JPH01189932A - プローブカード - Google Patents

プローブカード

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Publication number
JPH01189932A
JPH01189932A JP1513388A JP1513388A JPH01189932A JP H01189932 A JPH01189932 A JP H01189932A JP 1513388 A JP1513388 A JP 1513388A JP 1513388 A JP1513388 A JP 1513388A JP H01189932 A JPH01189932 A JP H01189932A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pad
probe card
needle
chip
pin
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP1513388A
Other languages
English (en)
Inventor
Kenji Suzuki
健司 鈴木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Instruments Inc
Original Assignee
Seiko Instruments Inc
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Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Instruments Inc filed Critical Seiko Instruments Inc
Priority to JP1513388A priority Critical patent/JPH01189932A/ja
Publication of JPH01189932A publication Critical patent/JPH01189932A/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、ＩＣ試験時にＩＣのパッドに接触する針を有
するプローブカードに関する。
〔発明の概要〕
本発明は、プローブカードにおいてそのプローブカード
の針を被試験ＩＣのパッドに対して垂直に立てることに
より、ＩＣチップ上の無作為の位置に存在するパッド針
を立てることを容易にしたものである。
〔従来の技術〕
従来は、第２図に示すようにプローブカードにおける針
２は、窓穴３の外周部からＩＣのパッドに向かって斜め
に取り付けられていた。
なお、１はプローブカード、４はコンタクトビン、６は
ＩＣチップである。
〔発明が解決しようとする問題点〕
上記のようなプローブカードでは、ＩＣチップ上の中央
付近などの無作為な位置に存在するパッドへ針を立てる
ことが難しいという欠点を有していた。
〔問題点を解決するための手段〕
上記問題点を解決するために本発明においてはプローブ
カードの針を第１図に示すようにＩＣのパッドに対して
垂直に取り付けた構成としたことにより、ＩＣチップ上
の無作為な位置に存在するパッドへ針を立てることを容
易にした。
〔作用〕
プローブカードの針を上記のように構成することにより
、プローブカード上の任意の位置に針を立てることが可
能となる。
〔実施例〕
以下に、この発明の実施例を図面に基づいて説明する。
第１図は、本発明のプローブカードの斜視図である。プ
ローブカード１の針２をＩＣチップ６上のパッド７に対
して垂直に取付けることにより、ＩＣチップ６上の任意
の位置に存在するパッド７への針当てが容易になり、ま
た、プローブカードの設計及び製作時の高精度化を有利
にする。
第３図は、本発明にかかる実施例を示すもので、プロー
ブカード１に針２を垂直に取付けることにより、ＩＣチ
ップ上に任意に位置するパッドへの針当てが容易になる
。第４図は、前記第３図のＡ−Ａ’線に沿った断面図の
一部であり、プローブカード１から垂直に取付けられた
針２の取付は箇所５は、ＩＣチップ６の上に任意に位置
するパッド７と一対１の位置に存在するため、前記プロ
ーブカードの設計時、針２の取付位置の設計が容易にな
り、また前記プローブカードの製作時、針２の先端位置
の精度を容易に向上することができる。
第５図は、プローブカードｌに垂直に取付けた針２の実
施例の１つを示すもので、計２の一部８を例えばＳ字形
に湾曲させることにより、計２がＩＣのパッド７と接触
する際に計２の先端とパッド７との間に発生する圧力を
前記湾曲部８に逃がして低下させて前記パッド７の故障
等を防ぐことができる。
第６図は、第５図を用いて説明した実施例の他の実施例
であり、この場合は針２を弾力性のある物質９を含む構
造として計２とＩＣのパッド７との間に発生する圧力を
低下させる。
〔発明の効果〕
本発明は、以上説明したようにＩＣのチップ上の任意に
位置するパッドに対する針当てを容易にする効果がある
。併せて、プローブカードの設計及び高精度化を有利に
する効果がある。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明にかかるプローブカードの斜視図、第２
図は従来のプローブカードの断面図、第３図は本発明に
かかるプローブカードの針の取付位置の実施例を示す平
面図、第４図は第３図のＡ−Ａ’線に沿った断面図、第
５図及び第６図はそれぞれ本発明にかかるプローブカー
ドの実施例を示す断面図である。 １・・・プローブカード ２・・・針 ６・・・ＩＣチップ ７・・・パッド　　　　　　　　以　玉出願人　セイコ
ー電子工業株式会社 暦３図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）ＩＣ試験時にＩＣのパッドに接触する針を有する
    プローブカードにおいて、前記針を前記パッドに対して
    垂直に立てたことを特徴とするプローブカード。
JP1513388A 1988-01-26 1988-01-26 プローブカード Pending JPH01189932A (ja)

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JP1513388A JPH01189932A (ja) 1988-01-26 1988-01-26 プローブカード

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JP1513388A JPH01189932A (ja) 1988-01-26 1988-01-26 プローブカード

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JPH01189932A true JPH01189932A (ja) 1989-07-31

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JP1513388A Pending JPH01189932A (ja) 1988-01-26 1988-01-26 プローブカード

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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06256662A (ja) * 1993-03-01 1994-09-13 Shin Etsu Chem Co Ltd 導電性重合体
JPH06253791A (ja) * 1993-03-01 1994-09-13 Urashima:Kk パック詰おでんとその製造方法
JPH077055A (ja) * 1993-06-17 1995-01-10 Nec Corp 探針装置
JPH0729839U (ja) * 1993-11-08 1995-06-02 日本電子材料株式会社 垂直スプリング式プローブカード
JPH0729838U (ja) * 1993-11-08 1995-06-02 日本電子材料株式会社 座屈応力減少機構付垂直動作式プローブカード

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