TW201634937A - 電子零件搬送裝置及電子零件檢查裝置 - Google Patents

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Masami Maeda
Toshioki Shimojima
Takashi Yamazaki
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Abstract

本發明提供一種可於實施對裝置之內部之作業時，儘可能抑制外氣之流入之電子零件搬送裝置及電子零件檢查裝置。 本發明之電子零件搬送裝置具備可開閉之第1開閉部4、將第1開閉部4可轉動地支持之第1轉動支持部42、可開閉地設置於第1開閉部4之第2開閉部5、及將第2開閉部5可轉動地支持之第2轉動支持部52。第1開閉部4之面積大於第2開閉部5之面積。

Description

電子零件搬送裝置及電子零件檢查裝置
本發明係關於一種電子零件搬送裝置及電子零件檢查裝置。
先前以來，已知有檢查例如IC元件等電子零件之電氣特性之電子零件檢查裝置，於該電子零件檢查裝置中組裝有用以將IC元件搬送至檢查部之保持部之電子零件搬送裝置。於IC元件之檢查時，IC元件配置於保持部，且使設置於保持部之複數個探針接腳與IC元件之各端子接觸。
於此種IC元件之檢查時，存在將IC元件冷卻至特定溫度而進行之情形。該情形時，必須以罩體覆蓋而密閉檢查IC元件之檢查區域內。
[先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本專利特開2000-35458號公報
然而，於專利文獻1中，對密閉後之檢查區域內之IC元件進行例如壓緊解除時，會將罩體設為必要程度以上之開狀態，該情形時，存在含有水分之外氣大量流入，於IC元件等產生結露之可能性變高之問題。
本發明之目的在於提供一種可於實施針對裝置之內部之作業 時，儘可能抑制外氣之流入之電子零件搬送裝置及電子零件檢查裝置。
此種目的係藉由下文所示之本發明之應用例而達成。
[應用例1]本應用例之電子零件搬送裝置之特徵在於具備可開閉之第1開閉部、及可開閉地設置於上述第1開閉部之第2開閉部。
藉此，於實施針對電子零件搬送裝置(裝置)之內部之作業時，可將第2開閉部設為開狀態而進行該作業，由此可儘可能抑制外氣之流入。
[應用例2]於本應用例之電子零件搬送裝置中，較佳為上述第1開閉部之面積大於上述第2開閉部之面積。
藉此，於實施針對裝置之內部之作業時，例如一般成年人之手臂可經由開狀態之第2開閉部而容易地進出。
[應用例3]於本應用例之電子零件搬送裝置中，較佳為具備將上述第1開閉部可轉動地支持之第1轉動支持部。
藉此，可順利地進行第1開閉部之開閉。
[應用例4]於本應用例之電子零件搬送裝置中，較佳為具備將上述第2開閉部可轉動地支持之第2轉動支持部。
藉此，可順利地進行第2開閉部之開閉。
[應用例5]於本應用例之電子零件搬送裝置中，較佳為於上述第2轉動支持部設置有彈壓上述第2開閉部之彈壓部。
藉此，可防止作業後忘記關閉第2開閉部。
[應用例6]於本應用例之電子零件搬送裝置中，較佳為上述第2轉動支持部配置於上述第2開閉部之鉛垂上方。
藉此，可以自重關閉第2開閉部。
[應用例7]於本應用例之電子零件搬送裝置中，較佳為上述第2開 閉部係朝上述電子零件搬送裝置之內側開啟、或朝外側開啟者。
藉此，第2開閉部之開閉時之操作性提高。
[應用例8]於本應用例之電子零件搬送裝置中，較佳為上述第2開閉部可滑動地支持於上述第1開閉部。
藉此，防止裝置之外形無關第2開閉部之開閉而變化，由此提高該裝置之設置部位之自由度。
[應用例9]於本應用例之電子零件搬送裝置中，較佳為上述第1開閉部配置有複數個。
藉此，只要開啟儘可能接近欲進行裝置內部之作業之部分之第1開閉部，便可容易地進行該作業。
[應用例10]於本應用例之電子零件搬送裝置中，較佳為於上述第1開閉部配置有複數個上述第2開閉部。
藉此，例如作業者可使用雙手，將1個第2開閉部設為開狀態且插入左手，將另1個第2開閉部設為開狀態且插入右手，由此提高作業性。
[應用例11]於本應用例之電子零件搬送裝置中，較佳為具備搬送電子零件之搬送區，上述第2開閉部配置於上述搬送區附近。
藉此，只要將第2開閉部設為開狀態，則即便不開啟第1開閉部亦可進行朝搬送區內之作業。
[應用例12]於本應用例之電子零件搬送裝置中，較佳為於上述搬送區設置有載置上述電子零件之載置部，上述第2開閉部配置於較上述載置部更為鉛垂上方。
藉此，只要將第2開閉部設為開狀態，則可設為載置部位於較作業者之視線更低位置之狀態，由此可即刻進行對於載置部之作業。
[應用例13]於本應用例之電子零件搬送裝置中，較佳為配置有可鎖定上述第1開閉部之第1閂鎖機構及可鎖定上述第2開閉部之第2閂鎖 機構。
藉此，可防止例如作業者誤操作而將第1開閉部或第2開閉部設為開狀態。
[應用例14]於本應用例之電子零件搬送裝置中，較佳為配置有可鎖定上述第1開閉部及上述第2開閉部之至少一個閂鎖機構。
藉此，可使裝置之構成及控制簡單。
[應用例15]本應用例之電子零件檢查裝置之特徵在於具備可開閉之第1開閉部、可開閉地設置於上述第1開閉部之第2開閉部、及檢查電子零件之檢查部。
藉此，於實施對裝置之內部之作業時，可將第2開閉部設為開狀態而進行該作業，由此可儘可能抑制外氣之流入。
[應用例16]本應用例之電子零件搬送裝置之特徵在於具備：可開閉之第1開閉部；第2開閉部，其可開閉地設置於上述第1開閉部；及報知部，其報知上述第1開閉部及上述第2開閉部中至少任一者之開閉狀態。
藉此，於實施對裝置之內部之作業時，可儘可能抑制外氣之流入。
[應用例17]於本應用例之電子零件搬送裝置中，較佳為上述報知部可輸出發光、警報聲、聲音、或上述發光、上述警報聲、上述聲音中至少兩者之組合。
藉此，於實施對裝置之內部之作業時，可促使其作業者儘快將成為開狀態之第1開閉部或第2開閉部設為閉狀態。藉此，可縮短開狀態之時間，由此可儘可能抑制外氣流入裝置之內部。
[應用例18]於本應用例之電子零件搬送裝置中，較佳為上述報知部為顯示上述開閉狀態之顯示畫面。
藉此，於實施對裝置之內部之作業時，可藉由視覺促使其作業 者儘快將成為開狀態之第1開閉部或第2開閉部設為閉狀態。藉此，可縮短開狀態之時間，由此可儘可能抑制外氣流入裝置之內部。
[應用例19]於本應用例之電子零件搬送裝置中，較佳為可於上述顯示畫面，顯示報知上述第1開閉部之開閉狀態之第1報知部、及報知上述第2開閉部之開閉狀態之第2報知部。
藉此，可掌握所報知之內容係第1開閉部之開閉狀態或第2開閉部之開閉狀態。
[應用例20]於本應用例之電子零件搬送裝置中，較佳為上述第1報知部與上述第2報知部之顏色、形狀、大小、亮滅狀態中之至少一者彼此不同。
藉此，可容易地掌握所報知之內容係第1開閉部之開閉狀態或第2開閉部之開閉狀態。
[應用例21]於本應用例之電子零件搬送裝置中，較佳為上述報知部具有報知上述第1開閉部之開閉狀態之第1報知部、及報知上述第2開閉部之開閉狀態之第2報知部。
藉此，可進行與使用裝置之使用者相應之開閉狀態之報知之設定，由此提高對於使用者而言之操作性。
[應用例22]於本應用例之電子零件搬送裝置中，較佳為於藉由上述報知部之報知後，經過時間超過預先設定之時間之情形時，能以將成為開狀態之上述第1開閉部及上述第2開閉部中之至少任一者設為閉狀態之方式進行指示。
藉此，可進而儘可能抑制外氣流入裝置之內部。
[應用例23]於本應用例之電子零件搬送裝置中，較佳為於藉由上述報知部之報知後，超出預先設定之濕度或溫度之情形時，能以將成為開狀態之上述第1開閉部及上述第2開閉部中之至少任一者設為閉狀態之方式進行指示。
藉此，可進而儘可能抑制外氣流入裝置之內部。
[應用例24]於本應用例之電子零件搬送裝置中，較佳為具備設置於搬送電子零件之區域且可移動之移動部、及可感知上述第1開閉部及上述第2開閉部之開閉之感測器；且於上述感測器感知到上述第1開閉部及上述第2開閉部之開狀態之情形時，上述移動部停止。
藉此可確保進行作業之作業者之安全。
[應用例25]於本應用例之電子零件搬送裝置中，較佳為具備設置於搬送電子零件之區域且可移動之移動部、及維持上述第1開閉部及上述第2開閉部之閉狀態之閂鎖部；且於上述報知部報知後，上述移動部之移動已停止之情形時，解除藉由上述閂鎖部之閉狀態之維持。
藉此，可省略例如用以將第1開閉部或第2開閉部設為開狀態之開關之操作，而將第1開閉部或第2開閉部設為開狀態。
[應用例26]本應用例之電子零件檢查裝置之特徵在於具備：可開閉之第1開閉部；第2開閉部，其可開閉地設置於上述第1開閉部；報知部，其報知上述第1開閉部及上述第2開閉部中之至少任一者之開閉狀態；及檢查部，其檢查電子零件。
藉此，可於實施對裝置之內部之作業時，儘可能抑制外氣之流入。
1‧‧‧檢查裝置(電子零件檢查裝置)
1a‧‧‧檢查裝置
4‧‧‧第1開閉部
5‧‧‧第2開閉部
10A‧‧‧第1報知部
10A711‧‧‧第1報知部
10A712‧‧‧第1報知部
10A721‧‧‧第1報知部
10A722‧‧‧第1報知部
10A731‧‧‧第1報知部
10A733‧‧‧第1報知部
10B‧‧‧第2報知部
10B711‧‧‧第2報知部
10B712‧‧‧第2報知部
10B721‧‧‧第2報知部
10B722‧‧‧第2報知部
10B731‧‧‧第2報知部
10B733‧‧‧第2報知部
11A‧‧‧托盤搬送機構
11B‧‧‧托盤搬送機構
12‧‧‧溫度調整部(均熱板)
13‧‧‧元件搬送頭
14‧‧‧元件供給部(供給梭)
15‧‧‧托盤搬送機構(第1搬送裝置)
16‧‧‧檢查部
17‧‧‧元件搬送頭
18‧‧‧元件回收部(回收梭)
19‧‧‧回收用托盤
20‧‧‧元件搬送頭
21‧‧‧托盤搬送機構(第2搬送裝置)
22A‧‧‧托盤搬送機構
22B‧‧‧托盤搬送機構
41a、41b、41c、41d‧‧‧邊(緣部)
42‧‧‧第1轉動支持部
43‧‧‧閂鎖構件
44‧‧‧開口部
45‧‧‧板片
46‧‧‧軌道
51a、51b、51c、51d‧‧‧邊(緣部)
52‧‧‧第2轉動支持部
53‧‧‧閂鎖構件
54‧‧‧滾花螺釘
61‧‧‧第1間隔壁
62‧‧‧第2間隔壁
63‧‧‧第3間隔壁
64‧‧‧第4間隔壁
65‧‧‧第5間隔壁
66‧‧‧內側間隔壁
70‧‧‧前罩體
71‧‧‧側罩體
72‧‧‧側罩體
73‧‧‧後罩體
74‧‧‧頂罩體
75‧‧‧第4門
76‧‧‧檢測部
77‧‧‧檢測部
80‧‧‧控制部
80a‧‧‧控制部
90‧‧‧IC元件
200‧‧‧托盤(配置構件)
300‧‧‧監視器
301‧‧‧顯示畫面
400‧‧‧信號燈
461‧‧‧槽
500‧‧‧揚聲器
521‧‧‧扭力彈簧
600‧‧‧滑鼠台
711‧‧‧第1門
712‧‧‧第2門
713‧‧‧開口部
721‧‧‧第1門
722‧‧‧第2門
731‧‧‧第1門
732‧‧‧第2門
733‧‧‧第3門
740‧‧‧氣缸
740a‧‧‧缸桿
741‧‧‧氣缸
742‧‧‧氣缸
743‧‧‧氣缸
744‧‧‧氣缸
745‧‧‧氣缸
746‧‧‧氣缸
746a‧‧‧缸桿
747‧‧‧氣缸
747a‧‧‧缸桿
747b‧‧‧前端構件
747c‧‧‧第1部分
747d‧‧‧第2部分
761‧‧‧磁體感測器
762‧‧‧磁體
771‧‧‧磁體感測器
772‧‧‧磁體
A1‧‧‧托盤供給區域
A2‧‧‧元件供給區域(供給區域)
A3‧‧‧檢查區域
A4‧‧‧元件回收區域(回收區域)
A5‧‧‧托盤去除區域
R1‧‧‧第1室
R2‧‧‧第2室
R3‧‧‧第3室
MF‧‧‧主窗體
S101‧‧‧步驟
S102‧‧‧步驟
S103‧‧‧步驟
S104‧‧‧步驟
S105‧‧‧步驟
S111‧‧‧步驟
S112‧‧‧步驟
S113‧‧‧步驟
S114‧‧‧步驟
S115‧‧‧步驟
S116‧‧‧步驟
S117‧‧‧步驟
SF‧‧‧子窗體
α‧‧‧濕度(或溫度)
α0‧‧‧閾值
圖1係表示本發明之電子零件檢查裝置之第1實施形態之概略俯視圖。
圖2係表示圖1所示之電子零件檢查裝置具備之開狀態之第1開閉部與閉狀態之第2開閉部之圖。
圖3係表示圖1所示之電子零件檢查裝置具備之閉狀態之第1開閉部與開狀態之第2開閉部之圖。
圖4係表示圖1所示之電子零件檢查裝置具備之第2開閉部及其周 邊之圖。
圖5係表示圖1所示之電子零件檢查裝置具備之開閉狀態之第2開閉部之剖視圖。
圖6係表示圖1所示之電子零件檢查裝置之控制程序之流程圖。
圖7係表示本發明之電子零件檢查裝置(第2實施形態)具備之第2開閉部及其周邊之圖。
圖8係表示本發明之電子零件檢查裝置(第3實施形態)具備之閉狀態之第1開閉部與閉狀態之第2開閉部之圖。
圖9係表示本發明之電子零件檢查裝置(第4實施形態)具備之開閉狀態之第2開閉部之剖視圖。
圖10(a)、(b)係表示本發明之電子零件檢查裝置(第5實施形態)具備之開閉狀態之第2開閉部之圖。
圖11係圖10中之A-A線剖視圖。
圖12(a)、(b)係表示本發明之電子零件檢查裝置(第6實施形態)具備之開閉狀態之第2開閉部之圖。
圖13(a)、(b)係表示本發明之電子零件檢查裝置(第7實施形態)具備之開閉狀態之第2開閉部之圖。
圖14係自正面側觀察本發明之電子零件檢查裝置之第8實施形態之概略立體圖。
圖15係圖14所示之電子零件檢查裝置之概略俯視圖。
圖16係表示圖15所示之電子零件檢查裝置具備之開狀態之第1開閉部與閉狀態之第2開閉部之圖。
圖17係表示圖15所示之電子零件檢查裝置具備之閉狀態之第1開閉部與開狀態之第2開閉部之圖。
圖18係表示圖15所示之電子零件檢查裝置具備之第2開閉部及其周邊之圖。
圖19係表示圖15所示之電子零件檢查裝置具備之開閉狀態之第2開閉部之剖視圖。
圖20係表示圖14所示之電子零件檢查裝置具備之監視器所顯示之第1開閉部及第2開閉部之開閉狀態之圖像。
圖21係表示圖14所示之電子零件檢查裝置具備之監視器所顯示之第1開閉部及第2開閉部之開閉狀態之圖像。
圖22係表示圖14所示之電子零件檢查裝置具備之監視器所顯示之第1開閉部及第2開閉部之開閉狀態之圖像。
圖23係表示圖14所示之電子零件檢查裝置之控制程序之流程圖。
以下，基於隨附圖式所示之較佳之實施形態詳細地說明本發明之電子零件搬送裝置及電子零件檢查裝置。
再者，於以下之實施形態中，為了便於說明，而例如圖1所示，將彼此正交之3軸設為X軸、Y軸及Z軸。又，包含X軸與Y軸之XY平面呈水平，Z軸呈鉛垂。又，亦將平行於X軸之方向稱為「X方向」，將平行於Y軸之方向稱為「Y方向」，將平行於Z軸之方向稱為「Z方向」。又，亦將電子零件之搬送方向之上游側簡稱為「上游側」，將電子零件之搬送方向之下游側簡稱為「下游側」。又，本案說明書中所言之「水平」並不限定於完全水平，亦包含只要不阻礙電子零件之搬送則可相對於水平而稍微(例如未達5°左右)傾斜之狀態。
以下實施形態所示之檢查裝置(電子零件檢查裝置)例如係用以檢查、試驗(以下簡稱為「檢查」)BGA(Ball grid array：球狀柵格陣列)封裝或LGA(Land grid array：平面柵格陣列)封裝等IC元件、LCD(Liquid Crystal Display：液晶顯示器)、CIS(CMOS Image Sensor：CMOS影像感測器)等電子零件之電氣特性之裝置。再者，於 下文中，為了便於說明，而以使用IC元件作為進行檢查之上述電子零件之情形為代表加以說明，且將該IC元件設為「IC元件90」。
<第1實施形態>
圖1係表示本發明之電子零件檢查裝置之第1實施形態之概略俯視圖。圖2係表示圖1所示之電子零件檢查裝置具備之開狀態之第1開閉部與閉狀態之第2開閉部之圖。圖3係表示圖1所示之電子零件檢查裝置具備之閉狀態之第1開閉部與開狀態之第2開閉部之圖。圖4係表示圖1所示之電子零件檢查裝置具備之第2開閉部及其周邊之圖。圖5係表示圖1所示之電子零件檢查裝置具備之開閉狀態之第2開閉部之剖視圖。圖6係表示圖1所示之電子零件檢查裝置之控制程序之流程圖。
如圖1所示，檢查裝置(電子零件檢查裝置)1被分為托盤供給區域A1、元件供給區域(以下亦簡稱為「供給區域」)A2、檢查區域A3、元件回收區域(以下亦簡稱為「回收區域」)A4、及托盤去除區域A5。並且，IC元件90係自托盤供給區域A1按序經由供給區域A2、檢查區域A3、回收區域A4、托盤去除區域A5，且於途中之檢查區域A3接受檢查。
如此，檢查裝置1係具備於托盤供給區域A1、供給區域A2、檢查區域A3、回收區域A4、托盤去除區域A5中搬送IC元件90之電子零件搬送裝置、於檢查區域A3內進行檢查之檢查部16、及控制部80者。於檢查裝置1中，亦可將托盤供給區域A1至托盤去除區域A5中之自搬送IC元件90之元件供給區域A2至元件回收區域A4稱為「搬送區域(搬送區)」。
再者，檢查裝置1係配設有托盤供給區域A1、托盤去除區域A5之方向(圖1中-Y方向側)為正面側，其相反側即配設有檢查區域A3之方向(圖1中+Y方向側)作為背面側使用。
托盤供給區域A1係供給上表面排列(配置)有未檢查狀態之複數個 IC元件90之托盤(配置構件)200之供料部。於托盤供給區域A1中，可堆疊多個托盤200。
供給區域A2係將自托盤供給區域A1搬入之配置於托盤200上之複數個IC元件90分別供給至檢查區域A3之區域。再者，以跨及托盤供給區域A1與供給區域A2之方式設置有逐片搬送托盤200之托盤搬送機構11A、11B。
於供給區域A2設置有溫度調整部(均熱板)12、元件搬送頭13、及托盤搬送機構(第1搬送裝置)15。
溫度調整部12係載置複數個IC元件90之載置部，可加熱或冷卻該複數個IC元件90。藉此，可將IC元件90調整為適於檢查之溫度。
於圖1所示之構成中，溫度調整部12於Y方向配置、固定有2個。並且，藉由托盤搬送機構11A自托盤供給區域A1搬入(搬送而來)之托盤200上之IC元件90被搬送且載置於任一個溫度調整部12。
元件搬送頭13於供給區域A2內可移動地被支持。藉此，元件搬送頭13可承擔自托盤供給區域A1搬入之托盤200與溫度調整部12之間之IC元件90之搬送、及溫度調整部12與後述之元件供給部14之間之IC元件90之搬送。
托盤搬送機構15係將全部IC元件90搬出後之狀態之空托盤200於供給區域A2內沿X方向搬送之機構。並且，該搬送後，空托盤200藉由托盤搬送機構11B自供給區域A2返回至托盤供給區域A1。
檢查區域A3係檢查IC元件90之區域。於該檢查區域A3，設置有元件供給部(供給梭)14、檢查部16、元件搬送頭17、及元件回收部(回收梭)18。
元件供給部14係載置溫度調整後之IC元件90之載置部，可將該IC元件90搬送至檢查部16附近。該元件供給部14於供給區域A2與檢查區域A3之間沿X方向可移動地被支持。又，於圖1所示之構成中， 元件供給部14於Y方向配置有2個，溫度調整部12上之IC元件90被搬送、載置於任一個元件供給部14。
檢查部16係檢查、試驗IC元件90之電氣特性之單元。於檢查部16設置有以保持有IC元件90之狀態與該IC元件90之端子電性連接之複數個探針接腳。並且，IC元件90之端子與探針接腳電性連接(接觸)，經由探針接腳進行IC元件90之檢查。IC元件90之檢查基於連接於檢查部16之測試器具備之檢查控制部所記憶之程式而進行。再者，於檢查部16中，可與溫度調整部12同樣地加熱或冷卻IC元件90，將該IC元件90調整為適於檢查之溫度。
元件搬送頭17於檢查區域A3內可移動地被支持。藉此，元件搬送頭17可將自供給區域A2搬入之元件供給部14上之IC元件90搬送、載置於檢查部16上。
元件回收部18係載置檢查部16之檢查結束後之IC元件90之載置部，可將該IC元件90搬送至回收區域A4。該元件回收部18於檢查區域A3與回收區域A4之間沿X方向可移動地被支持。又，於圖1所示之構成中，元件回收部18與元件供給部14同樣地於Y方向配置有2個，檢查部16上之IC元件90被搬送、載置於任一個元件回收部18。該搬送藉由元件搬送頭17進行。
回收區域A4係回收檢查結束之複數個IC元件90之區域。於該回收區域A4設置有回收用托盤19、元件搬送頭20、及托盤搬送機構(第2搬送裝置)21。又，於回收區域A4亦準備有空托盤200。
回收用托盤19係載置IC元件90之載置部，固定於回收區域A4內，於圖1所示之構成中，沿X方向配置有3個。又，空托盤200亦為載置IC元件90之載置部，沿X方向配置有3個。並且，移動至回收區域A4之元件回收部18上之IC元件90被搬送、載置於該等回收用托盤19及空托盤200中之任一者。藉此，IC元件90按各檢查結果被回收、 分類。
元件搬送頭20於回收區域A4內可移動地被支持。藉此，元件搬送頭20可將IC元件90自元件回收部18搬送至回收用托盤19或空托盤200。
托盤搬送機構21係使自托盤去除區域A5搬入後之空托盤200於回收區域A4內沿X方向搬送之機構。並且，於該搬送後，空托盤200可配設於回收IC元件90之位置，即成為上述3個空托盤200中之任一者。如此，於檢查裝置1中，於回收區域A4設置托盤搬送機構21，除此之外，於供給區域A2設置有托盤搬送機構15。藉此，與例如藉由1個搬送機構進行將空托盤200朝X方向搬送相比，可謀求產出量(單位時間之IC元件90之搬送個數)之提高。
再者，作為托盤搬送機構15、21之構成，並未特別限定，例如，可列舉具有吸附托盤200之吸附構件、及將該吸附構件以可於X方向移動之方式支持之滾珠螺桿等支持機構之構成。
托盤去除區域A5係回收、去除排列有檢查完畢狀態之複數個IC元件90之托盤200之除料部。於托盤去除區域A5中，可堆疊複數個托盤200。
又，以跨及回收區域A4與托盤去除區域A5之方式，設置有逐片搬送托盤200之托盤搬送機構22A、22B。托盤搬送機構22A係將載置有檢查完畢之IC元件90之托盤200自回收區域A4搬送至托盤去除區域A5之機構。托盤搬送機構22B係將用以回收IC元件90之空托盤200自托盤去除區域A5搬送至回收區域A4之機構。
控制部80例如具有驅動控制部。驅動控制部例如控制托盤搬送機構11A、11B、溫度調整部12、元件搬送頭13、元件供給部14、托盤搬送機構15、檢查部16、元件搬送頭17、元件回收部18、元件搬送頭20、托盤搬送機構21、托盤搬送機構22A、22B之各部之驅動。
再者，上述測試器之檢查控制部例如基於記憶於未圖示之記憶體內之程式，進行配置於檢查部16之IC元件90之電氣特性之檢查等。
於如上所述之檢查裝置1中，除溫度調整部12或檢查部16以外，元件搬送頭13、元件供給部14、元件搬送頭17亦構成為可加熱或冷卻元件90。藉此，IC元件90於被搬送之期間，溫度維持為固定。並且，於下文中，說明對IC元件90進行冷卻且於例如-60℃~-40℃之範圍內之低溫環境下進行檢查之情形。
如圖1所示，檢查裝置1係藉由第1間隔壁61隔開(分隔)托盤供給區域A1與供給區域A2之間，藉由第2間隔壁62隔開供給區域A2與檢查區域A3之間，藉由第3間隔壁63隔開檢查區域A3與回收區域A4之間，藉由第4間隔壁64隔開回收區域A4與托盤去除區域A5之間。又，供給區域A2與回收區域A4之間亦藉由第5間隔壁65隔開。該等間隔壁具有保持各區域之氣密性之功能。進而，檢查裝置1之最外面以罩體覆蓋，於該罩體具有例如前罩體70、側罩體71及72、後罩體73。
並且，供給區域A2成為藉由第1間隔壁61、第2間隔壁62、第5間隔壁65、側罩體71、及後罩體73劃分形成之第1室R1。將未檢查狀態之複數個IC元件90連同托盤200一併搬入至第1室R1。
檢查區域A3成為藉由第2間隔壁62、第3間隔壁63、及後罩體73劃分形成之第2室R2。又，於第2室R2，於較後罩體73更靠內側配置有內側間隔壁66。
回收區域A4成為藉由第3間隔壁63、第4間隔壁64、第5間隔壁65、側罩體72、及後罩體73劃分形成之第3室R3。對第3室R3，自第2室R2搬入檢查結束之複數個IC元件90。
如圖1所示，於側罩體71設置有第1門(左側第1門)711與第2門(左側第2門)712。藉由開啟第1門711或第2門712，可進行例如於第1室R1內之例如維護或IC元件90之壓緊之解除等(以下，將該等統稱為「作 業」)。再者，第1門711與第2門712呈彼此朝相反方向開閉之所謂之「左右對開之門」。又，於第1室R1內之作業時，該第1室R1內之元件搬送頭13等可動部停止。
同樣地，於側罩體72設置有第1門(右側第1門)721與第2門(右側第2門)722。藉由開啟第1門721或第2門722，可進行例如於第3室R3內之作業。再者，第1門721與第2門722亦呈彼此朝相反方向開閉之所謂之「左右對開之門」。又，於第3室R3內之作業時，該第3室R3內之元件搬送頭20等可動部停止。
又，於後罩體73，亦設置有第1門(背面側第1門)731、第2門(背面側第2門)732、及第3門(背面側第3門)733。藉由開啟第1門731，可進行例如於第1室R1內之作業。藉由開啟第3門733，可進行例如於第3室R3內之作業。進而，於內側間隔壁66設置有第4門75。並且，藉由開啟第2門732及第4門75，可進行例如於第2室R2內之作業。再者，第1門731、第2門732、及第4門75係於相同方向開閉，第3門733係於與該等門相反之方向開閉。又，於第2室R2內之作業時，該第2室R2內之元件搬送頭17等可動部停止。
並且，藉由關閉各門，可確保對應之各室內之氣密性或隔熱性。
然而，於檢查裝置1中，該等門中，側罩體71側之第1門711及第2門712、側罩體72側之第1門721及第2門722、後罩體73側之第1門731及第3門733係分別由第1開閉部4與第2開閉部5構成(參照圖2、圖3)，成為將該等組裝而成之組裝體。以下，以位於側罩體71側之第1門711為代表進行說明。
如圖2~圖4所示，第1開閉部4係相對於形成於側罩體71之開口部713可開閉之門。藉此，第1開閉部4可以閉狀態覆蓋開口部713之一半(圖中左側之部分)(參照圖3)，且可以開狀態打開開口部713(參照圖 2)。
該第1開閉部4以俯視下呈大致四邊形狀之板構件構成。再者，作為第1開閉部4之大小，雖亦取決於檢查裝置1之大小，但較佳為例如縱長(Z方向之長度)、橫長(Y方向之長度)均為400mm以上且600mm以下，更佳為450mm以上且550mm以下。
並且，呈四邊形狀之第1開閉部4係4條邊(緣部)41a、41b、41c、41d中之沿鉛垂方向延伸之邊41a以2個第1轉動支持部42與側罩體71連結。該等2個第1轉動支持部42係於Z方向相隔配置。又，各第1轉動支持部42係以將第1開閉部4可轉動地支持之鉸鏈構成。藉此，可將第1開閉部4以能將與鉛垂方向即Z方向平行之軸作為轉動軸轉動之方式支持，且可順利地進行該第1開閉部4之開閉。
如圖4所示，作為維持第1開閉部4關閉之狀態之第1閂鎖機構之氣缸740配置、固定於側罩體71之開口部713之上部附近(例如0mm以上且50mm以下)。氣缸740之缸桿740a自由進出。並且，於缸桿740a朝下方突出時，可與設置於第1開閉部4之閂鎖構件43卡合(參照圖4)。藉此，可維持第1開閉部4之閉狀態，防止例如於IC元件90之搬送中操作員(操作者)誤操作致使第1開閉部4開啟。
再者，於本實施形態中，氣缸740不僅維持第1門711之第1開閉部4之閉狀態，亦可維持第2門712之第1開閉部4之閉狀態。即，氣缸740可將缸桿740a統一卡合於第1門711之第1開閉部4之閂鎖構件43、及第2門712之第1開閉部4之閂鎖構件43，藉此，可統一維持該等第1開閉部4之閉狀態。
同樣地，於側罩體72側，氣缸745可統一維持第1門721與第2門722之閉狀態。又，於後罩體73側，氣缸741可維持第1門731之閉狀態，氣缸742可維持第2門732之閉狀態，氣缸744可維持第3門733之閉狀態，氣缸743可維持第4門75之閉狀態。並且，各氣缸740~745之動 作使用特定之開關獨立進行。
如上所述，於以第1開閉部4與第2開閉部5構成之門，具有側罩體71側之第1門711及第2門712、側罩體72側之第1門721及第2門722、後罩體73側之第1門731及第3門733。因此，第1開閉部4之設置數為與該等門相同數(複數)。藉此，只要開啟儘可能接近於欲進行上述搬送區域內之作業之部分之第1開閉部4，便可容易地進行該作業。
又，如圖4所示，設置有作為檢測第1開閉部4之開閉之檢測部76之磁體感測器761與磁體762。磁體感測器761配置、固定於側罩體71之開口部713之上部附近(例如0mm以上且50mm以下)，且與控制部80電性連接。磁體762固定於第1開閉部4，於該第1開閉部4呈閉狀態時，配置於與磁體感測器761接近即臨近之位置。
如圖2~圖4所示，於第1開閉部4設置有第2開閉部5。第2開閉部5係相對於形成於第1開閉部4之開口部44可開閉之門。藉此，第2開閉部5可以閉狀態覆蓋開口部44(參照圖2)，且可以開狀態打開開口部44(參照圖3)。並且，第2開閉部5以俯視下呈大致四邊形狀之板構件構成，其面積小於第1開閉部4之面積。再者，於第1開閉部4之開口部44之周圍設置有擋止用板片45，該擋止用板片45係防止於第2開閉部5呈閉狀態時，該第2開閉部5朝元件供給區域A2側傾斜(參照圖5)。再者，亦可於板片45設置有襯墊(密封材料)。藉此，可較佳地保持閉狀態之第2開閉部5與板片45之間之氣密性。
藉由設置有此般第2開閉部5，可於例如實施對元件供給區域A2內之溫度調整部12(檢查裝置1之內部)之作業時，不將第1開閉部4設為開狀態，而將第2開閉部5設為開狀態進行該作業。第2開閉部5之開狀態較第1開閉部4之開狀態小，因此可於針對溫度調整部12之作業中，儘可能抑制外氣流入元件供給區域A2內。藉此，保持元件供給區域A2內之低溫環境，因而可防止於IC元件90等產生結露或霜，且 可迅速進行將第2開閉部5再度設為閉狀態後之檢測裝置1之動作。
再者，作為第2開閉部5之大小，雖亦取決於第1開閉部4之大小，但較佳為例如縱長(Z方向之長度)為150mm以上且200mm以下，更佳為180mm以上且200mm以下，橫長(Y方向之長度)為150mm以上且400mm以下，更佳為200mm以上且360mm以下。藉由此種大小，例如一般成年人之手臂或一般大小之托盤200可經由開狀態之第2開閉部5而容易地進出。又，亦可防止作業者之頭經由開狀態之第2開閉部5侵入。
並且，呈四邊形狀之第2開閉部5係4條邊(緣部)51a、51b、51c、51d中之沿水平方向延伸之邊51b以2個第2轉動支持部52與第1開閉部4連結。該等2個第2轉動支持部52係於Y方向相隔配置。又，各第2轉動支持部52係以將第2開閉部5可轉動地支持之鉸鏈構成。藉此，可將第2開閉部5以能將與水平方向即Y方向平行之軸作為轉動軸轉動之方式支持，且可順利地進行該第2開閉部5之開閉。
又，如圖5所示，構成第2轉動支持部52之鉸鏈係內置有扭力彈簧521者。扭力彈簧521係作為彈壓第2開閉部5之彈壓部而發揮功能。藉此，第2開閉部5除了以自重關閉外，亦可藉由扭力彈簧521之彈壓力而關閉。藉此，可防止作業後忘記關閉第2開閉部5。
如圖3、圖5所示，於本實施形態中，第2開閉部5係朝檢查裝置1之外側開啟者。藉此，例如於設為以開狀態之第2開閉部5相對於第1開閉部4垂直之方式限制之構成之情形時，可於第2開閉部5上暫時載置作業用之工具。
又，如圖4所示，作為第2開閉部5之配置部位，較佳為配置於元件供給區域A2內之溫度調整部12附近，即較該溫度調整部12更為鉛垂上方。此處，所謂「附近」係溫度調整部12至第2開閉部5之距離較佳為一般成年人之肩至指尖之長度左右(於至肩為止插入之情形時指 尖夠到之程度)，即700mm以下，更佳為肘至指尖之長度左右(於至肘為止插入之情形時指尖夠到之程度)，即500mm以下。藉此，只要將第2開閉部5設為開狀態，便可設為溫度調整部12位於較作業之操作員之視線更低位置之狀態，藉此，可即刻進行對溫度調整部12之作業。並且，藉由該迅速之作業，可儘可能縮短第2開閉部5之開狀態之時間，藉此，可抑制外氣流入元件供給區域A2內。
作為維持第2開閉部5關閉之狀態之第2閂鎖機構之氣缸746配置、固定於第1開閉部4之開口部44之附近(例如0mm以上且50mm以下)。氣缸746之缸桿746a自由進出。並且，於缸桿746a突出時，可卡合於設置於第2開閉部5之閂鎖構件53(參照圖4)。藉此，可維持第2開閉部5之閉狀態，防止例如於IC元件90之搬送中操作員誤操作致使第2開閉部5開啟。再者，氣缸746之動作使用特定之開關進行。
又，設置有作為檢測第2開閉部5之開閉之檢測部77之磁體感測器771與磁體772。磁體感測器771配置、固定於第1開閉部4之開口部44之下部附近(例如0mm以上且50mm以下)，且與控制部80電性連接。磁體772固定於第2開閉部5，於該第2開閉部5呈閉狀態時，配置於與磁體感測器771接近即臨近之位置。
並且，若藉由檢測部77檢測出第2開閉部5呈開狀態(圖6中之步驟S101)，則內置於控制部80之計時器動作(步驟S102)。其後，藉由控制部80判斷是否到達時限，即是否經過特定時間(步驟S103)。於步驟S103中判斷為已到達時限之情形時，例如以監視器或信號燈，以及揚聲器(均未圖示)發出警報(步驟S104)。該警報意指元件供給區域A2內之低溫環境正不斷成為易產生結露之狀態，可促使操作員將第2開閉部5設為閉狀態。
又，於步驟S103中判斷為尚未到達時限之情形時，判斷元件供給區域A2內之濕度感測器(未圖示)所檢測出之濕度(或由溫度感測器 (未圖示)檢測出之溫度)α是否超過閾值α0(步驟S105)，於其判斷結果判斷為濕度(或由溫度感測器檢測出之溫度)α超過閾值α0之情形時，發出警報(步驟S104)。此處，閾值α0係元件供給區域A2內之低溫環境可能會成為容易產生結露之狀態之濕度。
<第2實施形態>
圖7係表示本發明之電子零件檢查裝置(第2實施形態)具備之第2開閉部及其周邊之圖。
以下，參照該圖對本發明之電子零件搬送裝置及電子零件檢查裝置之第2實施形態加以說明，但以與上述實施形態之不同點為中心進行說明，省略相同事項之說明。
本實施形態除閂鎖機構之構成不同外，與上述第1實施形態同樣。
如圖7所示，於代表性表示之第1門711中，將作為統一維持第1開閉部4及第2開閉部5關閉之狀態之閂鎖機構之1個氣缸747配置、固定於側罩體71之開口部713之下部附近(例如0mm以上且50mm以下)。
氣缸747之缸桿747a自由進出。又，於缸體747a之前端部連接有前端構件747b。該前端構件747b分叉而具有第1部分747c與第2部分747d。並且，於缸桿747a朝上方突出時，前端構件747b之第1部分747c可卡合於設置於第1開閉部4之閂鎖構件43，第2部分747d可卡合於設置於第2開閉部5之閂鎖構件53。藉此，可統一維持第1開閉部4及第2開閉部5關閉之狀態。
如此，於本實施形態中，可藉由1個氣缸747統一維持第1開閉部4及第2開閉部5之閉狀態，由此可使檢查裝置1之構成簡單，且可使該等開閉部之開閉控制亦簡單。
<第3實施形態>
圖8係表示本發明之電子零件檢查裝置(第3實施形態)具備之閉狀 態之第1開閉部與閉狀態之第2開閉部之圖。
以下，參照該圖對本發明之電子零件搬送裝置及電子零件檢查裝置之第3實施形態加以說明，但以與上述實施形態之不同點為中心進行說明，省略相同事項之說明。
本實施形態除相對於第1開閉部之第2開閉部之配置數不同外，與上述第1實施形態同樣。
如圖8所示，於代表性表示之第1門711中，相對於1個第1開閉部4配置有2個第2開閉部5。2個第2開閉部5沿Y方向排列配置。藉此，例如，操作員可將圖8中之左側之第2開閉部5設為開狀態插入左手，且將該圖之右側之第2開閉部5設為開狀態插入右手。該情形時，可使用雙手，藉此提高作業性。
再者，第2開閉部5之配置數於本實施形態中為2個，但並非限定於此，亦可例如為3個以上。
又，2個第2開閉部5之大小於本實施形態中相同，但並未限定於此，亦可不同。
<第4實施形態>
圖9係表示本發明之電子零件檢查裝置(第4實施形態)具備之開閉狀態之第2開閉部之剖視圖。
以下，參照該圖對本發明之電子零件搬送裝置及電子零件檢查裝置之第4實施形態加以說明，但以與上述實施形態之不同點為中心進行說明，省略相同事項之說明。
本實施形態除第2開閉部之開閉方向不同外，與上述第1實施形態同樣。
如圖9所示，於代表性表示之第1門711中，第2開閉部5以朝檢查裝置1之內側即元件供給區域A2側開啟之方式構成。該構成可藉由將第2轉動支持部52配置於元件供給區域A2側而實現。
此種所謂之「內開啟」之第2開閉部5係於例如元件供給區域A2內之氣壓較大氣壓高之情形時，被鞏固地壓抵於第1開閉部4之板片45。藉此，元件供給區域A2內之氣密性提高。
<第5實施形態>
圖10係表示本發明之電子零件檢查裝置(第5實施形態)具備之開閉狀態之第2開閉部之圖。圖11係圖10中之A-A線剖視圖。
以下，參照該等圖對本發明之電子零件搬送裝置及電子零件檢查裝置之第5實施形態加以說明，但以與上述實施形態之不同點為中心進行說明，省略相同事項之說明。
本實施形態除第2開閉部之開閉方向不同外，與上述第1實施形態同樣。
如圖10所示，於代表性表示之第1門711中，第2開閉部5以朝Y方向開閉之方式構成。該構成可藉由將沿Y方向延伸之2條軌道46設置於第1開閉部4而實現。2條軌道46中之一軌道46配置於第2開閉部5之上側，另一軌道46配置於第2開閉部5之下側。又，如圖11所示，於各軌道46具有沿其延伸方向形成之槽461。並且，於上述一軌道46之槽461插入第2開閉部5之邊51b側，於上述另一軌道46之槽461插入第2開閉部5之邊51d側。藉此，第2開閉部5於各軌道46上可滑動地被支持，藉此可順利地開閉。
此種構成之第2開閉部5例如與上述第1實施形態之第2開閉部5不同，可防止開狀態下朝檢查裝置1之外側突出，該檢查裝置1之外形暫時變大。
再者，較佳為於各軌道46設置有防止第2開閉部5於移動目的地脫離之擋止件。
又，第1開閉部4亦與第2開閉部5同樣地成為可滑動地被支持之構成。
<第6實施形態>
圖12係表示本發明之電子零件檢查裝置(第6實施形態)具備之開閉狀態之第2開閉部之圖。
以下，參照該圖對本發明之電子零件搬送裝置及電子零件檢查裝置之第6實施形態加以說明，但以與上述實施形態之不同點為中心進行說明，省略相同事項之說明。
本實施形態除第2開閉部之開閉方向不同外，與上述第5實施形態同樣。
如圖12所示，於代表性表示之第1門711中，第2開閉部5可由沿Z方向延伸之2條軌道46支持，朝同方向開閉。該構成於欲朝上下方向開閉第2開閉部5之情形時有效。
再者，較佳為設置有例如滾花螺釘等固定構件，該滾花螺釘等固定構件係於第2開閉部5朝上方移動且成為開狀態時，將該第2開閉部5於其位置上暫時固定。
<第7實施形態>
圖13係表示本發明之電子零件檢查裝置(第7實施形態)具備之開閉狀態之第2開閉部之圖。
以下，參照該圖對本發明之電子零件搬送裝置及電子零件檢查裝置之第7實施形態加以說明，但以與上述實施形態之不同點為中心進行說明，省略相同事項之說明。
本實施形態除第2開閉部之形狀及開閉方向不同外，與上述第1實施形態同樣。
如圖13所示，於代表性表示之第1門711中，第2開閉部5以於俯視下呈大致圓形狀之板構件構成。再者，與該第2開閉部5之形狀對應，第1開閉部4之開口部44亦成為圓形。
又，第2開閉部5係藉由配置於第1開閉部4之開口部44之上部之 滾花螺釘54可繞該滾花螺釘54轉動地被支持。藉此，第2開閉部5可於第1開閉部4之面上開閉。再者，於第2開閉部5成為開狀態時，可藉由緊固滾花螺釘54而將該第2開閉部5於其位置上暫時固定。
此種構成之第2開閉部5例如與上述第1實施形態之第2開閉部5不同，可防止開狀態下朝檢查裝置1之外側突出，該檢查裝置1之外形暫時變大。
以上，以圖示之實施形態說明了本發明之電子零件搬送裝置及電子零件檢查裝置，但本發明並未限定於此，構成電子零件搬送裝置及電子零件檢查裝置之各部可與能發揮同樣功能之任意構成者置換。又，亦可附加任意之構成物。
又，本發明之電子零件搬送裝置及電子零件檢查裝置亦可為將上述各實施形態中之任意之2個以上之構成(特徵)組合者。
又，本發明之電子零件搬送裝置及電子零件檢查裝置亦可以分別顯示第1開閉部及第2開閉部之開閉狀態之方式構成。
又，亦可於被閉狀態之第2開閉部覆蓋之第1開閉部之開口部貼附有彈性膜。該情形時，可於彈性膜設置有狹縫，亦可設置有溝槽。
又，亦可由1個檢測部進行第1開閉部之開閉之檢測與第2開閉部之開閉之檢測。即，1個檢測部亦可兼用於第1開閉部之開閉之檢測與第2開閉部之開閉之檢測。
<第8實施形態>
圖14係自正面側觀察本發明之電子零件檢查裝置之第8實施形態之概略立體圖。圖15係圖14所示之電子零件檢查裝置之概略俯視圖。圖16係表示圖15所示之電子零件檢查裝置具備之開狀態之第1開閉部與閉狀態之第2開閉部之圖。圖17係表示圖15所示之電子零件檢查裝置具備之閉狀態之第1開閉部與開狀態之第2開閉部之圖。圖18係表示圖15所示之電子零件檢查裝置具備之第2開閉部及其周邊之圖。圖19 係表示圖15所示之電子零件檢查裝置具備之開閉狀態之第2開閉部之剖視圖。圖20~圖22係分別表示圖14所示之電子零件檢查裝置具備之監視器所顯示之第1開閉部及第2開閉部之開閉狀態之圖像。圖23係表示圖14所示之電子零件檢查裝置中之控制程序之流程圖。
以下，參照該圖對本發明之電子零件搬送裝置及電子零件檢查裝置之第8實施形態加以說明，但以與上述實施形態之不同點為中心進行說明，對同樣之事項，附註相同符號並省略其說明。
如圖14、圖15所示，檢查裝置(電子零件檢查裝置)1a被分為托盤供給區域A1、元件供給區域(以下簡稱為「供給區域」)A2、檢查區域A3、元件回收區域(以下簡稱為「回收區域」)A4、及托盤去除區域A5。並且，IC元件90係自托盤供給區域A1按序經由供給區域A2、檢查區域A3、回收區域A4、托盤去除區域A5，且於途中之檢查區域A3進行檢查。
如此，檢查裝置1a係具備於托盤供給區域A1、供給區域A2、檢查區域A3、回收區域A4、托盤去除區域A5中搬送IC元件90之電子零件搬送裝置、於檢查區域A3內進行檢查之檢查部16、及控制部80a者。又，除此以外，檢查裝置1a亦具備監視器300、信號燈400。
控制部80a例如具有驅動控制部。驅動控制部例如控制托盤搬送機構11A、11B、溫度調整部12、元件搬送頭13、元件供給部14、托盤搬送機構15、檢查部16、元件搬送頭17、元件回收部18、元件搬送頭20、托盤搬送機構21、托盤搬送機構22A、22B之各移動部之驅動。
操作員可經由監視器300設定或確認檢查裝置1a之動作時之溫度條件等。
如圖14所示，監視器300配置於檢查裝置1a之正面側上部。又，於托盤去除區域A5之+X方向側，設置有載置操作顯示於監視器300之 畫面時所使用之滑鼠之滑鼠台600。
又，信號燈400可藉由發光之色之組合而報知檢查裝置1a之動作狀態等。信號燈400配置於頂罩體74上。再者，於檢查裝置1a，內置揚聲器500，藉由該揚聲器500亦可報知檢查裝置1a之動作狀態等。
如圖15所示，檢查裝置1a係藉由第1間隔壁61隔開(分隔)托盤供給區域A1與供給區域A2之間，藉由第2間隔壁62隔開供給區域A2與檢查區域A3之間，藉由第3間隔壁63隔開檢查區域A3與回收區域A4之間，藉由第4間隔壁64隔開回收區域A4與托盤去除區域A5之間。又，供給區域A2與回收區域A4之間亦藉由第5間隔壁65隔開。該等間隔壁具有保持各區域之氣密性之功能。進而，檢查裝置1a之最外面被罩體覆蓋，於該罩體具有例如前罩體70、側罩體71及72、後罩體73。
並且，供給區域A2成為藉由第1間隔壁61、第2間隔壁62、第5間隔壁65、側罩體71、及後罩體73劃分形成之第1室R1。將未檢查狀態之複數個IC元件90連同托盤200一併搬入至第1室R1。
檢查區域A3成為藉由第2間隔壁62、第3間隔壁63、及後罩體73劃分形成之第2室R2。又，於第2室R2，於較後罩體73更靠內側配置有內側間隔壁66。
回收區域A4成為藉由第3間隔壁63、第4間隔壁64、第5間隔壁65、側罩體72、及後罩體73劃分形成之第3室R3。對第3室R3，自第2室R2搬入檢查結束之複數個IC元件90。
如圖15所示，於側罩體71設置有第1門(左側第1門)711與第2門(左側第2門)712。藉由開啟第1門711或第2門712，可進行例如於第1室R1內之例如維護或IC元件90之壓緊之解除等(以下，將該等總稱為「作業」)。再者，第1門711與第2門712呈彼此朝相反方向開閉之所謂之「左右對開之門」。
同樣地，於側罩體72設置有第1門(右側第1門)721與第2門(右側 第2門)722。藉由開啟第1門721或第2門722，可進行例如於第3室R3內之作業。再者，第1門721與第2門722亦呈彼此朝相反方向開閉之所謂之「左右對開之門」。
又，於後罩體73，亦設置有第1門(背面側第1門)731、第2門(背面側第2門)732、及第3門(背面側第3門)733。藉由開啟第1門731，可進行例如於第1室R1內之作業。藉由開啟第3門733，可進行例如於第3室R3內之作業。進而，於內側間隔壁66設置有第4門75。並且，藉由開啟第2門732及第4門75，可進行例如於第2室R2內之作業。再者，第1門731、第2門732、及第4門75係於相同方向開閉，第3門733係於與該等門相反之方向開閉。
並且，藉由關閉各門，可確保對應之各室之氣密性或隔熱性。
然而，於檢查裝置1a中，該等門中，側罩體71側之第1門711及第2門712、側罩體72側之第1門721及第2門722、後罩體73側之第1門731及第3門733係分別由第1開閉部4與第2開閉部5構成(參照圖16、圖17)，成為將該等組裝而成之組裝體。以下，以位於側罩體71側之第1門711為代表進行說明。再者，第2門732與第4門75成為與第1開閉部4(省略了開口部44者)相同構造者。
如圖16~圖18所示，第1開閉部4係可相對於形成於側罩體71之開口部713開閉之門。藉此，第1開閉部4可以閉狀態覆蓋開口部713之一半(圖中左側之部分)(參照圖17)，且可以開狀態打開開口部713(參照圖16)。
該第1開閉部4係由俯視下呈大致四邊形狀之板構件構成。再者，作為第1開閉部4之大小，雖亦取決於檢查裝置1a之大小，但較佳為例如縱長(Z方向之長度)、橫長(Y方向之長度)均為400mm以上且600mm以下，更佳為450mm以上且550mm以下。
並且，呈四邊形狀之第1開閉部4係4條邊(緣部)41a、41b、41c、 41d中之沿鉛垂方向延伸之邊41a以2個第1轉動支持部42與側罩體71連結。該等2個第1轉動支持部42係於Z方向相隔配置。又，各第1轉動支持部42係由將第1開閉部4可轉動地支持之鉸鏈構成。藉此，可將第1開閉部4以能將與鉛垂方向即Z方向平行之軸作為轉動軸轉動之方式支持，且可順利地進行該第1開閉部4之開閉。
如圖18所示，作為維持第1開閉部4關閉之狀態之第1閂鎖機構(閂鎖部)之氣缸740配置、固定於側罩體71之開口部713之上部附近(例如0mm以上且50mm以下)。氣缸740之缸桿740a自由進出。並且，於缸桿740a朝下方突出時，可卡合於設置於第1開閉部4之閂鎖構件43(參照圖18)。藉此，可維持第1開閉部4之閉狀態，防止例如於IC元件90之搬送中操作員(操作者)誤操作致使第1開閉部4開啟。
再者，於本實施形態中，氣缸740不僅維持第1門711之第1開閉部4之閉狀態，亦可維持第2門712之第1開閉部4之閉狀態。即，氣缸740之缸桿740a可統一卡合於第1門711之第1開閉部4之閂鎖構件43、及第2門712之第1開閉部4之閂鎖構件43，由此可統一維持該等第1開閉部4之閉狀態。
同樣地，於側罩體72側，氣缸745可統一維持第1門721與第2門722之閉狀態。又，於後罩體73側，氣缸741可維持第1門731之閉狀態，氣缸742可維持第2門732之閉狀態，氣缸744可維持第3門733之閉狀態，氣缸743可維持第4門75之閉狀態。並且，各氣缸740~745之動作使用特定之開關獨立進行。
如上所述，於由第1開閉部4與第2開閉部5構成之門中，具有側罩體71側之第1門711及第2門712、側罩體72側之第1門721及第2門722、後罩體73側之第1門731及第3門733。因此，第1開閉部4之設置數為與該等門相同數(複數)。藉此，只要開啟儘可能接近於欲進行上述搬送區域內之作業之部分之第1開閉部4，便可容易地進行該作業。
又，如圖18所示，設置有作為檢測第1開閉部4之開閉之檢測部76之磁體感測器761與磁體762。磁體感測器761配置、固定於側罩體71之開口部713之上部附近(例如0mm以上且50mm以下)，且與控制部80a電性連接。磁體762固定於第1開閉部4，於該第1開閉部4呈閉狀態時，配置於與磁體感測器761接近即臨近之位置。並且，於進行第1室R1內之作業時，於藉由檢測部76檢測到第1開閉部4之開狀態之情形時，第1室R1內之元件搬送頭13等移動部停止。藉此可確保進行作業之操作員之安全。
如圖16~圖18所示，於第1開閉部4設置有第2開閉部5。第2開閉部5係可相對於形成於第1開閉部4之開口部44開閉之門。藉此，第2開閉部5可以閉狀態覆蓋開口部44(參照圖16)，且可以開狀態打開開口部44(參照圖17)。並且，第2開閉部5係由俯視下呈大致四邊形狀之板構件構成，其面積小於第1開閉部4之面積。再者，於第1開閉部4之開口部44之周圍設置有擋止用板片45，該擋止用板片45防止於第2開閉部5呈閉狀態時，該第2開閉部5朝元件供給區域A2側傾斜(參照圖19)。再者，亦可於板片45設置有襯墊(密封材料)。藉此，可較佳地保持閉狀態之第2開閉部5與板片45之間之氣密性。
藉由設置有此般第2開閉部5，可於例如實施對元件供給區域A2內之溫度調整部12(檢查裝置1a之內部)之作業時，不將第1開閉部4設為開狀態，而將第2開閉部5設為開狀態進行該作業。第2開閉部5之開狀態較第1開閉部4之開狀態小，因此可於針對溫度調整部12之作業中，儘可能抑制外氣流入元件供給區域A2內。藉此，保持元件供給區域A2內之低溫環境，因而可防止於IC元件90等產生結露或霜，且可迅速進行將第2開閉部5再度設為閉狀態後之檢測裝置1a之動作。
再者，作為第2開閉部5之大小，雖亦取決於第1開閉部4之大小，但較佳為例如縱長(Z方向之長度)為150mm以上且200mm以下， 更佳為180mm以上且200mm以下，橫長(Y方向之長度)為150mm以上且400mm以下，更佳為200mm以上且360mm以下。藉由此種大小，例如一般成年人之手臂或一般大小之托盤200可經由開狀態之第2開閉部5容易地進出。又，亦可防止作業者之頭經由開狀態之第2開閉部5侵入。
並且，呈四邊形狀之第2開閉部5係4條邊(緣部)51a、51b、51c、51d中之沿水平方向延伸之邊51b以2個第2轉動支持部52與第1開閉部4連結。該等2個第2轉動支持部52於Y方向相隔配置。又，各第2轉動支持部52係由將第2開閉部5可轉動地支持之鉸鏈構成。藉此，可將第2開閉部5以能將與水平方向即Y方向平行之軸作為轉動軸轉動之方式支持，且可順利地進行該第2開閉部5之開閉。
又，如圖19所示，構成第2轉動支持部52之鉸鏈係內置有扭力彈簧521者。扭力彈簧521係作為彈壓第2開閉部5之彈壓部而發揮功能。藉此，第2開閉部5除了以自重關閉外，亦可藉由扭力彈簧521之彈壓力而關閉。藉此，可防止作業後忘記關閉第2開閉部5。
如圖17、圖19所示，於本實施形態中，第2開閉部5係朝檢查裝置1a之外側開啟者。藉此，例如於設為以開狀態之第2開閉部5相對於第1開閉部4垂直之方式限制之構成之情形時，可於第2開閉部5上暫時載置作業用之工具。
又，如圖18所示，作為第2開閉部5之配置部位，較佳為配置於元件供給區域A2內之溫度調整部12附近，即較該溫度調整部12更為鉛垂上方。此處，所謂「附近」係溫度調整部12至第2開閉部5之距離較佳為一般成年人之肩至指尖之長度左右(於至肩為止插入之情形時指尖夠到之程度)，即700mm以下，更佳為肘至指尖之長度左右(於至肘為止插入之情形時指尖夠到之程度)，即500mm以下。藉此，只要將第2開閉部5設為開狀態，便可設為溫度調整部12位於較作業之操作 員之視線更低位置之狀態，由此可即刻進行對溫度調整部12之作業。並且，藉由該迅速之作業，可儘可能縮短第2開閉部5之開狀態之時間，由此可抑制外氣流入元件供給區域A2內。
作為維持第2開閉部5關閉之狀態之第2閂鎖機構(閂鎖部)之氣缸746配置、固定於第1開閉部4之開口部44之附近(例如0mm以上且50mm以下)。氣缸746之缸桿746a自由進出。並且，於缸桿746a突出時，可卡合於設置於第2開閉部5之閂鎖構件53(參照圖18)。藉此，可維持第2開閉部5之閉狀態，防止例如於IC元件90之搬送中操作員誤操作致使第2開閉部5開啟。再者，氣缸746之動作使用特定之開關進行。
又，設置有作為檢測第2開閉部5之開閉即可感知之檢測部77之磁體感測器771與磁體772。磁體感測器771配置、固定於第1開閉部4之開口部44之下部附近(例如0mm以上且50mm以下)，且與控制部80a電性連接。磁體772固定於第2開閉部5，於該第2開閉部5呈閉狀態時，配置於與磁體感測器771接近即臨近之位置。並且，於進行第1室R1內之作業時，於藉由檢測部77檢測到第2開閉部5之開狀態之情形時，亦與由檢測部76檢測到第1開閉部4之開狀態之情形同樣地，停止第1室R1內之元件搬送頭13等移動部。藉此可確保進行作業之操作員之安全。
如上所述，檢查裝置1a具備監視器300、信號燈400、及揚聲器500。並且，該等與控制部80a電性連接，且亦作為報知部而發揮功能，該報知部係根據各檢測部76之第1開閉部4之開閉之檢測結果與各檢測部77之第2開閉部5之開閉之檢測結果，報知全部之第1開閉部4及第2開閉部5之開閉狀態。
監視器300可具有液晶之顯示畫面301，藉由發光即光之三原色組合(顯色)而報知上述開閉狀態。
信號燈400例如以分別獨立發出3色(紅色、綠色、黃色)之顏色之光之方式構成，可藉由該等顏色之組合而報知上述開閉狀態。
揚聲器500可藉由發出警報聲、或其他聲音而報知上述開閉狀態。
並且，藉由任一種報知，均可於實施對裝置之內部之作業時，藉由視覺或聽覺促使操作員儘快將成為開狀態之第1開閉部4或第2開閉部5設為閉狀態。藉此，可縮短開狀態之時間，由此可儘可能抑制外氣流入檢查裝置1a(上述搬送區域)。
又，於檢查裝置1a中，可將利用監視器300之報知、利用信號燈400之報知、及利用揚聲器500之報知中之至少2者適當組合而輸出。藉此，可使操作員容易注意報知。
又，於檢測裝置1a中，可將利用監視器300之報知、利用信號燈400之報知、利用揚聲器500之報知根據第1開閉部4之開閉狀態、第2開閉部5之開閉狀態分開使用。例如，作為報知第1開閉部4之開閉狀態之第1報知部，可使用監視器300，作為報知第2開閉部5之開閉狀態之第2報知部，可使用信號燈400。如此，於檢查裝置1a中，可選擇監視器300、信號燈400及揚聲器500中之任一者用作第1報知部，且選擇監視器300、信號燈400及揚聲器500中上述選擇者以外之剩餘者用作第2報知部。藉此，可進行與使用檢查裝置1a之使用者相應之報知之設定，由此提高對於使用者而言之操作性。
於下文中，作為一例，說明使用監視器300作為報知部之情形。
如圖20~圖22所示，於顯示畫面301中，顯示主窗體MF、及位於主窗體MF之圖中相鄰右側之子窗體SF。
於主窗體MF，例如包含有用以選擇各種選單之按鈕等。
子窗體SF為檢查裝置1a之概略圖。並且，於該子窗體SF，包含有報知各第1開閉部4之開閉狀態(於本實施形態中為「開狀態」)之第 1報知部10A、及報知各第2開閉部5之開閉狀態(於本實施形態中為「開狀態」)之第2報知部10B。
再者，於第1開閉部4成為閉狀態時，抑制第1報知部10A之顯示，於第2開閉部5成為閉狀態時，抑制第2報知部10B之顯示。
於本實施形態中，第1報知部10A與第2報知部10B之形狀及大小不同，第1報知部10A呈圓形，第2報知部10B呈較第1報知部10A小之正方形。藉由此種不同，而可容易地掌握所報知之內容係第1開閉部4之開閉狀態或第2開閉部5之開閉狀態。
再者，第1報知部10A與第2報知部10B之不同態樣並未限定於形狀及大小之不同，亦可為例如僅形狀不同、僅大小不同、除此以外包含顏色、亮滅狀態(亮滅之週期、占空比等)之不同。又，亦可根據該等條件而適當組合。
如上所述，於由第1開閉部4與第2開閉部5構成之門中，具有側罩體71側之第1門711及第2門712、側罩體72側之第1門721及第2門722、後罩體73側之第1門731及第3門733。
例如，於該等各門之第1開閉部4全部成為開狀態之情形時，如圖20所示，藉由第1報知部10A711報知第1門711之第1開閉部4之開狀態，藉由第1報知部10A712報知第2門712之第1開閉部4之開狀態，藉由第1報知部10A721報知第1門721之第1開閉部4之開狀態，藉由第1報知部10A722報知第2門722之第1開閉部4之開狀態，藉由第1報知部10A731報知第1門731之第1開閉部4之開狀態，藉由第1報知部10A733報知第3門733之第1開閉部4之開狀態。
又，於該等各門之第2開閉部5全部成為開狀態之情形，如圖21所示，藉由第2報知部10B711報知第1門711之第2開閉部5之開狀態，藉由第2報知部10B712報知第2門712之第2開閉部5之開狀態，藉由第2報知部10B721報知第1門721之第2開閉部5之開狀態，藉由第2報知部 10B722報知第2門722之第2開閉部5之開狀態，藉由第2報知部10B731報知第1門731之第2開閉部5之開狀態，藉由第2報知部10B733報知第3門733之第2開閉部5之開狀態。
又，例如，於第1門721之第2開閉部5成為開狀態、第2門722之第2開閉部5成為開狀態、第1門731之第2開閉部5成為開狀態、第3門733之第1開閉部4成為開狀態之情形時，如圖22所示，藉由第2報知部10B721報知第1門721之第2開閉部5之開狀態，藉由第2報知部10B722報知第2門722之第2開閉部5之開狀態，藉由第2報知部10B731報知第1門731之第2開閉部5之開狀態，藉由第1報知部10A733報知第3門733之第1開閉部4之開狀態。
藉由此種構成，只要確認顯示畫面301，即可迅速地掌握何處之門之何者之開閉部成為開狀態。
再者，於檢查裝置1a中，以如下方式構成：於藉由1個門使第1開閉部4及第2開閉部5之兩者成為開狀態之情形時，優先報知第1開閉部4之開狀態。
又，檢查裝置1a亦可以如下方式構成：於藉由第1報知部10A或第2報知部10B之報知後，停止元件搬送頭13等移動部之可動之情形時，解除藉由上述第1閂鎖機構或上述第2閂鎖機構之閉狀態之維持之方式構成。藉此，可省略上述特定之開關之操作，將第1開閉部4或第2開閉部5設為開狀態，操作性優異。
接下來，對以於例如第1開閉部4及第2開閉部5中之一開閉部成為開狀態時，將該開狀態之開閉部設為閉狀態之方式指示之程式，基於圖23所示之流程圖進行說明。此處，列舉第2開閉部5成為開狀態之情形作為一例。
若由檢測部77檢測出第2開閉部5成為開狀態(圖2之步驟S111)，則藉由第2報知部10B報知第2開閉部5之開狀態(步驟S112)，並且內置 於控制部80a之計時器動作(步驟S113)。並且，於該期間，判斷設置有第2開閉部5之區域內之濕度感測器(未圖示)所檢測出之濕度(或由溫度感測器(未圖示)檢測出之溫度)α是否超過預先規定之閾值α0(步驟S114)。此處，閾值α0係該區域內之低溫環境可能會成為容易產生結露之狀態之濕度。
於步驟S114之判斷之結果判斷為濕度α超過閾值α0之情形時，以將開狀態之第2開閉部5設為閉狀態之方式發出指示(步驟S115)。該指示意指該區域內之低溫環境正不斷成為易產生結露之狀態，可促使操作員將第2開閉部5設為閉狀態。又，指示係使用監視器300、信號燈400、揚聲器500中之至少一者發出。
於步驟S115之執行後，藉由檢測部77檢測第2開閉部5是否成為閉狀態(步驟S116)。
又，於步驟S114之判斷結果判斷為濕度α未超過閾值α0之情形時，藉由控制部80a判斷是否到達時限，即是否經過特定時間(步驟S117)。於步驟S117中判斷為已到達時限之情形時，移行至步驟S115，以後按序執行其後之下階之步驟。即便經過特定時間，該區域內之低溫環境亦可逐漸成為容易產生結露之狀態。
又，於步驟S117中判斷為尚未到達時限之情形時，移行至步驟S116。
以上，以圖示之實施形態說明了本發明之電子零件搬送裝置及電子零件檢查裝置，但本發明並未限定於此，構成電子零件搬送裝置及電子零件檢查裝置之各部可與能發揮同樣功能之任意構成者置換。又，亦可附加任意之構成物。
又，第1開閉部於上述實施形態中為可轉動地被支持者，但並未限定於此，例如，亦可為於水平方向可滑動地被支持者。
又，第2開閉部於上述實施形態中為可轉動地被支持者，但並未 限定於此，例如，亦可為於水平方向可滑動地被支持者。
又，報知部於上述實施形態中為報知第1開閉部及第2開閉部之各者之開閉狀態者，但並未限定於此，例如，亦可為報知第1開閉部之開閉狀態者，又可為報知第2開閉部之開閉狀態者。
4‧‧‧第1開閉部
5‧‧‧第2開閉部
41a、41b、41c、41d‧‧‧邊(緣部)
42‧‧‧第1轉動支持部
44‧‧‧開口部
51a、51b、51c、51d‧‧‧邊(緣部)
52‧‧‧第2轉動支持部
71‧‧‧側罩體
711‧‧‧第1門
712‧‧‧第2門
713‧‧‧開口部

Claims (15)

  1. 一種電子零件搬送裝置，其特徵在於具備：可開閉之第1開閉部、及可開閉地設置於上述第1開閉部之第2開閉部。
  2. 如請求項1之電子零件搬送裝置，其中上述第1開閉部之面積大於上述第2開閉部之面積。
  3. 如請求項1或2之電子零件搬送裝置，其具備將上述第1開閉部可轉動地支持之第1轉動支持部。
  4. 如請求項1至3中任一項之電子零件搬送裝置，其具備將上述第2開閉部可轉動地支持之第2轉動支持部。
  5. 如請求項4之電子零件搬送裝置，其中於上述第2轉動支持部設置有彈壓上述第2開閉部之彈壓部。
  6. 如請求項4或5之電子零件搬送裝置，其中上述第2轉動支持部配置於上述第2開閉部之鉛垂上方。
  7. 如請求項4至6中任一項之電子零件搬送裝置，其中上述第2開閉部係朝上述電子零件搬送裝置之內側開啟、或朝外側開啟者。
  8. 如請求項1至3中任一項之電子零件搬送裝置，其中上述第2開閉部可滑動地支持於上述第1開閉部。
  9. 如請求項1至8中任一項之電子零件搬送裝置，其中上述第1開閉部配置有複數個。
  10. 如請求項1至9中任一項之電子零件搬送裝置，其中於上述第1開閉部配置有複數個上述第2開閉部。
  11. 如請求項1至10中任一項之電子零件搬送裝置，其具備搬送電子零件之搬送區；且上述第2開閉部配置於上述搬送區附近。
  12. 如請求項11之電子零件搬送裝置，其中於上述搬送區設置有載置上述電子零件之載置部；且上述第2開閉部配置於較上述載置部更為鉛垂上方。
  13. 如請求項1至12中任一項之電子零件搬送裝置，其中配置有可鎖定上述第1開閉部之第1閂鎖機構及可鎖定上述第2開閉部之第2閂鎖機構。
  14. 如請求項1至12中任一項之電子零件搬送裝置，其中配置有可鎖定上述第1開閉部及上述第2開閉部之至少一個閂鎖機構。
  15. 一種電子零件檢查裝置，其具備：可開閉之第1開閉部；第2開閉部，其可開閉地設置於上述第1開閉部；及檢查部，其檢查電子零件。
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