JP2010067028A - 搬送制御装置及び搬送システム - Google Patents

Abstract

【課題】例えば半導体装置製造用の各種基板などの荷を搬送する搬送車に夫々備えられており、当該搬送車の種類に応じて当該搬送車を軌道上で如何に搬送させるかを決める搬送制御装置において、搬送効率の低下を抑制する。
【解決手段】搬送制御装置は、軌道（１）が敷設された全領域が区分けされた複数のエリアの内部の各々、及び該内部の相互間を夫々走行すると共に荷を搬送する搬送車に搭載される。搬送制御装置は、予め設定された複数の種類のうち当該搬送車が属する一の種類に応じて、複数のエリアのうち、当該搬送車が走行可能な一又は複数のエリアを走行エリアとして設定するエリア設定手段（５）と、複数のエリアのうち、設定された一又は複数の走行エリアから他の一又は複数のエリアの内部へ、当該搬送車が進入しないように当該搬送車を制御する制御手段（４）とを備える。
【選択図】図３

Description

本発明は、例えば半導体装置製造用の各種基板などの荷を搬送する搬送車に夫々備えられており、当該搬送車の種類に応じて当該搬送車を軌道上で如何に搬送させるかを決める搬送制御装置、及びこのような装置を備える搬送車を含んでなる搬送システムの技術分野に関する。

この種の搬送制御装置を備える搬送システムとして、例えば走行速度、加減速度等の異なる性能を持つ搬送車を複数備え、これら複数の搬送車が、同一の軌道上を、それぞれの持つ性能で駆動するものがある（特許文献１参照）。

特開２００５−３１８７３号公報

上述の特許文献１によれば、２種類の走行性能を持つ搬送車が混在して搬送を行うことにより、同一種類の走行性能を持つ搬送車のみ搬送する場合と比べて、平均搬送時間を短縮できるとしている。

しかしながら、本願発明者の研究したところによれば、複数の搬送車が連なって走行する場合であって、比較的高速で走行する搬送車は、前方に比較的低速で走行する搬送車が存在してしまうと、その低速で走行する搬送車を追い越すことができない。このため、高速走行可能な搬送車であっても、低速走行する搬送車と同等の速度で走行するしかなく、結果として、搬送時間が長期化し、搬送効率が著しく低下してしまいかねないという技術的問題点がある。

本発明は、上述した問題点に鑑みなされたものであり、例えば搬送効率の低下を抑制可能ならしめる搬送制御装置、及びこのような装置を備える搬送車を含んでなる搬送システムを提供することを課題とする。

本発明に係る搬送制御装置は上記課題を解決するために、軌道が敷設された全領域が区分けされた複数のエリアの内部の各々、及び該内部の相互間を夫々走行すると共に荷を搬送する搬送車に搭載される搬送制御装置であって、予め設定された複数の種類のうち当該搬送車が属する一の種類に応じて、前記複数のエリアのうち、当該搬送車が走行可能な一又は複数のエリアを走行エリアとして設定するエリア設定手段と、前記複数のエリアのうち、前記設定された一又は複数の走行エリアから他の一又は複数のエリアの内部へ、当該搬送車が進入しないように当該搬送車を制御する制御手段とを備える。

本発明の搬送制御装置によれば、例えば半導体装置製造の工場内において、例えばＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｕｎｉｆｉｅｄ Ｐｏｄ）等の荷は、例えばビークル等の搬送車によって、例えばレール等の軌道上を搬送される。本発明に係る「荷」とは、搬送された若しくは搬送される、製造物、中間製造物、部分、品、製品、部分的に完成した品物、品物など、又はそのような製造物等を収容するボックス、コンテナなどを意味し、被搬送物と呼んでもよい。ここで「軌道」は、例えば天井又は床等の全領域に敷設されており、その「全領域」は、例えば搬送システムにおける搬送を制御管理するための単位に対応する集合（例えば、「モジュール」と言われる）等を示すエリア別に区分けされている。尚、「エリア」の各々には、例えばＦＯＵＰ等の荷に対して、成膜処理、熱処理、エッチング処理等の各種処理を施す一又は複数の製造装置、該製造装置により各種処理が施された荷を一時的若しくは所定時間継続的に保管する一又は複数のストッカ等の作業装置などが配置されている。

上述した各エリアには、例えばＯＨＶＣ（Ｏｖｅｒｈｅａｄ Ｈｏｉｓｔ Ｖｅｈｉｃｌｅ Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ）が対応している。例えばＯＨＶＣによって、例えば半導体装置製造工程における搬送工程に従って、例えばＦＯＵＰの搬送が当該搬送車に指示される。

本発明では、例えばその搬送が開始される以前に、エリア設定手段によって、当該搬送車の種類に応じて、一又は複数の走行エリアが設定される。この後に、搬送が開始される。すると、その搬送中に、制御手段によって、当該搬送車が、設定された走行エリアから他の一又は複数のエリアへ進入しないように制御される。ここで、「種類」とは、例えば搬送車を、その仕様、能力、機能などの搬送車の属性に着目して分類可能な種別を意味する。具体的には、例えば空荷時及び積載時の走行速度、停止状態からの加速度、走行状態からの減速度等の仕様（又は、「スペック」とも言う）を含んでもよい。「複数の種類」は、例えば、高速走行可能な第１種類と、高速走行不可能な第２種類との２種類であってもよいし、例えば、高速走行可能な第１種類と、中速走行不可能な第２種類と、低速走行のみ可能な第３種類との３種類であってもよい。「走行エリア」について、例えば上述したＯＨＶＣによって、予め設定されていてもよい。この場合に、ＯＨＶＣによって、設定済みの走行エリアを示す識別情報が、当該搬送車へ送信される。すると、当該搬送車において、設定済みの走行エリアの識別情報が受信され、エリア設定手段によって、受信された識別情報が、メモリ等の記憶手段に記憶される。当該搬送車の制御における「他のエリアの内部へ進入しないように」とは、例えば、当該搬送車に搬送を割り当てる際に、当該搬送車に対して、搬送経路が他のエリアの内部に係る搬送を禁止してもいいし、他のエリアへ進入する直前で搬送車を停止させてもよい。尚、搬送の割り当てに関して、搬送経路の一部が他のエリアの内部に係っても、搬送元及び搬送先が該内部に係らなければ、他のエリアを迂回するような新規の搬送経路を設定した搬送を割り当ててもよい。

以上のように、当該搬送車の種類に応じて設定された走行エリアから他のエリアへ、当該搬送車を進入させないことにより、複数のエリアの各々で、例えば走行速度における種類が異なる複数の搬送車が混在することがなく、走行速度が同等である複数の搬送車が存在することになる。これにより、例えば搬送車が本来の走行速度で走行され、搬送効率の低下を抑制することが可能となる。

本発明に係る搬送制御装置の一態様では、前記エリア設定手段は、前記複数の走行エリアのうち、搬送を終えた当該搬送車を、新規の前記搬送が指示されるまで待機させる一又は複数のエリアを待機エリアとして設定し、前記制御手段は、前記設定された待機エリアの内部に、前記搬送を終えた搬送車が滞留する又は移動するように当該搬送車を制御する。

この態様によれば、エリア設定手段によって、走行エリアの設定に伴って、一又は複数の待機エリアが設定される。その設定により、一の搬送を終えた当該搬送車は、制御手段によって、設定された一又は複数の待機エリアの内部に滞留される又は移動される。ここで「待機エリア」について、例えば上述したＯＨＶＣによって、予め設定されていてもよい。この場合に、ＯＨＶＣによって、設定済みの待機エリアを示す識別情報が、当該搬送車へ送信され、当該搬送車において、エリア設定手段によって、ＯＨＶＣによる待機エリアの識別情報が記憶される。当該搬送車の制御における「待機するように」とは、例えば、当該搬送車が、いずれかの待機エリアの内部で停止又は巡廻してもいいし、隣り合う複数の停止エリアの内部を巡廻してもよい。「いずれかの内部」は、例えば終えたばかりの搬送の搬送先であってもいいし、新規の搬送の搬送元であってもよい。このように、新規の搬送に先立って、当該搬送車を所定の待機エリアの内部に待機させ、新規の搬送の準備を行う。これにより、当該搬送車の配車位置の片寄りを解消し、搬送時間を短縮することが可能となる。

本発明に係る第１搬送システムは上記課題を解決するために、上述した搬送制御装置を備える搬送車と、前記荷が搬送される経路を搬送経路として設定する経路設定手段と、前記複数のエリアのうち、前記設定された搬送経路に対応する一又は複数のエリアを、前記走行エリアとして少なくとも設定している前記搬送車に前記荷の搬送を割り当てる割り当て手段とを備える。

本発明の第１搬送システムによれば、例えば上述した搬送工程に対応する搬送スケジュールが生成される際に、例えばＯＨＶＣに備えられた経路設定手段によって、搬送スケジュールに組み込まれた複数の搬送の各々に対し、搬送経路が設定される。すると、例えばＯＨＶＣに備えられた割り当て手段によって、設定された搬送経路に対応する一又は複数のエリアを走行エリアとして少なくとも設定している搬送車に、該搬送経路を示す搬送が割り当てられる。ここで「搬送経路」は、例えば搬送元及び搬送先、並びにこれらを連絡する経路を示してもよい。このような搬送経路に対応する「エリア」とは、搬送元を含んでいる一のエリア、搬送先を含んでいる一のエリア、及びこれらを連絡する経路を含んでいる一又は複数のエリアを示してもよい。このように、搬送経路に対応するエリアを走行可能である搬送車に、該搬送経路を走行すべき搬送を割り当てることにより、複数のエリアの各々で、例えば走行速度が異なる複数の搬送車が混在することがなく、走行速度が同等である複数の搬送車が存在することになる。これにより、例えば搬送車が本来の高速度で走行され、搬送効率の低下を抑制することが可能となる。

本発明に係る第２搬送システムは上記課題を解決するために、軌道が敷設された全領域が区分けされた複数のエリアの内部の各々、及び該内部の相互間を夫々走行する一又は複数の搬送車により荷を搬送する搬送システムであって、予め設定された複数の種類のうち当該搬送車が属する一の種類に応じて、前記複数のエリアのうち、前記一又は複数の搬送車の各々が走行可能な一又は複数のエリアを走行エリアとして設定するエリア設定手段、及び前記設定された一又は複数の走行エリアから他の一又は複数のエリアの内部へ、前記一又は複数の搬送車が進入しないように前記一又は複数の搬送車を制御する制御手段を含む、前記一又は複数の搬送車の各々に搭載された搬送制御装置と、前記荷が搬送される経路を搬送経路として設定する経路設定手段と、前記複数のエリアのうち、前記設定された搬送経路に対応する一又は複数のエリアを、前記走行エリアとして少なくとも設定している前記一の搬送車に前記荷の搬送を割り当てる割り当て手段とを備える。

本発明の第２搬送システムによれば、例えば半導体装置製造の工場内において、例えばＦＯＵＰ等の荷は、例えばビークル等の搬送車によって、例えばレール等の軌道上を搬送される。

上述した複数のエリアには、例えばＯＨＶＣ、該ＯＨＶＣに備えられる経路設定手段、及び割り当て手段が、有線又は無線により接続されており、軌道上の複数の搬送車を総括的に制御する。例えばＯＨＶＣによって、例えば半導体装置製造工程における搬送工程に従って、ＦＯＵＰの搬送が複数の搬送車に指示される。

本発明では、例えばその搬送が開始される以前に、各搬送車において、エリア設定手段によって、各搬送車の種類に応じて、一又は複数の走行エリアが設定される。その設定と相前後して、例えば上述した搬送スケジュールが生成される際に、例えばＯＨＶＣに備えられた経路設定手段によって、搬送スケジュールに組み込まれた複数の搬送の各々に対し、搬送経路が設定される。すると、例えばＯＨＶＣに備えられた割り当て手段によって、設定された搬送経路に対応する一又は複数のエリアを走行エリアとして少なくとも設定している一又は複数の搬送車のうちのいずれかに、該搬送経路を示す搬送が割り当てられる。その後に、搬送が開始される。すると、その搬送中に、制御手段によって、各搬送車が、設定された走行エリアから他の一又は複数のエリアへ進入しないように制御される。ここで、一又は複数の搬送車の制御における「他のエリアの内部へ進入しないように」とは、例えば、他のエリアを走行不可能な搬送車に、他のエリアに係る搬送経路を示す搬送が誤って割り当てられた際に、該割り当てられた搬送を禁止してもいいし、他のエリアへ進入する直前で該搬送車を停止させてもよい。搬送経路に対応する一又は複数のエリアにおいて「少なくとも設定している」とは、例えば搬送車が５つのエリアを走行エリアとして設定している場合に、或る搬送のために設定された搬送経路に対応する全２つのエリアが、５つのエリアに少なくとも含まれていれば、当該搬送車が搬送の割り当ての対象となり得ることを意味してもよい。

このように、搬送経路に対応するエリアを走行可能である搬送車に、該搬送経路を走行すべき搬送を割り当てることにより、複数のエリアの各々で、例えば走行速度が異なる複数の搬送車が混在することがなく、走行速度が同等である複数の搬送車が存在することになる。これにより、例えば搬送車が本来の高速度で走行され、搬送効率の低下を抑制することが可能となる。

本発明に係る第２搬送システムの一態様では、前記エリア設定手段は、前記複数の走行エリアのうち、前記搬送を終えた前記一又は複数の搬送車を、新規の前記搬送が指示されるまで待機させる一又は複数のエリアを待機エリアとして設定し、前記制御手段は、前記設定された待機エリアの内部に、前記搬送を終えた一又は複数の搬送車が滞留する又は移動するように前記一又は複数の搬送車を制御する。

この態様によれば、例えば上述した搬送スケジュールが生成される際に、エリア設定手段によって、例えば搬送スケジュールに組み込まれた複数の搬送の各々（言い換えれば、複数の搬送の各々を割り当てられた複数の搬送車の各々）に、一又は複数の待機エリアが設定される。その後に、搬送スケジュールに従って、搬送が開始される。すると、一の搬送を終えた一の搬送車が、制御手段によって、設定された一又は複数の待機エリアの内部に滞留される又は移動される。このように、新規の搬送に先立って、各搬送車を所定の待機エリアの内部に待機させ、新規の搬送の準備を行う。これにより、複数の搬送車の配車位置の片寄りを解消し、搬送時間を短縮することが可能となる。尚、待機エリアは、例えば各搬送に設定されなくてもよく、各搬送車に固定のエリアとして設定されてもよい。

本発明に係る第２搬送システムの他の態様では、前記割り当て手段は、前記設定された搬送経路の長さを算出し、該算出された長さが所定の閾値より長い場合に、前記設定された搬送経路に対応する一又は複数のエリアを前記走行エリアとして少なくとも設定している前記一又は複数の搬送車のうち、相対的に高速走行可能で且つ前記設定された搬送経路の始点に最寄りの一の搬送車に前記搬送を割り当てる。

この態様によれば、例えば経路設定手段により搬送経路が設定された後に、割り当て手段によって、搬送経路の長さが算出される。すると、算出された長さに応じて、一の搬送が割り当てられる一の搬送車が特定される。具体的には、算出された搬送経路の長さが、所定の閾値より長い場合に、設定された搬送経路に対応する一又は複数のエリアを走行エリアとして少なくとも設定している一又は複数の搬送車のうち、相対的に高速度で走行可能であって、且つ搬送経路の始点に最も近い一の搬送車に対して、搬送が割り当てられる。一方、所定の閾値より短い場合に、設定された搬送経路に対応する一又は複数のエリアを走行エリアとして少なくとも設定している一又は複数の搬送車のうち、走行速度に関わらず搬送経路の始点に最も近い一の搬送車に対して、搬送が割り当てられる。ここで「所定の閾値」とは、一の搬送車に対して搬送を割り当てる際に、算出された搬送経路の長さが、どの種類の搬送車に適しているかを判定するための基準値を意味する。例えば、例えば高速度で搬送を行う搬送車を適用すべき搬送経路の長さであるか否かを判定するための閾値であってもよい。このような所定の閾値は、各種長さの搬送経路に対してどの種類の搬送車で搬送すれば、搬送効率が良くなるかを実験的、経験的、又はシミュレーション若しくは計算等によって、予め決めることで、設定すればよい。尚、搬送経路の長さが所定の閾値と同値であった場合には、どちらの割り当てを行っても構わない。このように、搬送距離に応じて、複数の搬送の各々を走行速度の異なる搬送車に割り当てる。これにより、複数の搬送を効率的に行い、搬送時間を短縮することが可能となる。

本発明の作用及び他の利得は次に説明する実施するための最良の形態から明らかにされる。

以下、本発明の実施形態について図を参照しつつ説明する。

先ず、本発明の実施形態に係る搬送システムの構成について説明する。ここに図１は、実施形態に係る搬送システムの機能を示し、図２は、図１の複数の搬送車に走行される複数のエリアの一例を示す。

図１において、本実施形態に係る搬送システム１００は、経路１、複数のビークル３、搬送コントローラ１０、及び製造指示部２０を備える。製造指示部２０は、搬送コントローラ１０と有線により接続されており、半導体装置製造工程に従って、不図示のＦＯＵＰの搬送（本実施形態では、ＦＯＵＰの移載を含む）を搬送コントローラ１０に指示する。

搬送コントローラ１０は、製造指示部２０からの指示に基づいて、搬送スケジュールを作成し、作成された搬送スケジュールに従って、各ビークル３を総括的に制御する。搬送コントローラ１０は、複数のビークル３と無線により接続されている。本実施形態では、搬送コントローラ１０は、経路設定部１１及び搬送割り当て部１２を備える。

経路設定部１１は、本発明に係る「経路設定手段」の一例として、各搬送車を走行させる軌道１を示す地図データに基づいて、搬送スケジュールに組み込まれた複数の搬送の作業（以下、単に「搬送」と言う）の各々について、搬送元及び搬送先間を連絡する搬送経路を設定する。

搬送割り当て部１２は、本発明に係る「割り当て手段」の一例として、経路設定部１１による搬送経路に対応する一又は複数のエリア（以下、「対応エリア」と言う）に応じて、その搬送経路を設定された搬送の割り当てを行う。具体的には、搬送割り当て部１２は、一又は複数の対応エリアを、後述する走行エリアとして設定している一のビークル３に対して、搬送の割り当てを行う第１割り当て処理を実行可能である。また、そのような第１割り当て処理に加えて、搬送経路の距離に応じて、的確に搬送の割り当てを行う第２割り当て処理を実行可能である。更に、そのような第１割り当て処理及び第２割り当て処理に併せて、後述する制御部４によって、搬送を終えた各ビークル３を、後述する待機エリアの内部に待機させる、待機位置制御処理を実行可能である。搬送割り当て部１２は、搬送が割り当てられたビークル３に、該当する搬送を指示する旨の信号を送る。

複数のビークル３の各々は、本発明に係る「搬送車」の一例として、ＦＯＵＰを積載すると共に、複数のエリアの内部の各々、及びそれら内部の相互間を走行する。各ビークル３は、搬送コントローラ１０により制御され、不図示の作業装置にＦＯＵＰを搬送する。各ビークル３は、制御部４及びエリア設定部５を備える。

エリア設定部５は、本発明に係る「エリア設定手段」の一例として、ビークル３本体に予め設定されている最高走行速度（本発明に係る「種類」の一例）に応じて、走行可能とする一又は複数の走行エリアを設定する。また、設定された一又は複数の走行エリアのうち、搬送を終えたビークル３本体を新規の搬送が指示されるまで待機させる一又は複数の待機エリアを設定する。エリア設定部５は、設定した走行エリア及び待機エリアを示す情報を、不図示のメモリに記憶する。また、第２割り当て処理で参照される、ビークル３本体の最高走行速度を、同メモリに記憶する。

制御部４は、本発明に係る「制御手段」の一例として、搬送割り当て部１２からの信号を受け、ビークル３本体の各部を制御して、ＦＯＵＰの搬送を実行させる。制御部４は、その搬送時に、エリア設定部５により記憶された走行エリアの情報を読み出し、読み出された走行エリアから他のエリアの内部へ、ビークル３が進入しないように制御する。また、その搬送が終了した時に、エリア設定部５により記憶された待機エリアの情報を読み出し、読み出された待機エリアの内部に、ビークル３本体が滞留する又は移動するように制御する待機位置制御処理を実行する。

図２において、軌道１が敷設された全領域は、２つのエリアに区分けされ、第１エリアＡ１及び第２エリアＡ２として設定されている。第１エリアＡ１又は第２エリアＡ２を走行している複数のビークル３の各々から引き出された引き出し線上には、各ビークル３が走行可能な走行エリア「Ａ１」、「Ａ２」又は「Ａ１，Ａ２」が示されている。

走行エリアが「Ａ１」であるビークル３には、最高走行速度として所定の第１速度が設定されている。このようなビークル３は、第１エリアＡ１の内部で搬送を行う。走行エリアが「Ａ２」であるビークル３には、最高走行速度として、第１高速度より低い所定の第２速度が設定されている。このようなビークル３は、第２エリアＡ２の内部で搬送を行う。走行エリアが「Ａ１，Ａ２」であるビークル３は、第１エリアＡ１の内部で最高走行速度を第１速度に切り替え、第２エリアＡ２の内部で最高走行速度を第２速度に切り替えて、第１エリアＡ１及び第２エリアＡ２の両エリアの内部で搬送を行う。
（実施形態の第１割り当て処理）

次に、本実施形態に係る搬送システムによる第１割り当て処理について、図３を参照して説明する。ここに図３は、実施形態に係る第１割り当て処理を示すフローチャートである。該第１割り当て処理は、搬送スケジュールに組み込まれた一の搬送を割り当てる手順を示す。

図３において、先ず搬送コントローラ１０において、経路設定部１１によって、一の搬送における搬送経路が設定される（ステップＳ４１）。すると、搬送割り当て部１２によって、設定された搬送経路に対応する対応エリアが、複数のエリアに跨るか否かが判定される（ステップＳ４２）。この判定の結果として、例えば搬送元及び搬送先が単一のエリアに設置されており、対応エリアが複数のエリアに跨らない場合に（ステップＳ４２：ＮＯ）、単一の対応エリアを走行エリアとして設定している任意のビークル３に、一の搬送が割り当てられる。

一方、ステップＳ４２の判定の結果として、例えば搬送元が第１エリアＡ１に設置され、搬送先が第２エリアＡ２に設置されており、対応エリアが２つのエリアに跨る場合に（ステップＳ４２：ＹＥＳ）、第１エリアＡ１及び第２エリアＡ２の２つの対応エリアを走行エリアとして設定している任意のビークル３に、一の搬送が割り当てられる。（ステップＳ４４）。これにより、一連の第１割り当て処理が終了される。

このように、本実施形態の第１割り当て処理によれば、搬送経路に対応する対応エリアを走行可能であるビークル３に、該搬送経路を走行すべき搬送を割り当てることにより、複数のエリアの各々で、最高走行速度が異なる複数の搬送車が混在することがなく、最高走行速度が同等である複数の搬送車が存在することになる。これにより、例えばビークル３が本来の最高走行速度で走行され、搬送効率の低下を抑制することが可能となる。
（実施形態の第２割り当て処理）

次に、本実施形態に係る搬送システムによる第２割り当て処理について、図４及び図５を参照して詳細に説明する。ここに図４は、図２の複数のエリアにおける搬送元及び搬送先の一例を示し、図５は、実施形態に係る第２割り当て処理を示すフローチャートである。

図４において、図２の複数のエリアと同様にして、軌道１が敷設された全領域は、第１エリアＡ１及び第２エリアＡ２として設定されている。これら第１エリアＡ１又は第２エリアＡ２の複数箇所から引き出された引き出し線上には、搬送元「Ｐ１」に対する搬送先「Ｐ２」、及び搬送元「Ｐ３」に対する搬送先「Ｐ４」が示されている。

搬送元「Ｐ１」及び搬送先「Ｐ２」間を連絡する第１搬送経路を走行すべき第１搬送は、単一の対応エリア、即ち、第１エリアＡ１で行われる。搬送元「Ｐ３」及び搬送先「Ｐ４」間を連絡する第２搬送経路を走行すべき第２搬送は、２つの対応エリア、即ち、第１エリアＡ１及び第２エリアＡ２を跨って行われる。

搬送割り当て部１２は、軌道１を示す地図データに基づいて、搬送経路の距離（以下、「搬送距離」と言う）を算出し、算出された搬送距離と、予め設定されている搬送距離閾値とを比較する。搬送割り当て部１２は、その比較の結果に応じて、搬送の割り当てを行う。

次に、本実施形態に係る搬送システムによる第２割り当て処理について、引き続き図４、及び図５を参照して具体的に説明する。該第２割り当て処理は、例えば上述した第１搬送及び第２搬送を割り当てる手順を示す。

図５において、先ず搬送コントローラ１０において、図３のステップ４１の処理と同様にして、経路設定部１１によって、第１搬送のための第１搬送経路、又は第２搬送のための第２搬送経路が設定される。その後に、搬送割り当て部１２によって、設定された第１搬送経路又は第２搬送経路の長さが搬送距離として算出される（ステップＳ５１）。すると、算出された２つの搬送距離の各々が所定の搬送距離閾値より長いか否かが判定される（ステップＳ５２）。この判定の結果として、第１搬送について、搬送距離が所定の搬送距離閾値より短い場合に（ステップＳ５２：ＮＯ）、対応エリアである第１エリアＡ１を走行エリアとして設定している複数のビークル３のうち、搬送元Ｐ１の最も近くに存在する一のビークル３に、第１搬送が割り当てられる（ステップＳ５３）。これにより、一連の第２割り当て処理が終了される。

一方、ステップＳ５２の判定の結果として、第２搬送について、搬送距離が所定の搬送距離閾値より長い場合に（ステップＳ５２：ＹＥＳ）、搬送割り当て部１２によって、対応エリアである第１エリアＡ１及び第２エリアＡ２を走行エリアとして設定している複数のビークル３のうち、最高走行速度として相対的に高速度である第１速度を設定している高速走行可能なビークル３が存在するか否かが判定される（ステップＳ５４）。この判定時に、軌道１上の複数のビークル３の各々に備えられたメモリから、ビークル３本体の情報（即ち、予め設定されている走行エリア、最高走行速度等）が読み取られる。この判定の結果として、高速走行可能なビークル３が存在しない場合に（ステップＳ５４：ＮＯ）、ステップＳ５３の処理が行われる。

一方、ステップＳ５４の判定の結果として、高速走行可能なビークル３が存在する場合に（ステップＳ５４：ＹＥＳ）、高速走行可能な一又は複数のビークル３のうち、搬送元Ｐ３の最も近くに存在する一のビークル３に、第２搬送が割り当てられる。これにより、一連の第２割り当て処理が終了される。

このように、本実施形態の第２割り当て処理によれば、搬送距離に応じて、複数の搬送の各々を最高走行速度の異なるビークル３に割り当てる。これにより、複数の搬送を効率的に行い、搬送時間を短縮することが可能となる。
（実施形態の待機位置制御処理）

次に、本実施形態に係る搬送システムによる待機位置制御処理について、図６及び図７を参照して詳細に説明する。ここに図６は、図２及び図４に示される複数のエリアにおいて待機エリアへ滞留する又は移動する複数の搬送車の一例を示し、図５は、実施形態に係る待機位置制御処理を示すフローチャートである。

図６において、図２及び図４の複数のエリアと同様にして、軌道１が敷設された全領域は、第１エリアＡ１及び第２エリアＡ２として設定されている。第１エリアＡ１又は第２エリアＡ２を走行している複数のビークル３の各々から引き出された引き出し線上には、各ビークル３が待機すべき待機エリア「Ａ１」又は「Ａ２」が示されている。

待機エリアが「Ａ１」であるビークル３ａ及び３ｄには、待機エリアとして第１エリアＡ１が設定されている。このようなビークル３ａ及び３ｄは、今回の搬送を終え、新規の搬送が指示されるまでの間、第１エリアＡ１の内部に待機する。待機エリアが「Ａ２」であるビークル３ｂ，３ｃには、待機エリアとして第２エリアＡ２が設定されている。このようなビークル３ｂ，３ｃは、今回の搬送を終え、新規の搬送が指示されるまでの間、第２エリアＡ２の内部に待機する。

制御部４は、今回の搬送を終えたビークル３本体を、予め設定されている待機エリアに滞留させる又は移動させる。制御部４は、その後に、搬送割り当て部１２からの信号を受けると、受けた信号に示される新規の搬送を実行させる。その搬送を実行する際に、ビークル３本体は、待機エリアの内部に既に存在している。

次に、本実施形態に係る搬送システムによる待機位置制御処理について、引き続き図６、及び図７を参照して具体的に説明する。該待機位置制御処理は、今回の搬送を終了したビークル３ａ〜３ｄの待機位置を制御する手順を示す。

図７において、ビークル３ａ〜３ｄの各々において、先ず制御部４によって、搬送先へＦＯＵＰが移載され、今回の搬送が終了される（ステップＳ６１）。すると、その時点のエリア（即ち、「現在のエリア」）が、設定されている待機エリアと異なるか否かが判定される（ステップＳ６２）。この判定の結果として、例えばビークル３ａ及び３ｃについて、現在のエリアが待機エリアと同一である場合に（ステップＳ６２：ＮＯ）、ビークル３ａ及び３ｃが、現在のエリア（即ち、待機エリア）Ａ１又はＡ２の内部に夫々滞留される（ステップＳ６３）。

一方、ステップＳ６２の判定の結果として、例えばビークル３ｂ及び３ｄについて、現在のエリアが待機エリアと異なる場合に（ステップＳ６２：ＹＥＳ）、ビークル３ｂ及び３ｄが、設定されている待機エリアＡ２又はＡ１の内部へ夫々移動される（ステップＳ６４）。これにより、一連の待機位置制御処理が終了される。この後に、搬送割り当て部１２よって、新規の搬送を示す信号がビークル３ａ〜３ｄへ夫々送信される。

このように、本実施形態の待機位置制御処理によれば、新規の搬送に先立って、各ビークル３を所定の待機エリアの内部に待機させ、新規の搬送の準備を行う。これにより、複数のビークル３の配車位置の片寄りを解消し、搬送時間を短縮することが可能となる。

本発明は、上述した実施形態に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨或いは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う搬送制御装置もまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。

実施形態に係る搬送システムの構成を示すブロック図である。 実施形態に係る複数のエリアの一例を示す説明図である。 実施形態の第１割り当て処理を示すフローチャートである。 実施形態に係る搬送の一例を示す説明図である。 実施形態の第２割り当て処理を示すフローチャートである。 実施形態に係る待機エリアへ移動する複数の搬送車の一例を示す説明図である。 実施形態の待機位置制御処理を示すフローチャートである。

符号の説明

３…ビークル、４…制御部、５…エリア設定部、１０…搬送コントローラ、１１…経路設定部、１２…搬送割り当て部、１００…搬送システム

Claims (6)

1. 軌道が敷設された全領域が区分けされた複数のエリアの内部の各々、及び該内部の相互間を夫々走行すると共に荷を搬送する搬送車に搭載される搬送制御装置であって、
   予め設定された複数の種類のうち当該搬送車が属する一の種類に応じて、前記複数のエリアのうち、当該搬送車が走行可能な一又は複数のエリアを走行エリアとして設定するエリア設定手段と、
   前記複数のエリアのうち、前記設定された一又は複数の走行エリアから他の一又は複数のエリアの内部へ、当該搬送車が進入しないように当該搬送車を制御する制御手段と
   を備えることを特徴とする搬送制御装置。
2. 前記エリア設定手段は、前記複数の走行エリアのうち、搬送を終えた当該搬送車を、新規の前記搬送が指示されるまで待機させる一又は複数のエリアを待機エリアとして設定し、
   前記制御手段は、前記設定された待機エリアの内部に、前記搬送を終えた搬送車が滞留する又は移動するように当該搬送車を制御する
   ことを特徴とする請求項１に記載の搬送制御装置。
3. 請求項１又は２に記載の搬送制御装置を備える搬送車と、
   前記荷が搬送される経路を搬送経路として設定する経路設定手段と、
   前記複数のエリアのうち、前記設定された搬送経路に対応する一又は複数のエリアを、前記走行エリアとして少なくとも設定している前記搬送車に前記荷の搬送を割り当てる割り当て手段と
   を備えることを特徴とする搬送システム。
4. 軌道が敷設された全領域が区分けされた複数のエリアの内部の各々、及び該内部の相互間を夫々走行する一又は複数の搬送車により荷を搬送する搬送システムであって、
   予め設定された複数の種類のうち当該搬送車が属する一の種類に応じて、前記複数のエリアのうち、前記一又は複数の搬送車の各々が走行可能な一又は複数のエリアを走行エリアとして設定するエリア設定手段、及び前記設定された一又は複数の走行エリアから他の一又は複数のエリアの内部へ、前記一又は複数の搬送車が進入しないように前記一又は複数の搬送車を制御する制御手段を含む、前記一又は複数の搬送車の各々に搭載された搬送制御装置と、
   前記荷が搬送される経路を搬送経路として設定する経路設定手段と、
   前記複数のエリアのうち、前記設定された搬送経路に対応する一又は複数のエリアを、前記走行エリアとして少なくとも設定している前記一の搬送車に前記荷の搬送を割り当てる割り当て手段と
   を備えることを特徴とする搬送システム。
5. 前記エリア設定手段は、前記複数の走行エリアのうち、前記搬送を終えた前記一又は複数の搬送車を、新規の前記搬送が指示されるまで待機させる一又は複数のエリアを待機エリアとして設定し、
   前記制御手段は、前記設定された待機エリアの内部に、前記搬送を終えた一又は複数の搬送車が滞留する又は移動するように前記一又は複数の搬送車を制御する
   ことを特徴とする請求項４に記載の搬送システム。
6. 前記割り当て手段は、前記設定された搬送経路の長さを算出し、該算出された長さが所定の閾値より長い場合に、前記設定された搬送経路に対応する一又は複数のエリアを前記走行エリアとして少なくとも設定している前記一又は複数の搬送車のうち、相対的に高速走行可能で且つ前記設定された搬送経路の始点に最寄りの一の搬送車に前記搬送を割り当てる
   ことを特徴とする請求項４又は５に記載の搬送システム。

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