JP2004001002A - レーザーマーキング装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】マーキングタクトタイムが短縮され、しかも、安価に製作することができるウエハや基板等のマーキング物にマーキングするレーザーマーキング装置を提供することを課題とするものである。
【解決手段】マーキング前のウエハ2をアーム付きロボット3でウエハカセット6から取り出してカメラ8及びレーザー装置1の下にウエハ2を搬送後、静止する。カメラ8に映し出された画像はマーキング装置1のメカ電気制御やデータ処理を行う中央演算処理装置10に入力され、中央演算処理装置10は画像処理を行うことによってノッチ又はオリフラ9の位置を検出する。このウエハ2の基準位置検出により、管理コードを焼き付けるための位置や形状は中央演算処理装置10によって算出され、中央演算処理装置10によって算出されたウエハ2上の所定の位置に管理コードをマーキングする。その後、アーム付きロボット3はウエハ2をウエハカセット7に格納する。
【選択図】 図2
【解決手段】マーキング前のウエハ2をアーム付きロボット3でウエハカセット6から取り出してカメラ8及びレーザー装置1の下にウエハ2を搬送後、静止する。カメラ8に映し出された画像はマーキング装置1のメカ電気制御やデータ処理を行う中央演算処理装置10に入力され、中央演算処理装置10は画像処理を行うことによってノッチ又はオリフラ9の位置を検出する。このウエハ2の基準位置検出により、管理コードを焼き付けるための位置や形状は中央演算処理装置10によって算出され、中央演算処理装置10によって算出されたウエハ2上の所定の位置に管理コードをマーキングする。その後、アーム付きロボット3はウエハ2をウエハカセット7に格納する。
【選択図】 図2
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、レーザーにてウエハや基板等のマーキング物にマーキングするレーザーマーキング装置に関するものである。
【0002】
【従来の枝術】
図1は従来のレーザーマーキング装置の概略図を示すもので、この装置は、ウエハの所定位置に管理コードをレーザーによってマーキングする装置である。
【0003】
図1のレーザーマーキング装置の動作を説明すると、先ずロボットアーム4を備えたアーム付きロボット3がマーキング前のウエハ2をウエハカセット6から取り出してマーキングステージ5上に乗せ、次にマーキングステージ5上に乗せられたウエハ2を回転させ、ウエハ2のノッチやオリフラ位置を検出する。
【0004】
マーキングステージ5は、ウエハ2のノッチやオリフラ位置を基準としてマーキングする個所がレーザー装置1の直下に来るようにウエハ2を回転させ静止する。次いでレーザー装置1よりレーザー照射が開始され、管理コードをウエハ2にマーキングする。
【0005】
マーキングステージの種類によっては回転させる他に、ウエハを前後左右にスライドさせ正確なマーキング位置を決定させるものもある。
【0006】
ウエハ2に管理コードをマーキングした後、アーム付きロボット3はウエハ2をマーキングステージ5から取り出し、マーキングしたウエハ2をウエハカセット7に搬送して格納する。
【0007】
以上のような動作によってウエハに管理コードをマーキングするが、マーキング開始から完了までのマーキングタクトタイム(作業時間)が長いため、市場からマーキングタクトタイムの短縮が求められている。さらにマーキング装置のコストダウンのため、マーキング機構の簡素化も市場より要求されている。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
本発明はウエハや基盤等のマーキング物にマーキングするレーザーマーキング装置にて、マーキングタクトタイムの短縮を図ると共に、安価なマーキング装置を提供することを課題とするものである。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、第1の発明は、レーザーにて管理コード等をウエハや基盤等のマーキング物にマーキングする装置において、前記マーキング物全体の画像を処理する基準位置検出用カメラと、前記マーキング物を搬送するロボットアームを設けると共に、前記カメラの画像から前記マーキング物にマーキングする位置を検出する検出手段と、マーキング物の外形以上の照射範囲を持つレーザー装置を設けたことを特徴とするレーザーマーキング装置である。
【0010】
この第1の発明は基準位置検出用カメラを用いたことを第1の特長とするもので、この基準位置検出用カメラでマーキング物全体を写し、その画像処理を行うことによってマーキング物の基準位置を検出し、その位置よりマーキング物の正確なマーキング位置を算出するものである。
【0011】
これにより、ロボットアーム上にマーキング物がある状態で基準位置検出が可能となるため、基準位置検出用のマーキングステージを必要としなくなる。
【0012】
第2の特長は、広照射範囲を持つレーザー装置を用いたことで、マーキング物の外形以上の広範囲に照射能力のあるレーザー装置を使用することによって、マーキング物を決められた場所に設定することなくマーキング物の任意の位置に管理コード等をマーキングすることが出来るようにしたものである。マーキングする位置は前記カメラによる基準位置検出により算出され、マーキングされるデータはマーキング位置にあった形状に変換される。
【0013】
これにより、マーキングステージを使用しなくてもロボットアーム上にマーキング物がある状態で正しい位置や形状にマーキングすることが可能となる。
【0014】
第2の発明は、ロボットアームにマーキング物回転装置を設けたことを特長とするもので、ロボットのアーム上にマーキング物を回転させる機構を設けることによって、カメラをマーキング物の下方に配置した時に生じるロボットのアームとマーキング物の基準位置が重なった場合の不具合を回避するようにしたものである。
【0015】
即ち、これにより、基準位置検出用カメラの取付け位置によってロボットアームとマーキング物の基準位置が重なり基準位置を検出できない場合が発生しても、問題なく基準位置を検出することが出来るようにしたものである。
【0016】
以上述べた手段は、マーキング物をロボットアーム上で基準位置検出及びマーキングするものであり、これによってマーキングステージを使用しなくても済むようになるばかりか、マーキング全体のタクトタイム短縮を可能とするものである。
【0017】
【発明の実施の形態】
図2は、本発明の第一の発明の実施例を示す斜視図で、8はウエハカセット6からアーム付きロボット3により搬送されたウエハ2を撮影するカメラ、9はウエハ2に設けられたオリフラ、10は中央演算処理装置である。
【0018】
次に、このレーザーマーキング装置の動作について説明すると、ウエハカセット6にはマーキング前のウエハ2が格納されており、アーム付きロボット3はウエハカセット6からウエハ2を取り出し、カメラ8及びレーザー装置1の下にウエハ2を搬送後、静止する。カメラ8に映し出された画像はマーキング装置のメカ電気制御やデータ処理を行う中央演算処理装置10に入力され、中央演算処理装置10は画像処理を行うことによってノッチやオリフラ9の位置を検出する。ウエハ2の基準位置検出により、管理コードを焼き付けるための位置や形状は中央演算処理装置10によって算出される。
【0019】
レーザ装置1はウエハ2の外形以上の照射範囲を持っており、中央演算処理装置10によって算出されたウエハ2上の位置に管理コードをマーキングする。その後、アーム付きロボット3はウエハ2をウエハカセット7に格納する。
【0020】
マーキングする際にオリフラがどのような方向を向いていたとしても、中央演算処理装置10により管理コードのデータは正しい形状に変換された後、正確な位置にマーキングされるため、ウエハ2を決められた場所や位置に設定する必要はない。
【0021】
図3は、本発明の第2の発明を示す実施例の斜視図で、11はロボットアーム4に取付けられた回転装置である。この回転装置11には、ウエハ2を真空吸着し、回転させる真空吸着回転盤12を設けたもので、次に示す実施例の場合に有用な装置である。
【0022】
図4は、カメラ8をウエハ2の下に設置した場合の実施例で、この場合、図5に示す状態説明図のようにノッチやウエハ2のオリフラ9がロボットアーム10と重なった場合は、オリフラ9の位置がカメラ8の影像から検出できないため、ウエハ2の正しいマーキング位置が検出できない。
【0023】
そこで図4に示されるようにカメラでウエハ2を写し画像処理した結果、ノッチやオリフラ9の基準位置が検出できない場合にはウエハ2とロボットアーム4が重なっていると判断し、図3に示される回転装置11にてウエハ2を一定量回転させることによってウエハ2とロボットアーム4の重なりを解除し、次いで、再度ウエハ2の画像処理を行うことによって基準位置を検出する。ウエハ2は真空吸着回転盤12に真空吸着されているので回転しても振り落とされることがない。
【0024】
これによって、ウエハ2の基準位置(ノッチ又はオリフラ9)を検出し、レーザー装置1によって管理コードがマーキングされる。
【0025】
またロボットアーム4にはウエハ2を回転させる回転装置11があるので、マーキング後のウエハ2をウエハカセット7に格納する際に任意の方向に整列させることが可能である。これは、ウエハカセットに格納された状態でウエハのマーキングを容易に確認することが出来る。
【0026】
以上、説明した実施例では、マーキング物としてウエハを使用した場合について説明したが、ガラス基板等のマーキング装置にも適応し得ることは勿論であり、またマーキングの基準位置としてオリフラを基準としているがノッチを基準としてもよいことは勿論である。
【0027】
【発明の効果】
以上、説明したように、本発明によれば、マーキングステージを使用しないでロボットアーム上でマーキング物にレーザーによる管理コードをマーキングすることが可能となり、マーキングステージへの搬送時間やマーキングステージでの基準位置検出時間を必要としないため、マーキングタクトタイムを短くすることが出来る。さらに、マーキングステージを無くすことが出来るので大きなコストダウンとなる。また、ロボットアームに取付けた回転手段によりマーキング物は、マーキング物の基準位置とロボットアームが重なり、カメラでマーキング物の基準位置を検出出来ない場合にもマーキング物を回転することによってマーキング物の基準位置検出を可能としたばかりか、マーキングが完了したマーキング物を整列して格納することも出来るため、格納された状態でマーキング物のマーキング確認を容易に行うことが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来のマーキング装置を示す斜視図。
【図2】第1の発明の実施例の斜視図。
【図3】第2の発明の実施例の斜視図。
【図4】カメラをマーキング物の下に配置した場合の実施例の斜視図。
【図5】カメラをマーキング物の下に配置した場合のロボットアームとオリフラの重なり状態を示した図。
【符号の説明】
1 レーザー装置
2 ウエハ
3 アーム付きロボット
4 ロボットアーム
5 マーキングステージ
6 ウエハカセット(マーキング前)
7 ウエハカセット(マーキング後)
8 カメラ
9 オリフラ
10 中央演算処理装置
11 回転装置
12 真空吸着回転盤
【発明の属する技術分野】
本発明は、レーザーにてウエハや基板等のマーキング物にマーキングするレーザーマーキング装置に関するものである。
【0002】
【従来の枝術】
図1は従来のレーザーマーキング装置の概略図を示すもので、この装置は、ウエハの所定位置に管理コードをレーザーによってマーキングする装置である。
【0003】
図1のレーザーマーキング装置の動作を説明すると、先ずロボットアーム4を備えたアーム付きロボット3がマーキング前のウエハ2をウエハカセット6から取り出してマーキングステージ5上に乗せ、次にマーキングステージ5上に乗せられたウエハ2を回転させ、ウエハ2のノッチやオリフラ位置を検出する。
【0004】
マーキングステージ5は、ウエハ2のノッチやオリフラ位置を基準としてマーキングする個所がレーザー装置1の直下に来るようにウエハ2を回転させ静止する。次いでレーザー装置1よりレーザー照射が開始され、管理コードをウエハ2にマーキングする。
【0005】
マーキングステージの種類によっては回転させる他に、ウエハを前後左右にスライドさせ正確なマーキング位置を決定させるものもある。
【0006】
ウエハ2に管理コードをマーキングした後、アーム付きロボット3はウエハ2をマーキングステージ5から取り出し、マーキングしたウエハ2をウエハカセット7に搬送して格納する。
【0007】
以上のような動作によってウエハに管理コードをマーキングするが、マーキング開始から完了までのマーキングタクトタイム(作業時間)が長いため、市場からマーキングタクトタイムの短縮が求められている。さらにマーキング装置のコストダウンのため、マーキング機構の簡素化も市場より要求されている。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
本発明はウエハや基盤等のマーキング物にマーキングするレーザーマーキング装置にて、マーキングタクトタイムの短縮を図ると共に、安価なマーキング装置を提供することを課題とするものである。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、第1の発明は、レーザーにて管理コード等をウエハや基盤等のマーキング物にマーキングする装置において、前記マーキング物全体の画像を処理する基準位置検出用カメラと、前記マーキング物を搬送するロボットアームを設けると共に、前記カメラの画像から前記マーキング物にマーキングする位置を検出する検出手段と、マーキング物の外形以上の照射範囲を持つレーザー装置を設けたことを特徴とするレーザーマーキング装置である。
【0010】
この第1の発明は基準位置検出用カメラを用いたことを第1の特長とするもので、この基準位置検出用カメラでマーキング物全体を写し、その画像処理を行うことによってマーキング物の基準位置を検出し、その位置よりマーキング物の正確なマーキング位置を算出するものである。
【0011】
これにより、ロボットアーム上にマーキング物がある状態で基準位置検出が可能となるため、基準位置検出用のマーキングステージを必要としなくなる。
【0012】
第2の特長は、広照射範囲を持つレーザー装置を用いたことで、マーキング物の外形以上の広範囲に照射能力のあるレーザー装置を使用することによって、マーキング物を決められた場所に設定することなくマーキング物の任意の位置に管理コード等をマーキングすることが出来るようにしたものである。マーキングする位置は前記カメラによる基準位置検出により算出され、マーキングされるデータはマーキング位置にあった形状に変換される。
【0013】
これにより、マーキングステージを使用しなくてもロボットアーム上にマーキング物がある状態で正しい位置や形状にマーキングすることが可能となる。
【0014】
第2の発明は、ロボットアームにマーキング物回転装置を設けたことを特長とするもので、ロボットのアーム上にマーキング物を回転させる機構を設けることによって、カメラをマーキング物の下方に配置した時に生じるロボットのアームとマーキング物の基準位置が重なった場合の不具合を回避するようにしたものである。
【0015】
即ち、これにより、基準位置検出用カメラの取付け位置によってロボットアームとマーキング物の基準位置が重なり基準位置を検出できない場合が発生しても、問題なく基準位置を検出することが出来るようにしたものである。
【0016】
以上述べた手段は、マーキング物をロボットアーム上で基準位置検出及びマーキングするものであり、これによってマーキングステージを使用しなくても済むようになるばかりか、マーキング全体のタクトタイム短縮を可能とするものである。
【0017】
【発明の実施の形態】
図2は、本発明の第一の発明の実施例を示す斜視図で、8はウエハカセット6からアーム付きロボット3により搬送されたウエハ2を撮影するカメラ、9はウエハ2に設けられたオリフラ、10は中央演算処理装置である。
【0018】
次に、このレーザーマーキング装置の動作について説明すると、ウエハカセット6にはマーキング前のウエハ2が格納されており、アーム付きロボット3はウエハカセット6からウエハ2を取り出し、カメラ8及びレーザー装置1の下にウエハ2を搬送後、静止する。カメラ8に映し出された画像はマーキング装置のメカ電気制御やデータ処理を行う中央演算処理装置10に入力され、中央演算処理装置10は画像処理を行うことによってノッチやオリフラ9の位置を検出する。ウエハ2の基準位置検出により、管理コードを焼き付けるための位置や形状は中央演算処理装置10によって算出される。
【0019】
レーザ装置1はウエハ2の外形以上の照射範囲を持っており、中央演算処理装置10によって算出されたウエハ2上の位置に管理コードをマーキングする。その後、アーム付きロボット3はウエハ2をウエハカセット7に格納する。
【0020】
マーキングする際にオリフラがどのような方向を向いていたとしても、中央演算処理装置10により管理コードのデータは正しい形状に変換された後、正確な位置にマーキングされるため、ウエハ2を決められた場所や位置に設定する必要はない。
【0021】
図3は、本発明の第2の発明を示す実施例の斜視図で、11はロボットアーム4に取付けられた回転装置である。この回転装置11には、ウエハ2を真空吸着し、回転させる真空吸着回転盤12を設けたもので、次に示す実施例の場合に有用な装置である。
【0022】
図4は、カメラ8をウエハ2の下に設置した場合の実施例で、この場合、図5に示す状態説明図のようにノッチやウエハ2のオリフラ9がロボットアーム10と重なった場合は、オリフラ9の位置がカメラ8の影像から検出できないため、ウエハ2の正しいマーキング位置が検出できない。
【0023】
そこで図4に示されるようにカメラでウエハ2を写し画像処理した結果、ノッチやオリフラ9の基準位置が検出できない場合にはウエハ2とロボットアーム4が重なっていると判断し、図3に示される回転装置11にてウエハ2を一定量回転させることによってウエハ2とロボットアーム4の重なりを解除し、次いで、再度ウエハ2の画像処理を行うことによって基準位置を検出する。ウエハ2は真空吸着回転盤12に真空吸着されているので回転しても振り落とされることがない。
【0024】
これによって、ウエハ2の基準位置(ノッチ又はオリフラ9)を検出し、レーザー装置1によって管理コードがマーキングされる。
【0025】
またロボットアーム4にはウエハ2を回転させる回転装置11があるので、マーキング後のウエハ2をウエハカセット7に格納する際に任意の方向に整列させることが可能である。これは、ウエハカセットに格納された状態でウエハのマーキングを容易に確認することが出来る。
【0026】
以上、説明した実施例では、マーキング物としてウエハを使用した場合について説明したが、ガラス基板等のマーキング装置にも適応し得ることは勿論であり、またマーキングの基準位置としてオリフラを基準としているがノッチを基準としてもよいことは勿論である。
【0027】
【発明の効果】
以上、説明したように、本発明によれば、マーキングステージを使用しないでロボットアーム上でマーキング物にレーザーによる管理コードをマーキングすることが可能となり、マーキングステージへの搬送時間やマーキングステージでの基準位置検出時間を必要としないため、マーキングタクトタイムを短くすることが出来る。さらに、マーキングステージを無くすことが出来るので大きなコストダウンとなる。また、ロボットアームに取付けた回転手段によりマーキング物は、マーキング物の基準位置とロボットアームが重なり、カメラでマーキング物の基準位置を検出出来ない場合にもマーキング物を回転することによってマーキング物の基準位置検出を可能としたばかりか、マーキングが完了したマーキング物を整列して格納することも出来るため、格納された状態でマーキング物のマーキング確認を容易に行うことが出来る。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来のマーキング装置を示す斜視図。
【図2】第1の発明の実施例の斜視図。
【図3】第2の発明の実施例の斜視図。
【図4】カメラをマーキング物の下に配置した場合の実施例の斜視図。
【図5】カメラをマーキング物の下に配置した場合のロボットアームとオリフラの重なり状態を示した図。
【符号の説明】
1 レーザー装置
2 ウエハ
3 アーム付きロボット
4 ロボットアーム
5 マーキングステージ
6 ウエハカセット(マーキング前)
7 ウエハカセット(マーキング後)
8 カメラ
9 オリフラ
10 中央演算処理装置
11 回転装置
12 真空吸着回転盤
Claims (2)
- レーザーにて管理コード等をウエハや基板等のマーキング物にマーキングする装置において、前記マーキング物全体の画像を処理する基準位置検出用カメラと、前記マーキング物を搬送するロボットアームを設けると共に、前記カメラの画像から前記マーキング物にマーキングする位置を検出する検出手段と、マーキング物の外形以上の照射範囲を持つレーザー装置を設けたことを特徴とするレーザーマーキング装置。
- ロボットアームにマーキング物を回動する回動手段を設けたことを特徴とする請求項1記載のレーザーマーキング装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002156329A JP2004001002A (ja) | 2002-05-29 | 2002-05-29 | レーザーマーキング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002156329A JP2004001002A (ja) | 2002-05-29 | 2002-05-29 | レーザーマーキング装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004001002A true JP2004001002A (ja) | 2004-01-08 |
Family
ID=30428334
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002156329A Pending JP2004001002A (ja) | 2002-05-29 | 2002-05-29 | レーザーマーキング装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004001002A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103624406A (zh) * | 2013-12-06 | 2014-03-12 | 苏州逸美德自动化科技有限公司 | 自动供料镭焊机 |
CN105171244A (zh) * | 2015-09-06 | 2015-12-23 | 北京中拓光电科技有限公司 | 一种半导体晶片的激光打标装置 |
JP2018118296A (ja) * | 2017-01-27 | 2018-08-02 | 株式会社ディスコ | レーザー加工装置 |
-
2002
- 2002-05-29 JP JP2002156329A patent/JP2004001002A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103624406A (zh) * | 2013-12-06 | 2014-03-12 | 苏州逸美德自动化科技有限公司 | 自动供料镭焊机 |
CN105171244A (zh) * | 2015-09-06 | 2015-12-23 | 北京中拓光电科技有限公司 | 一种半导体晶片的激光打标装置 |
JP2018118296A (ja) * | 2017-01-27 | 2018-08-02 | 株式会社ディスコ | レーザー加工装置 |
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