JPH0729838U - 座屈応力減少機構付垂直動作式プローブカード - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 プローブカードの厚さ寸法をカンチレバータ
イプのものと同等にし、かつ狭小ピッチ、多ピンのプロ
ーブカードにも対応でき、しかもカンチレバータイプと
まったく同じ取付環境で使用できるようにする。 【構成】 半導体ウエハに形成された集積回路の電気的
諸特性の検査に用いられるものであって、集積回路に形
成された電極に対して垂直方向から接触するプローブ１
００の略中央部に略く字形状の屈曲部１１０が形成され
ており、プローブ１００の屈曲部１１０は座屈が発生し
ても隣接するプローブ１００に接触することがない方向
を向いている。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、例えば半導体ウエハに形成された集積回路や、ＴＡＢ、ＬＥＤの被 検査物の電気的諸特性の検査に用いられる座屈応力減少機構付垂直動作式プロー ブカードに関する。

【０００２】

【従来の技術】

従来の座屈方式のプローブカードは、図５に示すように構成されている。すな わち、裏面側に複数本のプローブ６００が垂下されたプリント基板５００と、こ のプリント基板５００の裏面にスペーサ７００を介して取り付けられた位置決め 板８００とを有し、プローブ６００は位置決め板８００に開設された貫通孔８１ ０を貫通している。前記プローブ６００には、直線状の金属線が使用されている 。そして、プローブ６００は、所定の圧力で図示しない被検査物である集積回路 の電極に接触させられる。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、上述した従来の座屈方式のプローブカードには以下のような問 題点がある。 すなわち、プローブの電極に対する座圧荷重は、プローブの長さ寸法、断面二 次モーメント及び弾性計数によって決定されるが、プローブの直径が小さいため 、一般的なカンチレバータイプのプローブカードの接触圧より大きくなる。この ため、適当な接触圧を得るためには、プローブの長さ寸法を大きくしなければな らず、プローブカードの厚さ寸法が増大する傾向がある。

【０００４】 また、プローブの座屈方向が一定していないため、プローブの間の隙間が少な い狭小ピッチ、多ピンのプローブカードであると、隣接するプローブと接触する おそれがあるので、狭小ピッチ、多ピンのプローブカードには使用できないとい う問題もある。

【０００５】 さらに、短いプローブを用いて適当な接触圧を得るために、プローブが電極に 接触した直後には半導体ウエハを僅かに移動させて接触点をプローブの中心軸か らそらすようにすることも考えられるが、このような構成は試験装置を複雑にす る等の欠点をももたらす。

【０００６】 本考案は上記事情に鑑みて創案されたもので、プローブカードの厚さ寸法をカ ンチレバータイプのものと同等にし、かつ狭小ピッチ、多ピンのプローブカード にも対応でき、しかもカンチレバータイプとまったく同じ取付環境で使用できる 座屈応力減少機構付垂直動作式プローブカードを提供することを目的としている 。

【０００７】

【課題を解決するための手段】

本考案に係る座屈応力減少機構付垂直動作式プローブカードは、被検査物の電 気的諸特性の検査に用いられるものであって、前記集積回路に形成された電極に 対して垂直方向から接触するプローブの略中央部に屈曲部が形成されている。

【０００８】

【実施例】

図１は本考案の一実施例に係る座屈応力減少機構付垂直動作式プローブカード の概略的正面図、図２はこの座屈応力減少機構付垂直動作式プローブカードに用 いられるプローブの斜視図、図３は座屈が発生した状態のプローブの斜視図、図 ４はプローブの折曲部の方向を示すためのプローブの底面図である。

【０００９】 本実施例に係る座屈応力減少機構付垂直動作式プローブカードは、例えば半導 体ウエハに形成された集積回路の電気的諸特性の検査に用いられるものであって 、前記集積回路に形成された電極に対して垂直方向から接触するプローブ１００ の略中央部に屈曲部１１０が形成されている。

【００１０】 この座屈応力減少機構付垂直動作式プローブカードは、プリント基板２００と 、このプリント基板２００の裏面側に垂直に取り付けられている複数本のプロー ブ１００と、このプローブ１００の位置決めを行う位置決め機構３００とを有し ている。

【００１１】 プリント基板２００には所定の導電パターン (図示省略) が形成されており、 当該導電パターンにプローブ１００が接続されている。

【００１２】 一方、プローブ１００は、タングステン等の金属線から形成され、中央部に略 く字形状の屈曲部１１０が形成されている。このプローブ１００の先端は、先細 に形成されている。なお、以下では屈曲部１１０より上の部分を上部１２０、下 の部分を下部１３０として説明を行う。

【００１３】 上部１２０と下部１３０との中心軸は、図２に示すように、同一直線Ａ上にあ る。また、屈曲部１１０は直線Ａからずれて形成されている。

【００１４】 かかるプローブ１００は、プリント基板２００の裏面側に垂直に取り付けられ るが、図４（Ａ）に示すように、屈曲部１１０は隣接するプローブ１００の屈曲 部１１０と同一方向を向くように取り付けられている。これは、屈曲部１１０で 座屈が発生した場合に、屈曲部１１０の方向がランダムであると、隣接するプロ ーブ１００に接触するおそれがあるからであり、同一方向を向くようにしておく と、プローブ１００同士の接触を防止することができるのである。

【００１５】 位置決め機構３００は、プリント基板１００の裏面側に取り付けられるもので あって、第１のスペーサ３１０と、この第１のスペーサ３１０によってプリント 基板２００に対して平行に取り付けられる上部位置決め板３２０と、この上部位 置決め板３２０の下面側に取り付けられる第２のスペーサ３３０と、この第２の スペーサ３３０によってプリント基板２００に対して平行に取り付けられる下部 位置決め板３４０とを有している。

【００１６】 第１のスペーサ３１０の厚さ寸法は、プローブ１００の上部１２０の長さ寸法 より小さく設定されている。一方、第２のスペーサ３３０の厚さ寸法は、プロー ブ１００の屈曲部１１０の長さ寸法より若干大きく設定されている。

【００１７】 上部位置決め板３２０と下部位置決め板３４０とには、プローブ１００の配置 パターンに対応した複数個の貫通孔３２１、３４１が開設されている。上部位置 決め板３２０の貫通孔３２１にはプローブ１００の上部１２０が、下部位置決め 板３４０の貫通孔３４１にはプローブ１００の下部１３０がそれぞれ貫通してい る。従って、屈曲部１１０は、上部位置決め板３２０と下部位置決め板３４０と の間に位置することになる。

【００１８】 次に、上述したような構成による座屈応力減少機構付垂直動作式プローブカー ドの作用等について説明する。 この座屈応力減少機構付垂直動作式プローブカードを図示しない試験装置に装 着する。そして、半導体ウエハに対してアライメントを行った後に、プローブ１ ００の先端を集積回路の電極に圧接する。

【００１９】 すると、プローブ１００は、図３に示すように、屈曲部１１０から座屈する。 この座屈によって、電極に対して適当な接触圧（数グラム〜数十グラム）を確保 することができる。この屈曲部１１０における座屈は、屈曲部１１０の方向が決 まっているので、隣接するプローブ１００の屈曲部１１０と接触することがない 。また、プローブ１００の上部１２０と下部１３０とは、それぞれ貫通孔３２１ 、３４１を貫通しているので、座屈が発生した場合にもその位置がずれることは ない。

【００２０】 なお、上述した実施例においては、プローブ１００の屈曲部１１０は、隣接す るプローブ１００の屈曲部１１０と同一方向を向いているとして説明したが、図 ４（Ｂ）に示すように、複数列にわたるプローブ１００がある場合にも適用でき る。また、図４（Ｃ）に示すように、隣接するプローブ１００の屈曲部１１０が 反対の方向を向いていても隣接するプローブ１００に接触しなければ同様の効果 を得ることができる。

【００２１】

【考案の効果】

本考案に係る座屈応力減少機構付垂直動作式プローブカードは、半導体ウエハ に形成された集積回路等の被検査物の電気的諸特性の検査に用いられるものであ って、前記被検査物である集積回路に形成された電極に対して垂直方向から接触 するプローブの略中央部に屈曲部が形成されている。従って、プローブカードの 厚さ寸法を従来のカンチレバータイプのものと同等にすることができる。

【００２２】 また、前記屈曲部は略く字形状に形成されており、当該屈曲部は座屈が発生し ても隣接するプローブに接触することがない方向を向いているので、狭小ピッチ 、多ピンのプローブカードにも対応できる。

【００２３】 さらに、従来のように、プローブを電極に接触させた後に半導体ウエハ等を移 動させる必要もないから、カンチレバータイプとまったく同じ取付環境で使用で きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例に係る座屈応力減少機構付垂
直動作式プローブカードの概略的正面図である。

【図２】この座屈応力減少機構付垂直動作式プローブカ
ードに用いられるプローブの斜視図である。

【図３】座屈が発生した状態のプローブの斜視図であ
る。

【図４】プローブの折曲部の方向を示すためのプローブ
の底面図である。

【図５】座屈方式のプローブカードの概略的正面図であ
る。

【符号の説明】

１００ プローブ １１０ 屈曲部 ２００ プリント基板 ３００ 位置決め機構

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)考案者 松岡 敬二 兵庫県尼崎市西長洲町２丁目５番13号 日 本電子材料株式会社内

Claims (5)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 被検査物の電気的諸特性の検査に用いら
   れるものであって、前記被検査物に形成された電極に対
   して垂直方向から接触するプローブの略中央部に屈曲部
   が形成されていることを特徴とする座屈応力減少機構付
   垂直動作式プローブカード。
2. 【請求項２】 前記屈曲部は略く字形状に形成されてい
   ることを特徴とする請求項１記載の座屈応力減少機構付
   垂直動作式プローブカード。
3. 【請求項３】 前記プローブの屈曲部は座屈が発生して
   も隣接するプローブに接触することがない方向を向いて
   いることを特徴とする請求項１又は２記載の座屈応力減
   少機構付垂直動作式プローブカード。
4. 【請求項４】 前記プローブの屈曲部は隣接するプロー
   ブの屈曲部と同一方向を向いていることを特徴とする請
   求項３記載の座屈応力減少機構付垂直動作式プローブカ
   ード。
5. 【請求項５】 前記プローブの屈曲部は隣接するプロー
   ブの屈曲部とは逆の方向を向いていることを特徴とする
   請求項３記載の座屈応力減少機構付垂直動作式プローブ
   カード。