JP2016065884A - 部品検査装置、及び、ハンドラー - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ハンドラーは、デバイスTが載置され、デバイスTを冷却する供給用シャトルプレート15aと、供給用シャトルプレート15aに載置されるデバイスTを供給用シャトルプレート15aから搬送する搬送ロボットとを有している。搬送ロボットは、供給用シャトルプレート15aに載置されるデバイスTを吸着する吸着部74と、供給用シャトルプレート15aから吸着部74を遠ざける垂直移動アーム73と、供給用シャトルプレート15aから遠ざけられた状態で吸着部74がデバイスTとともに収容されるアームボックス75と、乾燥しているガスをアームボックス75内に供給するドライエアー供給部76とを備える。
【選択図】図3
Description
本発明におけるハンドラーの他の態様によれば、第2乾燥ガス供給部が冷媒を加熱する乾燥ガス加熱部を有しているため、この乾燥ガス加熱部にて加熱された冷媒が上述の乾燥しているガスとして第2収容部に供給される。これにより、第2収容部内に供給されたガスの温度が露点以下となることがより抑えられるため、第2収容部内の搬送対象の表面にて結露が生じにくくなる。また、第2収容部の外表面を構成する部材の温度が、第2収容部の外部雰囲気における露点以下になることが抑えられやすくなり、第2収容部の外表面を構成する部材での結露も生じにくくなる。
本発明におけるハンドラーの他の態様によれば、第1収容体と第2収容体とが、搬送ロボットの保持部、及び保持部に保持された搬送対象を通過させる開口部を有している。そのため、載置部に載置された搬送対象が第1収容体内に収容されるときには、第2収容体に形成された開口部と、第1収容体に形成された開口部とを介して搬送対象が搬送されることになる。それゆえに、第1収容体や第2収容体そのものが開閉することで、載置部から第1収容体への搬送を行う構成と比べて、第1収容体及び第2収容体の構成をより簡易なものとすることができる。加えて、搬送対象が、第1収容体及び第2収容体の外側の気体と接触することがより抑えられ、ひいては、搬送対象の表面に結露がより生じにくくなる。
以下、本発明における部品検査装置、及びハンドラーの第1実施形態について、図1〜図7を参照して説明する。まず、ハンドラー及び部品検査装置の全体構成について図1を参照して説明する。
図1に示されるように、ハンドラー10の基台11には、各種ロボットの搭載される搭載面11aが上面として設けられ、搭載面11aの大部分は、カバー部材12によって覆われている。搭載面11aとカバー部材12とにより囲まれた空間である搬送空間には、常温である例えば18℃に維持された大気が外部から供給されている。
上述の各部材及びデバイスTの冷却を行う冷却部について、図2を参照して説明する。なお、上述の第1収容ボックス51、検査ボックス52、及び第2収容ボックス53の各々にて冷却を行う冷却部は、各冷却部の搭載された位置や冷却対象が異なるものの、冷却対象を冷却する冷媒の流路系統の構成は同様であるため、以下では、第1収容ボックス51の冷却部についてのみ説明する。
上述した搬送ロボット30の構成、特に、搬送ロボット30の有する搬送ユニット32,33及び各ボックス51〜53の構成について、図3を参照して説明する。なお、図3には、第1シャトル15のX方向への移動と、第1搬送ユニット32のY方向への移動とにより、第1搬送ユニット32が第1シャトル15の供給用シャトルプレート15aの直上に位置した状態が示されている。
部品検査装置の電気的構成について図4を参照して説明する。なお、以下では、部品検査装置を構成するハンドラー10に搭載された搬送ユニット32,33及びシャトル15,16の動作に関わる電気的構成について説明し、それ以外の電気的構成についての説明は割愛する。また、搬送ユニット32,33の各々の動作に関わる電気的構成は、制御の対象が異なるものの構成要素ごとの機能が同様であるため、第1搬送ユニット32の動作に関わる電気的構成について説明し、第2搬送ユニット33の動作に関わる電気的構成についての説明を割愛する。そして、シャトル15,16の各々の動作にかかわる電気的構成は、制御対象が異なるものの構成要素ごとの機能が同様であるため、第1シャトル15の動作に関わる電気的構成について説明し、第2シャトル16の動作に関わる電気的構成についての説明は割愛する。
上述したハンドラー及び部品検査装置の第1搬送ユニット32が、第1シャトル15の供給用シャトルプレート15aに収容されたデバイスTをテストヘッド14に搬送するときの動作について、図5〜図7を参照して説明する。なお、第1搬送ユニット32が、テストヘッド14に収容されたデバイスTを回収用シャトルプレート15bに搬送するときの動作は、搬送の経路が異なるものの、デバイスTの搬送に関わる各部の動作方向や動作順序が以下に説明する動作と概ね同様であるため、その説明を割愛する。また、第2搬送ユニット33が、第2シャトル16の供給用シャトルプレート16a、回収用シャトルプレート16b、及びテストヘッド14の間でデバイスTを搬送するときの動作も、搬送に関わる部材や搬送の経路が異なるものの、デバイスTの搬送に関わる各部の動作方向や動作順序が以下に説明する動作と概ね同様であることから、その説明を割愛する。
(1)シャトルプレート15a,15b,16a,16b、及び検査用ソケット14aにて冷却されたデバイスTの搬送を行う搬送ロボット30が、吸着部74に保持されたデバイスTを収容するアームボックス75を有し、アームボックス75の内部に、ドライエアーが供給される。そのため、デバイスTが搬送ロボット30によって搬送されるとき、デバイスTはドライエアーの供給された空間に保持され、アームボックス75の外側の気体とデバイスTとが接触しにくくなる。それゆえに、冷却されたデバイスTが搬送される空間全体にドライエアーが供給されずとも、デバイスTが搬送されるときに、デバイスTの表面に生じる結露を抑えることができる。
以下、本発明における部品検査装置、及びハンドラーの第2実施形態について、図8〜図15を参照して説明する。なお、第2実施形態におけるハンドラー及び部品検査装置は、上述の第1実施形態におけるハンドラー及び部品検査装置と比べて、搬送ロボット30の搬送ユニット32,33、及び各ボックス51〜53の構成が異なっている。そのため、以下では、これらの構成について説明し、その他の構成については説明を割愛する。
図8に示されるように、第1収容ボックス51は、第1実施形態と同様、第1シャトル15と供給用シャトルプレート15aとを内部に収容する箱体状をなしている。第1収容ボックス51の上面におけるデバイスポケット15pの直上に第1搬送ユニット32の吸着部74の通過可能な矩形状の開口部51hを有している。加えて、第1収容ボックス51は、開口部51hを覆う第2蓋部としての蓋部51aを有し、蓋部51aは、X方向に延びる矩形状をなす2枚の板部材51b,51cと、板部材51b,51cの各々を駆動する図示されないボックス用開閉シリンダーとを有している。本実施形態では、第1収容ボックス51と蓋部51aとが、第2収容体を構成している。
部品検査装置の電気的構成について図9を参照して説明する。なお、第2実施形態における電気的構成は、上述の第1実施形態における電気的構成と比べて、アームボックス75の蓋部75bの動作を制御する電気的構成と、第1収容ボックス51の動作を制御する電気的構成とを有する点が異なる。そのため、以下では、こうした相違点について詳しく説明する。
そして、制御装置80には、第1収容ボックス駆動部83が接続され、第1収容ボックス駆動部83は、ボックス用開閉シリンダー駆動部83aを有している。ボックス用開閉シリンダー駆動部83aは、制御装置80から入力された駆動指令に基づいてボックス用開閉シリンダー92の作動圧である開放圧力あるいは閉鎖圧力を生成し、ボックス用開閉シリンダー92に出力する。ボックス用開閉シリンダー92は、入力された作動圧に応じて収縮あるいは伸長し、これにより、第1収容ボックス51の蓋部51aが開放あるいは閉鎖される。
上述したハンドラー及び部品検査装置の第1搬送ユニット32が、第1シャトル15の供給用シャトルプレート15aに収容されたデバイスTをテストヘッド14に搬送するときの動作について、図10〜図15を参照して説明する。なお、第2実施形態における搬送動作は、上述の第1実施形態における搬送動作と比べて、アームボックス75の蓋部75b及び第1収容ボックス51の蓋部51aの開放及び閉鎖が行われる点が異なる。そのため、以下では、こうした相違点について詳しく説明する。
(6)アームボックス75が開口部75hを覆う蓋部75bを有し、各ボックス51〜53が開口部を覆う蓋部を有し、吸着部74がこれら開口部を通過するときに蓋部が開放される。そのため、アームボックス75及び各ボックス51〜53が蓋部を有していない場合と比べて、アームボックス75内及び各ボックス51〜53内には、これらの外側の気体が混入しにくくなる。それゆえに、アームボックス75内及び各ボックス51〜53内は、ドライエアーで満たされやすくなるため、アームボックス75内及び各ボックス51〜53内に収容されたデバイスTの表面に結露が生じにくくなる。
・アームボックス75にデバイスTが収容される期間は、水平移動アーム71の移動によってデバイスTが搬送されている期間の全てであってもよく、また当該期間の一部分であってもよい。要は、デバイスTの搬送期間における少なくとも一部において、デバイスTがアームボックス75内に収容されればよい。
・第2実施形態では、アームボックス75に設けられた蓋部75bを割愛したり、各ボックス51〜53に設けられた蓋部の一部、あるいは全てを割愛したりしてもよい。つまり、蓋部が全く設けられていない構成と比べて、蓋部のいずれかが設けられている構成であれば、その分だけ上述の(5)に準じた効果を得ることができる。
・アームボックス75内に供給されるドライエアーは圧縮空気に限らず、例えば窒素ガス等であってもよい。
・アームボックス75には、アームボックス75内の気体の性状、例えば、温度、相対湿度、絶対湿度、及び圧力の少なくとも1つを検出するセンサーが取り付けられてもよい。そして、制御装置80は、センサーの検出する検出値に基づいて、ドライエアー供給部76からアームボックス75に供給されるドライエアーの流量を調節してもよい。
例えば、アームボックス75内で結露が生じない程度の温度の範囲をアームボックス75内での温度の基準範囲とし、アームボックス75内の温度が基準範囲を下回るとき、制御装置80は、ドライエアー供給部76からアームボックス75に供給されるドライエアーの流量を上げる。反対に、アームボックス75内の温度が基準範囲を上回るとき、制御装置80は、ドライエアー供給部76からアームボックス75に供給されるドライエアーの流量を下げる。また、アームボックス75内の温度が基準範囲内で下がるとき、制御装置80は、ドライエアー供給部76からアームボックス75に供給されるドライエアーの流量を上げる。反対に、アームボックス75内の温度が基準範囲内で上がるとき、制御装置80は、ドライエアー供給部76からアームボックス75に供給されるドライエアーの流量を下げる。
(7)アームボックス75内には、温度、相対湿度、絶対湿度、及び圧力の少なくとも1つを検出するセンサーが取り付けられている。そして、制御装置80は、このセンサーの検出結果に基づいて、ドライエアー供給部76からアームボックス75に供給されるドライエアーの流量を変える。そのため、こうしたセンサーを有していない構成と比べて、アームボックス75内に供給されるドライエアーの流量には、センサーの検出時におけるアームボックス75内の温度、相対湿度、絶対湿度、及び圧力の少なくとも1つが反映されることになる。それゆえに、アームボックス75内の温度、相対湿度、絶対湿度、及び圧力の少なくとも1つが所定の範囲に維持されやすくなる。結果として、アームボックス75内は、デバイスTの表面に結露を生じさせない環境に保たれやすくなる。また、アームボックス75内は、デバイスTの温度の制御に適した環境に保たれやすくなる。
・ハンドラー10は、載置部を構成するシャトルプレート15a,15b,16a,16b、及び検査用ソケット14aに向けて下降するアームと、載置部から上昇するアームとが各別に設けられた構成であってもよい。
・搬送ユニット32,33は、デバイスTを保持する保持部として真空吸着以外の方法にてデバイスTを保持する保持部を有してもよい。
本発明におけるハンドラーの他の態様において、前記第1の方向は垂直方向であり、前記第2の方向は水平方向である。
本発明におけるハンドラーの他の態様は、前記載置部を収容可能な第2収容体と、前記乾燥ガスを前記第2収容体内に供給可能な第2乾燥ガス供給部と、を備える。
本発明におけるハンドラーの他の態様によれば、載置部を収容する第2収容体の内部にも乾燥ガスが供給される。そのため、搬送対象が載置部によって冷却されているとき、冷却されている搬送対象が、乾燥ガスの供給された空間に保持され、搬送対象が、第2収容体の外側の気体に触れにくくなる。それゆえに、搬送対象は、冷却時と搬送時との両方において乾燥ガスの供給された空間に保持されるため、搬送対象の表面での結露がより生じにくくなる。
本発明におけるハンドラーの他の態様は、前記第1収容体と前記第2収容体とが接続可能である。
本発明におけるハンドラーの他の態様は、前記第2乾燥ガス供給部が、前記載置部の前記流路から排出された前記冷媒を加熱可能な乾燥ガス加熱部を有する。
本発明におけるハンドラーの他の態様によれば、第2乾燥ガス供給部が冷媒を加熱可能な乾燥ガス加熱部を有しているため、この乾燥ガス加熱部にて加熱された冷媒が第2収容体に供給される。これにより、第2収容体内に供給されたガスの温度が露点以下となることがより抑えられるため、第2収容体内の搬送対象の表面にて結露が生じにくくなる。また、第2収容体の外表面を構成する部材の温度が、第2収容体の外部雰囲気における露点以下になることが抑えられやすくなり、第2収容体の外表面を構成する部材での結露も生じにくくなる。
本発明におけるハンドラーの他の態様によれば、第1収容体と第2収容体とが、保持部、及び保持部に保持された搬送対象を通過可能な開口部を有している。そのため、載置部に載置された搬送対象が第1収容体内に収容されるときには、第2収容体に形成された開口部と、第1収容体に形成された開口部とを介して搬送対象が搬送されることになる。そ
れゆえに、第1収容体や第2収容体そのものが開閉することで、載置部から第1収容体への搬送を行う構成と比べて、第1収容体及び第2収容体の構成をより簡易なものとすることができる。加えて、搬送対象が、第1収容体及び第2収容体の外側の気体と接触することがより抑えられ、ひいては、搬送対象の表面に結露がより生じにくくなる。
すくなり、ひいては、第1収容体内は、搬送対象の表面に結露を生じさせない環境に保たれやすくなる。
本発明におけるハンドラーの他の態様において、前記センサーは前記気体の湿度及び温度の少なくとも1つを検出可能である。
Claims (9)
- 搬送対象が載置され、当該搬送対象を冷却する載置部と、
前記載置部に載置される搬送対象を前記載置部から搬送する搬送ロボットと、
前記搬送対象を検査するテスターとを有し、
前記搬送ロボットが、
前記載置部に載置される搬送対象を保持する保持部と、
前記載置部から前記保持部を遠ざけるアームと、
前記載置部から遠ざけられた状態で前記保持部が前記搬送対象とともに収容される収容体と、
乾燥しているガスを前記収容体内に供給する乾燥ガス供給部とを備える
部品検査装置。 - 前記収容体を第1収容体とし、
前記載置部を収容する収容体である第2収容体を備え、
前記第1収容体と前記第2収容体とを接続させる
請求項1に記載の部品検査装置。 - 搬送対象が載置され、当該搬送対象を冷却する載置部と、
前記載置部に載置される搬送対象を前記載置部から搬送する搬送ロボットとを有し、
前記搬送ロボットが、
前記載置部に載置される搬送対象を保持する保持部と、
前記載置部から前記保持部を遠ざけるアームと、
前記載置部から遠ざけられた状態で前記保持部が搬送対象とともに収容される収容体と、
乾燥しているガスを前記収容体内に供給する乾燥ガス供給部とを備える
ハンドラー。 - 前記収容体を第1収容体とし、
前記乾燥ガス供給部を第1乾燥ガス供給部とし、
前記載置部を収容する収容体である第2収容体と、
乾燥しているガスを前記第2収容体内に供給する第2乾燥ガス供給部とを有する
請求項3に記載のハンドラー。 - 前記載置部が、冷媒の流れる流路を有し、
前記第2乾燥ガス供給部が、前記載置部の前記流路から排出された前記冷媒を前記乾燥しているガスとして前記第2収容体に供給する
請求項4に記載のハンドラー。 - 前記第2乾燥ガス供給部は、
前記載置部の前記流路から排出された前記冷媒を加熱する乾燥ガス加熱部を有する
請求項5に記載のハンドラー。 - 前記第1収容体及び前記第2収容体は、
前記保持部と、前記保持部に保持された搬送対象とを通過させる開口部を有する
請求項4〜6のいずれか一項に記載のハンドラー。 - 前記第1収容体の開口部を第1開口部とし、
前記第2収容体の開口部を第2開口部とし、
前記第1収容体は、前記第1開口部を覆う第1蓋部を有し、
前記第2収容体は、前記第2開口部を覆う第2蓋部を有し、
前記第1蓋部は、前記第1開口部を前記保持部が通過するときに開放され、
前記第2蓋部は、前記第2開口部を前記保持部が通過するときに開放される
請求項7に記載のハンドラー。 - 前記収容体を第1収容体とし、
前記乾燥ガス供給部を第1乾燥ガス供給部とし、
前記第1収容体内の気体の性状を検出するセンサーを有し、
前記センサーの検出結果に基づいて、前記第1乾燥ガス供給部から前記第1収容体に供給される前記乾燥しているガスの流量が変えられる
請求項3〜8のいずれか一項に記載のハンドラー。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016009145A JP6120031B2 (ja) | 2016-01-20 | 2016-01-20 | 部品検査装置、及び、ハンドラー |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016009145A JP6120031B2 (ja) | 2016-01-20 | 2016-01-20 | 部品検査装置、及び、ハンドラー |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012029764A Division JP5874427B2 (ja) | 2012-02-14 | 2012-02-14 | 部品検査装置、及び、ハンドラー |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016065884A true JP2016065884A (ja) | 2016-04-28 |
JP6120031B2 JP6120031B2 (ja) | 2017-04-26 |
Family
ID=55805377
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016009145A Expired - Fee Related JP6120031B2 (ja) | 2016-01-20 | 2016-01-20 | 部品検査装置、及び、ハンドラー |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6120031B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6877480B2 (ja) | 2019-04-09 | 2021-05-26 | 株式会社荏原製作所 | 搬送装置、ワーク処理装置、搬送装置の制御方法、プログラムを記憶する記録媒体 |
US11833662B2 (en) | 2020-02-27 | 2023-12-05 | Lam Research Corporation | Wafer handling robot with radial gas curtain and/or interior volume control |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002231781A (ja) * | 2001-01-31 | 2002-08-16 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置及び基板処理装置における基板搬送方法 |
JP2004347329A (ja) * | 2003-05-20 | 2004-12-09 | Yac Co Ltd | ハンドラの低温条件試験装置及びその方法 |
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2016
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Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002231781A (ja) * | 2001-01-31 | 2002-08-16 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置及び基板処理装置における基板搬送方法 |
JP2004347329A (ja) * | 2003-05-20 | 2004-12-09 | Yac Co Ltd | ハンドラの低温条件試験装置及びその方法 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP6120031B2 (ja) | 2017-04-26 |
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