TW201736998A - 處理裝置，裝置管理控制器，及記錄媒體 - Google Patents

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Kazuhide Asai
Kazuyoshi Yamamoto
Hidemoto Hayashihara
Takayuki Kawagishi
Kayoko Yashiki
Yukio Miyata
Hiroyuki Iwakura
Masanori Okuno
Kenichi Fujimoto
Ryuichi Kaji
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Hitachi Int Electric Inc
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Abstract

容易掌握處理裝置是否能穩定運轉。提供一種裝置管理控制器，至少具有：監視構成裝置的構成部件狀態的部件管理控制部、監視從構成裝置的構成部件的作動狀態中得到的裝置資料的健全性的裝置狀態監視控制部、監視從工廠設備提供至裝置的設備資料的資料整合控制部；並基於：由部件管理控制部所取得的保守時期監視結果資料、由裝置狀態監視控制部所取得的裝置狀態監視結果資料、及由資料整合控制部所判定的用力監視結果資料所構成的群中所選擇的複數監視結果資料，來導出評價裝置的運用狀態的資訊。

Description

處理裝置，裝置管理控制器，及記錄媒體
本發明係有關於處理基板的基板處理裝置，例如，有關掌握在基板進行成膜處理的半導體製造裝置的運轉狀態者。
在半導體製造領域中，為了提升基板處理裝置的運轉率及生產效率，係以裝置製造商(半導體裝置的製造商)為主體進行裝置的資訊管理。作為基本的監視機構，一般使用以伺服器收集半導體製造裝置的資訊，由統計解析技術等檢出裝置異常的手段。
例如，在專利文獻1中，記載了管理資料的健全性的手法，在專利文獻2中，記載了有關於資料異常發生時的異常解析的技術，在專利文獻3中，記載了將構成基板處理裝置的部件保守管理的技術。其等為連接至基板處理裝置的管理裝置管理基板處理裝置的運轉狀態者。
但是，今後，隨著裝置的微細化的進行，裝 置的資料量有增加的傾向，並開始要求不增加裝置製造商的負擔，而在裝置側進行自我監視的生產管理。再來，在IoT(Internet of Things)強化時代，也開始要求在裝置側進行資料處理的技術。因此，需要有使裝置更加穩定運轉的對策。
[先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1] JP 5855841 B
[專利文獻2] JP 5546197 B
[專利文獻3] JP 3300816 B
本發明的目的係提供能表示基板處理裝置是否能穩定運轉的資訊。
根據本發明的一態樣，係提供一種裝置管理控制器，至少具有：監視構成裝置的構成部件狀態的部件管理控制部、監視從構成裝置的 構成部件的作動狀態中得到的裝置資料的健全性的裝置狀態監視控制部、監視從工廠設備提供至裝置的設備資料的資料整合控制部；並基於：由部件管理控制部所取得的保守時期監視結果資料、由裝置狀態監視控制部所取得的裝置狀態監視結果資料、及由資料整合控制部所判定的用力監視結果資料所構成的群中所選擇的複數監視結果資料，來導出評價裝置的運用狀態的資訊。
根據上述構成，可以提供能表示基板處理裝置是否能穩定運轉的資訊。
1‧‧‧基板處理裝置(處理)
201‧‧‧主控制器(操作部)
215‧‧‧裝置管理控制器
215b‧‧‧畫面顯示控制部
215c‧‧‧資料整合控制部
215d‧‧‧部件管理控制部
215e‧‧‧裝置狀態監視控制部
215h‧‧‧記憶部
227‧‧‧操作顯示部
[圖1]表示適用於本發明的一實施形態的基板處理裝置的斜視圖。
[圖2]表示適用於本發明的一實施形態的基板處理裝置的側剖面圖。
[圖3]表示適用於本發明的一實施形態的控制系統的機能構成的圖。
[圖4]表示適用於本發明的一實施形態的主控制器的機能構成的圖。
[圖5]表示適用於本發明的一實施形態的基板處理系統的構成的圖。
[圖6]說明適用於本發明的一實施形態的裝置管理控制器的機能構成的圖。
[圖7]說明關於本發明的一實施形態的彙整畫面顯示程式的處理流程的圖。
[圖8]表示有關本發明的一實施形態的裝置運用狀態的彙整畫面表示例的圖。
[圖9]表示有關本發明的一實施形態的裝置的運轉狀態的診斷方法項目清單的一圖示例。
[圖10]說明有關本發明的一實施形態的資料整合動作的圖。
[圖11]說明有關本發明的一實施形態的檔案匹配的顯示畫面的圖。
[圖12]有關本發明的一實施形態的檔案匹配的處理流程圖。
[圖13]有關本發明的一實施形態的保守部件管理的處理流程圖。
[圖14]表示有關本發明的一實施形態的狀態監視控制部的機能構成的圖。
[圖15]有關本發明的一實施形態的裝置狀態監視的處理流程圖。
[圖16]說明有關本發明的一實施形態的裝置狀態監視的圖。
[圖17]有關本發明的一實施形態的資料解析支援控制的處理流程圖。
[圖18]表示有關本發明的一實施形態的裝置運用狀態的彙整畫面表示例的圖。
[實施形態] (基板處理裝置的概要)
以下，參照附圖說明有關本發明的一實施形態。首先，在圖1、圖2中，說明有關本發明所實施的基板處理裝置(以下，有單稱為置的情形)1。
基板處理裝置1具備框體2，該框體2的正面壁3的下部開設有用以保養的正面口4，正面口4藉由正面門5來開關。
在框體2的正面壁3，盒搬入搬出口6以連通框體2內外的方式被開設，盒搬入搬出口6藉由前閘門7來開關，在盒搬入搬出口6的正面前方側設置有裝載埠8，裝載埠8以將載置的盒9定位的方式來構成。
盒9為密閉式的基板搬送容器，藉由圖未示 出的工程內搬送裝置來搬入至裝載埠8上，又，從裝載埠8上搬出。
在框體2內的前後方向的略中央部的上部，設置有旋轉式盒棚11，該旋轉式盒棚11以收納複數個盒9的方式構成。
旋轉式盒棚11具備：垂直立設且間歇旋轉的支柱12、在該支柱12的上中下段的各位置以放射狀被支持的複數段的棚板13。棚板13將盒9以複數個載置的狀態收納。
在旋轉式盒棚11的下方，設有盒開啟器14，該盒開啟器14將盒9載置，又具有可開閉該盒9蓋的構成。
在裝載埠8、旋轉式盒棚11、盒開啟器14之間，設置有盒搬送機構15。盒搬送機構15將盒9保持住並呈可升降，且在水平方向上可進退，在裝載埠8、旋轉式盒棚11、盒開啟器14之間以搬送盒9的方式構成。
在框體2內的前後方向的略中央部的下部，副框體16橫跨後端設置。在該副框體16的正面壁17，開設有用以將晶圓(之後，稱為基板)18對著副框體16內搬入搬出的晶圓搬入搬出口(基板搬入搬出口)19，該晶圓搬入搬出口(基板搬入搬出口)19以一對在上下2段並列開設。對各個基板搬入搬出口19設有盒開啟器 14。
盒開啟器14具備：載置盒9的載置台21、將盒9的蓋開關的開關機構22。盒開啟器14將載置於載置台21的盒9的蓋藉由開關機構22開關，來將盒9的晶圓出入口開關。
副框體16係由與配設盒搬送機構15及旋轉式盒棚11的空間(盒搬送空間)呈氣密的移載室23所構成。移載室23的前側區域設置有晶圓移載機構(基板移載機構)24，該基板移載機構24具備：載置基板18的所需枚數(圖示為5枚)的晶圓載置平板25。晶圓載置平板25在水平方向上可直動，在水平方向上可旋轉且可升降。基板移載機構24對晶舟(之後，也稱基板保持體)26以裝填及取出基板18的方式構成。
在移載室23的後側區域，構成收容晶舟26且使其待機的待機部27，在該待機部27的上方設有縱型的處理爐28。處理爐28在其內部形成處理室29，該處理室29的下端部成為爐口部，該爐口部藉由爐口閘門31來開關。
在框體2的右側端部與副框體16的待機部27的右側端部之間，設置有用以使晶舟26升降的晶舟升降機32。在連結晶舟升降機32的升降台的臂33，水平安裝有作為蓋體的密封蓋34。蓋體34將晶舟26垂直支持 住，將該晶舟26以裝入前述處理室29的狀態，使爐口部呈氣密地可閉塞。
晶舟26將複數枚(例如，50枚~125枚左右)晶圓18在其中心收集並以水平姿態多段保持。
在與晶舟升降機32側對向的位置，配設有清淨單元35。清淨單元35係由供應清淨度化的環境或墮性氣體即清淨氣體36的供應扇及防塵過濾器所構成。
從清淨單元35吹出的清淨氣體36在流通至晶圓移載機構24及晶舟26後，被圖未示出的導管所吸取，而向框體2外部排氣、或藉由清淨單元35吹出移載室23內。
接著，說明有關裝置1的作動。
盒9被供應至裝載埠8後，盒搬入搬出口6藉由前閘門7開放。裝載埠8上的盒9藉由盒搬送裝置15向框體2內部通過盒搬入搬出口6而搬入，並被載置至旋轉式盒棚11的被指定的棚板13。盒9在旋轉式盒棚11暫時保管後，藉由盒搬送裝置15從棚板13被搬送至任一方的盒開啟器14移載至載置台21、或從裝載埠8直接移載至載置台21。
此時，晶圓搬入搬出口19藉由開關機構22來關閉，在移載室23流通並充滿清淨氣體36。例如，藉由在移載室23充滿作為清淨氣體36的氮氣，將氧濃度設 定在20ppm以下，且遠比框體2內部(大氣環境)的盒搬送空間的氧濃度還低。
載置於載置台21的盒9，其開口側端面在被壓附至於副框體16的正面壁17的晶圓搬入搬出口19的開口緣邊部的同時，蓋被開關機構22打開，晶圓出入口被開放。
盒9藉由盒開啟器14開放後，基板18從盒9中被基板移載機構24取出，並移送至缺口對位裝置(圖未示)，在該缺口對位裝置將基板18整合後，基板移載機構24將基板18搬入至移載室23後方的待機部27，裝填於晶舟26。
在晶舟26將基板18受讓的基板移載機構24返回盒9，將下個基板18裝填至前述晶舟26。
在藉由於一方(上端或下段)的盒開啟器14的基板移載機構24來向基板18的晶舟26裝填的作業中，於另一方(下段或上段)的盒開啟器14，別的盒9從旋轉式盒棚11藉由盒搬送裝置15搬送並移載，另一方的盒開啟器14的盒9開放作業係同時進行。
經預先指定的枚數的基板18被裝填至晶舟26後，藉由爐口閘門31關閉的處理爐28的爐口部係藉由爐口閘門31開放。接著，晶舟26藉由晶舟升降機32而上升，被搬入處理室29。
於負載後，藉由密封蓋34將爐口部氣密閉塞。此外，在本實施形態中，在該時點(負載後)處理室29被執行置換成墮性氣體的淨化工程(預淨化工程)。
處理室29藉由氣體排氣機構(圖未示)來真空排氣至所期望的壓力(真空度)。又，處理室29藉由加熱器驅動部(圖未示)來加熱至預定溫度為止成為所期望的溫度分佈。又，藉由氣體供應機構(圖未示)，被控制成預定流量的處理氣體係供應至處理室29。
被供應至處理室29的處理氣體，與基板18的表面接觸，在基板18的表面上實施預定的處理。再來，反應後的處理氣體被氣體排氣機構從處理室29排氣。
經過預先設定的處理時間後，藉由氣體供應機構從墮性氣體供給源(圖未示)供應墮性氣體，在處理室29內被置換成墮性氣體的同時，處理室29的壓力恢復至常壓(後淨化工程)。接著，晶舟26藉由晶舟升降機32通過蓋體34而降下。
關於處理後基板18的搬出，以上述說明相反的順序，基板18及盒9被取出至框體2的外部。未處理的基板18再被裝填至前述晶舟26，重覆基板18的分批處理。
(控制系統200的機能構成)
接著，參照圖3，說明有關以作為操作部的主控制器201為中心的控制系統200的機能構成。如圖3所示，控制系統200具備：操作部201、作為搬送控制部的搬送系統控制器211、作為處理控制部的製程系統控制器212、作為資料監視部的裝置管理控制器215。在本實施形態中，控制系統200被收容於裝置1內。
因為操作部201例如藉由100BASE-T等的LAN回線，來與搬送控制部211及處理控制部212電連接，故能夠進行各裝置資料的發送接收及各檔案的上傳及下載等。
其中，所謂的裝置資料係指裝置1在運轉狀態時所產生的資料，例如，裝置1在處理基板18時，藉由使各構成部件動作所產生的資料。例如，可以是裝置1在處理基板18時的處理溫度、處理壓力、處理氣體的流量等與基板處理有關的資料(監視器資料)、例如，與成膜的膜厚、及該膜厚的累積值等的製造的製品基板的品質有關的資料(製程資料)、或與石英反應管、加熱器、閥門、MFC等裝置1的構成部件有關的資料(部件部件)等的資料。
此外，在本實施形態中，電力、水、氣體流量、排氣裝置等從顧客工廠提供至裝置1的資料(設備資 料)也包含於裝置資料中。此外，與製程處配方在執行中的警告監視有關的資料(警告產生資訊資料)、與未執行製程配方期間的保養資訊(事件資料)、與異常解析有關的資料(異常解析資料)等的障害資訊資料係包含於裝置資料中。
在操作部201設有作為外部記憶裝置的記錄媒體(例如USB記憶體等)所插脫的作為裝設部的端口。在操作部201，對應該端口的操作系統(OS)被安裝。此外，在操作部201，外部上位電腦及管理裝置例如通過通信網路來連接。因此，即便是裝置1被設置於清淨室內的情形，上位電腦也可以配置於清淨室外的事務所等。此外，管理裝置與裝置1藉由LAN回線來連接，具有從操作部201收集裝置資料的機能。
裝置管理控制器215與操作部201藉由LAN回線連接，收集來自操作部201的裝置資料，基於加工裝置資料而作成的資料，導出表示裝置的運用狀態的指標。此外，有關裝置管理控制器215於後詳述。
搬送控制部211係連接至主要由旋轉式盒棚11、晶舟升降機32、盒搬送裝置15、基板移載機構24、晶舟26及旋轉機構(圖未示)所構成的基板搬送系統211A，且能控制之。特別是，搬送控制部211藉由動作控制器211a來分別控制升降機32、盒搬送裝置15、基板移 載機構24的搬送動作。
處理控制部212具備：溫度控制器212a、壓力控制器212b、氣體流量控制器212c、序列器212d。該等溫度控制器212a、壓力控制器212b、氣體流量控制器212c、序列器212d係構成副控制器，因為與處理控制部212電連接，能進行各裝置資料的發送接收及各檔案的下載及上傳等。此外，處理控制部212與副控制器雖以獨立體圖示，但也可以由一體所構成。
在溫度控制器212a連接有藉由加熱器及溫度感測器等所構成的加熱機構212A。溫度控制器212a藉由控制處理爐28的加熱器溫度，來調節處理爐28內的溫度。此外，溫度控制器212a在控制閘流器的同時，控制供應至加熱器母線的電力。
在壓力控制器212b連接有藉由壓力感測器、作為壓力閥門的APC閥門及真空泵所構成的氣體排氣機構212B。在壓力控制器212b基於壓力感測器所檢測的壓力值，控制APC閥門的開度及真空泵的動作，以使處理室29內的壓力在所期望的時點成為所期望的壓力。
氣體流量控制器212c藉由MFC(MASS Flow Controller)所構成。序列器212d由使閥門212D開關來控制來自處理氣體供給管及淨化氣體供給管的氣體的供應或停止。此外，處理控制部212控制MFC212c、序列器 212d，以使供應至處理室29內的氣體流量在所期望的時點成為所期望的流量。
此外，關於本實施形態的操作部201、搬送控制部211、處理控制部212、裝置管理控制器215，不必是專用的系統，利用通常的電腦系統也能實現。例如，能夠在泛用電腦中，藉由從儲存用以執行上述處理的程式的記錄媒體(USB記憶體等)來安裝該當程式，來構成執行預定處理的各控制器。
因此，用以供應該等程式的手段係任意的。除了能通過如上所述的預定記錄媒體來供應以外，例如，通過：通信回線、通信網路、通信系統等來供應也行。此時，例如，在通信網路的揭示板揭示該程式，將該程式通過網路與搬送波重疊提供也可以。接著，啟動該種方式提供的程式，在OS控制下，與其他應用程式作一樣的執行，來執行預定的處理。
(主控制器(操作部)201的構成)
接著，一邊參照圖4一邊說明操作部201的構成。
操作部201包含：主控控制部220、作為主控記憶部的硬碟222、包含顯示各種資訊的顯示部及接受來自操作者的各種指示的操作部的操作顯示部227、與裝置1內外通信的作為主控通信部的發送接收模組228。此 外，操作者除了裝置操作者以外，也包含：裝置管理者、裝置工程師、保守員、作業者。主控控制部220包含：作為處理部的CPU(中央處理裝置)224、及作為暫時記憶部的記憶體(RAM、ROM等)226，作為具備時鐘機能(圖未示)的電腦而構成。
硬碟222係儲存有：定義基板處理條件及處理順序的配方等的各配方檔案、用以使該等各配方檔案執行的控制程式檔案、定義用以執行配方的參數的參數檔案，此外，除了錯誤處理程式檔案及錯誤處理的參數檔案以外，也儲存有：包含輸入製程參數的輸入畫面的各種畫面檔案、各種圖像檔案等(圖都未示)的檔案。
在作為顯示裝置的操作顯示部227，顯示有用以操作裝置1的操作畫面。操作顯示部227的操作畫面，例如是使用液晶的觸控面板。此外，操作顯示部227也可以包含液晶顯示器等的顯示部及鍵盤及滑鼠等裝置的使用者介面部等。
操作顯示部227包含操作部及顯示部。在操作顯示部227的操作畫面，可以設置：作為向基板搬送系統211A及基板處理系統(加熱機構212A、氣體排氣機構212B、及氣體供應系統212C)輸入動作指示的輸入部的各操作按鍵。
操作顯示部227接受來自操作畫面的作業者 的輸入指示，將被輸入的指示資料發送至操作部201。此外，操作顯示部227係接受被記憶體226等所展開的配方、或使儲存於主控記憶部222的複數配方中任意的基板處理配方(也稱為製程配方)等的檔案執行的指示，發送至主控控制部220。
主控通信部228係連接交換式集線器等，與操作部201與外部電腦及裝置1內的其他控制器等進行資料的發送接收。此外，操作部201，通過圖未示出的網路對外部的上位電腦，例如，對主電腦發送裝置1的狀態等的裝置資料。
(基板處理方法)
接著，說明利用有關本實施形態的裝置1所實施的具有預定處理工程的基板處理方法。在此，預定的處理工程，係舉出實施半導體裝置製造工程的一工程即基板處理工程(在這裡是成膜工程)的情形的例子。
在基板處理工程的實施中，對應實施的基板處理的基板處理配方(製程配方)，例如，從操作部201被下載至處理控制部212內的RAM等記憶體。藉此，在配方執行中，操作部201可以向處理控制部212及搬送控制部211賦予動作指示。此外，基板處理工程至少具有：搬入工程、成膜工程、搬出工程、回收工程。此外，基板 處理工程含有移載工程(可以包含向裝置1的基板投入工程)也可以。
(移載工程)
從操作部201對搬送控制部211發出基板移載機構24的驅動指示。接著，在依循來自搬送控制部211的指示的同時，基板移載機構24開始從作為載置台的收受載台21上的盒9向晶舟26進行基板18的移載處理。該移載處理進行至預定的所有基板18的向晶舟26的裝填結束為止。
(搬入工程)
基板18的向晶舟26的裝填終了後，藉由依循來自搬送控制部211的指示而動作的晶舟升降機32，以保持住基板18的狀態使晶舟26上升。晶舟26被裝入形成於處理爐28內的處理室29。晶舟26被完全裝入後，蓋體34將設於處理爐28下部的作為爐口突緣的歧管的下端氣密閉塞。
(成膜工程)
為了使處理室29的壓力成為預定的成膜壓力(真空度)，依循來自壓力控制部212b的指示，並基於壓力感 測器所測定的壓力資訊，回饋控制壓力調整裝置。此外，為了使處理室29的溫度成為預定的溫度(成膜溫度)，依循來自溫度控制部212a的指示，並基於作為溫度檢出器的溫度感測器所檢出的溫度資訊，回饋控制向加熱器的通電狀況。
接著，在依循來自搬送控制部211的指示的同時，開始旋轉機構所引起的晶舟26及基板18的旋轉。接著，在維持預定壓力、預定溫度的狀態下，對保持於晶舟26的複數枚基板18供應預定的氣體(處理氣體)，對基板18進行預定的處理(例如成膜處理)。
(搬出工程)
在結束對載置於晶舟26的基板18的成膜工程後，依循來自搬送控制部211的指示，之後，使旋轉機構所引起的晶舟26及基板18的旋轉停止，藉由晶舟升降機32使蓋體34下降，並使歧管的下端開口，同時將保持處理完的基板18的晶舟26搬出至處理爐28外部。
(回收工程)
保持住處理完的基板18的晶舟26，藉由從清淨單元35吹出的清淨氣體36來極有效地冷卻。接著，例如冷卻至150℃以下後，從晶舟26將處理完的基板18脫裝，並 移載至盒9後，進行新的未處理的基板18的向晶舟26的移載。
藉由執行製程配方，並重覆以上各工程，有關本實施形態的裝置1，例如，能夠使向基板18上的膜形成以高產率進行。
(基板處理系統的構成)
圖5表示用於本實施形態的基板處理系統的構成的圖。如圖5所示，在該基板處理系統中，主裝置1(0)與重複裝置1(1)~1(6)藉由網路來連結。在圖5的例中，重複裝置1雖為裝置1(1)~1(6)的6台，但並不限於6台。
主裝置1(0)為具有標準裝置資料及檔案基板處理裝置(裝置)。主裝置1(0)及重複裝置係作為與裝置有同樣的硬體構成，具有裝置管理控制器215。主裝置1(0)，例如，係使裝置資料適正地調整的裝置1的初號機。重複裝置，例如，為第2台以後的裝置1，將主裝置1(0)所具有的裝置資料及檔案的複製件，通過網路從主裝置1(0)接收，並分別記憶至各重複裝置的記憶部。
在本實施形態中，將裝置管理控制器215設置於裝置1內。此外，藉由將分別設置於主裝置1(0)及各裝置1的裝置管理控制器215之間藉由網路來連結，各裝置1能夠共有主裝置的裝置資料及檔案。此外，因為各裝 置1能夠共有主裝置1(0)的裝置資料及檔案，能夠輕易進行檔案匹配、異常要因解析及裝置狀態監視等。
藉此，各裝置1能夠監視裝置1的穩定運轉的可能運用狀態。也就是說，能監視裝置1是否能夠正常地持續運轉狀態、或者是否接近故障狀態等。
檔案匹配指的是裝置1將該裝置1的各種資訊整合至主裝置1(0)的各種資訊，具體來說，將主裝置1(0)的檔案複製、或與主裝置1(0)的檔案作比較、對照。此外，檔案匹配並不需要在裝置資料的複製件使用USB記憶體，具有裝置製造商的保守員能容易地進行作業的優點。
(裝置管理控制器215的機能構成)
圖6為說明用於本實施形態的裝置管理控制器的機能構成的圖。檢查裝置1的健康狀態(裝置綜合運用狀態)的作為健康檢查控制器的裝置管理控制器215，係導出評價裝置1的各種運用狀態的資訊(例如，從監視裝置1與主裝置1(0)之間的裝置資料的整合狀態、裝置1的裝置資料的經時變化量、構成裝置1的部件的劣化狀態、裝置1的障害發生狀況等所得到的結果顯示的資料中的至少一個以上，而導出的成為裝置1的安定運轉的指標資訊)。
裝置管理控制器215係進行評價裝置1的綜 合運用狀態的資訊的定量化，例如，可以一眼掌握在後述裝置1的運用狀態的彙整畫面(圖8、圖18)等而顯示，此外，基於將評價裝置1的綜合運用狀態的資訊定量化的數值，監視裝置1的運轉狀態，當無法穩定運轉、或可能無法穩定運轉時，發出警報(例如，警報音的鳴動或顯示等)也可以。
此外，裝置管理控制器215，係將導出裝置1的安定運轉指標所必要的後述4個機能(資料整合、部件管理、裝置狀態監視、資料解析支援)，在裝置1的操作顯示部227操作。
如圖6所示，裝置管理控制器215具備：由畫面顯示部215a、畫面顯示控制部215b、資料整合控制部215c、部件管理控制部215d、裝置狀態監視控制部215e、資料解析控制部215f所組成的群中選擇的複數控制部、在與操作部201之間進行該裝置1的裝置資料的發送接收的通信部215g、至少記憶有裝置資料的記憶部215h。此外，在本實施形態中，雖將4個機能(資料整合、部件管理、裝置狀態監視、資料解析支援)在各別的控制部執行，但由一個控制部包含所有的機能也可以。此外，在本實施形態中，並不限於4個機能，具有複數機能也可以。
裝置管理控制器215具有：由由判定從工廠 設備供應的設備資料妥當性的資料整合控制部215c、監視構成裝置的構成部件狀態的部件資料的劣化及消耗程度的部件管理控制部215d、監視從構成裝置的構成部件的作動狀態所得到的裝置資料的健全性的裝置狀態監視控制部215e、監視裝置的障害資訊的產生狀況的資料解析控制部215f所構成的群中所選擇的複數控制部。
此外，裝置管理控制器215，係基於由部件管理控制部215d所取得的保守時期監視結果資料及由裝置狀態監視控制部215e所取得的裝置狀態監視結果資料及由資料整合控制部215c所判定的用力監視結果資料所構成的群中所選擇的複數監視結果資料，來導出評價裝置的運用狀態的資訊。此外，也可以利用主控記憶部222或暫時記憶部226來取代記憶部215h。
此外，如同上述，監視結果資料包含：顯示比較預先指定的裝置資料與對應該裝置資料的標準資料的結果的資料的裝置狀態監視結果資料、顯示對照裝置所保有的設備資料與成為該設備資料基準的基準資料的結果的資料的用力監視結果資料、比較在裝置資料中顯示構成部件狀態的部件資料與顯示保守時期的閾值資料的結果的資料的保守時期監視結果資料、表示在某預定的期間內障害資訊資料的產生頻度的障害資訊監視結果資料。此外，也有將該等監視結果資料的總稱單稱為監視結果資料的情 形。
裝置管理控制器215，在裝置1啟動時等的製程開始前，執行資料整合程式而實現資料整合控制部215c，在裝置1運轉中，執行部件管理程式而實現部件管理控制部215d，執行裝置狀態監視程式而實現裝置狀態監視控制部215e。此外，裝置管理控制器215在裝置1運轉中或停止中，執行警告監視程式及資料解析程式而實現資料解析控制部(警告監視控制部)215f，藉由執行畫面顯示程式，來實現畫面顯示控制部215b。
裝置管理控制器215作為硬體構成與操作部201有同樣的構成。裝置管理控制器215可以具有收集裝置資料並蓄積於記憶部215h作為資料庫的機能，也可以將蓄積的裝置資料加工並圖形化，顯示於畫面顯示部215a或操作顯示部227。
此外，在本實施形態中，除了基板處理機能及上位報告機能操作部201以外，也設有裝置管理控制器215，但不限於該種形態。例如，操作部201監視裝置資料，該裝置資料含有：與部件壽命有關的部件資料、與裝置狀態的監視有關的裝置狀態監視資料、與警告監視有關的警告發生資訊資料等的障害資訊資料，且，操作部201當然也可以具有裝置間的資料整合機能。再來，在本實施形態中，裝置管理控制器215所具有的4個機能(資料整 合、部件管理、裝置狀態監視、資料解析支援)也可以組合至操作部201、搬送控制部211、處理控制部212的任一者的控制器中。
(畫面顯示部215a)
畫面顯示部215a在後述的裝置1的運用狀態的彙整畫面(圖8、圖18)等中，顯示各種資料的後述結果資料。但是，作為顯示裝置使用外接的終端或操作顯示部227時，畫面顯示部215a也可以省略。此外，可以使用操作顯示部227來取代畫面顯示部215a，或者使用為了畫面參照而連接的終端等來替代畫面顯示部215a。
(畫面顯示控制部215b)
畫面顯示控制部215b控制成藉由執行畫面顯示程式，將裝置1的運用狀態的彙整畫面等各種資料加工成畫面顯示用資料，作成畫面顯示資料並更新，使操作顯示部227顯示。
(畫面顯示控制機能)
接著，本實施形態中的畫面顯示控制機能，也就是，關於藉由裝置管理控制器215的畫面顯示控制部215b所執行的畫面顯示程式的處理流程，利用圖7來說明。在本 實施形態中，說明有關顯示後述的裝置1的運用狀態的彙整畫面(圖8、圖18)的機能。
如圖7所示，在該畫面顯示程式中，依序執行彙整畫面顯示工程(圖7的步驟S11)、監視結果資料取得工程(S12)、資料判定工程(S13)、判定結果顯示工程(S14)。此外，在本實施形態中，並不限定該工程順序，例如，將彙整畫面顯示工程(S11)接著資料判定工程(S13)進行也可以。
首先，執行彙整畫面顯示工程(S11)。藉此，將圖8及圖18所示的預先選擇的各畫面顯示於操作畫面。
接著，在監視結果資料取得工程(S12)中，畫面顯示控制部215b，在圖6所示的4個控制部(資料整合控制部215c、部件管理控制部215d、裝置狀態監視控制部215e、資料解析控制部215f)所輸出的監視結果資料中，從記憶部215h取得在本實施形態的操作顯示部227中為了作為彙整畫面顯示所使用的監視結果資料。
接著，執行資料判定工程(S13)，進行在S12所取得的監視結果資料的判定與採點。在資料判定工程(S13)中，判定分別在資料整合控制部215c、部件管理控制部215d、裝置狀態監視控制部215e、資料解析控制部215f輸出的結果資料為正常還異常，或者異常為何 種程度。
判定為異常的監視結果資料的採點，分別對資料整合控制部215c、部件管理控制部215d、裝置狀態監視控制部215e、資料解析控制部215f輸出的每個監視結果資料，利用預先決定的規則配點的點數來算出。
此外，配點在各控制部加權，在裝置狀態監視控制部215e判定為異常的監視結果資料的配點，變得比在部件管理控制部215d判定為異常的監視結果資料的配點還高。
接著，在判定結果顯示工程(S14)中，畫面顯示控制部215b從資料判定工程(S13)的判定結果與採點結果，將在S11所顯示的裝置1的運用狀態的彙整畫面分別更新並顯示。
(資料整合控制部215c)
資料整合控制部215將裝置1所保有的與顧客用力有關的設備資料、顧客用力範圍確認用的初期值表所示的基準值(寬度)即基準資料，與裝置1的設定時(例如，最初啟動時)作對照。資料整合控制部215c將裝置1所保有的與用力有關的項目的實測值與基準資料作比較，根據與該基準資料的偏差狀況，判定異常或正常。該機能，可以在裝置1的設置時組合至裝置管理控制器215，監視設 備資料。裝置1所保有的設備資料，將主裝置1(0)的現狀的實測值作為基準資料，與裝置1的設置時作對照也可以。
資料整合控制部215c確認與用力有關的設備資料是否在初期值表所示的資料值範圍內或主裝置的現狀值的±3%以內，作為用力監視結果資料記憶於記憶部215h。具體來說，將診斷為超出基準資料以外的設備資料、超出基準資料以外的設備資料的數，作為用力監視結果資料記憶於記憶部215h。此時，資料整合控制部215c，將超出基準值以外時的資料、超出主裝置的現狀值以外時的資料，以互相可區別(也就是，可分別識別)的方式記憶。
此外，資料整合控制部215c在裝置1的製程開始前，藉由將設備資料與基準資料作比較，資料整合控制部215c可防止設備資料在異常的狀態下執行製程配方。
此外，在裝置1的製程開始前進行的設備資料的監視，並非僅在資料整合控制部215c進行，在資料整合控制部215c以外的控制部，例如，在裝置狀態監視控制部215e也可以進行。
再來，資料整合控制部215c藉由執行資料整合程式，執行從操作部201接收的該裝置1的檔案、與進 行與主裝置1(0)檔案之間的複製或比較的檔案匹配機能。該檔案匹配機能的詳細將於後述。
(部件管理控制部215d)
因為部件管理控制部215d藉由執行部件管理程式，而執行保守時期監視機能，基於從操作部201接收的該裝置1的部件資料(例如，部件的使用次數及使用時間)，將記憶於記憶部215h的部件資料更新。此外，部件管理控制部215d基於部件的過去使用次數及使用時間變化，構築預測使用次數及使用時間到達製造商交換推薦值的時期的機制。
利用圖13說明有關本實施形態中的部件管理控制部215d所致的保守時期監視的處理流程。
如圖13所示，從處理控制部212，裝置資料被以一定周期向操作部201報告(圖13的步驟S51)。操作部201，將來自收集的裝置資料的監視對象即部件資料抽出，將該部件資料以一定周期向裝置管理控制器215(部件管理控制部215d)報告(S52)。此外，部件管理控制部215d將來自裝置資料的部件資料抽出。
部件管理控制部215d對收集的部件資料(裝置資料)，進行與設定至每部件資料的閾值的比較(S53)。該閾值可以是部件製造商的推薦值，也可以是 因應使用實績加減推薦值的值。部件資料在未超過該閾值時(S54為No)返回S53，並將部件資料與對應於該部件資料的閾值作比較的結果(正常)作為保守時期監視結果資料記憶於記憶部215h。
另一方面，在部件資料超過該閾值時(S54為Yes)，將超過該閾值的資訊通知操作部201，並將比較部件資料與對應該部件資料的閾值的結果(異常)作為保守時期監視結果資料記憶於記憶部215h(S55)。接著，操作部201將表示保守部件的部件資料超過閾值的警告顯示於操作顯示部227(S56)。
操作部201參照預先儲存於主控記憶部222的裝置管理資料，判斷由部件資料超過閾值的保守部件所構成的模組狀態，是否為下個動作執行等待狀態等的保養指定為可能的狀態(S57)。若是保養移行可能的狀態(S57為Yes)，指示保養指定(S58)。若非保養移行可能的狀態(S57為No)，等待至成為保養移行可能的狀態。
處理控制部212接收來自操作部201的保養指定後，將該當的模組狀態移行至保養等待的狀態(S59)，將向保養等待狀態移行的事實通知操作部201(S60)，並將執行該模組的下個動作設為不可。此外，模組指的是裝置1的構成部位，並不一定與圖8的 「Module」一致。
操作部201在S58作保養指示後，從處理控制部212接收向保養等待狀態的移行後，將保養對象模組作保養指定(S61)。
保養指定後，對被保養指定的製程模組，執行保養(S62)。例如，製程模組的累積膜厚異常時，執行清理配方、或實施進行晶舟26的交換等的復舊處理。復舊處理後，進行預定的設定作業，結束保養(S63)。
操作者在對象模組進行保養後，藉由操作顯示部227的操作畫面，進行保養解除指定。之後，操作部201向處理控制部212發行保養解除的指令(S64)。處理控制部212將對象模組的狀態變更至下個動作執行等待狀態，作為處理控制部212所可使用的模組(S65)。
操作部201顯示用以促使保守對象的部件資料的初始化的畫面(S66)，同時判定保守對象的部件資料的初始化的有無(S67)。當沒有初始化的必要時(S67為No)，使該流程圖的處理結束，當有初始化的必要時(S67為Yes)，選擇那一個部件為初始化對象部件。
選擇初始化對象部件後，操作部201向部件管理控制部215d，指示將與保養實施完成的模組有關連的保守部件的部件資料初始化(S68)。部件管理控制部215d基於來自操作部201的指示，將初始化對象的部件 資料初始化(S69)。
例如，將初始化對象的部件資料的監視器值(例如使用次數)清零(也有稱為重新設定的情形)。此外，操作部201也可以受理來自操作顯示部227的操作員的輸入，而能將部件資料的監視器值清零，這樣做的話，從部件壽命的監視這個觀點來看，能更有效率地掌握部件的動作狀況。
此外，藉由該初始化，部件管理控制部215d，進行將S53的閾值比較結果、判定為異常的保守時期監視結果資料返回成正常的處理。
根據本實施形態的部件管理控制部215d的部件管理處理，因為部件管理控制部215d能夠掌握保守部件故障前推薦的保守時點，能夠達成使裝置1更穩定地運轉及降低製品基板的閉鎖比例。
根據本實施形態的部件管理控制部215d的部件管理處理，因為部件管理控制部215d將操作顯示部227切換至對象模組的部件保守畫面，將與對象模組關連的保守部件的部件資料初始化，保養後，使裝置1返回可生產的模組時，能確實地進行保養指定的解除。
根據本實施形態的部件管理控制部215d的部件管理處理，因為部件管理控制部215d能夠將保守部件的部件資料(例如使用次數)以時間軸在操作顯示部227 以圖形顯示，在操作顯示部227畫面能夠預測監視對象的部件的監視器值的保養時期，能夠在事前準備保守部件。
(裝置狀態監視控制部215e)
裝置狀態監視控制部215e藉由執行裝置狀態監視程式來執行裝置狀態監視機能。裝置狀態監視控制部215e從操作部201時時刻刻地接收該裝置1的裝置資料，在將記憶於記憶部215h的裝置資料更新的同時，基於例如從主裝置1(0)入手的標準資料，也就是，裝置1基於應成為目標的標準資料(例如，反應室溫度的經時波形、上限值、下限值等)，時時刻刻地進行裝置1的裝置資料的監視。也就是說，時時刻刻地將裝置1的裝置資料與標準資料作比較並監視。藉此，能夠實現誤報少的裝置狀態的監視。
接著，利用圖14及圖15說明有關裝置狀態監視控制部215e所執行的裝置狀態監視程式。裝置狀態監視程式藉被儲存於裝置管理控制器215的記憶體內(例如記憶部215h)，實現裝置狀態監視控制部215e。
如圖14所示，裝置狀態監視控制部215e具備：設定部311、帶生成部312、FDC(Fault Detection & Classification)監視部313、計數顯示部314、及診斷部315。此外，FDC監視部313具備：比較部313a、計數部 313b、及判定部313c。
設定部311將根據從操作顯示部227輸入(操作指令的輸入等)等所指定的帶管理的設定，對帶生成部312、FDC監視部313、及診斷部315作指示。
帶生成部312基於設定部311所設定的標準資料與上限指定值及下限指定值，而生成帶。在此，所謂的「帶」指的是相對於標準資料(以具有成為標準的裝置，例如，主裝置1(0)的主資料)所致的波形而藉由其寬度所定出的範圍。具體來說，指的是以構成標準資料的各資料點的值為基礎，藉由指定上限值、或下限值、或者上限值及下限值而定出的範圍。
此外，裝置狀態監視控制部215e所致的作為監視對象所指定的裝置資料，為裝置狀態監視資料，該裝置狀態監視資料將藉由裝置狀態監視控制部215e所監視的結果顯示的資料為裝置狀態監視結果資料。之後，標準資料係作為主資料說明。
FDC監視部313係比較帶生成部312所生成的帶、與從裝置1時時刻刻發生的裝置資料(裝置狀態監視資料)，在預先訂定的次數以上，若裝置資料超出帶以外則判斷裝置資料為異常。此外，在檢測為異常時，例如，將在操作顯示部227檢測出異常的要旨顯示。其中，比較帶與裝置資料，將超出帶以外的資料點稱為超出點。
計數顯示部314，針對FDC監視部313所計數的超出點，將各分批處理的超出點數顯示在操作顯示部227。診斷部315利用異常診斷規則，進行由超出點的數所組成的統計量的診斷。此外，診斷為異常時，例如，將在操作顯示部227檢測出異常的要旨顯示。
(FDC監視部)
FDC監視部313將從操作部201接收的裝置資料，與以成為該裝置資料的判定基準主資料為基礎所生成的帶作比較，藉此進行裝置資料的監視。
比較部313a，以構成主資料的資料點間隔(例如，1秒)，比較裝置資料是否超出帶以外，將比較結果儲存於記憶部215h。比較部313a，不管超出帶以外的資料點的數，直到沒有取得指定的裝置資料為止，重覆比較裝置資料的資料點與帶。
計數部313b，在當對設定的裝置資料藉由比較部313a結束所有的資料點比較後，基於儲存於記憶部215h的比較結果，計數在帶以外的點的總數。此外，計數部313b將裝置資料的值、主資料的值、對應該主資料的帶(對應主資料的上限值及下限值)、計數的計數值附上關連，作為關連資料儲存於記憶部215h。
判定部313c在當計數部313b所計數的計數 值超過預先訂定的值時，判定裝置資料為異常，在預先訂定的值以下時，判定裝置資料為正常。將該判定結果作為裝置狀態監視結果資料儲存於記憶部215h。
圖15為FDC監視部313的監視流程圖。以下，藉由圖15說明FDC監視部313的監視的流程。
在步驟101(S101)中，比較部313a，對作為監視對象所設定的項目(診斷對象項目)的裝置資料(裝置狀態監視資料)，將裝置資料的值從記憶部215h讀出。
在步驟102(S102)中，比較部313a，利用基於判定監視對象的裝置資料(裝置狀態監視資料)的成為基準的主資料所生成的帶，將在步驟S101所取得的裝置資料的值與帶作比較。具體來說，係比較裝置資料的值是否超過作為帶設定的上限值或下限值。
比較的結果，若裝置資料的值收於帶範圍內時，也就是裝置資料的值為上限值以下且下限值以上時，移行至步驟103。另一方面，比較的結果，若裝置資料的值未收於帶範圍內時，也就是裝置資料的值超過上限值以下或未滿下限值時，移行至步驟104。
在步驟103(S103)中，比較部313a判定在步驟200取得的裝置資料的值為正常的正常點，在記憶部215h儲存比較結果(OK)。
另一方面，在步驟104(S104)中，比較部313a判定在步驟101取得的裝置資料的值為異常的超出點，在記憶部215h儲存比較結果(NG)。
在步驟105(S105)中，比較部313a確認在記憶部215h中，是否儲存有作為裝置資料的下個資料點，當有儲存時，移行至步驟101，當未儲存作為裝置資料的下個資料點時，移行至步驟106。
在步驟106(S106)中，計數部313b基於儲存於記憶部215h的比較結果，計數在步驟104被判定為超出點的數。
在步驟107(S107)中，判定部313c比較在步驟106中計數的計數值與預先訂定的次數(亦即閾值)。計數值為閾值以下時，移行至步驟108，計數值超過閾值時，移行至步驟109。
在步驟108(S108)中，判定部313c判定裝置資料為正常，結束該裝置資料的監視。
在步驟109(S109)中，判定部313c判定裝置資料為異常，在操作顯示部227顯示檢測出異常的要旨，結束該裝置資料的監視。
此外，在該處理流程中，不將裝置資料及比較結果儲存於記憶部215h，而儲存於主控記憶部222也可以。
以上，雖說明有關由裝置狀態監視控制部215e執行的FDC的一個帶管理，但從前的FDC為U.FDC(User FDC)，著目於使用者側(裝置製造商側)的資料為監視對象，不適於與基板處理裝置1的構成部件，例如，與部件的消耗度有關的監視。也就是說，利用SPC的U.FDC，其作為監視裝置狀態的機能並不充分。在此，本發明中，因為開發了藉由獨自的FDC(S.FDC(Special FDC))來監視裝置狀態的技術，以下為說明。
(MFC(MASS Flow Controller)的0點補正)
作為S.FDC，利用圖16來說明監視MFC的0點補正的狀態實施例。該監視由裝置狀態監視控制部215e來進行。藉由該監視，因為裝置狀態監視控制部215e求出對於分批處理數的MFC流量電壓的傾斜，預測應進行0點補正的分批。所謂的「分批」指的是晶圓18被裝填至晶舟26後，晶圓18在處理室29經處理後，從晶舟26取出為止。
圖16的縱軸為流動MFC的氣體流量為0時，從MFC輸出的流量電壓。該流量電壓因為表示流動MFC的氣體流量的大小，本來就必為0。圖16的橫軸表示裝置1的基板處理分批數。裝置1分批處理依分批No999、998、‧‧‧3、2、1的順序進行。
如圖16所示，MFC流量電壓隨著分批處理的累積而變大，也就是說，可得知MFC的0點會偏移。0點補正係用來補正該偏移。裝置狀態監視控制部215e的監視對象即MFC流量電壓也包含於裝置狀態監視資料。接著，同樣地，表示比較MFC流量電壓與閾值(上限值)的結果，包含於裝置狀態監視結果資料。
在該實施例中，進行0點補正的MFC流量電壓的閾值(上限值)設為0.05V。此外，作為MFC流量電壓的監視對象者係設為在裝置1內多數存在的MFC中僅與基板的品質有關係的MFC而已。此外，雖這裡未記載，但也適用壓力感測器的0點補正。
裝置狀態監視控制部215e在配方開始前的時點、及在配方執行中流動MFC的氣體流量為0的時點，取得MFC流量電壓並記憶於記憶部215h，並將取得的流量電壓與閾值作比較。接著，當取得的流量電壓超過閾值時，作為裝置狀態監視結果資料，將表示監視對象的MFC流量電壓為異常的資料記憶於記憶部215h，同時在配方結束後，進行0點補正。此外，不將MFC流量電壓記憶於記憶部215h，而記憶於主控記憶部222也可以。
流動MFC的氣體流量為0的時點為該MFC的一次側(氣體流動的上游側)開關閥門、及二次側(氣體流程的下游側)開關閥門，兩者同時關閉的時點。裝置 狀態監視控制部215e將配方執行中成為MFC流量0的時點，也就是一次側閥門及二次側閥門同時成為關閉的時刻，預先算出，在成為該時刻後，從MFC取得MFC流量電壓，並與閾值作比較。
此外，裝置狀態監視控制部215e在關於1個MFC的1次分批處理所取得的複數MFC流量電壓中，將最大流量電壓與閾值作比較。接著，當一度超過閾值時，裝置狀態監視控制部215e判定MFC流量電壓為異常，將表示MFC的流量電壓為異常的資料記憶於記憶部215h。此外，當取得的流量電壓未到達閾值時，作為裝置狀態監視結果資料，將表示監視對象的MFC流量電壓為正常的資料記憶於記憶部215h。
再來，裝置狀態監視控制部215e在關於1個MFC的1次分批處理所取得的複數MFC流量電壓中，將最大流量電壓記憶於記憶部215h。接著，在每1次的分批，或是在每複數次的分批，求出相對於分批數(圖16的橫軸)的MFC流量電壓的傾斜，從該傾斜，預測MFC流量電壓到達閾值的分批，也就是應進行0點補正的分批，並將預測結果顯示於操作顯示部227。例如，如圖16所示的虛線的圓A那樣顯示。圓A表示MFC流量電壓到達閾值的分批。
此外，裝置狀態監視控制部215e並不預測 MFC流量電壓到達閾值的分批，單將圖16所示的圖形資料送至畫面顯示控制部215b也可以。此時，基於從裝置狀態監視控制部215e接收的圖形資料，使畫面顯示控制部215b將圖16所示的圖形顯示於操作顯示部227。接著，保守員等的操作員看到圖形，判斷應進行0點補正的分批。
裝置狀態監視控制部215e將這種MFC流量電壓監視對所有與基板品質有關的MFC進行。此外，上述MFC流量電壓監視也可以組合至配方。
根據本實施形態中裝置狀態監視控制部215e的裝置狀態監視處理，因為裝置狀態監視控制部215e對複數裝置資料(反應室溫度及壓力等)，分別利用FDC進行基於監視對象的裝置資料(裝置狀態監視資料)的異常診斷，能實現更正確的裝置狀態監視，此外，在異常表面化前的階段，變得容易掌握異常要因。
此外，裝置狀態監視控制部215e因為不僅是裝置1的使用者所使用的資料異常診斷方法即習知的U.FDC，也可以利用裝置1的製造商獨自作成的資料異常診斷方法即S.FDC，變得容易更廣範圍地掌握緻密的異常要因。
(資料解析控制部215f、警告監視控制部)
資料解析控制部215f藉由執行資料解析程式，在異常(例如，製造物即基板的膜厚異常)發生時，將保守員為了解析異常要因的解析資料顯示於操作顯示部227。此外，資料解析控制部215f如同後述，作為警告監視控制部作用。
(解析支援機能)
在這裡，利用圖17說明資料解析控制部215f所執行的解析支援機能的處理流程。
(資料接收工程(S121))
首先，資料解析控制部215f將顯示製程配方的進行狀況或裝置1的異常狀態的裝置資料(障害資訊資料)，通過通信部215g，從操作部201、處理控制部211、搬送控制部212接收並記憶於記憶部215h。在接收的障害資訊資料裡附加：特定資料發生源裝置1的構成部位的構成特定資訊、特定在資料發生時裝置1所執行的配方的配方特定資訊、特定資料的產生時刻的資料時刻資訊、特定異常的異常特定資訊。此外，也可以利用主控記憶部222來替代記憶部215h。
(檢證項目表的作成工程(S122))
資料解析控制部215f接受上述異常特定資訊、構成特定資訊、及配方特定資訊基本資訊的輸入後，參照儲存於記憶部215h的構成部位取得表，取得與構成特定資訊有關連的構成部位特定資訊。接著，資料解析控制部215f參照儲存於記憶部215h的異常解析資訊表，抽出與異常特定資訊及構成部位特定資訊共同關連的檢證項目特定資訊。於是，作成檢證項目表。
(檢證項目表的顯示工程(S123))
接著，資料解析控制部215f將作成的檢證項目表顯示於操作顯示部227。
(配方特定資訊的取得工程(S124))
接著，資料解析控制部215f針對檢證項目表中顯示的檢證項目特定資訊，通過操作顯示部227接受來自保守員的選擇操作。接著，資料解析控制部215f從基本資訊取得配方特定資訊。
(來自生產履歷資訊的配方檢索工程(S125))
資料解析控制部215f參照生產履歷資訊，檢索儲存於基本資訊的配方特定資訊的有無。檢索係例如在記錄於生產履歷資訊的複數配方中，以從最近的配方回溯到過去 的配方的方式進行。接著，資料解析控制部215f若從生產履歷資訊內檢出儲存於基本資訊的配方特定資訊的話，分別取得藉由相關的配方特定資訊所特定的配方的開始時刻及終了時刻。
(資料讀出工程(S126))
資料解析控制部215f從記憶部215h，將從取得開始時刻到終了時刻之間產生，並與配方特定資訊及檢證項目特定資訊共同關連的資料作為障害資訊監視結果資料讀出。
此外，參照生產履歷資訊時，當藉由配方特定資訊來特定的配方以複數次實施時，資料解析控制部215f讀出預定次數份(例如從最新的配方回溯10次分)的障害資訊監視結果資料。也就是說，資料解析控制部215f將工程S126重覆預定次數份。
(圖形作成，顯示工程(S127))
接著，資料解析控制部215f，將讀出的障害資訊監視結果資料，基於與該資料關連的資料時刻資訊，在備齊配方的開始時刻的同時，重合於時序並圖形化。接著，資料解析控制部215f將作成的時序圖形顯示於操作顯示部227。
有關本實施形態的資料解析控制部215f，係參照異常解析資訊表，抽出與異常特定資訊及構成部位特定資訊共同關連的檢證項目特定資訊，藉由顯示抽出的檢證項目特定資訊，作成檢證項目表並顯示。藉此，保守員能夠不遺漏而得知用以進行異常解析所必要的檢證項目，能正確地進行異常解析。
此外，因為在檢證項目表僅記載與異常特定資訊及構成部位特定資訊共同關連的檢證項目特定資訊，能防止保守員進行不必要實施的檢證項目，能夠回避對於異常解析的時間浪費。
有關本實施形態的資料解析控制部215f，接收在檢證項目表中顯示的檢證項目特定資訊的選擇操作，將與配方特定資訊及檢證項目特定資訊共同關連的資料(障害資訊監視結果資料)從資料庫讀出，將讀出的障害資訊監視結果資料基於資料時刻資訊，在備齊配方的開始時刻的同時重合時序作成時序圖形，顯示於操作顯示部227。藉此，有助於因解析時間縮短及保守員的技量偏差所造成的解析錯誤的減輕。
有關本實施形態的資料解析控制部215f，在作成時序圖形時，能夠將預定次數份(例如從最新的配方回溯10次分)的資料重覆讀出。接著，將讀出的障害資訊監視結果資料，基於資料時刻資訊，藉由備齊配方的開 始時刻同時重合於時序並圖形化，作為時序圖形，顯示於操作顯示部227。藉此，能夠降低與進行異常解析的保守員的資料取得有關的作業負擔。
(實施例1)
接著，基於圖7所示的畫面顯示程式的處理流程，分別說明使圖8所示的裝置1的運用狀態的彙整畫面顯示於操作顯示部227的處理、及利用圖9所示的診斷方法項目清單導出評價裝置1的運用狀態資訊的處理。
此外，在本實施例中，裝置管理控制器215在所具有的4個機能(資料整合、部件管理、裝置狀態監視、資料解析支援)中，分別利用裝置狀態監視控制部215e所輸出的裝置狀態監視結果資料、部件管理控制部215d所輸出的保守時期監視結果資料、資料解析控制部215f所輸出的障害資訊監視結果資料，來導出表示裝置1的運用狀態的資訊。
首先，執行圖7所示的彙整畫面顯示工程(S11)。藉此，例如，從記憶部215h讀出包含圖8所示的Health Check View畫面(異常部位顯示畫面)、Supply Check畫面(供應狀態顯示畫面)、Health Summary畫面(健康狀態概要顯示畫面)、Detail Information畫面(詳細資訊顯示畫面)的圖像檔案，各畫 面在操作顯示部227的畫面上總括顯示。
接著，在圖7所示的監視結果資料取得工程(S12)中，畫面顯示控制部215b，因應圖9所示的診斷方法項目清單的診斷方法項目，將資料整合控制部215c、部件管理控制部215d、裝置狀態監視控制部215e、資料解析支援控制部215f所分別輸出的診斷結果資料(監視結果資料)，因應必要從記憶部215h取得。以下，即便沒有特別記載的情形，各控制部所輸出的監視結果資料，係因應輸出的狀況而記憶於記憶部215h。
(在Detail Information畫面的診斷對象項目)
首先，參照圖8說明裝置狀態監視的對象。在詳細資訊顯示畫面中，作為裝置1的構成「區分」，顯示反應室、移載室、裝載室、搬送系統、顧客用力。此外，作為反應室的「Module」，顯示溫度、壓力、氣體、排氣壓、水。此外，作為移載室的「Module」，O2(氧)濃度、壓力、溫度。此外，作為裝載室的「Module」，顯示N2(氮)排氣量、排氣壓。此外，作為基板搬送系統的「Module」，顯示盒開啟器。此外，作為顧客用力的「Module」，顯示氣體(GAS)、壓力、排氣壓、PUMP、水。
該等「Module」為部件管理控制部215d及裝 置狀態監視控制部215e等的控制部的監視對象，也就是裝置的健康狀態的診斷對象(穩定運轉的評價對象)即診斷對象項目。在圖8的例中，例如，與作為「區分」的反應室有關的診斷對象，為反應室溫度、反應室壓力、向反應室供應的氣體(處理氣體及稀釋氣體等)流量、將反應室內的氣體排氣的排氣壓、向反應室的構成物供應的冷卻水的流量。
作為「區分」的顧客用力的診斷對象項目的氣體、壓力，分別為從顧客設備向裝置1供應的氣體(處理氣體及稀釋氣體)之流量、壓力。排氣壓為從裝置1向顧客設備排氣的壓力，水為從顧客設備向裝置1供應的冷卻水流量。顧客用力為與從裝置使用者供給的項目有關的裝置資料，也稱為設備資料(實用性資料)。
如圖8所示，與顧客用力有關的診斷對象項目，與其他診斷對象項目分離，在1個地方整理顯示。藉此，裝置異常發生時，能夠明確掌握該發生處所是在顧客負責的與顧客用力有關的部位，還是在裝置製造商負責的部位。
(在Detail Information畫面的診斷方法項目)
接著，利用圖9說明部件管理控制部215d及裝置狀態監視控制部215e等的控制部將裝置資料作為診斷的基 準的診斷方法項目清單。診斷方法項目清單具有：項序(No)欄、表示診斷方法項目的診斷項目欄、表示診斷方法的內容及診斷方法的診斷方式欄、點數欄(圖9的例中表示減點法)。
項序1(No.1)及項序2(No.2)的診斷方法項目(U.FDC、S.FDC)為將裝置資料的經時變化量的異常，與標準資料的上限值或下限值、或上限值及下限值作比較而診斷的項目，藉由裝置狀態監視控制部215e來監視。FDC持續地進行從裝置1輸出的特性值的監視，在監視值(也就是裝置資料)檢出異常時，也就是監視值從標準資料超出預定值以上之外時，將該結果藉由統計的處理，而分類異常種類，也就是診斷異常原因及異常部位的技術。
在該FDC不包含後述的Parts，也就是說，不包含部件壽命(使用次數及使用時間)的診斷。藉由FDC檢出異常時，裝置1為可運轉，且因為不直接屬於製造物的異常，不發出伴隨蜂鳴器的鳴動。
U.FDC為用以檢查裝置1的狀態是否將裝置1的製造物(例如成膜的基板)的品質持續維持正常的狀態的診斷方法項目。U.FDC為裝置1的使用者作成並使用的診斷方法項目，一般作為利用SPC(Statistical Process Control：統計方法)的診斷方法是習知的。U.FDC為對製 造物的品質有直接影響的診斷方法項目，例如，檢查反應室的溫度、壓力等。
U.FDC診斷反應室的溫度是否在預先設定的上限值與下限值之間。在圖9的例中，U.FDC利用SPC的規則(超過3σ)來診斷。U.FDC中，縮小至半導體製造領域中最低限必要的SPC項目(例如，反應室的溫度及壓力、基板移載室的氧濃度等)，使用者因為可以僅指定配方/步驟/項目(溫度等)作簡單的設定而容易使用。
S.FDC為用以檢查裝置1的構成物(例如開關閥門或加熱器或MFC)的狀態是否在正常範圍內的的狀態的診斷方法項目，為裝置1的製造商所作成的診斷方法項目。S.FDC例如為關於MFC的0點補正的診斷方法，診斷流量0時的MFC流量電壓是否在預先設定的上限值與下限值之間。S.FDC為標準裝備於裝置管理控制器215的該裝置專用的診斷方法項目，因為是該裝置專用，故以該裝置適合的監視內容構成。使用者雖能夠將S.FDC的診斷方法項目的有效/無效作切替設定並使用，但無法變更診斷內容。
項序3(No.3)的Parts(部分)為裝置1的製造商所作成並使用的診斷方法項目，係藉由比較構成裝置1的部件壽命有關連的部件資料(使用時間、使用次數等)、與部件製造商的推薦值，來用以診斷部件的保守時 期的項目。例如，當使用次數到達部件製造商的推薦值的時期，診斷為保守時期。此外，基於到此為止的使用實績，將使用次數到達部件製造商的推薦值的90%或120%的時期，作為保守時期診斷也可以。因此，保守時期係基於部件製造商的推薦值而判斷。
部分係藉由部件管理控制部215d來監視。部件管理控制部215d當判定使用次數到達部件的保守時期而判定為異常，作為保守時期監視結果資料記憶於記憶部215h。但是，即便部件管理控制部215d檢出部分引起的異常，因為並非直接為製造物的異常，部件管理控制部215d並不發出伴隨蜂鳴器鳴動的警告。
部分的對象主要為空氣閥門/空氣汽缸/馬達驅動器等驅動系統的部件，例如，計數驅動系統的部件使用次數，同時監視是否達到製造商推薦值(閾值)。作為診斷方法項目的部分為裝置1的設置時組合至裝置管理控制器215，使用者非意識的自動管理。
項序4(No.4)的Alarm(警告)為診斷視為裝置1運轉不可能的這種基於異常資訊(障害資訊)的發生次數的裝置1的狀態的診斷方法項目。此外，Alarm與上述項序1~3的U.FDC、S.FDC、Parts不重疊(也就是說，關於與項序1~3的U.FDC、S.FDC、Parts為別的異常)，此外，僅判定特定的障害，此外，除去因同一原因 所引起的障害資訊的重複。
因為警告隨著蜂鳴器嗚動而發出，例如，在基板搬送時，基板未載置於晶舟26的預定位置時，感測器檢測出異常而發報。此外，例如反應室溫度未上升至基板處理開始時的預定溫度時，感測器檢測出異常而發報。此外，例如移載室23的門未關閉時，感測器檢測出異常而發報。
警告係藉由裝置管理控制器215以外的裝置1的控制器(操作部201、搬送控制部211、處理控制部212等)來監視，檢測出異常的話，蜂鳴器嗚動而將障害資訊資料通知資料解析控制部215f。資料解析控制部215f基於接收的障害資訊資料，將在裝置1發生的障害資訊資料，如圖8所示的詳細資訊顯示畫面那樣，以對象部位的分類(區分或Module)來區分，監視分類別的發生傾向。
該機能在裝置1的設置時組合至裝置管理控制器215，係使用者非意識的自動管理。如此，資料解析控制部215f作為監視裝置1的障害資訊資料的發生狀況的警告監視控制部來作用。
此外，因警告所致的障害資訊資料的監視，在資料解析控制部215f以外的控制部進行也可以。
(在Supply Check畫面的診斷對象項目的診斷)
資料整合控制部215c在裝置1的基板處理開始前，診斷在供應狀態顯示畫面顯示的診斷對象項目。在此，基板處理開始前也包含：在裝置納入後的啟動時等的向裝置內的基板投入前、基板的搬送時。
在圖8所示的供應狀態顯示畫面中，原料氣體(在圖8中表示為Precursor)、冷卻水(在圖8中表示為Cooling Water Flow)、向反應室的N2氣體供應量(在圖8中表示為LTP Purge & Blower)、排氣量(在圖8中表示為Exhaust)、真空泵的排氣量(在圖8中表示為Pump)、向移載室的N2氣體流量(在圖8中表示為FAN)的6個項目為診斷對象項目。該等6個項目為設備資料，其一部分與上述詳細資訊顯示畫面的顧客用力的「Module」、也就是診斷對象項目重覆。
資料整合控制部215c將顯示於顧客用力確認用的初期值表的基準值，或主裝置1(0)的現狀實測值設定至基準資料。例如，裝置1的製程開始前，對應圖8所示的診斷對象項目的設備資料，分別與基準資料作比較。各個項目的實測值，與基準資料(在顧客用力確認用的初期值表示的基準值或主裝置1(0)的實測值)作比較，資料整合控制部215c根據與實測值的偏差狀況，判定異常。
畫面顯示控制部215b，在每診斷對象項目， 將與U.FDC、S.FDC、Parts、Alarm有關的各診斷結果資料從記憶部215h取得。例如，若是反應室溫度的話，取得與縱型的反應室內的各區間(例如，U(上)區間、CU(中上)區間、CL(中下)區間、L(下)區間)的設定值(設定溫度)、現在值等的溫度有關連的有關裝置資料的診斷結果資料(U.FDC、S.FDC、Parts、Alarm)。
其中，與U.FDC或S.FDC有關的診斷結果資料為裝置狀態監視結果資料，與Parts(部件管理)有關的診斷結果資料為保守時期監視結果資料，與Alarm(障害資訊管理)有關的診斷結果資料為障害資訊監視結果資料。
此外，取得用於供應狀態顯示畫面的診斷結果資料。該診斷結果資料如同上述，為比較與來自顧客的用力有關的設備資料與基準資料的結果資料，係診斷對象項目，為與氣體(GAS)、壓力、排氣壓、PUMP、水、Precursor、Cooling Water Flow、LTP Purge & Blower、Exhaust、Pump、FAN有關的資料。該與來自顧客的用力有關的設備資料的診斷結果資料為用力監視結果資料。
接著，執行資料判定工程(S13)，進行在S12所取得的診斷結果資料的判定與採點。在資料判定工程(S13)中，判定與診斷對象項目有關，診斷結果資料為正常還異常、或異常為何種程度。
(對Detail Information畫面的診斷對象項目的判定)
在對詳細資訊顯示畫面的診斷對象項目的判定中，有關各診斷對象項目，進行各診斷結果資料(與U.FDC、S.FDC、Parts、Alarm有關的診斷結果資料)的判定與採點。
例如，診斷對象項目為反應室溫度時，畫面顯示控制部215b針對反應室溫度，利用從裝置狀態監視控制部215e接收並記憶於記憶部215h的診斷結果資料，依照圖9點數欄的減點法，判定診斷結果資料並採點。
具體來說，畫面顯示控制部215b在圖9所示的診斷方法項目清單中，異常資料為2件以上時判定為異常大(×)，從滿點(100點)減去圖9點數欄的「×」欄定義的點數。此外，異常資料(判定為異常的診斷結果資料)為1件時判定為異常小(△)，從滿點(100點)減去圖9的「△」欄所定義的點數。此外，無異常資料時判定為正常(○)，作為滿點。
此外。畫面顯示控制部215b在原本不作為診斷對象時、及未取得與診斷對象項目關連的診斷結果資料等，無作為判定對象的診斷結果資料時，判定為資料判定對象外(-)。判定結果與採點結果記憶於記憶部215h。
在圖8的例中，首先，進行關於反應室溫度 項目的診斷結果資料的判定與採點。關於反應室溫度項目，若具有一個顯示異常的診斷方法項目的話，判定反應室溫度資料為異常。此外，關於反應室溫度資料的所有診斷方法項目(U.FDC、S.FDC、Parts、Alarm)，無異常發生的情形，判定為正常。
與反應室溫度項目有關的診斷結果資料的判定與採點結束後，關於下個診斷對象項目(例如反應室壓力)，同樣，對與反應室壓力有關的各診斷方法項目，進行診斷結果資料的判定與採點。這樣的話，對與所有的診斷對象項目有關的各診斷方法項目，進行診斷結果資料的判定與採點(也就是健康狀態的定量化)。
(Detail Information畫面與Health Summary畫面的採點處理)
在這裡詳細說明有關資訊顯示畫面與健康狀態概要顯示畫面的採點處理。在該處理中，藉由畫面顯示控制部215b進行如接著的S201~S205所示的採點。
(S201)
首先，關於反應室溫度項目，算出U.FDC、S.FDC、Parts、Alarm各別的負得點並合計。在圖8的例中，因為關於S.FDC，2件以上的資料為異常(×)，因此S.FDC 的負得點為30點(圖9參照)。
此外，關於Parts，因為1件資料為異常(△)，Parts的負得點為10點。U.FDC與Alarm為無負得點。因此，關於反應室溫度項目，負得點的合計成為40點，得點(Score)成為60點(100-40)。
(S202)
將該判定與計算，對所有診斷對象項目，也就是對所有Detail Information畫面的Module(從圖8所示的反應室溫度到顧客用力的水為止)實施，取得關於所有診斷對象項目的得點，記憶於記憶部215h。
(S203)
接著，通算所有診斷對象項目，算出各診斷方法項目(U.FDC、S.FDC、Parts、Alarm)各別的負得點合計，記憶於記憶部215h。
例如，關於U.FDC，算出所有診斷對象項目(反應室溫度~顧客用力的水)的負得點的合計。在圖8的例中，因為關於反應室排氣壓項目1件資料為異常(△)，關於顧客用力的排氣壓項目1件資料為異常(△)，U.FDC的負得點為30點。
同樣，算出S.FDC的負得點合計、Parts的負 得點合計、Alarm的負得點合計。在圖8的例中，S.FDC的負得點成為30點、Parts的負得點成為20點、Alarm的負得點成為5點。
(S204)
接著，對與各診斷方法項目(U.FDC、S.FDC、Parts、Alarm)有關的負得點，分別算出當日的現在值、當日份的平均值、最近1週間的平均值、最近1個月間的平均值，記憶於記憶部215。最近1週間的平均值為將1日份的平均值(或最高值)以1週間作平均，最近1個月間的平均值為1日份的平均值(或最高值)以1個月間作平均。
(S205)
接著，對與各診斷方法項目(U.FDC、S.FDC、Parts、Alarm)有關的負得點，將各自的當日的現在值合計，藉由用滿點(100點)減去該合計值，算出裝置1的健康指數(裝置的綜合的運用狀態評價指數)。圖8的例中，在健康狀態概要顯示畫面顯示健康指數95點。此外，該95點僅為例示，注意其未與詳細資訊顯示畫面的得點作整合。
此外，在實施例1中，異常資料的個數雖區 分為「△」「×」，但並不限於該形態，異常為1件以上的話，定義為「×」，表示接近異常的警告為1件以上的話，定義為「△」也可以。
此外，在上述的說明中，雖在S203，算出各診斷方法項目(U.FDC、S.FDC、Parts、Alarm)各自的負得點合計，記憶於記憶部215h，但算出各診斷方法項目的得點(100點-負得點)的合計，記憶於記憶部215h也可以。
此外，在上述的說明中，雖在S204，算出與各診斷方法項目(U.FDC、S.FDC、Parts、Alarm)有關的負得點，分別算出當日的現在值、當日份的平均值、最近1週間的平均值、最近1個月間的平均值，記憶於記憶部215，但對各診斷方法項目的得點(100點-負得點)的合計，分別算出當日的現在值、當日份的平均值、最近1週間的平均值、最近1個月間的平均值，記憶於記憶部215h也可以。
(對Supply Check畫面的診斷對象項目的判定)
此外，在資料判定工程(S13)中，判定用於供應狀態顯示畫面的診斷結果資料。也就是說，判定在各別的診斷對象項目的基板處理開始時的實測值是否超過初期值表所示的基準值及主裝置值、與預定閾值(例如±3%)。
在圖8的例中，係判定：關於Cooling Water Flow，裝置1的製程開始時的值超過初期值表所示的基準值±3%的事態(以A表示)為2件，關於LTP Purge & Blower，裝置1的製程開始時的值超過主裝置的值±3%的事態(以B表示)為1件，關於Exhaust，裝置1的製程開始時的值超過初期值表所示的基準值±3%的事態(以A表示)為1件。
(判定結果顯示工程：S14)
接著，在判定結果顯示工程(S14)中，畫面顯示控制部215b從記憶部215h讀出資料判定工程(S13)的判定結果與採點結果，將圖8所示的詳細資訊顯示畫面、異常部位顯示畫面、健康狀態概要顯示畫面供應狀態顯示畫面更新並顯示。
(Detail Information畫面的更新)
在詳細資訊顯示畫面的更新中，對與各診斷對象項目有關的各診斷方法項目欄(U.FDC、S.FDC、Parts、Alarm)的診斷結果資料，將正常的情況「○」、判定2件以上異常的情況「×」、判定1件異常的情況「△」、沒有作為判定對象的診斷結果資料的情況「-」，分別顯示於Detail Information畫面的各診斷方法項目欄 (U.FDC、S.FDC、Parts、Alarm)。此外，將關於各診斷對象項目的得點，顯示於詳細資訊顯示畫面的Score欄。
詳細為，將關於U.FDC或S.FDC的診斷結果資料無異常判定(無異常資料)的情況「○」、1件裝置狀態監視資料有異常判定(有異常資料)的情況「△」、2件以上裝置狀態監視資料有異常判定有(有異常資料)的情況「×」顯示。藉此，能夠容易掌握關於U.FDC或S.FDC的異常狀態。
此外，將關於Parts的診斷結果資料無異常判定(超過閾值)的情況「○」、1件部件資料有異常判定(超過閾值)的情況「△」、2件以上的部件資料有異常判定(超過閾值)的情形「×」顯示。藉此，能夠容易掌握關於部件壽命的異常狀態。
此外，將關於Alarm的診斷結果資料，無障害資訊資料的情況「○」、有1件障害資訊資料的情況「△」、有2件以上的障害資訊資料的情況「×」顯示。當障害資訊資料的識別子(ID)相同時，診斷為與警告的產生數無關係的1件障害發生。藉此，能夠容易掌握關於障害資訊發生狀態的異常狀態。
此外，在詳細資訊顯示畫面中，「×」以紅色、「△」以黃色的顏色區分顯示。關於Score欄也將點數為80點以上未滿100點以黃色、未滿80點以紅色分別 顯示。
此外，在詳細資訊顯示畫面中，點擊顯示「×」或「△」的單元後，畫面顯示控制部215b更顯示診斷對象項目的詳細資訊。藉此，例如，能夠明白當診斷對象項目為反應室溫度時，反應室的那一部分(上段、中段、下段等)的溫度成為異常的原因。
(Health Check View畫面的更新)
此外，畫面顯示控制部215b在顯示裝置1的全體圖的同時，將包含判定為異常的診斷結果資料單元(在圖8以區分表示)或項目(在圖8以Module表示)，也就是，將判定為異常的裝置1的構成部位，以能夠判別為異常的方式標記或著色，將異常部位顯示畫面更新並顯示也可以。在圖8的例中，在裝置1的全體斜視圖中，將反應室單元(圖中的A)以紅色著色顯示。此外，異常的判別顯示為，例如，以在各個FDC、Parts、Alarm等的診斷方法項目中，異常有2個以上時，或Score欄的得點在預定點數以下時進行的方式適宜設定。
(Health Summary畫面的更新)
此外，畫面顯示控制部215b將與當日或過去1週間或過去一個月的U.FDC、S.FDC、Parts、Alarm有關的健 康狀態的變化顯示於健康狀態概要顯示畫面。在圖8的例中，畫面顯示控制部215b，對關於各診斷方法項目(U.FDC、S.FDC、Parts、Alarm)如上所述，分別將當日的得點、最近1週間的得點平均值、最近1個月的得點平均值算出，以柱狀圖顯示於健康狀態概要顯示畫面。柱狀圖的縱軸為以用以比較的相對值，縱軸的0~4相當於得點的0~100。
該健康狀態為將滿點(100點)減去當日或過去1週間或過去1個月的U.FDC、S.FDC、Parts、Alarm的負得點者。藉此，操作者對關於各診斷方法項目(U.FDC、S.FDC、Parts、Alarm)，能夠容易掌握當日的裝置健康狀態、最近1週間的健康狀態、最近1個月的健康狀態。
此外，將當日或過去1週間或過去1個月的U.FDC、S.FDC、Parts、Alarm的件數或負得點，以柱狀圖顯示於健康狀態概要顯示畫面也可以。藉此，能夠容易掌握U.FDC、S.FDC、Parts、Alarm各自的異常狀態變化。
此外，畫面顯示控制部215b，將表示裝置健康狀態的健康指數在健康狀態概要顯示畫面更新並以數值顯示。圖8的例中，在健康狀態概要顯示畫面的右上部以「95點」顯示。該健康指數係以上述S205顯示的方式， 將各診斷方法項目(U.FDC、S.FDC、Parts、Alarm、Score)彙整的綜合點數。
藉此，操作者能將當日的裝置健康狀態簡單地一眼掌握。此外，將健康指數不以數字，而以包含過去數週間份或數日份的柱狀圖等來顯示也可以。這樣顯示的話，例如，能夠容易理解最近1週間的裝置健康狀態的推移。此外，該健康指數若在預定的閾值以下的話，為了確認裝置1的健康狀態，將裝置1的蜂鳴器嗚動並發出警報也可以。
(Supply Check畫面的更新)
此外，畫面顯示控制部215b係基於在診斷結果資料取得工程(S12)取得的診斷對象項目即與Precursor、Cooling Water Flow、LTP Purge & Blower、Exhaust、Pump、FAN有關的設備資料的診斷結果資料，將供應狀態顯示畫面更新並顯示。此時，畫面顯示控制部215b僅將設備資料中診斷為異常的診斷結果資料數，將表示異常產生的圖像顯示。
例如，上述診斷對象項目的實測值，超過以初期值表來表示的基準值±3%而相異的話，將表示該要旨的圖像A，對應供應狀態顯示畫面的該當項目並顯示。此外，各個診斷對象項目的實測值，超過主裝置的值±3%而 相異的話，將表示該要旨的圖像B，對應供應狀態顯示畫面的該當項目並顯示。圖像A與圖像B，例如，為將驚嘆號圖形化，藉由使顏色互異，而以互相識別可能的方式顯示。在圖8的例中，將圖像A與圖像B分別以A與B表示。
這樣，在判定結果顯示工程(S14)中，畫面顯示控制部215b，基於在診斷結果資料取得工程(S12)取得的資料、及資料判定工程(S13)的判定結果與採點結果，將在彙整畫面顯示工程(S11)取得的各畫面檔案加工，並顯示。
在本實施例中，畫面顯示控制部215b雖將圖8所示的彙整畫面顯示，但圖8的圖示例中，僅為說明本發明的一例而已。
例如，在供應狀態顯示畫面中，雖作為設備資料定義了6個項目，但並不限於該形態。此外，詳細資訊顯示畫面、異常部位顯示畫面、健康狀態概要顯示畫面也同樣不限於本實施形態。例如，在詳細資訊顯示畫面中，單元(在圖8以區分表示)或項目(在圖8以Module表示)係任意設定。此外，將顧客用力從裝置1的健康診斷除外時，也能從詳細資訊顯示畫面將區分即顧客用力除外。
此外，在圖8的例中，雖顯示異常部位顯示 畫面、供應狀態顯示畫面、健康狀態概要顯示畫面、詳細資訊顯示畫面合計4畫面，但在該4畫面中，可以顯示任何「1畫面」，或也可以在該4畫面中，顯示任意複數畫面。
根據實施例1中的畫面顯示控制部215b的畫面顯示處理，能達到以下所示的1或複數效果。
根據實施例1，因為畫面顯示控制部215b，在健康狀態概要顯示畫面，對各診斷方法項目(U.FDC、S.FDC、Parts、Alarm)的每個，以得點或負得點或異常件數顯示，在各診斷方法項目的每個，能夠容易掌握當日的裝置健康狀態、最近1週間的裝置健康狀態、最近1個月的裝置健康狀態。
根據實施例1，畫面顯示控制部215b在詳細資訊顯示畫面，對於複數診斷對象項目，分別顯示基於裝置資料進行異常診斷的診斷方法項目(FDC)的診斷結果、構成裝置1的部件的使用時間或關於使用次數的診斷方法項目(Parts)的診斷結果、關於裝置1的警告(障害資訊)的產生次數的診斷方法項目(Alarm)的診斷結果，容易掌握相對各個診斷對象項目的各診斷方法項目的診斷結果。
再來，因為畫面顯示控制部215b對於各診斷對象項目，顯示表示健康度(正常度)的得點，能夠容易 掌握對各個診斷對象項目的健康度。
(實施例2)
接著，基於圖7所示的畫面顯示程式的處理流程，分別說明使圖18所示的裝置1的運用狀態的彙整畫面顯示於操作顯示部227的處理、及利用圖18所示的診斷對象項目導出評價裝置1的運用狀態資訊的處理。其中，在實施例2中，圖9的診斷方法與實施例1一樣。另外，有關與實施例1重複的部分適宜地省略，以下，同時說明有關實施例2。
此外，在本實施例中，裝置管理控制器215在所具有的4個機能(資料整合、部件管理、裝置狀態監視、資料解析支援)中，基於裝置狀態監視控制部215e所輸出的裝置狀態監視結果資料、部件管理控制部215d所輸出的保守時期監視結果資料、資料整合控制部215c所輸出的用力監視結果資料，來導出表示裝置1的運用狀態的資訊。
首先，執行圖7所示的彙整畫面顯示工程(S11)。藉此，從記憶部215h讀出包含Health Check View畫面(異常部位顯示畫面)、Supply Check畫面(供應狀態顯示畫面)、Health Sumnary畫面(健康狀態概要顯示畫面)、Total Scoring Table畫面(詳細資訊顯 示畫面)、Parameter Matching畫面(檔案對照比較顯示畫面)的圖像檔案，各畫面在例如圖18所示的操作顯示部227的畫面上總括顯示。
Total Scoring Table畫面(詳細資訊顯示畫面)為與實施例1的Detail Information畫面(詳細資訊顯示畫面)相同的診斷對象項目，此外，診斷方法(U.FDC、S.FDC、Parts)也一樣，僅畫面名稱不同而已。此外，在圖18中作為區分僅為反應室，但也能夠以圖未示出的捲軸部分捲動而將其他的診斷對象項目在畫面上顯示。
此外，Supply Check畫面(供應狀態顯示畫面)作為項目，僅追加分類(圖18記載為Category)與診斷結果(圖18記載為Check Status)診斷對象項目為相同。此外，該Supply Check畫面(供應狀態顯示畫面)也能夠以圖未示的捲軸部分捲動，將其他的診斷對象項目在畫面上顯示。
此外，Health Summary畫面(健康狀態概要顯示畫面)僅變成表示評價與實施例1的裝置統合的運用狀態資訊的部分的樣本，Health Check View畫面(異常部位顯示畫面)為與實施例1同樣的畫面。
Parameter Matching畫面(檔案對照比較顯示畫面)為將資料整合控制部215c所致的進行後述檔案匹 配的結果(匹配率)儲存於裝置1的各控制器(控制部)的檔案來顯示者。此外，該檔案匹配的結果與表示裝置1的運用狀態的資訊的定量化沒有關係。其中，OU表示操作部201、Robo表示搬送控制部211、PMC表示處理控制部212、SYSTEM表示裝置管理控制器215。
接著，在圖7所示的監視結果資料取得工程(S12)中，關於與Parameter Matching畫面(檔案對照比較顯示畫面)以外的畫面檔案有關的資料取得也與實施例1一樣，故省略記載。
在本實施例中，畫面顯示控制部215b係必要地因應資料整合控制部215c所致的檔案匹配的結果，從記憶部215h取得。
(工具匹配機能)
利用圖10~12說明資料整合控制部215c所致的工具匹配機能。
在本實施形態中，重複裝置與主裝置直接通信，藉由取得來自主裝置的必要資料的方式，不需依賴管理裝置或上位電腦的一種即HOST電腦，藉由重複裝置自身能實現將重複裝置整合至主裝置的工具匹配。
如圖10所示那樣，重複裝置在例如重複裝置1(2)的主控記憶部222，作為初期資訊能夠設定主裝置 1(0)的名稱及IP位址(Internet Protocol Address)。該主裝置1(0)的名稱及IP位址，例如，從重複裝置1(2)的操作顯示部227藉由作業員來設定，但從主裝置1(0)向重複裝置1(2)配送也可以。與主裝置1(0)的連接使用IP位址及名稱這2個資訊的理由為在與主裝置1(0)之間確立IP位址所造成的通信連接後，作為對照裝置名稱的機制。藉此，能防止因IP位址設定錯誤所造成的誤連接，作業員不會意識主裝置，能夠進行匹配(資料整合)作業。
在圖10所示的資料整合控制中，包含重複裝置1(2)的裝置1的資料整合控制部215c，從主裝置1(0)的主控記憶部222讀出配方檔案及參數檔案，並儲存於裝置1的主控記憶部222，進行檔案匹配。
在檔案匹配中，將主裝置1(0)的配方檔案複製作為裝置1的配方檔案，進行主裝置1(0)的參數檔案與裝置1的參數檔案之間的比較、對照。
此外，將從主裝置1(0)接收的配方檔案及參數檔案，不儲存於主控記憶部222，而儲存於裝置1的記憶部215h，進行檔案匹配也可以。
不複製參數檔案而比較的理由為，裝置1的初號機納入後，在運用裝置1中，使用者取得最適的參數，將其作為機密管理。當沒有此等事情時，不比較參數檔案，與配方檔案同樣，複製也可以。相反地，當不複製 參數檔案而比較也可以。
進行資料整合控制(工具匹配)時，與圖11所示一樣，將與主裝置1(0)的檔案匹配(配方檔案為從主裝置1(0)複製，參數檔案為與主裝置1(0)的比較)的進度表，顯示於操作顯示部227。藉此，作業員能夠容易得知配方檔案的複製及參數的比較作業的進度狀況，此外，也能夠再開配方檔案的複製及參數的比較作業。
在圖11的例中，將配方檔案1(Recipe 1)~配方檔案10(Recipe 10)從主裝置1(0)的該當配方檔案複製，並將重複裝置1(2)的參數檔案1(Parameter 1)~參數檔案11(Parameter 11)與主裝置1(0)的該當參數檔案作比較。
例如，關於配方檔案1，檔案總數200之中能正常複製的檔案數為160，能正常複製的比例(匹配率)為80%。在配方檔案1的「匹配率」欄中，能正常複製的比例(圖中右上方的陰影線圖樣)、複製失敗的比例(圖中的點點圖樣)、複製不可的比例(圖中左上方的陰影線圖樣)、複製未結束的比例(圖中的白底圖樣)，由左依序以柱狀圖顯示。
此外，在實際的畫面中，將能正常複製的比例顯示為藍色、將複製失敗的比例顯示為黃色、將複製不可的比例顯示為紅色、將複製未結束的比例顯示為白色 等，以顏色區分較佳。
複製不可為，例如，於製程配方時，在複製目標的裝置1無組合檔案時發生。複製未結束為在作業員將複製中斷時等發生。複製不可或複製未結束的情況，在除去複製不可等的原因後，藉由預定的操作，例如，在操作顯示部227的畫面上點擊「匹配率」欄的未結束的區域，藉此能再度開始複製。
關於其他配方檔案2~10也與配方檔案1具有同樣的態樣，「匹配率」的欄以柱狀圖顯示。接著，作為表示配方檔案全體(配方檔案1~10)的匹配率的綜合匹配率，將85%顯示於「File」欄。
此外，例如，關於參數檔案1，檔案總數244之中比較結果為正常(也就是說，檔案內容為相同)的檔案數為231，比較結果為正常的比例(匹配率)為約95%。在參數檔案1的「匹配率」欄中，比較結果為正常的比例(圖中右上方的陰影線圖樣)、比較結果為異常的比例(圖中左上方的陰影線圖樣)，由左依序以柱狀圖顯示。
關於其他配方檔案2~11也與參數檔案1具有同樣的態樣，「匹配率」的欄以柱狀圖顯示。接著，作為表示配參數檔案全體(參數檔案1~11)的匹配率的綜合匹配率，將92%顯示於「Parameter」欄。
此外，如附加於參數檔案9的柱狀圖的箭頭所示，當比較結果為異常時，藉由在操作顯示部227的畫面上點擊柱狀圖的異常部分的區域，將參數檔案的相異點詳細地顯示。
圖12為有關本實施形態的檔案匹配的處理流程圖。該處理流程藉由資料整合控制部215c執行。
首先，進行第1配方檔案的複製(圖12的步驟S21)。當該配方檔案為複製不可時(S22為Yes)，使紅色顯示標記為ON(S23)，移行至步驟S27。當可複製時(S22為No)，檢查複製是否失敗，複製失敗時(S24為Yes)，使黃色顯示標記為ON(S25)，移行至步驟S27。複製未失敗時(S24為No)，使藍色顯示標記為ON(S26)，移行至步驟S27。
在步驟S27中，檢查所有的配方檔案的複製是否結束。當所有配方檔案的複製未結束時(S27為No)，返回S21，進行下個配方檔案的複製。
當所有配方檔案的複製結束時(S27為Yes)，進行第1參數檔案的比較(S28)。當該參數檔案有相異點時(S29為Yes)，使紅色顯示標記為ON(S30)，移行至步驟S32。沒有相異點時(S29為No)，使藍色顯示標記為ON(S31)，移行至步驟S32。
在步驟S32中，檢查所有的參數檔案的比較 是否結束。當所有參數檔案的比較未結束時(S32為No)，返回S28，進行下個參數檔案的比較。
當所有參數檔案的比較結束時(S32為Yes)，將圖11所示的匹配進度畫面顯示於操作顯示部227的畫面。此時，有關藍色顯示標記、紅色顯示標記、黃色顯示標記為ON的檔案，將圖11的匹配率欄分別以藍色、紅色、黃色顯示。此外，關於未結束的檔案，將圖11的匹配率欄以白色顯示。之後，本處理結束。
此外，資料整合控制部215c在上述資料整合控制部215c的匹配處理結束(S32為Yes)後，將包含表示匹配率的綜合匹配率的所有的匹配處理結果記憶於記憶部215h。
根據本實施形態的資料整合控制部215c的匹配處理，因為資料整合控制部215c，進行裝置1的檔案、與主裝置的檔案之間的複製或比較，能夠提高裝置1的檔案的信賴度。
根據本實施形態的資料整合控制部215c的匹配處理，因為資料整合控制部215c係顯示檔案的複製不可、複製失敗、複製未完、相異點的有無，能夠容易掌握複製不可、複製失敗、複製未完、相異點的有無。
檔案根據本實施形態的資料整合控制部215c的匹配處理，因為資料整合控制部215c詳細地顯示檢查 表示被顯示的檔案的相異點的部分，能夠容易掌握檔案相異點的詳細。
此外，本實施形態中的畫面顯示控制部215b，從記憶部215h取得將資料整合控制部215c所致的檔案全體作匹配的綜合匹配率，而顯示檔案對照比較顯示畫面的匹配率(Matching Rate)。
接著，執行資料判定工程(S13)，進行在S12所取得的診斷結果資料的判定與採點。在與實施例1相同的資料判定工程(S13)中，判定與診斷對象項目有關，診斷結果資料為正常還異常、或異常為何種程度。
(對Total Scoring Table畫面的診斷對象項目的判定)
在對詳細資訊顯示畫面的診斷對象項目的判定中，關於各診斷對象項目，進行各診斷結果資料(U.FDC、S.FDC、Parts有關的診斷結果資料)的判定。
具體來說，畫面顯示控制部215b在關於U.FDC、S.FDC的診斷結果資料中，異常資料(判定為異常的診斷結果資料)為5件以上時判定為異常大(×)，此外，異常資料為1件到4件時判定為異常小(△)，此外，無異常資料時判定為正常(○)。此為，關於異常資料1件的配點為1點。
此外。畫面顯示控制部215b在原本不作為診 斷對象時、及未取得與診斷對象項目關連的診斷結果資料等，無作為判定對象的診斷結果資料時，判定為資料判定對象外(-)。以後，有×為錯誤圖像，△為警告圖像，○為正常圖像，-為除外圖像的情形。此外，判定結果與採點結果記憶於記憶部215h。關於採點結果將於後述。
此外，畫面顯示控制部215b將判定的結果顯示於詳細資訊顯示畫面，在圖18的例中，表示將與項目(Module)的晶舟有關的裝置資料藉由圖9所示的U.FDC診斷的結果、異常資料為1件。也就是說，因為在健康狀態概要顯示畫面顯示99(100-1)，推測異常資料個數為1件。
接著，畫面顯示控制部215b在與Parts(部件管理)有關的診斷結果資料中，判定異常資料的程度。畫面顯示控制部215b，在異常資料(判定為異常的診斷結果資料)為20件以上時，判定為異常大(×)，此外，異常資料為1件到19件時判定為異常小(△)，此外，無異常資料時判定為正常(○)。此外，在圖18的例中，因為作為資料判定對象外，在全項目顯示除外圖像(-)。
此外，從異常資料1件到4件每個配點為1點，從異常資料5件到9件為止的配點為2點，從異常資料10件到14件為止為3點，從異常資料15件到19件為 止的配點為4點。主要是畫面顯示控制部215b在異常資料到20件為止判定為異常小，將警告圖像(△)顯示於詳細資訊顯示畫面。
此外，畫面顯示控制部215b將相當於部件管理控制部215d、裝置狀態監視控制部215e所分別輸出的判定為異常的診斷結果資料的構成部位，在異常部位顯示畫面上以能判別的方式顯示。
(對Supply Check畫面的診斷對象項目的判定)
此外，在資料判定工程(S13)中，判定資料整合控制部215c所輸出的診斷結果資料(用力監視結果資料)。也就是說，畫面顯示控制部215b判定各個診斷對象項目的基板處理開始時的實測值是否超過基準資料與預定閾值(例如±3%)。此外，在圖18的例中，為對於所有的項目的診斷結果資料收於閾值內的例子。
畫面顯示控制部215b若是裝置1的製程開始時的值超出基準資料(初期值表所示的基準值)以外的項目的話，將表示該當的判定結果(Check Status)單元有異常發生的圖像(A圖像)顯示若選擇畫面上的A圖像的話，顯示與更詳細的對象項目有關的資訊。例如，對於一個項目的複數設備資料有關連，該等設備資料中異常資料(判定為異常的用力監視結果資料)著色成紅色等，以可 判別的方式顯示。此外，該被著色的設備資料(異常資料)的每一個配點為1點。
(Health Summary畫面的採點處理)
接著，詳細說明有關健康狀態概要顯示畫面的採點處理。作為裝置的綜合運用狀態的評價指數的健康指數，例如，利用減算法以次式表示。
健康指數=滿點(100)-(判定為異常的用力監視結果資料數+判定為異常的裝置狀態監視結果資料數(U.FDC)+判定為異常的裝置狀態監視結果資料數(S.FDC)+Parts減算數)
在這裡，Parts減算數為判定為異常的保守時期監視結果資料數，從1件到4件減算數為1點、從5件到9件減算數為2點、從10件到14件減算數為3點、從15件到19件減算數為4點、從20件到24件減算數為5點‧‧‧加算的數，判定為異常的保守時期監視結果資料數為以略5倍增加的數。
也就是說，圖18中，健康指數成為100-(0-1-0-0)=99。
此外，從判定為異常的裝置狀態監視結果資料數及判定為異常的用力監視結果資料數算出的減算數，可以僅算異常數，雖不用特別注意，但因為Parts減算數 為在每診斷對象項目計算後，必需要再合計，因此需要注意。
接著，在判定結果顯示工程(S14)中，畫面顯示控制部215b從記憶部215h讀出資料判定工程(S13)的判定結果與採點結果，將圖18所示的詳細資訊顯示畫面、異常部位顯示畫面、健康狀態概要顯示畫面供應狀態顯示畫面更新並顯示。
(Total Scoring Table畫面的更新)
畫面顯示控制部215b在詳細資訊顯示畫面的更新中，對與各診斷對象項目有關的各診斷方法項目欄(U.FDC、S.FDC)欄的診斷結果資料，正常的情況將「○」、判定5件以上異常的情況將「×」、判定1件到4件異常的情況將「△」、沒有作為判定對象的診斷結果資料的情況將「-」分別顯示。
此外，畫面顯示控制部215b，在關於詳細資訊顯示畫面的診斷方法項目(Parts)欄的診斷結果資料，「○」「-」與診斷方法項目(U.FDC、S.FDC)同樣顯示，關於診斷方法項目(Parts)欄的診斷結果資料，判定20件以上異常的情況將「×」、判定1件到19件異常的情況將「△」分別顯示。
此外，與實施例1同樣追加Alarm(障害管 理)欄而顯示也可以，此外，將關於各診斷對象項目的得點追加得點欄而顯示也可以。但是，該情形，畫面顯示控制部215b執行實施例1記載的S201至S205。
此外，與實施例1一樣，在詳細資訊顯示畫面中，點擊顯示「×」或「△」的單元後，畫面顯示控制部215b再將診斷對象項目的詳細資訊顯示。
(Health Check View畫面的更新)
畫面顯示控制部215b與實施例1一樣，在顯示裝置1的全體圖的同時，將包含判定為異常的診斷結果資料單元(在圖18以區分表示)或項目(在圖18以Module表示)，也就是，將判定為異常的裝置1的構成部位，以能夠判別異常的方式顯示。
(Health Summary畫面的更新)
畫面顯示控制部215b分別使用裝置狀態監視控制部215e所輸出的裝置狀態監視結果資料、部件管理控制部215d所輸出的保守時期監視結果資料、資料整合控制部215c所輸出的用力監視結果資料，來導出表示裝置1的運用狀態的資訊。
具體來說，畫面顯示控制部215b使用裝置狀態監視控制部215e所輸出的判定為異常的裝置狀態監視 結果資料、判定為異常的部件管理控制部215d所輸出的保守時期監視結果資料、判定為異常的資料整合控制部215c所輸出的用力監視結果資料，藉由減算法來表示裝置1的健康指數(表示健康狀態的指數)。
(Supply Check畫面的更新)
此外，畫面顯示控制部215b係基於在診斷結果資料取得工程(S12)取得的診斷對象項目即與前驅物(圖8的Precursor)、冷卻水(圖8的Cooling Water Flow)、淨化溫度(圖8的LTP Purge & Blower)、排氣(圖8的Exhaust)、泵(圖8的Pump)有關的設備資料的診斷結果資料，將供應狀態顯示畫面更新並顯示。
(Parameter Matching畫面的更新)
此外，畫面顯示控制部215b係基於在診斷結果資料取得工程(S12)取得的檔案匹配對象的項目即與PMC、SYSTEM、OU、Robo有關的經檔案匹配的結果資料中的表示綜合匹配率的資料，將檔案比較顯示畫面更新並顯示。
這樣的話，根據實施例2，因為畫面顯示控制部215b在基板處理開始前，顯示裝置1(重複裝置)與主裝置的參數檔案比較結果，匹配率低時，在取得與主裝 置的檔案整合為止，能夠進行不使基板處理開始等的對應。再來，若是與基板處理用的配方檔案有關連的參數檔案的話，匹配率低時，藉由禁止配方的執行，能夠抑制閉鎖。
根據實施例2，因為畫面顯示控制部215b，將表示從顧客工廠提供的設備資料與基準資料比較的結果的用力監視結果資料用於表示裝置1的運用狀態的資訊的導出，能夠更精確地評價裝置的綜合運用狀態。
此外，在上述的本實施形態中，再來，裝置管理控制器215將表示裝置1的運用狀態的資訊，通知上位控制器也可以。
此外，在上述的本實施形態中，例如，定量地算出表示裝置1的運用狀態的資訊時，雖利用減算法(從滿點減算的方法)，但並不限於該算出方法，例如，因應異常數而加算點數也可以。
根據本實施形態中的裝置管理控制器215，能達到以下所示的1或複數效果。
(1)根據本實施形態，因為係基於由部件管理控制部215d所取得的保守時期監視結果資料及由裝置狀態監視控制部215e所取得的裝置狀態監視結果資料及由資料整合控制部215c所判定的用力監視結果資料所構成的群中所選擇的複數監視結果資料，來導出評價裝置的 運用狀態的資訊，裝置管理控制器215能夠一元地管理裝置的綜合狀態，能夠更精確地評價裝置的綜合運用狀態。
(2)畫面顯示控制部215b，將健康指數顯示在健康狀態概要顯示畫面，能夠將裝置的運用狀態定量地一眼掌握。
(3)因為畫面顯示控制部215b，在異常部位顯示畫面，將包含判定為異常的診斷結果資料的裝置1的構成部位，以能夠判別異常的方式顯示，能夠容易掌握那個部位為異常。
(4)因為畫面顯示控制部215b，在供應狀態顯示畫面顯示裝置1的製程開始時的設備資料的實測值對於基準資料超過預定的閾值的情事，能夠容易掌握裝置1的製程開始時的設備資料為異常。
(5)再來，畫面顯示控制部215b在該供應狀態顯示畫面，將設備資料的實測值為異常的情事，以診斷對象項目別顯示，能夠容易掌握異常的診斷對象項目。
(6)再來，因為畫面顯示控制部215b，在對基於裝置資料的經時變化量比較標準資料而進行異常診斷的診斷方法項目，加入裝置1的使用者所作成並使用的診斷方法U.FDC，而顯示裝置1的製造商所作成並使用的診斷方法即S.FDC，能夠容易掌握對各診斷對象項目的S.FDC的診斷結果。
(7)再來，因為畫面顯示控制部215b將U.FDC與S.FDC分別顯示，能夠容易掌握對各診斷對象項目的U.FDC與S.FDC的各個診斷結果。
(8)畫面顯示控制部215b在詳細資訊顯示畫面中，對於複數診斷對象項目，分別顯示基於裝置資料進行異常診斷的診斷方法項目(FDC)的診斷結果、構成裝置1的部件的使用時間或關於使用次數的診斷方法項目(Parts)的診斷結果，容易掌握相對各個診斷對象項目的各診斷方法項目的診斷結果。
此外，本發明的實施形態中的基板處理裝置1不只是製造半導體的半導體製造裝置，處理LCD(Liquid Crystal Display)裝置的各種玻璃基板的裝置也可以適用。又，利用曝光裝置、光蝕刻裝置、塗佈裝置、電漿的處理裝置等的各種基板處理裝置也可適用。
再來，在成膜處理，形成CVD(Chemical Vapor Deposition)、PVD(Physical Vapor Deposition)等的薄膜的處理或氧化膜、形成氮化膜的處理、形成包含金屬的膜的處理也可以實施。

Claims (19)

  1. 一種處理裝置，具備裝置管理控制器，該裝置管理控制器至少具有：監視構成裝置的構成部件狀態的部件管理控制部、監視從構成裝置的構成部件的作動狀態中得到的裝置資料的健全性的裝置狀態監視控制部、監視從工廠設備提供至裝置的設備資料的資料整合控制部；前述裝置管理控制器，係基於：由前述部件管理控制部所取得的保守時期監視結果資料、由前述裝置狀態監視控制部所取得的裝置狀態監視結果資料、及由前述資料整合控制部所取得的用力監視結果資料所構成的群中所選擇的複數監視結果資料，來導出評價裝置的運用狀態的資訊。
  2. 如請求項1所記載的處理裝置，其中，前述裝置管理控制器，在前述保守時期監視結果資料、前述裝置狀態監視結果資料、前述用力監視結果資料所構成的群中所選擇的至少一個監視結果資料中，基於判定為異常的監視結果資料，導出評價前述裝置的運用狀態的資訊。
  3. 如請求項1所記載的處理裝置，其中，前述裝置管理控制器，對應各個包含裝置的構成部位的複數診斷對象項目，判定有關前述保守時期監視結果資料或前述裝置狀態監視結果資料的異常程度。
  4. 如請求項1所記載的處理裝置，其中，前述資料整合控制部，係分別比較從工廠設備供應的項目即與顧客用力項目有關的前述設備資料與成為該設備資料基準的基 準資料，判定前述設備資料是否異常。
  5. 如請求項1所記載的處理裝置，其中，前述裝置管理控制器，係因應比較前述設備資料與前述基準資料而判定為異常的前述用力監視結果資料的有無，使示出發生異常的圖像顯示。
  6. 如請求項1所記載的處理裝置，其中，前述裝置管理控制器具備記憶主裝置的裝置名稱與IP位址的記憶部；前述資料整合控制部，在進行藉由前述IP位址而與前述主裝置的通信連接後，對照由前述通信連接所取得的前述主裝置的裝置名稱、與記憶於前述記憶部的前述主裝置的裝置名稱。
  7. 如請求項6所記載的處理裝置，其中，前述資料整合控制部在當前述對照中的裝置名稱一致時，從前述主裝置取得配方檔案，並複製該取得的前述主裝置的配方檔案，作為該處理裝置的配方檔案。
  8. 如請求項6所記載的處理裝置，其中，前述資料整合控制部在當前述對照中的裝置名稱一致時，從前述主裝置取得參數檔案，並對照該取得的前述主裝置的參數檔案與該處理裝置的參數檔案。
  9. 如請求項7或8所記載的處理裝置，更具有：顯示裝置；其中，該顯示裝置具備：顯示將裝置間的檔案複製或對照的結果顯示的操作畫面；前述資料整合控制部使前述顯示裝置顯示：前述主裝 置的配方檔案的複製進度狀況、或前述主裝置的參數檔案的對照進度狀況。
  10. 如請求項9所記載的處理裝置，其中，前述資料整合控制部使前述顯示裝置顯示：將裝置間的檔案複製或對照的結果、在檔案間一致的比例。
  11. 如請求項1所記載的處理裝置，其中，前述裝置狀態監視控制部係比較：從構成裝置的構成部件的作動狀態所得到的裝置資料、與對應於前述裝置資料的標準資料，判定前述裝置資料是否為異常。
  12. 如請求項11所記載的處理裝置，其中，前述裝置狀態監視控制部與具有成為標準的裝置資料的主裝置呈可通信連接，並從前述主裝置入手前述標準資料。
  13. 如請求項1所記載的處理部件，其中，前述部件管理控制部係分別比較：構成裝置的構成部件的部件資料、與對應於前述裝置資料的閾值，由前述部件資料是否超過閾值來判定交換時期。
  14. 如請求項1所記載的處理部件，其中，前述裝置管理控制器具有：分別記憶構成裝置的構成部件的部件資料、及對應於前述部件資料的閾值的記憶部；比較前述部件資料與前述基準資料，因應判定為異常的前述保守時期監視結果資料數來顯示圖像的顯示裝置。
  15. 如請求項1所記載的處理裝置，更具有顯示裝置；其中，該顯示裝置係在操作畫面顯示：由顯示從前述保守時期監視結果資料與前述裝置狀態監視結果資料中所 選擇的至少一個監視結果資料的畫面、顯示前述用力判定結果資料的畫面、定量顯示評價前述裝置的運用狀態的畫面所構成的群中所選擇的至少一個畫面。
  16. 如請求項1所記載的處理裝置，更具有顯示裝置；其中，該顯示裝置係在前述操作畫面顯示將裝置的全體概略圖模式地顯示的畫面；前述裝置管理控制器，在前述保守時期監視結果資料、前述裝置狀態監視結果資料所構成的群中所選擇的至少一個結果資料中，基於判定為異常的監視結果資料，將發生前述異常的裝置的構成部位，以能判別為異常的方式顯示於前述操作畫面。
  17. 如請求項1所記載的處理裝置，更具有顯示裝置；其中，該顯示裝置係將顯示比較裝置所保有的檔案與主裝置所保有的檔案的結果畫面，顯示於前述操作畫面；前述裝置管理控制器在前述操作畫面顯示分別在各控制部中，對照保有的檔案全體且一致的比例。
  18. 一種裝置管理控制器，至少具有：監視構成裝置的構成部件狀態的部件管理控制部、監視從構成裝置的構成部件的作動狀態中得到的裝置資料的健全性的裝置狀態監視控制部、監視從工廠設備提供至裝置的設備資料的資料整合控制部；前述裝置管理控制器，係基於：由前述部件管理控制部所取得的保守時期監視結果資料、由前述裝置狀態監視控制部所取得的裝置狀態監視結果資料、及由前述資料整 合控制部所判定的用力監視結果資料所構成的群中所選擇的複數監視結果資料，來導出評價裝置的運用狀態的資訊。
  19. 一種記錄媒體，在至少包含：監視構成裝置的構成部件狀態的部件管理控制部、監視從構成裝置的構成部件的作動狀態中得到的裝置資料的健全性的裝置狀態監視控制部、監視從工廠設備提供至裝置的設備資料的資料整合控制部的裝置管理控制器執行：監視構成裝置的部件的保守時期而輸出保守時期監視結果資料的步驟；將裝置所發生的裝置資料與標準資料作比較而輸出裝置狀態監視結果資料的步驟；比較裝置的設備資料與對應於該設備資料的基準資料而輸出用力判定結果資料的步驟；基於前述保守時期監視結果資料、前述裝置狀態監視結果資料、前述用力監視結果資料所構成的群中所選擇的複數前述監視結果資料，來導出評價裝置的運用狀態的資訊的步驟。
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