TW201433425A - 密閉構造及具備其之搬送機器人 - Google Patents

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Abstract

本發明之課題在於提供如下密閉構造，該密閉構造係使用了磁性流體密封件之旋轉運動部的密閉構造，即使於旋轉運動部發生變形例如支持軸之彎曲變形等，亦可獲得穩定之密封性能。密閉構造30使第1臂11與第2臂12之連結部20密閉，該第2臂12經由旋轉軸體23而連結於上述第1臂11，該密閉構造30具有利用磁性流體之磁密閉部50、與由伸縮管41構成之伸縮管密閉部40。對於該密閉構造30而言，使用磁密閉部50與伸縮管41，構成可旋轉地連結之兩個構件11、12的連結部20之密閉構造30，因此，一邊維持可旋轉之狀態，一邊由伸縮管41吸收連結部20的旋轉軸體23之彎曲變形，確保穩定之密閉狀態。

Description

密閉構造及具備其之搬送機器人
本發明係關於一種密閉構造，尤其係關於一種使搬送設備或搬送機器人等機械的驅動部分密閉之密閉構造。
對於搬送設備等機械而言，有時驅動部分中的灰塵等之產生會成為問題。尤其對於真空室等密閉容器或無塵室等中所使用之機械而言，有必要防止在機械的驅動部分產生之灰塵等物質飛散或流出。
例如，作為密閉容器內所使用之搬送裝置，已有如下搬送裝置，該搬送裝置使用作為接觸式密封構件之伸縮管，使可升降地設置之被搬送物支持件的驅動機構密閉(參照專利文獻1)。伸縮管係具有伸縮性之構件，且可用作對進行直線運動之構件相互之間進行密封之構件。
又，作為真空室內所使用之搬送機器人，已有如下搬送機器人，該搬送機器人利用使用了磁性流體密封件之磁密封單元，使可搖動地支持於支持構件之搖動構件與支持構件之關節部密閉(參照專利文獻2)。磁性流體密封件係使磁性流體保持於進行旋轉運動之構件相互的間隙之被接觸式密封構造，且可用於對搬送設備的驅動部分等旋轉運動部進行密封。
先前技術文獻 專利文獻
專利文獻1：日本特開平10-181870號公報
專利文獻2：日本專利第4106172號公報
然而，伸縮管對於扭轉之強度不高，因此，不適合作為對進行旋轉運動之構件相互之間進行密封的構件。
另一方面，如上所述，磁性流體密封件適合於作為旋轉運動部之密封構造。然而，為了利用磁性流體密封件獲得穩定之密封性能，需要防止旋轉運動部之變形。
因此，於上述搬送機器人中，經由彈性密封材料而將磁密封單元配置於支持軸與支持構件之間，藉此，欲利用彈性密封材料來吸收由支持軸之撓曲(彎曲變形)引起之間隙之增大變化。然而，彈性密封材料所能夠吸收之變化量未必大。
本發明係鑒於如上所述之問題點而成之發明，其課題在於提供如下密閉構造，該密閉構造係使用了磁性流體密封件之旋轉運動部的密閉構造，即使於旋轉運動部發生變形例如支持軸之彎曲變形等，亦可獲得穩定之密封性能。
本案之發明係一種密閉構造，其使第1構件與第2構件之連結部密閉，該第2構件經由旋轉軸體而連結於上述第1構件，該密閉構造之特徵在於：上述密閉構造具有利用磁性流體之磁密閉部、與由伸縮管構成之伸縮管密閉部。
而且，上述伸縮管密閉部的伸縮管的一端側固定於上述第2構件，並且另一端側固定於上述磁密閉部；上述磁密閉部具備固定有上述伸縮管的 另一端側之一個磁性密封構件、與固定於上述第1構件側之另一個磁性密封構件；上述一個磁性密封構件具備與上述另一個磁性密封構件相對向地配置之筒部；上述另一個磁性密封構件具備與上述一個磁性密封構件的筒部相對向地配置之圓周部；於上述一個磁性密封構件的筒部與上述另一個磁性密封構件的圓周部之間配置有上述磁性流體。
又，更具備使上述一個磁性密封構件之旋轉與上述第2構件之旋轉同步之旋轉同步機構。
又，上述旋轉軸體固定於上述第2構件；上述一個磁性密封構件配置於上述另一個磁性密封構件的內側；上述一個磁性密封構件的筒部具備由磁性素材構成之外周面；上述另一個磁性密封構件的圓周部具備與上述筒部的外周面相對向地配置之磁極構件；於上述一個磁性密封構件的筒部的外周面與上述另一個磁性密封構件的圓周部的磁極構件之間配置有磁性流體。
又，上述旋轉同步機構設置於上述旋轉軸體與上述一個磁性密封構件之間。
又，上述旋轉同步機構具備：突起部，其形成於上述旋轉軸體的外周面；以及槽部，其形成於上述一個磁性密封構件的內周面，且由上述突起部卡合。
又，設置有至少一處由上述突起部與上述槽部形成之卡合部位。
又，上述旋轉軸體固定於上述第1構件；上述一個磁性密封構件配置於上述另一個磁性密封構件的內側；上述一個磁性密封構件的筒部具備由磁性素材構成之外周面；上述另一個磁性密封構件的圓周部具備與上述筒 部的外周面相對向地配置之磁極構件；於上述一個磁性密封構件的筒部的外周面與上述另一個磁性密封構件的圓周部的磁極構件之間配置有磁性流體。
又，更具備將上述一個磁性密封構件固定於上述第2構件之同步機構。
又，上述另一個磁性密封構件與上述一個磁性密封構件經由軸承構件而可旋轉地卡合。
又，於上述一個磁性密封構件與上述伸縮管之間，更具備安裝有密封構件之密閉連結部，該密封構件由裝卸自如之彈性體構成。
本案之其他發明係一種搬送機器人，其具備可旋轉地連結基座側構件與旋轉側構件之關節部，上述關節部具備旋轉軸體，該旋轉軸體可相對旋轉地連結上述基座側構件與上述旋轉側構件；更具備使上述關節部密閉之密閉構造；上述密閉構造具有利用磁性流體之磁密閉部、與由伸縮管構成之伸縮管密閉部。
而且，搬送機器人具備可旋轉地連結基座側構件與旋轉側構件之關節部，上述基座側構件為上述第1構件及上述第2構件中的一個構件；上述旋轉側構件為上述第1構件及上述第2構件中的剩餘的另一個構件；上述關節部具備上述旋轉軸體，上述旋轉軸體可相對旋轉地連結上述基座側構件與上述旋轉側構件；更具備使上述關節部密閉之密閉構造；上述密閉構造具有利用磁性流體之磁密閉部、與由伸縮管構成之伸縮管密閉部；上述密閉構造為上述構成之密閉構造。
根據本案之發明，使用磁密閉部與伸縮管，構成可旋轉地連 結之兩個構件的連結部之密閉構造，因此，一邊維持可旋轉之狀態，一邊由伸縮管吸收連結部的旋轉軸體之彎曲變形，確保穩定之密閉狀態。
而且，準備固定於伸縮管側之磁密封殼體，且利用該磁密封殼體、軸承支持構件及配置於該兩者之間的磁性流體構成磁密閉部，因此，可確保更確實之密閉狀態。
又，具備使磁密封殼體之旋轉與固定有伸縮管之第2構件之旋轉同步之旋轉同步機構，因此，可確實地防止伸縮管之扭轉變形，從而可確保更確實之密閉狀態。
10‧‧‧搬送機器人
10a‧‧‧腳部
10b‧‧‧臂部
11‧‧‧第1臂(第1構件或第2構件)
11a‧‧‧框體
11b‧‧‧框體的開口部
12‧‧‧第2臂(第1構件或第2構件)
12a‧‧‧框體
13‧‧‧第3臂(手部)
20‧‧‧連結部(第1連結部)
21‧‧‧驅動馬達
22‧‧‧減速機單元
22a‧‧‧減速機
22b‧‧‧輸出旋轉部
22c‧‧‧軸承部
23‧‧‧旋轉軸體
30‧‧‧第1密閉構造
40‧‧‧伸縮管密閉部
41‧‧‧伸縮管
42、43‧‧‧連接構件
49‧‧‧O形環(彈性密封構件)
50‧‧‧磁密閉部
51‧‧‧筒狀構件(一個磁性密封構件、磁密封殼體)
52‧‧‧筒部
52a‧‧‧筒部的外周面
53‧‧‧凸緣部
61‧‧‧磁性密封單元(另一個磁性密封構件、軸承支持構件)
62‧‧‧圓周部
63‧‧‧磁極構件(磁極片)
64‧‧‧磁性流體
66‧‧‧軸承(軸承構件)
70‧‧‧第1同步機構(旋轉同步機構)
71‧‧‧突起部
72‧‧‧鍵槽部
72a‧‧‧鍵槽部的底面
C‧‧‧間隙
P‧‧‧第1密閉構造的內側空間
S‧‧‧作業空間
圖1係表示具備本案發明之密閉構造之搬送機器人之一例的立體圖。
圖2(A)係關於本案發明之實施形態之密閉構造，表示圖2(B)所示之A-A面之剖面之剖面圖，圖2(B)係表示圖2(A)所示之B1-B2面之剖面之剖面圖。
圖3係表示圖2(B)所示之密閉構造的主要部分之放大剖面圖。
其次參照圖式，對具備本發明之密閉構造之搬送機器人進行說明。
圖1所示之搬送機器人10設置於減壓所得之真空作業空間即真空室內。
搬送機器人10係由設置於真空室的地面之腳部10a、與設置於腳部10a的上端部之臂部10b構成。臂部10b具備：第1臂11，其可旋 轉地安裝於腳部10a的上端；第2臂12，其可旋轉地安裝於第1臂11的前端部；以及第3臂13，其可旋轉地安裝於第2臂12的前端部且被稱為搬送手。第1及第2臂11、12具有框體11a、12a(參照圖2(B))，可將後述之驅動馬達21等構件設置於框體內。又，各臂11、12的框體11a、12a具有密閉性，因此，若使框體的開口部分密閉，則可於使框體內部空間與作業空間S隔斷之狀態下，維持氣壓差且密閉。再者，搬送機器人10之整體構成等基本構成為眾所周知之構成，因此，此處省略詳細說明。
如上所述，臂部10b的第2臂(第2構件、旋轉側構件)12可搖動地連結於第1臂(第1構件11、基座側構件)。
第1臂11與第2臂12之連結部(以下稱為第1連結部)20係可相對旋轉地連結兩臂11、12之關節部。
第1連結部20具備：驅動馬達21，其設置於第1臂11內；減速機單元22，其變速地傳遞驅動馬達21之旋轉；以及旋轉軸體23，其支持於減速機單元22。
減速機單元22設置於第1臂11內，且具備外殼22a、輸出旋轉部22b、軸承22c、輸入軸26、以及將驅動馬達21之旋轉傳遞至輸入軸26之正時皮帶25。外殼22a具備向上側開口之開口部28、與形成於底部中央且向下側延伸之貫通孔，於開口部28內，經由軸承22c而可旋轉地設置有輸出旋轉部22b。於輸出旋轉部22b，固定有向上側延伸之旋轉軸體23、與經由貫通孔而向下側延伸之輸入軸26。該輸入軸26於軸部26b的下端部具備齒輪部26a，驅動馬達21之旋轉經由正時皮帶25而傳遞至該齒輪部26a。亦即，驅動馬達21之旋轉經由正時皮帶25及輸入軸26而傳遞至輸出旋轉部22b， 從而傳遞至旋轉軸體23。旋轉軸體23在自形成於第1臂11的框體11a之開口部11b向外側(圖3中的上方)突出之狀態下，固定於輸出旋轉部22b。而且，於旋轉軸體23的前端側即上端部安裝有第2臂12。亦即，第1臂11與第2臂12經由旋轉軸體23而可旋轉地連結。因此，使驅動馬達21作動之後，第2臂12會相對於第1臂11而旋轉、轉動。
搬送機器人10更具備使第1連結部20密閉之第1密閉構造30。該第1密閉構造30係將第1連結部20密閉於與設置有搬送機器人10之作業空間S隔斷之空間之構造。
第1密閉構造30具備固定於第2臂側之伸縮管密閉部40、與連結於伸縮管密閉部40之磁密閉部50。
伸縮管密閉部40具備筒狀構件即伸縮管41。伸縮管41係以包圍第1連結部20的旋轉軸體23之方式配置。而且，伸縮管41的上端部(一端側)經由環狀之連接構件(凸緣構件)42，藉由螺栓緊固而固定於第2臂12。而且，環狀之連接構件(凸緣構件)43經由磁密閉部50而緊固於伸縮管41的下端部(另一端側)。
再者，伸縮管上端側之連接構件42與第2臂12之間，在插入有橡膠製的O形環(彈性密封構件)49之狀態下，藉由螺栓緊固而受到固定。藉此，確保伸縮管41兩端之連接部分之密閉性。再者，伸縮管41下端側之連接構件43與磁密閉部50的後述之筒狀構件51之間、或後述之磁性密封單元61與第1臂11之間亦為相同之固定構造。
磁密閉部50具備：筒狀構件(一個磁性密封構件)51，其連結著伸縮管41的下端；以及磁性密封單元(另一個磁性密封構件)61， 其固定於第1臂11側。筒狀構件51配置於磁性密封單元61的內側。而且，於筒狀構件51與磁性密封單元61之間插入有軸承66。此種構成可實現相互之間的順暢旋轉。又，可遍及整個圓周而容易地於筒狀構件51與磁性密封單元61之間形成一定間隔之間隙C。而且，筒狀構件51經由軸承66而以穩定狀態保持於磁性密封單元61，筒狀構件51之旋轉位置穩定。亦即，磁性密封單元61及軸承66可稱為使筒狀構件51相對於第1臂11之旋轉位置穩定之機構(軸承構件)。若筒狀構件51之旋轉位置穩定，則伸縮管41之伸縮以外之變形(例如扭轉變形)會受到抑制。再者，軸承66分別配置於筒狀構件51的後述之筒部52之上端位置與下端位置。
筒狀構件51係由被慣用作旋轉軸用材料之具有磁性之鋼材構成，且具備：筒部52，其以包圍旋轉軸體23之方式配置；以及凸緣部53，其設置於筒部52的上端及下端。各凸緣部53係自筒部52向直徑方向外側擴展之平板環狀之部分。
磁性密封單元61係產生磁場之單元，且具備遍及整個圓周地包圍筒狀構件51的筒部52之圓周部62。於該圓周部62配置有用以產生磁場之構件即磁極構件63。亦即，具有磁極構件63之圓周部62與筒狀構件51的筒部52相對向地配置。磁極構件63係由環狀之磁鐵63a、與配置於磁鐵63a上下之環狀之磁極片63b構成。而且成為如下構成：使磁性流體64保持於兩個磁極片63b與筒部52的外周面52a之間。因此，使磁性密封單元61作動之後，在第2臂12可相對於第1臂11而旋轉之狀態下，藉由磁性流體64確保筒狀構件51與磁性密封單元61之間的密閉狀態。再者，於本實施形態中，磁極構件63分別配置於與上下之軸承66鄰接之位置，在 與上下之軸承66鄰接之位置保持有磁性流體64。
第1密閉構造30更具備使筒狀構件51之旋轉與第2臂12之旋轉同步之第1同步機構(旋轉同步機構)70。該第1同步機構70具備：突起部71，其形成於旋轉軸體23的外周面；以及鍵槽部72，其形成於筒狀構件51的內周面。鍵槽部72沿著旋轉軸體23之軸方向(上下方向)延伸。而且，旋轉軸體23的突起部71在突起部71的前端與鍵槽部72的底面72a之間確保有間隙之狀態下，卡合於鍵槽部72。若為該構造，則即使旋轉軸體23彎曲變形，突起部71相對於鍵槽部72之相對位置發生變化，由彎曲變形引起之力亦不會自突起部71作用於鍵槽部72。又，藉由第1同步機構70，旋轉軸體23之旋轉即第2臂12之旋轉與筒狀構件51之旋轉同步，因此，伸縮管41上下端之旋轉不會產生不均。其結果，無需擔心伸縮管41扭轉，且無需擔心伸縮管41產生破損。其結果，第1密閉構造30可獲得較高之密閉可靠性。
如此，第1密閉構造30為將存在於第1臂11與第2臂12之間的第1連結部20予以包圍之配置。而且，第1密閉構造30的一端即伸縮管41的上端以密閉狀態固定於第2臂12的框體12a，第1密閉構造30的另一端即磁密閉部50的磁性密封單元61以密閉狀態固定於第1臂11的框體11a。亦即，第1密閉構造30的內側空間P(參照圖2(B))在確保密閉之狀態下，被第1密閉構造30及第2臂12的框體12a的底面包圍，並且經由開口部11b而連通於第1臂11的框體內部空間，從而與作業空間S隔斷。
因此，即使於搬送機器人10的第1臂11內之減速機22a等的第1連結 部20產生灰塵等，亦可防止所產生之灰塵自第1臂11內流出至作業空間S。
又，於第1臂11與第2臂12之連結部20中，由旋轉軸體23支持幾乎第2臂12的所有負載，使第2臂12搖動之旋轉力經由旋轉軸體23而自第1臂11側傳遞至第2臂12側。亦即，使承受第2臂12之負載或用以使第2臂12旋轉之旋轉力之部分、與進行密閉(密封)之部分完全分離。亦即，防止第2臂12之負載或用以使第2臂12旋轉之旋轉力作用於包含伸縮管41及磁密閉部50之第1密閉構造30。若為此種構造，則可防止磁密閉部50之變形，筒狀構件51與磁性密封單元61之間的磁性流體64之保持狀態穩定，且可防止伸縮管41之扭轉變形，因此可確保密閉狀態。
而且，旋轉軸體23有可能會承受第2臂12之負載而發生彎曲變形。然而，第1密閉構造30具有伸縮管41，因此，由旋轉軸體23之彎曲變形引起之位移會被伸縮管41之伸縮變形吸收，由彎曲變形引起之力不會作用於磁密閉部50。亦即，即使旋轉軸體23發生彎曲變形，亦可確保磁密閉部50之密閉性。
因此，可防止搬送機器人10的第1臂11內所產生之灰塵自第1臂11內流出至作業空間S。
再者，如上所述，腳部10a與第1臂11之間、或第2臂12與第3臂13之間亦以可相互旋轉之方式連結，但該等連結部之構成與第1連結部20相同，該第1連結部20為上述第1臂11與第2臂12之連結部。因此，此處省略該等連結部之構造之詳細說明。
又，本發明之密閉構造並不限於上述實施形態之構造。於不脫離本發明宗旨之範圍內改變所得之密閉構造包含於本發明之範圍。
例如於上述實施形態中，伸縮管41係以包圍第1連結部20的旋轉軸體23之一部分之方式配置，但只要成為使第1連結部(或配置有第1連結部之空間)20與作業空間S隔斷之配置即可。又，伸縮管41只要與第2臂12一體地旋轉即可。亦即，伸縮管41的上端部之固定目的端之構件並不限於第2臂12，例如亦可為旋轉軸體23。
又，較佳為筒狀構件51以使圓筒形之筒部52的外周面52a之圓筒軸與旋轉軸體23之軸心一致之方式配置。若為此種配置，則可將伸縮管41之變形抑制為最小限度。又，於上述實施形態中，在筒狀構件51與磁性密封單元61之間插入有軸承66，但例如亦可為金屬軸承構造等軸承構造。又，筒狀構件51亦可並非為一體構造物，例如亦可為如下構造，即，兩方或一方之凸緣部53可相對於筒部52裝卸。
又，伸縮管密閉部40與磁密閉部50之緊固部(固定部)並不限於上述螺栓緊固，例如亦可為藉由焊接實現之連結。此對於伸縮管密閉部40或磁密閉部50、與第1臂11或第2臂12之緊固部而言亦相同。
又，關於同步機構，於磁密閉部50的筒狀構件51與磁性密封單元61之間的旋轉阻力較小之情形時，可考慮採用不使用同步機構之構造，但使用了同步機構之構造可防止伸縮管41之扭轉變形，因此較佳。
於上述實施形態中，第1同步機構70的突起部71及鍵槽部72各為兩個，突起部71與鍵槽部72在圓周方向上之卡合部位為兩處，但突起部71及鍵槽部72之數量只要為至少一個以上即可，卡合部位亦只要為至少一個以上即可。而且，於設置複數個同步機構之情形時，較佳為以等間隔配置複數個同步機構。例如於設置兩個同步機構之情形時，較佳為介隔旋轉軸 體23而相對向地配置同步機構，於設置3個同步機構之情形時，較佳為以包圍旋轉軸體23之方式，以120度之間隔設置同步機構。
又，亦可將突起部71設置於筒狀構件51，並且將鍵槽部72設置於旋轉軸體23。
又，第1同步機構70只要使筒狀構件51之旋轉與第2臂12之旋轉同步即可。亦即，突起部71之形成目的端之構件只要為與第2臂12一體地旋轉之構件，則並不限於旋轉軸體23，例如亦可於第2臂12本身形成突起部71。
又，突起部71可處於突起部71的兩側面與鍵槽部72的兩側面發生接觸之狀態，亦可處於僅一個側面發生接觸之狀態。於僅一個側面發生接觸之構造之情形時，突起部71的側面與鍵槽部72的側面之間隙距離為最大之狀態下的相位差，被設定為小於伸縮管41之扭轉變形之允許旋轉角度。
又，於上述實施形態中，磁密閉部50固定於第1臂11側(下側)，伸縮管41配置於第2臂12側(上側)，相反地，亦可為如下構造，即，伸縮管41配置於第1臂11側，磁密閉部50配置於第2臂12側。於該情形時，伸縮管41的一端側固定於第1臂11，另一側固定於磁密閉部50。而且，例如於將伸縮管41的另一端側固定於磁密閉部50的筒狀構件51之情形時，磁密閉部50的磁性密封單元61固定於第2臂12。
更具體而言，旋轉軸體23固定於第2臂(於該情形時，第2臂為第1構件)12，筒狀構件51配置於磁性密封單元61的內側，筒狀構件51的筒部52具備凸狀之外周面，磁性密封單元61的圓周部62與筒部52的外周面52a相對向地配置，磁性流體64配置於筒狀構件51的筒部52的外周面52a 與磁性密封單元61的圓周部62的磁極構件63之間。而且，設置有將筒狀構件51固定於第1臂(於該情形時，第1臂為第2構件)11之同步機構。作為該同步機構，例如可列舉如下支持構件，該支持構件以固定於第1臂11的框體11a之狀態，設置於筒狀構件51的內側。若利用該支持構件支持筒狀構件51，則由磁性密封單元61與筒狀構件51之間的旋轉阻力引起之力會由固定於第1臂11之支持構件承受，從而防止伸縮管41之扭轉變形。
又，於上述實施形態中，第1臂11為基座側構件，第2臂12為旋轉側構件，但反之亦可。而且，上述實施形態為如下構造：筒狀構件51的筒部52被磁性密封單元61的圓周部62包圍，且為如下配置：筒部52的圓筒形之外表面相對於磁性密封單元61朝外，圓周部62的表面(外表面)相對於筒狀構件51朝內，但亦可為相反之配置。亦即，亦可為如下配置：圓周部62的表面(外表面)相對於筒狀構件51朝外，筒部52的圓筒形之表面(外表面)相對於磁性密封單元61朝內。
11a‧‧‧框體
11b‧‧‧框體的開口部
12‧‧‧第2臂(第1構件或第2構件)
12a‧‧‧框體
20‧‧‧連結部(第1連結部)
21‧‧‧驅動馬達
22‧‧‧減速機單元
22a‧‧‧減速機
22b‧‧‧輸出旋轉部
22c‧‧‧軸承部
23‧‧‧旋轉軸體
25‧‧‧正時皮帶
26‧‧‧輸入軸
26a‧‧‧齒輪部
26b‧‧‧軸部
28‧‧‧開口部
40‧‧‧伸縮管密閉部
41‧‧‧伸縮管
42、43‧‧‧連接構件
49‧‧‧O形環(彈性密封構件)
50‧‧‧磁密閉部
51‧‧‧筒狀構件(一個磁性密封構件、磁密封殼體)
52‧‧‧筒部
52a‧‧‧筒部的外周面
53‧‧‧凸緣部
61‧‧‧磁性密封單元(另一個磁性密封構件、軸承支持構件)
66‧‧‧軸承(軸承構件)
70‧‧‧第1同步機構(旋轉同步機構)
71‧‧‧突起部
72‧‧‧鍵槽部
P‧‧‧第1密閉構造的內側空間
S‧‧‧作業空間

Claims (13)

  1. 一種密閉構造，使第1構件與第2構件之連結部密閉，該第2構件經由旋轉軸體而連結於該第1構件，其特徵在於：該密閉構造具有利用磁性流體之磁密閉部、與由伸縮管構成之伸縮管密閉部。
  2. 如申請專利範圍第1項之密閉構造，其中，該伸縮管密閉部的伸縮管的一端側固定於該第2構件，並且另一端側固定於該磁密閉部；該磁密閉部具備固定有該伸縮管的另一端側之一個磁性密封構件、與固定於該第1構件側之另一個磁性密封構件；該一個磁性密封構件具備與該另一個磁性密封構件相對向地配置之筒部；該另一個磁性密封構件具備與該一個磁性密封構件的筒部相對向地配置之圓周部；於該一個磁性密封構件的筒部與該另一個磁性密封構件的圓周部之間配置有該磁性流體。
  3. 如申請專利範圍第2項之密閉構造，其中，該旋轉軸體固定於該第2構件；該一個磁性密封構件配置於該另一個磁性密封構件的內側；該一個磁性密封構件的筒部具備由磁性素材構成之外周面；該另一個磁性密封構件的圓周部具備與該筒部的外周面相對向地配置之磁極構件； 於該一個磁性密封構件的筒部的外周面與該另一個磁性密封構件的圓周部的磁極構件之間配置有磁性流體。
  4. 如申請專利範圍第3項之密閉構造，其中，更具備使該一個磁性密封構件之旋轉與該第2構件之旋轉同步之旋轉同步機構。
  5. 如申請專利範圍第4項之密閉構造，其中，該旋轉同步機構設置於該旋轉軸體與該一個磁性密封構件之間。
  6. 如申請專利範圍第5項之密閉構造，其中，該旋轉同步機構具備：突起部，其形成於該旋轉軸體的外周面；以及槽部，其形成於該一個磁性密封構件的內周面，且由該突起部卡合。
  7. 如申請專利範圍第6項之密閉構造，其中，設置有至少一處由該突起部與該槽部形成之卡合部位。
  8. 如申請專利範圍第2項之密閉構造，其中，該旋轉軸體固定於該第1構件；該一個磁性密封構件配置於該另一個磁性密封構件的內側；該一個磁性密封構件的筒部具備由磁性素材構成之外周面；該另一個磁性密封構件的圓周部具備與該筒部的外周面相對向地配置之磁極構件；於該一個磁性密封構件的筒部的外周面與該另一個磁性密封構件的圓周部的磁極構件之間配置有磁性流體。
  9. 如申請專利範圍第8項之密閉構造，其中，更具備將該一個磁性密封構件固定於該第2構件之同步機構。
  10. 如申請專利範圍第2至9項中任一項之密閉構造，其中，該另一個磁性密封構件與該一個磁性密封構件經由軸承構件而可旋轉地卡合。
  11. 如申請專利範圍第2至9項中任一項之密閉構造，其中，於該一個磁性密封構件與該伸縮管之間，更具備安裝有密封構件之密閉連結部，該密封構件由裝卸自如之彈性體構成。
  12. 一種搬送機器人，具備可旋轉地連結基座側構件與旋轉側構件之關節部，該搬送機器人之特徵在於：該關節部具備旋轉軸體，該旋轉軸體可相對旋轉地連結該基座側構件與該旋轉側構件；更具備使該關節部密閉之密閉構造；該密閉構造具有利用磁性流體之磁密閉部、與由伸縮管構成之伸縮管密閉部。
  13. 一種搬送機器人，具備可旋轉地連結基座側構件與旋轉側構件之關節部，其特徵在於：該基座側構件為該第1構件及該第2構件中的一個構件；該旋轉側構件為該第1構件及該第2構件中的剩餘的另一個構件；該關節部具備該旋轉軸體，該旋轉軸體可相對旋轉地連結該基座側構件與該旋轉側構件；更具備使該關節部密閉之密閉構造；該密閉構造具有利用磁性流體之磁密閉部、與由伸縮管構成之伸縮管密閉部；該密閉構造為申請專利範圍第1至9項中任一項之密閉構造。
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