TW201013192A - Inspection fixture, electrode structure and method for manufacturing electrode structure - Google Patents

Description

201013192 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於用以檢查待檢查基板之檢查對象之電特性的檢 查治具、電極構造及電極構造之製造方法。 【先前技術】 就有關設在待檢查基板的配線圖案等之檢查對象電特性的檢 查方法而言，有設置電流供給用接觸件與電壓測量用接觸件之2 個接觸件，並使該2個接觸件同時接觸於檢查點以進行檢查對象 ，檢查的方法(所謂4接點法)(例如專利文獻1)。該4接點法中， 藉由分開電流供給用接觸件與電壓測量用接觸件，由於能將流動 於電壓測量用接觸件與檢查點之_電流抑制到可實質上忽略的 ，此只貝上排除電壓測量用接觸件與檢查點之接觸電阻的 &壓確地啦出電壓測量祕觸件所接觸之2處檢查點間 下並所使狀f知陳針及檢查治具，⑽緣狀態 設置，並_ 絲各檢查點所 因此喊化鱗進展， 治具有人提料利文獻2所揭示的基板檢查 該筒狀接的技術中，於導電性的筒狀接觸件及 間距。w在内精納棒狀接觸件，藉此可對應於狹小 【【裳s 曰本特開2〇〇4彻74號公報 1文獻2】日本特開2007-205808號公報 【發明内容】 f明所欲解決之課題） ,用如專利文獻2所揭示的接觸件時，進行以下之方法··將 .201013192 與檢錄置導通連接的雜部形成與觸件之剖關樣 者使用收納向狀接觸件之凹部形狀的連接器等。 3 然而，此種電極部的構造中，成為直徑比筒狀接觸件之 大的電極部(構件），電極部的間距無法對應於狹小間距，或= 部的構造變複雜，為其問題。 雷極解決之課題為:提供檢查治具、電極構造及 ，極構方法’如上述糊包含如筒狀接觸件及棒狀接 t之構造的接觸件(同軸接觸件)時，適當地利用於此種接觸件 達到電極部之結構的細微化及簡易化。 、’ φ (解決課題之手段） W為ΐϊΐί課題’帽專利範圍第1項之發明為檢查治具， Υ括·複數_，-端導通觸於待檢查基板之檢查對象的檢查 3，另-端往電連接於用以檢查電特性之檢 - Ϊ1;固=二該探針之兩端分娜既定之該檢ί點以 j亚固持該探針，及電極體，包含複數之該電極部；該 iέ: ii 件’辑電材卿成大致筒形形狀；及第2接觸 細長狀，並以與該第1接觸件絕緣狀態收納 t該第接觸件的内部空間；該電極部包含：第1電極部，用以 ϊΐί1接觸f導通接觸；及第2電極部，與該第1電極部不電 電桎邻從：2接觸件導通接觸;且該第1電極部與該第2 電^從頂視祕，以該第！電極部之中心與該第2電極部之中 徑頂視觀察時之該第1電極部的最大寬度小於 又，申明專利範圍第2項之發明，係於依申請專利範圍第1 ίίϊΓϊί查治具中，該第1電極部從頂視觀察，形成與該第2 ϊϋί 尺寸且大致相同的形狀，或形成比該第2電極 冲之尺寸為小且相似的形狀。 ^，申1青專利範圍第3項之發明，係於依申料利範圍第i 5 1 明的"^查治具中，該第2電極部對於探針之徑向配置 在約略中央’該第1電極部以連接該第】電極部與該第2電極部 201013192 的直線對^列有複數探針的排列方向傾斜既定角度所配置。 ^，申请專利範圍第4項之發明，係中 項之發明的檢查治具中，該既定角度約為45度:月寻伽圍弟3 今之圍第5項之發明’係於依中請專利範圍第1 具中，該第1電極部及該第2電極部從該 電極體的表面突出而形成。 〜读 圍第6項之發明，係於依中請專利範圍第！ i 查治具中，該第1電極部及該第2電極部各包 ί某==面，插入該電極體所設置的貫通孔，該待檢 ?出部，《電 基板侧突起。 電極體_表面往該待檢查 夕向你.兮楚1弟電極部之外徑小於該第1接觸件 配置’該第i電極部配置於比該第=:2:内側的方式 該第！接觸件之端部抵接的位置弟2接觸件之外周外侧’且可與 之中心軸大致-致的方式配Ϊ。電極抑其h無第2接觸件 又，申請專利範圍第9項之發明，係於依 ==Ϊ;;ί :該第2電極部以其中心偏離該第2接觸 至，項中 該第2電極部之外徑。 τ η亥弟1電極部之外徑小於 査用圍杳第二=明為電極構造，設置於基板檢 觸於待檢查基板之檢查對下J複數探針：-端導通接 ^ ^ ^ ^ 一"、^，另一端往電連接於用以檢 一電特|±从絲置的電極部;簡針包含：第丨接觸 201013192 ί成:材大致筒形形狀;及第2接觸件，以導電材料 : 該第1接觸件絕緣狀態收納於該第1接 的内π空間’ _極部包含：第 觸;且該第1 部舆該口=從= J ’以該第1電極部之中心與該第 :徑頂視觀察時之該第丨電極部的最大心 ❹ 項之二方J之依申請專利範圍第11 第2電極部之導電性的線狀槿株刀另'形成該第1電極部及該 之固持孔的咖件 分切斷去除使其與制持體成柄伟^線狀構件的突出部 (發明之效果） 部與第1電極 小於第1接觸件之外徑，因此利用部的最大寬度 使電極部間的間距縮窄，即使係以4接件時’可 高可靠性實施之。 按點丟進仃之檢查，也能以 依申請專利範圍第2項所载之發明，由 觀察’形成與第2電極部大致相同尺寸且電極部從頂視 比第2電極部之尺寸為小且相似的形狀形^或形成 間的間距縮短。 口此了進一步使電極部 尤其，第1電極部與第2電極部 一構件，進行成本降低。另-方面，為時’可利用同 握第1及第2電極部的位置。 勺々日似形狀時，可輕易地掌 依申請專利翻第3項所载之發明，由 針之徑向配置在約略中央，第丨t 電極部對於探 電極部的錄轉财碰探針轉财第配2 201013192 置，因此可進一步使電極部間的間距縮短。 依申料圍第4項職讀明，由瓶定肖度 5 度，因此可進一步使電極部間的間距縮短。 、… 依巾料纖圍帛5 _載之發明，纟 電Ϊ部從電極體的表面突出而形成，因此各電極部導通接=^ 及第2接觸件時可更穩定接觸。 、弟 電極:r=第本:項:===2 所，，因此可輕易地製造電極 的電鍍形成，因此可輕易地調節第1及第2電極部二： 部從電極固持構件之表面突起的高度。 电極狀犬出 且可盎第1 ϋϋ部置於比第2接觸件之外周外侧， 可穩ΪΪ性ίί。 的位置’因此各電極部與各接觸件 中=載第二極部… 與第2接觸件可更穩定接觸。 （置，因此弟2電極部 電極部變成2 _叙胃狀 小於===!第1G項所載之發明，胁第1電極部之外和 因此，藉_財發日距更縮短而形成。 ^IVT^ ； 構件之_細持體，======線狀 分切斷去除使其與該固持體成為同平二出=以 201013192 構造。 【實施方式】 (實施發明之最佳形態） [探針之結構] 圖1從财觀驗本發明之—實卿態之檢查治具所使用的 朱、。圖2(a)從侧方觀察圖i之探針所包含的第丨接觸件，圖 從側方觀察圖1之探針所包含的第2接觸件。 ❹ ❹ 依本貝％形態之探針1如圖卜圖2⑻及圖之⑼所示，包含形 J大，筒狀严之第丨接觸件2及細長形狀之第2鋪件3而構 Ϊ與^檢查待檢查基板之檢查對象的電特性。就檢查對象而言， 在待檢查基板的配線設置於舰線圖案的焊錫 a太，者配線圖案及焊錫凸塊二者。就檢查内容而言，可舉例 绫是否導通等的導通檢查；檢查配線圖案間是否絕 將等。尤其，依本實施賴之探針1如後述，形成 由=?= Γ絕緣狀態插入第1接觸件2内的同軸構造，藉 杳點二4 5及第2接觸件2、3電連接於檢查對象的同一檢 ivm點法對檢查對象的電特性作檢查。又，於圖1等 ^，件3顯示比第1接觸件2稍微長的狀態。 示之if如圖2⑻所示，形成A致筒形形狀。圖1等所 微短二二第1接觸件2形成比起後述第2接觸件3稍 觸侔你士、如且Ϊ 又使其中之一(第1接觸件2或第2接 件），t麟細如彈鶴 時接觸於檢舰。 彳_長度’也可使兩接觸件能同 點鱼m圖2:f之接觸件2、3電連接於待檢查基板的檢查 而接觸件;、3本身ί曲由〜與電極部22、23所夾持’ 201013192 23的導通狀態。 例如，該苐1接觸件2可在且赵 中未圖示)設置伸縮部；藉由包^ ^、至少1處(本實施形態 觸於檢查點的情形，以檢查時可同第2接觸件3也接 形成大致線圈彈簣形狀，於第 ' 觸方式形成。該伸縮部可 變形例也可在第1接觸件2 = 轴方向彈性伸縮。又， 縮部係使时射光等將形成M } ^處紅侧部。該伸 割成大致螺旋狀卿成。形成第！接觸件，筒f構件的一部分切 用金屬材料(例如鎳(Ni)或鋼鈹(CuBe)等）之琦狀構件的材料使 Ο 式插入第1接觸件2内）。該第大致一致方 成細長的棒狀，但亦可形成餘 + 7 2_示’也可形 本實施形態中雖不進行詳細^件2 _筒狀形狀。 筒形形狀時，與第i接觸件2 5 J，觸件3形成大致 設置伸縮部。此時，伸縮^於第ί接樹If 3方向的至少1處 縮的大致線圈彈簧形狀。χ，、@ 的軸方向形成彈性伸 向的複數處設。之軸方 件3之筒狀構件的—部分切 :，指形成第2接觸 〇 之外徑訂件2内’因此第2接觸件3 採用在構成第2接觸又^3由^材，如樹脂)構成的絕緣層。可 201013192 .’ Μ在第2接觸件3之外周側面與第i 可舉=如王間隔物。就間隔物之構成而言， 用繞机於、緣同狀或薄片狀者。為薄片狀的間隔物時，可採 成繞叹於第2接觸件3之外周側面而插人第i接觸件2内等的^ ^ > ϊί^® \%m^ 5^i〇〇mm ° ΙΟΟμιη，其師尬#定从^ f外徑幻1設定為例如50〜 向的县卜為例如40〜90卿。第2接觸件3之軸方 ο 卿m。’其外徑咖設定為例如20〜 設定為例Λ〜:所稍騎狀構件時，制徑政 電材=細^=:=:即轉 形狀或棒狀形ί成、=成大致筒形 端而焊錫凸塊等容易受損傷的檢杳^，^2_件2、3之前 所受的損傷，一面可使第〗及第2一接 ^一面減輕該檢查對象 f狀態(例如接觸電_定。_此點，例^ 象的電連 的檢查對象，有時檢查對象的損件之别Μ入痒錫凸塊等 又’較佳係於構成探針1的第1及 f本實施形態中為1處)分別設置沿軸方向的至少1 由故置此種伸縮部，軸方向壓縮時的排斥力1定%甘的伸縮部。藉 及弟2接觸件2、3的前端接觸於待檢查基板_對1$:= 201013192 第1及第2接觸件2、3的爺*山〜太办丄# 接觸件2、3的後端與基板檢杳f f體2，以及第1及第2 穩定，並可使第！及第電極部之間的推壓力 電連接狀態(例如接觸第電阻3 ”檢查對象及電極部之間的 線圏彈箸狀之伸縮部:第 =成接以易地製作包含大致 π有可撓性的構件形成，其中戈 =2接觸件3本身以 ^藉此也可使探針1成為明時 的同轴接解，射適7者的情形’若是如上述所說明 [檢查治具之結構] 圖3係顯示使用圖1之摄斜沾分士 & 治具之結構的剖面圖。圖4放大顯干：2之一實施形態的檢查 圖3之檢查治具之各探 圖3的部分結構。圖5顯示 〇 電極部的位置關係等。t^ ^ 23第8 2接觸件與第1及第2 明而省略探針固持構件2卜^ ，逑圖8、圖10巾，為方便說 第2細件3為棒狀構件的情Θ圓8、圖9之結構中’顯示 構中’顯示第2接觸件3為“構圖1〇、… 該檢查治具20如圖3至圖5再:的障，。 針固持構件21、與探斜〗w不，包含至少1個探針1、探 及電極固持構件24,此檢查、;^且目^的第1及第2電極部22、23、 對象的電特性。又，探針^檢查待檢查基板6之檢查 第1及第2電極部22、23相當^^目當於依本發明之固持體， 22、23 ’與電極固持構件24°卩，組裝第1及第2電極部 圖3所示之例中，探斜^5成的構件相當於電極體。 <别端la接觸於待檢查基板6之配 12 201013192 .3的前端二’ =;31及第2接觸件2、 ^〇^ 觸件Γ中，第1接觸件2之後端2b與第2接 端2a ^ 朗平面方式配置；帛1 _件2之前 狀;T狀方式配置，且如圖3戶标，^第2 ❿，件2之刖端2a配置於比第2接觸件3 歸 2 ㈣ 2 _二^ 了確只地接觸於電極部22、23與檢查點。 絕緣如圖3所示，係固持探針1的構件，主要以 另Ϊϋϋΐΐ有插人穿通有探針1的複數之插通孔26。 側從探針^‘I持在插通孔26内的狀態Τ，探針1之前端ia 探針固持構件21之待檢查基板6侧的面突出。另 第2 ί??lb形成可與由後述_固持構件24所固持之第1 ί 針！ 重&= 固持構㈣也可在探 ❹=而在構植_構件21的=8空出^^^^ ，1電極部22與第2電極23如圖3及圖4所示於 it 件3逐-觸續設置，ϊ=ί 接:種第fid觸件3之後端北接觸(抵接)而電連 第電極部22、23的組合以其組數與探針1之數 1及第2電極部22、23的更詳細結構如後述。 電極ίΐϊ i主要以絕緣材料形成，分別插入第1及第2 一 28，細敝各貫通跡 第1及第2電極部22、23各包含電極本體31、32與突出部 13 201013192 成^^極本體3卜32以大致線狀的導電體(例如金屬 ίίΐ屬線之外·面絕緣被覆的附有被覆之金屬線)構成，其待 ίί ίΓ的部分從電酬雜件24之與躲查紐6相反— ==件24的貫通孔27、28而受固持。此受固持的 '㈣杜本體31、32之待檢查基板6側的端面31a、必位 在與電極固持構件24之待檢查基板6側的表面⑽大致同一平面 上0 以電卿成料極本體31、32的端面仙、瓜， ^電極固持構件24之表面24a往待檢查基板6 ❹ 24之絲％ ^的高度H3 圖4) =ί Ζ 。又，有關突出部33、34之製程的更詳細内 奋’依據圖6(a)及圖6(b)敘述如後。 及I Ϊ3ί岐具將安裝有探針1的探針固持構件21， 夂Γί弟i及弟電極部22、23的電極固持構件24互相固定時， ίί:3 ，極部22、23的突出部33、34抵接至對應 、木十之第1及第2接觸件2、3的後端2b、3b而電連接。 ◎ 端邱ί it f於第1及第2電極部22、23之待檢查基板6側的 ϊi持構件24之表面24a往躲查基板6側突起的 二，因此可簡單且確實地抵接至對應第1及第2電極 隐m 1及第2電極部22、23的電極本體31、32插入電極 固持構件24所設置的貫通孔27、Μ而受固持，且其待檢查基板6 側之端面31a、32a位在與電極固持構件24的表面地大致同一平 ^突^二f，固持構件24之表面24&往待檢查基板6側突 ίΓ ΐ ί以電鐘形成於第1及第2電極部22、23之電 砧制、32的待檢查基板6側的端面31a、32a。因此，可輕易 檢查基板6側之端部從電極固持構件24之表面2如往待 檢查基板6側突起的第1及第2電極部22、23。 又由於犬出部33 ' 34以厚度調節較容易的電鍍形成，因此 14 201013192 可輕易地调節第1及第2電極部22、23之突出部33、34從電極 固持構件24之表面24a突起的高度H3、H4。 ° *在此，參照圖6⑻及圖6(b)，說明第1及第2電極部22、23 之突出部33、34的製程。首先，如圖6⑻所示，製作第】及 電極部22、23的電極本體31、32。該圖6⑷之結構中，電極本體 31插入電極固持構件24所設置的貫通孔27、28而受固持， 且其待檢查基板6侧的端面3ia、32a位在與電極固持構件24的 ^面24a大致同一平面上。就此結翻製作方法而言，可採用如 ί 作電極本體31、32的金屬線_有被覆之金 • 電極瞻構件24的貫通孔27、28，並以切除機 94 1主刀具)切除該金屬、線(或附有被覆之金屬線)從電極固持構件 ί ΐΛ24Λ往待檢查基板6側突出的部分(突出部分）。以此方 去’可^易地製作第1及第2電極部22、23。 太·^1著^如λα圖剛所示’將如上述設於電極固持構件24之電極 =液S 二31a、32a浸在電鍵槽36的 此，電極本體3 ;,321端面31a、32a施加電鍍。藉 24" 極部2=^4’ 7 4 $ 5所㈣1電極部22與第2電 中心分離的方^己置。第第i 22之:心與第2電極部23之 中心的距離設定為大於^丨之中心與第2電極部23之 半徑的和。又，觀_^°= 之半徑與第2電極部23之 態中為外徑R5)設定為小i第22的最大寬度(本實施形 施形態之第i電極部22 之外徑幻1。亦即，本實 造）。因此，可使第外周的多重構造(例如同心圓狀構 :即使係則接點法進行之檢距縮窄， 15 201013192 第1及第2電極部22、23之從待格杏里 狀呈大致圓形，但可採用矩形等任音：~f板6側觀察的平面形 示之結構中，第！電極部22的平面^^ °又史圖4及圖5所 形狀設定為尺寸及形狀相同。因此2電極部23的平面 及第2電極部22、23，達到成本件以形成第i 圖U所示之結構，第丨電極部22他^冓而言’如後述 平面形狀也可為尺寸不同之相似报此^狀/、第2電極部23的 地掌握第丨及第2電極部22、23 ^位置為^形狀時，有可輕易 又，本實施形態中，如圖4乃圃1 出部34的外徑R6設定為超過第2接^ 2電極部23之突

Q 第丨接觸件2之内徑防的4 : ，，且小於 突出部34的外徑R6設定為大二，本貫施形態中， 於第？垃艇政h从"句大於弟2接觸件3之内徑R32，並小 幻的私卜徑R31的尺寸。又’第1電極部22之突出部 之突出部34的外徑R6呈大致相同中係一第2電極部23 接網^卜’第2電極部23以其外緣部位於比對應之探針1之第1 觸=2的内周2c内侧的方式所配置。更具體而言，本實施 3 胃電極部23以其外緣部位於比對應之探針1之第2接觸= 3的外周3e内側的方式所配置。 〈弟2接觸件

Q 件3 的第外 配置於比對應之探針1之第2接觸 傻而3b的外周3c外側，且可與第丨接觸件2之 軸cilf/更佳係第1雜部22以最接近於對應之探針1之令心 心致位於第1接觸件2之後端2b的内周Μ外 極部檢查治具2G時…面確實地避免第1電 觸件2接接觸’或者第2電極部23誤與第1接 接觸4不良情形，一面可使第！及第2接觸件2、3 、與第1及第2電極部22、23確實地抵接而電連接。 ’本實施形態中，第2電極部23以其中心C23與包含戶斤粗 應之弟2接觸件3的探針1之中心軸Cl(此中心轴Cl與第i ^ 16 201013192 件2之中心軸大致一致)大致一致的方式配置。藉此，可使第2電 極部23之周緣部的任一個部分(或者涵蓋大致全周的部分)確實地 與第2接觸件3的後端3b抵接而電連接。 、又，本實施形態中，如圖5所示，以各組合的第2電極部23 為基準而觀察時，可變更此時第]電極部22對第2電極部 分離方向。圖5所示之結射，喊接各組合的第丨電極部2 中心與第2電極部23之中心的直線L1對複數之探針i並排 =方向L2呈既定角度θ(例如約45度)傾斜的方式，配置有 ❹ ❿ ί Li =22、23。藉此’即使探針1間的間距變短時，也可_ 極部Μ3之各組合間的間距縮短以因應之。 匕效，於將既疋角度θ設絲約45度時最有效發揮。 就有關此點的變形例而言，如圖7所示，也可以 人 中"與第2電極部23之中响直線u，與i f電的排細u呈大致平行的方式，配置第^及第 但即使為1彳輸構件的情形， 以下’記触上述實卿態 微偏=;=;=件r電=其中一 ㈣與第丨ι(此中心 此時，第1電極部22盥第土致)的方式配置。 第i接觸件2與第2二'牛、3第上電山極部23設定為可分別接觸於 第2電極部23的分離距離以t因此，第1電極部22與 間隙量之尺寸的方式形成。一有第1接觸件2與第2接觸件3之 ^ 34 5 $ 2 ^ 23 且第2電極部23之突屮都^接觸件3之内徑大致一致的尺寸， 分導通接觸方式形成，笛3 以與第2接觸件3之後端面的一部 件2之後端面的一部八 ，f部22之突出部33以與第1接觸 #刀導通接觸方式形成。 201013192 圖10及圖11所示之變形例中，由於第！電極部2 R5與第1接觸件2之後端面的一部分導通接觸，因此盥 ^ 件2之徑向的厚度大致相同或稍微大而形成。第2電極3 徑R6以比第2接觸件之外徑小或大致相同的方式形: 電極部22的外徑R5設定為小於第2電極部23的 ί f Ϊ二f、23之各組合間的狹小^化:: 弟2電極邛23的突出部34與第2接觸件3之周緣 且突出部34之前端的一部分收納於第2接觸半接=並 成，第2電極部23可穩定而與第2接觸件3導通二错 使第2接觸件3的位置穩定，實地使 導f接f = f件2、3導通接觸…該圖ω之結構中， 筒狀構件，但也可利用棒狀構件。 妾觸件3利用 又’圖11中，各個電極部22、23以並 但也可如圖5配置在45度的位置，以進一牛H方式所配置； 間的間距縮短，此時更能因應凸塊的狹小間=。極部22、23 的外二;的;==之第1接觸件2 通孔26魄朗晴#件21的插 的抵接部(例如段差H_接於該銬°卩而防止探針1脫離 1以壓縮U在上=抵接部與電極部22々之間使探針 23 之n第mm之電極構造中’顯示第2電極部 的情形。此時，第n牛33之中==配±置於大致同軸方式形成 徑以大於第2接觸件3’第2電極部23之外 棒狀構件時，第 方式形成。又’第2接觸件3為 小於^接觸件3之外徑的方^小於第1接觸件2之内徑或 配^3之中心軸與第2 厚度的方式形成:觸於第2接觸件3之 接觸件3之部分底面導通接觸方式 201013192 =置。又’第2接觸件3為棒狀構件 慮第1接觸件2與第2細件3的、弟電和# 23之外徑考 第1接觸件2之減的尺寸。的视糾度，轉成不接觸於 又，第1電極部22盘第：> 带^：· + 此由於以如上述製造方法所形成，而形严相同外徑。 可輕易地製造。 匕藉由使用相同構件，即導電線， 【圖式簡單說明】 探針圖1㈣方齡依本翻之—實施雜之檢查治具所使用的 圖2(a)從侧方觀察圖i之探 從側方觀察圖！_之探針所包含的第^第1接觸件，圖2(b) 治具之結構^圖1之探針的依本發明之—實施形態的檢查 圖4放大顯示圖3的部分結構。 件與第1及第針所包含的第1及第2接觸 圖6⑻、6(b)係第i及第2電極 ❹ 圖7顯示圖5所示之結構的變形^犬出稍製程齡明圖。 ^f示圖3及圖4所示之檢查治具的變形例。 圖9顯示圖8所示之結構 二，例 件與第！及第2電極部的位針所包含的第^及第2接觸 =S示ί 3及圖4所示之檢查治具的另-變形例。 觸件: 【主要元件符號說明】 1〜探針 la〜探針之前端 19 201013192 lb〜探針之後端 2〜第1接觸件 3〜第2接觸件 2a、3a〜接觸件之前端 2b、3b〜接觸件之後端 2c〜第1接觸件之後端的内周 2d〜第1接觸件之後端的外周 3c〜第2接觸件之後端的外周 6〜待檢查基板 7〜焊錫凸塊 20〜檢查治具 21〜探針固持構件 22〜第1電極部 23〜第2電極部 22a〜第1電極部之接近於探針之中心軸的部分 24〜電極固持構件 22=電^_版彳嫩級侧的表面 27、28〜貫通孔 31、32〜電極本體 31a、32a〜電極本體之待檢查基板側的端面 33、34〜突出部 36〜電鍍槽 37〜電鍍溶液 C1〜探針之中心軸 C23〜第2電極部之中心 H3

H4〜突出部從電極固持構件之表面突 L1〜連接各組合的第〗電極部之 度 直線 ”乐2電極部之中, L2〜複數探針並排之排列方向 20 201013192 1電極部之最大寬度) R5〜第1電極部之突出部的外 R6〜第2電極部之突出部的外徑 R21、R31〜接觸件之外經 R22、R32〜接觸件之内徑 Θ〜連接各組合的第1電極部之中心與第2電極部之中心 線對複數探針並排之排列方向所傾斜的既定角度 〜

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Claims (1)

1. 201013192 七、申請專利範圍： 1.一種檢查治具，包括： 點，接觸於待檢查基板之檢查對象的檢查 ξ部 洲崎查電難之檢錄置的電 極邱固針之兩端分別弓丨導至既定之該檢查點及該電 極部，並固持該探針；及 ％ 電極體，包含複數之該電極部； 其特徵在於： 該探針包含： 第1接觸件，以導電材料形成大致筒形形狀；及 第2，觸件，轉騎卿成細長狀，並以與 絕緣之狀態收納於該第1接觸件的内部空間；、 該電極部包含： ’ 第1電極部，用以與該第1接觸件導通接觸；及 件導=極Γ赫第11極部待_，咖第2接觸 ❹ 部之21極部從頂視觀察，係成該第1電極 _ _ 電極°卩之中心分離的方式配置，頂視觀察時之 该第1電極部的最大寬度小於該第丨接觸件之外徑。… 觀^申'1項之檢查治具，其巾，該第1電極部從頂視 ί开成電極部纽相同的尺寸且大致相_形狀 邮成比料2電極部之尺寸為小且相似的形狀。 3.如申請專利範圍第丨或2項之檢查治具， 電極部配置在探針之徑向約略中央， 部的直 繼第2電極 22 201013192 .4·如申請專利範圍第3項之檢查治具，其中，該既定角度約為45 度。 5.如申請專利範圍第1或2項之檢查治具，其中，該第1電極部及 該第2電極部從該電極體的表面突出而形成。 6·如申請專利範圍第1或2項之檢查治具，其中，該第1電極部及 該第2電極部各包含： 電極本體，呈線狀，插入設於該電極體的貫通孔，該待檢查 ❹基板侧的端面位在與該電極體的表面同平面；及 — 突出部，以電鍍方式形成於該電極本體的該端面，自該電極 體的亥表面朝§亥待檢查基板侧突起。 7·如申請專利範圍第2項之檢查治具，其中， 該第2電極部之外徑小於該第1接觸件之内徑； 該第2電極部配置於比該第1接觸件之内周更内側； ★該第1電極部配置於比該第2接觸件之外周更外側，且可與 該第1接觸件之端部抵接的位置。 、 ❹8.如申請專利範圍第7項之檢查治具’其中，該第2電極部係配置 成使其中心與該第2接觸件之中心軸約略一致。 9. 如申請專利範圍第7項之檢查治具，其中，該第2電極部係配置 成使其中心偏離該第2接觸件之中心軸。 10. 如申晴專利範圍第7至9項中任一項之檢查治具，其中，該第 1電極部之外徑小於該第2電極部之外徑。 極構造，設置於基板檢查用治具；該基板檢查用治具包 括複數板針：該等探針的一端導通接觸於待檢查基板之檢查對象 23 201013192 置極部f端導通接觸在電連接於用以檢查電特性之檢查裝 其特徵在於： 該探針包含： ί 成大致m形狀；及 絕緣ΐ狀成細長狀，並以與該第1接觸件 該電極部包含接觸件的内部空間； ❹ ίϋίΓ用以弟亥第1接觸件導通接觸；及 件導ί接觸；_ί，3第1電極部不電性接觸，而與該第2接觸 部之if 第2電極部從頂視觀察，係成該第1電極 該第1 之中心分離的方式配置，頂視觀察時之 弟電極邻的最大寬度小於該第1接觸件之外徑。 構造之製造方法，係㈣專利範圍第11項之電極構造 其特徵在於： 將分別形成該第i電極部及該第2電極部之導電性 Q 件貝穿配置於具有固持該線狀構件之固持孔的固持體；且、’、冓 將從該固持體突出之該線狀構件的突出部分切斷 與該固持體成為同平面。 岐除’使其 八、圖式： 24