在搬運體1 2之中央部，配設有晶圓搬運體2 5。晶 圓搬運體2 5係構成爲可朝X方向’ Z方向（垂直方向） 移動來接近存取兩卡匣CR，BR及周邊曝光裝置2 4。 晶圓搬運體2 5亦被構成爲可朝0方向旋轉自如，而形成 可接近存取於屬於處理站11側之第4處理裝置群G4之 擴展裝置（EXT)或相鄰接之曝光裝置側的晶圓授受台 (未圖示）。 塗敷顯像處理系統1係由以上所說明之3個區域（卡 匣站10，處理站11 ’轉接部12)所構成。而在該塗 敷顯像處理系統1之略中央部’如上述配置有搬運裝置 2 2° 該搬運裝置2 2係如圖4所示’在由上端下端被連接 且成相對向之一對垂直壁部3 1 ’ 3 2所形成之筒狀支撐 體3 3的側，具有做爲保持晶圓W用之保持部的搬運臂 3 4。該搬運臂3 4係如將在後面詳加說明般’可朝上下 方向（Ζ方向）成升降自如地移動。上述筒狀支撐體3 3 乃與旋轉驅動馬達3 5之（旋）轉軸相連接’而可由旋轉 驅動馬達3 5之旋轉驅動力’以旋轉中心軸3 6爲中心來 旋轉。因此，搬運臂3 4會與筒狀支撐體3 3 —齊旋轉’ 使之搬運臂34形成朝Θ方向旋轉自如。 搬運臂3 4乃做爲可在搬運底座4 0上朝該搬運底座 4 0前後方向移動自如之保持構件而具備有3支夾持器 11- 1— - - ·11 ί —^1 二· I ' m· n^i 1 - -I- I- I i^i t ./f I (讀先聞讀背面.之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適扪中國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公釐） -11 - A7 ___________B7 五、發明説明（9 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 42，43，44。該等之各夾持器42，43，44均 具備有可通過筒狀支撐體3 3之兩垂直壁部3 1，32間 之側面開口部3 7成自如之形態，大小，而由內裝於搬運 底座4 0之驅動馬達（未圖示）及皮帶（未圖示），來朝 前述之前後方向（圖中之往回箭印方向）所示之方向成移 動自如。又晶圓W係可由任意之夾持器42，43，44 來加以保持，而最上部之夾持器4 2，通常從冷卻過程後 要實施抗蝕劑塗敷過程之時所被使用，並在於不具有如此 之由熱干涉而會產生不良影響之虞之晶圓W搬運時，就會 使用第2層之夾持器4 3或最下面之夾持器4 4。 如圖5所示，搬運底座4 0係藉安裝構件4 1被安裝 於無端之同步（皮）帶5 0 (第1之無端皮帶）。該同步 皮帶5 0係架設於配備在筒狀支撐體3 3內部上方之從動 帶輪5 1和配備於下方之驅動帶輪5 2之間。而由該等之 同步皮帶5 0，從動帶輪5 1及驅動帶輪5 2構成爲第1 搬運機構6 0 » 而在上述驅動帶輪5 2之同一軸一上，配設有較該驅 動帶輪5 2在直徑上爲更大之減速用帶輪5 3。且在該減 速用帶輪5 3和馬達5 4之旋轉輸出軸5 5之間，架設（ 架掛）有例如2條之減速用皮帶56，56 (第2之無端 皮帶）。而由該等之減速用帶輪53,馬達54及減速用 帶輪5 6來構成爲第2搬運機構6 1。 減速用帶輪5 6係由與上述同步皮帶5 0略爲同性質 之材料所形成。而爲了偵測減速用皮帶之切斷，配設有切 本紙張尺度適用中圈國家標準（CNS ) A4規格（2丨0X297公釐） -12- 紂於部中央*?.率而只工消资合作it印« A7 B7 五、發明説明（10 ) 斷察覺器5 7於搬運裝置2 2。 上述之切斷察覺器5 7係如圖6所示，使用者例如限 定反射型者，以對應於1條減速用皮帶5 6來配備1個切 斷察覺器5 7。切斷察覺器5 7乃具備有用以發光偵測（ 用）光的發光部6 3，及接收該偵測（用）光在減速用皮 帶5 6表面反射時之反射光用之受光部6 4。而該等之發 光部6 3和受光部6 4係隔著預先所定之距離來配置著。 當減速用皮帶5 6有切斷時，上述反射光並無法在受 光部6 4予以偵測，因而可由該狀態而偵測減速用皮帶 5 6已切斷（斷掉）。當切斷察覺器5 7偵測減速用皮帶 之切斷之時，該偵測信號會被傳輸至筒狀支撐部3 3外部 之控制部5 8。而該控制部5 8構成爲，當輸入有如此之 偵測信號之時，就會對於警器5 9輸出示警信號，同時對 馬達5 4輸出停止信號》 又在本實施形態所使用之切斷察覺器5 7係被設定成 可偵測發光部6 3及受光部6 4與減速用皮帶5 6之間的 距離之所定之値。亦即，形成較該値更長或更短，均無法 令受光部6 4接受反射光之結構。因此，在於例如減速用 皮帶5 6產生伸長而鬆弛，使之前述距離產生變化之時， 就已無法使受光部6 4接收反射光，因而，以結果言，亦 具備有可偵測減速用皮帶5 6之鬆驰或亂動。 接著，將對於構成爲如此之搬運裝置2 2之動作加以 說明。如上述，減速用皮帶5 6因較同步皮帶5 0在移動 速度上爲更快，因而，減速用皮帶5 6會較同步皮帶5 0 本紙張尺度適用中囷國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ---------- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 • 13 - 輕淨·部中夾打皁而K工消资合作社印聚 A7 B7 五、發明説明（11 ) 更快地形成劣化，使之減速用皮輪5 6產生切斷之可能生 會增高。 當減速用皮輪5 6切斷時，馬達之制動並無法作用於 該減速用皮帶5 6，因而’減速用皮帶5 6若如習知之僅 有1條之時，搬運臂3 4就會掉落。然而，在有關本實施 形態之搬運裝置2 2，由於配備有2條之減速用皮帶5 6 ，因而，即使其中之1條形成切斷，亦不會使搬運臂3 4 掉落。 又在減速用皮帶5 6切斷時，會產生纏繞於其他減速 用皮帶5 6，或從所切斷之面等會產生塵埃等而受到不良 影響。然而，在本實施形態之搬運裝置2 2，配設有切斷 察覺器5 7，因而減速用皮帶5 7切斷時，可由該切斷察 覺器5 7偵測該切斷，而立即由示警部5 9來察知。因此 ，可迅速地對於所切斷之減速用皮帶5 6實施適當之處置 〇 再者，在本實施形態所使用之切斷察覺器5 7，因亦 可偵測減速用皮帶5 6之鬆弛或亂動，因而，以結果言， 亦可察覺要成爲切斷之前之減速用皮帶5 6之產生劣化之 前階段。 又控制部5 8會對馬達5 4，發送要停止該馬達5 4 用之停止信號，且伴隨著接受該停止信號，馬達5 4會停 止驅動。由而驅動帶輪5 2會停止旋轉，以致可防止所切 斷之減速用皮帶5 6纏繞於驅動裝置2 2內之其他構件之 不良影響。爲此，可圖謀增進生長量（良率）。 本紙張尺度適用中國困家標準（CNS)A4規格（ 210X297公釐） m ! -I I - i - n^i 1---. t 1^1 I— m „r4\ (讀先閲讀背面之注意事項再填寫本页) -14- 起浐部中夹枝埤^只-·1·消费合作妇印¢4 A7 B7_ 五、發明説明（12 ) 如上所述，在上述之實施形態，用以偵測減速用皮帶 5 6之切斷，雖使用了切斷察覺器5 7，惟亦可使用如圖 7所示之用以偵測減速用皮帶5 6之伸長的張力察覺器 7 0° 該張力察覺器7 0係與上述之切斷察覺器5 7同樣， 對於各減速用皮帶5 6個別配設有1個張力察覺器7 0。 而在該張力察覺器7 0 —端配設有以推壓於減速用皮帶 5 6來轉動之旋轉部7 1。張力察覺器7 0之旋轉部7 1 係對於減速用皮帶5 6予以推壓一定之力的同時，形成可 沿著該減速用皮帶5 6之移動方向移動，該張力察覺器 7 0係偵測著減速用皮帶5 6之張力。 因此，當減速用皮帶5 6伸長而減速用皮帶5 6之張 力減弱時，張力察覺器7 0就會偵測該狀況。張力察覺器 7 0當偵測該張力之減少時，就將該狀況做爲偵測信號來 傳輸至控制部5 8。而控制部5 8就與上述之實施形態同 樣，對於示警部5 9輸出所定之示警信號，而對於馬達 5 4則輸出停止信號。因此，可由示警部5 9而立即察明 減速用皮帶5 6已伸長之同時，可防止該減速用皮帶5 6 會對於其他之減速用皮帶5 6纏繞等之不良影響。 又亦可替代切斷察覺器5 7，張力察覺器7 0來使用 如圖8所示之偵測減速用皮帶5 6之相互接觸用之接觸察 覺器8 0。 該接觸察覺器8 0乃個別地具有發光部8 1和受光部 8 2，而使發光部8 1和受光部8 2形成挾持減速用皮帶 ^^1 ϋ— ϋ in —I· I ·. l ^^1 i-^i n ^^^1 5-0 I (請先閲讀背面之注意事項再填寫本贾) 本紙張尺度適用中國S家梂率（CNS ) A4規格（210X297公釐） -15- 好浐部中央ir隼而Μ工消费合作衽印製 A7 B7 五、發明説明（13 ) 5 6且使發光部8 1和受光部8 2成朝上下相對向來配置 。發光部8 1係經常朝向受光部8 2發送偵測（用）光， 而由該發光部8 1所放出之偵測光，在正常狀態下會通過 2條之減速用皮帶5 6，5 6之間，且由受光部8 2所接 收。 因此，當減速用皮帶5 6產生劣化而在減速用皮帶 5 6，5 6間引起相互接觸之時，可由該相互接觸之減速 用皮帶5 6而切斷應在上述受光部8 2所被偵測之偵測光 。由而，接觸察覺器8 0將減速用皮帶5 6產生相互接觸 乙事做爲偵測信號來傳傳至控制部5 8。 當具有上述之偵測信號時，控制部5 8就與已陳述之 實施形態同樣，對於示警部5 9輸出所定之示警信號，並 傳輸停止信號給予馬達5 4。因而，可由示餐部5 9可立 即確認減速用皮帶5 6有產生相互接觸之情事。再者，馬 達5 4因由來自控制部5 8之停止信號而會停止，使之會 使旋轉輸出軸5 5之旋轉停止，並亦會使減速用皮帶5 6 停止移動。其結果，可對於相互接觸之減速用皮帶5 6實 施迅速之處置。 再者，爲了防止產生如此之減速用皮帶5 6之相互接 觸，亦可配設成如圖9所示，在複數之減速用皮帶5 6之 相互間，予以配設防止接觸用之導件9 0。亦即，在減速 用皮帶5 3上及旋轉輸出軸5 5上而在2條之減速用皮帶 56，56間，予以配設導件90 * 9 1。又如圖10所 示，亦可在減速用帶輪5 3和旋轉輸出軸5 5之間且在2 I - 1 ! - II -..... -Iff --11- - I Λ - -I -- - -I —- 1 Hi -.-1 - _ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標率（CNS ) Α4规格（210X297公釐） -16- M-济部中央«.率ΛΜ工¾费合作社卬11 A7 B7 五、發明説明（14 ) 條之減速用皮帶56，5 6間的略爲中央之處，予以配設 導件9 2。依據如此之結構時，可防止減速用皮帶5 6， 5 6之相互接觸，而且可抑止由該減速用皮帶5 6，5 6 之相互接觸而產生之例如粒子等之塵埃。 接著，將說明再另一實施形態。 如圖1 1及圖12所示，在此一搬運裝置1〇〇，倘 若在後烘焙裝置（POBAKE)中予以實施晶圓W之加 熱處理之中，2條中之1條減速用皮帶56發生切斷之時 ，就會被控制成實施如下所要說明之動作。 亦即，當切斷察覺器5 7偵測了減速用皮帶5 6之切 斷（斷帶）之時，就會從切斷察覺器5 7對於控制部5 8 發送所定之偵測信號。而控制部5 8係構成爲對於示警部 5 9輸出所定之示警信號之同時，對於馬達5 4則發送例 如以夾持器4 2從後烘焙裝置（POBAKE )內搬出晶 圓W之後，由未切斷之剩下的1條減速用皮帶5 6來使搬 運臂3 4移動至所定位置，而後才停止馬達5 4之轉動的 信號 爲此，馬達5 4將會響應於來自控制部5 8之信號， 以利用搬運裝置1 0 0內之一連串之旋轉系統之構件（從 動帶輪51，驅動帶輪52，減速用皮帶53)，及未切 斷之剩下的1條減速用皮帶5 6，而使同步皮帶5 0移動 所定之距離。因而，搬運臂3 4可從後烘焙裝置（ POBAKE)附近移動至例如圖1 2所示之擴展裝置（ EXT)附近之所定位置。再者，能在移動搬運臂34直 本紙張尺度適用中國國家揉率（CNS ) A4规格（2丨0X297公釐） (锖先閱讀背面之注意事項再填寫本页)

T 耔米部中央榀枣而只工消费合作社印聚 A7 _B7_ 五、發明説明（15 ) 至上述之所定位置之後，予以^止馬達5 4之轉動。 以如上述，直至停止馬達5 4之轉動爲止之期間，搬 運臂3 4可藉同步皮帶5 0來移動至所定位置。因而可迴 避維持放置晶圓W於後烘焙裝置（POBAKE)內之狀 態。其結果，可防止對於晶圓W實施過度之加熱處理之同 時，可企圖保護晶圓W之情事。 再者，在前述實施形態乃構成爲，設定所架設於減速 用帶輪5 3和馬達5 4之旋轉輸出軸5 5之間的減速用皮 帶5 6爲數條，且予以適當地配設切斷察覺器，張力察覺 器，接觸察覺器之結構，惟鑑於本發明前所陳述之作用效 果，亦可對於例如架設於從動帶輪5 1和驅動帶輪5 2之 間的同步皮帶5 0，完全同樣地設定成複數條，且予以配 設切斷察覺器，張力察覺器，接觸察覺器等之時，就可防 止起因於同步皮帶5 0本身產生切斷，或由劣化而產生鬆 弛之時所能產生之難以預料之情事於未然。 在以上所陳述之實施形態，雖對於使用晶圓W做爲基 板之例子來加以說明，惟本發明並非僅限制於如此之例子 ，亦可適用於使用L CD基板之例子。 如以上所說明，依據本發明，因在驅動源之旋轉輸出 軸和減速用皮帶之間架設有複數之減速用皮帶，因而，即 使1條減速用皮帶切斷（斷掉），亦不會使保持部立即掉 下。 又可由察覺器偵測做爲減速用皮帶切斷之前兆現象所 呈現之該減速用皮帶之伸長（展延），因而，可在該所伸 本紙張尺度適用中圈國家樣率（CNS ) A4规格（210X297公釐〉 .^1 I I— I 1^1 In I - - * an US ' /ea\ ' {請先閲讀背面之注意事項再填寫本页) -18- 鳑浐部中央灯隼而消费合作»1印衆 Α7 Β7 五、發明説明（16 ) 長之減速用皮帶產生切斷之前，可實施例如更換減速用皮 帶等之正確之處置》 再者，由於配設接觸防止用導件於減速用皮帶之相互 間，因而，可防止減速用皮帶產生互相接觸之情事，並可 防止從該減速用皮帶的接觸處產生塵埃》 又再，可由察覺器來偵測做爲減速用皮帶之切斷的前 兆現象所呈現之減速用皮帶之相互接觸，因而，可在該相 互接觸之減速用皮帶形成切斷之前，予以實施適宜的處置 〇 又在減速用皮帶產生有切斷，伸長，相互接觸等之異 常之時，可立即察明該狀況。 再者，在減速用皮帶形成切斷，伸長，相互接觸等之 異常之時，可立即察明該狀況之同時，可停止驅動源之旋 轉輸出軸之旋轉。因此，可對於伴隨有上述異常之減速用 皮帶，事先來實施正確的符合該狀況之措施。因此，可防 止上述之伴隨有異常之減速用皮帶繼續維持動作而對於其 他構件賦與不良影響。 又在察覺器偵測了具有例如切斷，伸長，相互接觸等 之減速用皮帶的異常時，察覺器就會發送該異常做爲來自 察覺器之偵測信號，而使保持構件移動直至所定之位置之 後，方予以停止驅動源之旋轉輸出軸之旋轉。因而，甚至 保持構件在於例如處理室內之時，產生了減速用皮帶之異 常，亦可防止有關該處理所實施.於基板之處理成爲過度之 情事，而可保護基板。 本紙乐尺度通用中國國家標準（CNS ) Α4规格（2丨0X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 衮· ，1Τ -19- 解Μ部中央扰枣而只工消费合作衽卬衆 A7 B7五、發明説明（17 ) 以上所說明之實施形態，乃意圖表明本發明之技術內 容者，本發明並非僅限定於如此之具體例來做狹義之解釋 ，而是，可在本發明之精神和申請專利範圍所記載之範圍 內，予以進行種種變更來加以實施者。 〔圖式之簡單說明〕 圖1係有關本發明之一實施形態的塗敷顯像處理系統 之平面圖。 圖2係圖1所示之塗敷顯像處理系統的正面圖。 圖3係眉1所示之塗敷顯像處理系統的背面圖。 圖4係顯示圖1所示之塗敷顯像處理系統的搬運裝置 之槪觀的斜視圖。 圖5係有關本發明之一實施形態之搬運裝置的說明圖 〇 圖6係在圖5所示之搬運裝置的切斷察覺器之說明圖 〇 圖7係可使用於圖5所示之搬運裝置的張力察覺器之 說明圖。 圖8係可使用於圖5所示之搬運裝置的接觸察覺器之 說明圖。 圖9係配設在圖5所示之搬運裝置的防止接觸用導件 於減速用帶輪和旋轉輸出軸上之說明圖。 圖10係配設在圖9所示之防止接觸用導件於減速用 帶輪和旋轉輸出軸之間的說明圖。 (讀先聞讀背面之注意事項再填寫本页) 本紙張尺廋適用中國國家棵準（CMS ) Α4规格（210X297公釐） -20- 附件1: 第87111684號專利申請案 中文說明書修正頁 ^匕·— 五、發明說明（18 ) 圖1 1係有關本發明之其他實施形態之搬運裝置的第 1動作說明圖。 ·)1111 丨 — — — — — · I I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 圖1 2係在圖1 1所示之搬運裝置的第2動作說明圖 〇 〔符號之說明〕 1 :塗敷顯像處理系統，1 0 :卡匣站，1 1 :處理 站’ 1 2 :轉接部，2 0 :卡匣載置台，2 0 a :定位（ 用）突起’ 21 :晶圓搬運體，21a :搬運路，22 : 搬運裝置，23 :過濾器，24 :周邊曝光裝置，25 : 晶圓搬運體’ 3 1 ’ 3 2 :垂直壁部，3 3 ·筒狀支撐體 ’ 3 4 :搬運臂，3 5 :旋轉驅動馬達，3 6 :旋轉中心 軸’ 4 ◦:搬運底座’ 42，43，44 :夾持器，50 :同步（皮）帶，51 :從動帶輪，52 :驅動帶輪， 53:減速用帶輪’54:馬達（電動機），55:旋轉 輸出軸，56 :減速用（皮）帶，57 :切斷察覺器， 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 5 8 :控制部，5 9 :示警部，6 〇 ··第1搬運機構， 61 :第2搬運機構，63，81 :發光部，64，82 :受光部，70 :張力察覺器，71 :旋轉部，80 :接 觸察覺器，90 ’ 91，92 :導件，1〇〇 ;搬運裝置 ’W:晶圓，C :卡匣’ALIM:校準單元，EXT: 擴展單元，G :處理裝置群，C P :杯狀物，c Ο T :抗 蝕液塗敷裝置，DEV :顯像處理裝置，c〇L :冷卻裝 置，AD :黏著裝置’ PREBAKE :預烘焙裝置， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -21 - 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 __B7_ 五、發明說明（19 ) POBAKE :後烘焙裝置，EXTCOL :擴展•冷卻 裝置，C R :拾取卡匣，B R :緩衝卡匣，D W :假晶圓 ------------裝--------訂·--------絲 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -22- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）

Claims (1)

1. B8 C8 D8 經濟部中央揉率局貝工消费合作社印裝 六、申請專利範園 1種搬運裝置，具備有： 保持部，用以保持基板； 第1搬運機構，具備有驅動帶輪，從動帶輪及第1無 端（皮）帶，而架設前述第1無端皮帶於前述驅動帶輪和 前述從動帶輪之間，並安裝前述保持部於前述第1無端皮 帶； 第2搬運機構，具備有具有旋轉輸出軸之驅動源，被 固定於前述驅動帶輪之減速用帶輪及複數之第2無端皮帶 ’並架設複數之前述第2無端皮帶於前述旋轉輸出軸和前 述減速用帶輪之間；及 第1偵測機構，偵測前述第2無端皮帶之狀態。 2 .如申請專利範圍第1項所述之搬運裝置，其中前 述第1偵測機構具備有偵測前述第2無端皮帶之切斷（斷 掉）用之察覺器。 3 .如申請專利範圍第1項所述之搬運裝置，其中前 述第1偵測機構具備有偵測前述第2無端皮帶之伸長（展 延）用之察覺器。 4 .如申請專利範圍第1項所述之搬運裝置，其中前 述第1偵測機構具備有偵測相鄰接之前述第2無端皮帶間 之相互接觸用之察覺器。 5. 如申請專利範圍第1項所述之搬運裝置，其中更 具備有被配設於相鄰接之前述第2無端皮帶間之防止接觸 用之導件》 6. 如申請專利範圍第1項所述之搬運裝匱’其中更 /(. 請先《讀背面之注$項再填寫· 本肓) . i 本纸浪尺度逋用中__家揉率（CNS > A4规格（210X297公釐） -23 鲤濟部中央揉率局男工消费合作杜印*. Β8 C8 D8 六、申請專利範困 具備有示警異常用之示警部，及響應於由前述第1偵測機 構所獲得之偵測結果而輸出所定之示警信號至前述示警部 0 7 .如申請專利範圍第1項所述之搬運裝置，其中更 具備有響應於由前述第1偵測機構所獲得之偵測結果而予 以停止前述旋轉輸出軸之旋轉的機構。 8 .如申請專利範圍第1項所述之搬運裝置，其中 更具備有響應於由前述第1偵測機構所獲得之偵測結果而 使前述保持構件移動直至所定位置之後，方予以停止前述 旋轉輸出軸之旋轉的機構。 9 .如申請專利範圍第1項所述之搬運裝置，其中前 述第1搬運機構具備有複數之前述第1無端皮帶，而複數 之前述第1無端皮帶係架設於前述驅動帶輪和前述從動帶 輪之間。 1 0 .如申請專利範圍第9所述之搬運裝置，其中更 具備有偵測前述第1無端皮帶之狀態用之第2偵測機構。 1 1 ·如申請專利範圍第1 0所述之搬運裝置，其中 前述第2偵測機構具備有偵測前述第1無端皮帶之切斷用 之察覺器。 1 2 .如申請專利範圍第1 0項所述之搬運裝置，其 中前述第2偵測機構具備有偵測前述第1無端皮帶之伸長 用之察覺器。 1 3 .如申請專利範圍第1 0項所述之搬運裝置，其 中前述第2偵測機構具備有偵測相鄰接之前述第1無端皮 本紙張尺度適用中两國家揲準（CNS ) A4规格（210X297公釐） 1^1 1^1 Ml ^^1 1JI I I . /f%.. - (請先w讀背面之注f項再埃寫本茛) 订 -24- 經濟部t夬橾準局Λ工消费合作社印装 2S _ D8六、申請專利範圍 帶間之相互接觸用之察覺器。 1 4 .如申請專利範圍第1 〇項所述之搬運裝置，其 中更具備有被配設於相鄰接之前述第1無端皮帶間之防止 接觸用之導件〃 1 5 .如申請專利範圍第1 〇項所述之搬運裝置，其 中更具備有示警異常用之示警部，及響應於前述第2偵測 機構所獲得之偵測結果而輸出所定之示警信號至前述示警 部。 1 6 .如申請專利範圍第1 〇項所述之搬運裝置，其 中更具備有響應於由前述第2偵測機構所獲得之偵測結果 而予以停止前述旋轉輸出軸之旋轉的機構。 1 7 .如申請專利範圍第1 〇項所述之搬運裝置，其 中更具備有響應於由前述第2偵測機構所獲得之偵測結果 而使前述保持構件移動直至所定位置之後，方予以停止前 述旋驅動源之旋轉輸出軸之旋轉的機構。 18.—種處理裝置，具備有： 處理單元群，形成多層地來配置對於基板進行處理所 定之處理用之處理單元； 保持部，以接近於前述各處理單元來進行授受前述基 板所用； 第1搬運機構，具備有驅動帶輪，從動帶輪及第1無 端（皮）帶，而架設前述第1無端皮帶於前述驅動帶輪和 前述從動帶輪之間，並安裝前述保持部於前述第1無端皮 帶； In —^n an· HI ml 1 m tn 1 m (請先閱讀背面之注$項存填寫本頁) 本紙張尺度埴用中國两家揲準（CNS ) Λ4规格（210X297公釐） -25 B8 經濟部十央橾率局貝工消»·合作社印装 六、申請專利範園 第2搬運機構，具備有具有旋轉輸出軸之驅動源，被 固定於前述驅動帶輪之減速用帶輪及複數之第2無端皮帶 ’並架設複數之前述第2無端皮帶於前述旋轉輸出軸和前 述減速用帶輪之間；及 偵測機構，偵測前述第2無端皮帶之狀態。 1 9 .如申請專利範圍第1 8項所述之處理裝置，其 中更具備有響應於由前述偵測機構所獲得之偵測結果而控 制前述驅動源，以令被保持於前述保持構件之前述基板從 加熱處理退出迴避之機構。 2 〇 .如申請專利範圍第1 8項所述之處理裝置，其 中前述第2搬運機構乃配置於第1搬運機構之下方。 2 1 .如申請專利範圍第2 0項所述之處理裝置，其 中更具備有供應向下流動之淸淨空氣的機構。 ^^1 n^— -1.1 K n^— m i I n 1 -I n I 1^1 (請先閱讀背面之注i項再填寫本頁) 本纸張尺度逋用中困國家揉率（CNS ) A4规格（210X297公釐） -26-