JP7234271B2 - 保管設備及び保管システム - Google Patents
保管設備及び保管システム Download PDFInfo
- Publication number
- JP7234271B2 JP7234271B2 JP2021013063A JP2021013063A JP7234271B2 JP 7234271 B2 JP7234271 B2 JP 7234271B2 JP 2021013063 A JP2021013063 A JP 2021013063A JP 2021013063 A JP2021013063 A JP 2021013063A JP 7234271 B2 JP7234271 B2 JP 7234271B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- storage facility
- processing device
- temperature
- carrier
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
- B65G1/02—Storage devices
- B65G1/04—Storage devices mechanical
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
- B65G47/74—Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
- B65G47/90—Devices for picking-up and depositing articles or materials
- B65G47/902—Devices for picking-up and depositing articles or materials provided with drive systems incorporating rotary and rectilinear movements
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G60/00—Simultaneously or alternatively stacking and de-stacking of articles
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G61/00—Use of pick-up or transfer devices or of manipulators for stacking or de-stacking articles not otherwise provided for
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25D—REFRIGERATORS; COLD ROOMS; ICE-BOXES; COOLING OR FREEZING APPARATUS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F25D13/00—Stationary devices, e.g. cold-rooms
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
- B65G2201/02—Articles
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Devices That Are Associated With Refrigeration Equipment (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
100 保管設備
A 本体部
A1 筐体
A2 カバー
A3 センサー
A4 出入り口
A5 荷台
A6 出入りドア
A7 荷台センサー
A71 センシング情報
B 処理装置
C 搬送装置
C1 伸縮手段
C2 回転手段
C3 保持部品
C31 保持本体部
C32 可動式挟持部材
C321 係合部
C4 リフト手段
D 第1のチェンバー
E 第2のチェンバー
F 温度バリアボード
G 環境調整装置
H 第1のベース
H1 位置決め構造
H2 排水溝
H3 排水通路
H4 表面
L 第2のベース
M 支持構造
N 環状可動壁
N1 開け口
P 可動壁回転手段
Q 可動扉部
R 扉開閉部品
W 送気装置
X エア抽出装置
Y 読み取り装置
200 担持枠
201 天板
202 底板
2031 横側板
20311 貫通孔
2032 後側板
20321 貫通孔
204 収容室
205 補助構造
206 当接構造
207 収容槽
300 処理設備
400 搬送設備
2 オブジェクト
3 要求情報
4 取出し情報
Claims (12)
- 出入り口を含む本体部と、処理装置と、伸縮手段と、回転手段及び保持部品を含む搬送装置と、温度バリアボードと、少なくとも1つの環境調整装置とを備え、オブジェクトを載置するための複数の担持枠が保存し得る保管設備であって、
前記伸縮手段と前記回転手段が互いに連接され、前記保持部品と前記伸縮手段が互いに連接され、前記保持部品は、前記担持枠を保持するために用いられ、前記搬送装置が前記処理装置に電気的に接続され、前記処理装置は、前記保持部品を前記回転手段に対して前後方向に移動させるように、前記伸縮手段を制御し、前記処理装置は、前記伸縮手段及び前記保持部品を回転させるように、前記回転手段を制御し、
少なくとも1つの第1のチェンバーは、前記搬送装置の周りに周設され、前記第1のチェンバーは複数の前記担持枠を収容するために用いられ、
少なくとも1つの第2のチェンバーは、前記搬送装置の周りに周設され、かつ、前記第2のチェンバーは、前記第1のチェンバーの上方に位置し、前記第2のチェンバーは、複数の前記担持枠を収容するために用いられ、
前記温度バリアボードは、前記第1のチェンバー及び前記第2のチェンバーの間に配置され、前記温度バリアボードは、前記第1のチェンバーの内部の熱量と前記第2のチェンバーの内部の熱量との伝導を遮断するために用いられ、
前記少なくとも1つの環境調整装置は、前記処理装置に電気的に接続され、前記処理装置は、前記第1のチェンバーの温度が第1の温度を下回って、前記第2のチェンバーの温度が第2の温度を下回るように、前記環境調整装置を制御し、前記第2の温度が30度よりも低く、前記第1の温度が負の10度よりも高く、前記第1の温度が前記第2の温度よりも低く、
前記処理装置は、前記保持部品が前記出入り口に位置する前記担持枠を、前記第1のチェンバーまたは前記第2のチェンバーに収容されるために搬送するように、前記搬送装置を制御し、かつ、前記処理装置は、前記保持部品が前記第1のチェンバー内または前記第2のチェンバー内に収容された前記担持枠を前記出入り口に搬送するように、前記搬送装置を制御し、
前記保管設備は、可動壁回転手段、環状可動壁及び可動扉部をさらに含み、前記環状可動壁と前記可動壁回転手段は互いに連接され、前記環状可動壁に開け口が設けられ、前記可動扉部は移動可能に前記環状可動壁に配置され、前記可動扉部は、前記開け口を遮蔽または遮蔽しないように操作され、前記可動壁回転手段は、前記環状可動壁を前記第1のチェンバーに対して回転させることが可能であり、前記開け口が前記可動扉部で遮蔽されない時、前記保持部品は、前記開け口を介して、前記第1のチェンバーに位置した前記担持枠を保持する、
ことを特徴とする保管設備。 - 前記保管設備は、少なくとも1つの第1のベースをさらに含み、前記第1のベースが環状に形成されるように前記第1のチェンバーに位置し、複数の前記担持枠を載置するために用いられ、前記第1のベースには、複数の排水溝及び排水通路が設けられ、複数の前記排水溝の一方端と前記排水通路と連通され、各前記排水溝における液体が前記排水通路に導かれて、前記排水通路における液体が外部へ導かれて排出される、請求項1に記載の保管設備。
- 前記可動扉部は、アーチ型プレートボディに構成され、前記保管設備は扉開閉部品をさらに含み、前記扉開閉部品と前記回転手段とが連接され、前記扉開閉部品及び前記伸縮手段は共に前記回転手段に従って前記第1のチェンバーに対して回転し得、前記扉開閉部品は、開け口が露出または露出されないように、前記可動扉部を開閉する、請求項1に記載の保管設備。
- 前記保管設備は送気装置を含み、前記送気装置が前記処理装置に電気的に接続され、前記送気装置は、前記処理装置の制御によって、前記第1のチェンバーにガスを送気し、前記保管設備は、2つの前記環境調整装置を含み、前記2つの前記環境調整装置のそれぞれは、第1の環境調整装置及び第2の環境調整装置と定義され、前記第1の環境調整装置は、前記第1のチェンバーの温度及び湿度を制御し、前記第2の環境調整装置は、前記第2のチェンバーの温度及び湿度を制御するために利用される、請求項1に記載の保管設備。
- 前記保管設備はエア抽出装置をさらに含み、前記エア抽出装置が前記送気装置に接続され、前記エア抽出装置は、前記保管設備の外の空気を吸い込むために用いられ、前記送気装置は、前記エア抽出装置が吸い込んだ空気を前記第1のチェンバーに送気する、請求項4に記載の保管設備。
- 前記保管設備は、少なくとも1つの第1のベースをさらに含み、前記第1のベースが環状に形成されるように前記第1のチェンバーに位置し、複数の前記担持枠を載置するために用いられ、前記第1のベースは複数の位置決め構造を含み、複数の前記位置決め構造は、前記第1のチェンバーに配置された複数の前記担持枠が前記第1のベースに対する移動範囲を規制するために用いられ、前記保管設備はさらに複数のセンサーを含み、各前記センサーが前記処理装置に電気的に接続され、複数の前記センサーが前記第1のベースに配置され、各前記センサーは、前記第1のチェンバー内に位置する各前記担持枠は前記第1のベースに正確に配置されるかどうかを検知するように用いられる、請求項1に記載の保管設備。
- 前記保管設備にはさらに、認識ユニットが生成した認識情報を読み取るための読み取り装置が含まれ、前記認識ユニットは、前記オブジェクトまたは前記担持枠に配置され、前記処理装置が前記読み取り装置に電気的に接続され、前記処理装置は、前記認識情報に基づいて前記搬送装置が前記出入り口に位置した前記担持枠を前記第1のチェンバーまたは前記第2のチェンバーに搬送するように、前記搬送装置を制御し、前記処理装置は、前記認識情報に基づいて、前記搬送装置が前記第1のチェンバーに位置された前記担持枠の中の1つ、または前記第2のチェンバーに位置された前記担持枠の中の1つを、前記出入り口に搬送するように、前記搬送装置を制御する、請求項1に記載の保管設備。
- 前記保管設備は出入りドア及び荷台をさらに含み、前記出入りドアは、制御に応じて、前記第2のチェンバーを外部と連通させるまたは連通させないように開閉し得、前記荷台が前記第2のチェンバーの外に位置し、かつ、前記荷台は、前記担持枠を載置するために用いられ、前記読み取り装置は前記荷台に近く配置され、前記読み取り装置は、前記荷台に配置された前記担持枠に付けられた前記認識ユニットを読み取るために用いられる、請求項7に記載の保管設備。
- 前記保管設備は、出入りドア、荷台及び少なくとも1つの荷台センサーをさらに含み、前記出入りドアは制御に応じて、前記第2のチェンバーを外部と連通させるまたは連通させないように開閉し得、前記荷台が前記第2のチェンバーの外に位置し、かつ、前記荷台は前記担持枠を載置するために用いられ、前記荷台センサーは、前記荷台に、前記担持枠が配置されたかどうかについて検知し、その結果に基づいてセンシング情報を生成し、前記処理装置は、前記センシング情報に基づいて、前記搬送装置及び前記出入りドアを制御する、請求項1に記載の保管設備。
- 前記処理装置は解凍工程を行い、前記処理装置が前記解凍工程を行う時、前記処理装置は前記搬送装置を制御することによって、前記出入り口に位置した前記担持枠及び前記担持枠に載置された前記オブジェクトを、まず前記第1のチェンバーに搬送して、前記第1のチェンバーに所定時間まで置き、前記所定時間が経つと前記搬送装置が前記担持枠及び前記担持枠に載置された前記オブジェクトを前記第1のチェンバーから前記第2のチェンバーに収容するために搬送する、請求項1に記載の保管設備。
- 前記保管設備は複数の前記担持枠を含み、前記担持枠のそれぞれに、天板、底板及び複数の側板が設けられ、前記天板、前記底板及び複数の前記側板が一緒に収容室を形成し、前記収容室は、前記オブジェクトを収容するために用いられ、少なくとも1つの前記側板に少なくとも1つの貫通孔が配置され、前記貫通孔が前記側板を貫通し、前記収容室は、前記貫通孔を介して外部と連通し得、前記側板の一方に少なくとも1つの補助構造及び少なくとも1つの当接構造が配置され、前記保持部品は、2つの可動式挟持部材が含まれ、2つの前記可動式挟持部材は協働して前記補助構造を挟持し得、各前記可動式挟持部材が係合部を有し、前記保持部品に含まれる2つの前記係合部は、前記当接構造と互いに係合し、前記担持枠を前記保持部品に吊設するために用いられる、請求項1に記載の保管設備。
- 保管設備、搬送設備及び処理設備を含む保管システムであって、
前記保管設備は、担持枠を載置するための荷台と出入り口とを含む本体部と、処理装置と、伸縮手段と、回転手段及び保持部品を含む搬送装置と、温度バリアボードと、少なくとも1つの環境調整装置とを備え、前記保管設備は、オブジェクトを載置するための複数の前記担持枠が保存し得、
前記伸縮手段と前記回転手段が互いに連接され、前記保持部品と前記伸縮手段が互いに連接され、前記保持部品は、前記担持枠を保持するために用いられ、前記搬送装置が前記処理装置に電気的に接続され、前記処理装置は、前記保持部品を前記回転手段に対して前後方向に移動させるように、前記伸縮手段を制御し、前記処理装置は、前記伸縮手段及び前記保持部品を回転させるように、前記回転手段を制御し、
少なくとも1つの第1のチェンバーは、前記搬送装置の周りに周設され、前記第1のチェンバーは複数の前記担持枠を収容するために用いられ、
少なくとも1つの第2のチェンバーは、前記搬送装置の周りに周設され、かつ、前記第2のチェンバーは、前記第1のチェンバーの上方に位置し、前記第2のチェンバーは、複数の前記担持枠を収容するために用いられ、
前記温度バリアボードは、前記第1のチェンバー及び前記第2のチェンバーの間に配置され、前記温度バリアボードは、前記第1のチェンバーの内部の熱量と前記第2のチェンバーの内部の熱量との伝導を遮断するために用いられ、
前記少なくとも1つの環境調整装置は、前記処理装置に電気的に接続され、前記処理装置は、前記第1のチェンバーの温度が第1の温度を下回って、前記第2のチェンバーの温度が第2の温度を下回るように、前記環境調整装置を制御し、前記第2の温度が30度よりも低く、前記第1の温度が負の10度よりも高く、前記第1の温度が前記第2の温度よりも低く、
前記処理装置は、前記保持部品が、前記荷台に配置された前記担持枠を、前記出入り口を介して前記第1のチェンバーまたは前記第2のチェンバーに搬送するように、前記搬送装置を制御し、かつ、前記処理装置は、前記保持部品が、前記第1のチェンバー内または前記第2のチェンバー内に位置した前記担持枠を、前記出入り口を介して前記荷台に搬送するように、前記搬送装置を制御し、
前記搬送設備は、前記担持枠及び前記担持枠に担持された前記担持枠に担持された前記オブジェクトを、冷凍庫から前記保管設備の前記荷台に搬送するように機能され、
前記処理設備は、要求情報を受信し、前記要求情報に基づいて、前記搬送設備が、少なくとも1つの前記担持枠及び前記担持枠に担持された前記オブジェクトを、前記冷凍庫から取り出して前記荷台に搬送するように、前記搬送設備を制御し得、また、前記処理装置は、前記要求情報に基づいて、前記搬送装置が、前記荷台に置かれた前記担持枠及び前記担持枠に担持された前記オブジェクトを、前記第1のチェンバーに搬送するように前記搬送装置を制御し得、かつ、前記処理装置は前記要求情報に基づいて、前記担持枠及び前記担持枠に担持された前記オブジェクトが前記第1のチェンバーに収容されてから所定時間が経つと、前記担持枠及び前記担持枠に担持された前記オブジェクトを、前記第2のチェンバーに搬送し、
前記保管設備は、可動壁回転手段、環状可動壁及び可動扉部をさらに含み、前記環状可動壁と前記可動壁回転手段は互いに連接され、前記環状可動壁に開け口が設けられ、前記可動扉部は移動可能に前記環状可動壁に配置され、前記可動扉部は、前記開け口を遮蔽または遮蔽しないように操作され、前記可動壁回転手段は、前記環状可動壁を前記第1のチェンバーに対して回転させることが可能であり、前記開け口が前記可動扉部で遮蔽されない時、前記保持部品は、前記開け口を介して、前記第1のチェンバーに位置した前記担持枠を保持する、
ことを特徴とする保管システム。
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US202063031806P | 2020-05-29 | 2020-05-29 | |
US63/031,806 | 2020-05-29 | ||
TW109132368A TWI742861B (zh) | 2020-05-29 | 2020-09-18 | 倉儲設備及倉儲系統 |
TW109132368 | 2020-09-18 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021187677A JP2021187677A (ja) | 2021-12-13 |
JP7234271B2 true JP7234271B2 (ja) | 2023-03-07 |
Family
ID=77069740
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021013063A Active JP7234271B2 (ja) | 2020-05-29 | 2021-01-29 | 保管設備及び保管システム |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7234271B2 (ja) |
KR (1) | KR20210148844A (ja) |
CN (2) | CN113734673B (ja) |
SG (1) | SG10202102893UA (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113734673B (zh) * | 2020-05-29 | 2023-04-21 | 盟立自动化股份有限公司 | 仓储设备及仓储系统 |
CN114988097B (zh) * | 2022-06-28 | 2024-09-17 | 魅杰光电科技(上海)有限公司 | 物料运输设备及加工系统 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001315906A (ja) | 2000-05-12 | 2001-11-13 | Murata Mach Ltd | 解凍システム |
JP2004073763A (ja) | 2002-08-12 | 2004-03-11 | Sendak Corp | ショーケース用棚段照明装置 |
JP6099394B2 (ja) | 2012-12-28 | 2017-03-22 | 三菱電機株式会社 | 除湿管理装置、除湿装置、除湿管理方法およびプログラム |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5233844A (en) * | 1991-08-15 | 1993-08-10 | Cryo-Cell International, Inc. | Storage apparatus, particularly with automatic insertion and retrieval |
EP2050132B1 (de) * | 2006-07-26 | 2021-03-10 | Tec-Sem AG | Vorrichtung zur lagerung von objekten aus dem bereich der fertigung von elektronischen bauteilen |
CN113734673B (zh) * | 2020-05-29 | 2023-04-21 | 盟立自动化股份有限公司 | 仓储设备及仓储系统 |
-
2020
- 2020-09-28 CN CN202011038555.7A patent/CN113734673B/zh active Active
- 2020-09-28 CN CN202022165875.0U patent/CN213863864U/zh not_active Withdrawn - After Issue
-
2021
- 2021-01-06 KR KR1020210001449A patent/KR20210148844A/ko active IP Right Grant
- 2021-01-29 JP JP2021013063A patent/JP7234271B2/ja active Active
- 2021-03-22 SG SG10202102893UA patent/SG10202102893UA/en unknown
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001315906A (ja) | 2000-05-12 | 2001-11-13 | Murata Mach Ltd | 解凍システム |
JP2004073763A (ja) | 2002-08-12 | 2004-03-11 | Sendak Corp | ショーケース用棚段照明装置 |
JP6099394B2 (ja) | 2012-12-28 | 2017-03-22 | 三菱電機株式会社 | 除湿管理装置、除湿装置、除湿管理方法およびプログラム |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN113734673B (zh) | 2023-04-21 |
SG10202102893UA (en) | 2021-12-30 |
CN213863864U (zh) | 2021-08-03 |
JP2021187677A (ja) | 2021-12-13 |
CN113734673A (zh) | 2021-12-03 |
KR20210148844A (ko) | 2021-12-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7234271B2 (ja) | 保管設備及び保管システム | |
US7591624B2 (en) | Reticle storage pod (RSP) transport system utilizing FOUP adapter plate | |
CN101151197B (zh) | 自动材料处理系统 | |
US11630392B2 (en) | Substrate processing apparatus | |
TWI484535B (zh) | Automatic Warehouse and Item Removal Method | |
KR101694646B1 (ko) | 기판 처리 장치, 기판 처리 장치의 운용 방법 및 기억 매체 | |
US20060067809A1 (en) | Article storage facility and system for the same | |
JP5612265B2 (ja) | 基板処理装置及び基板処理方法 | |
JP5987807B2 (ja) | 薬液容器交換装置、容器載置モジュール及び薬液容器の交換方法 | |
US20100241271A1 (en) | Wafer storing cabinet and storage control method thereof | |
US10000331B2 (en) | Bottle change apparatus, substrate treatment apparatus, bottle change method, bottle cap, bottle cap change apparatus and bottle cap change method | |
JP2024023874A (ja) | 基板処理装置及び基板収納容器保管方法 | |
JP5987808B2 (ja) | 基板処理装置 | |
TWI753999B (zh) | 搬運系統 | |
TWI527084B (zh) | Direction adjustment device and direction adjustment method | |
TWI742861B (zh) | 倉儲設備及倉儲系統 | |
JP2010013250A (ja) | 搬送システム及びコンピュータプログラム | |
JP2004303835A (ja) | 基板保管装置 | |
KR100650807B1 (ko) | 기판반송장치, 처리장치, 기판의 처리시스템, 반송방법, 수납장치 및 수용박스 | |
TWI763944B (zh) | 處理液供給系統、處理液供給裝置及載具保管裝置 | |
JP2004319889A (ja) | 製造対象物の受け渡し装置および製造対象物の受け渡し方法 | |
JP3903512B2 (ja) | ウェーハ・カセット収納装置 | |
JP2024053806A (ja) | 部品供給装置および基板生産システム | |
TWM588681U (zh) | 智能無人生物產品潔淨存取系統 | |
JPH09255270A (ja) | ガラス基板搬出方法、ガラス搬出装置および該装置を有するガラス基板供給装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210129 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220322 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220620 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220920 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20221220 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20230213 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230222 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7234271 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |