JP5342418B2 - 電気的試験用プローブ及びこれを用いた電気的接続装置 - Google Patents
電気的試験用プローブ及びこれを用いた電気的接続装置 Download PDFInfo
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Description
12 半導体ウエーハ
12a 集積回路の電極
14 チャックトップ
16 電気的接続装置
20 補強部材
22 配線基板
24 プローブ基板
26 プローブ
28 取り付けリング
30 セラミック基板
32 多層シート
34 フット部
36 アーム部
38 台座部
40 針先部
42 針先
44 導電性材料
46,46a〜46e 切り欠き
50a,50b 接続装置のハンド
52,54 フィンガー部材
Claims (2)
- 板状の針主体部及び該針主体部の先端部から下方へ突出する針先部を含むプローブであって、
前記針主体部は、これの厚さ方向の両側及び下方に開放する切り欠きであって、前後方向における長さ寸法が下方側ほど大きくなる部位を有し、
前記切り欠きは、弧状、V字状、U字状、W字状、M字状及びホームベース状を含むグループから選択された形状を有し、
前記針主体部は、基板に取り付けられる上端部と下端部とを有するフット部と、該フット部の下端部から横に延びるアーム部と、該アーム部の先端部から下方へ突出する台座部とを備え、前記切り欠きは前記フット部の下端部に設けられており、前記針先部は前記台座部から下方へ突出している、電気的試験用プローブ。 - 請求項1に記載のプローブと、
該プローブが前記針主体部の上端部において取り付けられた基板とを含む、電気的接続装置。
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JP2009273320A JP5342418B2 (ja) | 2009-12-01 | 2009-12-01 | 電気的試験用プローブ及びこれを用いた電気的接続装置 |
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JP2009273320A JP5342418B2 (ja) | 2009-12-01 | 2009-12-01 | 電気的試験用プローブ及びこれを用いた電気的接続装置 |
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JP2011117758A JP2011117758A (ja) | 2011-06-16 |
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JP2004340654A (ja) * | 2003-05-14 | 2004-12-02 | Micronics Japan Co Ltd | 通電試験用プローブ |
US7602200B2 (en) * | 2006-03-15 | 2009-10-13 | Kabushiki Kaisha Nihon Micronics | Probe for electrical test comprising a positioning mark and probe assembly |
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2009
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