JPH0729839U - 垂直スプリング式プローブカード - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 プローブカードの厚さ寸法をカンチレバータ
イプのものと同等にし、かつ狭小ピッチ、多ピンのプロ
ーブカードにも対応でき、しかもカンチレバータイプと
まったく同じ取付環境で使用できるようにする。 【構成】 半導体ウエハ４００に形成された集積回路の
電気的諸特性の検査に用いられるものであって、集積回
路に形成された電極４１０に対して垂直方向から接触す
るプローブ１００に略Ｕ字形状の湾曲部１１０が形成さ
れている。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、例えば半導体ウエハに形成された集積回路や、ＴＡＢ、ＬＥＤの被 検査物の電気的諸特性の検査に用いられる垂直スプリング式プローブカードに関 する。

【０００２】

【従来の技術】

従来の垂直スプリング式プローブカードには、図４に示すようなプローブ５０ ０を用いたものがある。かかるプローブ５００は、被検査物である集積回路の電 極に接触する接触部５１０と、この接触部５１０が進退自在に挿入される鞘部５ ２０と、前記接触部５１０と鞘部５２０との間に介在されるスプリング５３０と を有している。このように構成されたプローブ５００をプリント基板 (図示省略 ) に垂直に配設することによってプローブカードを形成するのである。

【０００３】 また、図５に示すように、特にスプリング機構のない直線状の金属線からなる プローブ６００を用いるものもある。このようなプローブカードは、裏面側に複 数本のプローブ６００が垂下されたプリント基板６１０と、このプリント基板６ １０の裏面にスペーサ６２０を介して取り付けられた位置決め板６３０とを有し 、プローブ６００は位置決め板６３０に開設された貫通孔６３１を貫通している 。このタイプのプローブカードは、プローブ６００の座屈を利用している。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、上述したような従来のプローブカードには以下のような問題点 がある。 すなわち、前者のタイプのものでは、鞘部を必ず必要とするために、プローブ の外径が大きくなりがちであり、そのため狭い場所に多数のプローブを集中させ る必要のある狭小ピッチ、多ピンタイプのプローブカードには使用することがで きないのである。

【０００５】 また、後者のタイプのものでは、一般に座屈荷重は大きな初期荷重が加わるた め、集積回路の電極や試験装置への負担が大きい。また、適当な座屈荷重を得る ためには、長いプローブを使用しなければならないので、プローブカード全体の 厚さ寸法が大きくなるため、従来のカンチレバータイプのプローブカードと互換 性がない。このため、試験装置の改造等が必要になる。

【０００６】 ところで、このような構成のプローブカードでは、プローブが電極に接触した 直後に集積回路が形成された半導体ウエハを僅かに移動させ、接触点をプローブ の中心軸からずらすことにより、適当な座屈荷重を得ることも可能である。しか し、このような構成は試験装置を複雑にする等の欠点をももたらす。

【０００７】 本考案は上記事情に鑑みて創案されたもので、プローブカードの厚さ寸法をカ ンチレバータイプのものと同等にし、かつ狭小ピッチ、多ピンのプローブカード にも対応でき、しかもカンチレバータイプとまったく同じ取付環境で使用できる 垂直スプリング式プローブカードを提供することを目的としている。

【０００８】

【課題を解決するための手段】

本考案に係る垂直スプリング式プローブカードは、被検査物の電気的諸特性の 検査に用いられるものであって、前記集積回路に形成された電極に対して垂直方 向から接触するプローブに湾曲部が形成されている。

【０００９】

【実施例】

図１は本考案の一実施例に係る垂直スプリング式プローブカードの概略的正面 図、図２はこの垂直スプリング式プローブカードに用いられるプローブの斜視図 、図３はこのプローブが撓んだ状態を示す正面図である。

【００１０】 本実施例に係る垂直スプリング式プローブカードは、被検査物である半導体ウ エハ４００に形成された集積回路の電気的諸特性の検査に用いられるものであっ て、前記集積回路に形成された電極４１０に対して垂直方向から接触するプロー ブ１００に湾曲部１１０が形成されている。

【００１１】 この垂直スプリング式プローブカードは、プリント基板２００と、このプリン ト基板２００の裏面側に垂直に取り付けられている複数本のプローブ１００と、 このプローブ１００の位置決めを行う位置決め機構３００とを有している。

【００１２】 プリント基板２００には所定の導電パターン (図示省略) が形成されており、 当該導電パターンにプローブ１００が接続されている。なお、プローブ１００の 導電パターンへの接続は、図１の右側のプローブ１００のようにリード線１５０ を使用する方法や、図１の左側のプローブ１００のように直接導電パターンに接 続する方法等がある。

【００１３】 一方、プローブ１００は、タングステン等の金属線から形成され、中央部に略 Ｕ字形状の湾曲部１１０が形成されている。このプローブ１００の先端は、先細 に形成されている。なお、以下では湾曲部１１０より上の部分を上部１２０、下 の部分を下部１３０として説明を行う。

【００１４】 下部１３０の先端１３１は、プローブ１００の他の部分より細くかつ丸く形成 されている。これにより、電極４１０との接触を良好なものとすることができる 。

【００１５】 かかるプローブ１００は、湾曲部１１０は隣接するプローブ１００に接触しな いように配置されている。例えば、湾曲部１１０が同一方向を向くようになって いるのである。このため、狭小ピッチ、多ピンのプローブカードにも対応するこ とができる。

【００１６】 位置決め機構３００は、プリント基板１００の裏面側に取り付けられるもので あって、第１のスペーサ３１０と、この第１のスペーサ３１０によってプリント 基板２００に対して平行に取り付けられる上部位置決め板３２０と、この上部位 置決め板３２０の下面側に取り付けられる第２のスペーサ３３０と、この第２の スペーサ３３０によってプリント基板２００に対して平行に取り付けられる下部 位置決め板３４０とを有している。

【００１７】 第１のスペーサ３１０の厚さ寸法は、プローブ１００の上部１２０の長さ寸法 より小さく設定されている。一方、第２のスペーサ３３０の厚さ寸法は、プロー ブ１００の湾曲部１１０の長さ寸法より若干大きく設定されている。

【００１８】 上部位置決め板３２０と下部位置決め板３４０とには、プローブ１００の配置 パターンに対応した複数個の貫通孔３２１、３４１が開設されている。上部位置 決め板３２０の貫通孔３２１にはプローブ１００の上部１２０が、下部位置決め 板３４０の貫通孔３４１にはプローブ１００の下部１３０がそれぞれ貫通してい る。従って、湾曲部１１０は、上部位置決め板３２０と下部位置決め板３４０と の間に位置することになる。

【００１９】 次に、上述したような構成による垂直スプリング式プローブカードの作用等に ついて説明する。 この垂直スプリング式プローブカードを図示しない試験装置に装着する。そし て、半導体ウエハ４００に対してアライメントを行った後に、プローブ１００の 先端を集積回路の電極４１０に圧接する。

【００２０】 すると、プローブ１００は、図３に示すように、湾曲部１１０が撓む。この撓 みによって、電極４１０に対して適当な接触圧（数グラム〜数十グラム）を確保 することができる。また、プローブ１００の上部１２０と下部１３０とは、それ ぞれ貫通孔３２１、３４１を貫通しているので、撓みが発生した場合にも、プロ ーブ１００の先端１３１の位置がずれることはない。

【００２１】

【考案の効果】 本考案に係る垂直スプリング式プローブカードは、被検査物である半導体ウエ ハに形成された集積回路等の電気的諸特性の検査に用いられるものであって、前 記集積回路に形成された電極に対して垂直方向から接触するプローブに湾曲部が 形成されている。従って、湾曲部に撓みが発生するので、電極に対して垂直方向 から接触するタイプのプローブカードであっても、短いプローブを使用すること ができ、従来のカンチレバータイプのプローブカードと同等の厚さ寸法とするこ とができる。また、このため、カンチレバータイプとまったく同じ取付環境で使 用できるようになる。

【００２２】 さらに、前記湾曲部は隣接するプローブに接触しないように配置されているの で、狭小ピッチ、多ピンのプローブカードとすることができる。

【００２３】 さらに、プローブの先端は、プローブの他の部分より細くかつ丸まっているの で、電極との接触を良好なものとすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例に係る垂直スプリング式プロ
ーブカードの概略的正面図である。

【図２】この垂直スプリング式プローブカードに用いら
れるプローブの斜視図である。

【図３】このプローブが撓んだ状態を示す正面図であ
る。

【図４】従来の垂直スプリング式プローブカードに用い
られるプローブカードの概略的断面図である。

【図５】従来の座屈を利用したプローブカードの概略的
正面図である。

【符号の説明】

１００ プローブ １１０ 湾曲部 ２００ プリント基板 ３００ 位置決め機構 ４００ 半導体ウエハ ４１０ （半導体ウエハの）電極

フロントページの続き (72)考案者 松本 弘海 兵庫県尼崎市西長洲町２丁目５番13号 日 本電子材料株式会社内 (72)考案者 大沢 茂己 兵庫県尼崎市西長洲町２丁目５番13号 日 本電子材料株式会社内

Claims (4)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 被検査物の電気的諸特性の検査に用いら
   れるものであって、前記被検査物に形成された電極に対
   して垂直方向から接触するプローブに湾曲部が形成され
   ていることを特徴とする垂直スプリング式プローブカー
   ド。
2. 【請求項２】 プローブの一部が略Ｕ字形状に湾曲形成
   された湾曲部を有することを特徴とする請求項１記載の
   垂直スプリング式プローブカード。
3. 【請求項３】 プローブの先端は、プローブの他の部分
   より細くかつ丸まっていることを特徴とする請求項１又
   は２記載の垂直スプリング式プローブカード。
4. 【請求項４】 前記湾曲部は隣接するプローブに接触し
   ないように配置されていることを特徴とする請求項１、
   ２又は３記載の垂直スプリング式プローブカード。