TWI325960B - - Google Patents

Description

1325960 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係有關一種於電性檢查LCD面板或LSI晶片等 之半導體積體電路等時所使用之接觸探針。 【先前技術】 以往 於杈查LCD面板等時，透過複數個接觸探針電 性接觸IXD面板的複數個連接端子，並由檢查裝置施加各 種測試信號來進行LCD面板的檢查。 作為該接觸探針係有線探針，該線探針以與柱塞以及 由配線所構成的彈簧部相同的材f所形成。該線探針以預 定間距配置複數個於板件上， ^ ^ ^ ^ ,ζ. 千上且各柱塞的針狀則端部係接 觸被檢查物的端子，# ϋ Λ# 邱心簣部的反作用力使針狀前端 口 Ρ與被才双查物的端子之間墟與士姐 觸。此時’各柱塞係滑 動於用以引導柱塞的板件開口部。 此外，有-種接觸探針，係將於前端 ^線狀體一體地遠炷却_ w从 t狀的極、，·田 W並使極1筒接二:成有具備彈性的凹… 利文獻4 4)。 嵌入於該極細線狀體（參照例如專 專利文獻1 專利文獻2 專利文獻3 專利文獻4 【發明内容] 曰本專利第3680295號公報 曰本特開2004-152495號公報 曰本特開2005-99037號公報 日本特開平6-148236號公報 (發明所欲解決之課題） 318880 5 材質往之線探針—般係使用與柱塞及彈簧部相同的 質：：成，而使用滿足電性抵抗、耐摩擦性以及生產性 、材質的鎢或粉末高速鋼等來製造。 電阻值高且難以進行 “、'、而鶴或粉末南速鋼具有電性 高頻測量的問題點。 方面上述線&針係單線構造，且考慮過間距後 、、定線徑。例如，在間距150#ra以下時，線徑 至 此時錢料，料有接觸f 、上。並且，在該線探針中，線徑為5^，全/為:5 4 ’容許電流界限為1至3A。 本發明乃有蓉於上述問題而研創者，其目的在於提供 :種能滿足接觸探針間的期望間距，且能進—步滿足接觸 探針所需的荷重特性、耐摩擦特性、以及電氣特性等之各 種特性。 (解決課題的乎段） 鲁 為了％決上述課通並達成本目的，本發明之接觸探針 具有接觸被檢查物之柱塞、接觸檢查裝置侧的連接端子之 柱基、以及设置於各柱塞間的配線，並組合對應前述被檢 查物而選擇的具有期望特性之各柱塞以及對應前述被檢查 物而選擇的具有期望特性之配線而進行機械性連接。 此外，本發明之接觸探針具有接觸被檢查物之柱塞、 與一端連接於該柱塞且另一端接觸檢查裝置侧的連接端子 之配線，並組合對應前述被檢查物而選擇的具有期望特性 之前述柱塞以及對應前述被檢查物而選擇的具有期望特性 318880 6 1 之前述配線而進行機械性連接。 此外’於上述發明中，本發明之接觸探針，其前述配 線的另—端係、拋祕町el finishlng)處理。 二卜’：上述發明中，本發明之接觸探針，其前述柱 土〃則述配線係使用管接頭予以機械性連接。 * ί外’於上述發明中，本發明之接觸探針，其前述柱 土與别述配線係使用密捲繞螺旋彈簧予以機械性連接。 ㈣二T述發明中’本發明之接觸探針，其前述配 線係被以期望間距捲繞的線圈所覆蓋。 :於上述發明中’本發明之接觸探針，相對於前 、:=: 向，使各柱塞的位置、或者前述柱塞與前 另—端之位置具有偏位，並將前述配線整體撓曲 此外’於上述發明中’本發明之接觸探針，其前述柱 ^係於切削加工時或電鑄加工時’形成結合前述配線之溝 線係二有=述發明中’本發明之接觸探針，其前述配 綠係轭加有低電阻材料之電鍍。 (發明的效果） 窠月之接觸探針中’由於具有接觸被檢查物之柱 基、接觸&查裝置側的連接端子之柱塞、以及設置 塞間的配線’並組合對應前述被檢查物而選擇的具有期望 :性之各柱塞以及對應前述被檢查物而選擇的 性之配線•械性連接，故料财彈性㈣現接觸探= 318880 1325960 .以種密捲繞彈簧部5a、5c，能防止附著於間距捲繞彈簧部 .5b的銲錫擴散。 接觸彳木針1 〇於探針區塊2〇内以預定間距配置有複數 個探針區塊20具有層狀的上侧絕緣部2丨、層狀的下側 :緣。卩22以及側壁絕緣部23，而形成配置有複數個接觸 才木針10之内部空間^上侧絕緣部21及下側絕緣部係分 別設置有對應的開口部21a、22a，且於開口部化插入柱 塞1 ’而達到柱塞1的定位及引導的功能。此外，於開口 零部22a插入柱塞2，而達到柱塞2的定位及引導的功能。 開口部21a、22a’其剖面雖為圓形，但各自的直徑分別形 成比柱塞1、2的直彳f稍大。 、柱塞1係具有脫離制止部6，用以防止後端側的柱塞 脫離至探針區塊20的外部。該脫離制止部6的直徑形成為 比開口部21a的直徑稍大y則壁絕緣部23的高度係設定為 在不對配線施予荷重的狀態下，脫離制止部6接觸至上側 #絕緣部21的内壁，且柱塞2的前端抵接於連接區塊3〇的 連接端子31。 在此，將探針區塊20及連接區塊30形成為一體，當 將柱塞1的前端側移動至被檢查物的端子側且推壓柱塞γ 的前端使其接觸被檢查物的端子時，如第2圖所示，柱塞 ^朝下端方向被推動且配線3整體撓曲成弓狀，而具有^ 簧之功能。此時，由於配線3整體繞曲成弓狀，故能實現 具有低彈簀係數的彈簧。 此外，配線3亦可使用矩形線，使其撓曲具有方向性。 318880 9 1325960 配線3的材f係11由鋼琴線、鶴（w)線、鈹鎳（BeNl)線' „ 及鈹銅（BeCu)料㈣現，且 性、或為了改變彈菩輯柹夕H 值及问頻特 支泮尹'4寺性之目的，而於表面施予鍍銲錫、 ㈣以及鍍鎳等。此外， ^知錫 狂卷丄、2除了 SK材料之外，係 藉由仙咐7等來實現，並根據需求施予鑛銘、鍍鎳等: 並且，柱塞卜2係藉由切削加工、沖壓加工、電铸加工、 以及钱刻加工等來製造。 此外’柱塞1 ' 2與配線3雖使用鲜錫接合，但亦可使 用雷㈣接I置之雷㈣接Μ接合，其熔接方法亦可使 用點炼接（spot welding)予以接合。此外，亦可使用冲壓 等塵製予以接合。 並且，如第3圖所示，亦可使用管接頭14、15代替密 捲繞彈簧朗4、5。該情況T，藉由_來連接柱塞卜2 與配線3。 此外，於配線3設置絕緣皮膜，用以防止衝程時鄰接 籲的配線間的電性接觸。該情形下，較佳為於喊3預先形 成絕緣皮膜時，使用已形成該絕緣皮膜狀態之物者來製 造。然而，必須預先去除與柱塞丨、2電性接觸部份的絕緣 皮膜。 在此’於該實施形態1中，依據檢查内容，使柱塞1、 2及配線3具有最適當的材質和最適當的構造，且藉由上 述密捲繞彈簧接頭4、5等，將這些最適當的材質和最適當 的構造之組合予以機械性連接’故能柔軟地製造最適當的 接觸探針10。例如’能容易製造具有配線3之接觸探針1〇, 10 318880 1325960 ··:该:3係具有符合檢查的容許電流值之線材的剖面 :二二吏用高頻信號來檢查時，能容易製造具有將配 3之接觸^ 降低，且於表面施予有各種電鍍的配線 且’柱塞i、1亦能根據檢查對象變更具 =材貝和構造的柱塞。亦即，由於解除柱塞卜2及配 «二：Μ來製造的限制，故能藉由將這些柱塞及配 ==結合而柔軟地製造具有荷重特性、耐摩擦特性以 電特性等之最適當的特性之接觸探針。 此外’在本實施形態i中所使用的配線3因未於配線

It的凹凸形狀，故不會有因設置特殊的形狀導致 ，讀的剖面積減少且降低容許電流的問題。此外，由於藉 ::::::繞曲產綱作用’故能實現具一 (實施形態2) 《▲接著，針對本發明實施形態2加以說明❹在上述實施 ·” 1巾’係將開口部21a、22a的中心軸形成為一致，而 在實施形態2中，係將開口部21a、22a的中心軸錯開。 <第4圖係顯示本發明實施形態2的接觸探針11的組裝

狀態之圖。如第4圖所示，設置各開口部21a、22a’使I “邑緣。P 21的開口部21a的中心軸Cl與下側絕緣部22 的開口部22a的中心軸C2具有預定的偏位。該偏位為〇 1 至lmm左右。 如第4圖所示，當柱塞 318880 11 1 開口。卩22a時，配線3成為S形狀且朝探針區塊2〇偏位 1325960 ^备柱塞1成為衝程狀態時，由於配線3預先成為5 ’故配線3朝S形狀的潰壓方向撓曲。亦即，能將配 線3之撓曲規制於連結開口部⑴與開口部^的方向。 在本實施形態2中，由於能藉由開口部21a、22a中心 ^ =位來限制配線3的撓曲方向，故能防止_的配線 互相接觸，且能促進短間距化。 (實施形態3) 接著，針對本發e㈣實施形態3加以說明。在本實施 形態3中’於實施形態」中戶斤顯示的接觸探針1〇的配線s 進一步設置有密捲繞彈簧41。 第5圖係顯示本發明的實施形態3的接觸探針的構成 之圖。如第5圖所示’該接觸探針4()係於實施形態i中所 不的接觸k針1 〇的配線3進—步捲繞有密捲繞彈菁〇。 其他的構成與實施形態i相同，並於相同的構成部份附註 相同的符號。 ⑯在接觸探針4G中’由於在配線3進—步設置密捲繞彈 ^ 故此增大配線3的彈簧係數。並且，進行彈簧係數 的微調整時’使用間距彈菁代替密捲繞彈菁41即可。此 外田6又置岔捲繞彈簧41時，亦能增大容許電流值。 (實施形態4) 接著，針對本發明的實施形態4加以說明。在上述實 ί形態1至3中’皆於接觸探針的兩端連接柱塞，而在本 貝％形悲4中，其構造為僅將被檢查物的柱塞連接於配 線’未設置檢查裝置側的柱塞。 318880 12 第6 ϋ係顯示本發明實施形態4的接觸探針的構成之 如第6圖所不，接觸探針5〇之構成為刪減實施形能1 :所示的接觸探針1()的柱塞2及密捲繞彈簧接頭5,幼 、田於配線3的配線53係具有能直接接觸連接端子的長度。 亚且’藉由滾筒拋光加工將配線53兩端的端部形成球2 並且’猎由密捲繞彈簧接頭4及銲接接合等將柱塞！側的 配線端部連接於柱塞1。 。在本貫施形態4中，由於無需設置柱塞2，故能以簡 單的構成柔軟地實現具有最適當㈣性之接觸探針。S (實施形態5) · > ,接著，針對本發明的實施形態5加以說明。在上述實 4中’藉由密捲繞彈簧接頭4及銲接接合等來連接 柱塞1及配線53,而在本實施形態5巾，係不使用密捲繞 彈簧接頭4來連接柱塞及配線。 第7圖係顯示本發明實施形態5的接觸探針的構成之 圖，。如第7圖所示’對應柱塞1的柱塞61係、於後端側設置 溝渠62，其係夾著對應於柱塞53的柱塞63之—端。藉由 該溝渠62夾著配線63的-端，並藉由施予焊接、填隙、 釘入以及雷射熔接等，將柱塞61與配線63予以連接。並 且’配線63的柱塞61側的端部無需施予滚筒抛光加工等。 此外’柱塞61的溝渠62能藉由對柱塞61施予沖壓加工或 電鑄加工來形成。 在本實施形態5中，由於未使用用於接合被檢查物側 的柱塞與配線之密捲繞彈簧接頭4,故能進一步以簡單的 318880 13 1325960 ··.構成柔軟地實現具有最適當的特性之接觸探針。 -(產業上的利用可能性） 如同上述I發明之接觸探針係適用於電性檢查LCD 面板和LSI晶片等之半導體積體電路等。 【圖式簡單說明】 第1圖係顯示本發明實施形態1的接觸探針之構成之 J2圖係顯示第1圖所示之接觸探針的衝程狀態之圖。 43圖係顯示使用管接頭接合柱塞與 針的構成之圖。 水町心按觸才木 圖 第4圖係顯示本發明實施形態2的接觸探針之構成 之 圖 第5圖係顯示本發明實施形 態3的接觸探針之構成 之 圖 第6圖係顯示本發明實施形態4的接觸探針之構成之 圖 第7圖係顯示本發明實施形態5的接觸探針之構成之 【主要元件符號說明】 :::、61 柱塞 3、53、63 配線 5 密捲繞彈簧接頭4a、4c ' e〜 4b、5b間距捲繞彈簧部6 _ C密捲繞彈簧部 10、u、40、50、60_:⑽制止部 14、15管接頭 別探針區塊 318880 14 1325960 21 上側絕緣部 21a、 22a開口部 22 下側絕緣部 23 側壁絕緣部 30 接觸區塊 31 接觸端子 41 密捲繞彈簧 62 溝渠 Cl ' C2 中心軸 15 318880

Claims (1)

1. I3?5960 第95149159號專利申請案 (99年3月1曰） 十、申請專利範圍： 1. 一種接觸探針’具有接觸被檢查物之柱塞、接觸檢查裝 置側的連接端子之柱塞、以及設置於各柱塞與各柱塞之 間的配線，並將對應前述被檢查物而選擇的具有期望特 性之各柱塞以及對應前述被檢查物而選擇的具有期望 特性之配線予以組合並使用密捲繞螺旋彈簧予以機械 性連接，前述密捲繞螺旋彈簧由二個密捲繞彈簧部及夾 !於該二個密捲繞彈簧部之間的間距捲繞彈簧部所構 成L前述間距捲繞彈簧部係藉由施加銲錫或進行硬銲而 使剷述柱塞與前述配線連接。 2.種接觸探針，具有接觸被檢查物之柱塞、以及一端連 接該柱塞且另一端接觸檢查裝置侧的連接端子之配 線’並將對應前述被檢查物而選擇的具有期望特性之前 述柱塞以及對應前述被檢查物而選擇的具有期望特性 之配線予以組合並使用密捲繞螺旋彈餐予以機械性連 接’前述密捲繞螺旋彈簧由二個密捲燒彈簧部及失於該 =個密捲繞彈簧部之間的間距捲繞彈簧部所構成，前述 2距捲繞彈簧部係藉由施加銲錫或進行硬銲而使前述 柱塞與前述配線連接。 3. 如申請專利範圍第2項之接觸 另一端係經滾筒拋光處理。 4 ^配線的 4. 如申請專利範圍第丨至3 中，尨—丄 項之接觸探針， 5如由,以期望間距捲繞的螺旋彈簧覆蓋前述配線。 如申請專利範圍第1至3項中任1之接觸探:其 318880修正版 16 1325960 〆 ,* 第95丨49159號專利申請案 • 中，使各柱塞的位置、哎去俞("年3月ia) 土 罝及者别述柱塞與前述配線的另一 端間之位置相對於前述柱塞的滑動方向具有偏位，而使 前述配線整體撓曲成s狀。 6. 如申請專利範圍第1至3項中任一項之接觸探針，其 中’前述柱塞係於切削加工時或電鑄加工時，形成結合 前述配線之溝渠。 7. 如申請專利範圍第1至3項中任一項之接觸探針，其 赢 中’將前述配線施予低電阻材料的鍍覆。

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