JP2002175116A

JP2002175116A - 無人搬送車システム

Info

Publication number: JP2002175116A
Application number: JP2000370473A
Authority: JP
Inventors: Tadayuki Yasumoto; 格之安本
Original assignee: Murata Machinery Ltd
Current assignee: Murata Machinery Ltd
Priority date: 2000-12-05
Filing date: 2000-12-05
Publication date: 2002-06-21

Abstract

(57)【要約】【課題】従来、工程間搬送を行う無人搬送車には搬送
すべき物品が無人搬送車の台数と同じかそれ以上の場合
に、全ての無人搬送車に対して搬送指令が割り付けられ
ていたために、特急品が発生した場合に、それを搬送す
るには時間がかかっていたので、特急品を速やかに搬送
できるようにする。【解決手段】複数の搬送車と、該搬送車を管理すると
ともに搬送指令を作成する搬送車コントローラとを備え
た無人搬送車システムであって、特定の物品を割りつけ
るための搬送車が配置され、搬送作業中は少なくとも１
台搬送車を余らせるように、作成した搬送指令を搬送車
に割り付けることで、特定の物品を割り付けるための搬
送車を発生させるようにした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、複数台の無人搬送
車を軌道上を走行させて物品の搬送を行う無人搬送車シ
ステムに関し、特に、空の無人搬送車を常時発生させ
て、その搬送車により特定の物品（以下特急品）を搬送
できるようにする技術に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、クリーンルーム等では、多数の処
理装置が配置された処理工程が多数設けられ、処理工程
内や処理工程間を無人搬送車が走行するようにして、該
無人搬送車に処理ワークを多数収納したカセットを載置
して搬送することが行なわれている。

【０００３】このような無人搬送車システムでは、カセ
ットの搬送指令が作成されると、搬送可能な無人搬送車
が何台余るかに関わらず、搬送可能な無人搬送車に搬送
指令を割り付けるようにしていた。このため、搬送すべ
き物品が無人搬送車の台数と同じか、それ以上あった場
合には、全ての無人搬送車に搬送指令が割り付けられる
ことになっている。搬送指令を作成する際には、優先順
位の高いカセットから無人搬送車に搬送指令を割り付け
ることで、優先度の高いカセットの搬送が遅れないよう
にしている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、搬送指
令を全ての無人搬送車に割り付けた後に、特急のカセッ
トが発生すると、無人搬送車の搬送指令が完了するのを
待って、つまり、無人搬送車のどれかが空くのを待っ
て、その無人搬送車に、特急のカセットの搬送指令を割
り付けなければならなかった。このため、バッチ処理等
で、搬送すべきカセットが同時に大量に発生した場合等
に、搬送時間のかかる工程間搬送で特急のカセットの搬
送がなかなかできないおそれがあった。

【０００５】そこで、本発明は、特急品等が発生した場
合に、それを遅延無く搬送することのできる無人搬送車
システムを提供することが課題である。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明の解決しようとす
る課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するた
めの手段を説明する。即ち、請求項１においては、複数
の搬送車と、該搬送車を管理するとともに搬送指令を作
成する搬送車コントローラとを備えた無人搬送車システ
ムであって、特定の物品を割りつけるための搬送車が配
置されているようにした。

【０００７】また、請求項２においては、搬送車コント
ローラが、少なくとも１台搬送車を余らせるように、作
成した搬送指令を搬送車に割り付けることで、特定の物
品を割り付けるための搬送車を発生させるようにした。

【０００８】また、請求項３においては、搬送車コント
ローラが、特定の物品を搬送するのに妨げとなる搬送指
令を取り消すようにした。

【０００９】

【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態を添付
の図面を用いて説明する。図１は本発明の無人搬送車シ
ステムの構成を示す図、図２は本発明のシステム構成を
示す図、図３は搬送車コントローラのブロック図、図４
は特急品発生時の処理を示すフローチャート、図５は問
題となる搬送指令がある場合の処理を示すフローチャー
トである。

【００１０】図１において、本発明の実施例の全体構成
から説明すると、周回軌道１が半導体の工場等のクリー
ンルーム内に敷設され、軌道１に沿って複数の天井搬送
車Ｔ１〜Ｔ６が、同方向に周回走行するようになってお
り、該クリーンルームの任意位置に搬送車コントローラ
２が配置されている。天井搬送車Ｔ１〜Ｔ６は、移載装
置を搭載せずに、多数のワークが収納されたカセットを
高速搬送することができる無人搬送車である。

【００１１】前記軌道１に沿って複数の処理装置群が配
置され、その各処理装置群にはストッカーＳ１〜Ｓ６が
配置されている。ストッカーＳ１〜Ｓ６は、他の工程で
処理されたワークを自工程の処理装置で処理するため
に、天井走行車Ｔ１〜Ｔ６と後述する無人搬送車との間
の搬送時間を調整するためのバッファとなっている。

【００１２】ストッカーＳ１〜Ｓ６には、カセットを載
置する多数の棚と、カセットを入出庫するスタッカーク
レーンと、天井搬送車Ｔ１〜Ｔ６用のステーションＰ１
〜Ｐ６及び、他の搬送車用のステーションが設けられて
いる。この各ステーションＰ１〜Ｐ６には、ステーショ
ンＰ１〜Ｐ６と天井搬送車Ｔ１〜Ｔ６との間でカセット
を移載するための移載装置が設けられている。また、各
処理装置には、それぞれ一つないし複数個のステーショ
ンが設けられている。

【００１３】この処理装置のステーションと処理装置の
ステーションとの間、及び、処理装置のステーションと
ストッカーのステーションとの間は、移載装置を備えた
無軌道の無人搬送車Ｍ１・Ｍ２・・・によって、カセッ
トを直接移載するとともに、搬送するようになってい
る。

【００１４】処理装置の装置長が長い場合などには、移
載装置を備えるとともに、軌道を往復走行する有軌道の
無人搬送車Ｋ１〜Ｋ４が配置され、無軌道の無人搬送車
Ｍ１・Ｍ２・・・よりも高速で搬送するようになってい
る。

【００１５】この天井搬送車Ｔ１〜Ｔ６により行なわれ
るカセットの搬送を工程間搬送、無人搬送車Ｍ１〜Ｍ８
及び無人搬送車Ｋ１〜Ｋ４により行なわれるカセットの
搬送を工程内搬送とする。

【００１６】図２は制御システム構成を示しており、３
はホストコントローラ、４は搬送全体コントローラ、２
は天井搬送車コントローラ、５は無軌道の無人搬送車コ
ントローラ、６は有軌道の無人搬送車コントローラであ
る。ＴＣ１・ＴＣ２・ＴＣ３・・・は天井搬送車Ｔ１〜
Ｔ６の機上コントローラ、ＭＣ１・ＭＣ２・・・は無人
搬送車Ｍ１〜Ｍ８の機上コントローラ、ＫＣ１・ＫＣ２
・・・は無人搬送車Ｋ１〜Ｋ４の機上コントローラであ
る。

【００１７】各コントローラ２・５・６は、それぞれの
機上コントローラＴＣ１・ＴＣ２・ＴＣ３・・・、ＭＣ
１・ＭＣ２・・・、ＫＣ１・ＫＣ２・・・と、赤外線や
無線などにより搬送指令等を通信し、各搬送車Ｔ１〜Ｔ
６、Ｍ１〜Ｍ８、Ｋ１〜Ｋ４の搬送・移載を制御する。

【００１８】また、機上コントローラＭＣ１・ＭＣ２・
・・、ＫＣ１・ＫＣ２・・・は、それぞれの搬送車Ｍ１
〜Ｍ８、Ｋ１〜Ｋ４に搭載されている移載装置を制御す
ることができる。ホストコントローラ３は、半導体の生
産管理及び半導体搬送システム全体を管理している。

【００１９】搬送全体コントローラ４は、例えば天井搬
送車コントローラ２や無軌道の無人搬送車コントローラ
５や、有軌道の無人搬送車コントローラ６や、ストッカ
ーの移載装置やスタッカークレーンを制御するストッカ
ーコントローラ等とＬＡＮ等の回線を介して接続し、搬
送全体を制御している。

【００２０】このような制御システムにおいて、搬送車
コントローラ２・５・６は機上コントローラＴＣ１・Ｔ
Ｃ２・ＴＣ３・・・ＭＣ１・ＭＣ２・・・ＫＣ１・ＫＣ
２に対して上位のコントローラであり、搬送全体コント
ローラ４は搬送車コントローラ２・５・６に対して上位
のコントローラであり、ホストコントローラ３は搬送全
体コントローラ４に対して上位のコントローラとなる。

【００２１】次に、天井搬送車コントローラ２を実施例
とした制御構成を図３に示す。７は制御部本体でＣＰＵ
等からなり、図示しない上位コントローラと光通信等の
通信回線により接続されており、また、無線などの通信
回線により天井搬送車Ｔ１〜Ｔ６と通信できるようにし
ている。制御部としては、搬送指令作成部１０と、割付
管理部１２と、搬送指令作成に必要なデータ及び割付管
理に必要なデータ等を記憶したメモリ１５が設けられて
いる。

【００２２】搬送指令作成部１０は、上位のコントロー
ラからの搬送指令を、後述するメモリ１５のデータを基
に、天井搬送車Ｔ１〜Ｔ６用のフォーマットとして作成
する。搬送指令には、どのステーションから（ｆｒｏ
ｍ）どのステーションへ（ｔｏ）搬送するかという行き
先に関する情報（ｆｒｏｍ−ｔｏ情報）、どの搬送車に
割り付けられたかという搬送車に関する情報、どのカセ
ット（ＩＤ情報）を搬送するという情報等が含まれ、シ
ステムによっては、カセット内のワークの情報等も含ま
れる。

【００２３】割付管理部１２は、後述するメモリ１５の
データを基に、現在搬送指令が完了していない天井搬送
車の位置及びその搬送指令を管理し、特急のカセットな
ど優先順位の非常に高いカセットが発生した場合に、必
要に応じて搬送指令をキャンセルする。

【００２４】メモリ１５には、上位のコントローラから
の搬送指令や、各天井搬送車のステータス、各天井搬送
車の位置、搬送指令作成部１０で作成された搬送指令、
割付管理部１２でキャンセルされた搬送指令等が記憶さ
れる。これらの情報は逐次更新されている。

【００２５】上位のコントローラからの搬送指令は、基
本的に上位のコントローラから優先順位順に送信され、
かつ、各搬送指令に優先順位が付与されている。各天井
搬送車Ｔ１〜Ｔ６のステータスには、例えば、各天井搬
送車Ｔ１〜Ｔ６に搬送指令が割り付けられているか否
か、搬送指令が割り付けられているのならば、どの搬送
指令かが記憶される。

【００２６】次に、本発明における搬送指令の作成につ
いて述べる。生産管理情報からホストコントローラ３が
進捗状況に応じて、各カセットの搬送指令を作成する。
この搬送指令にはどのカセット（ＩＤ情報）を、どのス
トッカーのどのステーションから（ｆｒｏｍ）どのスト
ッカーのどのステーションへ（ｔｏ）搬送するかという
情報（ｆｒｏｍ−ｔｏ情報）及び優先順位に関する情報
が含まれている。この搬送指令を基に、搬送車全体コン
トローラ４を経由して、天井搬送車コントローラ２に優
先順位順に送信される。送信されてきた搬送指令は、メ
モリ１５に格納される。そして、基本的には送信された
順番で搬送指令が作成される。

【００２７】この搬送指令の作成は、搬送指令作成部１
０で行なわれる。図４を参照しながら説明すると、先ず
搬送指令作成部１０は、メモリ１５の上位コントローラ
の搬送指令を読み出す。この上位コントローラの搬送指
令の読み出しに関しては、最高位の優先順位の有無を検
索し（ｓ１）、最高位の優先順位がなければ、メモリ１
５に格納された時間順に行なわれる（ｓ２）。

【００２８】メモリ１５の上位のコントローラの搬送指
令のｆｒｏｍ−ｔｏ情報を基に、メモリ１５の各天井搬
送車Ｔ１〜Ｔ６の位置、及び、各天井搬送車Ｔ１〜Ｔ６
のステータスから割り付ける天井搬送車を選定し（ｓ
３）、その天井搬送車に対して、どのステーションから
どのステーションへ（ｆｒｏｍ−ｔｏ）、どのカセット
（ＩＤ）を搬送するという搬送指令を作成する（ｓ
４）。つまり、ｆｒｏｍに該当するステーションに最も
近い空の天井搬送車に対して搬送指令を作成する。

【００２９】搬送指令作成部１０での搬送指令の作成
は、天井搬送車Ｔ１〜Ｔ６の数より一つ少なく作成する
ようにする。こうすることで、必ず特急品の搬送可能な
天井搬送車を確保するようにする。搬送指令作成部１０
は、例えば搬送指令が完了するとメモリ１５にアクセス
し、新しい搬送指令を作成する。作成した搬送指令は、
一度メモリ１５に格納され（ｓ５）、所定のタイミング
で通信手段により目的の天井搬送車に送信され、割り付
けられる（ｓ６）。

【００３０】次に、特急品が発生した場合について説明
する。この特急品とは、例えば、試作品や特注品などで
あり、半導体の処理工程が数十工程あるために、工程間
及び工程内の搬送時間を少しでも早くすることが要求さ
れているものである。

【００３１】特急品の場合には、搬送車コントローラ２
には、上位のコントローラからの搬送指令に最高位の優
先順位が付与されて送信される。搬送指令作成部１０で
は、メモリ１５に格納されている上位コントローラの搬
送指令を読み出すが、最高位の優先順位のものがあるの
で、この搬送指令を読み出す（ｓ７）。そして、その搬
送指令のｆｒｏｍに相当するステーションの近くであっ
て、搬送可能な天井搬送車をメモリ１５の情報を基に検
索、選定し（ｓ３）、その天井搬送車に対して搬送指令
を作成（ｓ４）する。搬送指令を割り付けることが可能
な天井搬送車は、少なくとも１台あるために、必ず割り
付けることができる。

【００３２】その天井搬送車が、特急品を搬送するに当
たり、搬送の障害となる天井搬送車がある場合には、そ
れらの天井搬送車に割り付けられている搬送指令をキャ
ンセルし、特急品を搬送する搬送車を停止させることな
く走行させるようにする。具体的に、図１の天井搬送車
Ｔ１〜Ｔ６の配置を基に説明する。天井搬送車Ｔ２に
は、ステーションＰ２からステーションＰ５までの搬送
指令が、天井搬送車Ｔ３には、ステーションＰ４からス
テーションＰ５までの搬送指令が既に割り付けられてい
る。天井搬送車Ｔ１、Ｔ４、Ｔ６には、搬送指令が割り
付けられていない。天井搬送車Ｔ５は、現在移載中であ
る。この状態で、ステーションＰ３からステーションＰ
６までの特急品の搬送指令が、上位コントローラから送
信されたとする。

【００３３】搬送指令作成部１０は、搬送可能な天井搬
送車Ｔ１、Ｔ４、Ｔ６を検索し、そのうちでステーショ
ンＰ３に走行経路上で最も近い天井搬送車Ｔ１に対し
て、特急品の搬送指令を作成し、割り付ける。

【００３４】しかしながら、直前に位置している天井搬
送車Ｔ２がステーションＰ２で停止・移載する上に、天
井搬送車Ｔ２と天井搬送車Ｔ３の搬送先のステーション
Ｐ５で共に連続して停止・移載する。このため、搬送可
能な天井搬送車Ｔ１に特急品の搬送指令を割り付けて
も、天井搬送車Ｔ２・Ｔ３の移載が終わるのを待たなけ
ればならないため、実際の搬送時間が長くなってしま
う。

【００３５】そこで、本実施例では、割付管理部１２で
天井搬送車Ｔ１が特急品を搬送する際の障害になる搬送
指令を管理しておき、問題となる搬送指令があれば（ｓ
８）、現在の天井搬送車の位置から移載前と判断できる
天井搬送車Ｔ２、Ｔ３の搬送指令をキャンセルする（ｓ
１０）。このため、天井搬送車Ｔ１は、搬送の途中で停
止することなく特急品をスムーズに搬送することができ
る。特急品の搬送の妨げとなる搬送指令のキャンセル
は、特急品を搬送する天井搬送車Ｔ１の位置を基に適宜
行なわれる。

【００３６】キャンセルする搬送指令は、実際には割付
管理部１２が、キャンセルする前にメモリ１５に格納す
る（ｓ９）。そして、所定のタイミングで読み出して搬
送指令作成部１０に、例えば、割り付けた搬送台車のデ
ータを消去して送信し、搬送指令作成部１０が新たに割
り付ける搬送台車を選定し、搬送指令を作成する。この
割付管理部１２から搬送指令作成部１０に送信するタイ
ミングを管理することで、新たに作成した搬送指令が天
井搬送車Ｔ１の走行の妨げとなるのを防ぐことができ
る。

【００３７】つまり、天井搬送車Ｔ１の進行方向に対し
て前方に位置する天井搬送車が、一度割り付けられた搬
送指令のｆｒｏｍ情報に相当するステーションを通過し
た後（ｓ１１）で、メモリ１５からその搬送指令を読み
出し（ｓ１２）、その搬送指令を搬送指令作成部１０に
送信する（ｓ１３）。具体的には、天井搬送車Ｔ２がス
テーションＰ２を通過した後で、天井搬送車Ｔ２に以前
割り付けられていた搬送指令を搬送指令作成部１０に送
信し、天井搬送車Ｔ２、Ｔ３がステーションＰ３を通過
した後で、天井搬送車Ｔ３に以前割り付けられていた搬
送指令を搬送指令作成部１０に送信する。

【００３８】なお、本実施例では、特急品の妨げとなる
搬送指令のキャンセルは、特急品を搬送する天井搬送車
の位置に合わせて適宜行なわれるが、移載中の搬送指令
を除く全ての搬送指令をキャンセルするようにしても良
い。また、本実施例では、キャンセルした搬送指令を新
しく作成しているが、搬送指令変更部を設け、そこで、
搬送指令を変更するようにしても良い。

【００３９】また、本実施例では、キャンセルした搬送
指令は、他の天井搬送車に割り付け可能なように、割り
付けられた天井搬送車のデータを消去した上で、搬送指
令作成部に送信するようにしているが、天井搬送車がｆ
ｒｏｍに該当するステーションを通過後に同じ台車に再
割り付けするようにしても良い。また、搬送指令にその
周で停止するか否かを表すフラグなどのデータを設け、
データを書き換えることにより搬送指令のキャンセル・
再割り付けを行なうようにしても良い。また、実施例で
は、キャンセルした搬送指令は、その搬送指令のｆｒｏ
ｍ情報に該当するステーションを天井搬送車が通り過ぎ
た時点で、キャンセルした搬送指令に相当する新しい搬
送指令を作成するようにしているが、特急品の搬送が終
了した時点で作成するようにしても良い。

【００４０】また、実施例では、特急の搬送指令は、現
在搬送指令が割り付けられていないもので、かつ、搬送
指令のｆｒｏｍに該当するステーションに最も近い天井
搬送車に割り付けられるが、該当するステーションに最
も近い位置に搬送指令が割り付けられた天井搬送車があ
り、その天井搬送車が移載中でなければ、その天井搬送
車に割り付けられている搬送指令をキャンセルし、その
搬送指令を搬送可能な別の天井搬送車に割り付けて、代
わりに特急品の搬送指令を割り付けるようにしても良
い。また、実施例では、天井搬送車コントローラ２で搬
送指令を作成する際に、上位の搬送指令の送信順に搬送
指令を作成するようにしているが、上位のコントローラ
から送信された全ての搬送指令の内、優先順位の高いも
のから順に、搬送指令を作成するようにしても良い。そ
の際に、なかなか搬送指令が作成されないものは、天井
搬送車コントローラ２で優先順位を変更するようにして
も良い。

【００４１】また、実施例では、上位コントローラから
の搬送指令の数に対して、搬送指令作成部１０で作成す
る搬送指令の数を天井搬送車の数よりも少なくするよう
にしているが、上位コントローラから送信する搬送指令
の数を天井搬送車の数より少なくするようにしても良
い。また、実施例では天井搬送車に関して述べたが、天
井搬送車に限定するものではなく、有軌道又は無軌道の
無人搬送車に適応できるものとする。

【００４２】

【発明の効果】本発明は以上の如く構成したので、以下
の効果を奏するものである。即ち、請求項１の如く、複
数の搬送車と、該搬送車を管理するとともに搬送指令を
作成する搬送車コントローラとを備えた無人搬送車シス
テムであって、特定の物品を割りつけるための搬送車が
配置されているようにしたので、常に特定の物品の搬送
指令を割り付けることができるのである。このため、搬
送指令が割り付けられずに、特急品の搬送が遅れるとい
う事態を防ぐことができる。

【００４３】また、請求項２の如く、搬送車コントロー
ラが、少なくとも１台搬送車を余らせるように、作成し
た搬送指令を搬送車に割り付けることで、特定の物品を
割り付ける搬送車をつくることができる。このため、特
急品専用の搬送車を設けることなく特定の物品を搬送す
る搬送車を設けることができ、より効率的な搬送車シス
テムを構築することができる。

【００４４】また、請求項３の如く、搬送車コントロー
ラが、特定の物品を搬送するのに妨げとなる搬送指令を
取り消すようにしたので、特定の物品を搬送する搬送車
の通行を、他の搬送車が妨げることがなくなり、特急品
を速やかに搬送することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の無人搬送車システムの構成を示す図で
ある。

【図２】本発明のシステム構成を示す図である。

【図３】搬送車コントローラのブロック図である。

【図４】特急品発生時の処理を示すフローチャートであ
る。

【図５】問題となる搬送指令がある場合の処理を示すフ
ローチャートである。

【符号の説明】

１軌道２搬送車コントローラＰ１〜Ｐ６ステーションＴ１〜Ｔ６無人搬送車

【手続補正書】

【提出日】平成１３年１月１２日（２００１．１．１
２）

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】請求項２

【補正方法】変更

【補正内容】

【手続補正２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】請求項３

【補正方法】変更

【補正内容】

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】複数の搬送車と、該搬送車を管理すると
ともに搬送指令を作成する搬送車コントローラとを備え
た無人搬送車システムであって、特定の物品を割りつけ
るための搬送車が配置されている無人搬送車システム。
【請求項２】搬送車コントローラが、少なくとも１台
搬送車を余らせるように、作成した搬送指令を搬送車に
割り付けることで、特定の物品を割り付けるための搬送
車を発生させる無人搬送車システム。
【請求項３】搬送車コントローラが、特定の物品を搬
送するのに妨げとなる搬送指令を取り消す無人搬送車シ
ステム。