JP2008082718A - 通電試験用プローブおよび通電試験用プローブ組立体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】通電試験用プローブは、針先部と、該針先部が突出して形成される台座部分を有する針本体部とを備える。針本体部は針先部よりも靭性が高い導電性材料で形成され、また針先部は針本体部の材料よりも硬度が高い導電性材料で形成されている。台座部分には、針先部の少なくとも一側で該側面に当接して針先部の先端に向けて伸長し、その伸長端から伸長方向へ針先部の針先を突出させる針先補強部が設けられている。
【選択図】図2
Description
12 半導体ウエハ
20 プローブ基板
22 プローブ
22a プローブ本体部
22b 針先部
26 補強部材
28 取付け部分
32 アーム部分
34 台座部分
38a 針先の平坦面
40 針先補強部
Claims (9)
- 針先部と、該針先部が突出して形成される台座部分を有する針本体部とを備え、該針本体部は前記針先部よりも靭性が高い導電性材料で形成され、また前記針先部は前記針本体部の材料よりも硬度が高い導電性材料で形成された通電試験用プローブであって、前記台座部分には、前記針先部の少なくとも一側で該側面に当接して前記針先部の先端に向けて伸長し、その伸長端から伸長方向へ前記針先部の針先を突出させる針先補強部が設けられていることを特徴とする、通電試験用プローブ。
- 前記針先補強部は前記台座部分と同一材料で該台座部分と一体に形成されている、請求項1に記載の通電試験用プローブ。
- 前記針先補強部は前記針先部に固着されている、請求項1に記載の通電試験用プローブ。
- 前記針本体部は板状部材で構成され、前記補強部は、その内側を前記針先部に沿って配置され、またその外側を前記針先本体部の一側面に一致させて配置されている、請求項1に記載の通電試験用プローブ。
- 前記針先部の針先は伸長方向にほぼ直角な平坦面を有し、前記針先部の針先側に位置する前記補強部の端面は、曲面である請求項1に記載の通電試験用プローブ。
- 前記針先部の針先は伸長方向にほぼ直角な平坦面を有し、前記針先部材の針先側に位置する前記補強部の端面は、前記針先の平坦面に関して角度的な傾斜面部分を有する、請求項1に記載の通電試験用プローブ。
- 前記針先部は、前記台座部分に一部を埋設して形成されている、請求項1に記載の通電試験用プローブ。
- 前記針本体部は、取付け部分と、該取付け部分からその高さ方向へ相互に間隔をおいて横方向へ伸長する一対のアーム部分を備え、該アーム部分の伸長端を連結すべく該アーム部分から見て前記取付け部分が位置する側と反対側へ前記台座部分が伸長して形成されている、請求項1に記載の通電試験用プローブ。
- 複数の導電路が形成されたプローブ基板と、該プローブ基板に設けられ、対応する前記導電路に電気的に接続される請求項1に記載の通電用プローブとを備える通電試験用プローブ組立体。
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