TW201250698A - Testing apparatus and testing method - Google Patents

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20125069$ 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明是有關於一種測試裝置以及測試方法。 【先前技術】 已知有一種被稱作源同步（source-synchronous )的介 面（interface)，其與資料（data)信號一同平行地輸出同 步用的時脈（clock)信號。於專利文獻1中，揭示有對採 用此種介面的被測試元件（device)進行測試的測試裝置。 專利文獻1中記載的測試裝置藉由自被測試元件輸出的時 脈4§號來對資料信號的資料值進行取樣（sampling )，並將 取樣所得的資料值與期待值加以比較。 專利文獻1 :美國專利第7644324號說明書 專利文獻2 :日本專利特開2002_222591號公報 專利文獻3 :美國專利6556492號說明書 然而’有時無法自被測試元件正常地輸出時脈信號。 測試裝置亦必須檢測出此種不良。 【發明内容】 為了解決上述問題，於本發明的第1方案中，提供— 種測試裝置以及測試方法’所述測試裝置對輸出資料信號 與時脈信號的被測試元件進行測試，所述時脈信號表示對 上述資料信號進行取樣的時序’此測試裝置包括：資料獲 取部，以與取樣時脈相應的時序或者與該測試裝置的測試 週期相應的時序信號的時序，獲取上述被測試元件所輸出 的上述資料信號，所述取樣時脈與上述被測試元件所輸出

S 201250698 HZJOjpif t上述時脈錢相應；判定部，基於將上述資料獲取部所 ic取的上述 >料彳§號與期待值進行比較的比較結果，判定 上述被測試元件的良否；以及指定部，指定上述資料獲取 部藉由與上述取樣時脈相應的時序或者與上述時序信號相 應的時序中的哪個時序來獲取上述資料信號。 Λ再者，上述的發明概要並未列舉本發明的所有必要特 欲而且該些特彳政群的次（sub)組合亦可成為發明。 【實施方式】 —以下，透過發明的實施形態來說明本發明，但以下的 實施形態並未限定申請專利範圍的發明。而且，實施形熊 中所說明的所有特徵組合未必是發明内容所必需的。 圖1表示被測試元件200以及對被測試元件2〇〇進行 測試的本實施形態的測試裝置1〇。圖2表示自被測試元件 200輸出的資料信號以及時脈信號的時序。 本實施形態的測試裝置1〇對被測試元件2〇〇進行測 試。於本實施形態中，被測試元件200經由雙向匯流排 (bus)，即雙倍資料速率（Double Data Rate，DDR)介而 來與其他元件授受資料。 DDR介面平行地傳輸多個資料信號DQ與時脈信號 DQS，所述時脈信號DQS表示對資料信號DQ進行取樣的 時序。於本例中，DDR介面例如圖2所示，相對於4個資 料仏號DQ0、DQ1、DQ2、DQ3而傳輸1個時脈信號dqs。 而且，DDR介面相對於時脈信號DQS的速率（rate)，而 傳輸與時脈信號DQS同步的2倍速率的資料信號Dq。 201250698 於本實施形態中，被測試元件200例如為非揮發性的 記憶體元件，經由DDR介面而自其他控制用元件進行資 料的寫入以及讀出。本實施形態的測試裝置10經由此種雙 向匯流排，即DDR介面，來與被測試元件200授受資料 信號DQ以及時脈信號DQS，以對被測試元件2〇〇進行測 試。進而，測試裝置10亦在與被測試元件2〇〇之間授受寫 入致能（write enable)信號以及讀出致能（read enable) 信號等的控制用信號。 圖3表示本實施形態的測試裝置1〇的結構。測試裝置 10具備多個資料端子12、時脈端子14、時序產生部22、 圖案（pattern )產生部24、多個資料用比較器（c〇mparat〇r ) 32、時脈用比較器34、時脈生成部36、多個資料獲取部 38、時脈獲取部40、判定部42、測試信號供給部44、指 定部48及調整部50。 多個資料端子12分別經由雙向匯流排，即DDR介 面，而連接於被測試元件200中的資料信號的輸出入端 子。於本例中，測試裝置10具備4個資料端子12。4個資 料端子12分別經由DDR介面而連接於被測試元件2〇〇中 的4個資料信號DQ0、DQ卜DQ2、DQ3各自的輸出入端 子。時脈端子14經由DDR介面而連接於被測試元件200 中的時脈信號DQS的輸出入端子。 時序產生部22基於在該測試裝置1〇的内部產生的基 準時脈，產生與該測試裝置1〇的測試週期相應的時序信 號。作為一例，時序產生部22產生與測試週期同步的時序

S 6 201250698 信號。 、圖案產生部24產生期待值_，所述麟值圖案表示 自被測試元件200輸出的資料信號的期待值。而且，圖案 產生部24產生測試圖案’所制賴隸示對被測試元件 200供給的測試信號的波形。作為一例，圖案產生部％對 ^於程式（㈣gram)的執行而產生期待值圖案以及測試圖 案。 多個資料用比較器32分別對應於經由ddr介面 與被測試元件授受的多㈣料錢㈣。於 中，測试裝置10具備與4個資料信號DQ〇、dq卜、 DQ3、分別對應的4個資料用比較器32。多個資料用比較器 32:，由對應的資料端子12來接收自被測試元件2⑻ 輸^對應的資料信號。多個資料耻較器32分別將收到 預定的臨限值位準(ievei)進行比較而邏輯 值化，並輸出邏輯值化的資料作號。 用比較器34對應於經^臟介面 Μ 200之間授受的時脈錢吻而設。時脈用 對應的時脈端子14來接收自被測試轉200輸出 的，時脈信號。並且，時脈用比較器34將 行取樣的轉咖。财例資料信號進 V時脈生成部36生成時脈信 201250698 號的2倍速率的取樣時脈。 多個資料獲取部38分別對應於被測試元件200經由 DDR介面而輸出的多個資料信號而設。於本例中，測試裝 置10具備分別與4個資料信號DQ0、DQ1、D(J2、DQ3 對應的4個資料獲取部38。 多個資料獲取部38分別以與時脈信號相應的取樣時 脈的時序或者與該測試裝置1〇的測試週期相應的時序信 號的時序，獲取被測試元件2〇〇所輸出的資料信號。於本 實施形態中’多個資料獲取部38分別以由時脈生成部％ 所生成的取樣時脈的時序或者時序產生部22所產生的時 序信號的時序中的任一者，來獲取對應的資料信號的資料 值。多個資料獲取部38根據指定部48的指定來切換以取 樣時脈或者時序信號中的哪個時序來獲取資料信號。

並且，多個資料獲取部38分別以該測試裝置1〇的内 邛產生的時序信號的時序，輸出所獲取的資料信號。於本 實施形態中，多個資料獲取部38分別以由時序產生部U 所生成的時序信號的時序，輸出所獲取的資料信號的各資 料值。 藉此，多個資料獲取部38可分別以與自被測試元件 2〇〇輸出的時脈信號相應的時序，導入自被測試元件2㈨ 輸出的資料信號，並以與該測試裝置1〇内部的基準時脈 步的時序’輸出所導人的時脈。此時，多個資料獲取部％ ^分別將資料信號的時脈由自制試元件2〇〇輸出的° 仏號改換為在該測試裝置1〇内部產生的基準時脈。而且:

S 8 201250698 取部38可分別以與該測試裂置ι〇内部的基準 二時序’導人自被測試兀件2GG輸出的資料信號。 所部4G對應於被測試元件2GG經由DDR介面 H的時脈信號DQS而設。時脈獲取部4G以與該測試 Ϊ观試週期相應的時序信號的時序，獲取被測試元 斤輸出的時脈信號。時脈獲取部4Q在該測試裝置 ^否自被測試元件200輸出正常的時脈信號進行測試 =ίΓ以與該測試裝置1G的測試週期相應的時序信號 〇 H於本實施形態中，時脈獲取部4〇以時序產 味ϋ所產生的時序信號的時序，獲取表示對應'的時脈信 唬的位準的邏輯值。 狀部42基於將多师料獲取部％分取的資料 待值進行比較的結果，爿定被測試元件細的良 否i於本實施形態中，判定部42對多個資料獲取部38分 別輸出的#料信_ f難、與㈣ 圖案所示_待值進行崎。敎，於本實郷態中ί 疋部42根據多個資料獲取部38所獲取的資料信號的資料 值分別與期待值—致的情況，判定被職元件2GG為正常。 而且判疋#42在該測試裝置1〇對是否自被測試元 件200輸出正常的時脈信號進行測試的情況下，進而對時 脈獲取部4G所獲取㈣脈信號的邏輯值與料脈信號的 期待值進行比較。並且，此時，判定部42根據時脈獲取部 40所獲㈣時脈信號的各邏輯值分触雜值—致的情 況，狀自被測試元件200輸出正f的時脈信號。 2012506¾ 測试彳§说供給部44對應於圖案產生部24所產生的測 試圖案’對被測試元件200供給測試信號。於本實施形態 中’作為測試信號，測試信號供給部44將多個資料信號經 由雙向匯流排’即DDR介面，而輸出至被測試元件2〇〇， 並且將表示所輸出的資料信號的取樣時序的時脈信號經由 DDR介面而輸出至被測試元件200。即，測試信號供給部 44經由多個資料端子12，將多個資料信號dq〇、DQ1、 DQ2、DQ3輸出至被測試元件200 ’並且經由時脈端子14， 將時脈信號DQS而輸出至被測試元件2〇〇。 進而’測試信號供給部44將允許輸出資料的讀出致能 信號作為控制用信號而供給至被測試元件200。藉此，測 試信號供給部44可自被測試元件200將包含儲存在内部的 資料的資料信號DQ經由DDR介面而輸出。 指定部48指定資料獲取部38藉由與取樣時脈相應的 時序或者與時序信號相應的時序中的哪個時序來獲取資料 信號。作為一例，指定部48對應於測試程式的執行，指定 ，料獲取部38是以與取樣時脈相應的時序來獲取資料信 號’還是以與時序信號相應的時序來獲取資料信號。 調整部50於測試之前，會先調整該測試裝置1〇。更 具體=言，調整部50於測試之前，先檢查資料獲取部％ ^的緩衝器是否正常動作。而且，調整部5〇於測試之前， 對為了生成取樣時脈而延遲的時脈信號的延遲量進行調 ’所述取樣時脈用於獲取自被測試元件200輸出的資料 號0 ' 201250698 圖表示k脈生成部36的結構的一例以及資料獲取部 %、的結構的—例。圖5表示資料信號、時脈信號、延遲信 號、第1選通（strobe)信號、第2選通信號以及取樣時 的時序的一例。 吹、貝料獲取部38輸入圖5的（A)所示的包含以預定的 :貝料速率傳送的資料值的資料信號Dq。並且，資料獲取 38以由時脈生成部36所生成的取樣時脈的時序，依 對貝料中所含的各資料值進行取樣。 作為一例，時脈生成部36具有延遲器62、選通產生 σΡ =4及合成部66。作為一例，延遲器62輸入圖5的 所示的自被職元件·輸出的、㈣信號DQ的2倍速 率的時Ed^DQS。並且，延遲器62輸出圖5的° 示的使輸入的時脈信號DQS延遲該時 週期量的_後的延遲信號。 & 1/4 選通產生部64產生圖5的⑼所示的第i選通 所述第1選通信號在延遲##Μ σ 度的脈波（_e)。藉此^時= 上/=具有微小時間寬 ^ ^ 等脈生成邛36可輸出第1選通 述第選通k號表示對資料信號 個資料值進行取樣的時序。 v 丁）乐寸数 而且，選逋屋生部 通信號，所述第2選通信號在°，（E)所不的第2選 小時間寬度的脈波。藉此，日降邊緣具有微 _狐生成部36可輸出第2进 信號，所述第2選通信號表 'JΚ弟2選通 個資料值進行取樣的時序。;=== 201250698. 對資料信號DQ巾的第偶數個f料進行取樣的時序，第2 選通信號也可表示對資料信號DQ中的第奇數個資料進行 取樣的時序。 合成部66輪出圖5的（F)所示的將第1選通信號以 及第2選通彳δ號合成的取樣時脈。作為-例，合成部66 輸出對第1選通錢以及第2選通信號進行邏輯和運算後 的取樣時脈。藉此’合成部66可輸詠樣時脈，所述取樣 時脈表示資料信號DQ中所含的各資料值的眼開放 opening)的大致中心的時序。 而且資料獲取部38具有第1獲取部51、第2獲取 部52、資料選擇器（select〇〇 54、時脈選擇器％以^緩 ，器:58。第i獲取部51以圖5的（F)的取樣時脈的時 序，獲取圖5 # (A)所示的資料信號DQ的各資料值。 作為一例，第1獲取部51包括奇數側正反器（flip flop) 72、偶數側正反器74以及多工器（multiplexer，)%。 奇數側正反器72以第m通信號的時序獲取自被測試 凡件200輸出的資料信號DQ的資料值並保持於内部。偶 反^ 74以第2選通信號的時序獲取自被測試元件 2〇〇 =出的資料信號DQ的資料值並保持於内部。 多工器76以取樣時脈的時序，交替選擇奇數侧正反器 72所保持的資料信號DQ的資料值與偶數側正反器74所 保持的資料信號DQ的資料值，並經由資料選擇器54而供 衝器部58。藉此’第！獲取部51能以與由時脈: 成°丨6生成的取樣時脈相應的時序，獲取資料信號Dq的

S 12 201250698 HZOOjpif 資料值。 相應=取====的時序信號 :作為一例’由時序產生部22產生二 比自被測試元件200輸出的資 的迷率 DQS的速率還高。㈣ :Q以及時脈信號 信號，細购^;^。52可獲取表示資料 正反:=時第序^ 入資料信號DQ的資料值。產生的時序信號的時序，導 :料選擇器54根據指定部48的指定，選擇 :二？獲取的資料值或者由第2獲取 = =，__時序來獲取資料信號時 :自第:獲取部51輸出的資料值傳輸至緩衝器=5: ί號時序信號相應的時序來獲取資: 傳輸至緩Sit 54將自第2獲取部52輪一資料值 時脈選擇器56根據指定部48的指 成部36生朗取_脈或者 ^生 _—者並供給至緩衝n部58 將由時脈生成部/生==:= 58。而且’在指定部48指定以與時序信號相 201250698 至：=56將―生的 緩衝器部58具有多他, 白w μ ι·個條目eiUry)。缓衝器部58以 自時脈_ 56輸出的信號的時 54傳輸的資料值依序緩衝至各條目中。+胃抖選擇益 即，在指定部48指定以與取樣時 資料信號DQ時，緩衝器部58以由時脈 === 取樣時脈的時序，而將自第1獲取部51的多工器7ί ^ 輸出的資料信號DQ的資料值依序緩衝至各條目中广 t在指定部48指定以與時序信號相應的時序來獲取資= #號DQ時’緩衝器部58以由時序產生部 序 信號的，而將自第2獲取部52依序輸出的資 DQ的_貝料值依序緩衝至各條目中。 ，而，，器部58以對應於該測試裝置1〇的測試週 期而產生的時序信號的時序，將各條目中緩衝的資料信 DQ的資料值依照輸入順序而自各條目輪出。並且^衝 器部58將輸出的資料信號Dq的資料值供給至判定部c。 此種時脈生成部36以及資料獲取部38能以與時脈信 號DQS相應的時序或者於該測試裝置1〇内部產生的時^ 信號的時序中的任一時序，獲取自被測試元件2〇〇輸出的 資料信號DQ。並且，時脈生成部36以及資料獲取部％ 在以與時脈信號DQS相應的時序獲取自被測試元件2〇〇 輸出的資料信號DQ時，可將獲取的資料信號DQ的各資 料值改換為基於該測試裝置1〇的内部時脈而產生的時序 201250698 HZJODpif 信號的時序並輪出。 進行測試時，二咖轉即被測試元件200 首券如下所述般執行測試。 置10乂驟S11 + ’測試裝置10選擇於該測試裝 輸出的的時序錢，作為獲取自被測試元件200 二時序。繼而，於步驟S12中，測試裝置10 、隹式元件200正常輸出資料信號以及時脈信號 詳細Γ ’測試裝置10自被測試元件20)0 狀仙及時脈信號’並以自時序產生部22輸出的 時耗號的時序來獲取資料信號以及時脈信號的波形。測 試裝置10基於所獲取的諸錢以及時脈健的波形的 測定結果’判定是否正常輸出㈣信號以及時脈信號。 當自被測試兀件2〇0正常輸出資料信號以及時脈信號 時，繼而於步驟S13中，測試裝置1()選擇與自被測試元 件200輸出的時脈信號相應的取樣時脈，作為獲取自被測 試元件200輸出的信號的時序。繼而，於步驟S14中，測 試裝置10對被測試元件200是否作為記憶體而正常發揮2 能進行測試。 如上所述，測試裝置10能以於該測試裝置1〇内部產 生的時序信號的時序’來獲取自被測試元件200輸出的^ 料信號以及時脈信號。因而’根據測試裝置丨〇，可於被^ 試元件200的功能測試之前’先對資料信號以及時脈信號 是否正常動作進行測試。 201250698 圖7表示進行記憶體元件，即被測 被測試元件20〇是經由二: 二二與其他元件授受資料的記憶體元件。當 置下=賴元件⑽，進行物，測試裝 首先，步驟S21中，測試裝置10對被測試元件· 中的成為測試對象的位址（address)區域寫入預定的次 料。繼而’於步驟S22中，測試裝置10讀出被寫入被二 试兀件200中的成為測試對象的位址區域内的資料。然 後丄於步驟S13中，測試裝置10將讀出的資料與期待= 進行比較，判定被測試元件2〇〇中的成為測試對象的位址 區域是否正常動作。測試裝置10對被測試元件2〇〇中的所 有位址區域執行此種處理，藉此可判定被測試元件2〇〇的 良否。 圖8表示在讀出處理時自測試裝置1〇向被測試元件 200發送的命令（command)以及讀出致能信號、自被測 試元件200向測試裝置1〇發送的時脈信號以及資料信號、 屏蔽（mask)信號以及取樣時脈的時序、與自緩衝器部％ 向判定部42傳輸的資料的時序的一例。當自記憶體元件， 即被測試元件’經由DDR介面來讀出資料時，測試裝 置10進行如下的動作。 、 首先’测s式震置10的測試信號供給部44將資料信聲 以及時脈信號經由DDR介面而輸出至被測試元件2〇〇(時 刻t31)，所述資料信號以及時脈信號表示指示被測試元件 201250698 200輸出資料信號的命令（例如讀出命令）。繼而，測試作 號供給部44對被測試元件200供給允許輸出資料的讀°出^ 能信號（時刻t32)。 貝 繼而，被給予讀出命令的被測試元件2〇〇在自給予續 出命令後經過固定時間後，經由DDR介面而輪出^料= 號DQ (時刻t35)，所述資料信號DQ包含讀出命令所^ 的位址上儲存的資料值。與此同時，被測試元件2〇〇經由 DDR介面而輸出表示資料信號DQ的取樣時序的時脈=號 DQS (時刻〇5)。並且，被測試元件2〇〇在輸出固定 DQ時，結束資料信號DQ以及時脈信號 DQS的輸出（時刻t37)。 另外，被測試元件200在資料信號DQ的輸出期間（時 刻t35〜時刻t37之間）以外的期間，不會驅動㈤w資 料信號DQ的輸出入端子，而設為高阻抗（㈣） 且’被測試元件2〇0在資料信號DQ的輸出期 0 ^時'1 5〜時刻t37之間）之前的固定期間（時刻t33 〜，刻G5)，將時脈信號DQS固定為預定的信號位準例如 二。二ί輯：準。而且，被測試元件2〇0在將時脈信號 、Q 口疋為預定的信號位準的期間之前（時刻t33之前） 以及資料信號DQ的輸出期間之後（時刻t37之後），不會 驅動時脈信號DQS的輸出入端子而設為高阻抗（mz)。 U ^1G的㈣獲取部38在被測試元件200 2身，號的期間（時刻t35〜時刻⑺之間)，以自被 〜疋件輪出的時脈信號DQS的時序，依序導入資料 17 201250698. 信號DQ的各資料值。資料獲取部％將導入的資料 衝至各條目中。如上所述，測試裝置1G於讀出處理中，可 自記憶體兀件’即被測試元件2〇〇，經由DDR介面 資料信號DQ，並以時脈信號DQS _序 ; DQ的資料值。 貝了寸15就 圖9表示本實施形態的測試裝置i 〇中的調整時理 流程。測試裝置1〇於被測試元件2〇〇的測試之前， 該測試裝i 10的調整處理。測試裝置1〇於調整處理^ 例如以下述方式動作。 首先’於步驟S31 +，測試裝置1G檢查多個資料獲 取部38各自具有的緩衝器部58是否正常動作。繼而，於 步驟S32 + ’測試裝f 1G賴於生成取樣時脈的時脈信 號=延遲量進行罐’魏取樣時脈表示於職時獲取^ 料信號的時序。於本例中，須憤裝£ 1〇 _時脈生成部％ 的延遲器62的延遲量進行調整，以輸出取樣時脈，所述取 樣時脈能在眼開放的中心準確地獲取2倍速率的資料信號 的資料值。 °' 圖10表示緩衝器部58的檢查（check)處理（S31) 中的測試裝置10的功能結構。於步驟S31中的緩衝器部 58的檢查處理中，指定部48指定資料獲取部％以與該測 试裝置10的測試週期相應的時序信號的時序來獲取經由 DDR介面而輸入的資料信號。藉此，資料獲取部％於步 驟S31中，以自時序產生部22輸出的時序信號的時序來 獲取所輸入的資料信號並予以緩衝。 201250698. 繼而’調整部50使得具有預定的資料值的調整用資料 信號自測試信號供給部44輸出，並使調整用資料信號緩衝 至資料獲取部38内的緩衝器部58中。此處，自測試信號 供給部44輸出的資料信號經由雙向匯流排，即DDR介 面，而輪出至被測試元件200。因而’在被測試元件2〇〇 未連接於該測試裝置1〇的狀態下，自測試信號供給部44 輸出的資料信號循環返回（loopback)而被供給至對應的 資料獲取部38。因而，調整部50使得調整用資料信號自 測試信號供給部44輸出’並且使資料獲取部38以時序信 號的時序獲取所輸入的信號，藉此可使調整用資料信號缓 衝至資料獲取部38内的緩衝器部58中。 繼而，調整部50對供給至緩衝器部58的調整用資料 信號的資料值與緩衝至緩衝器部58中的調整用資料信號 的資料值進行比較，藉此來檢查緩衝器部58是否正常。作 為一例，調整部50使由緩衝器部58所緩衝的資料值傳輸 至判定部42，使判定部42比較緩衝器部58所緩衝的資料 值與自測試信號供給部44輸出的調整用資料信號的資料 值是否一致，藉此來檢查緩衝器部58是否正常。調整部 50在緩衝益部58所緩衝的資料值與調整用資料信號的資 料值一致的情況下，判斷緩衝器部58為正常。而且，調整 部50在不一致的情況下判斷緩衝器部％不正常。 調整部50在判斷為緩衝器部58不正常的情況下，通 知使用者緩衝态部58不正常。在調整部5〇判斷為正常的 情況下’調整部50驗至時脈錢的延遲量的調整處理 201250698 (S32)〇 檢測===態的測_ 1〇於測試之前，先 測試^ 衝器部58是否正常動作。藉此， ΞΙ I精度良好地測試被測試科。 測試裝置信號的延遲量的調整處理⑽）中的 調整^理咖^結構。圖12絲時脈錢的延遲量的 =里（S32 )中的測試裝置1〇的 中的時脈信號的延遲量的調整處理‘二：S32 12所示的處理。 ^裝置1G執仃圖 以由步驟S41中，指定部48指定資料獲取部％ DDRi=t部36所生成的轉時脈㈣縣獲取經由 ;丨面而輸入的資料信號。藉此，資料獲取部38以由 時脈生成部36所生成的取樣時脈的時序來獲取輸 料信號並予以緩衝。 繼而，於步驟S42中，調整部50將時脈生成部托内 的延遲器62的延遲量設定為預定的初始延遲量。 繼而，於步驟S43中，調整部50自測試信號供給部 44輸出預定的調整用資料信號以及調整用時脈信號，使資 料獲取部38以與調整用時脈信號相應的時序來獲取調整 用資料信號。此處’自測試信號供給部44輸出的資料^號 以及時脈信號經由雙向匯流排’即DDR介面，而輪出至 被測試元件200。因而，在被測試元件200未連接於兮、則 試裝置10的狀態下，自測試信號供給部44輸出的資 號循環返回而被供給至對應的資料獲取部38。而且，自；

S 20 201250698 ,if 脈生成A:二4輸出的時脈信號循環返回而被供給至時 二=0使得調整用資料信號以及 is』 整用時脈信號相應的時序來獲取調整用 眘料步驟S43中，調整部5〇使得判定部42比較 獲取結果與自測試信號供給部44輸出的 取π 38 ϋ的資料值，並基於比較結果來判斷資料獲 口疋否已心取正破的資料值。作為-例，若資料师 部38的餘結果與_讀躲給部 ^ ==r致，則_。判斷為 未獲取正二=。，封—致，則判斷為資料獲取部^ 繼而，於步驟S44+，調整部50判斷步驟S43的产 理^已=預定的處理次數。當在步驟s43中_為1 未執2預定次數的處理時（步驟S44的否），調整部5。 處理則進至步驟S44。於步驟S45中，調整部5〇對資 取部38内的延遲器62的延遲量進行變更。作為= rmr62的延遲量增加或減少預先設定的變化 里並齡部50在結束步驟S45的處理時，使處 返回步驟S43,再次執行步驟S43的處理。 使處理 田在v驟S44中判斷為已執行預定次 驟_的是），調整部5()使處理前缸挪S4642 於步驟S46中，調整部5()基於㈣獲取部％對調整用資 21 201250698 * 1 料信號的獲取結果，對時脈信號的延遲量進行調整，所述 時脈信號用於生成獲取資料信號的時序。 更具體而言，調整部50基於步驟S43中的判斷結果 以及在獲得該判斷結果的狀態下設定的延遲器62的延遲 量’檢測延遲器62的最佳的延遲量。作為一例，調整部 50檢測出延遲量的範圍内的大致中心，以作為最佳的延遲 量’所述延遲量是判斷為資料獲取部38已獲取正確的資料 的延遲量。並且，調整部50對延遲器62進行設定，以使 時脈彳5说以檢測出的最佳的延遲量而延遲。 如上所述，本實施形態的測試裝置10可於測試之前， 先將時脈生成部36内的延遲器62的延遲量設定為最佳 值。。藉此，測試裝置1〇能以自被測試元件2〇〇輸出的時脈 信號的時序來精度良好地獲取自被測試元件2⑻輸 料信號。 以上，使用實施形態說明了本發明，但本發 範圍並不狀於上述實施形態中記載的範圍。^域射 人員當明確，於上述實施形態中可添加多種變更或改良 由申請專利範圍的記載可明確，此種添加有變更或改二 形態亦可包含於本發明的技術範圍内。 义 應留意的是，巾請專利顧、說” 系統、程式以及方法中的動作、過程、步驟^ 奴4的各處理的執行順序只要未特別明示「之前」、「上 =」等，而且只要未將前處理的輸出用於後處理月^則: 夠以任意順序來實現。關於”專利範園、說明書以及辰

S 22 201250698 其 式中的動作流程，即使為便於說明而使用「首先，」 次，」等，亦並非意味著必須以該順序來實施。 【圖式簡單說明】 圖1表示被測試元件200以及對被測試元件2〇〇進_ 測试的本實施形態的測試裝置10。 丁 “圖2表示自被測試元件2 〇 〇輸出的資料信號以及時埘 4¾ "5虎的時序。 义 圖3表不本實施形態的測試裝置1〇的結構。 圖4表不時脈生成部36的結構的以 38的結構的一例。 只又取。p 圖二表示資料信號、時脈信號、延遲信號'第！ #號、第2選通信號以及取樣時脈的時序的一例。通 =6，示被測試元件2〇〇的測試程序的流程圖。 圖7表示進行記憶體元件，即被 〇 能測試時的時序圖。 的功 表示在讀出處理時自測试裝£ ι()向被測 送的時脈信號以及資料信號、屏蔽信號以及 料的時序的一例。 夤 流程圖9表林實施形態關試裝置10中的織時的處理 ㈣圖二器部58的檢查處理(S31)中的測試 裝置10的功能結構。 23

201250698 L 圖11表示時脈信號的延遲量的調整處理（S32)中的 測試裝置10的功能結構。 圖12表示時脈信號的延遲量的調整處理（S32)中的 測試裝置10的處理流程。 【主要元件符號說明】 10 :測試裝置 12 :資料端子 14 :時脈端子 22 :時序產生部 24 :圖案產生部 32 :資料用比較器 34 :時脈用比較器 36 :時脈生成部 38 :資料獲取部 40 :時脈獲取部 42 :判定部 44 :測試信號供給部 48 :指定部 50 :調整部 51 :第1獲取部 52 :第2獲取部 54 :資料選擇器 56 :時脈選擇器 58 :緩衝器部

S 24 201250698t. 62 :延遲器 64 :選通產生部 66 :合成部 72 :奇數側正反器 74 :偶數側正反器 76 :多工器 82 :正反器 200 :被測試元件 DQ、DQ0、DQ卜 DQ2、DQ3 :資料信號 DQS :時脈信號 t31、t32、t33、t35、t37 :時刻 25

Claims (1)

1. 201250698 七、申請專利範圍： ^ —種測試裝置，對輸出資料信號與時脈信號的被測 試元件進行測試，上述時脈信號表示對上述資料信號進行 取樣的時序，上述測試裝置包括： 資料獲取部，以與取樣時脈相應的時序或者與上述測 試裝置的測試週期相應的時序信號的時序，獲取上述被測 试兀件所輸出的上述資料信號，上述取樣時脈與上述被測 5式元件所輸出的上述時脈信號相應； 〇判定部，基於將上述資料獲取部所獲取的上述資料信 號與期待值進行比較的比較結果，判定上述被測試元件^ 良否；以及 ’指定上述取部藉由與上述取樣時脈相 f的時序或者與上述時序信號相應的時料其中之一來蒋 取上述資料信號。 果獲 2時序如產=其範圍第1項所述之測試裝置，更· 時脈來產生上述時置的内部產生的基準 3.如申請專·圍第2項所述 時脈獲取部，以與上述時序請，更包括： 迷被測試元件所輪出的上述時號;應的時序，獲取上 其中，上述資料獲取部以與上述眛 來獲取上述資料信號， 、’序6號相應的時序 S 26 201250698 與上==:=::，的上述資料信號 上述時脈信號與期待值進行比車獲取部所獲取的 上述被測試元件的良否。 並基於比較結果來判定 C第1項所述之測試裝置，其中上述 述被相應的時序，獲取上 述被^輸相獲取上 所獲取的上述資料= 的信號相應的時序而由上，定部所指定 各條目中緩衝的資料信號。、以、〔時序彳§號的時序輸出 列ni二申:青::範圍第1項所述之測試裝置，其中上述 與上述被測試元件授受上述資 祜、，如申清專利範圍第1項所述之測試裝置，其中上述 =試元件是經由雙向_排雜受上述資料信號以及ί 述時脈信號的記憶體元件。 ψ» 忒方去，用於對被測試元件進行測試的測試 置輪出資料信號與時脈信號，上述時脈 』表不對_Li4胃料錢進行取樣的時序，上述測試方法 27 20125069} 上述測，置包括： 述測㈣ϊϋ觀部，讀取樣時脈祕㈣序或者與上 被測㈣週期相應的時序信號的時序，獲取上过 ’、/牛所輸出的上述資料信號，上述取樣時脈盥上& 被測試树所-的上料脈㈣減：从 ,判定部，基於將上述資料獲取部所獲取的上述資 ^信號與驗健行比㈣比較絲，蚊上龍測試元 件的良否；以及 於測試之前’先指定上述資料獲取部藉由盘上述取樣 時脈相應的時序或者與上述時序信號相應的時序之 一來獲取上述資料信號。 ^ S 28