JP2010007790A - 動力伝達機構 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】真空環境である真空チャンバ5内と大気環境とを区分けするベース壁6と、前記ベース壁6を貫通して配置される出力軸16と、前記出力軸16を回転自在に支持するシールケース17と、からなる動力伝達機構10であって、前記シールケース17と前記出力軸16との間に密着して介される第一シール材30と、前記シールケース17と前記ベース壁6との間に密着して介され、前記出力軸16の軸方向に弾性を有し、かつ前記出力軸16の傾きに追従する第二シール材40と、を備える。
【選択図】図2
Description
そこで、解決しようとする課題は、動力伝達機構において、出力軸の傾きによって、シール材と出力軸との間に隙間を生じさせることなく、リークを防止することである。
また、第二シール材が出力軸の軸方向に弾性を有し、かつ出力軸の傾きに追従するため、シールケースを出力軸に追従させ、第一シール材と出力軸とが集中的に圧接する部分を低減でき、かつ、第一シール材と出力軸との間に隙間を生じさせることがない。つまり、出力軸の傾きによって生じる第一シール材と出力軸との隙間をなくし、リークを防止できる。
図1は本発明に係る動力伝達機構を含むロボットアームの全体的な構成を示す一部断面構成図、図2は同じく第二シール材の全体的な構成を示す斜視図、図3は同じく別の第二シール材の全体的な構成を示す斜視図である。
図4は同じく別の第二シール材の全体的な構成を示す斜視図、図5は出力軸が傾きを有する場合のロボットアームの全体的な構成を示す一部断面構成図、図6は同じく別実施例に係る動力伝達機構の全体的な構成を示した一部断面構成図である。
図7は出力軸にずれを有する場合の動力伝達装置の全体的な構成を示した一部断面構成図である。
ロボットアーム1は、真空チャンバ5内において、半導体ウエハ又は液晶基板を移送する装置である。真空チャンバ5は、ベース壁6によって大気環境と区分けされた真空環境下の作業室である。真空チャンバ5内では、半導体ウエハ又は液晶基板の配線工程又は薄膜形成工程等が実施される。また、ロボットアーム1は、真空チャンバ5外の大気環境にモータ11及び減速機13を含む駆動部が配置され、ベース壁6を貫通する動力伝達機構10を介して、真空チャンバ5内にアーム20を含むマニピュレータが配置され、支持部によってベース壁6に支持されている。
第二シール材40は、断面が略長方形であるゴム材を中空円筒状としたシール材である。また、第二シール材40は、出力軸16の軸方向に対し弾性を有している。さらに、第二シール材40は、軸線Pの傾きに追従するように弾性変形する。
このように第二シール材40をゴム材とするため、安価かつ比較的自由な形状である第二シール材40を実現できる。
第二シール材50は、金属製の伸縮管としての公知のベローズである。また、第二シール材50は、第二シール材40と同様に、出力軸16の軸方向に対し弾性を有し、軸線Pの傾きに追従するように弾性変形する。このように第二シール材50を積層ゴムとするため、第二シール材50の出力軸16の軸方向における弾性力を、バネ定数によって調整できる。
第二シール材60は、建築分野で用いられるゴム材と金属材とを積み重ね表面をゴムで被装した積層ゴムを中空円筒状としたシール材である。また、第二シール材60は、第二シール材40と同様に、出力軸16の軸方向に対し弾性を有し、軸線Pの傾きに追従するように弾性変形する。このように第二シール材60を金属製の伸縮管とするため、高温や腐食ガス等が発生する環境下においても耐久性を有する第二シール材60を実現できる。
例えば、ロボットアーム1が図示しない重いワークを支持している場合、出力軸16は、片持ち状態となり、軸線Pに対し軸線P´となる傾きを有する。このとき、第二シール材40が出力軸16の軸方向に対して弾性を有するため、出力軸16の傾きによって、フランジ15のフランジ壁15bの上面と、シールケース17の下面との間に隙間を生じさせることなく、大気環境から真空チャンバ5へのリークを防止できる。
従来、動力伝達機構は、第一シール材30に相当するシール材のみしか有しておらず、出力軸の傾きにより、シール材と出力軸とが集中的に圧接する部分が発生し、シール材が破損する或いは寿命が低下する等の不具合があった。また、出力軸の傾きにより、シール材が出力軸に追従できないため隙間が生じ、リークが発生していた。
本発明の動力伝達機構10は、第一シール材30に対し第二シール材40は、フランジ15とシールケース17とをシールする、並びに第一シール材30とシールケース17を出力軸16に追従させる、機能を有する第二シール材40を追加している。そのため、第一シール材30に集中的に圧接する部分を低減し、第一シール材30を長寿命化できる。また、出力軸16の傾きにより、第一シール材30が出力軸16に追従できる。
動力伝達装置90は、大気環境における入力軸70による回転駆動を、ベース壁6を貫通する動力伝達機構10を介して、真空チャンバ5内の出力軸80に伝達する装置であって、支持部によってベース壁6に支持されている。入力軸70は、入力軸フランジ71を介して出力軸フランジ81と接続され、出力軸80に回転駆動を伝達する。動力伝達機構10、真空チャンバ5、及び支持部についてはロボットアーム1同様であるため説明を省略する。
例えば、真空チャンバ5内のマニピュレータと大気環境における駆動部の配置によっては、入力軸70と出力軸80との軸がずれて固定されている場合がある。
このとき、第二シール材40が軸線Pの傾きに追従する、すなわち軸線Pに対し傾きを維持して弾性変形するため、出力軸80のずれによっても、フランジ15のフランジ壁15bの上面と、シールケース17の下面との間に隙間を生じさせることなく、大気環境から真空チャンバ5へのリークを防止できる。
5 真空チャンバ
6 ベース壁
10 動力伝達機構
15 フランジ
16 出力軸
17 シールケース
20 アーム
30 第一シール材
40 第二シール材
50 第二シール材
60 第二シール材
70 入力軸
80 出力軸
90 動力伝達装置
Claims (4)
- 真空環境である真空チャンバ内と大気環境とを区分けするベース壁と、
前記ベース壁を貫通して配置される出力軸と、
前記出力軸を回転自在に支持するシールケースと、
からなる動力伝達機構であって、
前記シールケースと前記出力軸との間に密着して介される第一シール材と、
前記シールケースと前記ベース壁との間に密着して介され、前記出力軸の軸方向に弾性を有し、かつ前記出力軸の傾きに追従する第二シール材と、
を備えることを特徴とする動力伝達機構。 - 請求項1記載の動力伝達機構において、
前記第二シール材は、ゴム材であることを特徴とする動力伝達機構。 - 請求項1記載の動力伝達機構において、
前記第二シール材は、ゴム材と金属材とを積層し、表面をゴムで被装する積層ゴムであることを特徴とする動力伝達機構。 - 請求項1記載の動力伝達機構において、
前記第二シール材は、金属製の伸縮管であることを特徴とする動力伝達機構。
Priority Applications (1)
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JP2008169138A JP2010007790A (ja) | 2008-06-27 | 2008-06-27 | 動力伝達機構 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2008169138A JP2010007790A (ja) | 2008-06-27 | 2008-06-27 | 動力伝達機構 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2012111981A Division JP2012159200A (ja) | 2012-05-15 | 2012-05-15 | 動力伝達機構 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2010007790A true JP2010007790A (ja) | 2010-01-14 |
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ID=41588524
Family Applications (1)
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JP2008169138A Pending JP2010007790A (ja) | 2008-06-27 | 2008-06-27 | 動力伝達機構 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2018021178A1 (ja) * | 2016-07-28 | 2018-02-01 | 日本電産サンキョー株式会社 | 産業用ロボット |
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2008
- 2008-06-27 JP JP2008169138A patent/JP2010007790A/ja active Pending
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CN108175498B (zh) * | 2018-01-31 | 2024-02-02 | 海口市人民医院(中南大学湘雅医学院附属海口医院) | 一种微波消融针的冷却装置 |
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