JP2017152605A - 電子部品搬送装置および電子部品検査装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】作業者の安全を確保することができる電子部品搬送装置および電子部品検査装置を提供すること。【解決手段】電子部品搬送装置は、電子部品を搬送可能な搬送部と、開閉可能な開閉部と、前記搬送部の作動状態を表示可能な表示部と、前記開閉部が開閉可能か否かを報知する報知部と、を備えることを特徴とする。これにより、作業者に開閉部が開閉可能か否かを認識させることができる。よって、例えば、装置の内側が作業者にとって好ましくない状態であるにも関わらず、作業者が開閉部を開状態とすることを防止することができる。【選択図】図5
Description
本発明は、電子部品搬送装置および電子部品検査装置に関する。
従来から、例えばICデバイス等の電子部品の電気的特性を検査する電子部品検査装置が知られており、この電子部品検査装置には、ICデバイスを搬送するための電子部品搬送装置が組み込まれている(例えば、特許文献1参照)。
また、電子部品検査装置では、複数のICデバイスをトレイに載置し、トレイごと装置内に入れることにより、トレイが、搬送部によって検査が行われる検査部まで搬送される。そして、検査が終わると、ICデバイスは、トレイに載置され、搬送部によってトレイごと搬送され、装置外に排出される。
このような電子部品搬送装置では、最外層のカバーに扉(開閉部)が設けられており、例えば、何らかの原因により、搬送部の作動が停止したときや、メンテナンスを行う際等に、作業者は、扉を開けることがある。
例えば、電子部品検査装置内に冷却ガスが充満していたり、内部の温度が比較的高くなっていたりする場合、この状態で作業者が扉を開けるのは好ましくない。しかしながら、特許文献1に記載の電子部品検査装置では、作業者は、扉を開けてよいか否かが判断し難い。
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
本発明の電子部品搬送装置は、電子部品を搬送可能な搬送部と、
開閉可能な開閉部と、
前記搬送部の作動状態を表示可能な表示部と、
前記開閉部が開閉可能か否かを報知する報知部と、を備えることを特徴とする。
開閉可能な開閉部と、
前記搬送部の作動状態を表示可能な表示部と、
前記開閉部が開閉可能か否かを報知する報知部と、を備えることを特徴とする。
これにより、作業者に開閉部が開閉可能か否かを認識させることができる。よって、例えば、装置の内側が作業者にとって好ましくない状態であるにも関わらず、作業者が開閉部を開状態とすることを防止することができる。その結果、作業者の安全を確保することができる。
本発明の電子部品搬送装置では、前記報知部は、光および音のうちの少なくとも1つを用いて報知するのが好ましい。
これにより、作業者に、開閉部が開閉可能か否かを高い確度で認識させることができる。
これにより、作業者に、開閉部が開閉可能か否かを高い確度で認識させることができる。
本発明の電子部品搬送装置では、前記開閉部の閉状態の維持と、前記閉状態の解除とを切り替えるロック部を有しているのが好ましい。
これにより、例えば、電子部品の搬送中に作業者が誤って開閉部を開けてしまうのを防止することができる。
本発明の電子部品搬送装置では、前記報知部は、前記ロック部の作動状態を視認可能な窓部を有しているのが好ましい。
これにより、例えば、報知部として表示装置等の機器を設けるのを省略することができ、報知部の構成を簡素にすることができる。
本発明の電子部品搬送装置では、前記窓部には、前記開閉部を開状態とすることが可能であることを示す第1の表示と、前記第1の表示とは異なる位置に設けられ、前記開閉部を前記開状態とするのを規制していることを示す第2の表示とが付されており、
前記報知部は、前記ロック部の作動状態に連動して、前記窓部を介して前記第1の表示と重なる第1の位置と、前記窓部を介して前記第2の表示と重なる第2の位置との間を移動することにより、前記開閉部が開閉可能か否かを識別させる識別部を有しているのが好ましい。
前記報知部は、前記ロック部の作動状態に連動して、前記窓部を介して前記第1の表示と重なる第1の位置と、前記窓部を介して前記第2の表示と重なる第2の位置との間を移動することにより、前記開閉部が開閉可能か否かを識別させる識別部を有しているのが好ましい。
これにより、例えば、報知部として表示装置等の機器を設けるのを省略することができ、報知部の構成を簡素にすることができる。
本発明の電子部品搬送装置では、前記報知部は、前記開閉部に設けられているのが好ましい。
これにより、作業者が開閉部の開閉作業を行う際に、作業者に、開閉部が開閉可能か否かを高い確度で認識させることができる。
本発明の電子部品搬送装置では、前記報知部は、前記開閉部を開くことが可能になるまでの情報を報知するのが好ましい。
これにより、例えば、情報が時間である場合、作業者は、開閉部を開くのが可能になるまでの時間を把握することができる。よって、作業者は、開閉部を開く作業を行うまでに他の作業を行うことができる。
本発明の電子部品搬送装置では、前記報知部は、前記電子部品搬送装置が設置される設置面から600mm以上、2000mm以下の高さの位置に配置されるのが好ましい。
これにより、報知部が視認により報知する構成とした場合、作業者に高い確度で報知することができる。
本発明の電子部品搬送装置では、前記表示部は、前記開閉部が開閉可能か否かを表示するのが好ましい。
開閉部が開閉可能か否かを、報知部の他、表示部でも表示することにより、作業者により認識させやすくすることができる。
本発明の電子部品検査装置は、電子部品を搬送可能な搬送部と、
開閉可能な開閉部と、
前記搬送部の作動状態を表示可能な表示部と、
前記開閉部が開閉可能か否かを報知する報知部と、
電子部品を検査する検査部と、を備えることを特徴とする。
開閉可能な開閉部と、
前記搬送部の作動状態を表示可能な表示部と、
前記開閉部が開閉可能か否かを報知する報知部と、
電子部品を検査する検査部と、を備えることを特徴とする。
これにより、作業者に開閉部が開閉可能か否かを認識させることができる。よって、例えば、装置の内側が作業者にとって好ましくない状態であるにも関わらず、作業者が開閉部を開状態とすることを防止することができる。その結果、作業者の安全を確保することができる。
以下、本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置を添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。
<第1実施形態>
以下、図1〜図8を参照して、本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置の第1実施形態について説明する。なお、以下では、説明の便宜上、図1、図2および図4〜図7(図9および図10についても同様)に示すように、互いに直交する3つの軸をX軸、Y軸およびZ軸とする。また、X軸とY軸を含むXY平面が水平となっており、Z軸が鉛直となっている。また、X軸に平行な方向を「X方向」とも言い、Y軸に平行な方向を「Y方向」とも言い、Z軸に平行な方向を「Z方向」とも言う。また、各方向の矢印が向いた方向を「正」、その反対方向を「負」と言う。また、本願明細書で言う「水平」とは、完全な水平に限定されず、電子部品の搬送が阻害されない限り、水平に対して若干(例えば5°未満程度)傾いた状態も含む。
以下、図1〜図8を参照して、本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置の第1実施形態について説明する。なお、以下では、説明の便宜上、図1、図2および図4〜図7(図9および図10についても同様)に示すように、互いに直交する3つの軸をX軸、Y軸およびZ軸とする。また、X軸とY軸を含むXY平面が水平となっており、Z軸が鉛直となっている。また、X軸に平行な方向を「X方向」とも言い、Y軸に平行な方向を「Y方向」とも言い、Z軸に平行な方向を「Z方向」とも言う。また、各方向の矢印が向いた方向を「正」、その反対方向を「負」と言う。また、本願明細書で言う「水平」とは、完全な水平に限定されず、電子部品の搬送が阻害されない限り、水平に対して若干(例えば5°未満程度)傾いた状態も含む。
図1、図2に示す検査装置1(電子部品検査装置)は、電子部品搬送装置10を内蔵するものであり、例えば、BGA(Ball Grid Array)パッケージであるICデバイス等の電子部品を搬送し、その搬送過程で電気的特性を検査・試験(以下単に「検査」と言う)する装置である。
検査装置1は、電子部品を搬送可能な搬送部6と、開閉可能な開閉部4と、搬送部6の作動状態を表示可能な表示部としてのモニター300と、開閉部4が開閉可能か否かを報知する報知部5と、電子部品の検査を行う検査部16と、を備えている。
また、電子部品搬送装置10は、電子部品を搬送可能な搬送部6と、開閉可能な開閉部4と、搬送部6の作動状態を表示可能な表示部としてのモニター300と、開閉部4が開閉可能か否かを報知する報知部5と、を備えている。
なお、以下では、説明の便宜上、電子部品としてICデバイスを用いる場合について代表して説明し、これを「ICデバイス90」とする。ICデバイス90は、トレイ200である載置部材上に載置される。
検査装置1は、トレイ供給領域A1と、デバイス供給領域(以下単に「供給領域」と言う)A2と、検査領域A3と、デバイス回収領域A4(以下単に「回収領域」と言う)と、トレイ除去領域A5とに分けられている。そして、ICデバイス90は、トレイ供給領域A1からトレイ除去領域A5まで各領域を矢印α90方向に順に経由し、途中の検査領域A3で検査が行われる。このように検査装置1は、各領域でICデバイス90を搬送する電子部品搬送装置10(ハンドラー)と、検査領域A3内で検査を行なう検査部16と、を備えたものとなっている。また、その他、検査装置1は、シグナルランプ400と、操作パネル700とを備えている。
なお、検査装置1は、トレイ供給領域A1、トレイ除去領域A5が配された方、すなわち、図2中の下側が正面側となり、検査領域A3が配された方、すなわち、図2中の上側が背面側として使用される。
トレイ供給領域A1は、未検査状態の複数のICデバイス90が配列されたトレイ200が供給される給材部である。トレイ供給領域A1では、多数のトレイ200を積み重ねることができる。
供給領域A2は、トレイ供給領域A1から搬送されたトレイ200上の複数のICデバイス90がそれぞれ検査領域A3まで供給される領域である。なお、トレイ供給領域A1と供給領域A2とを跨ぐように、トレイ200を1枚ずつ水平方向に搬送するトレイ搬送機構11A、11Bが設けられている。トレイ搬送機構11Aは、トレイ200を、当該トレイ200に載置されたICデバイス90ごとY方向の正側、すなわち、図2中の矢印α11Aに移動させることができる移動部である。これにより、ICデバイス90を安定して供給領域A2に送り込むことができる。また、トレイ搬送機構11Bは、空のトレイ200をY方向の負側、すなわち、図2中の矢印α11Bに移動させることができる移動部である。これにより、空のトレイ200を供給領域A2からトレイ供給領域A1に移動させることができる。
供給領域A2には、温度調整部(ソークプレート(英語表記:soak plate、中国語表記(一例):均温板))12と、デバイス搬送ヘッド13と、トレイ搬送機構15と、濃度センサー800と、が設けられている。
温度調整部12は、複数のICデバイス90を載置して、これらICデバイス90を一括して加熱または冷却することができるものであり、「ソークプレート」と呼ばれる。このソークプレートにより、検査部16で検査される前のICデバイス90を予め加熱または冷却して、当該検査(高温検査または低温検査)に適した温度に調整することができる。図2に示す構成では、温度調整部12は、Y方向に2つ配置、固定されている。そして、トレイ搬送機構11Aによってトレイ供給領域A1から搬入されたトレイ200上のICデバイス90は、いずれかの温度調整部12まで搬送される。
デバイス搬送ヘッド13は、供給領域A2内でX方向およびY方向、さらにZ方向にも移動可能に支持されている。これにより、デバイス搬送ヘッド13は、トレイ供給領域A1から搬入されたトレイ200と温度調整部12との間のICデバイス90の搬送と、温度調整部12と後述するデバイス供給部14との間のICデバイス90の搬送とを担うことができる。なお、図2中では、デバイス搬送ヘッド13のX方向の移動を矢印α13Xで示し、デバイス搬送ヘッド13のY方向の移動を矢印α13Yで示している。
トレイ搬送機構15は、全てのICデバイス90が除去された状態の空のトレイ200を供給領域A2内でX方向の正側、すなわち、矢印α15方向に搬送する機構である。そして、この搬送後、空のトレイ200は、トレイ搬送機構11Bによって供給領域A2からトレイ供給領域A1に戻される。
濃度センサー800は、供給領域A2内の窒素の濃度を検出するものである。濃度センサー800は、制御部80と電気的に接続されており、濃度センサー800が検出した濃度の情報は、制御部80に送信される。なお、濃度センサーは、酸素の濃度を検出するものであってもよい。
検査領域A3は、ICデバイス90を検査する領域である。この検査領域A3には、検査部16と、デバイス搬送ヘッド17とが設けられている。また、供給領域A2と検査領域A3とを跨ぐように移動するデバイス供給部14と、検査領域A3と回収領域A4とを跨ぐように移動するデバイス回収部18も設けられている。
デバイス供給部14は、温度調整部12で温度調整されたICデバイス90が載置され、当該ICデバイス90を検査部16近傍まで搬送することができる載置部として構成され、「供給用シャトルプレート」または単に「供給シャトル」と呼ばれる。
また、デバイス供給部14は、供給領域A2と検査領域A3との間をX方向、すなわち、矢印α14方向に沿って往復移動可能に支持されている。図2に示す構成では、デバイス供給部14は、Y方向に2つ配置されており、温度調整部12上のICデバイス90は、いずれかのデバイス供給部14まで搬送される。また、デバイス供給部14は、温度調整部12と同様に、当該デバイス供給部14に載置されたICデバイス90を加熱または冷却可能に構成されている。これにより、温度調整部12で温度調整されたICデバイス90に対して、その温度調整状態を維持しつつ、検査領域A3の検査部16近傍まで搬送することができる。
デバイス搬送ヘッド17は、温度調整状態が維持されたICデバイス90が把持され、当該ICデバイス90を検査領域A3内で搬送する動作部である。このデバイス搬送ヘッド17は、検査領域A3内でY方向およびZ方向に往復移動可能に支持され、「インデックスアーム」と呼ばれる機構の一部となっている。これにより、デバイス搬送ヘッド17は、供給領域A2から搬入されたデバイス供給部14上のICデバイス90を検査部16上に搬送し、載置することができる。なお、図2中では、デバイス搬送ヘッド17のY方向の往復移動を矢印α17Yで示している。また、デバイス搬送ヘッド17は、Y方向およびZ方向に往復移動可能に支持されているが、これに限定されず、X方向にも往復移動可能に支持されていてもよい。
また、デバイス搬送ヘッド17は、温度調整部12と同様に、把持したICデバイス90を加熱または冷却可能に構成されている。これにより、ICデバイス90における温度調整状態を、デバイス供給部14から検査部16まで継続して維持することができる。
検査部16は、電子部品であるICデバイス90を載置して、当該ICデバイス90の電気的特性を検査・試験する(検査する)載置部として構成されている。この検査部16には、ICデバイス90の端子部と電気的に接続される複数のプローブピンが設けられている。そして、ICデバイス90の端子部とプローブピンとが電気的に接続される、すなわち、接触することにより、ICデバイス90の検査を行なうことができる。ICデバイス90の検査は、制御部80の記憶部83(図3参照)に記憶されているプログラムに基づいて行われる。なお、検査部16でも、温度調整部12と同様に、ICデバイス90を加熱または冷却して、当該ICデバイス90を検査に適した温度に調整することができる。
デバイス回収部18は、検査部16での検査が終了したICデバイス90が載置され、当該ICデバイス90を回収領域A4まで搬送することができる載置部として構成され、「回収用シャトルプレート」または単に「回収シャトル」と呼ばれる。
また、デバイス回収部18は、検査領域A3と回収領域A4との間をX方向、すなわち、矢印α18方向に沿って往復移動可能に支持されている。また、図2に示す構成では、デバイス回収部18は、デバイス供給部14と同様に、Y方向に2つ配置されており、検査部16上のICデバイス90は、いずれかのデバイス回収部18に搬送され、載置される。この搬送は、デバイス搬送ヘッド17によって行なわれる。
回収領域A4は、検査が終了した複数のICデバイス90が回収される領域である。この回収領域A4には、回収用トレイ19と、デバイス搬送ヘッド20と、トレイ搬送機構21とが設けられている。また、回収領域A4には、空のトレイ200も用意されている。
回収用トレイ19は、検査部16で検査されたICデバイス90が載置される載置部として構成され、回収領域A4内で移動しないよう固定されている。これにより、デバイス搬送ヘッド20等の各種可動部が比較的多く配置された回収領域A4であっても、回収用トレイ19上では、検査済みのICデバイス90が安定して載置されることとなる。なお、図2に示す構成では、回収用トレイ19は、X方向に沿って3つ配置されている。
また、空のトレイ200も、X方向に沿って3つ配置されている。この空のトレイ200も、検査部16で検査されたICデバイス90が載置される載置部となる。そして、回収領域A4に移動してきたデバイス回収部18上のICデバイス90は、回収用トレイ19および空のトレイ200のうちのいずれかに搬送され、載置される。これにより、ICデバイス90は、検査結果ごとに分類されて、回収されることとなる。
デバイス搬送ヘッド20は、回収領域A4内でX方向およびY方向、さらにZ方向にも移動可能に支持されている。これにより、デバイス搬送ヘッド20は、ICデバイス90をデバイス回収部18から回収用トレイ19や空のトレイ200に搬送することができる。なお、図2中では、デバイス搬送ヘッド20のX方向の移動を矢印α20Xで示し、デバイス搬送ヘッド13のY方向の移動を矢印α20Yで示している。
トレイ搬送機構21は、トレイ除去領域A5から搬入された空のトレイ200を回収領域A4内でX方向、すなわち、矢印α21方向に搬送する機構である。そして、この搬送後、空のトレイ200は、ICデバイス90が回収される位置に配されることとなる、すなわち、3つの空のトレイ200のうちのいずれかとなり得る。
トレイ除去領域A5は、検査済み状態の複数のICデバイス90が配列されたトレイ200が回収され、除去される除材部である。トレイ除去領域A5では、多数のトレイ200を積み重ねることができる。
また、回収領域A4とトレイ除去領域A5とを跨ぐように、トレイ200を1枚ずつY方向に搬送するトレイ搬送機構22A、22Bが設けられている。トレイ搬送機構22Aは、トレイ200をY方向、すなわち、矢印α22A方向に往復移動させることができる移動部である。これにより、検査済みのICデバイス90を回収領域A4からトレイ除去領域A5に搬送することができる。また、トレイ搬送機構22Bは、ICデバイス90を回収するための空のトレイ200をY方向正側、すなわち、矢印α22B方向に移動させることができる。これにより、空のトレイ200をトレイ除去領域A5から回収領域A4に移動させることができる。
検査装置1は、トレイ供給領域A1と供給領域A2との間が第1隔壁61によって区切られており、供給領域A2と検査領域A3との間が第2隔壁62によって区切られており、検査領域A3と回収領域A4との間が第3隔壁63によって区切られており、回収領域A4とトレイ除去領域A5との間が第4隔壁64によって区切られている。また、供給領域A2と回収領域A4との間も、第5隔壁65によって区切られている。
検査装置1は、最外装がカバーで覆われており、当該カバーには、例えばフロントカバー70、サイドカバー71、サイドカバー72、リアカバー73、トップカバー74がある。フロントカバー70、サイドカバー71、サイドカバー72、リアカバー73、トップカバー74を組立てることにより、筐体76が構成され、筐体76に開閉部4が形成されている。そして、筐体76の内部には搬送部6が配置されている。
図2に示すように、サイドカバー71には、第1扉711と第2扉712とが設けられている。第1扉711や第2扉712を開けることにより、例えば供給領域A2内でのメンテナンスや不具合の解消等を行なうことができる。なお、第1扉711と第2扉712とは、図2および図5中矢印α71方向に開閉する構成となっている。
同様に、サイドカバー72には、第1扉721と第2扉722とが設けられている。第1扉721や第2扉722を開けることにより、例えばデバイス回収領域A4内での作業を行なうことができる。なお、第1扉721と第2扉722は、図2中矢印α72方向に開閉する構成となっている。
また、リアカバー73にも、第1扉731と第2扉732と第3扉733とが設けられている。第1扉731を開けることにより、例えば供給領域A2内での作業を行なうことができる。第3扉733を開けることにより、例えばデバイス回収領域A4内での作業を行なうことができる。さらに、検査部16を画成する内側隔壁66には、第4扉75が設けられている。そして、第2扉732および第4扉75を開けることにより、例えば検査領域A3内での作業を行なうことができる。なお、第1扉731は、図2中矢印α731方向に開閉し、第2扉732は、図2中矢印α732方向に開閉し、第3扉733は、図2中矢印α733方向に開閉し、第4扉75は、図2中矢印α75方向に開閉する。
そして、各扉を閉じた状態では、対応する各領域での気密性や断熱性を確保することができる。
これらの第1扉711、第2扉712、第1扉721、第2扉722、第1扉731、第2扉732、第3扉733および第4扉75は、それぞれ、開閉可能な開閉部4で構成されている。
図3に示すように、制御部80は、駆動制御部81と、検査制御部82と、記憶部83と、を有している。
駆動制御部81は、例えば、図2に示すトレイ搬送機構11Aと、トレイ搬送機構11Bと、温度調整部12と、デバイス搬送ヘッド13と、デバイス供給部14と、トレイ搬送機構15と、検査部16と、デバイス搬送ヘッド17と、デバイス回収部18と、デバイス搬送ヘッド20と、トレイ搬送機構21と、トレイ搬送機構22Aと、トレイ搬送機構22Bの各部の作動を制御する。
検査制御部82は、記憶部83に記憶されたプログラムに基づいて、検査部16に配置されたICデバイス90の電気的特性の検査等を行なう。
記憶部83は、例えば、RAM等の揮発性メモリー、ROM等の不揮発性メモリー、EPROM、EEPROM、フラッシュメモリー等の書き換え可能(消去、書き換え可能)な不揮発性メモリー等、各種半導体メモリー(ICメモリー)等で構成される。
また、制御部80は、表示部としてのモニター300と電気的に接続されている。モニター300は、搬送部6の作動状態や、検査装置1のその他の部位の作動状態を表示可能に構成されている。なお、図2に示すように、搬送部6は、トレイ搬送機構11B、デバイス搬送ヘッド13、デバイス供給部14、トレイ搬送機構15、デバイス搬送ヘッド17、デバイス回収部18、デバイス搬送ヘッド20、トレイ搬送機構21、トレイ搬送機構22Aおよびトレイ搬送機構22Bを有するものである。
オペレーターは、モニター300を介して、検査装置1の動作条件等を設定したり、確認したりすることができる。このモニター300は、例えば液晶画面で構成された表示画面301を有し、検査装置1の正面側上部に配置されている。図1に示すように、トレイ除去領域A5の図中の右側には、モニター300に表示された画面を操作する際に用いられるマウスを載置するマウス台600が設けられている。
また、モニター300に対して図1の右下方には、操作パネル700が配置されている。操作パネル700は、モニター300とは別に、検査装置1に所望の動作を命令するものである。
また、制御部80は、シグナルランプ400と電気的に接続されている。シグナルランプ400は、発光する色の組み合わせにより、検査装置1の作動状態等を報知することができる。シグナルランプ400は、検査装置1の上部に配置されている。なお、検査装置1には、スピーカー500が内蔵されており、このスピーカー500によっても検査装置1の作動状態等を報知することもできる。
次に、サイドカバー71側の第1扉711および第2扉712について詳細に説明する。第1扉711および第2扉712は、同様の構成であるため、以下では、第1扉711について代表的に説明する。
図4および図5に示すように、第1扉711は、サイドカバー71に形成された開口部713に対して開閉可能な扉である。これにより、開閉部4は、閉状態で開口部713の半分(図中の左側の部分)を覆うことができ(図4参照)、開状態で開口部713を開放させることができる(図5参照)。
この第1扉711は、平面視でほぼ四角形状をなす板部材で構成されている。なお、第1扉711の大きさとしては、検査装置1の大きさにもよるが、例えば、縦の長さ(Z方向の長さ)、横の長さ(Y方向の長さ)いずれも、400mm以上、600mm以下であるのが好ましく、450mm以上、550mm以下であるのがより好ましい。
そして、四角形状をなす第1扉711は、4つの辺(縁部)41a、41b、41c、41dのうちの鉛直方向に延びた辺41aが2つの回動支持部42でサイドカバー71と連結されている。これら2つの回動支持部42は、Z方向に離間して配置されている。また、各回動支持部42は、第1扉711を回動可能に支持する蝶番で構成されている。これにより、第1扉711を鉛直方向、すなわち、Z方向と平行な軸を回動軸として、図2および図5中の矢印α71方向に回動可能に支持することができ、その開閉を円滑に行なうことができる。
また、第1扉711および第2扉712には、それぞれ、突起で構成された取っ手714が設けられている。これにより、第1扉711および第2扉712の開閉を容易に行うことができる。
図6および図7に示すように、サイドカバー71の開口部713の上部近傍(例えば0mm以上、50mm以下)には、シリンダー740が、固定されている。シリンダー740は、シリンダーロッド740aが出没自在なものである。そして、シリンダーロッド740aが下方に向かって突出したときに、第1扉711の図6中紙面奥側の面に設けられたロック部材43に係合することができる。このようなシリンダー740は、制御部80と電気的に接続されており、制御部80によってその作動が制御される。
なお、本実施形態では、シリンダー740は、第1扉711の閉状態を維持するのみならず、第2扉712の閉状態を維持することもできる。すなわち、シリンダー740は、シリンダーロッド740aが、第1扉711のロック部材43と、第2扉712のロック部材43とに一括して係合することができる。よって、第1扉711および第2扉712の閉状態を一括して維持することできる。
また、シリンダーロッド740aが上側方に向かって退避したときに、ロック部材43との係合が解除されて、第1扉711を開くことが可能な状態となる(図7参照)。
このように、検査装置1は、第1扉711の閉状態の維持と、閉状態の解除とを切り替えるロック部としてのシリンダー740およびロック部材43を有している。これにより、例えばICデバイス90の搬送中に検査装置1の作業者が誤って第1扉711を開けてしまうのを防止することができる。
また、第1扉711の表側、すなわち、図4中紙面手前側の面には、開閉部4が開閉可能か否かを報知する報知部5が設けられている。報知部5は、円形のLCD(Liquid Crystal Display)により構成されたモニター51を有している。また、モニター51は、制御部80と電気的に接続されており、制御部80によって、その作動が制御される。
なお、報知部5は、第1扉711、第1扉721、第1扉731、第2扉732および第3扉733に設けられているが、以下では、第1扉711に設けられた報知部5について代表的に説明する。
図5および図7に示すように、第1扉711および第2扉712を開くことが可能な状態では、モニター51には、「OK」という文字が表示される。一方、図4に示すように、第1扉711および第2扉712を開くことを規制している状態では、モニター51には、「NO」という文字が表示される。
また、モニター51では、「OK」を表示しているときの文字の色と、「NO」を表示しているときの文字の色とが異なっているのが好ましい。また、モニター51では、「OK」を表示しているときの文字の背景の色と、「NO」を表示しているときの文字の背景色とが異なっているのが好ましい。このような構成とすることにより、作業者に識別しやすくすることができる。
検査装置1では、モニター51が開閉部4、すなわち、第1扉711に設けられていることにより、作業者が第1扉711、第2扉712の開閉作業を行う際に、作業者に、高い確度で視認させることができる。
また、図4に示すように、モニター51は、検査装置1が設置される設置面Mから600mm以上、2000mm以下の高さHの位置に配置されるのが好ましく、900mm以上、1700mm以下の高さHの位置に配置されるのがより好ましい。これにより、作業者の身長によらず、モニター51を見やすくすることができるとともに、モニター51を作業者に高い確度で視認させることができる。
ここで、前述したように、検査装置1は、高温検査または低温検査を行うものである。特に、低温検査を行う場合、検査装置1内は、冷却ガス(例えば、窒素)が封入されているため冷却ガスの濃度が高くなっている。このため、作業者が、この状態で開閉部4の開操作を行うのは好ましくない。そこで、本発明では、不都合を防止するのに有効な構成となっている。
以下、図8に示すフローチャートに基づいて、制御部80の制御動作について説明する。なお、以下では、低温検査中に検査装置1を一旦停止させて、第1扉711および第2扉712を開けて、供給領域A2内でのメンテナンスを行う場合について説明する。また、検査装置1の作動中は、図4に示すように、報知部5には、「NO」という文字が表示されている。
まず、作業者は、操作パネル700の操作を行い、検査装置1の作動を停止させ、シリンダー740およびロック部材43の係合の解除ボタン(図示せず)を押す。
ステップS101において、濃度センサー800により供給領域A2内の冷却ガスの濃度Nを検出する。そして、ステップS102において、濃度Nが記憶部83に予め記憶された所定値N0よりも小さくなるまでに要する時間、すなわち、第1扉711および第2扉712を開くことが可能になるまでの情報としての残り時間を算出する。この算出は、時間の経過とともに濃度Nが低下するのを実験して測定し、得られた検量線(図示せず)に基づいて行われる。
次いで、ステップS103において、ステップS102で算出した時間をモニター51に表示する(図6参照)。なお、図6中では、モニター51には、「15」という数字が表示されており、残り時間が15秒であることを示している。このモニター51に表示された残り時間は、時間の経過とともにカウントダウンされ、表示された数字が減少していく。
このように、モニター51は、第1扉711および第2扉712を開くことが可能になるまでの情報としての残り時間を表示(報知)する。これにより、例えば、作業者は、第1扉711および第2扉712を開くのが可能になるまでの時間を把握することができる。よって、作業者は、第1扉711および第2扉712を開く作業を行うまでに他の作業を行うことができ、作業効率の向上を図ることができる。
そして、ステップS104において、濃度センサー800が検出した冷却ガスの濃度Nと、記憶部83に記憶されている所定値N0とを比較する。なお、所定値N0は、冷却ガスの濃度を示す値であり、作業者に対して十分に安全な程度に低い値である。
ステップS105において、濃度Nが所定値N0よりも低いと判断した場合、シリンダー740およびロック部材43の係合を解除する(図7参照)。そして、ステップS106において、第1扉711および第2扉712を開くことが可能になった旨を報知する。
本実施形態では、図7に示すように、モニター51に「OK」という文字が表示される。これにより、作業者に、第1扉711および第2扉712を開くことが可能になったことを認識させることができる。よって、冷却ガスの濃度Nの低下が不十分であるにも関わらず、作業者が第1扉711および第2扉712を開状態とするのを防止することができる。よって、作業者の安全を確保することができる。
なお、シリンダー740およびロック部材43が係合した閉状態で作業者が第1扉711および第2扉712を開こうとすると、その力にもよるが、シリンダー740およびロック部材43が破損する可能性が有る。検査装置1では、シリンダー740およびロック部材43の係合が解除されて、第1扉711および第2扉712を開くのが可能になってから報知部5がその旨を報知するよう構成されている。これにより、シリンダー740およびロック部材43が破損するのを防止することができる。
また、ステップS106では、報知部5に、第1扉711および第2扉712を開くことが可能になった旨を報知するだけでなく、モニター300にもその旨が表示される。すなわち、モニター300は、第1扉711および第2扉712が開閉可能か否かを表示するものである。これにより、作業者が第1扉711および第2扉712から離れたところに居たとしても、作業者に第1扉711および第2扉712を開くことが可能になった旨を認識させることができる。
また、検査装置1では、報知部5は、光を用いて報知するものであるため、作業者に、第1扉711および第2扉712の開閉が可能か否かを高い確度で認識させることができる。
また、第1扉711および第2扉712は、光透過性を有する材料により構成されている。このため、作業者は、シリンダー740およびロック部材43の作動状態を視認可能になっている。すなわち、報知部5は、シリンダー740およびロック部材43の作動状態を視認可能な窓部を有していると言える。これにより、例えば、モニター51を省略して報知部5の構成を簡素化したとしても、作業者は、シリンダー740およびロック部材43の作動状態を視認することにより、第1扉711および第2扉712の開閉が可能か否かを把握することができる。
このように、電子部品搬送装置10によれば、作業者に開閉部4が開閉可能か否かを認識させることができる。よって、例えば、電子部品搬送装置10の内側が作業者にとって好ましくない状態であるにも関わらず、作業者が開閉部4を開状態とすることを防止することができる。よって、作業者の安全を確保することができる。また、電子部品搬送装置10と検査部16とを有する検査装置1によっても同様に、よって、作業者の安全を確保することができる。
<第2実施形態>
図9および図10は、本発明の電子部品検査装置(第2実施形態)が備える開閉部および報知部を示す図である。
図9および図10は、本発明の電子部品検査装置(第2実施形態)が備える開閉部および報知部を示す図である。
以下、これらの図を参照して本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置の第2実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
検査装置1Aでは、報知部5Aは、窓部としての第1扉711に設けられた「OK」という第1の表示H1と、第1扉711に設けられた「NO」という第2の表示H2と、シリンダーロッド740aに連結された識別部としての識別板52と、を有している。
第1の表示H1は、第1扉711のZ方向の正側でかつY方向の負側の角部付近に設けられている。この第1の表示H1は、第1扉711および第2扉712を開状態とすることが可能であることを示す表示である。
第2の表示H2は、第1の表示H1の異なる位置の一例としてZ方向の負側に位置している。この第2の表示H2は、第1扉711および第2扉712を開状態とするのを規制していることを示す表示である。
これら第1の表示H1および第2の表示H2は、例えば、インクによる印字や、貼着物等により構成されている。また、第1の表示H1および第2の表示H2は、例えば、白色等、比較的薄い色であるのが好ましい。
識別板52は、シリンダーロッド740aのZ方向の負側の端部に固定された板部材で構成されている。また、識別板52は、例えば、黒色等、比較的濃い色を有している。
図9に示すように、識別板52は、シリンダーロッド740aが退避した状態、開状態とすることが可能である状態では、第1扉711を介して第1の表示H1と重なる第1の位置に位置するよう構成されている。一方、識別板52は、シリンダーロッド740aが突出した状態、すなわち、開状態とするのを規制している状態では、第1扉711を介して第2の表示H2と重なる第2の位置に位置するよう構成されている。
第1の表示H1と識別板52とが重なった状態では、識別板52によって、第1の表示H1を第2の表示H2よりも目立ちやすくすることができる。これにより、作業者は、開状態とすることが可能であることを容易に認識することができる。一方、第2の表示H2と識別板52とが重なった状態では、識別板52によって、第2の表示H2を第1の表示H1よりも目立ちやすくすることができる。これにより、作業者は、開状態とするのを規制していることを容易に認識することができる。
このように、識別板52は、シリンダーロッド740aの作動状態に連動して、第1の位置と第2の位置との間を移動することにより、第1扉711および第2扉712開閉可能か否かを識別させることができる。
このような本実施形態によれば、第1実施形態でのモニター51を省略することができる。よって、報知部5Aの構成を簡素にすることができるとともに、低コスト化を図ることができる。
以上、本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置を図示の実施形態について説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、電子部品搬送装置および電子部品検査装置を構成する各部は、同様の機能を発揮し得る任意の構成のものと置換することができる。また、任意の構成物が付加されていてもよい。
また、本発明の電子部品搬送装置および電子部品検査装置は、前記各実施形態のうちの、任意の2以上の構成(特徴)を組み合わせたものであってもよい。
なお、前記各実施形態では、報知部は、開閉部が開閉可能か否かを報知する、すなわち、開くことが可能な旨と、開くことを禁止する旨との双方を報知するものであったが、本発明ではこれに限定されず、開くことが可能な旨と、開くことを禁止する旨とのうちの少なくとも一方を表示するものであればよい。
また、前記各実施形態では、検査装置が低温検査を行う場合について説明したが、本発明は、高温検査を行う場合にも適用することができる。この場合、デバイス供給領域に温度センサーを設け、温度センサーが検出した温度が所定値よりも小さくなったら、開くことが可能な旨を報知する構成とすることができる。
また、前記第1実施形態では、報知部は、光によって報知するものであったが、本発明では、これに限定されず、光および音の少なくとも一方を用いて報知するものであればよい。すなわち、光による報知を省略し、音のみで報知してもよく、光と音の双方を用いて報知してもよい。
また、前記各実施形態では、報知部は、開閉部に設けられていたが、本発明ではこれに限定されず、例えば、開閉部の近傍等、開閉部から外れた位置に設けられていてもよい。
また、報知部の表示部は、LED(Light Emitting Diode)を用いたディスプレイであってもよい。
また、前記各実施形態では、開閉部は、回動により開閉するものであったが、本発明では、これに限定されず、例えば、X方向、Y方向およびZ方向のいずれかにスライドすることにより開閉操作が行われるものであってもよい。
また、前記第1実施形態では、報知部は、開閉部を開くことが可能になるまでの情報の一例として残り時間を表示するものであったが、本発明ではこれに限定されず、例えば、残り時間をパーセント表示により報知するものであってもよい。
1…検査装置、1A…検査装置、4…開閉部、41a…辺、41b…辺、41c…辺、41d…辺、42…回動支持部、43…ロック部材、5…報知部、5A…報知部、51…モニター、52…識別板、6…搬送部、10…電子部品搬送装置、11A…トレイ搬送機構、11B…トレイ搬送機構、12…温度調整部、13…デバイス搬送ヘッド、14…デバイス供給部、15…トレイ搬送機構、16…検査部、17…デバイス搬送ヘッド、18…デバイス回収部、19…回収用トレイ、20…デバイス搬送ヘッド、21…トレイ搬送機構、22A…トレイ搬送機構、22B…トレイ搬送機構、61…第1隔壁、62…第2隔壁、63…第3隔壁、64…第4隔壁、65…第5隔壁、66…内側隔壁、70…フロントカバー、71…サイドカバー、711…第1扉、712…第2扉、713…開口部、714…取っ手、72…サイドカバー、721…第1扉、722…第2扉、73…リアカバー、731…第1扉、732…第2扉、733…第3扉、74…トップカバー、740…シリンダー、740a…シリンダーロッド、75…第4扉、76…筐体、80…制御部、81…駆動制御部、82…検査制御部、83…記憶部、90…ICデバイス、200…トレイ、300…モニター、301…表示画面、400…シグナルランプ、500…スピーカー、600…マウス台、700…操作パネル、800…濃度センサー、A1…トレイ供給領域、A2…供給領域、A3…検査領域、A4…デバイス回収領域(回収領域)、A5…トレイ除去領域、H…高さ、H1…第1の表示、H2…第2の表示、M…設置面、N…濃度、N0…所定値、S101…ステップ、S102…ステップ、S103…ステップ、S104…ステップ、S105…ステップ、S106…ステップ、α11A…矢印、α11B…矢印、α13X…矢印、α13Y…矢印、α14…矢印、α15…矢印、α17Y…矢印、α18…矢印、α20X…矢印、α20Y…矢印、α21…矢印、α22A…矢印、α22B…矢印、α71…矢印、α72…矢印、α731…矢印、α732…矢印、α733…矢印、α75…矢印、α90…矢印
Claims (10)
- 電子部品を搬送可能な搬送部と、
開閉可能な開閉部と、
前記搬送部の作動状態を表示可能な表示部と、
前記開閉部が開閉可能か否かを報知する報知部と、を備えることを特徴とする電子部品搬送装置。 - 前記報知部は、光および音のうちの少なくとも1つを用いて報知する請求項1に記載の電子部品搬送装置。
- 前記開閉部の閉状態の維持と、前記閉状態の解除とを切り替えるロック部を有している請求項1または2に記載の電子部品搬送装置。
- 前記報知部は、前記ロック部の作動状態を視認可能な窓部を有している請求項3に記載の電子部品搬送装置。
- 前記窓部には、前記開閉部を開状態とすることが可能であることを示す第1の表示と、前記第1の表示とは異なる位置に設けられ、前記開閉部を前記開状態とするのを規制していることを示す第2の表示とが付されており、
前記報知部は、前記ロック部の作動状態に連動して、前記窓部を介して前記第1の表示と重なる第1の位置と、前記窓部を介して前記第2の表示と重なる第2の位置との間を移動することにより、前記開閉部が開閉可能か否かを識別させる識別部を有している請求項4に記載の電子部品搬送装置。 - 前記報知部は、前記開閉部に設けられている請求項1ないし5のいずれか1項に記載の電子部品搬送装置。
- 前記報知部は、前記開閉部を開くことが可能になるまでの情報を報知する請求項1ないし6のいずれか1項に記載の電子部品搬送装置。
- 前記報知部は、前記電子部品搬送装置が設置される設置面から600mm以上、2000mm以下の高さの位置に配置される請求項1ないし7のいずれか1項に記載の電子部品搬送装置。
- 前記表示部は、前記開閉部が開閉可能か否かを表示する請求項1ないし8のいずれか1項に記載の電子部品搬送装置。
- 電子部品を搬送可能な搬送部と、
開閉可能な開閉部と、
前記搬送部の作動状態を表示可能な表示部と、
前記開閉部が開閉可能か否かを報知する報知部と、
電子部品を検査する検査部と、を備えることを特徴とする電子部品検査装置。
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