JP3390858B2 - Ｉｃ試験用恒温槽 - Google Patents
Ｉｃ試験用恒温槽Info
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- JP3390858B2 JP3390858B2 JP22686096A JP22686096A JP3390858B2 JP 3390858 B2 JP3390858 B2 JP 3390858B2 JP 22686096 A JP22686096 A JP 22686096A JP 22686096 A JP22686096 A JP 22686096A JP 3390858 B2 JP3390858 B2 JP 3390858B2
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- Japan
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- test
- test tray
- port
- tst
- shutter
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は被試験ＩＣを自動
搬送装置で搬送し、恒温槽で所定の熱ストレスを与えて
動作試験を行なう、一般にハンドラと呼ばれている分野
に使われるＩＣ試験用恒温槽に関する。
搬送装置で搬送し、恒温槽で所定の熱ストレスを与えて
動作試験を行なう、一般にハンドラと呼ばれている分野
に使われるＩＣ試験用恒温槽に関する。
【０００２】
【従来の技術】図４及び図５を用いてハンドラと呼ばれ
るＩＣ試験装置の概要を説明する。図４はハンドラの略
線的平面図を示す。図中１００はテストヘッドを含むチ
ャンバ部、２００はこれから試験を行う被試験ＩＣを格
納し、また試験済のＩＣを分類して格納するＩＣ格納
部、３００は被試験ＩＣをチャンバ部１００に送り込む
ローダ部、４００はチャンバ部１００で試験が行われた
試験済のＩＣを分類して取り出すアンローダ部、ＴＳＴ
はローダ部３００で被試験ＩＣが積み込まれてチャンバ
部１００に送り込まれ、チャンバ部１００でＩＣを試験
し、試験済のＩＣをアンローダ部４００に運び出すＩＣ
搬送用のテストトレーを示す。
るＩＣ試験装置の概要を説明する。図４はハンドラの略
線的平面図を示す。図中１００はテストヘッドを含むチ
ャンバ部、２００はこれから試験を行う被試験ＩＣを格
納し、また試験済のＩＣを分類して格納するＩＣ格納
部、３００は被試験ＩＣをチャンバ部１００に送り込む
ローダ部、４００はチャンバ部１００で試験が行われた
試験済のＩＣを分類して取り出すアンローダ部、ＴＳＴ
はローダ部３００で被試験ＩＣが積み込まれてチャンバ
部１００に送り込まれ、チャンバ部１００でＩＣを試験
し、試験済のＩＣをアンローダ部４００に運び出すＩＣ
搬送用のテストトレーを示す。
【０００３】チャンバ部１００はテストトレーＴＳＴに
積み込まれた被試験ＩＣに目的とする高温または低温の
熱ストレスを与える恒温槽１０１と、この恒温槽１０１
で熱ストレスが与えられた状態にあるＩＣをテストヘッ
ドに接触させるテストチャンバ１０２と、テストチャン
バ１０２で試験されたＩＣから、与えられた熱ストレス
を除去する除熱槽１０３とによって構成される。つま
り、恒温槽１０１で高温を印加した場合は除熱槽１０３
では送風により冷却し、室温に戻してアンローダ部４０
０に搬出する。また恒温槽１０１で例えば−３０℃程度
の低温を印加した場合は温風乃至はヒータ等で槽内を加
熱し、結露が生じない程度の温度に戻してアンローダ部
４００に搬出する。
積み込まれた被試験ＩＣに目的とする高温または低温の
熱ストレスを与える恒温槽１０１と、この恒温槽１０１
で熱ストレスが与えられた状態にあるＩＣをテストヘッ
ドに接触させるテストチャンバ１０２と、テストチャン
バ１０２で試験されたＩＣから、与えられた熱ストレス
を除去する除熱槽１０３とによって構成される。つま
り、恒温槽１０１で高温を印加した場合は除熱槽１０３
では送風により冷却し、室温に戻してアンローダ部４０
０に搬出する。また恒温槽１０１で例えば−３０℃程度
の低温を印加した場合は温風乃至はヒータ等で槽内を加
熱し、結露が生じない程度の温度に戻してアンローダ部
４００に搬出する。
【０００４】恒温槽１０１及び除熱槽１０３はテストチ
ャンバ１０２より上方に突出されて配置される。恒温槽
１０１と除熱槽１０３の上部間に図５に示すように基板
１０５が差し渡され、この基板１０５にテストトレー搬
送手段１０８が装着され、このテストトレー搬送手段１
０８によってテストトレーＴＳＴが、除熱槽１０３側か
ら恒温槽１０１に向かって移送される。テストトレーＴ
ＳＴはローダ部３００で被試験ＩＣを積み込み、恒温槽
１０１に運び込まれる。恒温槽１０１には垂直搬送手段
が装着されており、この垂直搬送手段によって複数枚の
テストトレーＴＳＴが支持されてテストチャンバ１０２
が空くまで待機する。この待機中に被試験ＩＣに高温ま
たは低温の温度ストレスを印加する。テストチャンバ１
０２にはその中央にテストヘッド１０４が配置され、テ
ストヘッド１０４の上にテストトレーＴＳＴが運ばれて
被試験ＩＣをテストヘッド１０４に電気的に接触させ試
験を行う。試験が終了したテストトレーＴＳＴは除熱槽
１０３で除熱し、ＩＣの温度を室温に戻し、アンローダ
部４００に排出する。
ャンバ１０２より上方に突出されて配置される。恒温槽
１０１と除熱槽１０３の上部間に図５に示すように基板
１０５が差し渡され、この基板１０５にテストトレー搬
送手段１０８が装着され、このテストトレー搬送手段１
０８によってテストトレーＴＳＴが、除熱槽１０３側か
ら恒温槽１０１に向かって移送される。テストトレーＴ
ＳＴはローダ部３００で被試験ＩＣを積み込み、恒温槽
１０１に運び込まれる。恒温槽１０１には垂直搬送手段
が装着されており、この垂直搬送手段によって複数枚の
テストトレーＴＳＴが支持されてテストチャンバ１０２
が空くまで待機する。この待機中に被試験ＩＣに高温ま
たは低温の温度ストレスを印加する。テストチャンバ１
０２にはその中央にテストヘッド１０４が配置され、テ
ストヘッド１０４の上にテストトレーＴＳＴが運ばれて
被試験ＩＣをテストヘッド１０４に電気的に接触させ試
験を行う。試験が終了したテストトレーＴＳＴは除熱槽
１０３で除熱し、ＩＣの温度を室温に戻し、アンローダ
部４００に排出する。
【０００５】ＩＣ格納部２００には被試験ＩＣを格納す
る被試験ＩＣストッカ２０１と、試験の結果に応じて分
類されたＩＣを格納する試験済ＩＣストッカ２０２とが
設けられる。被試験ＩＣストッカ２０１には被試験ＩＣ
を格納した汎用トレーＫＳＴが積層されて保持される。
この汎用トレーＫＳＴがローダ部３００に運ばれ、ロー
ダ部３００に運ばれた汎用トレーＫＳＴからローダ部３
００に停止しているテストトレーＴＳＴに被試験ＩＣを
積み替える。汎用トレーＫＳＴからテストトレーＴＳＴ
にＩＣを運び込むＩＣ搬送手段としては図５に示すよう
に、基板１０５の上部に架設した２本のレール３０１
と、この２本のレール３０１によってテストトレーＴＳ
Ｔと汎用トレーＫＳＴとの間を往復（この方向をＹ方向
とする）することができる可動アーム３０２と、この可
動アーム３０２によって支持され、可動アーム３０２に
沿ってＸ方向に移動できる可動ヘッド３０３とによって
構成されるＸ−Ｙ搬送手段３０４を用いることができ
る。可動ヘッド３０３には下向きに吸着ヘッドが装着さ
れ、この吸着ヘッドが空気を吸引しながら移動し、汎用
トレーＫＳＴからＩＣを吸着し、そのＩＣをテストトレ
ーＴＳＴに搬送する。吸着ヘッドは可動ヘッド３０３に
対して例えば８本程度装着され、一度に８個のＩＣをテ
ストトレーＴＳＴに搬送する。
る被試験ＩＣストッカ２０１と、試験の結果に応じて分
類されたＩＣを格納する試験済ＩＣストッカ２０２とが
設けられる。被試験ＩＣストッカ２０１には被試験ＩＣ
を格納した汎用トレーＫＳＴが積層されて保持される。
この汎用トレーＫＳＴがローダ部３００に運ばれ、ロー
ダ部３００に運ばれた汎用トレーＫＳＴからローダ部３
００に停止しているテストトレーＴＳＴに被試験ＩＣを
積み替える。汎用トレーＫＳＴからテストトレーＴＳＴ
にＩＣを運び込むＩＣ搬送手段としては図５に示すよう
に、基板１０５の上部に架設した２本のレール３０１
と、この２本のレール３０１によってテストトレーＴＳ
Ｔと汎用トレーＫＳＴとの間を往復（この方向をＹ方向
とする）することができる可動アーム３０２と、この可
動アーム３０２によって支持され、可動アーム３０２に
沿ってＸ方向に移動できる可動ヘッド３０３とによって
構成されるＸ−Ｙ搬送手段３０４を用いることができ
る。可動ヘッド３０３には下向きに吸着ヘッドが装着さ
れ、この吸着ヘッドが空気を吸引しながら移動し、汎用
トレーＫＳＴからＩＣを吸着し、そのＩＣをテストトレ
ーＴＳＴに搬送する。吸着ヘッドは可動ヘッド３０３に
対して例えば８本程度装着され、一度に８個のＩＣをテ
ストトレーＴＳＴに搬送する。
【０００６】上述したように、恒温槽１０１の内部は低
温又は高温の状態に維持される。このため、恒温槽１０
１のテストトレー搬入口には従来からシャッタ板が設け
られ、このシャッタ板によってテストトレーＴＳＴの搬
入時以外はテストトレー搬入口を塞ぎ恒温槽１０１内の
温度が外部に洩れないようにし、恒温槽１０１内の温度
が変動しないように構成している。
温又は高温の状態に維持される。このため、恒温槽１０
１のテストトレー搬入口には従来からシャッタ板が設け
られ、このシャッタ板によってテストトレーＴＳＴの搬
入時以外はテストトレー搬入口を塞ぎ恒温槽１０１内の
温度が外部に洩れないようにし、恒温槽１０１内の温度
が変動しないように構成している。
【０００７】図６に従来の恒温槽のテストトレー搬入口
の部分の構造を示す。１０１Ａは恒温槽１０１のテスト
トレー搬入口を示す。テストトレー搬入口１０１Ａの前
後にレール１１１が敷設され、レール１１１に乗せられ
てテストトレーＴＳＴが搬入される。１１２はシャッタ
板を示す。シャッタ板１１２は例えばエアーシリンダの
ような直線駆動手段１１３によってテストトレー搬入口
１０１Ａの開口面と平行に移動できるように支持され
る。直線駆動手段１１３の駆動によってシャッタ板１１
２が恒温槽１０１の壁面１０１Ｂに沿って移動し、テス
トトレー搬入口１０１Ａを閉塞した状態と、開放した状
態に移動できるように構成される。
の部分の構造を示す。１０１Ａは恒温槽１０１のテスト
トレー搬入口を示す。テストトレー搬入口１０１Ａの前
後にレール１１１が敷設され、レール１１１に乗せられ
てテストトレーＴＳＴが搬入される。１１２はシャッタ
板を示す。シャッタ板１１２は例えばエアーシリンダの
ような直線駆動手段１１３によってテストトレー搬入口
１０１Ａの開口面と平行に移動できるように支持され
る。直線駆動手段１１３の駆動によってシャッタ板１１
２が恒温槽１０１の壁面１０１Ｂに沿って移動し、テス
トトレー搬入口１０１Ａを閉塞した状態と、開放した状
態に移動できるように構成される。
【０００８】テストトレー搬入口１０１Ａの前後に例え
ば反射光を受光してテストトレーＴＳＴの存在を検出す
るセンサ１１４Ａと１１４Ｂが設けられる。センサ１１
４Ａはテストトレー搬入口１０１Ａの外側に設けられ、
テストトレーＴＳＴの前縁がテストトレー搬入口１０１
Ａに近づいたことを検出する。この検出信号によって直
線駆動手段１１３を駆動し、シャッタ板１１２を開放位
置に移動させる。センサ１１４Ｂはテストトレー搬入口
１０１Ａの内側に配置される。テストトレーＴＳＴの後
縁がこのセンサ１１４Ｂの下を通過すると、直線駆動手
段１１３に信号を送りシャッタ板１１２を閉位置に戻す
制御を行なう。
ば反射光を受光してテストトレーＴＳＴの存在を検出す
るセンサ１１４Ａと１１４Ｂが設けられる。センサ１１
４Ａはテストトレー搬入口１０１Ａの外側に設けられ、
テストトレーＴＳＴの前縁がテストトレー搬入口１０１
Ａに近づいたことを検出する。この検出信号によって直
線駆動手段１１３を駆動し、シャッタ板１１２を開放位
置に移動させる。センサ１１４Ｂはテストトレー搬入口
１０１Ａの内側に配置される。テストトレーＴＳＴの後
縁がこのセンサ１１４Ｂの下を通過すると、直線駆動手
段１１３に信号を送りシャッタ板１１２を閉位置に戻す
制御を行なう。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】上述したように、シャ
ッタ板１１２はテストトレーＴＳＴの前縁がセンサ１１
４Ａと対向する位置に到来した時点から、テストトレー
ＴＳＴの後縁がセンサ１１４Ｂの下を通過するまでの
間、テストトレー搬入口１０１Ａを開放状態に維持す
る。テストトレー搬入口１０１ＡはテストトレーＴＳＴ
の断面積より大き目に作られるため、開放期間中、恒温
槽１０１から冷気又は熱気が外部に洩れ出る不都合が生
じる。特に恒温槽１０１の内部を−３０℃程度の低温に
維持させた場合、テストトレー搬入口１０１Ａから冷気
が多量に洩れ、周囲の部材及びセンサ１１４Ａに結露を
付着させ、この結露が誤動作の原因になる不都合が生じ
る。
ッタ板１１２はテストトレーＴＳＴの前縁がセンサ１１
４Ａと対向する位置に到来した時点から、テストトレー
ＴＳＴの後縁がセンサ１１４Ｂの下を通過するまでの
間、テストトレー搬入口１０１Ａを開放状態に維持す
る。テストトレー搬入口１０１ＡはテストトレーＴＳＴ
の断面積より大き目に作られるため、開放期間中、恒温
槽１０１から冷気又は熱気が外部に洩れ出る不都合が生
じる。特に恒温槽１０１の内部を−３０℃程度の低温に
維持させた場合、テストトレー搬入口１０１Ａから冷気
が多量に洩れ、周囲の部材及びセンサ１１４Ａに結露を
付着させ、この結露が誤動作の原因になる不都合が生じ
る。
【００１０】この発明の目的はシャッタ板が開の位置に
移動しても、テストトレー搬入口の開口率を可及的に小
さく保ち、冷気の洩れ量を少量化し、結露の発生率を低
減しようとするものである。
移動しても、テストトレー搬入口の開口率を可及的に小
さく保ち、冷気の洩れ量を少量化し、結露の発生率を低
減しようとするものである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】この発明ではシャッタ板
の内側に自重によって垂れ下がった補助シャッタを設け
る。この補助シャッタの下端はテストトレーが搬入され
るとき、テストトレーに係合して押し上げられ、テスト
トレーの表面に接触した状態でテストトレーを通過させ
る。この発明では更に補助シャッタをエアーカーテンに
よって構成する構造をも提案する。
の内側に自重によって垂れ下がった補助シャッタを設け
る。この補助シャッタの下端はテストトレーが搬入され
るとき、テストトレーに係合して押し上げられ、テスト
トレーの表面に接触した状態でテストトレーを通過させ
る。この発明では更に補助シャッタをエアーカーテンに
よって構成する構造をも提案する。
【００１２】従ってテストトレー搬入口はテストトレー
の上部側は補助シャッタによって閉じた状態に維持さ
れ、テストトレーの搬入中でも開口率を最小限に維持す
ることができる。よって冷気が洩れる量を少なくするこ
とができる利点が得られる。
の上部側は補助シャッタによって閉じた状態に維持さ
れ、テストトレーの搬入中でも開口率を最小限に維持す
ることができる。よって冷気が洩れる量を少なくするこ
とができる利点が得られる。
【００１３】
【発明の実施の形態】図１にこの発明の一実施例を示
す。図６と対応する部分には同一符号を付して示す。こ
の発明ではシャッタ板１１２の内側、つまり恒温槽１０
１の内側に自重によって吊り下がった状態に維持される
補助シャッタ１１５を設ける。図１に示す１１５はその
補助シャッタの一例を示す。この補助シャッタ１１５は
テストトレー搬入口１０１Ａの開口部分とほぼ同等の長
方形状を有し、その長方形状の一方の長辺に沿って軸１
１５Ａを設け、この軸１１５Ａを軸受け１１６で支持
し、補助シャッタ１１５を吊り下げた状態に維持させ
る。補助シャッタ１１５の材質としては可及的に軽量で
ある方がよく、例えばアルミ板又は断熱性を持つ樹脂板
を用いることができる。補助シャッタ１１５の下辺部は
テストトレーＴＳＴと摺動する場合に、板の角がテスト
トレーＴＳＴに摺動しないようにするために弯曲部分１
１５Ｂを形成した場合を示す。
す。図６と対応する部分には同一符号を付して示す。こ
の発明ではシャッタ板１１２の内側、つまり恒温槽１０
１の内側に自重によって吊り下がった状態に維持される
補助シャッタ１１５を設ける。図１に示す１１５はその
補助シャッタの一例を示す。この補助シャッタ１１５は
テストトレー搬入口１０１Ａの開口部分とほぼ同等の長
方形状を有し、その長方形状の一方の長辺に沿って軸１
１５Ａを設け、この軸１１５Ａを軸受け１１６で支持
し、補助シャッタ１１５を吊り下げた状態に維持させ
る。補助シャッタ１１５の材質としては可及的に軽量で
ある方がよく、例えばアルミ板又は断熱性を持つ樹脂板
を用いることができる。補助シャッタ１１５の下辺部は
テストトレーＴＳＴと摺動する場合に、板の角がテスト
トレーＴＳＴに摺動しないようにするために弯曲部分１
１５Ｂを形成した場合を示す。
【００１４】１１７は補助シャッタ１１５が閉位置に垂
れ下がった状態において、補助シャッタ１１５に接触し
て冷気の流通を阻止する弾性体を示す。補助シャッタ１
１５はテストトレーＴＳＴがテストトレー搬入口１０１
Ａに搬入されると、テストトレーＴＳＴの前縁部分で押
し上げられ、矢印Ｐ方向に回動される。テストトレーＴ
ＳＴの通過中は補助シャッタ１１５の弯曲部分１１５Ｂ
がテストトレーＴＳＴの上面と摺接する。従ってテスト
トレーＴＳＴの上部側は補助シャッタ１１５で閉がれた
状態に維持される。テストトレーＴＳＴが通過し終る
と、補助シャッタ１１５は自重によって閉位置に戻され
る。
れ下がった状態において、補助シャッタ１１５に接触し
て冷気の流通を阻止する弾性体を示す。補助シャッタ１
１５はテストトレーＴＳＴがテストトレー搬入口１０１
Ａに搬入されると、テストトレーＴＳＴの前縁部分で押
し上げられ、矢印Ｐ方向に回動される。テストトレーＴ
ＳＴの通過中は補助シャッタ１１５の弯曲部分１１５Ｂ
がテストトレーＴＳＴの上面と摺接する。従ってテスト
トレーＴＳＴの上部側は補助シャッタ１１５で閉がれた
状態に維持される。テストトレーＴＳＴが通過し終る
と、補助シャッタ１１５は自重によって閉位置に戻され
る。
【００１５】図３はこの発明の他の実施例を示す。この
実施例では補助シャッタ１１５としてエアーカーテンを
用いた場合を示す。つまり、テストトレー搬入口１０１
Ａを開口した壁の厚み部分の上部側にノズル１１５Ｃを
設け、ノズル１１５Ｃから例えばドライエアーを吹出さ
せて空気流を形成し、いわゆるエアーカーテンを形成
し、このエアーカーテンによって補助シャッタ１１５を
構成した場合を示す。
実施例では補助シャッタ１１５としてエアーカーテンを
用いた場合を示す。つまり、テストトレー搬入口１０１
Ａを開口した壁の厚み部分の上部側にノズル１１５Ｃを
設け、ノズル１１５Ｃから例えばドライエアーを吹出さ
せて空気流を形成し、いわゆるエアーカーテンを形成
し、このエアーカーテンによって補助シャッタ１１５を
構成した場合を示す。
【００１６】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、シャッタ板１１２の内側に補助シャッタ１１５を設
けたから、シャッタ板１１２が開放位置に移動した状態
にあってもテストトレー搬入口１０１Ａは補助シャッタ
１１５によって閉状態に維持される。然もテストトレー
ＴＳＴが搬入されている状態でも、テストトレーＴＳＴ
の上部側は補助シャッタ１１５によって塞がれた状態に
維持される。従ってテストトレーＴＳＴが搬入中であっ
てもテストトレー搬入口１０１Ａの開口率を最小限度に
小さくすることができる。また、補助シャッタ１１５を
エアーカーテンによって構成した場合も冷気の洩れ量を
極めて小さくすることができる。
ば、シャッタ板１１２の内側に補助シャッタ１１５を設
けたから、シャッタ板１１２が開放位置に移動した状態
にあってもテストトレー搬入口１０１Ａは補助シャッタ
１１５によって閉状態に維持される。然もテストトレー
ＴＳＴが搬入されている状態でも、テストトレーＴＳＴ
の上部側は補助シャッタ１１５によって塞がれた状態に
維持される。従ってテストトレーＴＳＴが搬入中であっ
てもテストトレー搬入口１０１Ａの開口率を最小限度に
小さくすることができる。また、補助シャッタ１１５を
エアーカーテンによって構成した場合も冷気の洩れ量を
極めて小さくすることができる。
【００１７】従って、この発明によれば恒温槽１０１を
低温に保って動作させる場合でも、冷気の洩れ量を少な
くすることができる。よってテストトレー搬入口１０１
Ａの近くに配置された部材或はセンサに結露を生じさせ
る量を少なくすることができ、誤動作の要因の発生を抑
制することができる利点が得られる。
低温に保って動作させる場合でも、冷気の洩れ量を少な
くすることができる。よってテストトレー搬入口１０１
Ａの近くに配置された部材或はセンサに結露を生じさせ
る量を少なくすることができ、誤動作の要因の発生を抑
制することができる利点が得られる。
【図１】この発明の一実施例を示す断面図。
【図２】図１に用いた補助シャッタの構造を説明するた
めの斜視図。
めの斜視図。
【図３】この発明の変形実施例を説明するための断面
図。
図。
【図４】この発明を適用して好適なＩＣ試験装置の一例
を説明するための平面図。
を説明するための平面図。
【図５】図４を更に具体的に示した斜視図。
【図６】従来の技術を説明するための断面図。
１０１ 恒温槽
１０１Ａ テストトレー搬入口
１１２ シャッタ板
１１３ 直線駆動手段
１１５ 補助シャッタ
ＴＳＴ テストトレー
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G01R 31/26
G01R 31/00
B65G 1/00 - 1/20
Claims (2)
- 【請求項１】 テストトレー搬入口と、このテストトレ
ー搬入口を開閉するシャッタ板とを具備して構成される
ＩＣ試験用恒温槽において、 上記シャッタ板の内側に自重によって垂れ下がった状態
の板によって構成した補助シャッタ板を設けた構成とし
たことを特徴とするＩＣ試験用恒温槽。 - 【請求項２】 テストトレー搬入口と、このテストトレ
ー搬入口を開閉するシャッタ板とを具備して構成される
ＩＣ試験用恒温槽において、 上記シャッタ板の内側にエアーカーテンによって構成し
た補助シャッタを設けたことを特徴とするＩＣ試験用恒
温槽。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22686096A JP3390858B2 (ja) | 1996-08-28 | 1996-08-28 | Ｉｃ試験用恒温槽 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22686096A JP3390858B2 (ja) | 1996-08-28 | 1996-08-28 | Ｉｃ試験用恒温槽 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1068756A JPH1068756A (ja) | 1998-03-10 |
| JP3390858B2 true JP3390858B2 (ja) | 2003-03-31 |
Family
ID=16851713
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22686096A Expired - Fee Related JP3390858B2 (ja) | 1996-08-28 | 1996-08-28 | Ｉｃ試験用恒温槽 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3390858B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2010007653A1 (ja) * | 2008-07-14 | 2010-01-21 | 株式会社アドバンテスト | ソケットガイド、ソケット、プッシャおよび電子部品試験装置 |
| US10416231B2 (en) | 2015-03-16 | 2019-09-17 | Seiko Epson Corporation | Electronic component transport apparatus and electronic component inspection apparatus |
-
1996
- 1996-08-28 JP JP22686096A patent/JP3390858B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH1068756A (ja) | 1998-03-10 |
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