TWI701121B - 水平多關節機器人 - Google Patents

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TWI701121B
TWI701121B TW108120593A TW108120593A TWI701121B TW I701121 B TWI701121 B TW I701121B TW 108120593 A TW108120593 A TW 108120593A TW 108120593 A TW108120593 A TW 108120593A TW I701121 B TWI701121 B TW I701121B
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山田幸政
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日商川崎重工業股份有限公司
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Abstract

本發明之水平多關節機器人具備：第1連接部（31），其配置於2個臂之間，以將一臂旋動自如地連接於另一臂之方式構成；第2連接部（32），其配置於基台（20）與臂之間，以將臂旋動自如地連接於基台（20）之方式構成；及環構件，其配置於第1連接部（31）與臂之間，以其高度尺寸使與臂之延伸方向上之一端部側相比另一端部側變大之方式形成。

Description

水平多關節機器人
本發明係關於水平多關節機器人。
已知有一種懸掛式SCARA機器人，其具備基台、第1臂、第2臂、及能夠在重力方向上移動地構成並設置於第2臂之可動軸部(例如參照專利文獻1)。
於專利文獻1所揭示之機器人中，配置有由使用鋼材之環狀板構成之第2補強部，以增大將第1臂與第2臂連接之第2連接部之剛性。
[先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1] 日本特開2015-211998號公報
不過，於專利文獻1中記載到若增大第2補強部之剛性，則由於其重量増加而容易於第1臂產生撓曲。若於第1臂產生撓曲，則有機器人於動作時偏離教導之位置座標而使機器人之作業精度下降之虞。又，撓曲所致位移量(自教導之位置座標之偏離量)因機器人之姿勢而不同，因此有教導作業變得繁雜之虞。
本發明係為了解決上述課題而完成者，其目的在於提供一種可使撓曲所致位移量固定而抑制機器人之作業精度下降且實現操作者進行之教導作業之效率化的水平多關節機器人。
為了解決上述習知之課題，本發明之水平多關節機器人係具備基台及複數個臂者，上述複數個臂包含第1臂與第2臂；且上述水平多關節機器人具備：第1連接部，其配置於上述第1臂與上述第2臂之間，以將上述第2臂旋動自如地連接於上述第1臂之方式構成；第2連接部，其配置於上述基台與上述第2臂之間，以將上述第2臂旋動自如地連接於上述基台之方式構成；及環構件，其配置於上述第1連接部與上述第1臂之間，以其高度尺寸使與上述第1臂之延伸方向上之一端部側相比另一端部側變大之方式形成。
藉此，可使臂之撓曲所致位移量固定而抑制機器人之作業精度下降且實現操作者進行之教導作業之效率化。
又，本發明之水平多關節機器人係具備基台及複數個臂者，上述複數個臂包含第1臂與第2臂；且上述水平多關節機器人具備：第1連接部，其配置於上述第1臂與上述第2臂之間，以相對於上述第2臂將上述第1臂旋動自如地連接之方式構成；第2連接部，其配置於上述基台與上述第2臂之間，以將上述第2臂旋動自如地連接於上述基台之方式構成；且於上述第1連接部及上述第2連接部，分別配置有軸構件及軸承構件，上述第1臂之與上述軸構件之接觸面即第1接觸面、上述第2臂之與上述軸承構件之接觸面即第2接觸面、及上述基台之與上述軸承構件之接觸面即第3接觸面中之至少1個接觸面以自水平方向觀察時傾斜之方式形成。
藉此，可使臂之撓曲所致位移量固定而抑制機器人之作業精度下降且實現操作者進行之教導作業之效率化。
本發明之上述目的、其他目的、特徵、及優點藉由參照隨附圖式且根據以下之較佳之實施形態之詳細說明而明確。
根據本發明之水平多關節機器人，可使臂之撓曲所致位移量固定而抑制機器人之作業精度下降且實現操作者進行之教導作業之效率化。
1:手
2:操作器
10:控制裝置
20:基台
20A:第3接觸面
21:第1臂
21A:第1接觸面
22:第2臂
22A:第2接觸面
22B:第1接觸面
31:第1連接部
32:第2連接部
33:第3連接部
41:軸構件
51:軸承構件
61:第1環構件
62:第2環構件
63:第3環構件
64:第4環構件
71~78:密閉構件
100、100A:水平多關節機器人
L1~L3:旋轉軸
L1A、L1B:軸心
Y:假想線
θA、θB:角度
圖1係示意性地表示本實施形態1之水平多關節機器人之概略構成之前視圖。
圖2係表示本實施形態1之水平多關節機器人中之第1連接部之概略構成的剖視圖。
圖3係表示習知之水平多關節機器人中之臂之撓曲狀態的示意圖。
圖4係表示本實施形態1之水平多關節機器人中之臂之撓曲狀態的示意圖。
圖5係表示本實施形態1之水平多關節機器人之重要部分之示意圖。
圖6係表示本實施形態1之水平多關節機器人之重要部分之示意圖。
圖7係表示本實施形態1中之變化例1之水平多關節機器人之第2連接部附近之概略構成的剖視圖。
圖8係表示本實施形態1中之變化例1之水平多關節機器人之第1連接部附近之概略構成的剖視圖。
圖9係示意性地表示本實施形態2之水平多關節機器人之概略構成之前視圖。
圖10係表示圖9所示之水平多關節機器人中之第1連接部之概略構成的剖視圖。
圖11係表示習知之水平多關節機器人中之臂之撓曲狀態的示意圖。
圖12係表示本實施形態2之水平多關節機器人中之臂之撓曲狀態的示意圖。
圖13係表示本實施形態2之水平多關節機器人之重要部分之示意圖。
圖14係表示本實施形態2之水平多關節機器人之重要部分之示意圖。
圖15係示意性地表示本實施形態3之水平多關節機器人之概略構成之前視圖。
圖16係表示本實施形態3之水平多關節機器人中之第1連接部之概略構成的剖視圖。
圖17係表示習知之水平多關節機器人中之臂之撓曲狀態的示意圖。
圖18係表示本實施形態3之水平多關節機器人中之臂之撓曲狀態的示意圖。
圖19係表示本實施形態3之水平多關節機器人之重要部分之示意圖。
圖20係表示本實施形態3之水平多關節機器人之重要部分之示意圖。
圖21係表示本實施形態3中之變化例1之水平多關節機器人之第1連接部附近之概略構成的剖視圖。
圖22係表示本實施形態3中之變化例1之水平多關節機器人之第2連接部附近之概略構成的剖視圖。
圖23係表示本實施形態3中之變化例1之水平多關節機器人中之臂之撓曲狀態的示意圖。
圖24係示意性地表示本實施形態4之水平多關節機器人之概略構成之前視圖。
圖25係表示圖24所示之水平多關節機器人中之第1連接部之概略構成的剖視圖。
圖26係表示習知之水平多關節機器人中之臂之撓曲狀態的示意圖。
圖27係表示本實施形態4之水平多關節機器人中之臂之撓曲狀態的示意圖。
圖28係表示本實施形態4之水平多關節機器人之重要部分之示意圖。
圖29係表示本實施形態4之水平多關節機器人之重要部分之示意圖。
以下，一面參照圖式一面對本發明之較佳之實施形態進行說明。另外，以下，於全部圖中，對同一或相當之元件標附同一參照符號，並省略其重複說明。又，於全部圖中，有為了說明本發明而節錄必要的構成元件進行圖示，而對其他構成元件省略圖示的情形。進一步地，本發明並不限定於以下之實施形態。
本實施形態1之水平多關節機器人係具備基台及複數個臂者，且水平多關節機器人具備：第1連接部，其配置於2個臂之間，以將一臂旋動自如地連接於另一臂之方式構成；第2連接部，其配置於基台與臂之間，以將臂旋動自如地連接於基台之方式構成；及環構件，其配置於第1連接部與臂之間，以其高度尺寸使與臂之延伸方向上之一端部側相比另一端部側變大之方式形成。
又，於本實施形態1之水平多關節機器人中，該水平多關節機器人以設置於地面之方式構成，且環構件以其高度尺寸使與臂之基端部側相比前端部側變大之方式構成亦可。
又，於本實施形態1之水平多關節機器人中，環構件具有配置於一臂與第1連接部之間之第1環構件、及配置於第1連接部與另一臂之間之第2環構件亦可。
又，於本實施形態1之水平多關節機器人中，第1環構件以其高度尺寸使另一臂之基端部側之軸心與於鉛直方向上延伸之假想線所成之角度成為預先設定之既定之第1角度之方式形成亦可。
又，於本實施形態1之水平多關節機器人中，第2環構件以其高度 尺寸使另一臂之前端部側之軸心朝向鉛直方向之方式構成亦可。
又，於本實施形態1之水平多關節機器人中，於第1連接部及第2連接部中之至少一連接部配置有以將該連接部之內部空間密閉之方式構成之密閉構件亦可。
進一步地，於本實施形態1之水平多關節機器人中，該水平多關節機器人配置於真空腔室內亦可。
以下，一面參照圖1~圖6一面對本實施形態1之水平多關節機器人之一例進行說明。
[水平多關節機器人之構成]
圖1係示意性地表示本實施形態1之水平多關節機器人之概略構成之前視圖。另外，於圖1中，將水平多關節機器人之上下方向及前後方向表示為圖示之上下方向及前後方向。
如圖1所示，本實施形態1之水平多關節機器人100具備手1、操作器2及控制裝置10，以利用手1保持並搬送工件之方式構成。作為工件，例如可舉出半導體晶圓等。另外，手1之構成只要係可保持並搬送工件則可為任意形態。
又，本實施形態1之水平多關節機器人100係以設置於地面之方式構成。
操作器2具備基台20、複數個臂(此處為第1臂(另一臂)21及第2臂(一臂)22)、第1連接部31、第2連接部32、及第3連接部33。於基台20之內部，配置有控制裝置10。另外，控制裝置10配置於基台20之外亦可。
又，於基台20設置有第2連接部32。第2連接部32具有例如滾珠螺桿機構、驅動馬達、檢測驅動馬達之旋轉位置之旋轉感測器、及檢測對驅動馬達之旋轉進行控制之電流之電流感測器(均未圖示)等，以在上下方向上伸縮且使第2臂22旋動之方式構成。另外，驅動馬達為例如由控制裝置10伺服控制之伺服 馬達亦可。又，旋轉感測器為例如編碼器亦可。
於第2連接部32，連接有能夠繞通過該第2連接部32之軸心之旋轉軸L2旋動的第2臂22之基端部。於第2臂22之前端部，經由第1連接部31，連接有能夠繞旋轉軸L1旋轉的第1臂21之基端部。另外，關於第1連接部31之構成將於下文進行說明。
又，於第1臂21之前端部，經由第3連接部33，連接有能夠繞旋轉軸L3旋轉的手1。第3連接部33具有例如驅動馬達、檢測驅動馬達之旋轉位置之旋轉感測器、及檢測對驅動馬達之旋轉進行控制之電流之電流感測器(均未圖示)等，以使手1旋動(擺動)之方式構成。
控制裝置10具備微處理器、CPU等運算器、及ROM、RAM等記憶器(未圖示)。於記憶器記憶有基本程式、各種固定資料等資訊。運算器藉由讀出並執行記憶器中所記憶之基本程式等軟體，而控制水平多關節機器人100之各種動作。
另外，控制裝置10可由集中控制之單獨之控制裝置10構成，由相互協動地分散控制之複數個控制裝置10構成亦可。又，控制裝置10可由微電腦構成，由MPU(Micro Processor Unit)、PLC(Programmable Logic Controller)、邏輯電路等構成亦可。
[第1連接部之構成]
其次，一面參照圖2一面詳細地對本實施形態1之水平多關節機器人100中之第1連接部31之構成進行說明。
圖2係表示本實施形態1之水平多關節機器人中之第1連接部之概略構成的剖視圖。另外，於圖2中，為了容易理解發明，而於環構件與臂之間形成有間隙，但當藉由適當手段將環構件與臂緊固時，不會形成該間隙。
如圖2所示，第1連接部31具有軸構件41及軸承構件51。又，於第 1連接部31配置有第1環構件61及第2環構件62、以及密閉構件71~74。
軸承構件51以其下端部透過適當手段(例如螺栓)而固定於第2臂22之上端部。又，於軸承構件51之下端部與第2臂22之上端部之間，配置有圓環狀之第1環構件61。第1環構件61藉由適當手段而固定於第2臂22之上端部。
第1環構件61以其高度尺寸使與第2臂22之基端部側相比第2臂22之前端部側變大之方式形成。具體而言，例如就修正第2臂22之撓曲之觀點而言，第1環構件61以第2臂22之前端部側之高度尺寸較第2臂22之基端部側之高度尺寸大0.1~1.0mm之方式形成亦可。
又，第1環構件61以其高度尺寸使第1臂21之基端部側之軸心與於鉛直方向上延伸之假想線Y所成之角度成為預先設定之既定之第1角度之方式形成亦可(參照圖4)。
更詳細而言，無論第1臂21之姿勢(旋動角度)如何，第1環構件61以其高度尺寸使第1臂21之基端部側之軸心與假想線Y所成之角度均成為第1角度之方式形成。此處，第1角度θ可預先藉由實驗等求出，例如為0.05~0.3°亦可。
進一步地，第1環構件61以自水平方向觀察時其下端面成為水平之方式形成亦可。又，第1環構件61以自水平方向觀察時其上端面成為傾斜之方式形成亦可。
軸構件41以其上端部透過適當手段(例如螺栓)而固定於第1臂21之下端部。又，於軸構件41之上端部與第1臂21之下端部之間，配置有圓環狀之第2環構件62。第2環構件62藉由適當手段(例如螺栓)而固定於第1臂21之下端部。藉此，第2環構件62可隨著第1臂21之旋動而相對於第2臂22旋動。
第2環構件62以其高度尺寸使與第1臂21之基端部側相比第1臂21之前端部側變大之方式形成。具體而言，例如就修正第1臂21之撓曲之觀點而言， 第2環構件62以第1臂21之前端部側之高度尺寸較第1臂21之基端部側之高度尺寸大0.1~1.0mm之方式形成亦可。
又，第2環構件62以其高度尺寸使第1臂21之前端部側之軸心朝向鉛直方向之方式形成(參照圖5及圖6)亦可。換言之，第2環構件62以其高度尺寸，自水平方向觀察時，使第1臂21之前端部成為水平之方式形成亦可。
進一步地，第2環構件62以自水平方向觀察時其下端面成為水平之方式形成亦可。又，第2環構件62以自水平方向觀察時其上端面成為傾斜之方式形成亦可。
又，於第2臂22之上端部，於與第1環構件61之下端面抵接之部分，配置有密閉構件71。於軸承構件51之下端部，於與第1環構件61之上端面抵接之部分，配置有密閉構件72。作為密閉構件71及密閉構件72，例如使用O型環亦可。
同樣地，於軸構件41之上端部，於與第2環構件62之下端面抵接之部分，配置有密閉構件73。又，於第1臂21之下端部，於與第2環構件62之上端面抵接之部分，配置有密閉構件74。作為密閉構件73及密閉構件74，例如使用O型環亦可。
藉由密閉構件71~74，可使第1連接部31之內部空間保持為密閉狀態。因此，例如於將水平多關節機器人100配置於真空腔室內之情形時，可保持該真空腔室內之氣密性。
[水平多關節機器人之作用效果]
其次，一面參照圖1~圖6一面對本實施形態1之水平多關節機器人100之作用效果進行說明。
[第1環構件之作用效果]
圖3係表示習知之水平多關節機器人中之臂之撓曲狀態的示意圖。圖4係表示本實施形態1之水平多關節機器人中之臂之撓曲狀態的示意圖。
首先，於圖3及圖4中，將第1臂21之前端部位於遠離第2臂22之前端部之位置之狀態定義為第1狀態。又，將第1臂21處於第1狀態時於鉛直方向上延伸之假想線Y與第1臂21之基端部之軸心L1A所成之角度設為θA。
同樣地，將第1臂21之前端部位於靠近第2臂22之基端部之位置之狀態設為第2狀態。又，將第1臂21處於第2狀態時假想線Y與第1臂21之基端部之軸心L1B所成之角度設為θB。
如圖3所示，於習知之水平多關節機器人100A中，於第1臂21之前端部處於第1狀態時，對第2臂22之撓曲量附加了第1臂21之撓曲量。因此水平多關節機器人100A整體之撓曲量係第1臂21之前端部處於第1狀態時比第1臂21之前端部處於第2狀態時大。
換言之，於第1臂21之前端部處於第1狀態時假想線Y與第1臂21之基端部之軸心L1A所成之角度θA、與第1臂21之前端部處於第2狀態時假想線Y與第1臂21之基端部之軸心L1B所成之角度θB不同。
即，就習知之水平多關節機器人100A而言，其撓曲量因機器人之姿勢而不同。因此，自教導之位置座標之偏離量因機器人之姿勢而不同，因此有操作者進行之教導作業變得繁雜之虞。
另一方面，如圖4所示，於本實施形態1之水平多關節機器人100中，第1環構件61以其高度尺寸使與第2臂22之基端部側相比第2臂22之前端部側變大之方式形成。
藉此，可修正第2臂22之撓曲，而可減小第2臂22之撓曲對第1臂21之影響。
又，可使第1臂21之前端部處於第1狀態時之第1臂21之撓曲量與習知之水平多關節機器人100A相比變小。因此，可縮小機器人於動作時自教導之位置座標之偏移，而可抑制機器人之作業精度下降。
又，如圖4所示，於本實施形態1之水平多關節機器人100中，以第1臂21之前端部處於第1狀態時假想線Y與第1臂21之基端部之軸心L1A所成之角度θA、及第1臂21之前端部處於第2狀態時假想線Y與第1臂21之基端部之軸心L1B所成之角度θB都成為第1角度θ之方式，形成有第1環構件61。
藉此，於本實施形態1之水平多關節機器人100中，無論機器人之姿勢如何，第1臂21之撓曲量均相同。因此，無論機器人之姿勢如何，自教導之位置座標之偏離量均相同，因此可減輕操作者進行之教導作業之負擔。
[第2環構件之作用效果]
圖5及圖6係表示本實施形態1之水平多關節機器人之重要部分之示意圖。
如圖5及圖6所示，於本實施形態1之水平多關節機器人100中，第2環構件62以其高度尺寸使與第1臂21之基端部側相比第1臂21之前端部側變大之方式形成。
藉此，可修正第1臂21之撓曲，而可縮小自教導之位置座標之偏移。因此可抑制機器人之作業精度下降。
又，於本實施形態1之水平多關節機器人100中，第2環構件62以其高度尺寸使第1臂21之前端部側之軸心(旋轉軸L3)朝向鉛直方向之方式形成。藉此，可使第1臂21之前端部成為水平。因此，可縮小機器人於動作時自教導之位置座標之偏移，而可抑制機器人之作業精度下降。
[變化例1]
其次，一面參照圖7及圖8一面對本實施形態1之水平多關節機器人之變化例進行說明。
本實施形態1中之變化例1之水平多關節機器人之環構件具有配置於基台與第2連接部之間之第1環構件、及配置於第1連接部與另一臂之間之第 2環構件。
又，於本變化例1之水平多關節機器人中，第1環構件以其高度尺寸使一臂之基端部側之軸心與於鉛直方向上延伸之假想線所成之角度成為預先設定之既定之第1角度之方式形成亦可。
以下，一面參照圖7及圖8一面對本變化例1之水平多關節機器人之一例進行說明。
[水平多關節機器人之構成]
圖7係表示本實施形態1中之變化例1之水平多關節機器人之第2連接部附近之概略構成的剖視圖。圖8係表示本實施形態1中之變化例1之水平多關節機器人之第1連接部附近之概略構成的剖視圖。另外，於圖7及圖8中，為了容易理解發明，而於環構件與臂之間形成有間隙，但當藉由適當手段將環構件與臂緊固時，不會形成該間隙。
如圖7及圖8所示，於本變化例1之水平多關節機器人100中，第1環構件61配置於基台20之上端部與第2連接部32中之軸承構件51之下端部之間，第2環構件62配置於第1連接部31中之軸構件41之上端部與第1臂21之下端部之間。
又，如圖7所示，於第2連接部32中之軸構件41之上端部與第2臂22之下端部之間，配置有圓環狀之第3環構件63。第3環構件63以其高度尺寸於第2臂22之前端部側、與第2臂22之基端部側相同之方式形成。
於軸構件41之上端部，於與第3環構件63之下端面抵接之部分，配置有密閉構件75。又，於第2臂22之下端部，於與第3環構件63之上端面抵接之部分，配置有密閉構件76。作為密閉構件75及密閉構件76，例如使用O型環亦可。
進一步地，如圖8所示，於第2臂22之上端部與第1連接部31中之軸承構件51之下端部之間，配置有圓環狀之第4環構件64。第4環構件64以其高度 尺寸於第2臂22之前端部側、與第2臂22之基端部側相同之方式形成。
於第2臂22之上端部，於與第4環構件64之下端面抵接之部分，配置有密閉構件77。又，於軸承構件51之下端部，於與第4環構件64之上端面抵接之部分，配置有密閉構件78。作為密閉構件77及密閉構件78，例如使用O型環亦可。
以此方式構成之本變化例1之水平多關節機器人100亦發揮與實施形態1之水平多關節機器人100相同之作用效果。
(實施形態2)
本實施形態2之水平多關節機器人以自頂壁垂吊之方式構成，環構件以其高度尺寸使與臂之前端部側相比基端部側變大之方式形成。
以下，一面參照圖9~圖14一面對本實施形態2之水平多關節機器人之一例進行說明。
[水平多關節機器人之構成]
圖9係示意性地表示本實施形態2之水平多關節機器人之概略構成之前視圖。另外，於圖9中，將水平多關節機器人之上下方向及前後方向表示為圖示之上下方向及前後方向。
如圖9所示，本實施形態2之水平多關節機器人100於以自頂壁垂吊之方式構成之方面與實施形態1之水平多關節機器人100不同。以下，一面參照圖10一面對本實施形態2之水平多關節機器人100與實施形態1之水平多關節機器人100之差異進行說明。
圖10係表示圖9所示之水平多關節機器人中之第1連接部之概略構成的剖視圖。另外，於圖10中，為了容易理解發明，而於環構件與臂之間形成有間隙，但當藉由適當手段將環構件與臂緊固時，不會形成該間隙。
如圖10所示，於本實施形態2之水平多關節機器人100中，軸承構 件51之上端部藉由適當手段(例如螺栓)而固定於第2臂22之下端部。又，於軸承構件51之上端部與第2臂22之下端部之間，配置有第1環構件61。第1環構件61藉由適當手段而固定於第2臂22之下端部。
又，於本實施形態2之水平多關節機器人100中，第1環構件61以其高度尺寸使與第2臂22之前端部側相比第2臂22之基端部側變大之方式形成。具體而言，例如就修正第2臂22之撓曲之觀點而言，第1環構件61以第2臂22之基端部側之高度尺寸較第2臂22之前端部側之高度尺寸大0.1~1.0mm之方式形成亦可。
又，第1環構件61以其高度尺寸使第1臂21之基端部側之軸心與於鉛直方向上延伸之假想線Y所成之角度成為預先設定之既定之第1角度之方式形成亦可(參照圖12)。更詳細而言，無論第1臂21之姿勢(旋動角度)如何，第1環構件61以其高度尺寸使第1臂21之基端部側之軸心與假想線Y所成之角度均成為第1角度之方式形成。
進一步地，第1環構件61以自水平方向觀察時其下端面傾斜之方式形成亦可。又，第1環構件61以自水平方向觀察時其上端面成為水平之方式形成亦可。
又，於本實施形態2之水平多關節機器人100中，軸構件41之下端部藉由適當手段(例如螺栓)而固定於第1臂21之上端部。又，於軸構件41之下端部與第1臂21之上端部之間，配置有第2環構件62。第2環構件62藉由適當手段(例如螺栓)而固定於第1臂21之上端部。藉此，第2環構件62可隨著第1臂21之旋動而相對於第2臂22旋動。
第2環構件62以其高度尺寸使與第1臂21之前端部側相比第1臂21之基端部側變大之方式形成。具體而言，例如就修正第1臂21之撓曲之觀點而言，第2環構件62以第1臂21之基端部側之高度尺寸較第1臂21之前端部側之高度尺 寸大0.1~1.0mm之方式形成亦可。
又，第2環構件62以其高度尺寸使第1臂21之前端部側之軸心朝向鉛直方向之方式構成亦可(參照圖13及圖14)。換言之，第2環構件62以其高度尺寸，自水平方向觀察時，使第1臂21之前端部成為水平之方式形成亦可。
進一步地，第2環構件62以自水平方向觀察時其上端面成為水平之方式形成亦可。又，第2環構件62亦可以自水平方向觀察時其下端面傾斜之方式形成亦可。
又，於本實施形態2之水平多關節機器人100中，密閉構件71配置於第2臂22之下端部中之與第1環構件61之上端面抵接之部分。密閉構件72配置於軸承構件51之上端部中之與第1環構件61之下端面抵接之部分。
同樣地，密閉構件73配置於軸構件41之下端部中之與第2環構件62之上端面抵接之部分。又，密閉構件74配置於第1臂21之上端部中之與第2環構件62之下端面抵接之部分。
另外，於本實施形態2之水平多關節機器人100中，採用第1環構件61及第2環構件62配置於第1連接部31之形態，但並不限定於此。亦可如實施形態1中之變化例1之水平多關節機器人100般，採用第1環構件61配置於第2連接部32且第2環構件62配置於第1連接部31之形態。
[水平多關節機器人之作用效果]
其次，一面參照圖9~圖14一面對本實施形態2之水平多關節機器人100之作用效果進行說明。
[第1環構件之作用效果]
圖11係表示習知之水平多關節機器人中之臂之撓曲狀態的示意圖。圖12係表示本實施形態2之水平多關節機器人中之臂之撓曲狀態的示意圖。
如圖11所示，於習知之水平多關節機器人100A中，於第1臂21之 前端部處於第1狀態時，對第2臂22之撓曲量附加了第1臂21之撓曲量。因此水平多關節機器人100A整體之撓曲量係第1臂21之前端部處於第1狀態時比第1臂21之前端部處於第2狀態時大。
換言之，於第1臂21之前端部處於第1狀態時假想線Y與第1臂21之基端部之軸心L1A所成之角度θA、與第1臂21之前端部處於第2狀態時假想線Y與第1臂21之基端部之軸心L1B所成之角度θB不同。
即，就習知之水平多關節機器人100A而言，其撓曲量因機器人之姿勢而不同。因此，自教導之位置座標之偏離量因機器人之姿勢而不同，因此有操作者進行之教導作業變得繁雜之虞。
另一方面，如圖12所示，於本實施形態2之水平多關節機器人100中，第1環構件61以其高度尺寸使與第2臂22之前端部側相比第2臂22之基端部側變大之方式形成。
藉此，可修正第2臂22之撓曲，而可減小第2臂22之撓曲對第1臂21之影響。
又，可使第1臂21之前端部處於第1狀態時之第1臂21之撓曲量與習知之水平多關節機器人100A相比變小。因此，可縮小機器人於動作時自教導之位置座標之偏移，而可抑制機器人之作業精度下降。
又，如圖12所示，於本實施形態2之水平多關節機器人100中，以第1臂21之前端部處於第1狀態時假想線Y與第1臂21之基端部之軸心L1A所成之角度θA、及第1臂21之前端部處於第2狀態時假想線Y與第1臂21之基端部之軸心L1B所成之角度θB都成為第1角度θ之方式，形成有第1環構件61。
藉此，於本實施形態2之水平多關節機器人100中，無論機器人之姿勢如何，第1臂21之撓曲量均相同。因此，無論機器人之姿勢如何，自教導之位置座標之偏離量均相同，因此可減輕操作者進行之教導作業之負擔。
[第2環構件之作用效果]
圖13及圖14係表示本實施形態2之水平多關節機器人之重要部分之示意圖。
如圖13及圖14所示，於本實施形態2之水平多關節機器人100中，第2環構件62以其高度尺寸使與第1臂21之前端部側相比第1臂21之基端部側變大之方式形成。
藉此，可修正第1臂21之撓曲，而可縮小自教導之位置座標之偏移。因此可抑制機器人之作業精度下降。
又，於本實施形態2之水平多關節機器人100中，第2環構件62以其高度尺寸使第1臂21之前端部側之軸心(旋轉軸L3)朝向鉛直方向之方式形成。藉此，可使第1臂21之前端部成為水平。因此，可縮小機器人於動作時自教導之位置座標之偏移，而可抑制機器人之作業精度下降。
(實施形態3)
本實施形態3之水平多關節機器人係具備基台及複數個臂者，且水平多關節機器人具備：第1連接部，其配置於2個臂之間，以將一臂旋動自如地連接於另一臂之方式構成；第2連接部，其配置於基台與臂之間，以將臂旋動自如地連接於基台之方式構成；於第1連接部及第2連接部，分別配置有軸構件及軸承構件，以臂之與軸構件之接觸面即第1接觸面、臂之與軸承構件之接觸面即第2接觸面、及基台之與軸承構件之接觸面即第3接觸面中之至少1個接觸面自水平方向觀察時傾斜之方式形成。
又，於本實施形態3之水平多關節機器人中，以設置於地面之方式構成，且第2接觸面及第3接觸面中之至少1個接觸面以自水平方向觀察時與臂之延伸方向上之基端部側相比臂之延伸方向上之前端部側位於上方之方式構成亦可。
又，於本實施形態3之水平多關節機器人中，第1接觸面以自水平方向觀察時與臂之基端部側相比臂之前端部側位於下方之方式構成亦可。
又，於本實施形態3之水平多關節機器人中，第1接觸面以另一臂之基端部側之軸心與於鉛直方向上延伸之假想線所成之角度成為預先設定之既定之第1角度之方式形成亦可。
又，於本實施形態3之水平多關節機器人中，第2接觸面以另一臂之前端部側之軸心朝向鉛直方向之方式構成亦可。
又，於本實施形態3之水平多關節機器人中，於第1連接部及第2連接部中之至少一連接部配置有以將該連接部之內部空間密閉之方式構成之密閉構件亦可。
進一步地，於本實施形態3之水平多關節機器人中，該水平多關節機器人配置於真空腔室內亦可。
以下，一面參照圖15~圖20一面對本實施形態3之水平多關節機器人之一例進行說明。
[水平多關節機器人之構成]
圖15係示意性地表示本實施形態3之水平多關節機器人之概略構成之前視圖。另外，於圖15中，將水平多關節機器人之上下方向及前後方向表示為圖示之上下方向及前後方向。
如圖15所示，本實施形態3之水平多關節機器人100具備手1、操作器2及控制裝置10，以利用手1保持並搬送工件之方式構成。作為工件，例如可舉出半導體晶圓等。另外，手1之構成只要係可保持並搬送工件則可為任意形態。
又，本實施形態3之水平多關節機器人100係以設置於地面之方式構成。
操作器2具備基台20、複數個臂(此處為第1臂(另一臂)21及第 2臂(一臂)22)、第1連接部31、第2連接部32、及第3連接部33。於基台20之內部，配置有控制裝置10。另外，控制裝置10配置於基台20之外亦可。
又，於基台20設置有第2連接部32。第2連接部32具有例如滾珠螺桿機構、驅動馬達、檢測驅動馬達之旋轉位置之旋轉感測器、及檢測對驅動馬達之旋轉進行控制之電流之電流感測器(均未圖示)等，以在上下方向上伸縮且使第2臂22旋動之方式構成。另外，驅動馬達為例如由控制裝置10伺服控制之伺服馬達亦可。又，旋轉感測器為例如編碼器亦可。
於第2連接部32，連接有能夠繞通過該第2連接部32之軸心之旋轉軸L2旋動的第2臂22之基端部。於第2臂22之前端部，經由第1連接部31，連接有能夠繞旋轉軸L1旋轉的第1臂21之基端部。另外，第1連接部31之構成將於下文進行說明。
又，於第1臂21之前端部，經由第3連接部33，連接有能夠繞旋轉軸L3旋轉的手1。第3連接部33具有例如驅動馬達、檢測驅動馬達之旋轉位置之旋轉感測器、及檢測對驅動馬達之旋轉進行控制之電流之電流感測器(均未圖示)等，以使手1旋動(擺動)之方式構成。
控制裝置10具備微處理器、CPU等運算器、及ROM、RAM等記憶器(未圖示)。於記憶器記憶有基本程式、各種固定資料等資訊。運算器藉由讀出並執行記憶器中所記憶之基本程式等軟體，控制水平多關節機器人100之各種動作。
另外，控制裝置10可由集中控制之單獨之控制裝置10構成，由相互協動地分散控制之複數個控制裝置10構成亦可。又，控制裝置10可由微電腦構成，由MPU(Micro Processor Unit)、PLC(Programmable Logic Controller)、邏輯電路等構成亦可。
[第1連接部之構成]
其次，一面參照圖16一面詳細地對本實施形態3之水平多關節機器人100中之第1連接部31之構成進行說明。
圖16係表示本實施形態3之水平多關節機器人中之第1連接部之概略構成的剖視圖。另外，於圖16中，將水平多關節機器人之上下方向表示為圖中之上下方向。又，於圖16中，為了容易理解發明，而於軸構件或軸承構件與臂之間形成有間隙，但當藉由適當手段將軸構件或軸承構件與臂緊固時，不會形成該間隙。
如圖16所示，第1連接部31具有軸構件41及軸承構件51。軸承構件51載置於第2臂22之上端部，藉由適當手段(例如螺栓等)而固定於第2臂22。另外，以下將第2臂22之上端部中之載置有軸承構件51之部分稱為第2接觸面22A。
第2接觸面22A以自水平方向觀察時傾斜之方式形成。更詳細而言，第2接觸面22A以相對於第2臂22之基端部側而言前端部側位於上方之方式形成。具體而言，例如就修正第2臂22之撓曲之觀點而言，第2接觸面22A以第2臂22之前端部側之端部位於較基端部側之端部更靠上方0.1~1.0mm之方式形成亦可。
又，第2臂22之第2接觸面22A以第1臂21之基端部側之軸心與於鉛直方向上延伸之假想線Y所成之角度成為預先設定之既定之第1角度之方式形成亦可(參照圖18)。
更詳細而言，第2接觸面22A以無論第1臂21之姿勢(旋動角度)如何，第1臂21之基端部側之軸心與假想線Y所成之角度均成為第1角度之方式形成。此處，第1角度θ可預先藉由實驗等求出，例如為0.05~0.3°亦可。
軸構件41以其上端部透過適當手段(例如螺栓)而固定於第1臂21之下端部。另外，以下將第1臂21之下端部中之與軸構件41之上端面接觸之部 分稱為第1接觸面21A。
第1接觸面21A以自水平方向觀察時傾斜之方式形成。更詳細而言，第1接觸面21A以與第1臂21之基端部側相比第1臂21之前端部側位於下方之方式形成。具體而言，例如就修正第1臂21之撓曲之觀點而言，第1接觸面21A以第1臂21之前端部側之端部位於較基端部側之端部更靠下方0.1~1.0mm之方式形成亦可。
又，第1臂21之第1接觸面21A以藉由傾斜使第1臂21之前端部側之軸心朝向鉛直方向之方式構成亦可(參照圖19及圖20)。更詳細而言，第1接觸面21A以其傾斜角度使第1臂21之前端部側之軸心朝向鉛直方向之方式形成。換言之，第1接觸面21A以自水平方向觀察時第1臂21之前端部成為水平之方式形成亦可。
進一步地，於第2臂22之第2接觸面22A，配置有密閉構件71。同樣地，於第1臂21之第1接觸面21A，配置有密閉構件72。作為密閉構件71及密閉構件72，例如使用O型環亦可。
藉由密閉構件71及密閉構件72，可使第1連接部31之內部空間保持為密閉狀態。因此，例如於將水平多關節機器人100配置於真空腔室內之情形時，可保持該真空腔室內之氣密性。
另外，第2連接部32之構成將於下述變化例1之水平多關節機器人100中進行詳細說明，但基本上與第1連接部31同樣地構成。於第2連接部32中，以基台20之與軸承構件51之接觸面即第3接觸面和第2臂22之與軸構件41之接觸面即第2接觸面自水平方向觀察時成為水平之方式形成。
[水平多關節機器人之作用效果]
其次，一面參照圖15~圖20一面對本實施形態3之水平多關節機器人100之作用效果進行說明。
圖17係表示習知之水平多關節機器人中之臂之撓曲狀態的示意圖。圖18係表示本實施形態3之水平多關節機器人中之臂之撓曲狀態的示意圖。
首先，於圖17及圖18中，將第1臂21之前端部位於遠離第2臂22之前端部之位置之狀態定義為第1狀態。又，將第1臂21處於第1狀態時於鉛直方向上延伸之假想線Y與第1臂21之基端部之軸心L1A所成之角度設為θA。
同樣地，將第1臂21之前端部位於靠近第2臂22之基端部之位置之狀態設為第2狀態。又，將第1臂21處於第2狀態時假想線Y與第1臂21之基端部之軸心L1B所成之角度設為θB。
如圖17所示，於習知之水平多關節機器人100A中，於第1臂21之前端部處於第1狀態時，對第2臂22之撓曲量附加了第1臂21之撓曲量。因此水平多關節機器人100A整體之撓曲量係第1臂21之前端部處於第1狀態時比第1臂21之前端部處於第2狀態時大。
換言之，於第1臂21之前端部處於第1狀態時假想線Y與第1臂21之基端部之軸心L1A所成之角度θA、與第1臂21之前端部處於第2狀態時假想線Y與第1臂21之基端部之軸心L1B所成之角度θB不同。
即，就習知之水平多關節機器人100A而言，其撓曲量因機器人之姿勢而不同。因此，自教導之位置座標之偏離量因機器人之姿勢而不同，因此有操作者進行之教導作業變得繁雜之虞。
另一方面，如圖18所示，於本實施形態3之水平多關節機器人100中，第2臂22之第2接觸面22A以相對於第2臂22之基端部側而言前端部側位於上方之方式形成。
藉此，可修正第2臂22之撓曲，而可減小第2臂22之撓曲對第1臂21之影響。
又，可使第1臂21之前端部處於第1狀態時之第1臂21之撓曲量與 習知之水平多關節機器人100A相比變小。因此，可縮小機器人於動作時自教導之位置座標之偏移，而可抑制機器人之作業精度下降。
又，如圖18所示，水平多關節機器人100中，以第1臂21之前端部處於第1狀態時假想線Y與第1臂21之基端部之軸心L1A所成之角度θA、及第1臂21之前端部處於第2狀態時假想線Y與第1臂21之基端部之軸心L1B所成之角度θB都成為第1角度θ之方式，形成有第2臂22之第2接觸面22A。
藉此，於本實施形態3之水平多關節機器人100中，無論機器人之姿勢如何，第1臂21之撓曲量均相同。因此，無論機器人之姿勢如何，自教導之位置座標之偏離量均相同，因此可減輕操作者進行之教導作業之負擔。
圖19及圖20係表示本實施形態3之水平多關節機器人之重要部分之示意圖。
如圖19及圖20所示，於本實施形態3之水平多關節機器人100中，第1臂21之第1接觸面21A以與第1臂21之基端部側相比第1臂21之前端部側位於下方之方式形成。
藉此，可修正第1臂21之撓曲，而可縮小自教導之位置座標之偏移。因此可抑制機器人之作業精度下降。
又，於本實施形態3之水平多關節機器人100中，第1接觸面21A以藉由傾斜使第1臂21之前端部側之軸心(旋轉軸L3)朝向鉛直方向之方式形成。藉此，可使第1臂21之前端部成為水平。因此，可縮小機器人於動作時自教導之位置座標之偏移，而可抑制機器人之作業精度下降。
[變化例1]
其次，一面參照圖21~圖23一面對本實施形態3之水平多關節機器人之變化例進行說明。
本實施形態3中之變化例1之水平多關節機器人以設置於地面之 方式構成，第3接觸面以自水平方向觀察時與臂之延伸方向上之基端部側相比臂之延伸方向上之前端部側位於上方之方式形成。
又，於本變化例1之水平多關節機器人中，第3接觸面以臂之基端部側之軸心與於鉛直方向上延伸之假想線所成之角度成為預先設定之既定之第1角度之方式形成亦可。
以下，一面參照圖21~圖23一面對本變化例1之水平多關節機器人之一例進行說明。
[水平多關節機器人之構成]
圖21係表示本實施形態3中之變化例1之水平多關節機器人之第1連接部附近之概略構成的剖視圖。圖22係表示本實施形態3中之變化例1之水平多關節機器人之第2連接部附近之概略構成的剖視圖。圖23係表示本實施形態3中之變化例1之水平多關節機器人中之臂之撓曲狀態的示意圖。
另外，於圖21及圖22中，將水平多關節機器人之上下方向表示為圖中之上下方向。又，於圖21及圖22中，為了容易理解發明，而於臂與軸構件或軸承構件之間形成有間隙，但當藉由適當手段將臂與軸構件或軸承構件緊固時，不會形成該間隙。
如圖21所示，本變化例1之水平多關節機器人100之基本構成與實施形態3之水平多關節機器人100相同，但於第1連接部31中第2臂22之第2接觸面22A以自水平方向觀察時成為水平之方式形成之此點不同。
又，如圖22所示，第2連接部32具有軸構件41及軸承構件51。軸承構件51載置於基台20之上端部，藉由適當手段(例如螺栓等)而固定於基台20。另外，以下將基台20之上端部中之載置有軸承構件51之部分稱為第3接觸面20A。
第3接觸面20A以自水平方向觀察時傾斜之方式形成。更詳細而言，第3接觸面20A以相對於基台20之基端部側而言前端部側位於上方之方式形 成。具體而言，例如就修正第2臂22之撓曲之觀點而言，第3接觸面20A以基台20之前端部側之端部位於較基端部側之端部更靠上方0.1~1.0mm之方式形成亦可。
進一步地，如圖23所示，基台20之第3接觸面20A以第2臂22之基端部側之軸心與於鉛直方向上延伸之假想線Y所成之角度成為預先設定之既定之第1角度之方式形成亦可。
更詳細而言，第3接觸面20A以無論第2臂22之姿勢(旋動角度)如何，第2臂22之基端部側之軸心與假想線所成之角度均成為第1角度θ之方式形成。此處，第1角度θ可預先藉由實驗等求出，例如為0.05~0.3°亦可。
又，如圖22所示，軸構件41以其上端部透過適當手段(例如螺栓)而固定於第2臂22之下端部。另外，以下將第2臂22之下端部中之與軸構件41之上端面接觸之部分稱為第1接觸面22B。第1接觸面22B以自水平方向觀察時成為水平之方式形成。
進一步地，於基台20之第3接觸面20A，配置有密閉構件73。同樣地，於第2臂22之第1接觸面22B，配置有密閉構件74。作為密閉構件73及密閉構件74，例如使用O型環亦可。
藉由密閉構件73及密閉構件74，可使第2連接部32之內部空間保持為密閉狀態。因此，例如於將水平多關節機器人100配置於真空腔室內之情形時，可保持該真空腔室內之氣密性。
以此方式構成之本變化例1之水平多關節機器人100亦發揮與實施形態3之水平多關節機器人100相同之作用效果。
(實施形態4)
本實施形態4之水平多關節機器人係如實施形態3之水平多關節機器人，並將水平多關節機器人以自頂壁垂吊之方式構成，第1接觸面及第3接觸 面中之至少1個接觸面以自水平方向觀察時與臂之延伸方向上之基端部側相比臂之延伸方向上之前端部側位於下方之方式形成。
又，於本實施形態4之水平多關節機器人中，第2接觸面亦可以自水平方向觀察時與臂之基端部側相比臂之前端部側位於上方之方式形成。
以下，一面參照圖24~圖29一面對本實施形態4之水平多關節機器人之一例進行說明。
[水平多關節機器人之構成]
圖24係示意性地表示本實施形態4之水平多關節機器人之概略構成之前視圖。另外，於圖24中，將水平多關節機器人之上下方向及前後方向表示為圖示之上下方向及前後方向。
如圖24所示，本實施形態4之水平多關節機器人100於以自頂壁垂吊之方式構成之方面與實施形態3之水平多關節機器人100不同。以下，一面參照圖25一面對本實施形態4之水平多關節機器人100與實施形態3之水平多關節機器人100之差異進行說明。
圖25係表示圖24所示之水平多關節機器人中之第1連接部之概略構成的剖視圖。另外，於圖24中，為了容易理解發明，而於軸構件或軸承構件與臂之間形成有間隙，但當藉由適當手段將軸構件或軸承構件與臂緊固時，不會形成該間隙。
如圖25所示，於本實施形態4之水平多關節機器人100中，軸承構件51之上端部藉由適當手段(例如螺栓)而固定於第2臂22之下端部。
又，於本實施形態4之水平多關節機器人100中，第2接觸面22A以相對於第2臂22之基端部側而言前端部側位於上方之方式形成。具體而言，例如就修正第2臂22之撓曲之觀點而言，第2接觸面22A以第2臂22之前端部側之端部位於較基端部側之端部更靠上方0.1~1.0mm之方式形成亦可。
又，第2臂22之第2接觸面22A以第1臂21之基端部側之軸心與於鉛直方向上延伸之假想線Y所成之角度成為預先設定之既定之第1角度之方式形成亦可(參照圖27)。
更詳細而言，第2接觸面22A以無論第1臂21之姿勢(旋動角度)如何，第1臂21之基端部側之軸心與假想線Y所成之角度均成為第1角度之方式形成。此處，第1角度θ可預先藉由實驗等求出，例如為0.05~0.3°亦可。
又，於本實施形態4之水平多關節機器人100中，軸構件41之下端部藉由適當手段(例如螺栓)而固定於第1臂21之上端部。
第1接觸面21A以與第1臂21之基端部側相比第1臂21之前端部側位於下方之方式形成。具體而言，例如就修正第1臂21之撓曲之觀點而言，第1接觸面21A以第1臂21之前端部側之端部位於較基端部側之端部更靠下方0.1~1.0mm之方式形成亦可。
又，第1臂21之第1接觸面21A以藉由傾斜使第1臂21之前端部側之軸心朝向鉛直方向之方式構成亦可(參照圖28及圖29)。更詳細而言，第1接觸面21A以其傾斜角度使第1臂21之前端部側之軸心朝向鉛直方向之方式形成。換言之，第1接觸面21A以自水平方向觀察時第1臂21之前端部成為水平之方式形成亦可。
進一步地，於第2臂22之第2接觸面22A，配置有密閉構件71。同樣地，於第1臂21之第1接觸面21A，配置有密閉構件72。作為密閉構件71及密閉構件72，例如使用O型環亦可。
藉由密閉構件71及密閉構件72，可使第1連接部31之內部空間保持為密閉狀態。因此，例如於將水平多關節機器人100配置於真空腔室內之情形時，可保持該真空腔室內之氣密性。
另外，於本實施形態4之水平多關節機器人100中，採用以第1接 觸面21A傾斜之方式形成配置之形態，但並不限定於此。如實施形態3中之變化例1之水平多關節機器人100般，代替第1接觸面，採用以第3接觸面傾斜之方式形成之形態亦可。
[水平多關節機器人之作用效果]
其次，一面參照圖24~圖29一面對本實施形態4之水平多關節機器人100之作用效果進行說明。
圖26係表示習知之水平多關節機器人中之臂之撓曲狀態的示意圖。圖27係表示本實施形態4之水平多關節機器人中之臂之撓曲狀態的示意圖。
如圖26所示，於習知之水平多關節機器人100A中，於第1臂21之前端部處於第1狀態時，對第2臂22之撓曲量附加了第1臂21之撓曲量。因此水平多關節機器人100A整體之撓曲量係第1臂21之前端部處於第1狀態時比第1臂21之前端部處於第2狀態時大。
換言之，於第1臂21之前端部處於第1狀態時假想線Y與第1臂21之基端部之軸心L1A所成之角度θA、與第1臂21之前端部處於第2狀態時假想線Y與第1臂21之基端部之軸心L1B所成之角度θB不同。
即，就習知之水平多關節機器人100A而言，其撓曲量因機器人之姿勢而不同。因此，自教導之位置座標之偏離量因機器人之姿勢而不同，因此有操作者進行之教導作業變得繁雜之虞。
另一方面，如圖27所示，於本實施形態4之水平多關節機器人100中，第2臂22之第2接觸面22A以相對於第2臂22之基端部側而言前端部側位於上方之方式形成。
藉此，可修正第2臂22之撓曲，而可減小第2臂22之撓曲對第1臂21之影響。
又，可使第1臂21之前端部處於第1狀態時之第1臂21之撓曲量與 習知之水平多關節機器人100A相比變小。因此，可縮小機器人於動作時自教導之位置座標之偏移，而可抑制機器人之作業精度下降。
又，如圖27所示，於本實施形態4之水平多關節機器人100中，以第1臂21之前端部處於第1狀態時假想線Y與第1臂21之基端部之軸心L1A所成之角度θA、及第1臂21之前端部處於第2狀態時假想線Y與第1臂21之基端部之軸心L1B所成之角度θB都成為第1角度θ之方式，形成有第1環構件61。
藉此，於本實施形態4之水平多關節機器人100中，無論機器人之姿勢如何，第1臂21之撓曲量均相同。因此，無論機器人之姿勢如何，自教導之位置座標之偏離量均相同，因此可減輕操作者進行之教導作業之負擔。
圖28及圖29係表示本實施形態4之水平多關節機器人之重要部分之示意圖。
如圖28及圖29所示，於本實施形態4之水平多關節機器人100中，第1臂21之第1接觸面21A以與第1臂21之基端部側相比第1臂21之前端部側位於下方之方式形成。
藉此，可修正第1臂21之撓曲，而可縮小自教導之位置座標之偏移。因此可抑制機器人之作業精度下降。
又，於本實施形態4之水平多關節機器人100中，第1接觸面21A以藉由傾斜使第1臂21之前端部側之軸心(旋轉軸L3)朝向鉛直方向之方式形成。藉此，可使第1臂21之前端部成為水平。因此，可縮小機器人於動作時自教導之位置座標之偏移，而可抑制機器人之作業精度下降。
根據上述說明，對本技術領域具通常知識者而言，本發明之多種改良或其他實施形態係顯而易知。因此，上述說明應僅作為例示進行解釋，其係為了向通常知識者教導執行本發明之最佳形態而提供者。可於不脫離本發明之情況下實質上變更其構造及/或功能之詳情。又，可藉由上述實施形態所揭示之 複數個構成要素之適當組合形成各種發明。
[產業上之可利用性]
本發明之水平多關節機器人可使臂之撓曲所致位移量固定而抑制機器人之作業精度下降且實現操作者進行之教導作業之效率化，因此有其功用。
1‧‧‧手
2‧‧‧操作器
10‧‧‧控制裝置
20‧‧‧基台
21‧‧‧第1臂
22‧‧‧第2臂
31‧‧‧第1連接部
32‧‧‧第2連接部
33‧‧‧第3連接部
100‧‧‧水平多關節機器人
L1‧‧‧旋轉軸
L2‧‧‧旋轉軸
L3‧‧‧旋轉軸

Claims (7)

  1. 一種水平多關節機器人，其係具備基台及複數個臂者，上述複數個臂包含第1臂與第2臂；且上述水平多關節機器人具備：第1連接部，其配置於上述第1臂與上述第2臂之間，以相對於上述第2臂將上述第1臂旋動自如地連接之方式構成；第2連接部，其配置於上述基台與上述第2臂之間，以將上述第2臂旋動自如地連接於上述基台之方式構成；及環構件，其配置於上述第1連接部與上述第1臂之間，以其高度尺寸使與上述第1臂之延伸方向上之一端部側相比另一端部側變大之方式形成；上述環構件具有配置於上述第2臂與上述第1連接部之間之第1環構件、及配置於上述第1連接部與上述第1臂之間之第2環構件。
  2. 如請求項1所述之水平多關節機器人，其中上述水平多關節機器人以設置於地面之方式構成，上述環構件以其高度尺寸使與上述第1臂之基端部側相比前端部側變大之方式形成。
  3. 如請求項1所述之水平多關節機器人，其中上述水平多關節機器人以自頂壁垂吊之方式構成，上述環構件以其高度尺寸使與上述第1臂之前端部側相比基端部側變大之方式形成。
  4. 如請求項1所述之水平多關節機器人，其中上述第1環構件以其高度尺寸使上述第1臂之基端部側之軸心與於鉛直方向上延伸之假想線所成之角度成為預先設定之既定之第1角度之方式形成。
  5. 如請求項1所述之水平多關節機器人，其中上述環構件具有配置於 上述基台與上述第2連接部之間之第1環構件、及配置於上述第1連接部與上述第1臂之間之第2環構件。
  6. 如請求項5所述之水平多關節機器人，其中上述第1環構件以其高度尺寸使上述第2臂之基端部側之軸心與於鉛直方向上延伸之假想線所成之角度成為預先設定之既定之第1角度之方式形成。
  7. 如請求項1、4至6中任一項所述之水平多關節機器人，其中上述第2環構件以其高度尺寸使上述第1臂之前端部側之軸心朝向鉛直方向之方式形成。
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