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HINTERGRUND DER ERFINDUNG:
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Gebiet der Erfindung:
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Die
vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung mehrschichtiger
Verschaltungstafeln. Genauer betrifft die Erfindung ein Verfahren
zur Herstellung mehrschichtiger Verschaltungstafeln vom "Aufbau"-Typ mit Durchgangslöchern oder
grabenartigen Kanälen,
die durch Entfernen von dielektrischen Zwischenniveauschichten in
ausgewählten
Bereichen hergestellt werden, wodurch elektrische Verbindungen zwischen
mehr als einem Niveau von Leitermustern bereitgestellt werden.
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Beschreibung des Standes
der Technik:
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Mit
den Fortschritten der elektronischen Technologie in der letzten
Zeit wurden Anstrengungen zur Erhöhung des Integrationsgrades
in elektronischen Vorrichtungen, wie beispielsweise Computern, und
zur Erzielung schnellerer Berechnungsoperationen unternommen. Mehrschichtige
Verschaltungstafeln sind hier keine Ausnahme, und es werden solche
verlangt, die eine hochdichte Verdrahtung oder Bepackung erlauben;
es ist bekannt, dass dieses Erfordernis durch mehrschichtige Verschaltungstafeln
vom Aufbautyp mit Durchgangslöchern
oder grabenartigen Kanälen
zur Erzeugung einer elektrischen Verbindung zwischen einem ersten
und einem zweiten Niveau von Leitermustern erfüllt werden kann.
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Zwei
typische Beispiele für
eine mehrschichtige Verschaltungstafel der früheren Technologie, die nach dem
Aufbauverfahren hergestellt wurden, sind in den 2 und 3 gezeigt.
Ein Substrat (21) wird mit einem ersten Niveau eines Leitermusters
(22) belegt, das wiederum mit einer fotoempfindlichen Harzschicht
(dielektrische Zwischenniveauschicht) (23) ausgestattet
wird, die durch Rastern oder anders geartete Bemusterung einer elektrisch
isolierenden Keramikpastenzusammensetzung erzeugt wird; die dielektrische
Zwischenniveauschicht (23) wird durch Fotolithografie belichtet,
entwickelt und unter Bildung von Durchgangslöchern (25) selektiv
geätzt;
anschliessend wird eine Elektro- oder Nichtelektroplattierung durchgeführt, wodurch
eine leitfähige
Schicht (26) innerhalb jedes Durchgangslochs (25)
oder als eine koextensive Masse, die jedes Durchgangsloch (25)
und die dielektrische Zwischenniveauschicht (23) ausfüllt, bereitgestellt
wird; und anschliessend wird ein nicht gezeigtes zweites Leitermusterniveau
so hergestellt, dass es mit dem darunterliegenden ersten Leitermusterniveau
(22) elektrisch verbunden ist.
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Die
nach diesem Verfahren gemäss
der früheren
Technologie hergestellten mehrschichtigen Verschaltungstafeln weisen
mehrere Probleme auf. Erstens sind hochauflösende Tafeln mit ausreichend
geringen Elementgrössen
nicht erzielbar, wenn die dielektrische Zwischenniveauschicht aus
keramischen Materialien hergestellt ist. Wenn die lichtempfindliche
Harzschicht verwendet wird, werden zweitens Durchgangslöcher gebildet,
die entweder einen rechtwinkligen Querschnitt mit vertikalen Seitenwänden besitzen
(siehe 2) oder es besteht die Neigung zur Seitenätzung durch
den in der Fotolithografie verwendeten flüssigen Entwickler (siehe 3).
In jedem Fall ist die Tiefenwirkung der zur Bereitstellung der leitfähigen Schicht
(26) innerhalb der Durchgangslöcher (25) oder über der
dielektrischen Zwischenniveauschicht (23) angewandten Elektro- oder
Nichtelektroplattierungstechnik nicht zufriedenstellend (es wird
keine gleichförmige
Plattierung abgeschieden) wie in den 2 und 3 gezeigt
(siehe den eingekreisten Bereich A) und es tritt gelegentlich Leitungsversagen
auf. Dieses Problem könnte
dadurch gelöst
werden, dass die Menge der elektrodenlosen Plattierungsabscheidung
ausreichend erhöht
wird, so dass Kurzschlüsse
vermieden werden, jedoch wird andererseits das Gewicht des Substrats
unvermeidlich erhöht,
was es schwierig macht, hochdichte, hochauflösende, mehrschichtige Verschaltungstafeln
herzustellen.
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Im
Hinblick auf die Erzeugung einer mehrschichtigen Verschaltungstafel
hoher Zuverlässigkeit
unter Verwendung einer geringeren Menge an elektrodenloser Plattierungsabscheidung
wurde vorgeschlagen, dass in einem Oxidationsmittel lösliche Harzteilchen
in einer fotoempfindlichen Schicht enthalten sind, die in dem Oxidationsmittel
geringfügig
löslich
ist, wodurch die Harzteilchen durch die Einwirkung des Oxidationsmittels aufgelöst werden,
wodurch die dielektrische Zwischenniveauschicht unter Bereitstellung
einer besseren Anhaftung an eine leitfähige Schicht aufgerauht wird.
Diese Technologie findet sich in JP-OS (Kokai) 215623/1994. In diesem
Patent werden starke Säuren,
wie beispielsweise Chromsäure,
als Oxidationsmittel zur Aufrauhung der Oberfläche der dielektrischen Zwischenniveauschicht
verwendet, dieses ist jedoch im Hinblick auf die nachteiligen Auswirkungen,
die auf das Betriebspersonal und das Substrat hervorgerufen werden, nicht
bevorzugt.
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In
jüngerer
Zeit werden unter Berücksichtigung
von Umweltaspekten fotoempfindliche Harze benötigt, die die Verwendung von
verdünnten
wässrigen
Alkalilösungen
als flüssigen
Entwickler erlauben, und in JP-OS (Kokai) 196856/1994 wurde ein
fotoempfindliches Harz vorgeschlagen, das durch Einführen von
Carboxylgruppen mit einer verdünnten
wässrigen
Alkalilösung
entwickelbar gemacht wurde. Das so modifizierte, lichtempfindliche
Harz neigt jedoch dazu, eine abnehmende Isolierbeständigkeit
und Wärmebeständigkeit
mit gelegentlichen Kurzschlüssen
zu erleiden. Daher war es schwierig, mehrschichtige Verschaltungstafeln
hoher Zuverlässigkeit
nach dem vorgeschlagenen Verfahren zu realisieren. Wenn darüber hinaus
eine dielektrische Zwischenniveauschicht aus diesem modifizierten
lichtempfindlichen Harz hergestellt ist, kann sie einer Erwärmung auf
Temperaturen von mehr als etwa 140°C nicht widerstehen, und es
ist ferner schwierig, eine hohe Ablösefestigkeit zu realisieren.
Wenn die dielektrische Zwischenniveauschicht aus diesem lichtempfindlichen Harz
daher in modernen Versionen hochdichter Verschaltungstafeln verwendet
wird, treten häufig
Probleme, wie beispielsweise Abblätterungen und Absplitterungen
aufgrund von Beschädigungen
der dielektrischen Zwischenniveauschicht, auf.
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Ein
anderer vorgeschlagener Ansatz ist die Herstellung einer dielektrischen
Zwischenniveauschicht aus einem wärmehärtbaren wärmebeständigen Epoxyharz, das mit einem
organischen Füllstoff
vermischt ist, worin dann Durchgangslöcher mittels eines Hochleistungslasers,
wie beispielsweise einem CO2-Gas-Laser oder
einem Excimerlaser, gebildet werden. Zusätzlich zu den hohen Ausrüstungskosten
haben die hergestellten Durchgangslöcher jedoch einen rechtwinkligen
Querschnitt, und ein Leitungsversagen kann gelegentlich selbst dann
auftreten, wenn eine Leiterschicht innerhalb eines jeden Durchgangslochs
bereitgestellt wird. Als weiteres Problem sind die Seitenwände der
Durchgangslöcher
so glatt, das die erforderliche Anhaftung an die aufgebrachte leitfähige Schicht
nicht erzielt wird.
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EP-A-0
458 293 offenbart ein Verfahren zur Herstellung einer mehrschichtigen
Verschaltungstafel, die ein isolierendes Substrat mit einer ersten
und zweiten Leiterschicht, die auf den Hauptoberflächen des
Substrats hergestellt sind, ein Blindloch, das durch die erste Leiterschicht
und das isolierende Substrat ausgebildet ist, wodurch die zweite
Leiterschicht auf der Unterseite des Blindlochs freigelegt wird,
und einen Verbindungsleiter, der zur Abdeckung der freigelegten
Oberfläche
des zweiten Leiterschichtwandanteils des Blindlochs und der Leiterschicht
bereitgestellt ist, umfasst. In dem Verfahren zur Herstellung dieser
Struktur wird eine Leiterschicht auf einer Oberfläche des
Substrats hergestellt, und eine gegenüber dem nachfolgenden Ätzvorgang resistente
bemusterte Maske wird auf der anderen Seite des Substrats bereitgestellt,
und dann wird das isolierende Substrat durch Aufstrahlen eines feinen
Schleifpulvers bis zur Freilegung der ersten Leiterschicht am Boden
des erzeugten Lochbereichs entfernt. Anschliessend wird eine zweite
Leiterschicht zur Bedeckung der Seitenwandoberfläche des Lochbereichs und der
am Boden des Lochbereichs freigelegten ersten Leiterschicht hergestellt.
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JP-A-55-103554
betrifft eine fotoempfindliche Harzzusammensetzung für ein Sandstrahlresist,
die zur Durchführung
eines selektiven Sandstrahlverfahrens an ein Substrat angehaftet
werden kann, und die nach dem Sandstrahlen leicht abblättert. Die
betreffende fotoempfindliche Harzzusammensetzung wird erhalten durch
Vermischen einer bestimmten wasserlöslichen Verbindung, einer ethylenisch
ungesättigten
Verbindung und eines Fotopolymerisationsinitiators.
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ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG:
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Das
erfindungsgemässe
Ziel ist die Bereitstellung einer mehrschichtigen Verschaltungstafel
zu geringen Kosten, die eine gute Anhaftung zwischen einer dielektrischen
Zwischenniveauschicht und einer leitfähigen Schicht zeigt, die eine
hohe Wärmebeständigkeit
besitzt, die keine Umweltgefährdung
darstellt und die dennoch eine hohe Zuverlässigkeit besitzt. Folglich
wird erfindungsgemäss
ein Verfahren zur Herstellung einer mehrschichtigen Verschaltungstafel
mit einer Vielzahl von Leitermustern (2) und einer dielektrischen
Schicht (3) auf mindestens einer Oberfläche eines Substrats (1)
mit Durchgangslöchern
(5) und/oder grabenartigen Kanälen (8), die an spezifizierten
Stellen der dielektrischen Zwischenschicht (3) zur Herstellung
einer elektrischen Verbindung zwischen den Leitermustern (2)
bereitgestellt sind, bereitgestellt, das die folgenden aufeinanderfolgenden
Schritte umfasst:
- (i) Herstellen einer dielektrischen
Zwischenschicht (3a) durch leichtes Anhärten einer warmhärtbaren
oder fotohärtbaren,
elektrisch isolierenden Beschichtungsschicht;
- (ii) Herstellen einer Beschichtung (4), die gegenüber Sandstrahlbehandlung
beständig
ist, in einem Muster über der
leicht angehärteten
dielektrischen Zwischenschicht (3a);
- (iii) Entfernen der leicht angehärteten Isolierschicht (3a)
in ausgewählten
Bereichen durch Sandstrahlen unter Erzeugung der Durchgangslöcher (5)
und/oder grabenartigen Kanäle
(8);
- (iv) Entfernen der Beschichtung (4), die gegenüber Sandstrahlbehandlung
beständig
ist;
- (v) Aushärten
der zurückbleibenden
Isolierschicht (3a) unter Erzeugung der dielektrischen
Zwischenschicht (3); und
- (vi) Bereitstellen einer leitfähigen Schicht (7)
auf der in Schritt (5) erhaltenen Struktur,
in
dieser Reihenfolge, und worin "leichtes
Härten" in Schritt (i) bedeutet,
dass die warmhärtbare
oder fotohärtbare,
elektrisch isolierende Beschichtungsschicht mit Licht in geringer
Energiedosis bestrahlt oder auf eine Temperatur unterhalb der üblichen
Aushärtungstemperatur
erwärmt
wird, so dass - • die Durchgangslöcher und/oder
grabenartigen Kanäle,
die in Schritt (iii) erzeugt werden, keine morphologischen Defekte
erleiden,
- • die
leicht gehärtete
Isolierschicht (3a) in Schritt (iv) nicht abgelöst wird,
und
- • die
Durchgangslöcher
und/oder grabenartigen Kanäle
nicht mit sich verformender Masse der zurückbleibenden Isolierschicht
(3a) in Schritt (v) aufgefüllt werden.
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KURZE BESCHREIBUNG DER
ZEICHNUNGEN:
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1A–1G zeigen
die jeweiligen Schritte, die in die Herstellung einer mehrschichtigen
Verschaltungstafel gemäss
einer erfindungsgemässen
Ausführungsform
eingeschlossen sind;
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2 zeigt
ein Beispiel einer mehrschichtigen Verschaltungstafel, die nach
einem Verfahren aus dem Stand der Technik hergestellt wurde; und
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3 zeigt
ein weiteres Beispiel einer mehrschichtigen Verschaltungstafel,
die nach einem Verfahren aus dem Stand der Technik hergestellt wurde.
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DETAILLIERTE BESCHREIBUNG
DER ERFINDUNG:
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Bevorzugte
Ausführungsformen
des erfindungsgemässen
Verfahrens zur Herstellung mehrschichtiger Verschaltungstafeln werden
nachfolgend unter Bezugnahme auf die angefügten Zeichnungen beschrieben.
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Die 1A bis 1G zeigen
eine Ausführungsform
des Verfahrens. Wie in 1A gezeigt, wird zunächst ein
Substrat (1) bereitgestellt und ein Leitermuster (2)
in einer Dicke von etwa 1 bis 200 μm auf dem Substrat ausgebildet,
gefolgt von der Bereitstellung einer darüberliegenden warm- oder fotohärtbaren,
elektrisch isolierenden Schicht (3a).
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Das
Substrat (1) kann ein isolierendes Substrat sein, das aus
verschiedenen Typen ausgewählt
ist, die, ohne darauf beschränkt
zu sein, Glas-Epoxyharz-Laminate, Glastextil-Bismaleimidtriazinharz-Laminate, Glastextil-Polyimidharz-Laminate, Papier-Phenolharz-Laminate,
Papier-Kresolharz-Laminate,
Papier-Phenolnovolakexpoxyharz-Laminate und Papier-Kresolnovolakepoxyharz-Laminate
einschliessen. Bei Bedarf kann die Oberfläche des Substrats (1)
aufgerauht sein.
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Das
Leitermuster (2) wird typischerweise aus einem leitfähigen Material,
wie beispielsweise Cu, Al, Ag, Au oder Ni, hergestellt und kann
durch beliebige bekannte Mittel bereitgestellt werden. Erfindungsgemäss sind Cu
und Al bevorzugt, da sie einen bestimmten Elastizitätsgrad besitzen,
kostengünstig
sind und durch Sandstrahlen nicht leicht abgetragen werden.
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Die
warm- oder fotohärtbare,
elektrisch isolierende Schicht (3a) wird auf dem Substrat
(1) durch folgende Vorgehensweise bereitgestellt: Die Bestandteile
des Ausgangsmaterials werden aufgelöst, dispergiert und sorgfältig mit
einer geeigneten Vorrichtung, wie beispielsweise einer Drei-Walzen-Mühle, einer
Kugelmühle
oder einer Sandmühle,
vermischt, und die Mischung wird mit geeigneten Mitteln, wie beispielsweise
Durchsieben, Stabbeschichten, Walzenbeschichten, Umkehrbeschichten,
Vorhangfliessbeschichten oder Sprühbeschichten, in einer Trockenschichtdicke
von etwa 10–100 μm auf das
Substrat aufgebracht. Die aufgebrachte Isolierschicht (3a)
wird durch Trocknen in einem Warmluftheizgerät oder einem IR-Heizgerät leicht
gehärtet (1B).
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Die
Isolierschicht (3a) wird üblicherweise aus einer Zusammensetzung
hergestellt, die ein Binderharz, einen Thermo- oder Fotopolymerisationsinitiator
oder ein Vernetzungsmittel und ein thermo- oder fotopolymerisierbares
Monomer enthält.
Das Monomer kann weggelassen werden, wenn das Binderharz Gruppen
enthält,
die mit Licht oder Wärme
polymerisiert oder vernetzt werden können.
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Das
Material zur Herstellung der Isolierschicht (3a) ist typischerweise
eine Zusammensetzung, die ein Binderharz, einem Thermo- oder Fotopolymerisationsinitiator
oder ein Vernetzungsmittel, und ein thermo- oder fotopolymerisierbares
Monomer enthält.
Das Monomer kann weggelassen werden, wenn das Binderharz Gruppen
enthält,
die mit Licht oder Wärme
polymerisiert oder vernetzt werden können.
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Beispiele
für das
Binderharz schliessen folgendes ein: Copolymere aus Monomeren, ausgewählt aus Methylacrylat,
Methylmethacrylat, Ethylacrylat, Ethylmethacrylat, n-Butylacrylat,
n-Butylmethacrylat, Isobutylacrylat, Isobutylmethacrylat, 2-Ethylhexylacrylat,
2-Ethylhexylmethacrylat, Benzylacrylat, Benzylmethacrylat, 2-Hydroxyethylacrylat,
2-Hydroxyethylmethacrylat, 2-Hydroxypropylacrylat, 2-Hydroxypropylmethacrylat, Ethylenglykolmonomethyletheracrylat,
Ethylenglykolmonomethylethermethacrylat, Ethylenglykolmonoethyletheracrylat,
Ethylenglykolmonoethylethermethacrylat, Glycerinmonoacrylat, Glycerinmonomethacrylat,
Acrylsäuredimethylaminoethylester,
Methacrylsäuredimethylaminoethylester,
Tetrahydrofurfurylacrylat, Tetrahydrofurfurylmethacrylat, Acrylsäureamid,
Methacrylsäureamid,
Acrylnitril, Methacrylnitril usw.; Epoxyharz vom Bisphenol A-Typ,
Epoxyharz vom Bisphenol F-Typ, Epoxyharz vom Bisphenol S-Typ, Epoxyharz vom
Phenolnovolaktyp, Epoxyharz vom Kresolnovolaktyp, epoxydierte Harze,
die durch Kondensation von Phenolen mit aromatischen Aldehyden mit
einer phenolischen Hydroxygruppe hergestellt werden, Harnstoffharze,
Melaminharze, Triazinharze, wie beispielsweise Tris-(2,3-diepoxypropyl)isocyanurat,
Cyclotenharze von Dow Chemical Corporation, Polyphenolharze, Polynovolakharze,
Polyamidharze, Polyimidharze usw. Unter diesen werden vorteilhafterweise
Epoxyharze, Polyphenolharze, Polynovolakharze, Polyamidharze und
Polyimidharze verwendet, da sie selbst bei hohen Temperatur von
etwa 150–200°C nicht verschlechtert
oder zersetzt werden, eine Zugfestigkeit von mehr als 1 kg, in Einheiten
der Ablösefestigkeit,
aufweisen, und eine hervorragende Beständigkeit gegenüber Wärme und
Chemikalien besitzen.
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Die
oben genannten Monomere können
mit anderen Monomeren mit einer Carboxylgruppe copolymerisiert werden,
wie beispielsweise Acrylsäure,
Methacrylsäure,
Crotonsäure,
Isocrotonsäure,
Angelicasäure, Tiglinsäure, 2-Ethylacrylat,
3-Propylacrylat, 3-Isopropylacrylat, Bernsteinsäuremonohydroxyethylacrylat, Phthalsäuremonohydroxyethylacrylat,
Dihydrophthalsäuremonohydroxyethylacrylat,
Tetrahydrophthalsäuremonohydroxyethylacrylat,
Hexahydrophthalsäuremonohydroxyethylacrylat,
Acrylsäuredimer
und Acrylsäuretrimer;
es ist jedoch festzuhalten, dass die Copolymerisation mit diesen
Monomeren gelegentlich Harze mit geringerer Wärmebeständigkeit, chemischer Beständigkeit
und Isolierbeständigkeit
liefert.
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Beispiele
für den
Thermo- oder Fotopolymerisationsinitiator schliessen folgendes ein:
1-Hydroxycyclohexylphenylketon, 2,2-Dimethoxy-1,2-diphenylethan-1-on,
2-Methyl-1-[4-(methylthio)phenyl]-2-morpholinopropan-1-on, 2-Benzyl-2-dimethylamino-1-(4-morpholinophenyl)-butan-1-on,
2-Hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-on,
2,4,6-Trimethylbenzoyldiphenylphosphinoxid, 1-[4-(2-Hydroxyethoxy)-phenyl]-2-hydroxy-2-methyl-1-propan-1-on,
2,4-Diethylthioxanthon, 2-Chlorthioxanthon, 2,4-Dimethylthioxanthon,
3,3-Dimethyl-4-methoxybenzophenon,
Benzophenon, 1-Chlor-4-propoxythioxanthon,
1-(4-Isopropylphenyl)-2-hydroxy-2-methylpropan-1-on, 1-(4-Dodecylphenyl)-2-hydroxy-2-methylpropan-1-on,
4-Benzoyl-4'-methyldimethylsulfid,
4-Dimethylaminobenzoesäure,
Methyl-4-dimethylaminobenzoat, Ethyl-4-dimethylaminobenzoat, Butyl-4-dimethylaminobenzoat,
2-Ethylhexyl-4-dimethylaminobenzoat, 2-Isoamyl-4-dimethylaminobenzoat, 2,2-Diethoxyacetophenon,
Benzyldimethylketal, Benzyl-β-methoxyethylacetal,
1-Phenyl-1,2-propandion-2-(o-ethoxycarbonyl)oxim, Methyl-o-benzoylbenzoat,
Bis(4-dimethylaminophenyl)keton, 4,4'-Bisdiethylaminobenzophenon, 4,4'-Dichlorbenzophenon,
Benzyl, Benzoin, Benzoinmethylether, Benzoinethylether, Benzoinisopropylether, Benzoin-n-butylether,
Benzoinisobutylether, Benzoinbutylether, p-Dimethylaminoacetophenon,
p-tert-Butyltrichloracetophenon, p-tert-Butyldichloracetophenon,
Thioxanthon, 2-Methylthioxanthon, 2-Isopropylthioxanthon, Dibenzosuberon, α,α-Dichlor-4-phenoxyacetophenon
und Pentyl-4-dimethylaminobenzoat. Diese Thermo- oder Fotopolymerisationsinitiatoren
können
in Mengen von 0,1–40
Gew.-Teilen in 100 Gew.-Teilen des Binderharzes enthalten sein.
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Beispiele
für das
Vernetzungsmittel schliessen folgendes ein: Dicyandiamid; Imidazolverbindungen, wie
beispielsweise 2-Ethyl-4-methylimidazol, 1-Cyanoethyl-2-ethyl-4-methylimidazol,
2,4-Diamino-6-[2'-methylimidazol-(1)]-ethyl-s-triazin,
2,4-Diamino-6-[2'-ethyl-4-methylimidazolyl-(1)]-ethyl-s-triazin-Isocyanursäure-Addukt, 2-Methylimidazol,
1-Phenyl-2-methylimidazol und 2-Phenyl-4-methyl-5-hydroxymethylimidazol;
Triazinverbindungen, wie beispielsweise 2,4-Diamino-6-vinyl-s-triazin-Isocyanursäure-Addukt,
2-Vinyl-4,6-diamino-s-triazin,
2-Methoxyethyl-4,6-diamin-s-triazin und 2-o-Cyanophenyl-4,6-diamino-s-triazin;
Harnstoffverbindungen, wie beispielsweise 3-(3,4-Dichlorphenyl)-1,1'-dimethylharnstoff,
1,1'-Isophoron-bis(3-methyl-3-hydroxyethylharnstoff)
und 1,1'-Tolylen-bis(3,3-dimethylharnstoff);
aromatische Aminoverbindungen, wie beispielsweise 4,4'-Diamino-diphenylmethan; und
fotokationische Polymerisationskatalysatoren, wie beispielsweise Triphenylsulfoniumhexafluorphosphat,
Triphenylsulfoniumhexafluorantimonat, Triphenylseleniumhexafluorphosphat,
Triphenylseleniumhexafluorantimonat, Diphenyliodoniumhexafluorantimonat,
Diphenyliodoniumhexafluorphosphat und 2,4-Cyclopentadien-1-yl-[(1-methylethyl)-benzol]-Fe-hexafluorphosphat
(z.B. "Irgacure-261" von Ciba-Geigy).
Unter diesen sind Dicyandiamid, 2,4-Diamino-6-[2'-methylimidazoyl-(1)]-ethyl-s-triazin,
2-Ethyl-4-methylimidazol, 1,1'-Isophoron-bis(3-methyl-3-hydroxyethylharnstoff),
1,1'-Tolylen-bis(3,3-dimethylharnstoff),
3-(3,4-Dichlorphenyl)-1,1'-dimethylharnstoff
und kommerziell erhältliche
fotokationische Polymerisationskatalysatoren (z.B. "SP-150" und "SP-170", beide erhältlich von
Asahi Denka Kogyo K. K.) bevorzugt.
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Beispiele
für das
thermo- oder fotopolymerisierbare Monomer schliessen folgendes ein:
monofunktionelle Monomere, wie beispielsweise 2-Hydroxyethylacrylat,
2-Hydroxyethylmethacrylat, Ethylenglykolmonomethyletheracrylat,
Ethylenglykolmonomethylethermethacrylat, Ethylenglykolmonoethyletheracrylat,
Ethylenglykolmonoethylethermethacrylat, Glycerinacrylat, Glycerinmethacrylat,
Acrylsäureamid,
Methacrylsäureamid, Acrylnitril,
Methacrylnitril, Methylacrylat, Methylmethacrylat, Ethylacrylat,
Ethylmethacrylat, Isobutylacrylat, Isobutylmethacrylat, 2-Ethylhexylacrylat,
2-Ethylhexylmethacrylat, Benzylacrylat und Benzylmethacrylat; und polyfunktionelle
Monomere, wie beispielsweise Ethylenglykoldiacrylat, Ethylenglykoldimethacrylat,
Triethylenglykoldiacrylat, Triethylenglykoldimethacrylat, Tetraethylenglykoldiacrylat,
Tetraethylenglykoldimethacrylat, Butylenglykoldimethacrylat, Propylenglykoldiacrylat,
Propylenglykoldimethacrylat, Trimethylolpropantriacrylat, Trimethylolpropantrimethacrylat,
Tetramethylolpropantetraacrylat, Tetramethylolpropantetramethacrylat,
Pentaerythritoltrimethacrylat, Pentaerythritoltetraacrylat, Pentaerythritoltetramethacrylat,
Dipentaerythritolpentaacrylat, Dipentaerythritolpentamethacrylat,
Dipentaerythritolhexaacrylat, Dipentaerythritolhexamethacrylat,
1,6-Hexandioldiacrylat, 1,6-Hexandioldimethacrylat, Cardoepoxydiacrylat
und Cardoepoxydimethacrylat. Diese thermo- oder fotopolymerisierbaren
Monomere werden vorzugsweise in Mengen von bis zu 50 Gew.-Teilen
in 100 Gew.-Teilen der Zusammensetzung für die dielektrische Zwischenniveauschicht
inkorporiert.
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Neben
den oben beschriebenen Bestandteilen kann das Material zur Herstellung
der dielektrischen Zwischenniveauschicht anorganische Füllstoffe,
wie beispielsweise Silica, Alumina, Glimmer und Talk, zur Aufrechterhaltung
der Dimensionsstabilität,
chemischen Beständigkeit,
Wärmebeständigkeit
und Isoliereigenschaft, sowie wärmebeständige organische
Farbpigmente, wie Phthalocyaningrün, das der raschen Identifizierung
von Durchgangslöchern
nach dem Sandstrahlen dient, enthalten.
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Die
Teilchengrösse
der anorganischen Füllstoffe
wird im Bereich von etwa 0,01–500 μm ausgewählt. Vorzugsweise
sind zur Erhöhung
der Haftfestigkeit zwischen dielektrischer Zwischenniveauschicht
und leitfähiger
Schicht, die nach dem Sandstrahlen hergestellt wird, eine Vielzahl
von Füllstoffen
mit unterschiedlichen Formen und Teilchengrössen innerhalb des genannten
Bereichs selektiv enthalten.
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Das
Material zur Herstellung der Isolierschicht (3a) kann ferner
ein Ausgleichsmittel, ein Schaumverhinderungsmittel, ein Lösungsmittel
und dergleichen zur Sicherstellung der gleichförmigen Aufbringung des Materials
durch Mittel, wie beispielsweise ein Sieb, einen Tauchbeschichter,
einen Walzenbeschichter, einen Spinbeschichter, einen Vorhangfliessbeschichter
oder einen Sprühbeschichter,
enthalten.
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Beispiele
für das
Lösungsmittel
schliessen folgendes ein: Methylethylketon, Aceton, Methylisobutylketon,
Diethylketon, Cyclohexanon, Ethylenglykolmonoethylether, Ethylenglykolmonomethylether,
Ethylenglykolmonobutylether, Ethylenglykolmonobenzylether, Ethylenglykolmonophenylether,
Diethylenglykolmonoethylether, Diethylenglykolmonobutylether, Propylenglykolmonoethylether,
Propylenglykolmonoethylether, Dipropylenglykolmonoethylether, Dipropylenglykolmonoethylether,
3-Methoxybutylacetat, 4-Methoxybutylacetat, 2-Methyl-3-methoxybutylacetat,
3-Methyl-3-methoxybutylacetat, 3-Ethyl-3-methoxybutylacetat, 2-Ethoxybutylacetat,
Diethylenglykolmonoethyletheracetat und Diethylenglykolmonobutyletheracetat.
Unter diesen sind Propylenglykolmonoethylether, Propylenglykolmonoethylether,
Propylenglykolmonopropylether, Dipropylenglykolmonomethylether,
Dipropylenglykolmonoethylether, Dipropylenglykolmonopropylether
und Propylenglykolmonomethyletheracetat besonders bevorzugt verwendbar,
da sie für
Menschen sicher sind und eine glatte Aufbringung von Beschichtungen
erlauben.
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Die
Zusammensetzung zur Herstellung der Isolierschicht (3a)
kann ferner eine schwefelhaltige organische Verbindung als Katalysatorgift
einschliessen. Beispiele für
die schwefelhaltige organische Verbindung schliessen 2-Mercaptobenzothiazol,
Dibenzothiazyldisulfid, N-tert-Butyl-2-benzothiazolylsulfenamid
und Tetramethylthiuramdisulfid ein.
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Die
Isolierschicht (3a) wird nicht sofort unter Erzeugung der
dielektrischen Zwischenniveauschicht (3) gehärtet, sondern
verbleibt leicht gehärtet,
während
es mit einer gemusterten Beschichtung mit Sandstrahlbeständigkeit überlegt
wird.
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Der
Ausdruck "leicht
gehärtet" bedeutet, dass die
Isolierschicht (3a) in einem solchen Ausmass gehärtet wird,
dass die durch Sandstrahlen in einem nachfolgenden Schritt erzeugten
Durchgangslöcher
keine morphologischen Defekte, wie beispielsweise Absplitterung,
Einkerben oder anderen Formverlust, erfahren, und ferner, dass die
Isolierschicht (3a) nicht abgeht, wenn die sandstrahlbeständige Beschichtung
abgelöst
wird, oder dass die in der Isolierschicht (3a) erzeugten
Durchgangslöcher
nicht mit sich verformender Masse der Isolierschicht (3a)
aufgefüllt
werden, wenn sie nach dem Ablösen
der sandstrahlbeständigen
Beschichtung gehärtet
wird. Zum erzielen des "leicht
gehärteten" Zustands kann die
Isolierschicht (3a) mit Licht von geringer Energiedosis
bestrahlt oder mit einer Temperatur leicht unterhalb der üblichen
Härtungstemperatur
erwärmt werden.
Es ist besonders bevorzugt, die Isolierschicht (3a) auf
eine Temperatur von etwa 70–110°C zu erwärmen. Wenn
die Erwärmungstemperatur übermässig niedrig
ist, wird das beabsichtigte Ausmass der "leichten Härtung" nicht erzielt, und die Isolierschicht
kann abgehen, wenn die sandstrahlbeständige Beschichtung in einem
nachfolgenden Schritt abgelöst
wird, oder die in der Isolierschicht hergestellten Durchgangslöcher können mit
der sich verformenden Masse der Isolierschicht aufgefüllt werden,
wenn sie nach dem Ablösen
der sandstrahlbeständigen
Beschichtung warmgehärtet
wird. Wenn andererseits die Erwärmungstemperatur übermässig hoch
ist, wird die Isolierschicht überhärtet, und
zur Vervollständigung
des Sandstrahlvorgangs wird ein verlängerter Zeitraum benötigt.
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Im
nächsten
Schritt wird eine gemusterte sandstrahlbeständige Beschichtung (4)
auf der leicht gehärteten
Isolierschicht (3a) hergestellt (siehe 1C).
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Die
bemusterte Beschichtung (4) mit Sandstrahlbeständigkeit
kann nach verschiedenen Verfahren hergestellt werden, die folgendes
einschliessen: Aufdrucken eines bestimmten Musters mit einem Sieb,
einem Stabbeschichter, einem Walzenbeschichter, einem Umkehrbeschichter
oder einem Vorhangfliessbeschichter; oder Beschichten der Isolierschicht
(3a) mit einem fotoempfindlichen Harz mit Sandstrahlbeständigkeit
oder Anhaftung eines Trockenfilms aus dem Harz auf der Isolierschicht
(3a) und anschliessende Durchführung einer Fotolithografie
zur Bereitstellung eines bestimmten Musters. Im letztgenannten Fall
der Verwendung eines fotoempfindlichen Harzes wird die aufgebrachte
oder angehaftete Harzbeschichtung mit aktivierender Energiestrahlung
aus einer Ultrahochdruck-Quecksilberdampflampe,
einer chemischen Lampe oder dergleichen durch eine Maske belichtet
und anschliessend mit einer Sprühpistole,
durch Eintauchen oder ein ähnliches Verfahren
entwickelt. In Abhängigkeit
von der Art des verwendeten fotoempfindlichen Harzes wird als flüssiger Entwickler
vorzugsweise Wasser oder eine wässrige
Alkalilösung
verwendet, und beispielhafte Alkaliverbindungen in dem flüssigen Entwickler
schliessen folgendes ein: Hydroxide, Carbonate, Silicate, Bicarbonate, Phosphate
und Pyrophosphate von Alkalimetallen, wie beispielsweise Natrium
und Kalium; primäre
Amine, wie beispielsweise Benzylamin und Butylamin; sekundäre Amine,
wie beispielsweise Dimethylamin, Dibenzylamin und Diethanolamin;
tertiäre
Amine, wie beispielsweise Trimethylamin, Triethylamin und Triethanolamin;
cyclische Amine, wie beispielsweise Morpholin, Piperazin und Pyridin;
Polyamine, wie beispielsweise Ethylendiamin und Hexamethylendiamin;
Ammoniumhydroxide, wie beispielsweise Tetraethylammoniumhydroxid,
Trimethylbenzylammoniumhydroxid, Trimethylphenylbenzylammoniumhydroxid
und Cholin; und Sulfoniumhydroxide, wie beispielsweise Trimethylsulfoniumhydroxid,
Diethylmethylsulfoniumhydroxid und Dimethylbenzylsulfoniumhydroxid.
Wässrige
Lösungen
dieser Substrate oder gepufferte Lösungen davon können in
flüssige
Entwickler inkorporiert werden.
-
Die
Beschichtung mit Sandstrahlbeständigkeit
kann aus einem beliebigen Material hergestellt werden, das als Sandstrahlschutzschicht
dienen kann, und Beispiele schliessen folgendes ein: eine fotoempfindliche Harzzusammensetzung,
die einen ungesättigten
Polyester, ein ungesättigtes
Monomer und einen Fotopolymerisationsinitiator umfassen, wie in
JP-OS (Kokai) 103554/1980 beschrieben; eine fotoempfindliche Harzzusammensetzung,
die Polyvinylalkohol und ein Diazoharz umfasst, wie in JP-OS (Kokai)
69754/1990 beschrieben; und eine fotoempfindliche Harzzusammensetzung,
die ein Urethan(meth)acrylatoligomer, ein wasserlösliches
Celluloseharz, einen Fotopolymerisationsinitiator und ein (Meth)acrylatmonomer
umfasst. Unter diesen wird vorzugsweise die fotoempfindliche Harzzusammensetzung
verwendet, die ein Urethan(meth)acrylatoligomer, ein wasserlösliches
Celluloseharz, einen Fotopolymerisationsinitiator und ein (Meth)acrylatmonomer
umfasst, da sie eine gute Anhaftung an der dielektrischen Zwischenniveauschicht
hat und eine hohe Flexibilität zeigt.
Die lichtempfindlichen Harze zur Erzeugung der gemusterten Beschichtung
mit Sandstrahlbeständigkeit können als
Trockenfilm aufgebracht werden.
-
Nach
dem Herstellen der sandstrahlbeständigen gemusterten Beschichtung
(4) wird zur Entfernung der leicht gehärteten Isolierschicht (3a)
in ausgewählten
Bereichen sandgestrahlt, wodurch nach innen verjüngte Durchgangslöcher (5)
erzeugt werden (siehe 1D).
-
Das
Sandstrahlmedium sind feine (ca. 0,1–140 μm) teilchenförmige Materialien, wie beispielsweise Glaskügelchen,
Alumina-, Silica-, Siliciumcarbid- und Zirkoniumoxidteilchen; diese
Materialien werden zur Bewirkung der Sandstrahlung mit einem Strahldruck
von 0,5–5
kg/cm2 aufgeblasen. Verglichen mit herkömmlichen
fotoempfindlichen Harzen besitzt die Beschichtung (4) eine
ausreichend hohe Elastizität
und Flexibilität, wodurch
sie der Abtragung durch Sandstrahlung widersteht, und wird folglich
nicht abgetragen, bevor Durchgangslöcher mit einer gewünschten
Tiefe hergestellt sind.
-
Die
warm- oder fotohärtbare
Isolierschicht (3a) wird in leicht gehärtetem Zustand sandgestrahlt,
bevor sie vollständig
gehärtet
wird, und folglich kann der Strahlungsvorgang innerhalb kurzer Zeit
vollendet werden. Darüber
hinaus kann die bemusterte sandstrahlbeständige Beschichtung (4)
in einer so geringen Dicke hergestellt werden, dass dann, wenn sie
aus einem fotoempfindlichen Harz hergestellt ist, die Fokustiefe
leicht während
der Belichtung eingestellt werden kann, wodurch die Herstellung
einer bemusterten Beschichtung ermöglicht wird, die eine höhere Auflösung und
folglich eine bessere Reproduzierbarkeit besitzt.
-
Als
weiterer Vorteil werden nach innen verjüngte Durchgangslöcher (5)
durch Sandstrahlen der Isolierschicht (3a) hergestellt,
und daher kann im Gegensatz zum Fall der Anwendung herkömmlicher
fotolithografischer Techniken das Auftreten der Seitenätzung vermieden
werden, wodurch sichergestellt wird, dass eine leitfähige Schicht
wirksam auf den Seitenwänden
der Durchgangslöcher
während
des Plattierens in einem nachfolgenden Schritt abgeschieden wird,
und als Ergebnis ist die Ablösefestigkeit
zwischen der leitfähigen
Schicht und der dielektrischen Zwischenniveauschicht (siehe unten)
deutlich verbessert, wodurch die Herstellung von mehrschichtigen
Verschaltungstafeln hoher Zuverlässigkeit,
die weniger dazu neigen, das Problem des offenen Schaltkreises (Bruch
von Metallverbindungslinien) und Rissbildung zu erleiden, erzielt
wird. Darüber
hinaus werden im erfindungsgemässen
Verfahren keine starken Säuren
(z.B. Chromsäure)
als Oxidationsmittel verwendet, und folglich besteht keine potentielle
Gefahr für
die Umwelt.
-
Nach
dem Sandstrahlen kann die Beschichtung (4) leicht mit einer
wässrigen
Lösung
von Natriumhydroxid, Kaliumhydroxid, einem organischen Amin oder
dergleichen bei einem pH-Wert von etwa 12–14 abgelöst werden (siehe 1E).
In diesem Ablöseschritt
bleibt die leicht gehärtete
Isolierschicht (3a) stabil und wird in der wässrigen
Lösung
von Natriumhydroxid, Kaliumhydroxid oder einem organischen Amin
bei einem pH-Wert von etwa 12–14
weder aufgelöst
noch gequollen und wird folglich nicht zusammen mit der bemusterten
sandstrahlbeständigen
Beschichtung (4) abgelöst.
-
Anschliessend
wird die leicht gehärtete
Isolierschicht (3a) unter Bildung einer dielektrischen
Zwischenniveauschicht (3) warmgehärtet. Die Warmhärtung wird
vorzugsweise durch Erwärmen
auf eine Temperatur über
110°C, aber
nicht höher
als etwa 200°C,
in einem Warmluftheizgerät
oder einem IR-Heizgerät
oder durch Bestrahlung mit Licht, wie beispielsweise UV-Strahlung,
bewirkt.
-
Bei
Bedarf kann die Oberfläche
der dielektrischen Zwischenniveauschicht (3) aufgerauht
werden, wodurch eine erhöhte
Ablösefestigkeit
zwischen der dielektrischen Schicht (3) und der anschliessend
darauf herzustellenden leitfähigen
Schicht bereitgestellt wird. Die Aufrauhung der dielektrischen Zwischenniveauschicht (3)
kann mittels bekannter Techniken des mechanischen oder chemischen
Schleifens oder einer Kombination aus bekannten mechanischen und
chemischen Schleiftechniken bewirkt werden. Beispiele für mechanische Schleiftechniken
schliessen ein Bürsten
der Oberfläche
der dielektrischen Zwischenniveauschicht (3) mit Scotch
Bright, einer Messingbürste
oder dergleichen, eine Polierbehandlung mit einem Bandschleifer,
sowie die bereits oben beschriebene Sandstrahlprozedur ein. Ein
Beispiel für
chemische Schleiftechniken ist das Ätzen der dielektrischen Zwischenniveauschicht
(3) in einer Lösung
aus Kaliumpermanganat, wenn die dielektrische Schicht (3)
aus einem Epoxyharz hergestellt ist. Ein weiteres Beispiel ist das
Mikroätzen
der Oberfläche der
dielektrischen Zwischenniveauschicht (3) durch Oxidation,
das durchgeführt
werden kann durch Eintauchen des Substrats in eine wässrige Lösung, die
etwa 1–10%
Natrium- oder Kaliumpermanganat und etwa 0,5–5% Kalium- oder Natriumhydroxid
enthält,
bei einer Temperatur von etwa 50–95°C für etwa 1–15 Minuten durchgeführt werden
kann. Bei Bedarf kann zu der wässrigen
Lösung
ein Tensid zugegeben werden.
-
Die
Aufrauhung der dielektrischen Zwischenniveauschicht (3)
wird vorzugsweise so durchgeführt, dass
eine durchschnittliche Oberflächenrauhigkeit
(Ra) von 0,1–10 μm erzielt
wird.
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Es
bedarf keiner Erwähnung,
dass die leicht gehärtete
Isolierschicht (3a) oberflächenaufgerauht werden kann,
bevor sie mit der bemusterten sandstrahlbeständigen Beschichtung ausgerüstet wird.
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Anschliessend
wird, wie in entweder 1F oder 1G gezeigt,
eine leitfähige
Schicht (7) hergestellt. Die Herstellung der leitfähigen Schicht
(7) kann bewirkt werden durch elektrodenlose Plattierung
oder direktes Elektroplattieren. Direktes Elektroplattieren ist
weniger zeitaufwendig und ermöglicht
daher eine effizientere Herstellung als die elektrodenlose Plattierung.
Andererseits hat die elektrodenlose Plattierung den Vorteil der
Einfachheit der Herstellung und Zuführung von Plattierungsbädern. Ein
anderes Verfahren zur Herstellung der leitfähigen Schicht (7)
ist die Aufbringung einer leitfähigen
Pastenzusammensetzung auf die erforderlichen Bereiche oder Befüllen derselben
mit der Pastenzusammensetzungen durch Siebdruck oder andere geeignete
Techniken.
-
Ein
Beispiel für
das elektrodenlose Plattierungsverfahren ist das Eintauchen des
Substrats für
etwa 10 Minuten bis 10 Stunden in ein Plattierungsbad, das typischerweise
aus einer wässrigen
Lösung
von Kupfersulfat, Formaldehyd, EDTA und Natriumhydroxid besteht.
-
Ein
Beispiel eines direkten Elektroplattierungsverfahrens wird genauer
wie folgt durchgeführt:
zuerst wird die Oberfläche
der dielektrischen Zwischenniveauschicht (3) durch Oxidation
mikrogeätzt,
was durchgeführt
werden kann durch Eintauchen des Substrats in eine wässrige Lösung, die
etwa 1–10%
Natrium- oder Kaliumpermanganat und etwa 0,5 bis 5% Kalium- oder
Natriumhydroxid enthält,
bei einer Temperatur von etwa 50–95°C für etwa 1–15 Minuten. Bei Bedarf kann
zu der wässrigen
Lösung
ein Tensid zugegeben werden.
-
Nach
der Oxidation wird die dielektrische Zwischenniveauschicht (3)
neutralisiert, mit Wasser gewaschen und mit einer wässrigen
Palladiumkolloidlösung
behandelt, woraufhin die Oberfläche
des Substrats ausreichend aktiviert ist, wodurch eine bessere Anhaftung
der anschliessend herzustellenden Plattierungsschicht sichergestellt
wird. Für
eine bessere Dispergierbarkeit hat das Palladiumkolloid vorzugsweise
eine Teilchengrösse
von etwa 0,01–1 μm und die
Konzentration ist vorzugsweise etwa 0,5–10 g/l.
-
Bei
Bedarf kann die wässrige
Palladiumkolloidlösung
mindestens eine lösliche
Verbindung eines Metalls (legierten Metalls), ausgewählt aus
Silber, Zinn, Indium, Nickel, Kupfer, Gold, Kobalt, Zink und Kadmium, enthalten,
wobei Zinnsulfid besonders bevorzugt ist. Ferner kann zur Komplexierung
des Palladiumkolloids und der löslichen
Metallverbindung ein Chelatbildner enthalten sein.
-
Sofern
er zur Komplexierung von Palladiumkolloid und der Legierungsmetallverbindung
in der Lage ist, kann ein beliebiger Chelatbildner verwendet werden.
Beispielhafte Chelatbildner sind Basen, einschliesslich Chelidaminsäure, Orotinsäure, Hydantoincarbonsäure, Succinimidocarbonsäure, 2-Pyrrolidon-5-carbonsäure, Carboxyhydroxypyridin,
Carboxycaprolactam, Picolinsäure,
Dipicolinsäure,
Carboxyxanthin, Chinolincarbonsäure
oder -dicarbonsäure, Lignin,
Vanillin, 9-Imidaziridon-4-carbonsäure, Ammoniak, Amin, Aminosäure, EDTA-Natriumchlorid,
Ammoniumhydroxid und andere Hydroxylverbindungen (z.B. Alkalihydroxid).
Unter diesen sind Chelidaminsäure,
Orotinsäure
und 2-Pyrrolidon-5-carbonsäure
besonders bevorzugt. Die oben aufgeführten Chelatbildner werden
entweder einzeln oder in Kombinationen miteinander verwendet. Die
Chelatbildner können
in solchen Konzentrationen enthalten sein, dass das Palladiumkolloid
und die Legierungsmetallverbindung dispergiert gehalten werden können.
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Der
in der direkten Elektroplattierung zu verwendende Elektrolyt muss
zur Solubilisierung des Chelatbildners und des Metallkomplexes ausreichend
alkalisch sein und hat üblicherweise
einen pH-Wert von etwa 8–14,
vorzugsweise 12–14.
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Der
Kontakt mit dem Palladiumkolloid kann bei etwa 10–60°C, vorzugsweise
30–50°C, bewirkt
werden. Eine Kontaktzeit von etwa 5–10 Minuten reicht für den erfindungsgemässen Zweck
aus.
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Anschliessend
an die Oxidation wird die Substratoberfläche sorgfältig von alkalischer Abscheidung
gereinigt und die dielektrische Zwischenniveauschicht (3)
wird dann der Elektroplattierung unterworfen, die nach beliebigen
herkömmlichen
bekannten Verfahren durchgeführt
werden kann. Das Plattierungsbad kann aus verschiedenen Zusammensetzungen
hergestellt werden, wie beispielsweise Kupfersulfat und Kupferpyrophosphat.
Durch Eintauchen des Substrats in das Plattierungsbad für etwa 0,5–2 Stunden
bei einer Stromdichte von etwa 1–150 A/ft2 kann
die leitfähige
Schicht (7) in gleichförmiger
Dicke hergestellt werden.
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Wenn
die dielektrische Zwischenniveauschicht (3) kein Katalysatorgift
enthält,
wird die leitfähige Schicht
(7) wie in 1F gezeigt hergestellt. Wenn
in der dielektrischen Zwischenniveauschicht (3) ein Katalysatorgift
enthalten ist, wird die leitfähige
Schicht (7) nur in den Durchgangslöchern erzeugt, wie in 1G gezeigt.
-
Anschliessend
wird ein zweites Niveau eines Leitermusters (nicht gezeigt) über der
dielektrischen Zwischenniveauschicht (3) erzeugt und mit
einer weiteren dielektrischen Zwischenniveauschicht (ebenfalls nicht gezeigt) überlegt,
in der Durchgangslöcher
(nicht gezeigt) hergestellt werden. Durch Herstellung einer leitfähigen Schicht
nicht gezeigt) wird die Herstellung einer mehrschichtigen Verschaltungstafel
vervollständigt.
-
Die
vorstehende Beschreibung betrifft den Fall, dass Durchgangslöcher zur
Herstellung einer elektrischen Verbindung von mehr als einem Niveau
aus Leitermustern durch Sandstrahlen hergestellt werden. Es ist
jedoch festzuhalten, dass Durchgangslöcher nicht das einzige Beispiel
für den
Kanal zur Erzeugung einer elektrischen Verbindung von mehr als einem
Niveau von Leitermustern darstellen, und grabenförmige Kanäle, die in kontinuierlichen
Linien über
das Substrat verlaufen, sowie durchgehende Löcher ebenfalls durch Sandstrahlen
und Plattieren mit einer leitfähigen
Schicht hergestellt werden können.
-
Alternativ
dazu kann ein leitfähiges
Material in den durch Sandstrahlen hergestellten, grabenartigen Kanälen eingelassen
werden; auch in diesem Fall verbessert das Sandstrahlen wirksam
die Anhaftung und folglich die Abschälfestigkeit zwischen dem leitfähigen Material
und den grabenartigen Kanälen.
-
Die
nachfolgenden Beispiele dienen dem Zweck der weiteren Illustration
der vorliegenden Erfindung, sie sind jedoch in keiner Weise als
beschränkend
anzusehen.
-
REFERENZBEISPIELE 1 BIS
4 UND REFERENZVERGLEICHSBEISPIELE 1 BIS 3
-
Die
in Tabelle 1 gezeigten Formulierungen (Gew.-Teile) wurden als Ausgangsmaterialien
zur Herstellung von dielektrischen Zwischenniveauschichten bereitgestellt
und auf einer Drei-Walzen-Mühlen
vermischt, wodurch Isolierzusammensetzungen erzeugt wurden. Jede
der Zusammensetzungen wurde auf ein 1 mm dickes laminiertes Glas-Epoxyharz-Substrat
mit einem darauf hergestellten Kupfermetallisierungsmuster siebgedruckt.
Das Sieb war aus Polyester und hatte eine Öffnungsgrösse von 100 mesh/inch und die
dielektrische Beschichtung wies eine Trockendicke von 50 μm auf. In
den Referenzbeispielen 1 und 2 wurde die aufgebrachte dielektrische
Beschichtung für
50 Minuten bei 150°C
warmgehärtet,
in Referenzbeispiel 3 wurde die Beschichtung vorab für 50 Minuten
bei 80°C
getrocknet, einer Vollrahmenbelichtung mit UV-Licht (500 mJ/cm2) aus einer mit einer Ultrahochdruck-Quecksilberdampflampe
ausgerüsteten
Belichtungsvorrichtung "HTE 102S" von Hitec Products,
Inc. unterworfen und schliesslich für 50 Minuten bei 150°C warmgehärtet.
-
-
Die
Beschreibungen der jeweiligen in Tabelle 1 angegebenen Markennamen
sind nachfolgend aufgeführt.
- N-673:
- o-Kresolnovolakepoxyharz
(hergestellt von DIC Co., Ltd.)
- EPIKOTE 828:
- Epoxyharz vom Bisphenol
A-Typ (Produkt von Shell Chemical Co.)
- TEPIC-SP:
- Triglycidyletherisocyanat
(Produkt von Nissan Chemical Industries, Ltd.)
- TCR 1025:
- Triphenylmethantyp-Epoxyacrylat-Säureanhydrid-Addukt (Säurewert
= 100; Diethylenglykolmonomethyletheracetat = 25 Gew.-%; SWAZOL
1500 (siehe unten) = 10 Gew.-%) (Produkt von Nippon Kayaku Co.,
Ltd.)
- DPHA:
- Dipentaerythritolhexaacrylat
(Produkt von Nippon Kayaku Co., Ltd.)
- TMPTA:
- Trimethylolpropantriacrylat
(Produkt von Nippon Kayaku Co., Ltd.)
- DICY:
- Dicyandiamid (Epoxyhärtungsmittel)
(Produkt von Nippon Carbide Industries Co., Inc.)
- 2MZ·A:
- 2-Methylimidazolazin
(Epoxyhärtungsmittel)
(Produkt von Shikoku Chemicals Corp.)
- IRGACURE-907:
- 2-Methyl-[4-(methylthio)phenyl-2-morpholino-1-propan
(Produkt von Ciba-Geigy Corp.)
- KAYACURE-DTEX:
- Diethylthioxanthon
(Produkt von Nippon Kayaku Kogyo Co., Ltd.)
- DPM:
- Dipropylenglykolmonomethylether
(Produkt von Dow Chemical Co.)
- SWAZOL 1500:
- Naphthalösungsmittel
(Produkt von Maruzen Petrochemical Co., Ltd.)
- Diglykolacetat:
- Diethylenglykolmonoethyletheracetat
(Produkt von Daicel Chemical Industries, Ltd.)
- PGMAc:
- Propylenglykolmonomethyletheracetat
(Produkt von Dow Chemical Co.)
- KS-66:
- Siliconöl (Produkt
von Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.)
- MODAFLOW:
- Ausgleichsmittel (Produkt
von Monsanto Company)
- LIONOL GREEN 2YS:
- Farbpigment (Produkt
von Toyo Ink. Mfg. Co., Ltd.)
- MICROACE P-4:
- Talk (anorganischer
Füllstoff)
(Produkt von Nippon Talc Co., Ltd.)
- AEROSIL #200:
- feinteiliges Silica
(Produkt von Nippon Aerosil Co., Ltd.)
- Bariumsulfat B-31:
- anorganischer Füllstoff
(Produkt von Sakai Chemical Industry Co., Ltd.)
-
Auf
jede der so hergestellten dielektrischen Zwischenniveauschichten
wurde eine lichtempfindliche Trockenschicht, ORDYL BF-603 (Produkt
von Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.), als sandstrahlbeständige Beschichtung
durch Thermokompressionsbindung bei 70°C aufgebracht. Die aufgebrachte
Schicht wurde dann mit UV-Strahlung (300 mJ/cm2)
aus einer mit einer Ultrahochdruck-Quecksilberdampflampe ausgerüsteten Belichtungsvorrichtung
HTE 102S (Produkt von Hitec Products, Inc.) durch ein vorherbestimmtes
Maskenmuster bestrahlt und mit einer wässrigen 0,2%-igen Natriumcarbonatlösung bei
30°C für 40 Sekunden
und einem Sprühdruck
von 1,2 kg/cm2 sprühentwickelt.
-
Das
Substrat wurde dann in eine Sandstrahlvorrichtung SC-202 (Produkt
von Fuji Seisakusho K. K.) eingesetzt und die dielektrische Zwischenniveauschicht
wurde mit einem Strahldruck von 2,5 kg/cm2 für 6 Minuten
mit Siliciumcarbidteilchen (25 μm)
als Schleifmedium sandgestrahlt. Anschliessend wurde die sandstrahlbeständige Beschichtung
durch 2-minütiges
Aufsprühen
einer wässrigen
3 Gew.-%-igen Natriumhydroxidlösung
bei 45°C
abgelöst.
-
Nach
dem Abösen
der sandstrahlbeständigen
Beschichtung wurde das Substrat mit Wasser gewaschen, in die gleiche
Sandstrahlvorrichtung eingesetzt und mit Siliciumcarbidteilchen
(25 μm)
bei einem Strahldruck von 2,5 kg/cm2 für 1 Minute
sandgestrahlt, wodurch die Oberfläche der dielektrischen Zwischenniveauschicht
und die Innenoberflächen
der Durchgangslöcher
aufgerauht wurden. Das so bearbeitete Substrat wurde gemäss einem
SHIPLEY THERCUPOSIT 200MLB-Verfahren entschmutzt und anschliessend
für 5 Stunden
in eine elektrodenlose Plattierungslösung SHIPLEY CUPOIT 250 (Produkt
von Shipley Company Inc.) eingetaucht, wodurch eine leitfähige Schicht
mit einer Dicke von 25 μm
hergestellt wurde.
-
In
Referenzbeispiel 4 wurde die Vorgehensweise aus Referenzbeispiel
1 wiederholt, ausser dass nach dem Ablösen der sandstrahlbeständigen Beschichtung
das Substrat mit Wasser gewaschen und unmittelbar in die elektrodenlose
Plattierungslösung
eingetaucht wurde, wodurch ohne Aufrauhung der Oberfläche der
dielektrischen Zwischenniveauschicht und der inneren Oberfläche der
Durchgangslöcher
eine leitfähige
Schicht mit einer Dicke von 25 μm
erzeugt wurde.
-
In
den Referenzvergleichsbeispielen 1 bis 3 wurde die isolierende Zusammensetzung
auf ein 1 mm dickes laminierte Glas-Epoxyharz-Substrat unter Erhalt
einer Trockendicke von 50 μm
siebgedruckt und die aufgebrachte Beschichtung wurde vorab für 50 Minuten
bei 80°C
getrocknet und durch ein Maskenmuster mit UV-Strahlung (500 mJ/cm2) aus der Belichtungsvorrichtung HTE 102S
(Hitec Products, Inc.) bestrahlt. Dann wurde die Beschichtung mit
einer wässrigen
1%-igen Natriumcarbonatlösung
bei 30°C
für 40
Sekunden bei einem Sprühdruck
von 1,2 kg/cm2 sprühentwickelt. Dann wurde das
Substrat in die gleiche Belichtungsvorrichtung eingesetzt und mit
UV-Strahlung (5 J/cm2) bestrahlt, gefolgt
von einer thermischen Härtung
bei 150°C
für 50
Minuten. Nachdem auf diese Weise Durchgangslöcher hergestellt worden waren,
wurde das Substrat in eine elektrodenlose Plattierungslösung (SHIPLEY
CUPOSIT 250) eingetaucht, wodurch eine leitfähige Schicht mit einer Dicke
von 25 μm
hergestellt wurde.
-
Die
einzelnen Substratproben wurden bezüglich der Form der Durchgangslöcher, der
Anwesenheit von Unterätzungen,
der Beständigkeit
gegenüber
Lötwärme, der
Isolierbeständigkeit
und der Ablösefestigkeit nach
den folgenden Verfahren und Kriterien ausgewertet. Die Ergebnisse
sind in Tabelle 2 gezeigt.
-
Verfahren und Kriterien
zur Auswertung:
-
Form von Durchgangslöchern:
-
Das
Substrat wurde entlang der Dicke geschnitten, und die Querschnittsform
der Durchgangslöcher wurde
untersucht.
-
Unterätzungen:
-
Die
Durchgangslöcher
in dem geschnittenen Substrat wurden bezüglich ihres Zustands an der
Verbindung zwischen der dielektrischen Zwischenniveauschicht und
dem darüberliegenden
Leitermuster untersucht.
-
Beständigkeit gegenüber Lötwärme:
-
Nach
dem Aufbringen eines Flussmittels wurde das Substrat 5 mal für jeweils
10 Sekunden in ein Lötbad
von 260°C
eingetaucht; die so behandelte lichtempfindliche Harzschicht wurde
auf ihren Zustand untersucht und anhand der folgenden Kriterien
bewertet: gut = nach fünfmaligem
Eintauchen in das Lötbad
wurde keine Veränderung
beobachtet; schlecht = ein Teil der gehärteten lichtempfindlichen Harzschicht
blättert
nach einmaligem Eintauchen in das Lötbad ab.
-
Isolierwiderstand:
-
Das
Substrat wurde einer heissen und feuchten Atmosphäre (85°C, 90%) bei
einer Gleichstromspannung von 100 V ausgesetzt und anschliessend
mit einem Hochwiderstandsmessgerät
4339A (Produkt von Hewlett-Packard
Company) bezüglich
eines elektrischen Widerstands gemessen; das Ergebnis wurde dahingehend
unterschieden, ob der Isolierwiderstand höher war als 1 × 1012 Ω·cm (> 1012)
oder kleiner als 1 × 1011 Ω·cm (< 1011).
-
Ablösefestigkeit:
-
Die
Messungen wurden gemäss
JIS H 8646 durchgeführt.
-
-
BEISPIELE 1 BIS 3 UND
VERGLEICHSBEISPIELE 1 BIS 3
-
In
Beispiel 1 wurde die Formulierung aus Referenzbeispiel 1 als Ausgangsmaterial
zur Herstellung der dielektrischen Zwischenniveauschicht verwendet;
in den Beispielen 2 und 3 und in den Vergleichsbeispielen 1 bis
3 wurden die Formulierungen der Referenzbeispiele 2 und 3 und diejenigen
der Referenzvergleichsbeispiele 1 bis 3 als Ausgangsmaterialien
verwendet. Jede Formulierung wurde auf einer Drei-Walzen-Mühle unter Bildung
einer warm- oder fotohärtbaren,
elektrisch isolierenden Zusammensetzung vermischt. Die Zusammensetzung
wurde auf einem 1 mm dicken laminierten Glas-Epoxyharz-Substrat
mit einem darauf ausgebildeten Kupfermetallisierungsmuster siebgedruckt.
Das Sieb war aus Polyester und hatte eine Öffnungsgrösse von 100 mesh/inch, und
die isolierende Beschichtung hatte eine Trockendicke von 50 μm. In den
Beispielen 1 und 2 wurde die aufgebrachte isolierende Beschichtung
durch Erwärmen
auf 90°C
für 40
Minuten leicht gehärtet, und
in Beispiel 3 wurde die isolierende Beschichtung ebenfalls durch
Erwärmen
auf 100°C
für 30
Minuten leicht gehärtet.
-
Auf
jede der leicht gehärteten
isolierenden Schichten wurde ein lichtempfindlicher Trockenfilm,
ORDYL BF-603 T-3 (Produkt von Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.; Schichtdicke:
30 μm) als
sandstrahlbeständige
Beschichtung durch Thermokompressionsbindung bei 100°C aufgebracht.
Die aufgebrachte Schicht wurde dann mit UV-Strahlung (30 mJ/cm2) aus der HTE 102S-Vorrichtung durch ein
vorbestimmtes Maskenmuster bestrahlt und mit einer wässrigen
0,2%-igen Natriumcarbonatlösung
bei 30°C
für 40
Sekunden bei einem Sprühdruck
von 1,2 kg/cm2 sprühentwickelt.
-
Anschliessend
wurde das Substrat in eine Sandstrahlvorrichtung SC-202 (Produkt
von Fuji Seisakusho K. K.) eingesetzt und die leicht gehärtete Isolierschicht
wurde unter Bildung von Durchgangslöchern bei einem Strahldruck
von 1,5 kg/cm2 für 5 in mit Siliciumcarbidteilchen
(25 μm)
als Schleifmedium sandgestrahlt. Anschliessend wurde die bemusterte
sandstrahlbeständige
Beschichtung durch Besprühen
mit einer wässrigen
3 Gew.-%-igen Natriumhydroxidlösung
bei 45°C
für 2 Minuten
abgelöst.
In der elektrisch isolierenden Schicht trat während des Ablöseschritts
keine Einknickung oder Delaminierung auf. Die Form der Durchgangslöcher war
zufriedenstellend.
-
Nach
dem Ablösen
der bemusterten sandstrahlbeständigen
Beschichtung wurde das Substrat mit Wasser gewaschen und anschliessend
wurde die leicht gehärtete
Isolierschicht bei 150°C
für 50
Minuten warmgehärtet,
wodurch eine dielektrische Zwischenniveauschicht gebildet wurde.
Das Substrat wurde erneut in die gleiche Sandstrahlvorrichtung eingesetzt
und die Oberfläche
der dielektrischen Zwischenniveauschicht wurde durch Sandstrahlen
bei einem Strahldruck von 2,5 kg/cm
2 für 1 Minute
aufgerauht. Das so verarbeitete Substrat wurde in eine wässrige Natriumhydroxidlösung (10
g/l) für
5 Minuten bei einer Temperatur von 50°C eingetaucht, bevor ein Mikroätzvorgang
durch Eintauchen in eine wässrige
Lösung
der folgenden Formulierung bei 80°C
für 6 Minuten
durchgeführt
wurde. Mikroätzlösung:
Kaliumpermanganat | 50
g |
Kaliumhydroxid | 20
g |
Wasser | 1.000
g |
-
Danach
wurden die Substrate der Beispiele 1 und 2 in einem Bad mit der
folgenden Formulierung einer elektrodenlosen Kupferplattierung unterworfen. Plattierungsbad:
Kupfer
(zugeführt
als Kupfersulfat) | 2,8
g/l |
Formaldehyd | 3,5
g/l |
Natriumhydroxid | 10–11 g/l |
EDTA | q.s. |
-
Die
elektrodenlose Kupferplattierung ermöglichte die Erzeugung einer
leitfähigen
Schicht mit einer Dicke von 25 μm
auf der Substratoberfläche.
Die Plattierungszeit betrug 15 Stunden.
-
In
Beispiel 3 wurde das Substrat in eine wässrige Lösung von Palladiumkolloidteilchen
(0,05 μm,
Konzentration: 2 g/l) für
5 Minuten eingetaucht und dann unter den nachstehend angegebenen
Bedingungen einer Kupferplattierung in einem Kupferpyrophosphatbad
(bezüglich
der Formulierung siehe unten) unterworfen. Plattierungsbad:
Kupferpyrophosphat | 60–80 g/l |
Kaliumpyrophosphat | 250–400 g/l |
wässriges
Ammoniak | 0,5–1 ml/l |
Glanzmittel | q.s. |
Plattierungsbedingungen:
Temperatur | 50–60°C |
Stromdichte
an der Kathode | 30–50 A/ft2 |
-
Die
Kupferplattierung erlaubte die Erzeugung einer leitfähigen Schicht
in einer Dicke von 23 μm
auf der Substratoberfläche.
Die Plattierungszeit betrug 35 Minuten.
-
In
den Vergleichsbeispielen 1 bis 3 wurde die isolierende Zusammensetzung
unter Erzeugung einer Beschichtung mit einer Trockendicke von 50 μm auf ein
1 mm dickes laminiertes Glas-Epoxyharz-Substrat siebgedruckt. Die
aufgebrachte Beschichtung wurde vorab bei 60°C für 90 Minuten getrocknet und
mit UV-Strahlung (500 mJ/cm2) aus einer
mit einer Ultrahochdruck-Quecksilberdampflampe ausgerüsteten Vorrichtung
HTE 102S (Produkt von Hitec Products, Inc.) durch ein Maskenmuster
bestrahlt. Anschliessend wurde die isolierende Beschichtung mit
einer wässrigen
1%-igen Natriumcarbonatlösung
bei 30°C
für 40
Sekunden bei einem Sprühdruck
von 1,2 kg/cm2 sprühentwickelt, danach mit UV-Strahlen
(5 J/cm2) aus der gleichen Belichtungsvorrichtung
bestrahlt und schliesslich bei 150°C für 50 Minuten warmgehärtet.
-
Danach
wurden die Proben der Vergleichsbeispiele 1 und 2 unter den gleichen
Bedingungen wie in Beispiel 1 einer elektrodenlosen Plattierung
unterworfen, wohingegen die Probe aus Vergleichsbeispiel 3 unter den
gleichen Bedingungen wie in Beispiel 3 der direkten Elektroplattierung
unterworfen wurden.
-
Die
jeweiligen Substrate wurden hinsichtlich der Form der Durchgangslöcher, der
Anwesenheit von Unterätzungen,
der Beständigkeit
gegenüber
Lötwärme, des
Isolierwiderstands und der Abziehfestigkeit anhand der bereits oben
beschriebenen Verfahren und Kriterien ausgewertet. Die Ergebnisse
sind in Tabelle 3 angegeben.
-
-
BEISPIEL 4
-
10
Gew.-Teile 2-Mercaptobenzothiazol wurden als Katalysatorgift zu
der Formulierung aus Beispiel 1 zugegeben, die dann auf einer Drei-Walzen-Mühle unter
Bildung einer warm- oder fotohärtbaren,
elektrisch isolierenden Zusammensetzung vermischt wurde. Die Zusammensetzung
wurde auf ein 1 mm dickes, laminiertes Glas-Epoxyharz-Substrat mit
darauf hergestelltem Kupfermetallisierungsmuster siebgedruckt. Das Sieb
bestand aus Polyester und wies eine Öffnungsgrösse von 100 mesh/inch auf,
und die isolierende Beschichtung hatte eine Trockendicke von 25 μm. Anschliessend
wurde das Substrat wie in Beispiel 22 unter Bildung von Durchgangslöchern in
ausgewählten
Bereichen der dielektrischen Zwischenniveauschicht verarbeitet,
ausser dass die Sandstrahlzeit 3 Minuten betrug. Das Substrat wurde
dann einer Vorbehandlung zur Mikroätzung unterworfen, mikrogeätzt und
wie in Beispiel 1 einer elektrodenlosen Plattierung unterworfen,
wodurch die Durchgangslöcher
mit einer leitfähigen
Schicht mit einer Dicke von 25 μm
aufgefüllt
wurden. Die Oberfläche
der dielektrischen Zwischenniveauschicht wies keine Kupferabscheidung
und keine Verfärbung durch
die elektrodenlose Plattierung auf, sondern zeigte eine sehr hohe
Glattheit. Die Plattierungszeit betrug 5 Stunden.
-
BEISPIEL 5
-
Eine
foto- oder warmhärtbare,
elektrisch isolierende Zusammensetzung wurde wie in Beispiel 1 hergestellt
und auf ein 1 mm dickes, laminiertes Glas-Epoxyharz-Substrat mit
darauf ausgebildetem Kupfermetallisierungsmuster siebgedruckt. Das
Sieb bestand aus einem Polyester und hatte eine Öffnungsgrösse von 100 mesh/inch, und
die isolierende Beschichtung hatte eine Trockendicke von 20 μm. Die aufgebrachte
Isolierbeschichtung wurde durch Erwärmen für 40 Minuten auf 90°C leicht
gehärtet
und anschliessend wurde ein lichtempfindlicher Trockenfilm, ORDYL
BF-602 T-3 (Produkt von Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd., Schichtdicke:
20 μm) als
sandstrahlbeständige
Beschichtung auf die leicht gehärtete,
elektrisch isolierende Schicht durch Thermokompressionsbindung bei
70°C aufgebracht.
Anschliessend wurde die aufgebrachte Schicht mit UV-Strahlung (300
mJ/cm2) aus einer mit einer Ultrahochdruck-Quecksilberdampflampe
ausgerüsteten
Belichtungsvorrichtung HTE 102S (Produkt von Hitec Products, Inc.)
durch ein Maskenmuster, das zur Reproduktion von Punkten mit 30 μm Durchmesser
in der Lage war, belichtet und mit einer wässrigen 0,2%-igen Natriumcarbonatlösung für 40 Sekunden
bei 30°C
und einem Sprühdruck
von 1,2 kg/cm2 sprühentwickelt.
-
Anschliessend
wurde das Substrat in eine Sandstrahlvorrichtung SC-202 (Produkt
von Fuji Seisakusho K. K.) eingesetzt, und die leicht gehärtete Isolierschicht
wurde bei einem Strahldruck von 1,5 kg/cm2 für 2 Minuten
mit Siliciumcarbidteilchen (5 μm)
als Schleifmedium sandgestrahlt. Anschliessend wurde die sandstrahlbeständige Beschichtung
durch Aufsprühen
einer wässrigen
3 Gew.-%-igen Natriumhydroxidlösung
bei 45°C
für 2 Minuten
abgelöst.
-
Nach
dem Ablösen
der sandstrahlbeständigen
Beschichtung wurde das Substrat mit Wasser gewaschen und danach
wurde die leicht gehärtete
Isolierschicht bei 150°C
für 50
Minuten gehärtet,
wodurch eine dielektrische Zwischenniveauschicht hergestellt wurde.
Das Substrat wurde dann in die gleiche Sandstrahlvorrichtung eingesetzt,
und die Oberfläche
der dielektrischen Zwischenniveauschicht wurde durch Sandstrahlen bei
einem Strahldruck von 2,5 kg/cm2 für 10 Sekunden
aufgerauht. Das so bearbeitete Substrat wurde einer Mikroätzvorbehandlung
unterworfen, mikrogeätzt
und wie in Beispiel 3 der direkten Elektroplattierung unterworfen,
wodurch eine leitfähige
Schicht in einer Dicke von 5 μm
innerhalb der Durchgangslöcher
hergestellt wurde. In der dielektrischen Zwischenniveauschicht trat
keine Einknickung oder Delaminierung auf, und die Kanäle erfuhren
weder Kurzschlüsse
noch Leitungsversagen aufgrund von Brüchen der metallischen Verbindungslinie.
Die Plattierungszeit betrug 7 Minuten.
-
BEISPIEL 6
-
10
Gew.-Teile 2-Mercaptobenzothiazol wurden als Katalysatorgift zu
der Formulierung aus Referenzbeispiel 1 zugegeben, die dann auf
einer Drei-Walzen-Mühle
vermischt wurde, wodurch eine warm- oder fotohärtbare, elektrisch isolierende
Zusammensetzung hergestellt wurde. Die Zusammensetzung wurde unter
Verwendung eines Polyestersiebes mit einer Öffnungsgrösse von 100 mesh/inch auf ein
1 mm dickes, laminiertes Glas-Epoxyharz-Substrat siebgedruckt. Das
Substrat wurde durch Polieren auf eine durchschnittliche Oberflächenrauhigkeit
von 5 μm
poliert. Die aufgebrachte isolierende Beschichtung hatte eine Trockendicke
von 25 μm
und wurde durch 40-minütiges
Erwärmen
auf 90°C
leicht gehärtet.
-
Anschliessend
wurde ein lichtempfindlicher Trockenfilm, ORDYL BG-603-T-3 (supra)
als sandstrahlbeständige
Beschichtung auf die leiht gehärtete,
elektrisch isolierende Schicht durch Thermokompressionsbinden bei
100°C aufgebracht.
Anschliessend wurde die aufgebrachte Schicht mit UV-Strahlung (300
mJ/cm2) aus der HTE 102S- Vorrichtung durch ein Maskenmuster,
das zur Reproduktion von 100 μm
breiten Linien in Abständen
von 50 μm
in der Lage war, bestrahlt und mit einer wässrigen 0,2%-igen Natriumcarbonatlösung bei einem
Sprühdruck
von 1,2 kg/cm2 für 40 Sekunden bei 30°C sprühentwickelt.
-
Anschliessend
wurde das Substrat in eine Sandstrahlvorrichtung SC-202 (Fuji Seisakusho
K. K.) eingesetzt, und die Isolierschicht wurde bei einem Strahldruck
von 1,5 kg/cm2 für 5 Minuten mit Siliciumcarbidteilchen
(25 μm)
als Schleifmedium sandgestrahlt, wodurch Kanäle in der Isolierschicht gebildet
wurden. Anschliessend wurde die bemusterte sandstrahlbeständige Beschichtung
durch Besprühen
mit einer wässrigen 3
Gew.-%-igen Natriumhydroxidlösung
bei 45°C
für 2 Minuten
abgelöst.
-
Nach
dem Ablösen
der bemusterten sandstrahlbeständigen
Beschichtung wurde das Substrat mit Wasser gewaschen und die leicht
gehärtete,
elektrisch isolierende Schicht wurde für 50 Minuten bei 150°C gehärtet, wodurch
eine dielektrische Zwischenniveauschicht gebildet wurde. Das so
bearbeitete Substrat wurde in eine wässrige Natriumhydroxidlösung (10
g/l) für
5 Minuten bei 50°C
eingetaucht, bevor es einer elektrodenlosen Plattierung in einem
Bad mit der folgenden Zusammensetzung unterworfen wurde. Plattierbad:
Kupfer
(zugegeben als Kupfersulfat) | 2,8
g/l |
Formaldehyd | 3,5
g/l |
Natriumhydroxid | 10–11 g/l |
EDTA | q.s. |
-
Die
elektrodenlose Kupferplattierung ermöglichte die Erzeugung einer
leitfähigen
Schicht mit einer Dicke von 25 μm
innerhalb der Kanäle.
Die Oberfläche
der dielektrischen Zwischenniveauschicht war frei von Kupferabscheidungen
oder Verfärbung
durch die elektrodenlose Plattierung und behielt einen sehr hohen Glattheitsgrad.
-
Das
Substrat wurde dann in die gleiche Sandstrahlvorrichtung SC-202
eingesetzt und die Oberfläche der
dielektrischen Zwischenniveauschicht wurde durch Sandstrahlen bei
einem Strahldruck von 2,5 kg/cm2 für 1 Minute
mit Siliciumcarbidteilchen (25 μm)
als Schleifmedium aufgerauht. In einem separaten Schritt wurde die
Formulierung aus Referenzbeispiel 1 auf einer Drei-Walzen-Mühle unter
Herstellung einer isolierenden Zusammensetzung vermischt, die auf
die dielektrische Zwischenniveauschicht mit der in den Kanälen erzeugten, leitfähigen Schicht
siebgedruckt wurde. Das Sieb bestand aus einem Polyester und hatte
eine Öffnungsgrösse von
100 mesh/inch, und die isolierende Beschichtung hatte eine Trockendicke
von 25 μm.
Die aufgebrachte isolierende Beschichtung wurde durch 40-minütiges Erwärmen auf
90°C leicht
gehärtet.
-
Auf
die leicht gehärtete,
elektrisch isolierende Schicht wurde eine lichtempfindliche Trockenschicht, ORDYL
BF-603 T-3 (supra), als sandstrahlbeständige Beschichtung durch Thermokompressionsbindung
bei 100°C
aufgebracht. Dann wurde zur Herstellung von Durchgangslöchern (50 μm Durchmesser)
zur Überbrückung zweier
beabstandeter, leitfähiger
Schichten die sandstrahlbeständige
Beschichtung mit UV-Strahlung (300 mJ/cm2)
aus der HTE 102S-Vorrichtung (supra) durch ein vorherbestimmtes
Maskenmuster bestrahlt und mit einer wässrigen 0,2%-igen Natriumcarbonatlösung bei
einem Sprühdruck
von 1,2 kg/cm2 für 40 Sekunden bei 30°C sprühentwickelt.
-
Anschliessend
wurde das Substrat in die gleiche Sandstrahlvorrichtung (SC-202)
eingesetzt und die Isolierschicht wurde bei einem Strahldruck von
1,5 kg/cm2 für 5 Minuten mit Siliciumcarbidteilchen
(25 μm)
als Schleifmedium sandgestrahlt, bis die leitfähige Schicht in der darunterliegenden
dielektrischen Zwischenniveauschicht freigelegt wurde. Mit den so
hergestellten Durchgangslöchern
wurde die bemusterte sandstrahlbeständige Beschichtung durch 2-minütiges Aufsprühen einer
wässrigen
3 Gew.-%-igen Natriumhydroxidlösung
bei 45°C
abgelöst.
-
Nach
dem Ablösen
der bemusterten sandstrahlbeständigen
Beschichtung wurde das Substrat mit Wasser gewaschen und danach
in die gleiche Sandstrahlvorrichtung (SC-202) eingesetzt. Danach
wurde die freigelegte Oberfläche
der zweiten dielektrischen Zwischenniveauschicht durch Sandstrahlen
mit einem Strahldruck von 2,5 kg/cm2 mit
Siliciumcarbidteilchen (25 μm)
als Schleifmedium für
1 Minute aufgerauht.
-
Das
so bearbeitete Substrat wurde in eine wässrige Natriumhydroxidlösung (10
g/l) bei einer Temperatur von 50°C
für 5 Minuten
eingetaucht, bevor es durch Eintauchen in eine wässrige Lösung mit der folgenden Formulierung
bei 80°C
für 6 Minuten
mikrogeätzt
wurde. Mikroätzlösung:
Kaliumpermanganat | 50
g |
Kaliumhydroxid | 20
g |
Wasser | 1.000
g |
-
Anschliessend
wurde das Substrat der Kupferplattierung in einem Pyrophosphatbad
(Formulierung siehe unten) unten den ebenfalls unten angegebenen
Bedingungen unterworfen. Plattierungsbad:
Kupferpyrophosphat | 60–80 g/l |
Kaliumpyrophosphat | 250–400 g/l |
wässriges
Ammoniak | 0,5–1 ml/l |
Glanzmittel | q.s. |
Plattierungsbedingungen:
Temperatur | 50–60°C |
Stromdichte
an der Kathode | 30–50 A/ft2 |
-
Die
Kupferplattierung ermöglichte
die Herstellung einer leitfähigen
Schicht in einer Dicke von 15 μm innerhalb
der Durchgangslöcher
und über
der zweiten dielektrischen Zwischenniveauschicht. Die Plattierungszeit
betrug 21 Minuten.
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Anschliessend
wurde ein Trockenschichtresist, ORDYL α-400 (Produkt von Tokyo Ohka
Kogyo Co., Ld.) durch Thermokompressionsbindung bei 100°C auf die
15 μm dicke
leitfähige
Schicht aufgebracht. Dann wurde zur Überbrückung der beiden leitfähigen Schichten
in dem ersten Niveau die Resistschicht mit UV-Strahlung (300 mJ/cm2) aus der HTE 102S-Vorrichtung durch ein
vorherbestimmtes Maskenmuster, das zur Ausbildung eines Musters
in der Lage war, das aus Kreisen mit 70 μm Durchmesser in Übereinstimmung mit
den Durchgangslöchern
und Überbrückungslinien
von 50 μm
Breite bestand, bestrahlt und mit einer wässrigen 0,2%-igen Natriumcarbonatlösung bei
einem Sprühdruck
von 1,2 kg/cm2 für 40 Sekunden bei 30°C sprühentwickelt.
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Schliesslich
wurde das Substrat mit einer wässrigen
Kupfer(II)chlorid-Lösung
(Cl-Konzentration: 80–100
g/l, spezifische Dichte: 1,2) bei 80°C für 10 Minuten geätzt und
sorgfältig
mit Wasser gewaschen.
-
Das
resultierende Überbrückungsmuster
wies weder Einkerbungen noch Delaminierungen auf und zeigte eine
gute elektrische Verbindung zu dem ersten Niveau der leitfähigen Schichten.