TW201435531A - 搬運系統 - Google Patents

Abstract

本發明提供可防止搬運台車誤進入的搬運系統。搬運系統(1)中，具備：跨複數個區域鋪設的軌道(R)；沿著軌道(R)行走的FOUP搬運車(10)；與FOUP搬運車(10)的寬度及高度的至少一方不同的光罩搬運車(20)；設置於FOUP搬運車(10)，配置在光罩搬運車(20)行走方向不重疊的位置，並檢測前方障礙物的光學感測器(15)；及複數個區域中朝著僅容許光罩搬運車(20)進入的特定區域的進入區域中，配置在容許光罩搬運車(20)進入特定區域的位置並藉設置於FOUP搬運車(10)的光學感測器(15)所檢測的位置的被檢測構件(30)。

Description

搬運系統

本發明是關於搬運系統。

以往的搬運系統，例如有專利文獻1所記載的已為人知。專利文獻1記載的搬運系統是根據搬運車的種類，在複數個區域中，設定搬運車可行走的區域作為行走區域，並控制使搬運車不進入於所設定之行走區域以外的區域。

[先前技術文獻]

[專利文獻]

[專利文獻1]日本特開2010-67028號公報

如上述習知的系統，複數種類的搬運台車在相同的軌道跨複數個區域行走的場合，會有搬運台車錯誤進入不容許進入的區域之虞。一旦進入到不許可搬運台車 進入區域的場合，設定其搬運台車的進入而未曾設計的區域中，會導致有搬運台車和裝置的干涉之虞。

本發明是為解決上述課題所研創而成，提供可防止搬運台車之誤進入的搬運系統為目的。

本發明的一側面有關的搬運系統，其特徵為，具備：跨複數個區域鋪設的軌道；沿著軌道行走的第1搬運台車；沿著軌道行走，並與第1搬運台車的寬度及高度的至少一方不同的第2搬運台車；設置於第1搬運台車及第2搬運台車之中的一方搬運台車，配置在與另一方搬運台車的行走方向不重疊的位置，並檢測前方障礙物的感測器；及複數個區域中朝著僅容許另一方搬運台車進入的特定區域的進入區域中，配置在容許另一方搬運台車進入特定區域的位置並藉設置於一方搬運台車的感測器所檢測的位置的被檢測構件。

該搬運系統中，其特徵為，具備：第1搬運台車，及與第1搬運台車的寬度及高度的至少一方不同的第2搬運台車。在第1搬運台車及第2搬運台車之中的一方搬運台車，設有檢測前方障礙物的感測器，該感測器是在複數個區域之中朝著僅容許另一方搬運台車進入之特定區域的進入區域中，被配置在另一方搬運台車容許進入特定區域的位置並藉著設置在一方搬運台車的感測器所檢測出的位置的被檢測構件。藉此，搬運系統中，不容許進入 特定區域的一方搬運台車，藉著感測器對被檢測構件的檢測，可辨識不容許進入的區域。因此，搬運系統可防止搬運台車的誤進入。

一實施形態中，軌道是鋪設在頂棚或頂棚附近的高架軌道，第1及第2搬運台車是從高架軌道垂吊而行走的懸吊式的台車，一方搬運台車的高度尺寸較另一方搬運台車大，感測器在一方搬運台車中，也可配置在從另一方搬運台車的下端部僅預定高度以下的範圍內。藉此，搬運系統在一方搬運台車不與另外搬運台車重疊的位置配置感測器，所以可將被檢測構件配置在不與其他搬運台車接觸的位置。又，具備懸吊式的台車(高架搬運車)的搬運系統在特定的區域中可防止設定在地面的裝置與一方搬運台車的接觸。

一實施形態中，也可具備設置在一方搬運台車，配置在與被檢測構件接觸的位置，並檢測與被檢測構件的接觸的接觸式感測器。藉此，搬運系統即使在萬一感測器不能檢測出被檢測構件的場合，仍可藉著接觸式感測器進行被檢測構件的檢測，可防止一方搬運台車的誤進入。因此，可獲得正確無故障的搬運系統。

一實施形態中，被檢測構件以被配置在朝著特定區域的進入區域而未進入的位置中藉設置在一方搬運台車的感測器所不能檢測的位置為佳。藉此，搬運系統可防止行走在特定的區域附近的一方搬運台車的感測檢測出被檢測構件。因此，搬運系統可防止誤動作。

根據本發明可防止搬運台車的誤進入。

1‧‧‧搬運系統

10‧‧‧FOUP搬運車(第1搬運台車、一方搬運台車)

15‧‧‧光學感測器

16‧‧‧接觸式感測器

20‧‧‧光罩搬運車(第2搬運台車、另一方搬運台車)

30‧‧‧被檢測構件

A1~A5‧‧‧區域

R‧‧‧軌道

第1圖是以模式表示一實施形態相關之搬運系統的圖。

第2圖是從前方顯示FOUP搬運車及光罩搬運車的圖。

第3圖表示FOUP搬運車的構成的圖。

第4圖是放大軌道的一部份表示的圖。

第5圖表示被檢測構件的前視圖。

第6圖表示被檢測構件與FOUP搬運車及光罩搬運車的關係的圖。

以下，參閱添附圖示，針對本發明較佳的實施形態詳細說明。並且，圖示的說明中對相同或相當元件賦予相同符號，並省略重複的說明。

第1圖是表示一實施形態相關之搬運系統的圖。第2圖是從前方顯示FOUP搬運車及光罩搬運車的圖。如第1圖表示，搬運系統1，具備：軌道(軌道、高架軌道)R；在軌道R行走的FOUP搬運車(第1搬運台車)10；及在軌道R行走的光罩搬運車(第2搬運台 車)20。搬運系統1中，複數種類的懸吊式搬運台車(FOUP搬運車10、光罩搬運車20)是在相同的軌道R上行走。

軌道R被鋪設在頂棚或頂棚附近。本實施形態中，軌道R具有主軌道R1，及從主軌道R1分支或合流的分支暨合流軌道R2~R6。主軌道R1是構成互聯區段(inter bay)，分支暨合流軌道R2~R6是構成內部區段(intra bay)。分支暨合流軌道R2~R6被分別鋪設在複數個(在此為5個)區域A1~A5。亦即，軌道R是跨複數個區域A1~A5鋪設。在各區域A1~A5，配置有未圖示的各種裝置或堆料機。搬運系統1是在各區域A1~A5的其中之一，限制FOUP搬運車10或光罩搬運車20的進入。

如第2圖表示，光罩搬運車20為搬運收容光罩的光罩傳送盒(ReticleSMIF Pod)的OHT(Overhead Hoist Transport：高架搬運車)。光罩搬運車20具有在軌道R行走的行走部22，及具備絞車、皮帶、夾具等的主體部24。光罩搬運車20構成為在搬運光罩傳送盒的同時，進入到光罩搬運車20進入許可的區域，並可在與具備各種處理裝置及堆料機的入庫埠之間移載光罩傳送盒。

FOUP搬運車10為搬運收容著晶圓的FOUP(Front-Opening Unified Pod)的OHT。FOUP搬運車10具有：在軌道R行走的行走部12，及具備絞車、皮帶、夾具等的主體部14。FOUP搬運車10構成在搬運FOUP的同時，並進入FOUP搬運車10進入許可的區域，可在具備各種的晶圓處理裝置及堆料機的入庫埠之間移載 FOUP。

如第2圖表示，FOUP搬運車10是比光罩搬運車20大。具體而言，FOUP搬運車10在主體部14較光罩搬運車20的高度尺寸大。FOUP搬運車10與光罩搬運車20的高度尺寸的差D是例如100mm左右。亦即，FOUP搬運車10在軌道R行走的行走方向中，具有與光罩搬運車20不重疊的區域。

第3圖表示FOUP搬運車10的構成的圖。如第3圖表示，FOUP搬運車10具備光學感測器15、接觸式感測器16及控制器17。光學感測器15為檢測FOUP搬運車10前方的障礙物。光學感測器15被配置在主體部14的下端部。具體而言，光學感測器15是被配置在與光罩搬運車20不重疊的區域，即與光罩搬運車20的高度尺寸的差D的範圍內(從光罩搬運車20的主體部24的下端部僅預定高度下方的範圍內)。光學感測器15的檢測區域是例如在距離5m高度寬度為100mm左右。光學感測器15一旦檢測出障礙物時，對控制器17輸出檢測資訊。

接觸式感測器16是檢測與障礙物的接觸。接觸式感測器16被配置在主體部14的下端部。具體而言，光學感測器15是被配置在與光罩搬運車20不重疊的區域，即與光罩搬運車20的高度尺寸的差D的範圍內。本實施形態是配置在光學感測器15的更上部，接觸式感測器16是沿著主體部14的寬度方向延伸，也具有緩衝器的功能。接觸式感測器16一旦檢測出與障礙物接觸時，對 控制器17輸出檢測資訊。

控制器17為控制FOUP搬運車10的動作的控制裝置。控制器17控制FOUP搬運車10的各部(行走部12與絞車等)。控制器17具備行走控制部18。行走控制部18是根據來自未圖示的搬運指令部的指令，控制FOUP搬運車10到指定位址為止的行走。行走控制部18接受來自光學感測器15或接觸式感測器16所輸出的檢測資訊時，對行走部12實施制動控制。即，FOUP搬運車10藉光學感測器15檢測出障礙物或藉接觸式感測器16檢測出與障礙物的接觸時，停止行走。

如上述，搬運系統1在各區域A1~A5的其中之一中，限制FOUP搬運車10或光罩搬運車20的進入。例如，區域A1中不容許FOUP搬運車10的進入(限制FOUP搬運車10的進入)。為此，搬運系統1是如第4圖表示，在從主軌道R1分支到區域A1的分支暨合流軌道R2的進入區域設置被檢測構件30。

第5圖是表示被檢測構件的前視圖。如第5圖表示，被檢測構件30是例如板構件。被檢測構件30是藉支撐構件32a、32b將其兩端部支撐在分支暨合流軌道R2上。具體而言，被檢測構件30是位在分支暨合流軌道R2的預定高度的下方，朝著與分支暨合流軌道R2的延伸方向交叉的方向延伸。被檢測構件30為FOUP搬運車10的光學感測器15及接觸式感測器16所檢測的障礙物。被檢測構件30被配置在FOUP搬運車10的光學感測器15 及接觸式感測器16的檢測範圍，並與光罩搬運車20不接觸的位置。

如第6圖表示，被檢測構件30許可光罩搬運車20的通過，另一方面與FOUP搬運車10接觸不許可FOUP搬運車10的通過。亦即，搬運系統1中，光罩搬運車20是因為被檢測構件30而容許進入區域A1，FOUP搬運車10是因為被檢測構件30而被限制進入區域A1。

被檢測構件30一旦從主軌道R1進入的FOUP搬運車10停止在分支暨合流軌道R2的進入區域時，FOUP搬運車10被配置在主軌道R1行走的後續的FOUP搬運車10或與光罩搬運車20不妨礙的位置。具體而言，被檢測構件30例如光學感測器15的檢測距離為5m的場合，FOUP搬運車10在被檢測構件30的跟前5m停止時，配置使FOUP搬運車10停止在主軌道R1行走的FOUP搬運車10及光罩搬運車20不重疊的位置。並將被檢測構件30配置在不進入於主軌道R1行走之FOUP搬運車10的光學感測器15的檢測區域的位置。

檢測被檢測構件30後停止的FOUP搬運車10例如藉著手動，返回到主軌道R1。又，搬運系統1中，發出光罩搬運車20進入於FOUP搬運車10停止的分支暨合流軌道的指令的場合，接收FOUP搬運車10停止的資訊，控制光罩搬運車20使FOUP搬運車10在主軌道R1行走至返回主軌道R1為止。

如以上說明，本實施形態的搬運系統1中， FOUP搬運車10在與光罩搬運車20行走方向不重疊的主體部14的下端部，設有檢測前方障礙物的光學感測器15。光學感測器15是在複數個區域A1~A5之中僅容許光罩搬運車20進入之特定區域的進入區域中，檢測配置在容許光罩搬運車20進入之特定區域位置的被檢測構件30。藉此，搬運系統1中，未被容許進入特定區域的FOUP搬運車10可藉著光學感測器15檢測被檢測構件30，辨識不容許進入的區域。因此，搬運系統1可防止搬運台車的誤進入。

因此，搬運系統1在特定的區域中可防止設置在地面的裝置與FOUP搬運車10的接觸。例如，在容許光罩搬運車20進入的特定區域中，由於未假設FOUP搬運車10的進入而設定，所以裝置的高度例如也是根據光罩搬運車20的行走高度所設定。因此，特定的區域中，FOUP搬運車10一旦進入時，會有與裝置接觸之虞。因此，藉高架搬運車進行搬運的本實施形態的構成作為搬運系統1的構成尤其有效。

本實施形態中，搬運系統1在FOUP搬運車10設置光學感測器15，並設置藉此光學感測器15所檢測的被檢測構件30，可藉此防止搬運台車的誤進入。因此，搬運系統1可以簡易的構成，實現搬運台車誤進入的防止。又，搬運系統1也可運用於既有的系統中。

又，本實施形態中，FOUP搬運車10具備安裝在與被檢測構件30接觸的位置的接觸式感測器16。藉 此，在搬運系統1中，萬一即使以光學感測器15不能檢測出被檢測構件30的場合，仍可藉接觸式感測器16進行被檢測構件30的檢測，防止FOUP搬運車10的誤進入。因此，可獲得正確無故障的搬運系統1。

本實施形態中，被檢測構件30是配置在從主軌道R1進入的FOUP搬運車10停止時，FOUP搬運車10不與在主軌道R1行走的後續FOUP搬運車10或光罩搬運車20造成妨礙的位置。藉此，搬運系統1中，即使FOUP搬運車10停止於特定區域的進入區域(分支暨合流軌道R2~R6)的場合，仍可繼續進行後續之FOUP搬運車10或光罩搬運車20的行走。

又，本實施形態中，被檢測構件30被配置在不進入於主軌道R1行走之FOUP搬運車10的光學感測器15的檢測區域的位置。藉此，搬運系統1可防止在主軌道R1行走的FOUP搬運車10的光學感測器15誤檢測出被檢測構件30而停止的誤動作。

本發明不僅限於上述實施形態。例如，上述實施形態雖以高架搬運車的FOUP搬運車10及光罩搬運車20為一例已作說明，但是搬運台車也可以是在地面行走的台車。

上述實施形態中，以FOUP搬運車10的高度尺寸大於光罩搬運車20之高度尺寸的形態為一例，並以在FOUP搬運車10的主體部14的下端部設置感測器的構成為一例已作說明，但也可在另一方搬運台車相對於一方 搬運台車的寬度較大的場合，將感測器設置在一寬度方向的一端部。

10‧‧‧FOUP搬運車(第1搬運台車、一方搬運台車)

14‧‧‧主體部

20‧‧‧光罩搬運車(第2搬運台車、另一方搬運台車)

24‧‧‧主體部

30‧‧‧被檢測構件

32a、32b‧‧‧支撐構件

R2‧‧‧軌道

Claims (5)

1. 一種搬運系統，其特徵為，具備：跨複數個區域鋪設的軌道；沿著上述軌道行走的第1搬運台車；沿著上述軌道行走，並與上述第1搬運台車的寬度及高度的至少一方不同的第2搬運台車；設置於上述第1搬運台車及上述第2搬運台車之中的一方搬運台車，配置在與另一方搬運台車的行走方向不重疊的位置，並檢測前方障礙物的感測器；及上述複數個區域中朝著僅容許上述另一方搬運台車進入的特定區域的進入區域中，配置在容許上述另一方搬運台車進入上述特定區域的位置並藉設置於上述一方搬運台車的上述感測器所檢測的位置的被檢測構件。
2. 如申請專利範圍第1項記載的搬運系統中，其中，上述軌道是鋪設在頂棚或頂棚附近的高架軌道，上述第1及上述第2搬運台車是從上述高架軌道垂吊而行走的懸吊式的台車，上述一方搬運台車比上述另一方搬運台車的高度尺寸大，上述感測器是在上述一方搬運台車中，配置於從上述另一方搬運台車的下端部僅預定高度以下的範圍內。
3. 如申請專利範圍第1項記載的搬運系統，其中，具備設置在上述一方搬運台車，配置在與上述被檢測構件接觸的位置，並檢測與上述被檢測構件的接觸的接觸式感測 器。
4. 如申請專利範圍第2項記載的搬運系統，其中，具備設置在上述一方搬運台車，配置在與上述被檢測構件接觸的位置，並檢測與上述被檢測構件的接觸的接觸式感測器。
5. 如申請專利範圍第1項至第4項中任一項記載的搬運系統，其中，上述被檢測構件是配置在朝上述特定區域之進入區域的未進入的位置中藉設置在上述一方搬運台車的上述感測器所不能檢測的位置。