JP2013246116A - 通電試験用プローブ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明に係る通電試験用プローブは、プローブ基板の回路への接続端を有し靭性を示す第1の金属材料で形成された針本体部と、針先を有する針先部であって前記針本体部の前記第1の金属材料よりも高い硬度を示す第2の金属材料で形成され、前記針本体部に連続する針先部とを備え、前記針本体部及び前記針先部に、前記針先から前記接続端に至る同一金属材料から成る電流経路を形成したことを特徴とする。
【選択図】図4
Description
12 被検査体
24、62 プローブ
24a、62a 針本体部
24b、62b 針先部
38(38a、38b)、68 金属層
Claims (8)
- プローブ基板の回路への接続端を有し靭性を示す第1の金属材料で形成された針本体部と、針先を有する針先部であって前記針本体部の前記第1の金属材料よりも高い硬度を示す第2の金属材料で形成され、前記針本体部に連続する針先部とを備え、前記針本体部及び前記針先部には、前記針先から前記接続端に至る同一金属材料から成る電流経路が形成されている、通電試験用プローブ。
- 前記同一金属材料は前記第1又は第2の金属材料のいずれかである、請求項1に記載の通電試験用プローブ。
- 前記同一金属材料は前記第2の金属材料であり、該第2の金属材料は前記第1の金属材料よりも電気抵抗率(Ωcm)が小さい、請求項2に記載の通電試験用プローブ。
- 前記第1の金属材料は、ニッケル又はニッケル合金であり、前記第2の金属材料はロジウムである、請求項3に記載の通電試験用プローブ。
- 前記電流経路は前記針先部から前記針本体部を経る電流経路に対するバイパス路として作用し、該バイパス路は、その経路中に、異質金属の接合によって形成される界面を有しない、請求項1に記載の通電試験用プローブ。
- 前記同一金属材料は前記第1又は第2の金属材料よりも電気抵抗率(Ωcm)の小さな金属材料である、請求項1に記載の通電試験用プローブ。
- 前記針本体部が、前記回路基板への接続端から離れる方向へ伸長する取付け部分と、該取付け部分の伸長方向とほぼ直角に伸長するアーム部分と、該アーム部の先端から前記取付け部分の伸長方向と同一方向に伸長する台座部分とを備え、前記針先部が前記台座部分の伸長端から突出するカンチレバー型プローブである、請求項1に記載の通電試験用プローブ。
- 前記針本体部が前記回路基板への接続端から離れる方向へ棒状に伸長し、前記針先部が前記針本体部の先端から該針本体部とほぼ同一方向に伸長する垂直型プローブである、請求項1に記載の通電試験用プローブ。
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