TW322680B - - Google Patents

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322680 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 A7 _ B7 __ 五、發明説明（1 ) 〔技術領域〕 本發明係關於多層配線板之製造方法。更詳言之’係 有關將層間絕緣層選擇性地去除，具有用以把多數層的導 電性圖型互相電性地連接之偏置孔或溝狀導通部的建立型 多層配線板之製造方法。 〔習知技藝〕 近年來，隨著電子技術的進步，正在進行對電腦等電 子機器之髙密度化和運算機能之高速化。在多層配線板也 不例外，正在要求能夠高密度配線和高密度實裝的多層配 線板，做爲如此之多層配線板，已知有根據具有用以將上 層配線圖型和下層配線圖型電性地連接的偏置孔或溝狀導 通部之p工法的多層配線板。 根據該建立工法之多層配線板，已往，係如圖6，圓 7所示，在基板2 1上設置由導電性物質而成的下層之配 線圖型22，在其上將具有絕緣性的陶瓷糊組成物根據網 版印刷法等印刷圖型，或設置感光性樹脂層（層間絕緣層 )2 3後，把層間絕緣層2 3根據照相製版法曝光，顯影 ，蝕刻選擇性地去除而形成偏置孔2 5，接著根據無電解 電鍍處理等，在偏置孔2 5內設置導電層2 6，或在該偏 置孔2 5內和層間絕緣餍2 3上一髖地設置導電層2 6， 然後形成上層配線圖型（未圖示），將該上層的配線圖型 和下層之配線圖型2 2分別電性地連接的方法製造。 可是，根據上述習知的方法製造之多層配線板，做爲 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 4 經濟部中央標準局貝工消费合作社印製 S22680 A7 _B7_ 五、發明説明（2 ) 層間絕緣層使用陶瓷材者無法得到高精確度者，再者使用 感光性樹脂層時，如圚6所示地偏置孔的側壁會成垂直之 矩形狀的斷面，或如圖7所示地在照相製版時容易出現根 據顯影液之側蝕刻3 0。在此等任何狀況，根據無電解電 鍍法等在偏置孔2 5內和層間絕緣層2 3上設置導電層 2 6時，如圇6，7所示，電鍍鏞接將不良好，有時會引 起導通不良（圖中，A)。對此，爲了防止短路雖然可以 考慮增加無電解電鍍量，可是無法避免增加基板之重量， 難以得到高密度，高精細之多層配線板。 因此，爲了以少的無電解電鍍量形成可靠性高之多層 配線板，例如在特開平6 — 2 1 5 6 2 3號公報已記載有 ，在對氧化劑難溶性的感光性樹脂層中使之含有對氧化劑 可溶性之樹脂粒子，根據氧化劑使可溶性樹脂粒子溶出而 將層間絕緣層粗面化處理，以改良層間絕緣層和導電層的 密接性之技術*可是，在特開平6 — 2 1 5 6 2 3號公報 記載者，因做爲層間絕緣層表面的粗面化處理之氧化劑， 係使用鉻酸等的強酸，故從對人體，基材等之影響也不理 想。 並且，近年來從對環境的考慮，要求做爲顯影液能夠 使用稀鹸水溶液之感光性樹脂，例如在特開平6 -1 9 6 8 5 6號公報，已提案有在感光性樹脂中導入羧基 而使之能根據稀鹼水溶液顯影者，但是，此等具有絕緣電 阻值和耐熱性會降低的傾向，具有可能會引起短路之問題 ，有難以形成可靠性高的多層配線板之問題。同時，做爲 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐) ~ ' (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

、tT Λ 3^26s〇 A7 B7 五、發明説明（3 ) 層間絕緣層使用上述感光性樹脂時，其耐熱性的界限爲 1 4 0°C程度，因難以得到脫皮強度大者，故在近年來之 髙密度配線板，具有根據層間絕緣層的損傷之剝離和缺口 等問題。 此外，雖然也曾考慮做爲層間絕緣層，使用混合攪拌 無機質充填材的熱硬化型之耐熱性環氧樹脂，根據二氧化 碳雷射或激勵雷射等髙输出雷射形成偏置孔的方法，但是 因裝置昂貴，所形成之偏置孔的形狀也變成矩形狀，在偏 置孔內設置導電層時可能會引起導電不良，同時偏置孔側 壁會變成平滑而使導電層之密接性變差，而不理想。 〔發明之概要〕 本發明之目的，係在廉價地提供層間絕緣層和導電層 之密接性優異，耐熱性高，對環境安全，而可靠性高之多 餍配線板。 經濟部中央橾準局貝工消费合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 亦即，本發明的一側面，主要係，在基板的至少一方 之面上，有多數層的配線圖型和層間絕緣層，在該層間絕 緣層之所定地點設置用以使前述配線圖型互相電性地連接 的偏置孔而成的多層配線板之製造方法，其特徵爲，在設 置前述偏置孔時，在層間絕緣層上形成具有耐噴砂性的被 膜圖型，接著根據實施噴砂處理，將層間絕緣層選擇性地 去除而形成偏置孔後，去除有耐噴砂性的被膜，然後設置 導電層的多層配線板之製造方法· 再者，本發明的其他之側面，主要係，在基板的至少 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4说格（210X297公釐） n 32咐0 A7 _ B7 五、發明説明（4 ) 一方之面上，有多數層的配線圖型和層間絕緣層，在該層 間絕緣層之所定地點設置用以將前述配線圖型互相電性連 接的溝狀導通部而成之多層配線板之製造方法，其特徵爲 ，在設置前述溝狀導通部時，在層間絕緣層上形成具有耐 噴砂性的被膜圖型，接著根據實施噴砂處理，將層間絕緣 層選擇性地去除而形成溝狀導通部後，把具有耐噴砂性的 被膜去除，然後設置導電層的多層配線板之製造方法。 在上述中，能夠根據更設置將前述層間絕緣層表面粗 糙化的工程，而更提髙導電層和層間絕緣層之密接性。 鲁 〔發明之詳細說明〕 以下，將本發明的多層配線板之製造方法的理想形態 ，參照附圖加以說明。 圖1 A〜圖1 F係顯示本發明的多層配線板之製造方 法的一形態。 首先，如圖1 A所示地，在基板1上，形成厚度約1 〜2 0 0 的配線圖型2，在其上更設置層間絕緣層3 經濟部中央橾準局貝工消費合作社印裝 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 〇 基板1，雖然將使用玻璃-環氧樹脂叠片板，玻璃布 一雙馬來睡亞胺三哩（bis-maleimide-triazine)樹脂昼 片板，玻璃布-聚醯亞胺樹脂叠片板，紙-酚樹脂叠片板 ，紙-甲酚樹脂叠片板，紙-酚線型酚醛清漆型環氧樹脂 叠層板，紙-甲酚線型酚醛清漆型環氧樹脂叠片板等絕緣 基板，但是不限於此。同時，也可以將該基板1的表面， 本紙張尺度適用中國國家棣準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -7 - 32^6qq A7 ____B7___ 五、發明説明（5 ) 根據所希望粗面化。 配線圖型2，係由例如Cu，A)2，Ag，Au， N i等的導電性物質而成，將根據眾所周知之方法設置。 在本發明，具有某程度彈性，而價廉的C u，Α)2因噴砂 處理時不易被蝕刻，而能夠理想地使用。 層間絕緣層3，係將用以形成絕緣層的材料，以3支 輥軋機，球磨粉機，碾砂機等充份地溶解，分散，混合攪 拌後，在基板上以網版印刷，浸漬塗層，桿塗層，輥塗層 ’反向塗層，自旋塗層，慕流塗層，噴霧塗層等塗佈成乾 燥膜厚10〜100程度後，在室溫或溫風加熱器， 紅外線加熱器中使之乾燥後，以超高壓水銀燈，化學燈等 照射活性能線，或在溫風加熱器，紅外線加熱器中以 1 2 0〜2 0 0°C程度加熱硬化，而設置在基板1上。 做爲用以形成該層間絕緣層3的材料，通常，將使用 包含綴合物樹脂，熱或光聚合引發劑或橋連劑，及熱或光 聚合性單體之組成物。在綴合物樹脂中存在有能夠根據光 或熱聚合或橋連的基時，也可以爲去除單體之組成物》 經濟部中央樣準局貝工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 做爲上述綴合物樹脂，例如有從甲基丙烯酸甲酯，丙 烯酸甲酯，丙烯酸乙酯，甲基丙烯酸乙酯，正丙烯酸丁酯 ，正甲基丙烯酸丁酯，異丙烯酸丁酯，異甲基丙烯酸丁酯 ，2 —乙基丙烯酸己酯，2 —乙基甲基丙烯酸己酯，丙烯 酸苄酯，甲基丙烯酸苄酯，2 -羥基丙烯酸乙酯，2 -羥 基甲基丙烯酸乙酯，2 —羥基丙烯酸丙酯，2 —羥基甲基 丙烯酸丙酯，乙二醇一甲醚一丙烯酸酯，乙二醇一甲醚甲 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） A7 ____B7___ ___ 五、發明説明（6 ) 基丙烯酯，乙二醇一乙醚丙烯酸酯，乙二醇一乙醚甲基丙 烯酸酯，甘油-丙烯酸酯，甘油一甲基丙烯酸酯，丙烯酸 二甲基氨基乙基酯，甲基丙烯酸二甲基氨基乙基酯，四氫 糠丙烯酸*四氫糠甲基丙烯酸，丙烯醯胺，甲基丙烯醯胺 ，丙烯睛，甲基丙烯睛等所選擇的單體使之共聚合者，或 雙酚A型環氧樹脂，雙酚F型環氧樹脂，雙酚S型環氧樹 脂，酚線型酚醛清漆型環氧樹脂，甲酚線型酚醛清漆型環 氧樹脂，根據酚類和具有酚性羥基的芳香族醛之縮合物的 環氧化樹脂，尿素樹脂，蜜胺樹脂，三（2，3 —環氧丙 基）異氰酸酯等之三嗪樹脂，Dow· Chemical公司製的環 烯樹脂，聚酚樹脂，酚醛清漆樹脂，聚醯胺樹脂，聚亞胺 樹脂等。其中，尤其以環氧樹脂，聚酚樹脂，酚醛清漆樹 脂，聚醯胺樹脂，聚亞胺樹脂，即使在1 5 0〜2 0 0°C 程度的高溫狀態也不會變質或分解，以脫皮強度具有超過 1 k g之抗拉強度，耐熱性和耐薬品性優異，故將理想地 適用。 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 在使上述單體共聚合時，雖然也可以使之和丙烯酸， 甲基丙烯酸，丁烯酸，異丁烯酸，當歸酸，惕各酸，2_ 丙烯酸乙酯，3_丙烯酸丙酯，3 —異丙烯酸丙酯，丁二 酸-羥乙基丙烯酸酯，鄰苯二甲酸一羥乙基丙烯酸酯，二 氫化鄰苯二甲酸一羥乙基丙烯酸酯，四氫化鄰苯二甲酸一 羥乙基丙烯酸酯，六氫化鄰苯二甲酸-羥乙基丙烯酸酯， 丙烯酸二聚物，丙烯酸三聚物等具有羧基的單體共聚合， 但是所得之樹脂的耐熱性和耐藥品性，絕緣電阻值等有時 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐) " 經濟部中央橾準局負工消费合作社印褽 Α7 Β7 五、發明説明（7 ) 會降低。 做爲上述熱或光聚合引發劑，有例如1 -羥基環己苯 酮，2，2二甲氧基_1 ，2 —二苯基乙烷一 1_酮，2 —甲基一 1 一〔4 一（甲硫基）苯基一2 —嗎啉丙烷一 1 —酮，2 —苯基一2-二甲胺基-1- (4-嗎啉苯基） "'丁院一1 —酮’ 2 —經基一 2 _甲基_ 1 —苯基丙院一 酮，2，4，6 —三甲基苯酰二苯膦氧化物，1_〔 4 - (2 —羥基乙氧基）苯〕一 2 —羧基_2 —甲基一 1 一丙烷一1 一酮，2，4 —二乙基硫雜Μ，2 —氯硫代醒 酮，2 ，4_二甲基睡噸酮，3 ，3 —二甲基一 4 一甲氧 基苯酮，苯酮，1 一氯—4 —丙氧基硫雜Μ，1 一（4 一 異丙基苯）—2 -羥基一 2 —甲基丙烷一 1—酮，1 一（ 4 —異丙基苯基）一 2 —羥基一 2_甲基丙烷一酮，4一 苯醯一 4 / 一甲基二甲基硫化物，4 一二甲胺苯甲酸，4 —二甲胺苯甲酸甲酯，4 —二甲胺苯甲酸乙酯，4 —二甲 胺苯甲酸丁酯，4 一二甲胺苯甲酸一 2_乙基六硝炸藥， • 4 —二甲胺苯甲酸一 2 —異戊基，2，2 —二乙氧乙醯苯 ，苄二甲基縮酮，苄一点一甲氧基乙基甲縮醛，1_苯基 —1，2—丙烷二酮一2 —(鄰一乙酯基）肟，鄰苯甲醯 苯甲酸甲酯，雙（4 一二甲胺苯基）酮，4，4>一雙二 乙基氨基苯酮，4，一雙氯化苯酮，笮，苯偶姻，苯 偶姻甲醚，苯偶姻乙醚，苯偶姻異丙魅，苯偶姻- η -丁 醚，苯偶姻異丁醚，苯偶姻丁醚，對二甲基氨基苯乙酮， 對特丁基三氯化苯乙酮，對特丁基二氯化苯乙酮，’硫雜 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇Χ297公釐）_ (讀先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 A7 ____B7_ 五、發明説明（8 ) Μ，2 -甲基硫雜葸，2 —異丙基硫雜蒽’二苯並軟木酮 ，α，α二氯一 4 一苯氧苯乙酮’戊基_4 一二甲敍基苯 甲酸酯等。此等熱或光引發劑*能夠在層間絕緣層中之綴 合物樹脂及單體1 〇 〇重量部中’以0 · 1〜4 0重量部 之範圍包含· 做爲上述橋連劑，有雙氰胺；2 一乙基一 4 —甲基咪 唑，1—氰乙基一 2 —乙基一4 —甲基咪唑’ 2，4 一二 氨基_6 —〔2 < —甲基咪嗖一（1)〕_乙基一 s_三 瞭，2，4 —二氨基一6 —〔2 一 一乙基一4 一甲基咪哩 一（1)〕一乙基一s —三嗪·異氣酸附加物’ 2甲基咪 唾，1苯2甲基咪哩，2 —苯一4 一甲基一 5 —經甲基咪 嗤等之咪嗤化合物；2 ’ 4 一二氣一 6 —乙嫌一 s —三瞎 —異氣酸附加物’ 2 —乙嫌—4 ’ 6 —二氣一s —三瞭， 經濟部中央標準局員工消费合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) f 2 —甲氧乙基一4，6 —二氨一 s-三嗪，2鄰氰苯基一 4，6 —二氨一 s_三嗪等之三暸化合物；3 —（3，4 一二氯苯）_1 ，1 ^一二甲基尿素，1 ，1，一異硼一 雙（3 —甲基一 3 —羥乙基尿素），1 ，1 > 一甲苯一雙 (3，3 -二甲基尿素）等尿素化合物；4，4> —二氨 一二苯甲烷等芳香族胺化合物；三苯基銃六氟磷酸酯，三 苯基銃六氟銻酸鹽，三苯基硒六氟磷酸酯，三苯基硒六氟 銻酸酯，二苯基碘六氟銻酸酯，二苯基碘六氟磷酸酯，2 ，4 —環戊二烯，1— 4少一〔（1-甲基乙基）苯〕

Fe—六氟磷酸鹽「伊格求阿一261」：汽巴•蓋基（ 株）製）等之光陽離子催化聚合觸媒等》在此等中，將理 ^紙張尺度適用中國國家梂準（CNS ) A4规格（210X297公釐） ~ "" -11 - A7 s^268〇 _______B7_ 五、發明説明（9 ) 想地使用雙氰胺，2，4二氨一 6 —〔2 > —甲基咪唑一 (1)〕一乙基一s —三嗪，2 —乙基一4甲基咪唑，1 ，1 > 一異硼一雙（3 —甲基3 —羥乙基尿素），1 ， 1 - 一甲苯一雙（3，3二一甲基尿素），3 — (3 ，4 一二氯苯）—1，1 — 一二甲基尿素及光陽離子催化聚合 觸媒之市售品（「SP - 150」，「SP—170」； 皆爲旭電化（株）製）等。 做爲上述熱或光聚合性單體，能使用例如2 -羥基丙 烯酸乙酯，2 —羥基甲基丙烯酸乙酯，乙二醇一甲醚丙烯 酸酯，乙二醇一甲醚甲基丙烯酸酯，乙二醇一乙醚丙烯酸 酯，乙二醇一乙醚甲基丙烯酸酯，甘油丙烯酸酯，甘油甲 基丙烯酸酯，丙烯醯胺，甲基丙烯醃胺，丙烯睛，甲基丙 烯睛，丙烯酸甲酯，甲基丙烯酸甲酯，丙烯酸乙酯，甲基 丙烯酸乙酯，異丙烯酸丁酯，異甲基丙烯酸丁酯，2 —乙 基己基丙烯酸酯，2 _乙基己基異丁烯酸酯，丙烯酸笮酯 ，甲基丙烯酸苄酯等之單官能單體；和乙二醇二丙烯酸酯 ，乙二醇二甲基丙烯酸酯，三甘醇二丙烯酸酯，三甘醇二 甲基丙烯酸酯，四甘醇二丙烯酸酯，四甘醉二甲基丙烯酸 酯，丁二醇二丙烯酸酯，丁二醇二甲基丙烯酸酯，丙二醇 二丙烯酸酯，丙二醇二甲基丙烯酸酯，三羥甲基丙烷三丙 烯酸酯，三羥甲基丙烷三甲基丙烯酸酯*四羥甲基丙烷四 甲基丙烯酸酯，季戊四醇三丙烯酸酯，季戊四醇三甲基丙 烯酸酯，季戊四醇四丙烯酸酯，季戊四醇四甲基丙烯酸酯 ，二季戊四醇五丙烯酸酯，二季戊四醇五甲基丙烯酸酯， 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ~ -12 - ----------r 二------iT------M I (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央橾準局員工消費合作社印衷 經濟部中央標準局貝工消费合作社印製 A7 _____B7 _ 立、發明説明（10 ) 二季戊四醇六丙烯酸酯，二季戊四醇六甲基丙烯酸酯，1 ，6_己二醇二丙烯酸酯，1，6 —己二醇二甲基丙烯酸 酯，羧基丙烯酸酯，羧基二甲基丙烯酸酯等之多官能單體 。在添加此等熱或光聚合性單體時，以在層間絕緣層成份 1 0 0重量部中配合5 0重量部爲止的範圍爲理想。 上述成份外，並且，也可以爲了保持尺寸安定性和耐 藥品性，耐熱性，絕緣性，添加二氧化矽，氧化鋁，雲母 ，滑石粉等無機充填劑，和爲了容易識別噴砂處理後形成 的偏置孔而添加酞菁綠等耐熱性有機著色顏料者。 前述充填劑的粒徑雖然以0 . 0 1〜5 0 0 /iin程度 之範圍選擇，但是在噴砂處理後形成導電層時，爲了提高 層間絕緣層和導電層的密接強度，在上述粒徑範圍內，使 粒徑，形狀不同之充填劑選擇性地會有多數爲理想。 並且，將層間絕緣層3，以網版印刷，浸清塗層機， 輯塗層機，自旋塗層機，帷幕塗層機*噴霧塗層機等塗佈 時，爲了均勻地塗層，也可以含有定水平劑，消泡劑，溶 劑等。 此等，做爲上述溶劑，有甲基乙基甲酮，丙酮，甲基 異丁基酮，二乙基甲酮，環己酮，乙二醇一甲醚，乙二醇 一乙醚，乙二醇一丁醚，乙二醇一苯醚，乙二醇一苯基醚 ，二甘醇一乙醚，二甘醇一丁醚，丙二醇一甲醚，丙二醇 一乙醚，二丙二醇一甲醚，二丙二醇一乙醚，3 —甲氧基 醋酸丁酯，4 一甲氧基醋酸丁酯，2 -甲基一3 —甲氧基 醋酸丁酯，3 —甲基一 3 —甲氧基醋酸丁酯，3 —乙基一 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ! ----------f 丄------1Τ------^ I (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局負工消費合作社印裝 A7 B7 五、發明説明（11 ) 3 —甲氧基醋酸丁酯，2 —乙氧基醋酸丁酯，二甘醇一乙 醚醋酸酯，二甘醇一丁醚醋酸酯等，其中特別以丙二醇-甲醚，丙二醇一乙醚，丙二醇一丙醚，二丙二醇一甲醚， 二丙二醇一乙醚，二丙二醇一丙醚，丙二醇一甲醚醋酸醋 等溶劑，對人體的安全性高，塗佈性良好而將理想地適用 〇 同時，能夠在用以形成層間絕緣層3的組成物中，將 含硫黃有機化合物做爲觸媒毒添加•做爲如此的含硫黃有 機化合物，有2 —巯基苯並睡唑，二硫化苯并睡唑，N-tert — 丁基一 2 -苯并睡唑次磺酰胺，四甲秒蘭姆化二硫 化物等。根據含有此等觸媒毒，如後述地在層間絕緣層3 形成偏置孔後，根據電鍍處理在偏置孔內設置導電層時， 能夠防止在層間絕緣層上附著導電層。 該含硫黃有機化合物，以層間絕緣層成份中0.1〜 20重量部的範圍含有爲理想•該範圍未滿0.1重量部 時，無法發揮做爲觸媒毒之效果，一方面，超過2 0.重量 部時，所得的樹脂之耐熱性和耐薬品性，絕緣性有時會降 低· 接著，在上述已加熱硬化的層間絕緣層3上，如圖 1 B所示地形成具有耐噴砂性之被膜4圖型。 在形成具有耐噴砂性被膜4的圖型時，有根據網版印 刷，桿塗層機，輥塗靥機，反向塗層機，帷幕流塗層機等 刷所希望圖型的方法，將具有耐噴砂性之感光性樹脂塗佈 在層間絕緣層3上，或貼上做爲乾膜狀者後，根據照相製 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS ) A4規格（210X297公釐），Λ -14 - (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 ^ 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 A7 __B7_ 五、發明説明（12 ) 版法得到所希望的圖型之方法等。使用感光性樹脂時，塗 佈或粘貼後，隔著光罩，以超高壓水銀燈，化學燈等根據 活性能線進行曝光，再根據噴霧槍，浸漬法等進行顯影。 做爲顯影液，雖然也根據感光性樹脂而異，但是以水或鹸 水溶液爲理想，做爲使用在顯影液的鹼成份之例，有鈉， 鉀等鹼金靥的氫氧化物，碳酸鹽，矽酸鹽，磷酸鹽，焦磷 酸鹽，苄胺，丁基胺等之第1級胺，二甲胺，二笮胺，二 乙醇胺等的第二級胺，二甲胺，三乙胺，三乙醇胺等第3 級胺，嗎啉，哌嗪，吡啶等環狀胺，乙二胺，己撐二胺等 聚胺，四乙基銨氫氧化物，三甲笮銨氫氧化物，三甲苯笮 氨氫氧化物，膽鹼等之銨氫氧化物類，三甲銃氫氧化物， 二乙基甲銃氫氧化物，二甲笮銃氫氧化物等之銃氫氧化物 類，做爲顯影液有此等的水溶液或添加此等之緩衝液。 上述用以形成具有耐噴砂性的被膜之材料成份，只要 能完成對噴砂處理的保護膜之機能者並無特別限制，特別 有，例如在特開昭5 5 — 1 0 3 5 5 4號公報記載的，由 不飽和聚酯和不飽和單體及光聚合引發劑所成之感光性樹 脂組成物，和如特開平2 — 6 9 7 5 4號公報記載的聚乙 烯醇和重氮樹脂所成之感光性樹脂組成物，含有尿烷（間 )丙烯酸酯齊聚物，水溶性纖維素樹脂，光聚合引發劑， 及（間）丙烯酸酯單體而成的感光性樹脂。在此等中，含 有尿烷（間）丙烯酸酯齊聚物，水溶性繊維素樹脂，光聚 合引發劑及（間）丙烯酸酯單體而成的感光性樹脂，因和 層間絕緣層之密接性和柔軟性優異，故能夠理想地使用。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4规格（ 210X297公釐）_ 15 _ (請先閱讀背面之注f項再填寫本頁) 訂 - A7 B7 經濟部中央樣隼局貝工消費合作社印製 五、 發明説明 (13 ) 1 | 同 時 使 用 在 形 成 有 耐 噴 砂 性 的 被 膜 圖 型 之 感 光 性 樹 脂 1 1 也 可 以 爲 乾 膜 狀 0 1 1 將 具 有 耐 噴 砂 性 的 被 膜 4 形 成 圖 型 後 I 進 行 噴 砂 處 理 /"—V 1 I 請 1 1 如 圖 1 C 所 示 » 把 層 間 絕 緣 層 3 選 擇 性 地 去 除 9 形 成 m 先 閱 I 1 鉢 讀 1 面 視 研 狀 之 偏 置 孔 5 〇 背 面 1 之 1 做 爲 使 用 在 噴 砂 處 理 的 噴 砂 材 » 將 使 用 玻 璃 珠 氣 化 注 意 1 1 鋁 9 二 氧 化 矽 碳 化 矽 ， 氧 化 鉻 等 之 粒 徑 約 0 1 事 項 再 1 1 I 1 5 0 β m 的 微 粒 子 根 據 以 鼓 風 壓 力 0 5 5 k S / 填 寫 本 展 C ΠΊ 2 之 範 圍 噴 射 而 進 行 噴 砂 處 理 〇 具 有 耐 噴 砂 性 的 被 頁 '— 1 1 膜 4 因 此 通 常 之 感 光 性 樹脂 彈 性 柔 軟 性 髙 根 據 噴 砂 1 I 處 理 之 耐 磨 損 性 高 故 在 結 束 巨 的 深 度 之 蝕 刻 前 不 會 磨 損 1 I 掉 0 1 訂 | 根 據 本發 明 時 因 根 據 噴 砂 處 理 將 偏 置 孔 5 形 成 研鉢 1 1 I 狀 和 習 知 的 根據 照 相 製 版 法 之 方 法 不 同 能 夠 防 止 發 生 1 1 側 蝕 刻 在 後 工 程 的 電 鍍 處 理 » 導 電 層 能 有 效 率 地 附 著 在 1 1 偏 置 孔 側 壁 能 大 幅度 地 改 善 脫 皮 強 度 製 造 不 易 引 起 斷 1 線 和 龜 裂 的 可 靠 性髙 之 多 層配 線板 〇 同 時 不 需 要 使 用 鉻 1 | 酸 等 強 酸 之 氧 化 劑 等 在 環 境 上 很安 全 〇 1 I 噴 砂 處 理 後 > 如 圖 1 D 所 示 有 耐 噴 砂 性 的 被 膜 4 * 1 1 1 將 根 據 氫 氧 化 鈉 氫 氧 化 鉀 或 有 機 胺 類 等 Ρ Η 1 2 1 4 I 1 程 度 之 水 溶 液 剝 離 去 除 0 1 1 接 著 如 圚 1 E 或 圖 1 F 所 示 形 成 導 電 層 0 1 1 導 電 層 7 的 形 成 能 夠 根 據 荆？ 電 解 電 鍍 處 理 或 直 接 電 1 I 解 電 鍍 處 理 進 行 〇 直 接 電 解 電 鍍 法 能 夠 比 Arr m 電 解 電 鍍 法 1 1 本紙悵尺度適用中國國家橾準（CNS)A4規格（2丨0X297公釐）_ 16 經濟部中央樣準局員工消費合作社印製 322680 A7 _____B7_ 五、發明説明（l4 ) 縮短電鍍時間，在製造效率上有利。一方面，無電解電鍍 法，雖然電銨時間比較長，但是具有能將電鍍液的調製， 供給等簡便地進行之優點。或者，也可以把導電性糊組成 物根據網版印刷法等，塗佈或充填在所希望部份，而形成 導電層7。 做爲無電解電鍍法的一例，能夠根據將基板浸漬在硫 酸銅/甲醛/E D T A/氫氧化鈉溶液等而成的無電解電 鍍浴約1 0分〜1 0小時而形成。 同時，做爲直接電解電鍍法的一例，具體上，首先將 層間絕緣層3氧化處理把層間絕緣層3之表面微蝕刻。氧 化處理，將根據例如浸漬在添加過錳酸鈉或過錳酸鉀1〜 1 0%，氫氧化鉀或氫氧化鈉約0 . 5〜5%之水溶液中 ，在溫度5 0〜9 5°C，1〜1 5分鐘而進行。也可以根 據需要在水溶液中添加界面活性劑。 氧化處理後，經中和處理，並且水洗後，根據使之給 予分散有鈀膠體的水分散液，將基材表面活性化，能使之 在形成電鍍層時，更提髙和基板的密接性。鈀膠體係爲了 得到良好之分散性，以約0.01〜l#m的粒徑爲理想 ，濃度以0 . 5〜l〇g/i程度爲理想。 可以根據希望，在此更包含從銀，錫，銦，鎳，銅， 金，鈷，鋅或鎘中所選的1種之可溶性金屬化合物（合金 化金靥化合物），其中以硫化錫爲特別理想。同時，也可 以添加用以將鈀膠體和可溶性金靥化合物螯合化之螯合化 劑。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）,， -1 / - (讀先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 A7 B7 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 五、 發明説明 (15 ) 1 做 爲 螯 合 化 劑 » 只 要 從 將 氯 化 鈀 合 金 化 金 靥 化 合 物 1 1 螯 合 化 者 9 並 無特 別 限 制 具 體 上 例 如 有 白 屈 菜 酸 乳 1 1 清 酸 » 脲 基 醋 羧 酸 9 琥 珀 醯 亞 胺羧 酸 2 一 吡 咯 烷 酮 一 5 1 I 請 1 I — 羧 酸 羧 羥 吡 啶 9 羧 基 己 內 醯 胺 皮考啉 酸 或 雙 皮 考 啉 先 閱 1 I 讀 1 酸 » 羧 基 黃 嘌 呤 t 喹啉羧 酸 或 雙 羧 酸 木 素 » 香 蘭 素 9 9 背 1 I 一 咪 唑 院 酮 — 4 — 羧 酸 9 氨 1 胺 贅 氣 基 酸 ♦ E D T A 氯 化 之 注 1 1 I 鈉 » 氫 氧 化 銨 和 其 他 之 氮 氧 化 化 合 物 ( 例 如 氫 氧 化 鹸 等 ) 事 項 再 1 1 I 的 鹼 等 其 中 尤 其 以 白 屈 菜 酸 9 乳 清 酸 9 2 — 吡 咯 焼 酮 — 填 寫 本 Λ 5 — 羧 酸 爲 特 別 理 想 « 此 等 螯 合 化 劑 將 以 1 種 或 把 2 種 以 頁 1 1 上 組 合 使 用 〇 螯 合 化 劑 之 漉 度 9 只 要 能 維 持 鈀 膠 體 及 合 金 1 1 金 屜 化 合 物 所 分 散 的 狀 態 之 程 度 即 可 〇 1 | 同 時 電 解 質 需 要 爲 將 螯 合 化 劑 和 金 屬 絡 合 物 可 溶 訂 I 化 所 需 要 程 度 的 鹸 性 通 常 爲 約 P Η 8 1 4 但 是 以 1 1 I 1 2 1 4 爲 理 想 Ο 1 1 I 對 鈀 膠 體 的 接 觸 能 夠 以 約 1 0 6 0 °C 進 行 而 以 1 1 1 約 3 0 5 0 °C 爲 理 想 Ο 再 者 接 An 觸 時 間 係 進 行 約 5 1 0 分 鐘 就 能 夠 充份得 到 本 發 明 之 效 果 〇 1 1 接 著 爲 了 去 除 附 著 在 基 板 表 面 的 鹼 成 份 充 份 地 洗淨 1 I 後 進 行 電 解 電 鍍 處 理 〇 電 解 電 鍍 處 理 能 夠 根 據 白 己 往 進 1 1 行 的 眾 所 周 知 之 方 法 進 行 〇 做 爲 電 解 電 鍍 浴 組成 9 能 夠 使 1 1 I 用 例 如 硫 酸 銅 焦 磷 酸 銅 等 各 種 電 鎪 浴 0 在 此 通 以 1 1 1 1 5 0 A / f t 2 程 度 的 電 9 根 據 浸 漬 約 0 • 5 2 小 時 1 1 9 就 能 夠 形 成 均 勻 之 導 電 層 7 0 1 1 在 層 間 絕 緣 層 3 未 添 加 觸 媒 毒 時 > 將 如 圖 1 E 所 示 地 1 1 张 紙 本 準 標 家 釐 公 7 9 2 經濟部中央梂準局貝工消費合作社印製 32268〇 at B7 五、發明説明（16 ) 形成導電層7，一方面，在層間絕緣層3添加有觸媒毒時 ，將如圖1 F所示地只在偏置孔5內形成導電層7。 以後，重新在層間絕緣層3上形成上層配線圖型，更 在其上根據形成層間絕緣層，偏置孔，導電層（以上，皆 未圖示），而能形成多層配線板。 再者，做爲本發明的其他之一理想形態，可以在上述 工程中，將具有耐噴砂性被膜4剝離後，電鍍處理前，也 可以把層間絕緣層3表面粗面化•對此，參照圓2 A〜 2 G說明· 亦即，如圚2A〜2 D所示，和在上述圖1 A〜1 D 所述同樣地在基板1上設罝配線圓型，層間絕緣層3，接 著形成具有耐噴砂性的被膜4圖型，根據噴砂處理形成偏 置孔5後，把具有耐噴砂性之被膜4剝離。接著，如圓 2 E所示將層間絕緣層3表面粗面化。據此，能更提高該 層間絕緣層3和在其上形成的導電層7之間的脫皮強度。 粗面化，也可以根據自己往眾所周知之機械性研磨*化學 性研磨，或機械性研磨和化學性研磨的併用等進行》做爲 機械性研磨方法，有例如使用蘇格蘭磨光塊和銅刷等在層 間絕緣層3表面進行刷光研磨的方法，和擦光處理，帶式 砂磨處理等外，有上述噴砂處理等。做爲化學性研磨方法 ，例如層間絕緣層3之材料爲環氧樹脂時，有在過錳酸鉀 溶液中進行蝕刻處理使表面粗糙化的方法等。做爲該化學 性研磨方法的一例，有例如將層間絕緣層3氧化處理，而 把層間絕緣層3之表面微蝕刻。氧化處理，將根據例如在 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂' -19 - 經濟部中央揉準局負工消费合作社印製 A7 _B7_ 五、發明説明（17 ) 添加過錳酸鈉或過錳酸鉀1〜1 0% ’氫氧化鉀或氫氧化 鈉0 . 5〜5%程度的水溶液中，以溫度50〜9 5°C浸 漬1〜1 5分鐘程度而進行。也可以根據需要在水溶液中 添加界面活性劑。 再者，上述粗面化，以層間絕緣層3的表面平均粗糙 度（Ra)爲0 . 1〜10#m之範圍進行爲理想· 其後，如圖2 F (在層間絕緣層不包含觸媒毒時）或 圖2 G (在層間絕緣層包含觸媒毒時）所示，分別和上述 圖1 E或圖1 F時同樣地，根據直接電解電鍍，無電解電 鍍等形成導電餍7，以後，在層間絕緣層3上重新形成上 層圖型，並且根據在其上形成層間絕緣層，偏置孔，導電 層（以上，皆未圖示），而能形成多層配線板。 更且，做爲本發明的其他形態*也可以將層間絕緣層 表面在形成偏置孔前事先粗面化•對此，參照圓3 A〜圖 3 G說明。 亦即，在基板1上形成配線圖型2，層間絕緣層3後 (圖3 A )，如圖3 B所示地將層間絕緣層3表面粗面化 ，在該已粗面化的層間絕緣層3上，和上述各發明之形態 所述方法一樣，形成有耐噴砂性的被膜4圖型（圖3 C ) ，接著根據實施噴砂處理將層間絕緣層3選擇性地去除而 形成偏置孔5後（圖3 D )，去除有耐噴砂性的被膜（圖 3 E )，然後根據實施電鍍處理而設置導電層7也可以（ 圖3 F ’圖3G) »圖3 F係顯示在層間絕緣層未包含觸 媒毒時，圚3 G係顯示只在層間絕緣層包含觸媒毒之情況 本紙張尺度適用中國國家標率（CNS > A4胁（210X297公釐) ----------T -------1T------^ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -20 - 經濟部中央標隼局貝工消費合作社印製 A7 _______B7__ 五、發明説明（18 ) ’層間絕緣層3的粗面化之方法，能夠任意使用上述眾所 周知的各方法。同時，粗糙化之程度，以層間絕緣層3的 平均表面粗糙度（Ra) 0 . 1〜10#m之範圍進行爲 理想。 在本形態，根據將層間絕緣層表面事先粗面化，最後 和設在該層上的導電層之密接性將會優異，能夠更提高兩 者間的脫皮強度，而提高製品品質之可靠性•再者，將層 間絕緣層3的表面粗糙化，例如在偏置孔5形成後，把具 有耐噴砂性被膜4從層間絕緣層3剝離後進行時，在該層 間絕緣層3上會有根據噴砂處理的噴砂材逸散，故在形成 導電層7前，將需要把此等逸散之噴砂材去除的洗淨工程 ，但是在本形態，將層間絕緣層3表面粗糙化後，在噴砂 材逸散狀態直接在其上設置有耐噴砂性之被膜4，也會在 把該被膜4剝離時將噴砂材一齊剝離，故不需要特別設置 用以去除該噴砂材之洗淨工程，而能夠簡化工程。 圖4 A〜4 G，係顯示本發明的更其他形態。亦即如 圖4A所示，在基板1上，形成厚度約1〜200#m之 配線圇型2，在其上形成具有熱或光硬化性之電絕緣層 3 a β 該具有熱或光硬化性的電絕緣層3 a，將把材料各成 份以3支輥磨粉機，球磨粉機，碾砂機等充份地溶解，分 散，混合攪拌後，在基板上根據網版印刷*桿塗層機，反 向塗層機，帷幕流塗層機，噴霧塗層機等塗佈成乾燥膜厚 約10〜100#m，將在基板1上設成層。該電絕緣層 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210X297公釐）_ 21 _ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部中央樣準局貝工消费合作社印製 32^8Q A7 __B7 五、發明説明（！9 ) 3 a，在塗佈後使之以溫風加熱器，紅外線加熱器乾燥， 使之微硬化（圖4B)。 用以形成該電絕緣層3 a的材料，能夠使用和在上述 本發明之各形態用以形成層間絕緣層3的材料相同者。亦 即，通常將使用包含有綴合物樹脂，熱或光聚合引發劑或 橋速劑，及熱或光聚合性單體之組成物。在綴合物樹脂中 有根據熱或光能聚合或橋連的基存在時，也可以爲除去單 髖之組成。關於此等各成份的說明係如前述。 可是在本形態，並非從一開始就使之加熱硬化而形成 層間絕緣層3，係維持微硬化狀態，而在其上形成有耐噴 砂性之被膜圇型。 在此所謂「微硬化」，意指在後工程的根據噴砂處理 之形成偏置孔時，不會受到偏置孔形狀的缺失，損壞之程 度，而且在剝離具有耐噴砂性被膜時不會有電絕緣層3 a 剝落，或具有耐噴砂性被膜剝離後的電絕緣層3 a熱硬化 時，偏置孔不會因熱下垂而埋設的程度之硬化。爲了得到 上述的微硬化狀態，有照射能線量之光，或以比通常的硬 化溫度稍低的溫度加熱之方法，但是特別係將電絕緣層 3 a以約7 0 °C以上1 1 0 °C以下的溫度加熱爲理想•加 熱溫度過低時微硬化將不充份，在後述之剝離具有耐噴砂 性被膜時有電絕緣層剝落，或剝離具有耐噴砂性被膜後的 熱硬化時，偏置孔會根據熱下垂埋沒之情形而不理想，一 方面，加熱溫度過高時會過硬化，噴砂處理時間將加長而 不理想。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）〇〇 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部中央標準局員工消费合作社印製 A7 _B7 五、發明説明（2〇 ) 在該有熱或光硬化性的電絕緣層3 a中，能將含硫黃 有機化合物做爲觸媒毒添加。做爲如此之含硫黃有機化合 物，有在上述各發明形態的說明例示之各化合物。 接著，如圖4 C所示，在微硬化狀態的具有熱或光硬 化性之電絕緣層3 a上形成具有耐噴砂性的被膜4圓型。 該用以形成具有耐噴砂性被膜之材料成份和形成方法等， 係和在上述各形態時相同。 將具有耐噴砂性的被膜4形成圖型後，進行噴砂處理 ，如圖4 D所示地把在微硬化狀態之具有熱或光硬化性的 電絕緣層3 a選擇性地去除，而形成斷面視研鉢狀之偏置 孔5。使用在噴砂處理的噴砂材料和方法，係和上述各形 態時相同。具有耐噴砂性之被膜4，因此通常的感光性樹 脂彈性，柔軟性髙，根據噴砂處理之耐摩損性髙，故有目 的深度之蝕刻終了前不會摩損掉。 在本形態，因將具有熱或光硬化性的電絕緣層3 a， 在使之充份硬化前的微硬化狀態噴砂處理，故能把該噴砂 處理在短時間進行，同時能夠把具有耐噴砂性的被膜4形 成薄之圖型，故做爲該耐噴砂性被膜使用感光性樹脂時， 曝光時容易調整焦點深度，能夠形成析像性更良好而再現 性高之被膜圖型。 更且，同時根據將偏置孔5根據噴砂處理形成研鉢形 狀I和習知的根據照相製版法之方法不同，能夠防止發生 側蝕刻，在後工程的電鍍處理導電層能有效率地附著在偏 置孔側壁，大幅地改善脫皮強度，能夠製造不易引起斷線 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS ) A4規格（210X297公釐）_ 23 _ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) ..水· 訂 A7 B7 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 五、 發明説明 (21 ) 1 1 和 龜 裂 的 可 靠 性 高 之 多 層 配 線板 ο 同 時 9 不 必 使 用 絡 酸 等 1 1 I 強 酸 之 氧 化 劑 等 9 環 境 上 很 安 全 〇 1 1 噴 砂 處 理 後 * 如 圖 4 E 所 示 具 有 耐 噴 砂 性 的 被 膜 圖 1 I 請 1 I 型 4 將 根 據 氫 氧 化 鈉 > 氫 氧 化 鉀 ♦ 或 有 機 胺 類 等 P Η 閲 1 I 讀 1 I 1 2 1 4 程 度 之 水 溶 液 容 易 地 剝 離 去 除 〇 背 it 1 I 此 時 9 微硬 化 狀 態 的 具 有 熱 或 光 硬 化 性 之 電 絕 緣 層 之 注 意 1 事 1 3 不 會 對 氣 氧 化鈉 氫 氧 化 鉀 9 或 有 機 胺 類 等 的 Ρ Η 項 矣 1 填 4 1 2 1 4 程 度 之 水 溶 液 溶 解 泡 脹 而 有 耐 性 » 不 會 和 具 寫 本 I 有 耐 噴 砂 性 之 被 膜 圖 型 一 齊 剝 離 〇 頁 1 1 接 著 t 將在 微硬 化 狀 態 的 具 有 熱 或 光 硬 化 性 之 電 絕 緣 1 1 層 加 熱 硬 化 而 形 成 層 間 絕 緣 層 3 〇 做 爲 該 加 熱 硬 化 的 方 法 1 1 y 例 如 根 據 在 溫 風 加 熱 器 紅 外 線 加 熱 器 中 ♦ 以 約 訂 1 1 1 0 °c 2 0 0 °C 之 溫 風 加 熱 或 照 射 紫 外 線 等 進 行 爲 1 I 理 想 〇 1 1 1 此 時 也 可 以 更 將 層 間 絕 緣 層 3 表 面 粗 糙 化 據 此 提 1 1 喪 高 該 層 間 絕 緣 層 3 和 在 其 上 形 成 的 導 電 層 之 間 的 脫 皮 強 度 1 〇 該 粗 面 化 之 方 法 ♦ 能 夠 根 據 上 述 的 白 己 往 眾 所 周 知 之 機 1 1 械 性 研 磨 化 學 性 研 磨 或機械性 研 磨 和 化 學 性 研 磨 的 併 1 1 用 及 噴 砂 處 理 後 等 進 行 〇 1 | 再 者 該 粗 面 化 處 理 當 然 也 可 以 在 設 置 具 有 耐 噴 砂 1 I 性 被 膜 圖 型 * 刖 進 行 〇 1 1 I 此 後 如 圖 4 F ( 在 層 間 絕 緣 層 未 包 含觸 媒 毒 時 ) 或 1 1 圖 4 G ( 在 層 間 絕 緣 層 包 含 有 觸 媒 毒 時 ) 所 示 9 分 別 和 上 1 1 述 圖 1 E 或 圖 1 F 時 — 樣 f 直 接根 據 電 解 電 鍍 9 4πΐ- 電 解 電 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -24 經濟部中央樣準局貝工消費合作社印製 A7 _B7________ 五、發明説明（22) 鍍等形成導電層7，以後，重新在層間絕緣層3上形成上 層配線圓型，並且根據在其上形成層間絕緣層，偏置孔， 導電層（以上，皆未圖示），能夠形成多層配線板。 再者，雖然在上述，係做爲用以把多數層的配線圖型 互相電性地連接著以偏置孔爲例而說明，但是在本發明， 係只要做爲用以將多數層之配線圖型互相電性連接著*並 不特別限定爲偏置孔，例如關於在基板上成線狀地連續形 成的溝狀導通部•和通孔等，也能夠和上述偏置孔一樣， 進行噴砂處理和電鍍處理。 同時，也可以在如此地根據噴砂處理形成的溝狀導通 部埋設導電材，此時，也能夠根據噴砂處理提高導電材和 溝狀導通部之密接性，提高脫皮強度。 圖5A〜5F，係顯示根據本發明製造的多層配線板 之使用方法的一例。 首先如圖5 A〜5 B所示，在形成配線圖型的基板1 上形成含有含硫黃化合物之層間絕緣層3，在此上形成有 耐噴砂性的被膜圖型（未圚示）後，根據噴砂處理形成斷 面視研鉢狀之溝狀導通部8(第1層）· 接著，在該溝狀導通部8內，根據電鍍處理或埋入糊 狀導電材等形成導電層7(圚5C) » 然後，在上述第1層上把第2層的層間絕緣層3叠片 ，將該第2層之層間絕緣層3根據和上述相同的方法噴砂 處理，形成偏置孔5(圖5D)。 接著，根據電鍍處理，在該第2層上及偏置孔5內形 本紙張尺度適用中國國家揉準（CNS ) A4規格（210>< 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 -25 - 經濟部中央橾準局員工消費合作社印製 A7 _B7 五、發明説明（23 ) 成導電層7 (圖5E)。 其後，將該導電層7選擇性地蝕刻，使偏置孔5內的 導電層互相導通（圖5 F)。 此後，也可以根據希望更設置層間絕緣層，同樣地形 成導通部。 以下，將根據實施例更詳細地說明本發明，但是本發 明將不受其任何限制。 眚施例 實施例1〜4，比鮫例1〜3 做爲用以形成層間絕緣層的成份，按照表1所示之配 方組成（重量部），將各成份使用3支輥軋機混合攪拌’ 得到絕緣性組成物。 將該絕緣性組成物使用1 0 0網目/英吋的聚酯製屏 網，在事先形成有銅配線圖型的厚度1 mm之玻璃-環氧 樹脂疊片基板上，使乾燥後的膜厚會成爲5 0 地網版 印刷後，關於實施例1及2係使之在1 5 0 °C加熱硬化 5 0分鐘，關於實施例3係將塗膜以8 0°C預備乾燥5 0 分鐘，使用超高壓水銀燈曝光機「HTE102S」（H-igh tech (株）製，以500mJ/cm2的曝光量把紫 外光全面照射，並且在1 50 °C使之加熱硬化50分鐘。 本紙張尺度適用中國國家樣準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ne -26 - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -s- ^ 322680 A7 B7 五、發明説明（24 ) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 實 施例 比較例 1 2 3 4 1 2 3 Ν-673 100 - - 100 - - 40 粘合劑 埃皮科特828 - 100 100 - - - - 樹脂 TEPIC-SP - — - - 40 - - TCR1025 - - - - 154 154 154 單體 DPHA - 一 10 - 10 10 10 ΤΜΡΤΑ - — 10 - 10 10 10 橋連劑 DICY 7 9 g 7 - - - 2ΜΖ · A 6 6 6 6 - - 光聚合 伊格求阿-907 - 一 10 - 10 10 10 引發劑 卡亞求阿-DETX - - 5 - 5 5 5 DPM - - - - 5 5 5 溶劑 斯瓦坐爾1500 10 5 5 10 5 5 5 二甘醇醋酸鹽 30 10 10 30 - - - PGMAc - 一 - - - - 12 KS-66 2 2 - 2 2 - 2 摩達忽羅 - - 2 - - 2 - 其他 里約諾爾緣2YS 2.5 2.5 2.5 2.5 2.5 2.5 2.5 添加劑 米克羅萊斯P-4 10 10 10 10 10 10 10 AEROSIL#200 2 2 2 2 2 2 2 硫酸鋇B-31 60 60 60 60 80 60 80 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -5 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -27 - 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（25 ) 再者，表1中的商品名’係表示以下之各組成° .「N — 673」：鄰甲苯酚線型酚醛清漆型環氧樹脂 (D I C (株）製） • 「埃皮科特828」：雙酚A型環氧樹脂 (SHELL化學（株）製） • 「TEPlc_SP」：三環氧丙基醚三聚異氰酸 (曰產化學（株）製） • 「TCR1〇25j :三苯甲烷型環氧丙烯酸酐附加物 (酸值1 〇 〇含有乙二醇一甲醚醋酸酯2 5重量％， 斯瓦座爾15〇〇(後述）1〇重量％) (日本化藥（株）製） • 「DPHA」：季戊四醇六丙烯酸酯 (曰本化藥（株）製） • 「TMPTA」：三羥甲基丙烷三丙烯酸酯 (日本化藥（株）製） • 「DICY」：二氣二醯胺（環氧硬化劑） (日本電石（株）製） • 「2ΜΖ·α」：2 —甲基咪唑吖嗪（環氧硬化劑） (四國化成（株）製） • 「伊格求阿一907」：2 —甲基一〔4 一（甲基硫） 〕苯一 2 —嗎啉—1 一丙烷 (汽巴•蓋基（株）製） •「卡亞求阿—DTEXj :二乙基硫雜Μ (日本化藥（株）製） 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐）〇〇 -ΔΟ - (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

經濟部中央樣準局負工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（26 ) • 「DPM」：二丙二醇一甲醚 (陶氏化藥（株）製） • 「斯瓦座爾1 500」：溶劑石腦油 (丸善石油化藥（株）製） • 「醋酸二甘醇」：二甘醇一乙醚醋酸酯 (DAICEL化藥（株）製） • 「PGMAc」：丙二醇一甲醚醋酸酯 (陶氏化藥（株）製） • 「K S — 6 6」：矽油 (信越化藥（株）製） • 「M0DAFL0W」：均染劑 (孟山都（株）製） • 「LI0N0L GREEN2YS」：著色顔料 (東洋油墨製造（株）製） • 「MICROACE P-4」：滑石粉（無機填料） (曰本滑石粉（株）製） • 「AER0SIL # 2 2 0」：粉粉末二氧化矽 (曰本AER0SIL (株）製） • 「硫酸鋇B — 3 1」：無機填劑 (堺化學（株）製） 在如此得到的各層間絕緣層上，做爲具有耐噴砂性被 膜，使感光性乾膜「ORDYL BF — 603」（東京 應化工業（株）製）以70 °C熱壓著•接著，經所希望的 本紙张尺度適用中國國家橾準（CNS ) A4规格（210X297公釐） ' ' -29 - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 乂- 訂 經濟部中央橾準局貝工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（27 ) 罩圖型，使用上述超高壓水銀燈曝光機「HTE 1 〇 2 S 」（High Tech (株）製，以300mJ/cm2之曝光 量照射紫外線，以30 °C，0 . 2%碳酸鈉水溶液， 1 . 2kg/cm2的噴霧壓噴霧顯影40秒鐘。 其後*使用噴砂機「SC—202」（（株）不二製 作所製），以粒徑2 5 g m的碳化矽做爲研削材，以噴矽 壓2 · 5kg/cm2進行6分鐘噴砂處理，接著使用3 重量％氫氧化鈉水溶液，根據以4 5 °C噴霧2分鐘，把具 有耐噴砂性之被膜剝離》 將具有耐噴砂性的被膜剝離後，經水洗，再以粒徑 2 5 Am之碳化矽做爲研削材，使用上述噴矽機，以噴砂 壓2 . 5kg/cm2進行1分鐘噴砂處理，把層間絕緣 層表面及偏置孔內粗面化，將所得的基板按照 SHIPLEY撤求潑及特200MLB程序，進行反拖 尾方式處理後，根據在無電解電鍍處理液「 SHI PLEY 求潑及特 250」（SHI PLEY (株 )製）浸潰5小時，而形成厚度25#m之導電層· 同時，關於實施例4，係如實施例1 *將具有耐噴砂 性被膜剝離，並且水洗後，未把層間絕緣層表面及偏置孔 內粗面化，根據浸漬在上述無電解電鍍處理液進行無電解 電鍍，而形成厚度2 5 之導電層。 關於比較例1〜3，係在厚度1mm的玻璃一環氧樹 脂叠片基板上，使乾燥後之膜厚會成爲5 0 地將絕緣 性組成物網版印刷後，把塗膜以8 0°C預乾燥5 0分鐘， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

-S Μ I. -30 - A7 ___B7__ 五、發明説明（28 ) 隔著罩圚型使用上述超高壓水銀燈曝光機^ Η T E 1 0 2 S j (前出），以 500mJ/cm2 的曝 光量照射紫外線。然後，用30 °C，1%碳酸鈉水溶液以 1 . 2kg/cm2之噴霧壓噴霧顯影40秒鐘後，使用 上述超高壓水銀燈曝光機，照射5 J/cm2的紫外線， 在1 5 0°C使之加熱硬化5 0分鐘。將如此得到的已形成 偏置孔之基板，根據浸漬在上述無電解電鍍液進行無電解 電鍍，形成厚度2 5 之導電層。 關於所得的基板，將偏置孔形狀，清角，絕緣電阻值 ，焊錫耐熱性，及脫皮強度*根據下述基準評估。把結果 示如表2。 評估方法 〔偏置孔形狀〕 將基板切斷，觀察偏置孔的斷面形狀· 〔清角〕 經濟部中央橾準局員工消费合作社印製 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) Μ ! 關於切斷的基板之偏置孔，觀察在層間絕緣層和配線 圖型之接面部份有無清角。 〔焊錫耐熱性〕 把焊劑塗佈後，在2 6 0 °C的焊錫浴中將1 〇秒鐘浸 漬重複5次後，觀察層間絕緣層之狀態，根據下述基準評 估。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -31 - 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 A 7 B7 五、發明説明（29 ) (評估基準） 良好：進行5次焊錫浴後也無任何變化。 不良：進行1次焊錫浴後，在硬化的感光性樹脂層之 一部份發生剝離。 〔絕緣電阻值〕 將所得的基板，以8 5 °C，濕度9 0%， DC100V之條件經1000小時後，使用「高電阻（ High Resi-stance Meter)4339A」（休烈派卡（株）製） 測定電阻值。 > 1 012:具有超過1 X 1 012Ω · cm之絕緣電阻 值 < 1 011:爲未滿1 X 1 011^ · cm之絕緣電阻值 〔脫皮強度〕 準照JIS Η 8846予以測定。 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

A7 B7 五、發明説明（30 ) 經濟部中央標準局員工消費合作社印裂

脫皮強度 焊錫耐熱性 絕緣電阻值 清角 偏置孔形狀 2.0 kg/cm 良好 V 〇 Μ to m 研鉢狀 pr oq — 、. O CO 曰 良好 V ◦ Μ κ m 研鉢狀 to pr 〇q , i—^ 、· o oo 曰 I 良好 V Η-a ο Μ to m 研鉢狀 oo 0.7 kg/cm 良好 V ι—* Ο Μ to m 研鉢狀 pr 〇Q丨 ◦ 、· o -a 曰 π 良好 八 Η·* ο Η Μ 掛 矩形狀 pr OQ 〇 \ · o B 不良 八 Η-L Ο Μ Μ 矩形狀 to pr OQ 1 <=» \ · O 03 白 良好 V Η-^ Ο Μ κ 斯 w m CO (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 A ! 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -33 - 經濟部中央橾準局貝工消費合作社印製 A7 __B7_. 五、發明説明（31 ) 眚施例5 在實施例1，做爲用以形成層間絕緣層的成份，更做 爲觸媒毒加上2 -疏基苯並P*唑1 0重量部，使用3支輥 軋機混合攪拌，而得到絕緣性組成物。將該絕緣性組成物 使用1 0 0網目/英吋的聚酯製屏網*在事先形成有銅配 線圖型之厚度1 mm的玻璃-環氧樹脂叠片基板上，使乾 燥後之膜厚會成爲2 5 地網版印刷後，把噴砂處理時 間做爲3分鐘以外，以下，和實施例1同樣地，在層間絕 緣層的所要處形成偏置孔。然後，將所得之基板按照 SHI PLEY撤求潑及特200MLB程序進行反拖尾 方式處理後，根據在無電解電鍍處理液「S Η I P L EY 求潑及特250」（前出）浸漬5小時無電解電鍍，而能 夠在偏置孔部份把厚度2 5 的導電層充填形成。在層 間絕緣層表面未發現根據無電解電鍍的銅之附著或變色， 得到極平坦之表面。 實施例6 在實施例1，將絕緣性組成物使用100網目/英吋 的聚酯製屏網，在事先形成有銅配線圖型的厚度1 mm之 玻璃-環氧樹脂叠片基板上，使乾燥後之膜厚會成爲2 0 以m地網版印刷後，在1 5 0°C使之加熱硬化5 0分鐘形 成層間絕緣層，做爲具有耐噴砂性被膜，使感光性乾膜「 ORDYL BF603」（前出）以70 °C熱壓著。然 後，隔著能再現2 0 圖型/2 0 空間的線幅之罩 本紙張尺度適用中國國家標準< CNS > A4規格（210X297公釐） ------------ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 -34 - 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 32^68〇 A7 __B7 五、發明説明（32 ) 圖型，使用上述超高壓水銀燈曝光機「ΗΤΕ 1 Ο 2 S」 (前出），以300mJ/cm2的曝光量照射紫外線， 以30°C，0 . 2%碳酸鈉水溶液，1 . 2kg/cm2 之噴霧壓噴霧顯影4 0秒鐘。 其後，使用噴砂機「SC — 202」（前出），將粒 徑5的碳化矽做爲研削材，以噴矽壓2.5kg/ cm2進行噴砂處理2分鐘，根據使用3重量％氫氧化鈉 水溶液，以4 5 °C噴霧2分鐘，剝離具有耐噴砂性之被膜 〇 將具有耐噴砂性的被膜剝離後，把粒徑5 5 之碳 化矽做爲研削材，使用上述噴矽機，以噴砂壓2 . 5 k g /cm2進行1 0秒鐘噴砂處理，將層間絕緣層表面粗面 化，把所得的基板按照SH I P L ΕΥ撤求潑及特 2 0 OML Β程序，進行反拖尾方式處理後，根據在無電 解電鍍處理液「SHIPLEY求潑及特250」（前出 )浸漬1小時，而形成厚度5 之導電層。在層間絕緣 層無缺口和剝離，同時在導通部未發現根據斷線之導通不 良和短路。 比較例4 在比較例1 ，將絕緣性組成物使用1 0 0網目/英吋 的聚酯製屏網，在事先形成有銅配線圖型之厚度1 mm的 玻璃-環氧樹脂叠片基板上，使乾燥後的膜厚會成爲2 0 以m地網版印刷後，將塗膜以8 0°C預備乾燥5 0分鐘， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） "~ -35 - (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

A7 B7 經濟部中央揉準局員工消費合作社印装 五、 發明説明 (33 ) 1 1 隔 著 能 再 現 β m 圖 型 / 2 0 β m 空 間 的 罩 圖 型 使 用 上 述 1 1 I 之 超 高 壓 水銀 燈 曝 光 機 厂 Η Τ E 1 0 2 S J ( 前 出 ) > 以 1 1 5 0 0 m J / C m 2 的 曝 光 量 照 射 紫 外 線 〇 接 著 以 3 0 1 I 請 1 1 °C 1 % 碳 酸 鈉 水 溶 液 1 2 k g / C m 2之噴霧壓噴 先 閲 1 I 份 讀 1 霧 顯 影 4 0 秒 鐘 但 是 在 層 間 絕 緣 層 發 現 有 部 性 缺 P ♦ 背 面 1 1 的 紫 之 1 使 用 上 述 超 髙 壓 水 銀 燈 曝 光 機 將 2 J / C m 2 外線 照 注 意 1 I 射 後 在 1 5 0 °c 使 之 加 熱 硬 化 5 0 分 鐘 » 根 據 把 所 得 的 Ψ 項 再 1 1 I 基 板 浸 漬 在 上 述 m 電 解 電 鍍處 理 液 1 小 時 而 4rrt. 撕 電 解 電 渡 ) 填 寫 本 I 形 成 厚 度 5 β m 之 導 電 層 9 但 是 在 導 通 部 以 外 發 現 有 * 部 頁 1 1 份 短 路 〇 1 1 1 實 施 例 7 9 比 較 例 5 7 1 訂 I 做 爲 用 以 形 成 層 間 絕 緣 層 的 成 份 將 上 述 表 1 之 實 施 1 I 例 1 的 配 方 組 成 在 實 施 例 7 使 用 把 實 施例 2 3 比 較 1 I 例 1 3 之 配 方組成 分 別 在 實 施 例 8 9 和 比 較 例 5 7 1 1 使 用 將 各 成 份 使 用 3 支 輥 軋 機 混 合攪 拌 而 得 到 絕 緣 性 1 I 組 成 物 〇 將 該 絕 緣 性 組 成 物 使 用 1 0 0 網 巨 / 英 吋 的 聚 酯 1 1 製 屏 網 在 事 先 形 成 有 銅 配 線 圖 型 之 厚 度 1 m m 的 玻 璃 1 1 一 環 氧 樹 脂 叠 片 基 板 上 使 乾 燥 後 之 膜 厚 會 成 爲 5 0 m 1 I 地 網 版 印 刷 後 關 於 實 施 例 7 及 8 使 之 在 1 5 0 °C 加 熱 硬 1 I 化 5 0 分 鐘 關 於 實 施 例 9 將 塗 膜 8 0 °c 預 備乾 燥 5 0 分 1 | 鐘 使 用 超 高 壓 水 銀 燈 rtSL 曝 光 機 厂 Η T E 1 0 2 S J ( 前 出 1 1 I ) 以 5 0 0 m j / C m 2 的 曝 光 量 將 紫 外 線 全 面 照 射 > 1 1 並 且 在 1 5 0 °c 使 之 加 熱 硬 化 5 0 分 鐘 0 1 1 錄 適 準 標 家 國 國 胁 釐 公 7 29 經濟部中央橾準局貝工消费合作社印製 A7 B7 五、發明説明（34 ) 其後，在層間絕緣層上做爲有耐噴砂性被膜，將感光 性乾膜「ORDYL BF — 603」（前出）以70°C 熱壓著。接著，經由所要的罩圖型’使用上述超高壓水銀 燈曝光機「HTE102S」（前出）’以300mJ/ cm2之曝光量照射紫外線，以30 °C，0 · 2%碳酸鈉 水溶液用1 . 2kg/cm2之噴霧壓噴霧顯影。 其後，使用噴砂機「SC-202」（前出），將粒 徑25^m的碳化矽做爲研削材，以噴矽壓2.5kg/ c m2進行6分鐘噴砂處理，接著使用3重量％氫氧化鈉 水溶液，根據以4 5 °C噴霧2分鐘，把具有耐噴砂性之被 膜剝離。 將具有耐噴砂性的被膜剝離後，經水洗，以粒徑2 5 以m之碳化矽做爲研削材，使用上述噴矽機，以噴砂壓 2 . 5kg/cm2進行1分鐘噴砂處理，將層間絕緣層 表面及偏置孔內粗面化，把所得的基板，做爲前處理在溫 度5 0°C，1 0 g/又之氫氧化鈉水溶液浸漬5分鐘，而 使之浸漬在下述組成的水溶液8 0°C，6分鐘，實施微蝕 刻。 (水溶液組成） 過鐘酸紳 5 0 S 氫氧化鉀 2 0 g 水 10 0 0 g 本紙悵尺度適用中國國家樣準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) *va -37 - 3^268〇 A7 _B7__ 五、發明説明（35 ) 其後，對基板在焦磷酸銅浴中根據下述條件實施鍍銅 處理。 (焦磷酸電鍍浴） 60 〜8〇g/J2 250 〜400g/^ 0 . 5 〜lm 芡 / i? 適量 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 焦磷酸銅 焦磷酸鉀 氨水 光澤劑 (處理條件） 處理溫度 5 0 - v 6 0 °c 陰極電流密度 3 0 - -5 0 A / f t 根據上述鍍銅處理，在基板表面形成厚度2 5 的 導電層。再者，電鍍時間爲3 5分鐘。 經濟部中央樣準局貝工消費合作社印袋 關於比較例5〜7，係在厚度1mm的玻璃一環氧樹 脂叠片基板上*使乾燥後之膜厚成爲5 0 地將絕緣性 組成物網版印刷後，把塗膜在8 0°C預備乾燥5 0分鐘， 隔著罩圖型使用上述超高壓水銀燈曝光機「 Η T E 1 〇 2 S」（High Tech (株）製），以 5 0 〇 mJ/cm2的曝光量照射紫外線。接著，用30°C* 1 %碳酸鈉水溶液，以1 . 2kg/cm2之噴霧壓噴霧顯 影後，使用上述超高壓水銀燈曝光機，照射5 J/cm2 的紫外線，以150 °C使之加熱硬化5 0分鐘。 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）_ 38 _ ' 5 0 g 2 0 g 1 Ο Ο 0 g A7 ______B7__ 五、.發明説明（36 ) 關於比較例5及7，做爲前處理，使之在溫度5 0°C 1 0 g/文的氫氧化鈉水溶液浸漬5分鐘，在下述組成之 水溶液8 〇°C，浸漬6分鐘實施微蝕刻處理。 (水溶液組成） 過錳酸鉀 氫氧化鉀 水 其後，將各基板根據下述組成的電鍍浴實施無電解電 鍍 {請先閲讀背面之注意ί項再填寫本頁) 訂

(無電解電鍍浴組成） 銅（做爲硫酸銅供給） 甲醛 氫氧化鈉 E D T A 2 . 8 g / 义 3 . 5 g / ί 1 0 〜1 1 g / ί 適置 碎 經濟部中央橾準局員工消費合作社印製 根據上述無電解電鍍處理，在基板表面形成厚度2 5 的導電層。再者，電鍍時間爲15小時。 對於所得的基板，按照上述評估基準，評估偏置孔形 狀，清角，絕緣電阻值，焊錫耐熱性，絕緣電阻值及脫皮 強度。把結果示如表3 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -39 - A7 B7 五、發明説明（37 ) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 脫皮強度 焊錫耐熱性 絕緣電阻值 清角 偏置孔形狀 ?r 〇q — 、· o to s ! 良好 >1012 雜 研鉢狀 實施例 1.0 kg/ cm 1 良好 >1012 雜 研鉢狀 〇〇 pr 〇q ‘ — 、· o <=> 5 良好 >1012 激 研鉢狀 CO 〇Q丨 〇 、. o ^ 曰 1 良好 <1011 掛 梯形狀 CJ1 比較例 PT 〇q · O \ · O 曰 不良 〈101 1 掛 梯形狀 CO ?r 〇Q丨 〇 、. o 私 Ξ 不良 >1012 掛 梯形狀 —--------^4— (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -訂 ^

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）_ 4Q 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） A7 B7 五、發明説明（38 ) 窗施例]0 在實施例7的用以形成層間絕緣層之成份，更做爲觸 媒毒加入2 —巯基苯並睡唑1 0重量部，使用3支輥軋機 混合攪拌，得到絕緣性組成物。將該絕緣性組成物使用 1 0 0網目/英吋的聚酯製屏網，在事先形成有銅配線圖 型之厚度1 mm的玻璃_環氧樹脂昼片基板上，使乾燥後 之膜厚會成2 5 jam地網版印刷後，將噴砂處理時間做爲 3分鐘以外，以下，和實施例7同樣地，在層間絕緣層的 所要地點形成偏置孔。然後，把所得之基板和實施例7同 樣地，進行前處理，微蝕刻處理，及直接電解電鍍，能夠 在偏置孔部份把厚度2 5 的導電層充填形成。在層間 絕緣層表面未發現根據電解電鍍之銅的附著和變色，得到 極平坦之表面。再者，電鍍時間爲2 0分鐘。 啻施例1 1 將實施例7的絕緣性組成物使用10 0網目/英吋之 聚酯製屏網，在事先形成有銅配線圖型的厚度1 mm之玻 璃-環氧樹脂叠片基板上，使乾燥後的膜厚會成爲2 0 地網版印刷後，以1 5 0°C加熱硬化5 0分鐘形成層 間絕緣層，做爲有耐噴砂性被膜，使感光性乾膜「 ORDYL BF — 603」（前出）以70 °C熱壓著》 接著，經由能再現2 0 圚型/2 0 空間的線幅之 罩圓型，使用上述超高壓水銀燈曝光機「HTE 1 〇 2 S j (前出），以300mJ/cm2的曝光量照射紫外線 -41 - (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) . 經濟部中央標準局貝工消f合作社印繁 A7 B7五、發明説明（39 ) ’以30°C，0 . 2%碳酸鈉水溶液用1 . 2kg/ cm2之噴霧壓噴霧顯影4 0秒鐘。 其後，根據使用噴砂機「SC — 202」（前出）， 粒徑5的碳化矽做爲研削材，以噴矽壓2.5kg/ c m2進行2分鐘噴砂處理，接著使用3重量％氫氧化鈉 水溶液，以4 5 °C噴霧2分鐘，將具有耐噴砂性被膜剝離 〇 將具有耐噴砂性的被膜剝離後，以粒徑5 之碳化 矽做爲研削材，使用上述噴矽機，以噴砂壓2 . 5 k g/ c m2進行1 〇秒鐘噴砂處理，把層間絕緣層表面粗面化 ，將所得的基板和實施例6同樣地進行前處理，微蝕刻處 理，及直接電解電鍍，在偏置孔部份形成厚度5 的導 電層。未發現在層間絕緣層有缺口或剝落，同時在導通部 沒有根據斷線之導通不良和短路。再者，電鍍時間爲7分 鐘》 比較例8 將比較例5的絕緣性組成物使用1 0 0網目/英吋之 聚酯製屏網，在事先形成有銅配線圖型的厚度1 mm之玻 璃-環氧樹脂叠片基板上，使乾燥後的膜厚會成爲2 0 地網版印刷後，將塗膜以8 預備乾燥5 〇分鐘’ 經由能再現2 0 圖型/ 2 0 μιη空間的線幅之罩圖型 ，使用上述超高壓水銀燈曝光機「ΗΤΕ102S」（前 出），以500mJ/cm2的曝光量照射紫外線。接著 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ~~~ -42 - (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁)

經濟部中央標準局負工消費合作社印製 A7 ____B7_ 五、發明説明（4〇 ) ，以30°C，1%碳酸鈉水溶液，用1 . 2kg/cm2 之噴霧壓噴霧顯影4 0秒鐘，但是在層間絕緣層發現有部 份性缺口。使用上述超高壓水銀燈曝光機照射2 J / cm 2的紫外線後，在1 5 0°C使之加·熱硬化5 0分鐘， 把所得的基板根據浸漬在和比較例5〜7相同之無電解電 鍍處理液1小時而無電解電鍍，形成厚度5 μ m的導電層 ，可是在導通部以外發現有一部份短路。 眚施例1 2〜1 4 做爲用以形成層間絕緣層的成份，將上述表1之實施 例1的配方組成在實施例1 2使用，把實施例2，3之配 方組成分別做爲實施例1 3，1 4使用，將各成份使用3 支輥軋機混合攪拌，得到絕緣性組成物。把該絕緣性組成 物，使用1 0 0網目/英吋的聚酯製屏網，在事先形成有 銅配線圖型之厚度1 mm的玻璃-環氧樹脂叠片基板上， 使乾燥後之膜厚會成爲5 0 地網版印刷後，關於實施 例1 2及1 3係以1 5 0°C使之加熱硬化5 0分鐘，關於 實施例1 4係將塗膜以8 0°C預備乾燥5 0分鐘，使用超 高壓水銀燈曝光機「HTE102S」（前出），以 500mJ/cm2之曝光量把紫外線全面照射，並且以 1 5 0°C使之加熱硬化5 0分鐘· 接著，根據擦光處理使表面平均粗糙度成爲（R a ) =4 //m地把層間絕緣層粗面化。 在已粗面化的層間絕緣層上*做爲有耐噴砂性之被膜 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）_ 43 _ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部中央樣準局員工消費合作社印製 A7 _ B7 五、發明説明（41 ) ，將感光性乾膜「ORDYL Bf—603」（前出） ，以7 0°C熱壓著•接著，經由所希望的罩圖型，使用上 述超高壓水銀燈曝光機「HTE102S」（前出），以 3 0 0m J / cm2之曝光量照射紫外線，用3 〇。〇， 0 . 2%碳酸鈉水溶液，以1 . 2kg/cm2的噴霧壓 噴霧顯影。 其後，使用噴砂機「SC — 202」（前出），將粒 徑25的碳化矽做爲研削材，以噴矽壓2.5kg/ c m2進行6分鐘噴砂處理，根據使用3重量％氫氧化鈉 水溶液，進行4 5 °C，噴霧2分鐘，把具有耐噴砂性之被 膜剝離。 將具有耐噴砂性被膜剝離後，把所得的基板按照 SH I PLEY撒求潑及特MLB程序，進行反拖尾方式 處理後，根據在無電解電鍍處理「SHIPLEY求潑及 特250」（前出）浸漬5小時，而形成厚度25#m之 導電層。 關於所得的基板，按照上述評估基準，評估偏置孔形 狀，清角，絕緣電阻值，焊錫耐熱性，絕緣電阻值及脫皮 強度。將結果示如表4。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）』』 -44 - ^ 本-----1II------^ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央橾準局員工消費合作社印製 A7 —. B7 五、發明説明（42 ) — 實施例 12 13 14 偏置孔形狀 硏鉢狀 研鉢狀 研鉢狀 清角 _ 無 Jrrr m jfrrr m 絕緣電阻值 >1〇χ2 >1012 >1012 焊錫耐熱性 良好 良好 良好 脫皮強度 2.0 kg/cm 1.9 kg/cm 1.8 kg/cm 實施例1 5 '在用以形成實施例1 2的層間絕緣層之成份，更做爲 觸媒毒加入2 -锍基苯並睡唑1 0重量部，使用3支輥軋 機混合攪拌，而得到絕緣性組成物。將該絕緣性組成物使 用1 0 0網目/英吋的聚酯製屏網，在事先形成有銅配線 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS ) A4规格（210X297公釐〉 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂

經濟部中央樣準局貝Η消費合作社印tL A7 ____B7_._ 五、發明説明（43 ) 圖型之厚度1 mm的玻璃-環氧樹脂叠片基板上’使乾燥 後之膜厚會成爲2 5 /zm地網版印刷後’把噴砂處理時間 做爲3分鐘以外，以下和實施例1 2同樣地’在層間絕緣 層的所希望處形成偏置孔。然後，將所得之基板按照 SHI PLEY撤求潑及特200MLB程序，進行反拖 尾方式處理後，根據在無電解電鍍處理液「 SHIPLEY求潑及特250」（前出）浸漬5小時無 電解電鍍，能在偏置孔部份充填形成厚度2 5 之導電 層•在層間絕緣層未發現有根據無電解電鍍的銅附著和變 色，得到極平坦之表面》 實施例1 6 ----------f :水------1T------^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 32 以 80 A7 Β7 五、發明説明（44 ) 其後，根據使用4重量％氫氧化鈉水溶液，以5 0°C 噴霧1分鐘，把具有耐噴砂性之被膜剝離· 將具有耐噴砂性被膜剝離後，把所得的基板按照 SHI PLEY撤求潑及特200MLB程序，進行反拖 尾方式處理後*根據浸漬在無電解電鍍處理液「 SHIPLEY求潑及特250」（前出）1小時，而形 成厚度5 之導電層。在層間絕緣層未發現缺口和剝落 ’同時在導通部無根據斷線之導通不良和短路。 實施例1 7〜1 9 做爲形成層間絕緣層的成份，將上述表1之實施例1 的配方組成做爲實施例1 7使用，把實施例2，3之組成 分別做爲實施例1 8，1 9使用，把各成份甩3支輥軋機 混合攪拌，而得到絕緣性組成物。將該絕緣性組成物用1 0 0網目/英吋的聚酯製屏網，在事先形成有銅配線圖型 之厚度1 mm的玻璃-環氧樹脂疊片基板上，使乾燥後之 膜厚會成爲5 0 地網版印刷後，關於賁施例1 7及 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1 8使之以1 5 0°C加熱硬化5 0分鐘，關於實施例1 9 將塗膜以8 0°C預備乾燥5 0分鐘，使用超高壓水銀燈曝 光機「HTE102S」（前出），以500mJ/ cm2的曝光量把紫外線全面照射，更以1 5 0°C使之加 熱硬化5 0分鐘。 接著，根據擦光處理，使表面平均粗糙度（R a )會 成爲5 地，把層間絕緣層粗面化。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4规格（210Χ297公釐） -47 - A7 B7 經濟部中央樣準局員工消費合作社印裝 五、 發明説明 (45 ) 1 在 已 粗 面 化 的 層 間 絕 緣 層 上 做 爲 具 有 耐 噴 砂 性 之 被 1 1 膜 y 將 感 光 性 乾 膜 厂 0 R D Υ L B F 一 6 0 3 J ( 前 出 1 1 ) 以 7 0 °C 熱 壓 著 0 接 著 經 由 所 希 望 的 罩 圖 型 使 用 上 1 1 請 1 I 述 超 髙 壓 水 銀 燈 曝 光 機 厂 Η Τ E 1 0 2 S J ( 刖 出 ) 以 先 1 I ik 1 3 0 0 m J / C m 2 之 曝 光 量 照 射 紫 外 線 9 以 3 0 X 背 1 溶 之 1 0 2 % 碳 酸 鈉 水 液 用 1 2 k S / C m 2 的 噴 霧 壓 注 意 1 噴 霧 顯 影 4 0 秒 鐘 0 事 項 1 I 再 -J 其 後 使 用 噴 砂 機 厂 S C — 2 0 2 J ( 前 出 ) 將 粒 填 寫 本 1 徑 2 5 β m 的 碳 化 矽 做 爲 研 削 材 » 以 噴 矽 壓 2 5 k g / 頁 1 1 C m 2 進 行 6 分 鐘 噴 砂處 理 使 用 3 重 量 % 氫 氧 化 鈉 水 溶 1 1 液 根 據 以 4 5 °c 噴 霉 2 分 鐘 把 具 有 耐 噴 砂 性 被 膜 剝 離 1 I 0 1 訂 I 將 具 有 耐 噴 砂 性 的 被 膜 剝 離 後 經 水 洗 把 所 得 之 基 1 1 1 板 做 爲 前 處 理 使 之 在 溫 度 5 0 °C ♦ 1 0 S / 9. 的 氫 氧 化 1 1 1 鈉 水 溶 液 浸 漬 5 分 鐘 使 之 浸 漬 在 下 述 組 成 之 水 溶 液 8 0 1 1 1 1 °c 6 分 鐘 實 施 微 蝕 刻 〇 ( 水 溶 液 組 成 ) 1 1 | 過 錳 酸 鉀 5 0 g 1 1 氫 氧 化 鉀 2 0 g 1 1 I 水 ] 0 0 0 g 1 1 1 其 後 將 各 機 材 在 焦 磷 酸 銅 浴 中 根 據 下 述 條 件 實 施 鍍 1 1 1 銅 處 理 0 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）_ 48 A7 B7 五、發明説明（巧 (焦磷酸電鍍浴） 焦磷酸銅 焦磷酸鉀 氨水 光澤劑 60 〜8〇g/j? 250 〜400g/i 0 . 5 〜lmj? / 芡 適量 (處理條件） 處理溫度 陰極電流密度 5 0 〜6 0 0C 3 0 〜5 0 A / f t (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 根據上述鍍銅處理，在基板表面形成厚度2 5 4 m的 導電層。再者，電鑛時間爲3 5分鐘。 關於所得之基板，按照上述評估基準，評估偏置孔形 狀，清角，絕緣電阻值，焊錫耐熱性，絕緣電阻值及脫皮 強度。將結果示如表5。 經濟部中央標準局員工消費合作杜印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐〉 -49 -

7 7 A B 五、發明説明（47 ) 表5 實施例 17 18 19 偏置孔形狀 研鉢狀 研鉢狀 研鉢狀 清角 ^TltL m Λγγ m An*. m 絕緣電阻值 >1012 >1012 >1012 焊錫耐熱性 良好 良好 良好 脫皮強度 2. 0 kg/ cm 1.9 kg / cm 1.8 kg/ cm 經濟部中央標準局員工消费合作杜印製 窗施例2 0 在實施例1 7的用以形成層間絕緣層之成份，更做爲 觸媒毒加入2 -锍基苯並瞎唑1 0重量部，使用3支輥軋 機混合搅拌，得到絕緣性組成物。將該絕緣性組成物使用 1 0 0網目/英吋的聚酯製屏網’在事先形成有銅配線圖 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS > Μ規格（210X297公釐） ----------^乂------1T------ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -50 - 經濟部中央樣準局貝工消费合作社印袋 A7 B7 五、發明説明（48 ) 型之厚度1 mm的玻璃-環氧樹脂叠片基板上’使乾燥後 之膜厚會變成2 5 地網版印刷後’把噴砂處理時間做 爲3分鐘之外，以下，和實施例1 7同樣地’在層間絕緣 層的所要處形成偏置孔。然後，將所得之基板和實施例 1 7同樣地，前處理，微蝕刻處理’及直接電解電鍍，而 能在偏置孔部份充填形成厚度2 5 之導電層。在層間 絕緣層表面未發現根據電解電鍍的銅之附著和變色*而得 到極平坦的表面。再者電鍍時間爲2 0分鐘。 窗施例2 1 將實施例1 7的絕緣性組成物，用1 0 0網目/英吋 之聚酯製屏網，在事先形成有銅配線圓型的厚度1 mm之 玻璃-環氧樹脂叠片基板上，使乾燥後的膜厚會成爲2 0 以m地網版印刷後，以1 5 0°C加熱硬化5 0分鐘形成層 間絕緣層。其後，使用噴砂機「SC—202」（前出） ，將粒徑5的碳化矽做爲研削材，以噴砂壓2.5 k g/cm2進行1 〇秒鐘噴砂處理，把層間絕緣層表面 粗面化，在得到的基板做爲具有耐噴砂性被膜，將感光性 乾膜「ORDYL BF — 603」（前出）以70°C熱 壓著•接著，經由能把2 0 圖型/ 2 0 μιη空間的線 幅苒現之罩圖型，使用上述超高壓水銀燈曝光機「 Η T E 1 〇 2 S j (前出），以 300mj/cm2 之曝 光量照射紫外線，用30 °C，0 · 2%碳酸鈉水溶液，以 1 . 2 k g/c m2之噴霧壓噴霧顯影4 0秒鐘》 本&張认適用中關家橾準（CNS ) A4祕（2丨Qx297i^|| ) ' (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

^22680 A7 B7 五、發明説明（49 ) 其後，使用上述噴砂機將粒徑5 的碳化矽做爲研 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 削¥，以噴砂壓2 . 5kg/cm2進行噴砂處理2分鐘 ，接著，根據使用3重量％的氫氧化鈉水溶液以4 5 °C噴 霧2分鐘，把具有耐噴砂性之被膜剝離。 將得到的基板和實施例1 7同樣地前處理，微蝕刻處 理，及直接電解電鍍，在偏置孔部份形成厚度5 Mm的導 電層。在層間絕緣層未發現缺口和剝離，同時在導通部無 根據斷線之導通不良和短路。再者，電鍍時間爲7分鐘。 啻施例22〜24，比較例9〜1 1 經濟部中央標率局貝工消费合作社印製 做爲用以形成層間絕緣層的成份，將上述表1之實施 例1的配方組成做爲實施例2 2使用，把實施例2，3， 比較例1〜3之配方組成分別做爲實施例22，23，比 較例9〜11使用，將各成份使用3支輥軋機混合攪拌， 而得到有熱或光硬化性的電絕緣性組成物。把該絕緣性組 成物使用1 0 0網目/英吋之聚酯製屏網，在事先形成有 銅配線圖型的厚度1 mm之玻璃-環氧樹脂疊片基板上， 使乾燥後的膜厚會成爲5 0 地網版印刷後，關於實施 例22及23 *係以90 °C加熱40分鐘，使之微硬化， 關於實施例2 4係將塗膜以1 0 0°C加熱3 0分鐘，使之 微硬化。 其後，在成微硬化狀態的具有熱或光硬化性之電絕緣 層上，做爲具有耐噴砂性的被膜，使感光性乾膜「 ORDYL BF — 603 T — 3」（東京應化工業（ 本纸張尺度適用中團國家棣準（CNS M4规格（2丨0X297公釐） -52 - 經濟部中央標準局貝工消费合作社印裝 A7 B7 五、發明説明（50 ) 株）製，被膜膜厚3 0#m)以1 0 〇°C熱壓著》接著’ 經由所要的罩圖型’使用上述超高壓水銀燈曝光機「 HTE102S」（前出），以300mJ/cm2之曝 光量照射紫外線’用3 0°C ’ 0 · 2%碳酸鈉水溶液’以 1.2kg/cm2的噴霧壓噴费顯影。 其後，使用噴砂機「SC—202」（前出），以粒 徑25#m的碳化矽做爲研削材，以噴矽壓1.5kg/ cm2進行5分鐘噴砂處理形成偏置孔後，使用3重量％ 氫氧化鈉水溶液’根據以4 5 °C噴霧2分鐘’把具有耐噴 砂性之被膜圖型剝離。在剝離時’未發現在電絕緣層有缺 口和剝落。同時偏置孔之形狀良好。 將具有耐噴砂性的被膜圖型剝離後，經水洗’接著把 微硬化狀態之電絕緣層’在1 5 0°C加熱硬化5 0°C ’做 爲層間絕緣層。把粒徑2 5 ym的碳化矽做爲研削材’使 用上述噴砂機，以噴砂壓2 . 5kg/cm2進行1分鐘 噴砂處理，把層間絕緣層表面粗面化，將得到的基板’做 爲前處理使之在溫度5 0°C，1 0 的氫氧化鈉水溶 液浸漬5分鐘，使之在下述組成的水溶液8 0°C浸演6分 鐘，實施微蝕刻處理。 (水溶液組成） 過錳酸鉀 5 0 g 氫氧化鉀 2 0 g 水 1 0 0 0 g 本紙張尺度逋用中國國家橾準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 -53 - 經濟部中央橾準局員工消费合作社印製 32268〇 at B7五、發明説明（si) 其後，關於實施例2 2及實施例2 3，將各基材根據 下述組成的電鍍液實施無電解電鍍。 (無電解電鍍浴組成） 銅（做爲硫酸銅供給） 2.8g/5 甲醛 3 . 5 g /芡 氫氧化鈉 10〜llg/J2 E D T A 適量 根據上述無電解電鍍處理在基板表面形成厚度2 5 Mm的導電層。再者，電鍍時間爲15小時。 同時，關於實施例2 4，係將基材在鈀膠體水溶液（ 膠體粒徑0 · 05//m，濃度2g/i2)浸漬10分鐘， 在焦磷酸銅浴中根據下述條件實施鍍銅處理。 (焦磷酸電i 焦磷酸銅 焦磷酸鉀 氨水 光澤劑 (處理條件） 處理溫度 浴） 6 0 〜8 0 g / 9. 2 5 0〜 4 0 0 g / 9. 0 • 5〜 1 m 9. / 9. 適 量

5 0 〜6 0 〇C (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -54 - δ2268〇 AT B7 五、發明説明（52 ) 陰極電流密度 3 0 5 0 A / f

經濟部中央揉準局貝工消费合作社印R 根據上述鍍銅處理在基板表面形成厚度2 5 ；am的導 電層。再者，電鍍時間爲3 5分鐘。 關於比較例9〜11，係在厚度lmm的玻璃一環氧 樹脂疊片基板上’使乾燥後之膜厚會成爲5 0 地將絕 緣性組成物網版印刷後’將塗膜在6 0°C預備乾燥9 〇分 鐘，經由罩圖型使用超高壓水銀燈曝光機「 HTE102Sj (前出），以500mJ/cm2的曝 光量照射紫外線。接著，以30 °C，1%碳酸鈉水溶液， 以1 · 2kg/cm2之噴霧壓噴霧顯影40秒鐘後，使 用上述超高壓水銀燈曝光機，照射5 J/cm2的紫外線 ，以1 5 0 °C使之加熱硬化5 0分鐘。 其後，關於比較例9及比較例1 0，係以和實施例 2 2相同的條件實施無電解電鍍處理，關於實施例1 1以 和實施例2 4相同之條件，實施直接電解電鍍處理。 關於所得的基板’按照上述評估基準’評估偏置孔形 狀，清角，絕緣電阻值，焊錫耐熱性，絕緣電阻值及脫皮 強度。將結果示如表6。 本紙張尺度逋用中國國家橾準（CNS > A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁>

-55 - 五、發明説明（53 ) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 脫皮強度 焊錫耐熱性 絕緣電阻值 清角 偏置孔形狀 0Q 1 — 曰 良好 >1012 m tc to 實施例 p=r 〇q1 ·— 、. ο ο Β 1 良好 >1012 m 研鉢狀 tc CO ΡΤ ΟΡ 丨 Η-k \ · Ο <=> 白 良好 >1012 m 研鉢狀 ISD 私 ΡΤ 0Q <=> 、· Ο 私 曰 良好 〈101 1 掛 梯形狀 CO 比較例 0. 4 kg/ cm 1 不良 C1011 埘 梯形狀 1—* PT OQ 1 Ο 、· ο σ> Β 不良 >1012 梯形狀 1— (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

本紙嫩逋用中酿率（CNS)A砸（一如_ 56 _ 3 吻 80 A7 __B7 五、發明説明（54 ) 窗施例2 5 將實施例2 4的電絕緣性組成物，在厚度1 mm之玻 璃-環氧樹脂疊片基板上，使乾燥後的膜厚會成爲5 0 /im地網版印刷後，以7 0°C預備乾燥3 0分鐘，接著以 1 5 0°C熱硬化3 0分鐘做爲層間絕緣層。其後，在該層 間絕緣層上做爲具有耐噴砂性的被膜，把感光性乾膜「 ORDYL B F - 6 0 3 T—3」（前出）以 100 °C熱壓著•接著經由所希望之罩圖型，使用超高壓水銀燈 曝光機「HTE102S」（前出），以300mJ/ cm2的曝光量照射紫外線，以30 °C，0 . 2%碳酸鈉 水溶液，用1 . 2kg/cm2之噴霧壓噴霧顯影40秒 Λ·^ 鍾。 其後，使用噴砂機「SC — 202」（前出），以粒 徑25#m的碳化矽做爲研削材，以噴矽壓1.5kg/ c m2進行噴砂處理，噴砂處理之時間爲4 0分鐘。 實施例2 6 經濟部中央橾準局貝工消费合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 在用以形成實施例2 2的層閭絕緣層之成份，更做爲 觸媒毒加入2 —疏基苯並睡唑1 0重量部，使用3支輥軋 機混合攪拌，得到具有熱或光硬化性的電絕緣性組成物。 將該電絕緣性組成物，使用1 0 0網目/英吋之聚酯製屏 網，在事先形成有銅配線圖型的厚度1 mm之玻璃-環氧 樹脂叠片基板上，使乾燥後的膜厚會成爲2 5 地網版 印刷後，使噴砂處理時間做爲3分鐘以外，以下’和實施 本纸張尺度逋用中國國家橾準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -57 - 經濟部中央標準局貝工消费合作社印裝 Γ S^68q A7 B7 五、發明説明（55 ) 例2 2同樣地，在層間絕緣層之所要處形成偏置孔。接著 ，將所得的基板和實施例2 2 —樣地，進行前處理，微蝕 刻處理，及無電解電鍍，而能夠在偏置孔部份充填形成厚 度2 5 之導電層。在層間絕緣層表面無根據無電解電 鍍的銅之附著和變色，得到極平坦的表面。再者，電鍍時 間爲5小時。 實施例2 7 將實施例2 2的具有光或熱硬化性之電絕緣性組成物 ，使用1 0 0網目/英吋的聚酯製屏網，在事先形成有銅 配線圖型之厚度1 mm的玻璃-環氧樹脂叠片基板上，使 乾燥後之膜厚會成爲2 0 地網版印刷後，以9 0°C加 熱4 0分鐘使之微硬化，然後做爲具有耐噴砂性的被膜， 使感光性乾膜「ORDYL BF — 602 T—3」（ 東京應化工業（株）製，膜厚2 0 #m)，在微硬化狀態 之電絕緣層上以7 0°C熱壓著。接著，經由能再現直徑 3 0 的點之罩圖型，使用超高壓水銀燈曝光機「 HTE102S」（前出），以300mJ/cm2的曝 光量照射紫外線，以30 °C，0 . 2%碳酸鈉水溶液，用 1 . 2kg/cm2之噴霧壓噴霧顯影40秒鐘。 其後，使用噴砂機「SC—202」（前出），以粒 徑5#m的碳化矽做爲研削材，以噴矽壓.1 · 5kg/ c m2進行噴砂處理2分鐘’使用3重量％氫氧化鈉水溶 液，根據以4 5 °C噴霧2分鐘’把具有耐噴砂性被膜剝離 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂- 美！ -58 - 經濟部中央橾率局負工消費合作社印装 A7 _B7 _ 五、發明説明（56) 0 將具有耐噴砂性被膜剝離後，經水洗，接著把微硬化 狀態的電絕緣層，以1 5 0°C加熱硬化5 0分鐘，做爲層 間絕緣層。以粒徑5 之碳化矽做爲研削材，使用上述 噴砂機，以噴砂壓2 · 5kg/cm2進行10秒鐘噴砂 處理，把層間絕緣層表面粗糙化，將得到的基板和實施例 2 4同樣地進行前處理，微蝕刻處理，及直接電解電鍍， 在偏置孔部份形成厚度5 //m之導電層。在層間絕緣層未 發現缺口和剝落，同時在導通部無根據斷線之導通不良和 短路。再者，電鍍時間爲7分鐘》 音施例2 8 做爲形成層間絕緣層的成份，在實施例1之配方成份 更做爲觸媒毒加入2_巯基苯並睡唑1 0重量部，使用3 支輥軋機混合攪拌，而得到絕緣性組成物。將該絕緣性組 成物使用1 0 0網目/英吋的聚酯製屏網，在事先擦光研 磨處理成表面平均粗糙度成5 之，厚度1 mm的玻璃 -環氧樹脂叠片基板上，使乾燥後之膜厚會成爲2 5以m 地網版印刷後，以9 0 °C加熱4 0分鐘，使之微硬化。

其後，在微硬化狀態的具有熱或光硬化性之電絕緣層 上，做爲具有耐噴砂性的被膜，使感光性乾膜「 ORDYL BF-603 T - 3 j (前出）以 100 °C熱壓著。接著，經由100#m線/ 50em空間之罩 圖型，使用前出的超高壓水銀燈曝光機「HTE 1 〇 2 S 本紙張尺度適用中國國家梯準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

-59 - A7 B7 曝光量照射紫外線’用3 0 1 . 2kg/cm2的噴霱 -202」（前出），以粒 材，以噴矽壓1 . 5kg/ 成溝狀部後，使用3重量％ °C噴霧2分鐘，把具有耐噴 型剝離後，經水洗，接著把 0 °C加熱硬化5 0分鐘，做 ，做爲前處理在溫度5 0°C 液浸漬5分鐘，在下述組成 電鍍處理。 (無電解電鍍浴組成） 銅（做爲硫酸銅供給） 甲醛 經濟部中央樣準局貝工消费合作社印製 五、發明説明（57 ) 」，以3 0 〇 m J °C，0 . 2 % 碳酸 壓，噴霧顯影4 0 其後，使用噴 徑2 5 的碳化 cm2進行5分鐘 氫氧化鈉水溶液* 砂性之被膜圖型剝 將具有耐噴砂 微硬化狀態之電絕 爲靥間絕緣層。把 ，1 0 g / 5之氫 的無電解電鍍浴中 / c m 2 之 鈉水溶液以 秒鐘。 砂機「S C 矽做爲研削 噴砂處理形 根據以4 5 離， 性的被膜圖 緣層以1 5 所得的基板 氧化鈉水溶 實施無電解 2 · 8 g / ^ 3 · 5 g / 又 10 〜llg/i 適量 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

氫氧化鈉 E D T A 根據上述無電解銅電鍍處理，在溝狀部形成2 5 的導電層。在層間絕緣層表面未發現根據無電解電鍍的銅 之附著和變色，而得到極平坦的表面。 接著，把在溝狀部形成有導電層的層間絕緣層表面， 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -60 - 經濟部中央揉準局貝工消费合作社印裝 A7 B7 五、發明説明（5’8 ) 以粒徑2 5 之碳化矽做爲研削材’使用上述噴砂機’ 以噴矽壓2 · 5kg/cm2進行1分鐘噴砂處理，把層 間絕緣層表面粗糙化。將實施例1的配方成份’使用3支 輥軋機混合攪拌得到絕緣性組成物’把該絕緣性組成物’ 使用1 0 0網目/英吋之聚酯製屏網’在形成有導電層的 層間絕緣層表面，使乾燥後之膜厚會成爲2 5 地網版 印刷後，以9 0 °C加熱4 0分鐘使之微硬化。 其後，在微硬化狀態的具有熱或光硬化性之電絕緣層 上，做爲具有耐噴砂性的被膜，使感光性乾膜「 ORDYL BF-603 T-3」（前出）以100 °C熱壓著。接著，爲了形成把在互相分開位置之導電層橋 連用的直徑5 0 之偏置孔，經由任意的罩圓型’使用 前出之超高壓水銀燈曝光機「HTE102S」，以 300mJ/cm2的曝光量照射紫外線，以30°C， 0 . 2%碳酸鈉水溶液用1 . 2kg/cm2之噴霧壓， 噴霧顯影4 0秒鐘。 然後，使用噴砂機「SC—202」（前出），將粒 徑25gm的碳化矽做爲研削材，以噴矽壓1·5kg/ cm2進行5分鐘噴砂處理至導電層出現而形成偏置孔後 ，使用3重量％氫氧化鈉水溶液，根據以4 5 °C噴霧2分 鐘，把具有耐噴砂性之被膜圖型剝離。 將具有耐噴砂性的被膜圚型剝離後，經水洗，接著把 上層之層間絕緣層表面將粒徑2 5 的碳化矽做爲研削 材，使用上述噴砂機，以噴砂壓2 . 5kg/cm2進行 ^紙張尺度適用中國國家橾準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ----------水------、訂------4 (請先閱讀背面之注$項再填寫本頁) -61 - 五、發明説明（59 ) 1分鐘噴砂處理，把表面粗糙化。 將所得的基板，做爲前處理浸漬在溫度5 0°C，1 0 g/5之氫氧化鈉水溶液5分鐘，在下述組成的水溶液以 8 0°C，浸漬6分鐘實施微蝕刻處理。 (水溶液組成） 過錳酸鉀 5 0 g 氫氧化鉀 2 0 g 水 1 0 0 0 g 其後，將各基板在焦磷酸銅浴中，根據下述條件實施 電鍍處理。 (焦磷酸電鍍浴） (讀先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 焦磷酸銅 6 0 〜8 0 g / 32 焦磷酸鉀 2 5 0〜 4 0 0 g κ st 氨水 0 • 5〜 1 m 5 / 光澤劑 適量 (處理條件） 處理溫度 5 0， w 6 0 °c 陰極電流密度 3 0 - -5 0 A / f t 2 根據上述鍍銅處理，在偏置孔內及上層的層間絕緣層 本紙張繼用中國國家標準（CNS)娜（膽™ 經濟部中央梂準局貝工消费合作社印製 3226s〇 A7 _B7__ 五、發明説明（60) 上，形成厚度1 5 之導電層•再者，電鍍時間爲2 1 分鐘。 接著，在所得的厚度1 5 之導電層上，把乾膜抗 蝕劑「ORDYL α_400」（東京應化工業（株） 製）以1 〇〇 °c熱壓著。接著，經由能夠把互相在分開位 置的下層之導電層用以橋連的圖型形成之任意的罩圖型（ 偏置孔部之徑70#m，橋連線部50em)，使用前出 的超髙壓水銀燈曝光機「HTE102S」，以300 mJ/cm2之曝光置照射紫外線，以30°C，0 . 2% 碳酸鈉水溶液，用1 . 2kg/cm2的噴霧壓噴霧顯影 4 0秒鐘。 接著，做爲銅蝕刻液使用氯化銅水溶液（氯濃度8 0 〜lOOg/又，比重1.2)，以80 °C進行10分鐘 蝕刻處理，充份地水洗· 在所得的橋連圖型未發現缺口和剝落，和下層導電層 之導通性也良好〃 四.圖面之簡單說明

圖1A，圖1B ，圖1C ，圖1D，圖1E ，圖1F ，爲分別顯示在本發明之一形態的多層配線板之製造方法 的各工程之圖。

圖2A，圖2B ，圖2C，圖2D，圖2E ，圖2F ’圖2G’爲分別顯示在本發明之其他形態的多層配線板 之製造方法的各工程之圖。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） {諳先閲讀背面之注意事項再填寫本莧) 訂 -63 - A7 ____B7_ 五、發明説明（61 ) 圖3A，圖3B ，圈3C，圖3D，圖3E ，圓3F ，圖3 G，爲分別顯示在本發明之更其他形態的多層配線 板之製造方法的各工程之圖。 圖4A，圖4B ，圖4C，圖4D，圖4E ，圖4F ，圖4 G，爲分別顯示在本發明之更其他形態的多層配線 板之製造方法的各工程之圖。 圖5A，圖5B ，圖5C ，圖5D，圖5E ，圖5 F ，爲分別顯示在本發明之更其他形態的多層配線板之製造 方法的各工程之圖* 圖6，爲顯示多層配線板之製造方法的習知例之圖。 圖7，爲顯示多層配線板之製造方法的習知例之圖。 (請先閲讀背面之注$項再填寫本頁) Λ—· 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）

Claims (1)

1. 六、申請專利範圍 1 . 一種多層配線板之製造方法，主要係，在基板的 至少一方之面上，有多數層的配線圖型和層間絕緣層，在 該層間絕緣層之所定地點設有用以將前述配線圖型互相電 性連接之偏置孔而成的多層配線板之製造方法，其特徵爲 ，在設置前述偏置孔時，在層間絕緣層上形成具有耐噴砂 性的被膜圖型，接著根據實施噴砂處理，把層間絕緣層選 擇性地去除而形成偏置孔後，去除具有耐噴砂性的被膜， 然後設置導電層的多層配線板之製造方法。 2 .如申請專利範圍第1項所述的多層配線板之製造 方法，其中，，前述層間絕緣層，係把具有熱或光硬化性 的電絕緣層微硬化後，根據噴砂處理選擇性地去除，而加 熱硬化者。 3 .如申請專利範圔第1項所述的多層配線板之製造 方法，其中*更包含將層間絕緣層粗面化之工程。 4. 如申請專利範圔第3項所述的多層配線板之製造 方法，其中，將具有耐噴砂性的被膜去除後，把層間絕緣 層表面粗面化，然後設置導電層" 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 5. 如申請專利範圍第3項所述的多層配線板之製造 方法，其中，把層間絕緣層表面粗面化後，在該層上將具 有耐噴砂性之被膜形成圖型。 6 .如申請專利範圍第3項所述的多層配線板之製造 力法’其中，將層間絕緣層的粗面化在表面平均粗糙度（ Ra) = 〇 . 1〜ι〇μπ1之範圍進行。 7 .如申請專利範圍第1項所述的多層配線板之製造 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4現格（210X297公釐） -65 - C8 D8 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 六、 申請專利範圍 1 1 方 法 » 其 中 根 據無 電 解 電 鍍處 理 設 置 導 電 層 〇 1 1 8 • 如 串 請 專 利 範 圍 第 1 項 所 述 的 多 層 配 線 板 之 製 造 1 1 方 法 » 其 中 根 據 直 接 電 解 電 鍍 處 理 設 置 導 電 層 者 〇 請 先 閲 1 1 9 • 如 串 請 專 利 範 圍 第 1 項 所 述 的 多 層 配 線 板 之 製 造 1 I 方 法 其 中 9 前 述 具 有 耐 噴 砂 性 的 被 膜 爲 感 光 性樹 脂 者 〇 讀 背 面 1 1 I 1 0 • 如 串 請 專 利 範 圔 第 9 項 所 述 的 多 層 配 線 板 之 製 之 注 意 1 1 I 造 方 法 » 其 中 9 前 述 具 有 耐 噴 砂 性 被 膜 爲 含 有 尿 院 ( 間 事 項 1 I ) 丙 酸 鹽 齊 聚 物 水 溶 性 纖 維 素 樹 脂 » 光 聚 合 引 發 劑 > 再 填 寫 本 叫 装 I 及 間 丙 烯 酸 鹽 單 體 之 感 光 性樹脂 者 〇 頁 1 1 1 1 • 如 串 請 專 利 範 圍 第 1 項 所述 的 多 層 配 線 板 之 製 1 | 造 方 法 其 中 在 層 間 絕 緣 層 中 含 有 含 硫 黃 有 機 化 合 物 而 1 I 成 者 〇 1 訂 1 1 2 如 串 請 專 利 範 圍 第 1 項 所 述 的 多 層 配 線 板 之 製 1 1 造 方 法 其 中 前 述 層 間 絕 緣 層 爲 從 環 氧 樹 脂 酚 樹 脂 1 1 « 線 型 酚 醛 清 漆 樹 脂 聚 醯 胺 樹 脂 及 聚 亞 醯 胺 樹 脂 中 選 1 1 擇 之 至 少 1 種 者 〇 I 1 3 — 種 多 層 配 線 板 其 特 徴 爲 如 串 請 專 利 範 圍 1 I 第 1 項 所 述 的 多 層 配 線 板 之 製 造 方 法 製 造 而 成 〇 1 1 I 1 4 如 串 請 專 利 範 圍 第 2 項 所 述 的 多 層 配 線 板 之 製 1 1 造 方 法 其 中 將 具 有 熱 或 光 硬 化 性 的 電 絕 緣 層 以 7 0 °C 1 1 以 上 1 1 0 °c 以 下 之 溫 度 微 硬 化 β 1 1 1 5 如 串 請 專 利 範 圍 第 2 項 所 述 的 多 層 配 線 板 之 製 1 I 造 方 法 其 中 9 將 已 微 硬 化 的 電 絕 緣 層 根 據 光 照 射 式 以 超 1 I 過 1 1 0 °c 2 0 0 °c 以 下 之 溫 度 加 熱 硬 化 而 做 爲 層 間 絕 1 1 1 用 適 度 尺 張 紙 本 準 標 家 國 國 釐 公 7 9 2 322680 A8 B8 C8 D8 經濟部中央標隼局月工消费合作社印装 申請專利範圍 1 緣 層 0 1 1 1 6 種 多 層 配 線 板 之製 造 方 法 9 主 要 係 » 在 基 板 1 1 的 至 少 1~~· 方 之 面 上 ♦ 具 有 多 數 層 的 配 線 圖 型 和 層 間 絕 緣 層 1 I 在 該 請 1 I 層 間 絕 緣 層 之 所 定 地 點 設 置 用 以 將 刖 述 配 線 圖 型 互 先 聞 1 | 相 電 性 連 接 的 溝 狀 導 通 部 而 成 的 多 層 配 線 板 之 製 造 方 法 9 讀 背 ώ 1 I 其 特 徵 爲 在 設 置 刖 述 溝 狀 導 通 部 時 先 在 層 間 絕 緣 層 上 之 注 意 1 1 | 形 成 具 有 耐 噴 砂 性 的 被 膜 圖 型 接 著 根據 實 施 噴 砂 處 理 事 項 1 | 把 層 間 絕 緣 層 選 擇 性 地 去 除 而 將 溝 狀 導 通 部 形 成 斷面 視 研 再 % 寫 本 ^1 装 鉢狀後 » 把 具 有 耐 噴 砂 性 之 被 膜 去 除 » 然 後 設 置 導 電 層 〇 頁 >w^ 1 1 1 7 • 如 串 請 專 利 範 圍 第 1 6 項 所 述 的 多 層 配 線 板 之 1 1 製 造 方 法 9 其 中 前 述 層 間 絕 緣 層 係 將 具 有 熱或 光 硬 化 1 I 性 的 電 絕 緣 層 微 硬 化 後 根 據 噴 砂 處 理 選 擇 性 地 去 除 而 加 訂 I 熱 硬 化 者 0 1 1 I 1 8 • 如 串 請 專 利 範 圔 第 1 6 項 所 述 的 多 層 配 線 板 之 1 1 I 製 造 方 法 9 其 中 更 包 含 將 層 間 絕 緣 層 表 面 粗 面 化 之 工 程 1 1 ，良 1 9 • 如 串 請 專 利 範 圍 第 1 8 項 所 述 的 多 層 配 線 板 之 1 1 1 製 造 方 法 其 中 > 將 具 有 耐 噴 砂 性 的 被 膜 去 除 後 把 層 間 1 I 絕 緣 層 表 面 粗 糙 化 然 後 設 置 導 電 層 〇 1 I 2 0 • 如 串 請 專 利 範 圍 第 1 8 項 所 述 的 多 層 配 線 板 之 1 1 I 製 造 方 法 » 其 中 9 把 層 間 絕 緣 層 表 面粗 面化 後 * 在 該 層 上 1 1 形 成 具 有 耐 噴 砂 性 的 被 膜 圖 型 0 1 1 2 1 暑 如 中 請 專 利 範 圔 第 1 8 項 所 述 的 多 層 配 線 板 之 1 1 製 造 方 法 » 其 中 > 將 層 間 絕 緣 層 的 粗 面 化 在 表 面 平 均 粗 糙 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -67 - S22680 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 度（Ra) =〇 . 1〜i〇#m之範圍進行。 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 2 2 .如申請專利範圍第1 6項所述的多層配線板之 製造方法，其中，將導電層根據無電解電銨處理設置。 2 3 ·如申請專利範圔第1 6項所述的多層配線板之 製造方法，其中，將導電層根據直接電解電鍍處理設置。 2 4 .如申請專利範圍第1 6項所述的多層配線板之 製造方法，其中，具有耐噴砂性的被膜爲感光性樹脂者。 2 5 .如申請專利範圍第2 4項所述的多層配線板之 製造方法，其中，具有耐噴砂性的被膜，爲含有尿烷（間 )丙烯酸鹽齊聚物，水溶性纖維素樹脂，光聚合引發劑， 及（間）丙烯酸鹽單體之感光性樹脂者。 2 6 .如申請專利範圍第1 6項所述的多層配線板之 製造方法，其中，在層間絕緣層中含有含硫黃有機化合物 而成者。 經濟部中央標準局負工消費合作社印製 2 7 .如申請專利範圍第1 6項所述的多層配線板之 製造方法，其中，前述層間絕緣層，係從環氧樹脂，聚酚 樹脂，酚醛清漆樹脂，聚醯胺樹脂，及聚亞醯胺樹脂之中 所選的至少1種者。 2 8 .—種多層配線板，其特徵爲，如申請專利範圍 第1 6項所述的製造方法製造之多層配線板。 2 9 .如申請專利範圍第1 7項所述的多層配線板之 製造方法，其中，將具有熱或光硬化性的電絕緣層以7 0 °C以上1 1 0 °C以下之溫度微硬化。 3 〇 .如申請專利範圍第1 7項所述的多層配線板之 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐) -68 - A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 製造方法，其中，根據將已微硬化的電絕緣層以光照射或 超過1 1 0°C〜2 0 0 °C以下之溫度加熱硬化而做爲層間 絕緣層。 --------裝------訂------、泉 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -69 -