TW201910027A - 卡盤的校正方法 - Google Patents

Abstract

校正卡盤的軸線和工件的芯，使其高精度地匹配。

一種具備校正步驟的卡盤的校正方法，其中，所述卡盤具備主體、柱塞、以及夾爪，所述主體具有背面主體、配置在該背面主體的前側的前面主體所述柱塞設置在該主體內，且構成為所述主體的軸線上移動，所述夾爪構成為通過所述柱塞的移動而被引導在所述前面主體上移動，其移動方向是朝向以所述軸線為中心而成的徑方向，在所述校正步驟中，當使工件被把持在所述夾爪上時，在相對於所述軸線維持所述背面主體的位置的同時，使所述前面主體在以所述軸線為中心的徑方向移動，或者，相對於所述軸線維持所述背面主體的位置的同時，使所述前面主體相對於所述軸線傾斜。

Description

卡盤的校正方法

本發明涉及使用於工作機械的卡盤(chuck)的校正方法。

為了高精度地把持工件，實施夾爪的機械上成形。所謂機械上成形，通常指的是，在把持成形插頭的狀態下對夾爪的把持面進行加工中，並且將卡盤的旋轉中心與工件中心彼此高精度地對齊。然而，由於相對於夾爪的工件把持面而言，是在卡盤主體側把持成形插頭的狀態下，對夾爪的把持面進行加工的，因此把持面的位置與把持成形插頭的位置不同。因此，當實際把持工件時，工件中心可能會有略微偏離於卡盤的旋轉中心的情況。

【先前技術文件】 【專利文件】

【專利文件1】日本特開2011-110676號公報

在專利文件1中公開了一個例子，該例子是在安裝夾爪的鉗口的拉伸杆上把持成型插頭，以及形成拉伸杆的前端的例子。根據該例子，當在拉伸杆上設置成型插頭把持部後，夾爪會從卡盤主體向卡盤的軸線前方分離。而當夾爪從卡盤主體向卡盤的軸線前方分離後，工件的中心(芯)容易從卡盤的旋轉中心(軸線)偏離。本發明旨在使工件的中心(芯)與卡盤的旋轉中心(軸線)一致從而提高精度。

根據本發明，提供一種具備校正步驟的卡盤的校正方法，其中，所述卡盤具備主體、柱塞、以及夾爪，所述主體具有背面主體、以及配置在該背面主體的前側的前面主體，所述柱塞設置在該主體內，且構成為所述主體的軸線上移動，所述夾爪構成為通過所述柱塞的移動而被引導在所述前面主體上移動，其移動方向是朝向以所述軸線為中心的徑方向，在所述校正步驟中，當使工件被把持在所述夾爪上時，對於所述軸線維持所述背面主體的位置，同時在以所述軸線為中心的徑向上使所述前面主體移動，或者，對於所述軸線維持所述背面主體的位置，同時使所述前面主體相對於所述軸線傾斜。

根據本發明，對於軸線維持背面主體的位置，同時在以軸線為中心的徑向上使前面主體移動，或者，對於軸線維持背面主體的位置，同時使前 面主體相對於軸線傾斜，因此，即使不對夾爪成形，也能夠使工件的中心(芯)與卡盤的旋轉中心(軸線)一致的精度得到提高。

優選地，所述卡盤具有從所述背面主體朝向所述前面主體設置的導杆，所述導杆插入到設置於所述前面主體的導孔中。

優選地，所述卡盤具有將所述前面主體固定在所述背面主體上的螺栓，在鬆緩所述螺栓的狀態下使所述前面主體朝所述徑方向移動，並在移動結束後的階段擰緊所述螺栓。

優選地，將所述前面主體按壓在所述背面主體上的施力手段安裝在所述導杆上。

優選地，通過將調整螺栓插入到所述前面主體中，將所述調整螺栓按壓在所述背面主體的側面或者所述導杆的側面，以使所述前面主體在所述徑方向移動。

優選地，在所述背面主體上設置有傾斜狀的滑動面，具有調整螺絲，該調整螺絲是通過從所述前面主體的前面側的旋轉操作能夠在所述前面主體中進退，且錐形狀的頭部滑動所述滑動面，通過使所述調整螺絲進退，錐形狀的頭部滑動所述滑動面，以使所述前面主體在所述徑方向上移動。

優選地，所述背面主體在間隔設置的第1座面之間以橋接的形狀配置有阻尼器，並通過第1螺栓相對於各個座面緊固所述阻尼器，所述前面主體相對於設置在其背面的第2座面，通過第2螺栓在所述第1座面之間緊固所述阻尼器，並且相對於以橋接相鄰的所述第1座面之間的形狀配置的所述阻尼器，設置改變所述阻尼器的變形長度的滑動子，在所述校正步驟 中，當使工件被把持在所述夾爪上時，改變所述滑動子的位置從而使所述前面主體相對於所述軸線傾斜。

優選地，將所述阻尼器以橋接的形狀配置的位置以按相等角度間隔配置至少3處以上。

20‧‧‧主體

2、22，62‧‧‧背面主體

3、23、43、63‧‧‧前面主體

4、24‧‧‧夾爪

5、23b‧‧‧導孔

6、26‧‧‧主夾爪

7、17‧‧‧導杆

8、28‧‧‧柱塞

9‧‧‧彈簧

11、16、29、36‧‧‧螺栓

12‧‧‧調整螺絲孔

13‧‧‧調整螺栓

15‧‧‧通孔

31、45‧‧‧阻尼器

50‧‧‧氣缸

41‧‧‧調整螺絲

42‧‧‧滑動子

51‧‧‧調整子

61‧‧‧調整螺絲

100、200、400‧‧‧卡盤

2a‧‧‧固定孔

2b‧‧‧通孔

3a‧‧‧滑動槽

3b‧‧‧周面部

3c‧‧‧領邊部

5a‧‧‧接受面部

5b‧‧‧通孔部

5c‧‧‧階梯部

7a‧‧‧擴大部

7b‧‧‧被滑動環

7c‧‧‧胴體軸部

7d‧‧‧螺絲軸部

7e‧‧‧階梯部

12a‧‧‧平面

13a‧‧‧外側螺釘

13b‧‧‧內側螺釘

17a‧‧‧滑動面

17b‧‧‧密封件

17c、22b‧‧‧溝

17d、22c、22d、31a、31c、31d‧‧‧貫通孔

22a、23c‧‧‧座面

22e‧‧‧排出孔

22f‧‧‧扇狀部分

51b‧‧‧滑動子

51c‧‧‧爪

51d‧‧‧內螺紋孔

53a‧‧‧凹陷構造

53b‧‧‧閉鎖凹口

61a‧‧‧操作端

61b‧‧‧軸部

61c‧‧‧頭部

62a‧‧‧滑動面

圖1表示的是實施方式1的卡盤，其中，圖1A是其剖面圖，圖1B是一部分變更後的剖面圖。

圖2是實施方式1的卡盤的立體圖。

圖3是實施方式1的卡盤的局部放大圖，圖3A是安裝圖，圖3B是分解圖。

圖4表示表示實施方式2的卡盤的圖，其中，圖4A是立體圖，圖4B是剖面圖。

圖5是實施方式2的卡盤的一部分的分解圖。

圖6是實施方式2的卡盤的一部分的分解圖，其中，圖6A表示了前面主體、柱塞、以及夾爪，圖6B表示前面主體的背面。

圖7說明進行把持精度的校正的結構的圖，其中，圖7A是沿X-X線的剖面圖，圖7B是為了說明原理的圖。

圖8是表示實施方式3的卡盤的圖，其中，圖8A是立體圖，圖8B是剖面圖，圖8C是前面主體的背面圖，圖8D是調整子的立體圖。

圖9是表示實施方式4的卡盤的圖，其中，圖9A是立體圖，圖9B是沿Y1-Y1線的剖面圖，圖9C是表示調整螺絲的圖，圖9D是沿Y2-Y2線的剖面圖。

實施方式1

參考圖1A的卡盤100的斷面和圖2的立體圖，卡盤100具備在主體1的前方(圖中的右側方向)的面上朝徑向移動的3個夾爪4。主體1由背面主體2和圓筒狀的前面主體3組成。通過工作機械的錠子(spindle)(在圖1中，配置在背面主體2的左側)，背面主體2以卡盤100的軸線C(在圖中虛線表示)作為軸心(卡盤的旋轉中心)旋轉。前面主體3通過彈簧9被按壓在相對於背面主體2在軸線C的長度方向上。另一方面，在與Z方向(以圖中的右側方向為前方的軸線C的長度方向)垂直的平面(圖中，為相對於軸線C的徑方向，或者為圖2的X、Y方向)上，在前面主體3的領邊部3c與背面主體2的側面之間設置微小間隙，以使前面主體3能夠相對於背面主體2微小移動。在主體1內，插入在軸線C上前後移動的柱塞8。此外，在主體1上設置由前面主體3的滑動槽3a引導而朝徑方向滑動的主夾爪6，且柱塞8與主夾爪6卡合成具有楔塞作用(wedge action)。若通過氣缸50的推力F引入柱塞8，則通過柱塞8和主夾爪6的楔塞作用，使主夾爪6朝徑方向滑動。

導杆7位於從背面主體2的多個位置朝向前面主體3與Z方向平行地豎立設置。導杆7由具有被滑動環7b插入的溝的擴大部7a、胴體軸部7c、以及螺絲軸部7d構成，在胴體軸部7c與螺絲軸部7d之間具備階梯部7e。在前面主體3設置有多個導孔5。導孔5是由接受擴大部7a的接受面部5a、與此相連的通孔部5b、以及在接受面部5a與通孔部5b之間的階梯部5c構成。在導杆7的擴大部7a與階梯部5c之間安裝彈簧9。彈簧9是將前面主體3壓靠在背面主體2的施力裝置。螺絲軸部7d通過背面主體2的通孔2b，相對於工作機械的錠子的緊固孔直接地螺合，或者相對於固定在錠子上的後板螺合，並通過階梯部7e使導杆7將背面主體2牢靠地固定在錠子上。由於前面主體3通過彈簧9被按壓在背面主體2上，因此可以維持背面主體2與前面主體3的相對位置，但在對卡盤100施加工件的車削負載的狀態下，並不能保證維持背面主體2與前面主體3的相對位置。此外，多個螺栓11通過利用前面主體3的通孔15與背面主體2的固定孔2a螺合，從而使前面主體3在背面主體2的多個位置成為緊固的狀態。從前面主體3的周面部3b，朝向各個導孔5穿孔形成調整螺絲孔12，且調整螺絲孔12與通孔部5b貫通。在調整螺絲孔12上螺合調整螺栓13。

圖3是表示調整螺栓13細節的卡盤100的局部擴大圖。調整螺栓13是雙重的。也就是說，調整螺栓13具有外側螺釘13a、以及配置在外側螺釘13a的內側的內側螺釘13b。外側螺釘13a和內側螺釘13b均為右螺釘。此外，內側螺釘13b的螺距比外側螺釘13a的螺距略小。調整螺絲孔12的裡側的側面為平面12a，且與設置在內側螺釘13b的前部的側面的平面13c 對向，以阻止內側螺釘13b的旋轉。當順時針旋轉外側螺釘13a一圈時，內側螺釘13b僅前進螺距的差值的距離。內側螺釘13b的前端與存在於通孔部5b內的導杆7的胴體軸部7c抵接。這樣，由於內側螺釘13b的螺距比外側螺釘13a的螺距小，因此當旋轉外側螺釘13a時，內側螺釘13b的軸方向的移動距離比外側螺釘13a的軸方向的移動距離小。因此，調整螺栓13可以微小地調整導杆7的位置。

接下來，對卡盤100的把持精度的校正方法所涉及的校正步驟進行說明。首先，鬆開螺合於固定孔2a的螺栓11。當導杆7將背面主體2緊固在錠子上，因此可以相對於軸線C維持背面主體2的位置和姿態。此外，即使是在鬆開螺栓11的狀態下，前面主體3也不會脫落或傾斜，彈簧9將前面主體3按壓在背面主體2上。3個調整螺栓13配置在前面主體3上，使得導杆7的側面形成從三個方向被按壓的方式。

首先，將工件把持在夾爪4上，以使所述工件的芯位於軸線C上的位置的方式將3個調整螺栓13彼此推拉，從而使前面主體3在以軸線C為中心的徑方向(相對於Z方向垂直的平面內)上移動。在這種狀態下，當擰緊螺栓11後，前面主體3被以形成正確的把持精度的位置固定在背面主體2上，從而能夠進行卡盤100的把持精度的校正。此外，在完全鬆開調整螺栓13的狀態下，通過在面主體3的周面部3b用無反作用的錘子進行敲擊，從而使前面主體3在以軸線C為中心的徑方向上移動，以將工件的芯維持在軸線C上的位置，最終得以校正把持精度。前面主體3沿著背 面主體2的端面平行移動。這時，由於前面主體3是利用彈簧9而被按壓在背面主體2上的，因此不會相對於背面主體2傾斜。隨後，擰緊螺栓11。根據本實施方式，工件的芯配置在軸線C上，通過使前面主體3在以軸線C為中心的徑方向上移動，從而能能夠確保把持精度。在上述實施方式中，雖然做成利用3個調整螺栓13將導杆7的側面從三方按壓的形式，但也可以如圖1B所示的，從前面主體3的領邊部3c朝向背面主體2的側面配置成相等角度間隔的3個調整螺栓13’並進行按壓(在圖面中僅示出了1個位置)，將前面主體3相對於軸線C在徑方向上移動，以使工件的芯配置在軸線C上。應當指出，通過移動前面主體的動作，即可以在實際上將工件把持在夾爪上的狀態下進行，也可以測定將工件把持在夾爪上時的工件的擺動之後，取下工件再進一步基於測得的擺動來將工件的芯配置在軸線C上。此外，在該實施方式中，雖然例示了將柱塞8與主夾爪6卡合形成楔塞作用的方式的卡盤，但也適用於在其他形態下的使主夾爪移動的卡盤。例如，可以適用於在日本專利特開平成6-277910號公報中所公開的杆式卡盤。此外，還同樣適用於諸如主夾爪6不直接與柱塞8卡合，在其與柱塞8之間的其他構件，諸如通過楔形狀的增力機構等驅動主夾爪6的類型的卡盤。

實施方式2．

圖4表示的是實施方式2所涉及的卡盤200，其中，圖4A是卡盤200的立體圖，圖4B是剖面圖。卡盤200具備在主體20的前方(圖中的右側方向)的面上的在徑方向上移動的3個夾爪24。主體20由背面主體22和 圓筒狀的前面主體23構成。通過工作機械的錠子(在圖4B中，配置在背面主體22的左側)，背面主體22以卡盤200的軸線C為軸心旋轉。前面主體23是相對於背面主體22在軸線C上可以稍微移動的。在主體20內部插入在軸線C上移動的柱塞28，在前面主體23上設置滑動槽23a朝徑方向滑動的主夾爪26，柱塞28和主夾爪26卡合成具有楔塞作用。當利用氣缸50的推力F引入柱塞28時，由於對主夾爪26的楔塞作用，主夾爪26朝徑方向滑動。這時，前面主體23受到使軸線C移動的力。夾爪24一對一地固定在主夾爪26上從而把持工件。

在背面主體22與前面主體23之間設置有由板狀構件形成的阻尼器31。有關於固定兩者的詳細內容將在後面敘述。相等角度間隔的多個導杆17(在該實施方式中為3個)通過螺栓16夾持阻尼器31緊固到背面主體22上。

圖5是背面主體22和阻尼器31的立體圖。背面主體22間隔相等角度地具有座面22a(第1座面)。座面22a安裝有阻尼器31，且穿孔形成大小貫通孔22c、22d。貫通孔22d用於在座面22a上固定導杆17。相鄰的座面22a之間的扇狀的部分向後方(圖中的左側方向)後退(以下，稱其為扇狀部分22f)以確保空間，該空間允許以橋接方式跨越扇狀部分22f的上方並越過相鄰的座面22a的阻尼器31向後方彈性變形。在各個扇狀部分22f設置有溝22b。在溝22b中，於其長度方向上設置有調整螺絲41。調整螺絲41可以從背面主體22的外周側旋轉。在調整螺絲41上螺合滑動子 42，通過旋轉調整螺絲41而移動。溝22b的位置為與夾爪24的後方的相同角度的位置(以軸線C為中心)，座面22a的位置變為與導杆17的後方的相同角度的位置(以軸線C為中心)。

阻尼器31具有環形狀。貫通孔31c、31d大小各一地排列在徑方向上，且配置成相等角度間隔。此外，在其之間以相等角度間隔地配置1個貫通孔31a。貫通孔31c、31d與貫通孔22c、22d對應。貫通孔31a用來將前面主體23固定在阻尼器31上。

圖6A是前面主體23、柱塞28、主夾爪26、以及導杆17的立體圖。圖6B表示的是前面主體23的背面。當柱塞28和主夾爪26相對於前面主體23向後方拉動柱塞28時，由於楔塞作用主夾爪26在徑方向移動。多個導杆17(在該示例中為3個)在頭部的側面上具有滑動面17a，並設置收容環狀密封件17b的溝。附圖標記17c表示主體部，該主體部的端部抵接在阻尼器31上。

在前面主體23上，相等角度間隔地設置有多個導孔23b(在該示例中為3個)，且收容有導杆17。沿著導杆17的滑動面17a，導孔23b的前方一側的內周面形成可以讓前面主體23在軸線C上滑動的滑動面23d。導杆17的中央的貫通孔17d，相對於未圖示的工作機械的錠子直接地、或者相對於固定在錠子上的後板，收容固定導杆17的螺栓16。為了使導杆17在滑動面23d上滑動，需要在滑動面17a與滑動面23d之間需要至少非常小 的空間，並且在這個非常小的空間範圍內可以相對於軸線C傾斜地移動前面主體23。

在圖6B中，於前面主體23的背面以相等角度間隔地設置3個座面23c(第2座面)。座面23c為主夾爪26的背後，且與背面主體22的座面22a的個數相同地設置在3處(主夾爪26的個數也是3個)。與同一圓周上的其他位置23f相比，座面23c朝後方側(在圖6B中為紙面的前側)方向突出。這是為了確保用於允許平面狀的阻尼器31在座面23c以外的位置處變形的空間。在座面23c上通過阻尼器31的貫通孔31a設置與螺栓36(第2螺栓)緊固的孔23e。

參照圖4、圖5以及圖6，阻尼器31在貫通孔31a的位置處，將螺栓36插入到該貫通孔31a中，並用螺栓36緊固到前面主體23的座面23c上。螺栓36的頭部以一定餘量容納在設置於背面主體22上的排出孔22e中。在位於隔著孔31a的兩端側的貫通孔31c、31d的位置上，將螺栓29插入到貫通孔31d中，並且將螺栓16插入到貫通孔31c中，通過未圖示的工作機械的錠子或在背面主體22的座面22a上利用螺栓29和螺栓16(第1螺栓)將阻尼器31緊固。更進一步地，通過螺栓16(第2螺栓)將導杆17緊固在座面22a上。

由於阻尼器31是環狀的(參照圖5)，因此背面主體22、前面主體23、背面主體22、前面主體23依次交替地固定在沿圓周方向盤旋的圓周上。 由此，阻尼器31以跨越的方式被配置在隔著間隔地設置的座面22a之間，並且通過螺栓16阻尼器31緊固到相應的座面22a。相鄰的座面22a之間的阻尼器31由螺栓36緊固在前面主體23的座面23c。在該實施方式中，阻尼器31被相鄰的座面22a橋接的位置為3處，但也可以是3處以上。

參照圖4B說明固定狀態。首先，背面主體22通過螺栓16(隔著導杆17)緊固在錠子或者後板上。阻尼器31通過螺栓29夾持緊固在背面主體22和導杆17。前面主體23通過螺栓36緊固阻尼器31上。由此，前面主體23被間接地緊固在錠子上。由於阻尼器31處於通過各個螺栓16、29、36被緊固的狀態，在以軸線C為中心的徑方向上沒有晃動，因此僅允許在軸線C方向(包含如後面將要提及的相對於軸線C稍微傾斜)上相對於背面主體22的前面主體23的搖動。由於阻尼器31是薄的，因此在與軸線C平行的方向上剛性低容易彎曲。但是，阻尼器31的厚度不容易影響以軸線C為中心的徑方向的變形(變位)。也就是說，在以軸線C為中心的徑方向上的阻尼器31的剛性比在與軸線C平行的方向上的阻尼器31的剛性高。因此，雖然阻尼器31在與軸線C平行的方向上容易變形(變位)，但阻尼器31在以軸線C為中心的徑方向不容易變形(變位)。

圖7是說明通過卡盤200進行把持精度的校正的結構的圖。圖7A是表示在圖4A中的沿X-X截面的圖。沿X-X線的剖面圖指的是沿著溝22b切斷後從背面主體22的外周側看的圖。相鄰的座面22a之間，阻尼器31支撐來自於1個座面23c的荷重。當通過氣缸50的推力F，施加讓前面 主體23在軸線C上移動的力，阻尼器31向扇狀部分22f的空間內變形。調整螺絲41可以從背面主體22的外周面旋轉。通過使調整螺絲41旋轉，來改變滑動子42的位置。其結果是：能夠通過讓阻尼器31變更與滑動子42接觸的位置，從而使阻尼器31的彈簧係數任意變化。應當指出，滑動子42的背面側與背面主體22接觸，且來自阻尼器31的壓縮力轉移到背面主體22。

圖7B~圖7D示意性地表示了在3個座面23c的位置上的阻尼器31的狀態的變位。圖7B是滑動子42靠近中央(座面23c的固定位置)的狀態，圖7C、圖7D是從中央離開的狀態。通過氣缸50的推力F，當施加使前面主體23在軸線C上移動的力後，阻尼器31向扇狀部分22f的空間內變形。滑動子42，由於滑動子42的背面是由背面主體22輔助的，因此在圖7B中的阻尼器31變形的長度短，而在圖7C、圖7D中長度變長。由此，阻尼器31在座面23c的固定位置上能夠改變彈簧係數。

接下來，對卡盤200的把持精度的校正方法所涉及的校正步驟進行說明。

首先，當施加氣缸50的推力F後，來自前面主體的力使阻尼器31彈性變形，從而前面主體23被拉拽向左側方向。由於螺栓16是隔著導杆17將背面主體22緊固在錠子上，因此能夠維持背面主體22在Z方向的姿態。3處滑動子42的位置逐漸通過調整螺絲41控制。當阻尼器31的彈簧係數變小時變形量變大，則即使是在同一氣缸50的推力下，前面主體23在 軸線C上移動的距離會變大。另一方面，當彈簧係數變大時變形量變小，則即使是在同一氣缸50的推力下，前面主體23在軸線C上移動的距離變小。因此，3處的滑動子42的位置逐漸通過調整螺絲41交替地改變，如圖4A的箭頭Q所示，可以將前面主體23在圍繞軸線C360度的方向上稍微傾斜。工件的芯以朝向中心的方式，通過調整螺絲41、滑動子42，與阻尼器31的變形量有差異地使前面主體23微小傾斜。由此，可以調整工件的芯。這樣，可以在將工件實際上被把持在夾爪24的工件把持面時的工件的芯與軸線C一致，從而利用調整螺絲41進行極細微的調整。在本實施方式中，雖然將滑動子42的位置設定成相等角度間隔的方式，但只要是使得軸線C進入到由至少3個滑動子42連結而成的直線所圍繞的圖形中的位置關係即可。根據本實施方式，在夾爪24上保持工件時的工件的芯配置在軸線C上，通過將前面主體23向軸線C傾斜，從而無須對夾爪24施加成形就能夠確保把持精度。應當指出，使前面主體傾斜的動作，也可以是實際上在夾爪上保持的同時進行的，或者也可以是測定工件保持在夾爪上的狀態下的工件的擺動後，取下工件再進行。

實施方式3．

在圖8中表示實施方式3的卡盤300。有關於與實施方式1、2相同的結構被賦予同一引用符號。在實施方式2中，通過使調整螺絲41從背面主體22的外周面旋轉，改變滑動子42的位置以使阻尼器31的彈簧係數變化。在實施方式3中，通過從前面主體43的前面側(圖8A的右側)操作調整子51，改變滑動子51b的位置以使阻尼器45的彈簧係數變化。

在圖8A中，設置有多個(在該實施方式中為3個)維護孔56，該維護孔56設置成在前面主體43的前面側相等角度間隔。維護孔56通常是在密封螺栓52螺合在調整子51的內螺紋孔51d的情況下為被密封的狀態。在圖8B中，當從維護孔56取出密封螺栓52後，調整子51的操作端會出現。密封螺栓52防止切削粉末進入。操作端是用於接受六角扳手55的凹槽，能夠旋轉操作位於前面主體43和阻尼器45之間的調整子51。內螺紋孔51d設置在操作端的內側。調整子51貫通前面主體43且與阻尼器45正對。如圖8D所示，調整子51在與阻尼器45正對的一側具有滑動子51b，在阻尼器45變形的過程中，滑動子51b與阻尼器45接觸。在前面主體43側，設置用來使滑動子51b搖動的凹陷構造53a。當旋轉操作調整子51時，滑動子51b與阻尼器45接觸的位置改變，從而能夠使阻尼器45的彈簧係數變化。應當指出，滑動子51b的背面側與前面主體43接觸，從而來自於阻尼器45的按壓力轉移到前面主體43上。

在凹陷構造53a側相等角度間隔地設置閉鎖凹口53b，以使調整子51的旋轉角度可以離散地改變，並且在調整子51上設置相對於閉鎖凹口53b彈性地進退的爪51c。然後，在利用六角扳手55調整調整子51的旋轉角度後，能夠通過擰緊密封螺栓5來固定調整子51。此外，在上述實施方式中，雖然是通過擰緊密封螺栓52來固定調整子51，但作為固定調整子51的其他實施方式，也可以設置由前面主體43的側面至調整子51的側面的內螺紋孔，並通過將螺栓擰入該內螺紋孔中的方式進行固定。

根據實施方式3具有如下效果：可以在大多數工作機械上露出的前面主體43的前面側改變滑動子51b的位置，從而改變阻尼器45的彈簧係數；此外，比起在如實施方式2所述的背面主體22上設置調整螺絲41和滑動子42的方式，部件的數量變少，從而能夠減低成本。

實施方式4．

實施方式4的卡盤400如圖9所示。實施方式4是實施方式1的變形例。在實施方式1中，利用多個調整螺栓13，通過將背面主體2的側面或者插入到前面主體3的各個導孔中的導杆7的側面從前面主體3的側面按壓，使前面主體3在以軸線C為中心的徑方向上移動。與此相比，在實施方式4中，是通過從前面主體63的前面側操作調整螺絲61，以使前面主體63在以軸線C為中心的徑方向上移動。其中，與實施方式1中相同的結構被賦予同一引用符號。

調整螺絲61相對於卡盤400被相等角度間隔地設置多個(在該實施方式中為3個)，其操作端61a向前面主體63的前面側露出。操作端61a是接受六角扳手的凹槽，可以旋轉操作調整螺絲61。調整螺絲61在軸部61b具有螺絲，從而能夠在前面主體63中朝軸線C的方向進退。調整螺絲61的頭部61c為錐形狀，在設置於背面主體62側的傾斜狀的滑動面62a滑動。通過頭部61c在朝軸線C的方向進退，滑動滑動面62a，從而使前面主體63在以軸線C為中心的徑方向移動。

Claims (8)

1. 一種具備校正步驟的卡盤的校正方法，所述卡盤具備主體、柱塞、以及夾爪，所述主體具有背面主體、以及配置在該背面主體的前側的前面主體，所述柱塞設置在該主體內，且構成為所述主體的軸線上移動，所述夾爪構成為通過所述柱塞的移動而被引導在所述前面主體上移動，其移動方向是朝向以所述軸線為中心的徑方向，在所述校正步驟中，當使工件被把持在所述夾爪上時，相對於所述軸線維持所述背面主體的位置的同時，使所述前面主體在以所述軸線為中心的徑方向上移動，或者，相對於所述軸線維持所述背面主體的位置的同時，使所述前面主體相對於所述軸線傾斜。
2. 根據請求項1所述的校正方法，其中，所述卡盤具有從所述背面主體朝向所述前面主體設置的導杆，所述導杆插入到設置於所述前面主體的導孔。
3. 根據請求項1所述的方法，其中，所述卡盤具有將所述前面主體固定在所述背面主體上的螺栓，在所述螺栓鬆緩的狀態下使所述前面主體在所述徑方向上移動，並在移動結束的階段擰緊所述螺栓。
4. 根據請求項2所述的方法，其中，將所述前面主體按壓在所述背面主體上的施力手段安裝在所述導杆上。
5. 根據請求項2中所述的校正方法，其中， 通過將調整螺栓插入到所述前面主體中，將所述調整螺栓按壓在所述背面主體的側面或者所述導杆的側面，以使所述前面主體在所述徑方向移動。
6. 根據請求項3所述的校正方法，其中，在所述背面主體上設置有傾斜狀的滑動面，具有調整螺絲，該調整螺絲是通過從所述前面主體的前面側的旋轉操作能夠在所述前面主體中進退，且錐形狀的頭部滑動所述滑動面，通過使所述調整螺絲進退，錐形狀的頭部滑動所述滑動面，以使所述前面主體在所述徑方向上移動。
7. 根據請求項1~6中任一所述的校正方法，所述背面主體在間隔設置的第1座面之間以橋接的形狀配置有阻尼器，並通過第1螺栓相對於各個座面緊固所述阻尼器，所述前面主體相對於設置在其背面的第2座面，通過第2螺栓在所述第1座面之間緊固所述阻尼器，並且相對於以橋接相鄰的所述第1座面之間的形狀配置的所述阻尼器，設置改變所述阻尼器的變形長度的滑動子，在所述校正步驟中，當使工件被把持在所述夾爪上時，改變所述滑動子的位置從而使所述前面主體相對於所述軸線傾斜。
8. 根據請求項7所述的校正方法，將所述阻尼器以橋接的形狀配置的位置，以相等角度間隔，配置至少3處以上。