JP5412685B2 - プローブ、およびプローブの製造方法 - Google Patents
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Description
2 実装部
3 アーム部
4 先端部
5 中間層
6 外層
7 前側端部
8 後側端部
9 突出部
11 接触部
13 アライメントマーク
14 アライメントマークベース部
15 第1突出部
16 第2突出部
17,22 水平面
18 第1傾斜面
19 第2傾斜面
20,25,26 垂直面
21 第3傾斜面
23 第4傾斜面
24 第5傾斜面
27 第6傾斜面
28 底面
30 基板
31,34 犠牲層
32,35,37,39 レジスト層
33,36,38,40 開口
41 プローブカード
42 外部端子
43 内部配線
44 メイン基板
45 電極
46 プローブ基板
47 傾斜面
48 底面
Claims (3)
- 前側端部と後側端部を有する実装部、前記実装部の後側から前側へと延在するアーム部、および前記アーム部の先端から垂直方向に設けられた先端部から構成され、少なくとも一部分が、複数の層が積層されて形成されている多層構造のプローブであって、
前記先端部は、垂直方向に突出した接触部、前記接触部よりも後側に設けられたアライメントマークベース部、および前記アライメントマークベース部に設けられたアライメントマークを有し、
前記アライメントマークベース部は、水平方向に対し斜めに設けられた傾斜面を有し、
前記アライメントマークは、前記アライメントマークベース部の傾斜面から前記接触部と同じ方向に突出した第1突出部と第2突出部を有し、
前記第1突出部は、水平面と前記水平面の両端に設けられた第1傾斜面および第2傾斜面を有し、前記第1傾斜面側の側面はアライメントマークベース部へと繋がる垂直面が形成され、前記第2突出部側の側面には前記第2傾斜面に繋がった第3傾斜面と第6傾斜面から構成される窪みが形成され、
前記第2突出部は水平面と、前記水平面の両端に設けられた第4傾斜面および第5傾斜面を有し、前記第5傾斜面は前記アライメントマークベース部へと繋がり、前記第1突出部側の側面は前記第6傾斜面と繋がる垂直面が形成され、
前記接触部と前記アライメントマークは、プローブの幅方向において中央に形成されていることを特徴とするプローブ。 - 前記第1突出部の水平面と、前記第2突出部の水平面は長さが異なることを特徴とする請求項1に記載のプローブ。
- 導電材料からなる層を積層して多層構造体を形成し、前記多層構造体を前記層が垂直になるように立てた状態で使用される多層構造のプローブの製造方法であって、
接触部とアライメントマークを、前記多層構造体の同一層で、かつ分離して形成したことを特徴とするプローブの製造方法。
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- 2009-07-24 JP JP2009173312A patent/JP5412685B2/ja active Active
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