JP2011027538A - アライメントマークを設けたプローブ、およびアライメントマークが設けられた複数のプローブが実装されたプローブカード - Google Patents
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Abstract
【解決手段】前側端部7と後側端部8を有する実装部2、前記実装部の後側から前側へと延在するアーム部3、および前記アーム部の先端から垂直方向に設けられた先端部4から構成され、中間層の両側に外層を配置した3層構造のプローブ1であって、前記先端部4は、垂直方向に突出した接触部11、前記接触部よりも後側に設けられたアライメントマークベース部14、およびアライメントマーク13を有している。前記アライメントマーク13は、前記アライメントマークベース部14の傾斜面から前記接触部と同じ方向に突出した第1突出部と第2突出部を有している。
【選択図】図1
Description
2 実装部
3 アーム部
4 先端部
5 中間層
6 外層
7 前側端部
8 後側端部
9 突出部
11 接触部
13 アライメントマーク
14 アライメントマークベース部
15 第1突出部
16 第2突出部
17,22 水平面
18 第1傾斜面
19 第2傾斜面
20,25,26 垂直面
21 第3傾斜面
23 第4傾斜面
24 第5傾斜面
27 第6傾斜面
28 底面
30 基板
31,34 犠牲層
32,35,37,39 レジスト層
33,36,38,40 開口
41 プローブカード
42 外部端子
43 内部配線
44 メイン基板
45 電極
46 プローブ基板
47 傾斜面
48 底面
Claims (10)
- 前側端部と後側端部を有する実装部、前記実装部の後側から前側へと延在するアーム部、および前記アーム部の先端から垂直方向に設けられた先端部から構成され、中間層の両側に外層を配置した3層構造のプローブであって、
前記先端部は、垂直方向に突出した接触部、前記接触部よりも後側に設けられたアライメントマークベース部、および前記アライメントマークベース部に設けられたアライメントマークを有し、
前記アライメントマークベース部は、水平方向に対し斜めに設けられた傾斜面を有し、
前記アライメントマークは、前記アライメントマークベース部の傾斜面から前記接触部と同じ方向に突出した第1突出部と第2突出部を有し、
前記第1突出部は、水平面と前記水平面の両端に設けられた第1傾斜面および第2傾斜面を有し、前記第1傾斜面側の側面はアライメントマークベース部へと繋がる垂直面が形成され、前記第2突出部側の側面には前記第2傾斜面に繋がった第3傾斜面と第6傾斜面から構成されるが窪みが形成され、
前記第2突出部は水平面と、前記水平面の両端に設けられた第4傾斜面および第5傾斜面を有し、前記第5傾斜面は前記アライメントマークベース部へと繋がり、前記第1突出部側の側面は前記第6傾斜面と繋がる垂直面が形成され、
前記接触部と前記アライメントマークは同一層で形成されていることを特徴とするプローブ。 - 前記第1突出部の水平面と、前記第2突出部の水平面は長さが異なることを特徴とする請求項1に記載のプローブ。
- 前記接触部および前記アライメントマークは、前記中間層に埋め込まれた第4の層から形成されていることを特徴とする請求項1または2に記載のプローブ。
- 前記接触部および前記アライメントマークは、第4の層として同一層で、かつ分離して形成されていることを特徴とする請求項3に記載のプローブ。
- 前記接触部および前記アライメントマークは、前記中間層を前記外層から突出させて形成していることを特徴とする請求項1または2に記載のプローブ。
- 前側端部と後側端部を有する実装部、前記実装部の後側から前側へと延在するアーム部、および前記アーム部の先端から垂直方向に設けられた先端部から構成され、中間層の両側に外層を配置した3層構造のプローブを基板上に複数実装したプローブカードであって、
前記プローブの前記先端部は、垂直方向に突出した接触部、前記接触部よりも後側に設けられたアライメントマークベース部、および前記アライメントマークベース部に設けられたアライメントマークを有し、
前記アライメントマークベース部は、水平方向に対し斜めに設けられた傾斜面を有し、
前記アライメントマークは、前記アライメントマークベース部の傾斜面から前記接触部と同じ方向に突出した第1突出部と第2突出部を有し、
前記第1突出部は、水平面と前記水平面の両端に設けられた第1傾斜面および第2傾斜面を有し、前記第1傾斜面側の側面はアライメントマークベース部へと繋がる垂直面が形成され、前記第2突出部側の側面には前記第2傾斜面に繋がった第3傾斜面と第6傾斜面から構成されるが窪みが形成され、
前記第2突出部は水平面と、前記水平面の両端に設けられた第4傾斜面および第5傾斜面を有し、前記第5傾斜面は前記アライメントマークベース部へと繋がり、前記第1突出部側の側面は前記第6傾斜面と繋がる垂直面が形成され、
前記接触部と前記アライメントマークは同一層で形成されていることを特徴とするプローブカード。 - 前記第1突出部の水平面と、前記第2突出部の水平面は長さが異なることを特徴とする請求項6に記載のプローブカード。
- 前記接触部および前記アライメントマークは、前記中間層に埋め込まれた第4の層から形成されていることを特徴とする請求項6または7に記載のプローブカード。
- 前記接触部および前記アライメントマークは、第4の層として同一層で、かつ分離して形成されていることを特徴とする請求項8に記載のプローブカード。
- 前記接触部および前記アライメントマークは、前記中間層を前記外層から突出させて形成していることを特徴とする請求項6または7に記載のプローブカード。
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