JP4899478B2 - 保守管理装置、保守管理方法、保守管理プログラム、及び情報記録媒体 - Google Patents
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Description
図8は、保守管理サーバ13の第1動作例を示すフローチャートである。基板処理工場10内で基板処理装置11が稼働している状況下において、保守管理サーバ13に設けられた装置データ収集部91(図4参照)は、基板処理装置11の各々に対して内部ネットワークLN1を介して装置データの送信要求を出力する。この送信要求が送信されると、露光装置30に設けられた主制御系74(図3参照)は、照度センサ88を用いて計測した過去の露光光ILの照度、照度むら、及び積算光量むらを示すデータ、並びにインテグレータセンサ72の検出結果を示すデータ等の装置データを、内部ネットワークLN1を介して保守管理サーバ13宛に送信する。装置データ収集部91は、送られた装置データを収集して一定期間記憶する(ステップS11)。
図11は、保守管理サーバ13の第2動作例を示すフローチャートである。上述した第1動作例の場合と同様に、基板処理工場10内で基板処理装置11が稼働している状況下において、保守管理サーバ13に設けられた装置データ収集部91(図4参照)は、基板処理装置11の各々に対して内部ネットワークLN1を介して装置データの送信要求を出力し、基板処理装置11の各々から装置データを収集する(ステップS31)。装置データが収集されると、装置データ解析部92は記憶部95内に記憶された傾向関数データD1を用いて収集された装置データを解析し、各基板処理装置11の装置状態の時間変動を予測する(ステップS32)。ここでは、露光光ILの照度の変化に着目しているため、装置データ収集部91で収集された装置データを直線近似して、露光光ILの照度の変動を予測する。
Claims (17)
- 露光光を用いて基板を処理する基板処理装置を保守管理する保守管理装置であって、
前記基板処理装置の装置状態を示す装置情報を収集する収集手段と、
前記収集手段によって収集された前記装置情報のうち、前記露光光の照度に関する計測結果を解析し、前記基板処理装置の照度変化の時間変動を予測する予測手段と、
前記予測手段の予測結果を用いて前記基板処理装置の保守を行う保守時期を求める保守時期算出手段とを備えることを特徴とする保守管理装置。 - 前記保守時期を求めるために予め設定された閾値を記憶する閾値記憶手段をさらに備え、
前記保守時期算出手段は、前記予測手段の前記予測結果が前記閾値記憶手段に記憶された閾値に達する時点を前記保守時期として求めることを特徴とする請求項1に記載の保守管理装置。 - 前記閾値記憶手段は、前記基板処理装置の保守として前記基板処理装置の調整を行うための第1閾値と、前記基板処理装置の保守として前記基板処理装置の部品の交換を行うための第2閾値とを記憶しており、
前記保守時期算出手段は、前記予測手段の前記予測結果が前記第1閾値に達する時点を前記基板処理装置の調整を行う調整時期として求め、前記予測手段の前記予測結果が前記第2閾値に達する時点を前記基板処理装置の部品の交換を行う部品交換時期として求めることを特徴とする請求項2に記載の保守管理装置。 - 前記基板処理装置は、パターンが形成されたマスクを照明する照明光学系を有し、
前記基板処理装置の調整は、前記照明光学系のレンズ調整を含み、前記基板処理装置の部品交換は、前記照明光学系のレンズ交換を含むことを特徴とする請求項3に記載の保守管理装置。 - 前記基板処理装置の部品の発注から取り寄せまでに要する期間を示す部品納期情報を記憶する部品納期情報記憶手段と、
前記部品納期情報及び前記保守時期算出手段により求められた前記保守時期に基づいて、前記基板処理装置の保守時に交換する部品の発注時期を算出する部品発注時期算出手段とをさらに備えることを特徴とする請求項1〜4の何れか一項に記載の保守管理装置。 - 前記基板処理装置の部品の在庫状況を示す在庫情報を記憶する在庫情報記憶手段と、
前記在庫情報に基づいて、前記基板処理装置の保守を行う上で必要となる部品の在庫の有無を判断し、在庫が無いと判断した場合に当該部品の発注を行う部品発注手段とをさらに備えることを特徴とする請求項1〜5の何れか一項に記載の保守管理装置。 - 前記基板処理装置の保守を行う作業者の技能及び作業可能日を示す作業者情報を記憶する作業者情報記憶手段と、
前記作業者情報及び前記保守時期算出手段により求められた前記保守時期に基づいて、前記基板処理装置の保守を行う作業員の割り当てを行う作業員割当手段をさらに備えることを特徴とする請求項1〜6の何れか一項に記載の保守管理装置。 - 前記収集手段、前記予測手段、前記保守時期算出手段、前記閾値記憶手段、前記部品納期情報記憶手段、及び前記部品発注時期算出手段を有する第1管理サーバと、
前記在庫情報記憶手段、前記部品発注手段、前記作業者情報記憶手段、及び前記作業員割当手段を有し、前記第1管理サーバとネットワークを介して接続された第2管理サーバとを備え、
前記第1管理サーバは、前記基板処理装置の保守内容及び前記保守時期算出手段により算出された保守時期を含む保守情報を、前記ネットワークを介して前記第2管理サーバに送信する送信手段を有することを特徴とする請求項7に記載の保守管理装置。 - 前記送信手段は、前記部品発注時期算出手段により算出された発注時期に前記保守情報を送信することを特徴とする請求項8に記載の保守管理装置。
- 前記収集手段は、前記基板処理装置が備える制御手段からネットワークを介して前記装置情報を収集することを特徴とする請求項1〜9の何れか一項に記載の保守管理装置。
- 露光光を用いて基板を処理する基板処理装置の保守時期を管理する保守管理方法であって、
前記基板処理装置の装置状態を示す装置情報を収集し、
収集された前記装置情報のうち、前記露光光の照度に関する計測結果を解析して前記基板処理装置の照度変化の時間変動を予測し、
前記予測結果を用いて前記基板処理装置の保守を行う保守時期を求めることを特徴とする保守管理方法。 - 前記基板処理装置の部品の発注から取り寄せまでに要する期間を示す部品納期情報と前記保守時期とに基づいて、前記基板処理装置の保守時に交換する部品の発注時期を算出することを特徴とする請求項11に記載の保守管理方法。
- 前記基板処理装置の保守内容及び前記保守時期を含む保守情報を、前記発注時期にネットワークを介して送信することを特徴とする請求項12に記載の保守管理方法。
- 前記ネットワークを介して送られる前記保守情報を受信し、
前記基板処理装置の部品の在庫状況を示す在庫情報と、受信した前記保守情報とに基づいて前記基板処理装置の保守を行う上で必要となる部品の在庫の有無を判断し、在庫が無いと判断した場合に当該部品を発注することを特徴とする請求項13に記載の保守管理方法。 - 前記基板処理装置の保守を行う作業者の技能及び作業可能日を示す作業者情報と前記保守情報とに基づいて、前記基板処理装置の保守を行う作業員の割り当てを行うことを特徴とする請求項13又は14に記載の保守管理方法。
- コンピュータを請求項1〜10の何れか一項に記載の保守管理装置として機能させる保守管理プログラム。
- 請求項16に記載の保守管理プログラムが記録されたコンピュータ読み取り可能な情報記録媒体。
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