JP2010261718A - プローブ、複数のプローブが実装されたプローブカード、およびプローブカードにプローブを実装する際のプローブの位置決め方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】前側端部と後側端部を有する実装部、上記実装部の後側から前側へと延在するアーム部、および上記アーム部の先端に設けられた先端部から構成され、中間層の両側に外層を配置した3層構造のプローブであって、上記先端部の中間層は、上記外層の上端面よりも上方に突出した垂直方向突出部と、上記外層よりも前方に突出した水平方向突出部と、上記水平方向突出部から上記垂直方向突出部へと連なる傾斜面を有し、上記水平方向突出部が上記実装部の前側端部よりも前方に位置する。
【選択図】図1
Description
2 実装部
3 アーム部
4 先端部
5 中間層
6 外層
7 垂直突出部
8 水平突出部
9 カメラ
10 輪郭
11 前側端部
12 後側端部
13 プローブカード
14 メイン基板
15 プローブ基板
16 電極
17 外部端子
18 内部配線
21 プローブ
22 先端部
23 平坦面
24 中間層
25 外層
Claims (3)
- 前側端部と後側端部を有する実装部、上記実装部の後側から前側へと延在するアーム部、および上記アーム部の先端に設けられた先端部から構成され、中間層の両側に外層を配置した3層構造のプローブであって、
上記先端部の中間層は、上記外層の上端面よりも上方に突出した垂直方向突出部と、上記外層よりも前方に突出した水平方向突出部と、上記水平方向突出部から上記垂直方向突出部へと連なる傾斜面を有し、上記水平方向突出部が上記実装部の前側端部よりも前方に位置することを特徴とするプローブ。 - 前側端部と後側端部を有する実装部、上記実装部の後側から前側へと延在するアーム部、および上記アーム部の先端に設けられた先端部から構成され、中間層の両側に外層を配置した3層構造のプローブを複数実装したプローブカードであって、
上記先端部の中間層は、上記外層の上端面よりも上方に突出した垂直方向突出部と、上記外層よりも前方に突出した水平方向突出部と、上記水平方向突出部から上記垂直方向突出部へと連なる傾斜面を有し、上記水平方向突出部が上記実装部の前側端部よりも前方に位置することを特徴とするプローブカード。 - プローブをプローブカードに実装する際のプローブの位置決め方法であって、
上記プローブは、前側端部と後側端部を有する実装部、上記実装部の後側から前側へと延在するアーム部、および上記アーム部の先端に設けられた先端部から構成され、中間層の両側に外層を配置した3層構造であり、上記先端部の中間層は、上記外層の上端面よりも上方に突出した垂直方向突出部と、上記外層よりも前方に突出した水平方向突出部と、上記水平方向突出部から上記垂直方向突出部へと連なる傾斜面を有し、上記水平方向突出部が上記実装部の前側端部よりも前方に位置しており、
上記プローブを保持し所定の位置に移動させるプローブ把持手段によって、上記プローブを所定の位置へと移動させ、上記プローブの先端部を上方からカメラで撮影し、上記プローブ先端部の平面を表す映像に写っている上記プローブの先端部の水平突出部の輪郭を認識して、上記輪郭が所定の位置にあるかどうかを確認し、上記プローブの位置決めが正確に行われているかどうかを確認することを特徴とするプローブの位置決め方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2009110213A JP2010261718A (ja) | 2009-04-29 | 2009-04-29 | プローブ、複数のプローブが実装されたプローブカード、およびプローブカードにプローブを実装する際のプローブの位置決め方法 |
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JP2007147518A (ja) * | 2005-11-29 | 2007-06-14 | Japan Electronic Materials Corp | 電極子装置 |
JP2008082718A (ja) * | 2006-09-26 | 2008-04-10 | Micronics Japan Co Ltd | 通電試験用プローブおよび通電試験用プローブ組立体 |
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Patent Citations (2)
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