JP2006266893A - プローブユニット - Google Patents
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Abstract
【課題】 検体の電極との位置合わせが容易なプローブユニットを提供することを目的とする。
【解決手段】 プローブユニットは、基板と、検体の電極に接触する複数の接触部を有し基板上にめっきで形成される導線と、めっきで形成され基板の外縁から外側に突出し検体の基準部位とともに観察されて基準部位に対して位置合わせされる被観察部とを備える。被観察部を接触部から独立させることにより、接触部の構成にかかわらず、被観察部を観察容易な形状にすることができる。被観察部を基板の外縁から突出させることにより、検体の基準部位と被観察部とを直接観察することができる。導線及び被観察部をめっきで形成することにより、導線の接触部の位置を基準に、基板上の特定位置に正確に被観察部を形成することができる。したがって、上記構成のプローブユニットによると、検体の電極との位置合わせが容易である。
【選択図】 図1
【解決手段】 プローブユニットは、基板と、検体の電極に接触する複数の接触部を有し基板上にめっきで形成される導線と、めっきで形成され基板の外縁から外側に突出し検体の基準部位とともに観察されて基準部位に対して位置合わせされる被観察部とを備える。被観察部を接触部から独立させることにより、接触部の構成にかかわらず、被観察部を観察容易な形状にすることができる。被観察部を基板の外縁から突出させることにより、検体の基準部位と被観察部とを直接観察することができる。導線及び被観察部をめっきで形成することにより、導線の接触部の位置を基準に、基板上の特定位置に正確に被観察部を形成することができる。したがって、上記構成のプローブユニットによると、検体の電極との位置合わせが容易である。
【選択図】 図1
Description
本発明は、半導体集積回路や液晶パネル等の電子デバイスの電気的特性を検査するためのプローブユニットに関する。
プローブユニットを用いた電子デバイスの導通試験は、プローブユニットの導線と電子デバイスの電極とを接触させた状態で実施される。従来、基板上に導線がめっきによって形成されたプローブユニットが知られている(例えば特許文献1、2参照)。導線をめっきによって形成すると、フォトリソグラフィ技術を用いることができるため、微細な導線を正確に形成することができる。
特許文献1に記載されたプローブユニットを用いた導通試験では、基板から突出した導線の先端と検体としての電子デバイスの電極とを顕微鏡及びカメラを用いて撮像することにより、プローブユニットの導線と検体の電極とが表されたディジタル画像を画像処理しながら両者を位置合わせすることができる。画像処理を用いることにより、両者を位置合わせする工程を自動化することができる。しかし、導線の微細化に伴って、画像上に表れる導線の輪郭認識が困難になっている。また検体の電極とともに観察される導線の被観察部位の形状によって、画像処理をしながら位置合わせすることが困難になる場合がある。
特許文献2に記載されたプローブユニットを用いた導通試験では、基板から導線が突出していないため、導線と検体の電極とを直接観察しながら位置合わせすることができない。
本発明は上記の問題を解決するために創作されたものであって、検体の電極との位置合わせが容易なプローブユニットを提供することを目的とする。
上記目的を達成するプローブユニットは、基板と、検体の電極に接触する複数の接触部を有し前記基板上にめっきで形成される導線と、めっきで形成され前記基板の外縁から外側に突出し前記検体の基準部位とともに観察されて前記基準部位に対して位置合わせされる被観察部と、を備える。検体の基準部位とともに観察される被観察部の構成を基板の電極に接触する接触部の構成から独立させることにより、接触部の構成にかかわらず、被観察部を観察容易な形状にすることができる。被観察部を基板の外縁から突出させることにより、検体の基準部位と被観察部とを直接観察することができる。導線及び被観察部をめっきで形成することにより、導線の接触部の位置を基準に設定される基板上の特定位置に特定の形状で正確に被観察部を形成することができる。したがって、上記構成のプローブユニットによると、検体の電極との位置合わせが容易である。
前記導線の少なくとも前記接触部は前記基板の外縁から外側に突出し、前記被観察部の被観察面は、前記導線の前記基板の外縁から外側に突出しているそれぞれの部位の前記基板側の面の面積より広いことが望ましい。検体の基準部位とともに観察される被観察面を広くすることにより、被観察部の剛性が増大する。
前記被観察部は、前記検体の基準部位とともに観察されて前記基準部位に対して位置合わせされる空隙を形成していることが望ましい。空隙は、検体の基準部位とともに観察する際に画像処理で認識することが容易であるため、被観察部によって空隙を形成することにより、画像処理を用いた位置合わせが容易になる。
前記被観察部は、前記基板の外縁から前記複数の接触部の配列方向に突出していることが望ましい。基板の外縁から複数の接触部の配列方向に観察部を突出させることにより、基板を検体に対して傾斜させた状態で導通試験を実施する場合に、被観察部と検体とを接触させずに検体とプローブユニットとを位置合わせすることができる。
前記被観察部は、前記導線の仮想延長線上の部位に前記基準部位としての前記電極とともに観察されて前記電極に対して位置合わせされる突部又は凹部を有することが望ましい。被観察部とともに検体の電極を観察しながら両者を位置合わせ可能な構成を採用することにより、検体にあらかじめアライメントマークを形成しておくことが不要になる。
以下、本発明の実施例をプローブユニットの構成、プローブユニットを用いた導通試験方法、プローブユニットの製造方法の順に説明する。
1.プローブユニットの構成
(第一実施例)
図1は、本発明によるプローブユニットの第一実施例を示す図である。
1.プローブユニットの構成
(第一実施例)
図1は、本発明によるプローブユニットの第一実施例を示す図である。
図1に示すように、本発明の第一実施例によるプローブユニット1は、矩形の基板10と、基板10上に並列している複数の導線12からなる導線群14と、検体の基準部位とともに観察されてその基準部位と位置合わせされる二つの被観察部16とを備える。導線群14及び被観察部16はともにめっきで形成された薄膜からなる。
導線群14を構成する複数の導線12は、検体の電極のピッチに合わせた狭小なピッチで並列している。各導線12の先端18は、検体の電極と一対一に接触する接触部となる。導線群14の接触部18を含む先端近傍は、基板10の接触部18の配列方向に延伸している外縁20aから突出している。
二つの被観察部16は、その間に導線群14を挟んで接触部16の配列方向に整列している。被観察部16はそれぞれ、基板10の導線群14両外側の縁部上に基部が形成され、基板10の導線12の長手方向に延伸する外縁20bから接触部18の配列方向に突出している。被観察部16は、図1(B)に示すように、基板の外縁20bから突出している部位の基板側の面22が被観察面となる。その被観察面22は、各導線12の基板の外縁20aから突出している部位の基板側の面24の面積より広い。また、被観察部16の基板の外縁20bから突出している部位にはそれぞれ、検体の基準部位とともに観察されてその基準部位と位置合わせされる空隙としての開口部26が形成されている。開口部26は、円形であり、被観察部16の基板の外縁20bから突出している部位を貫通している。
本実施例によると、検体の基準部位とともに観察される被観察部16を、導線群14の検体の電極に接触する接触部18から独立させて構成することにより、接触部18の構成にかかわらず、被観察部16を観察容易な形状にすることができる。被観察部16を基板の外縁20bから外側に突出させることにより、プローブユニット1の基板側から検体の基準部位と被観察部16とを直接観察することができる。導線群14及び被観察部16をめっきで形成することにより、導線群14の接触部18の位置を基準として、基板10上の特定位置に正確に特定の形状の被観察部16を形成することができる。したがって、上記構成のプローブユニット1によると、接触部18の位置を基準として正確に配置された被観察部16の開口部26と検体の基準部位との位置合わせを容易に行うことができるので、接触部18と検体の電極との位置合わせを正確かつ容易に行うことができる。
また本実施例によると、被観察部16の被観察面22を、導線群14の基板10から外側に突出している部位の基板側の面24より広くすることにより、被観察部16の剛性が増大する。
また、空隙は画像処理で認識することが容易である。本実施例によると、空隙としての開口部26を被観察部16に形成することにより、画像処理を用いて被観察部16と検体の基準部位とを正確かつ容易に位置合わせすることができる。
また、空隙は画像処理で認識することが容易である。本実施例によると、空隙としての開口部26を被観察部16に形成することにより、画像処理を用いて被観察部16と検体の基準部位とを正確かつ容易に位置合わせすることができる。
さらに本実施例によると、基板10の導線12の長手方向に延伸する外縁20bから接触部18の配列方向に被観察部16を突出させることにより、基板10を検体に対して傾斜させた状態で導通試験を実施する場合に、被観察部16と検体とを接触させずに検体とプローブユニット1とを位置合わせすることができる。
尚、被観察部16に輪郭が閉曲線で構成される空隙である開口部26を形成することにより、一つの被観察部16でプローブユニット1と検体とを二次元的に位置合わせすることができる。もちろん、被観察部16の数を多くして位置合わせする部位を多くするほどより高精度な位置合わせが可能であるので、図1に示すように基板10の両側の二箇所で被観察部16と検体の基準部位とを観察して位置合わせすれば、プローブユニット1と検体とを高精度に位置合わせすることができる。
(第二実施例)
図2は、本発明によるプローブユニットの第二実施例を示す図である。
この第二実施例では、図2に示すように、導線群14を挟んで被観察部16が二つずつ形成され、計四つの被観察部16が形成されている。導線群14の一側に配置された二つの被観察部16は導線12の長手方向に整列している。また四つの被観察部16のうち接触部側に配置された二つが互いに接触部18の配列方向に整列し、接触部18の反対側に配置された二つも互いに接触部18の配列方向に整列している。各被観察部16は第一実施例と同様に、基板10の導線群14両側の縁部上に基部が形成され、基板10の導線12の長手方向に延伸する外縁20bから接触部18の配列方向に突出し、その突出部位に開口部26を有する。
図2は、本発明によるプローブユニットの第二実施例を示す図である。
この第二実施例では、図2に示すように、導線群14を挟んで被観察部16が二つずつ形成され、計四つの被観察部16が形成されている。導線群14の一側に配置された二つの被観察部16は導線12の長手方向に整列している。また四つの被観察部16のうち接触部側に配置された二つが互いに接触部18の配列方向に整列し、接触部18の反対側に配置された二つも互いに接触部18の配列方向に整列している。各被観察部16は第一実施例と同様に、基板10の導線群14両側の縁部上に基部が形成され、基板10の導線12の長手方向に延伸する外縁20bから接触部18の配列方向に突出し、その突出部位に開口部26を有する。
(第三実施例)
図3は、本発明によるプローブユニットの第三実施例を示す図である。
この第三実施例では、図3に示すように、基板10の接触部側の外縁20aから導線群14と同方向(導線12の長手方向)に突出している二つの被観察部16が導線群14を挟むように形成されている。各被観察部16は、基板10の導線群14両側の縁部上に基部が形成され、基板の外縁20aから導線12の長手方向に突出し、その突出部位に開口部26を有する。基板の外縁20aから突出した導線群14を備えるプローブユニット1を検体に対して傾斜した状態で接触させたときに被観察部16と検体とが接触しないように、被観察部16の基板の外縁20aからの突出長さを導線群14より短くする。
尚、第一から第三実施例の構成を適宜組み合わせた構成にしてもよい。
図3は、本発明によるプローブユニットの第三実施例を示す図である。
この第三実施例では、図3に示すように、基板10の接触部側の外縁20aから導線群14と同方向(導線12の長手方向)に突出している二つの被観察部16が導線群14を挟むように形成されている。各被観察部16は、基板10の導線群14両側の縁部上に基部が形成され、基板の外縁20aから導線12の長手方向に突出し、その突出部位に開口部26を有する。基板の外縁20aから突出した導線群14を備えるプローブユニット1を検体に対して傾斜した状態で接触させたときに被観察部16と検体とが接触しないように、被観察部16の基板の外縁20aからの突出長さを導線群14より短くする。
尚、第一から第三実施例の構成を適宜組み合わせた構成にしてもよい。
(第四及び第五実施例)
図4(A)は、本発明によるプローブユニットの第四実施例を示す側面図である。図4(B)は、本発明によるプローブユニットの第五実施例を示す側面図である。
図4(A)は、本発明によるプローブユニットの第四実施例を示す側面図である。図4(B)は、本発明によるプローブユニットの第五実施例を示す側面図である。
第四及び第五実施例では、図4に示すように、複数の導線12からなる導線群が基板の外縁20aから突出しないように基板10上に形成されている。各導線12の基板10上に形成された先端18は、検体の電極に接触する接触部となる。
検体の基準部位とともに観察されて基準部位と位置合わせされる被観察部の構成については、第四実施例は第一実施例に準じ、基板の外縁20bから接触部18の配列方向に突出している被観察部16が導線群の両側にそれぞれ一つずつ形成される。第五実施例は第二実施例に準じ、基板の外縁20bから接触部18の配列方向に突出している被観察部16が導線群の両側にそれぞれ二つずつ形成される。
第四及び第五実施例によると、検体の電極に接触する接触部18を有する導線12が基板の外縁20aから突出していない場合でも、基板の外縁20bから突出している被観察部16を設けることにより、プローブユニット1の基板側から被観察部16と検体の基準部位とを直接観察しながら位置合わせすることで、接触部18と検体の電極とを位置合わせすることができる。
(第六から第八実施例)
図5(A)は、本発明によるプローブユニットの第六実施例を示す側面図である。図5(B)は、本発明によるプローブユニットの第七実施例を示す側面図である。図5(C)は、本発明によるプローブユニットの第八実施例を示す側面図である。
図5(A)は、本発明によるプローブユニットの第六実施例を示す側面図である。図5(B)は、本発明によるプローブユニットの第七実施例を示す側面図である。図5(C)は、本発明によるプローブユニットの第八実施例を示す側面図である。
第六から第八実施例では、図5に示すように、基板の外縁20aから突出しないように形成された導線群を構成する各導線12の先端近傍に、基板10の表面から離間する方向に突出している突部13が形成され、その突部13の先端18が検体の電極に接触する接触部となる。
尚、突部13の変形例を図6(A)から(C)に示す。図6(A)から(C)では、被観察部の図示を省略している。図6(A)に示すように、導線12の先端近傍に、導線12をアーチ状に形成することにより突部13を形成してもよい。また図6(B)に示すように、導線12の先端近傍だけではなく、導線12の先端から反対側の一端に向かって導線12の長手方向に長く延伸するように線状に突部13を形成してもよい。また図6(C)に示すように、導線12と同じ長さで突部13を形成してもよい。
検体の基準部位とともに観察されて基準部位に位置合わせされる被観察部の構成については、第六実施例は、図5(A)に示すように第一実施例に準じ、基板の外縁20bから接触部18の配列方向に突出している被観察部16が導線群の両側にそれぞれ一つずつ形成される。第七実施例は、図5(B)に示すように第二実施例に準じ、基板の外縁20bから接触部18の配列方向に突出している被観察部16が導線群の両側にそれぞれ二つずつ形成される。第八実施例は、図5(C)に示すように第三実施例に準じ、基板10の外縁20aから導線12の長手方向に突出している被観察部16が導線群の両側にそれぞれ一つずつ形成される。
第六から第八実施例によるプローブユニット1は、導線12の基板10の表面から離間する方向に突出している突部13に接触部18を有することにより、基板10が検体に対して平行な姿勢、又は低角度で傾斜した姿勢で検体と接触することができる。従って、被観察部16と検体との接触を考慮する必要がなく、被観察部16の基板10上における形成部位や基板の外縁からの突出量を自由に設定することができ、上記構成以外にも各種の変形例が実施可能である。
(第九実施例)
図7は、本発明によるプローブユニットの第九実施例を示す図である。
図7に示すように、本発明の第九実施例によるプローブユニット1は、第一実施例の被観察部16に代えて、導線12の長手方向に整列している第一被観察部17a及び第二被観察部17bからなる被観察部17が設けられた構成である。第一被観察部17a及び第二被観察部17bは、基板10の導線群14両側のそれぞれの縁部上に所定の間隔で基部が形成され、基板10の導線12の長手方向に延伸する外縁20bから接触部18の配列方向に突出している。第一被観察部17a及び第二被観察部17bの突出部位の間に形成される空間は、請求項に記載の空隙に相当する。また、第一被観察部17a及び第二被観察部17bのそれぞれの幅は導線12よりも太い。
図7は、本発明によるプローブユニットの第九実施例を示す図である。
図7に示すように、本発明の第九実施例によるプローブユニット1は、第一実施例の被観察部16に代えて、導線12の長手方向に整列している第一被観察部17a及び第二被観察部17bからなる被観察部17が設けられた構成である。第一被観察部17a及び第二被観察部17bは、基板10の導線群14両側のそれぞれの縁部上に所定の間隔で基部が形成され、基板10の導線12の長手方向に延伸する外縁20bから接触部18の配列方向に突出している。第一被観察部17a及び第二被観察部17bの突出部位の間に形成される空間は、請求項に記載の空隙に相当する。また、第一被観察部17a及び第二被観察部17bのそれぞれの幅は導線12よりも太い。
本実施例によると、第一被観察部17a及び第二被観察部17bが基板の外縁20bから接触部18の配列方向に平行に突出していることにより、この第一被観察部17a及び第二被観察部17bからなる被観察部17を検体の基準部位とともに観察してその基準部位と被観察部17とを接触部18の配列方向と垂直な方向、すなわち導線12の長手方向に位置合わせすることができる。
(第十実施例)
図8は、本発明によるプローブユニットの第十実施例を示す図である。
図8に示すように、本発明の第十実施例によるプローブユニット1は、被観察部17が導線群14の両側にそれぞれ複数設けられた構成である。各被観察部17の構成は第九実施例に準じ、基板の外縁20bから接触部18の配列方向に平行に突出している第一被観察部17a及び第二被観察部17bからなる。
図8は、本発明によるプローブユニットの第十実施例を示す図である。
図8に示すように、本発明の第十実施例によるプローブユニット1は、被観察部17が導線群14の両側にそれぞれ複数設けられた構成である。各被観察部17の構成は第九実施例に準じ、基板の外縁20bから接触部18の配列方向に平行に突出している第一被観察部17a及び第二被観察部17bからなる。
(第十一実施例)
図9は、本発明によるプローブユニットの第十一実施例を示す図である。
図9に示すように、本発明の第十一実施例によるプローブユニット1は、第三実施例の被観察部16に代えて、接触部16の配列方向に整列している第一被観察部17a及び第二被観察部17bからなる被観察部17が設けられた構成である。第一被観察部17a及び第二被観察部17bは、基板10の導線群14両側の縁部上に所定の間隔で基部が形成され、基板10の接触部側の外縁20aから導線12の長手方向に突出している。第一被観察部17a及び第二被観察部17bの突出部位の間に形成される空間は、請求項に記載の空隙に相当する。
図9は、本発明によるプローブユニットの第十一実施例を示す図である。
図9に示すように、本発明の第十一実施例によるプローブユニット1は、第三実施例の被観察部16に代えて、接触部16の配列方向に整列している第一被観察部17a及び第二被観察部17bからなる被観察部17が設けられた構成である。第一被観察部17a及び第二被観察部17bは、基板10の導線群14両側の縁部上に所定の間隔で基部が形成され、基板10の接触部側の外縁20aから導線12の長手方向に突出している。第一被観察部17a及び第二被観察部17bの突出部位の間に形成される空間は、請求項に記載の空隙に相当する。
本実施例によると、第一被観察部17a及び第二被観察部17bが基板の外縁20aから導線12の長手方向に平行に突出していることにより、この第一被観察部17a及び第二被観察部17bからなる被観察部17を検体の基準部位とともに観察してその基準部位と被観察部17とを接触部18の配列方向に位置合わせすることができる。
尚、第九から第十一実施例を適宜組み合わせた構成にしてもよい。
尚、第九から第十一実施例を適宜組み合わせた構成にしてもよい。
(第十二及び第十三実施例)
図10(A)は、本発明によるプローブユニットの第十二実施例を示す側面図である。図10(B)は、本発明によるプローブユニットの第十三実施例を示す側面図である。
図10(A)は、本発明によるプローブユニットの第十二実施例を示す側面図である。図10(B)は、本発明によるプローブユニットの第十三実施例を示す側面図である。
第十二及び第十三実施例では、図10に示すように、複数の導線12からなる導線群が基板の外縁20aから突出しないように基板10上に形成されている。各導線12の基板10上に形成された先端18は、検体の電極に接触する接触部となる。
検体の基準部位とともに観察されて基準部位に位置合わせされる被観察部17の構成については、第十二実施例は第九実施例に準じ、基板の外縁20bから接触部18の配列方向に突出している被観察部17が導線群の両側にそれぞれ一つずつ形成される。第十三実施例は第十実施例に準じ、基板の外縁20bから接触部18の配列方向に突出している被観察部17が導線群の両側にそれぞれ二つずつ形成される。
(第十四から第十六実施例)
図11(A)は、本発明によるプローブユニットの第十四実施例を示す側面図である。図11(B)は、本発明によるプローブユニットの第十五実施例を示す側面図である。図11(C)は、本発明によるプローブユニットの第十六実施例を示す側面図である。
図11(A)は、本発明によるプローブユニットの第十四実施例を示す側面図である。図11(B)は、本発明によるプローブユニットの第十五実施例を示す側面図である。図11(C)は、本発明によるプローブユニットの第十六実施例を示す側面図である。
第十四から第十六実施例では、図11に示すように、基板の外縁20aから突出しないように形成された導線群を構成する各導線12の先端近傍に、基板10の表面から離間する方向に突出している突部13が形成され、その突部13の先端18が接触部となる。
被観察部17の構成については、第十四実施例は、図11(A)に示すように第九実施例に準じる。第十五実施例は、図11(B)に示すように第十実施例に準じる。第十六実施例は、図11(C)に示すように第十一実施例に準じる。
(第十七実施例)
図12は、本発明によるプローブユニットの第十七実施例を示す平面図である。
この第十七実施例では、図12(A)、(B)に示すように、複数の導線12から構成される導線群14の接触部18近傍を三方からコ字形に取り囲むように被観察部15が形成されている。導線群14の構成は、第六から第八実施例に準じ、基板の外縁20aから突出しないように形成され、各導線12の先端近傍に形成された突部13の先端18が接触部となる。被観察部15は、基板10の導線群14両側の縁部上にそれぞれ基部が形成され、基板10の接触部側の外縁20aから導線12の長手方向に突出し、その二つの突出した部位がさらに、接触部18の配列方向に延伸している中間部28で連結されている。被観察部15の中間部28には、導線群14の各導線12の仮想延長線上の部位にそれぞれ突部30(図12(A)参照)又は凹部32(図12(B)参照)が形成されている。
図12は、本発明によるプローブユニットの第十七実施例を示す平面図である。
この第十七実施例では、図12(A)、(B)に示すように、複数の導線12から構成される導線群14の接触部18近傍を三方からコ字形に取り囲むように被観察部15が形成されている。導線群14の構成は、第六から第八実施例に準じ、基板の外縁20aから突出しないように形成され、各導線12の先端近傍に形成された突部13の先端18が接触部となる。被観察部15は、基板10の導線群14両側の縁部上にそれぞれ基部が形成され、基板10の接触部側の外縁20aから導線12の長手方向に突出し、その二つの突出した部位がさらに、接触部18の配列方向に延伸している中間部28で連結されている。被観察部15の中間部28には、導線群14の各導線12の仮想延長線上の部位にそれぞれ突部30(図12(A)参照)又は凹部32(図12(B)参照)が形成されている。
本実施例によると、導線12を連想させるように導線12の仮想延長線上の部位に形成される突部30又は凹部32を被観察部15に形成することにより、この突部30又は凹部32を検体の基準部位としての電極とともに観察しながら両者を位置合わせすることで、接触部18と検体の電極とを位置合わせすることができる。検体の電極を検体の基準部位として位置合わせすることができることにより、検体にアライメントマークが不要になる。
(第十八実施例)
図13は、本発明によるプローブユニットの第十八実施例を示す図である。
この第十八実施例では、図13に示すように、導線群14を三方から取り囲む被観察部15の突部30(図13(A)参照)又は凹部32(図13(B)参照)が一部の導線12の仮想延長線上の部位に形成されている。具体的には、導線群14の両側に位置しているそれぞれ二つずつの導線12の仮想延長線上の部位に突部30又は凹部32が形成されている。本実施例のように、少なくとも一部の導線12の仮想延長線上にその導線12を連想させる突部30又は凹部32を形成すれば、それら突部30又は凹部32と検体の基準部位としての電極とを同時に観察しながら位置合わせすることができる。
図13は、本発明によるプローブユニットの第十八実施例を示す図である。
この第十八実施例では、図13に示すように、導線群14を三方から取り囲む被観察部15の突部30(図13(A)参照)又は凹部32(図13(B)参照)が一部の導線12の仮想延長線上の部位に形成されている。具体的には、導線群14の両側に位置しているそれぞれ二つずつの導線12の仮想延長線上の部位に突部30又は凹部32が形成されている。本実施例のように、少なくとも一部の導線12の仮想延長線上にその導線12を連想させる突部30又は凹部32を形成すれば、それら突部30又は凹部32と検体の基準部位としての電極とを同時に観察しながら位置合わせすることができる。
(第十九実施例)
図14は、本発明によるプローブユニットの第十九実施例を示す図である。
この第十九実施例では、図14に示すように、基板10上に形成された導線群14の複数の導線12のそれぞれが、基板10の接触部側の外縁20aから突出しており、それら導線12の突出部位21が被観察部となる。すなわち、導線12に被観察部が一体的に形成された構成である。導線12の突出部位21の手前の部位には、基板10の表面から離間する方向に突出してその先端が接触部18となる突部13が形成されている。
図14は、本発明によるプローブユニットの第十九実施例を示す図である。
この第十九実施例では、図14に示すように、基板10上に形成された導線群14の複数の導線12のそれぞれが、基板10の接触部側の外縁20aから突出しており、それら導線12の突出部位21が被観察部となる。すなわち、導線12に被観察部が一体的に形成された構成である。導線12の突出部位21の手前の部位には、基板10の表面から離間する方向に突出してその先端が接触部18となる突部13が形成されている。
突部13の変形例を図15(A)から(C)に示す。図15(A)に示すように、導線12の突出部位21の手前に、導線12をアーチ状に形成することにより突部13を形成してもよい。また図15(B)に示すように、導線12の突出部位21の手前だけではなく、突出部位21の手前から突出部位21と反対側の一端に向かって導線12の長手方向に長く延伸するように線状に突部13を形成してもよい。また図15(C)に示すように、導線12の突出部位21以外の部位と同じ長さで突部13を形成してもよい。
本実施例によると、導線12の基板の外縁20aから突出している部位21を被観察部とすることにより、その被観察部21を検体の基準部位としての電極とともに観察して両者を位置合わせすることで、接触部18と検体の電極とを位置合わせすることができる。
(第二十実施例)
図16は、本発明によるプローブユニットの第二十実施例を示す図である。
本発明の第二十実施例では、図16に示すように、複数の導線12のうち導線群14の両側に位置しているそれぞれ二つずつの導線12が基板の外縁20aから突出し、これら導線12の突出部位21が被観察部となる。本実施例のように、少なくとも一部の導線12を基板の縁部20aから突出させ、その突出部位21を被観察部とすることにより、それら被観察部21と検体の基準部位としての電極とを同時に観察しながら位置合わせすることができる。
図16は、本発明によるプローブユニットの第二十実施例を示す図である。
本発明の第二十実施例では、図16に示すように、複数の導線12のうち導線群14の両側に位置しているそれぞれ二つずつの導線12が基板の外縁20aから突出し、これら導線12の突出部位21が被観察部となる。本実施例のように、少なくとも一部の導線12を基板の縁部20aから突出させ、その突出部位21を被観察部とすることにより、それら被観察部21と検体の基準部位としての電極とを同時に観察しながら位置合わせすることができる。
2.導通試験方法
(第一実施例)
本発明による導通試験方法の第一実施例は、検体の電極とは別に設けられた基準部位とプローブユニットの被観察部とを位置合わせした後、検体の導通試験を行う方法である。
(第一実施例)
本発明による導通試験方法の第一実施例は、検体の電極とは別に設けられた基準部位とプローブユニットの被観察部とを位置合わせした後、検体の導通試験を行う方法である。
図17は、本発明による導通試験方法の第一実施例を示す図である。この第一実施例による導通試験方法では、上述の本発明によるプローブユニットの第一実施例を用いた場合を例に採り説明する。
図17に示すように、プローブユニット1を検体6の導通検査に使用する際、基板10をプローブベース4に取り付けることによりプローブユニット1をプローブベース4に固定し、プローブヘッド5を構成する。またプローブユニット1の各導線12の検体6の電極60と接触する接触部18と反対の一端には、導通検査装置本体と接続されているフレキシブルプリント基板3を接合する。プローブヘッド5は、導通検査時にプローブユニット1が検体6に対して所定の角度で接触する姿勢で昇降機能を有する導通検査装置本体(図示せず)に取り付けられる。検体6は、その検体6とプローブユニット1との位置合わせのために電極60の配列方向及び長手方向に移動可能なテーブル(図示せず)に載置される。また検体6は、プローブユニット1の被観察部16とともに観察され位置合わせされる基準部位として、被観察部16の開口部26内に収まる程度の大きさの円形のアライメントマーク62を有する。
図17に示すように、プローブユニット1を検体6の導通検査に使用する際、基板10をプローブベース4に取り付けることによりプローブユニット1をプローブベース4に固定し、プローブヘッド5を構成する。またプローブユニット1の各導線12の検体6の電極60と接触する接触部18と反対の一端には、導通検査装置本体と接続されているフレキシブルプリント基板3を接合する。プローブヘッド5は、導通検査時にプローブユニット1が検体6に対して所定の角度で接触する姿勢で昇降機能を有する導通検査装置本体(図示せず)に取り付けられる。検体6は、その検体6とプローブユニット1との位置合わせのために電極60の配列方向及び長手方向に移動可能なテーブル(図示せず)に載置される。また検体6は、プローブユニット1の被観察部16とともに観察され位置合わせされる基準部位として、被観察部16の開口部26内に収まる程度の大きさの円形のアライメントマーク62を有する。
検査でははじめに、導通検査装置本体によって、プローブユニット1の導線12が検体6の電極60と一対一に対応するようにプローブヘッド5を検体6に対して降下させる。そして、基板の縁部20bから突出している被観察部16の開口部26と検体6のアライメントマーク62とをプローブユニット1の検体6の反対側から同時に観察しながら、検体6が載置されたテーブルを移動させて開口部26内に基準部位62が収まるようにして位置合わせすることにより、電極60と導線12の接触部18とを位置合わせする。このとき、画像処理によって開口部26とアライメントマーク62とを認識すると、観察及び位置合わせを自動化することができる。接触部18と電極60との位置合わせ後、プローブユニット1を検体6に対してオーバードライブさせ、フレキシブルプリント基板3を介して検査信号をプローブユニット1に入力して検体6の導通検査を行う。
(第二実施例)
本発明による導通試験方法の第二実施例は、検体の基準部位としての電極とプローブユニットの被観察部とを位置合わせした後、検体の導通試験を行う方法である。
本発明による導通試験方法の第二実施例は、検体の基準部位としての電極とプローブユニットの被観察部とを位置合わせした後、検体の導通試験を行う方法である。
図18は、本発明による導通試験方法の第二実施例を示す図である。この第二実施例による導通試験方法では、上述の本発明によるプローブユニットの第十九実施例を用いた場合を例に採り説明する。
この第二実施例では、検体6に基準部位としてのアライメントマークが設けられておらず、検体6の基準部位は電極60自身である。導通検査装置本体によってプローブユニット1を検体6に対して降下させた後、導線12に一体的に形成され基板の外縁20aから突出している被観察部21と検体6の電極60とをプローブユニット1の検体6の反対側から同時に観察しながら、被観察部21と電極60とが一対一に対応するように位置合わせすることにより、電極60と導線12の接触部18とを位置合わせする。その後、プローブユニット1を検体6に対してオーバードライブさせ、フレキシブルプリント基板3を介して検査信号をプローブユニット1に入力して検体6の導通検査を行う。
この第二実施例では、検体6に基準部位としてのアライメントマークが設けられておらず、検体6の基準部位は電極60自身である。導通検査装置本体によってプローブユニット1を検体6に対して降下させた後、導線12に一体的に形成され基板の外縁20aから突出している被観察部21と検体6の電極60とをプローブユニット1の検体6の反対側から同時に観察しながら、被観察部21と電極60とが一対一に対応するように位置合わせすることにより、電極60と導線12の接触部18とを位置合わせする。その後、プローブユニット1を検体6に対してオーバードライブさせ、フレキシブルプリント基板3を介して検査信号をプローブユニット1に入力して検体6の導通検査を行う。
3.プローブユニットの製造方法
(第一実施例)
図19から図21は、本発明によるプローブユニットの製造方法の第一実施例を示す断面図である。
(第一実施例)
図19から図21は、本発明によるプローブユニットの製造方法の第一実施例を示す断面図である。
はじめに図19(A)に示すように、基板10の表面に機械加工などにより凹部50を形成する。基板10には例えばガラスセラミック、石英、ジルコニアなどからなる基板を用いる。本工程では、製造しようとするプローブユニットの形状、並びに導線群及び被観察部の形成部位を想定して、凹部50の基板10上における形成部位を決定する。
図22(A)から(C)は、基板10上における凹部50の形成例を示す模式図である。図22(A)から(C)に示す破線は、製造しようとするプローブユニットの完成形の仮想線である。図22(A)に示すのは、本発明によるプローブユニットの第三実施例を製造するための凹部50の形成例である。図22(B)に示すのは、本発明によるプローブユニットの第四実施例を製造するための凹部50の形成例である。図22(C)に示すのは、本発明によるプローブユニットの第十実施例を製造するための凹部50の形成例である。図22(A)から(C)に示すように、基板の外縁から突出した導線群又は被観察部を基板上に形成するため、基板10の少なくとも導線群又は被観察部の突出部位に対応する部位に、凹部50を形成する。また、凹部50が基板の完成形の輪郭の一部を形成するように、凹部50の形成部位を決定してもよい。
次に図19(B)に示すように、凹部50が形成された基板10の表面全体に第一めっき下地層52を形成する。第一めっき下地層52は例えばCr及びCuの複層にする。
次に図19(C)に示すように、第一めっき下地層52上にCuなどの金属をめっき成長させ、犠牲膜64を形成する。このとき犠牲膜64は、凹部50内を埋めるように形成される。
次に図19(C)に示すように、第一めっき下地層52上にCuなどの金属をめっき成長させ、犠牲膜64を形成する。このとき犠牲膜64は、凹部50内を埋めるように形成される。
次に図19(D)に示すように、犠牲膜64、第一めっき下地層52及び基板10を研磨して平坦に仕上げ、凹部50内にのみ犠牲膜64及び第一めっき下地層52を残存させる。
次に図20(A)に示すように、第二めっき下地層66を研磨面68上に形成する。
次に図20(A)に示すように、第二めっき下地層66を研磨面68上に形成する。
次に図20(B)に示すように、第二めっき下地層66の表面上にフォトレジストを塗布し、このフォトレジスト上に所定形状のマスクを配置し、露光現像処理を行って不要なフォトレジストを除去し、導線群又は被観察部を形成する部位を露出させる開口部70を有するレジスト膜72を形成する。導線群が基板の外縁から突出するプローブユニットを製造する場合、導線群を形成するための開口部70は、犠牲膜64上に至るように基板10上に形成される。導線群が基板の外縁から突出していないプローブユニットを製造する場合、導線群を形成するための開口部70は、基板10上の犠牲膜64上を除く部位に形成される。被観察部を形成するための開口部70は、犠牲膜64上に至るように基板10上に形成される。空隙を有する被観察部を形成するための開口部70を形成するには、その空隙の形状に対応した形状を有するマスクを用いて露光現像処理を行えばよい。
次に図20(C)に示すように、開口部70から露出する第二めっき下地層66の表面上にNi合金などをめっきすることにより、導線群又は被観察部となる金属膜74を第二めっき下地層66の表面上に形成する。この結果、開口部70内で互いに同じ膜厚の導線群と被観察部とが同一の材料で形成されることとなる。
次に図20(D)に示すように、レジスト膜72を除去する。レジスト膜72を除去するには、例えばN−メチル−2−ピロリドン等の液剤を用いる。
次に図21(A)に示すように、第二めっき下地層66のうち金属膜74で被覆されていない部分を除去する。第二めっき下地層66の除去には、イオンミリング等を用いる。
次に図21(A)に示すように、第二めっき下地層66のうち金属膜74で被覆されていない部分を除去する。第二めっき下地層66の除去には、イオンミリング等を用いる。
以上図20(A)から図21(A)に示す工程により、第二めっき下地層66及び金属膜74からなる導線群及び被観察部がリソグラフィ技術を用いて同時に形成されるので、同一材料及び同一膜厚で導線群及び被観察部は形成され、導線群及び被観察部との相対的な位置精度が確保される。
次に図21(B)に示すように、凹部50内に残存する第一めっき下地層52及び犠牲膜64を除去する。例えば第一めっき下地層52及び犠牲膜64が銅を用いて形成されている場合、銅を優先的に溶かすエッチング液を用いて第一めっき下地層52及び犠牲膜64を溶解する。Crを用いて形成されている場合も、Crを優先的に溶かすエッチング液でCrを除去する。
次に図21(C)に示すように、凹部50の底面を通過する切断線で基板10を切断する。これにより、切断線に沿ってできた基板10の縁部から突出している導線12又は被観察部が形成される。
図23は、第一実施例によるプローブユニットの製造方法の変形例を示す断面図である。
図23は、第一実施例によるプローブユニットの製造方法の変形例を示す断面図である。
この変形例では、図19(A)から図21(A)までの工程を行って、基板10上に第二めっき下地層66及び金属膜74からなる導線群及び被観察部を形成した後、図22(A)に示すように、基板10を第二めっき下地層66及び金属膜74が形成されていない裏面から研磨し、犠牲膜64に至るまで薄く加工する。
次に図23(B)に示すように、凹部50内に残存する第一めっき下地層52及び犠牲膜64を除去する。
(第二実施例)
本発明によるプローブユニットの製造方法の第二実施例は、基板の表面から離間する方向に突出している突部を導線上に形成する方法である。
図24は、本発明によるプローブユニットの製造方法の第二実施例を示す断面図である。
本発明によるプローブユニットの製造方法の第二実施例は、基板の表面から離間する方向に突出している突部を導線上に形成する方法である。
図24は、本発明によるプローブユニットの製造方法の第二実施例を示す断面図である。
本実施例では、第一実施例の図19(A)から図20(D)までの工程を行って、第二めっき下地層66上に第一金属膜74を形成した後、さらに図24(A)に示すように、第二めっき下地層66及び第一金属膜74を覆うようにフォトレジストを塗布し、このフォトレジスト上に所定形状のマスクを配置し、露光現像処理を行って不要なフォトレジストを除去し、導線の突部を形成する部位を露出させる開口部77を有するレジスト膜78を形成する。
次に図24(B)に示すように、開口部77から露出する第一金属膜74の表面上にNi合金などをめっきすることにより、突部となる第二金属膜80を第一金属膜74の表面上に形成する。
次に図24(C)に示すように、レジスト膜78を除去する。これ以後の工程は、第一実施例の図21(A)以降の工程に準じる。
次に図24(C)に示すように、レジスト膜78を除去する。これ以後の工程は、第一実施例の図21(A)以降の工程に準じる。
(第三実施例)
本発明によるプローブユニットの製造方法の第三実施例は、基板がフィルム状であるプローブユニットを製造する方法である。
図25及び図26は、本発明によるプローブユニットの製造方法の第三実施例を示す断面図である。
本発明によるプローブユニットの製造方法の第三実施例は、基板がフィルム状であるプローブユニットを製造する方法である。
図25及び図26は、本発明によるプローブユニットの製造方法の第三実施例を示す断面図である。
はじめに図25(A)に示すように、金属、セラミック、ガラス等からなる支持板61の表面上に、めっき又はスパッタにより犠牲膜63を形成する。犠牲膜63は例えばCuの単層、又はCr及びCuの複層にする。支持板61が非導電性である場合、Cu、又はCr及びCuの下地膜を予めスパッタによって形成してからめっきを行い、厚さ1μm以上3μm以下の犠牲膜63を形成する。なお、スパッタによって形成された下地膜のみを犠牲膜63として用いてもよい。その場合、犠牲膜63の厚さは0.1μm以上0.2μm以下にする。
次に図25(B)に示すように、犠牲膜63の表面上にフォトレジストを塗布した後、このフォトレジスト上に所定のパターンのマスクを配置し、露光現像処理を行って不要なフォトレジストを除去し、導線群及び被観察部となる部位を露出させた開口部65を有するレジスト膜67を形成する。
次に図25(C)に示すように、開口部65から露出する犠牲膜63の表面上にNi合金などをめっきすることにより、導線群及び被観察部となる金属膜69を犠牲膜63の表面上に形成する。
次に図25(D)に示すように、レジスト膜67を除去する。レジスト膜67を除去するには、例えばN−メチル−2−ピロリドン等の液剤を用いる。
次に図25(D)に示すように、レジスト膜67を除去する。レジスト膜67を除去するには、例えばN−メチル−2−ピロリドン等の液剤を用いる。
次に図26(A)に示すように、導線群及び被観察部の基板の外縁からの突出部位を除いて、金属膜69の表面上に基板10を接着剤71で接着する。基板10は金属層73及び樹脂層75の複合層からなるフィルムである。この樹脂層75を接着剤71を介して金属膜69の表面に貼り付ける。金属層73はNi合金、Cuなどからなり、樹脂層75は例えばポリイミド樹脂からなる。基板10は金属層73を含むので、膨張及び収縮の変形量が小さい。
次に図26(B)に示すように、フィルム状の基板10と接着剤71と金属膜69と犠牲膜63とからなる部分を、例えば機械的に引き剥がして支持板61から分離する。
次に図26(C)に示すように、犠牲膜63をエッチングして除去すると、プローブユニット1を得ることができる。犠牲膜63がCuの場合、Cuを優先的にエッチングする液を用いる。
次に図26(C)に示すように、犠牲膜63をエッチングして除去すると、プローブユニット1を得ることができる。犠牲膜63がCuの場合、Cuを優先的にエッチングする液を用いる。
さらに必要に応じて図26(D)に示すように、導線12又は被観察部となる金属膜69の表面にAuめっき層76を形成してもよい。導線12及び被観察部の両方にAuをめっきしてもよいし、どちらか一方のみめっきしてもよい。金属膜69の表面をAuめっき層76で覆うことにより、金属膜69の腐食を防止できる。また導線12の表面をAuめっき層76で形成することにより、導線12の電気抵抗を下げることができる。
1 プローブユニット、6 検体、10 基板、12 導線、14 導線群、16 被観察部、18 接触部、20a 基板の接触部側の外縁、20b 基板の導線の長手方向に延伸する外縁、60 電極、62 アライメントマーク
Claims (5)
- 基板と、
検体の電極に接触する複数の接触部を有し前記基板上にめっきで形成される導線と、
めっきで形成され前記基板の外縁から外側に突出し前記検体の基準部位とともに観察されて前記基準部位に対して位置合わせされる被観察部と、
を備えることを特徴とするプローブユニット。 - 前記導線の少なくとも前記接触部は前記基板の外縁から外側に突出し、
前記被観察部の被観察面は、前記導線の前記基板の外縁から外側に突出しているそれぞれの部位の前記基板側の面の面積より広いことを特徴とする請求項1に記載のプローブユニット。 - 前記被観察部は、前記検体の基準部位とともに観察されて前記基準部位に対して位置合わせされる空隙を形成していることを特徴とする請求項1又は2に記載のプローブユニット。
- 前記被観察部は、前記基板の外縁から前記複数の接触部の配列方向に突出していることを特徴とする請求項1、2又は3に記載のプローブユニット。
- 前記被観察部は、前記導線の仮想延長線上の部位に前記基準部位としての前記電極とともに観察されて前記電極に対して位置合わせされる突部又は凹部を有することを特徴とする請求項1に記載のプローブユニット。
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---|---|---|---|
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Family
ID=37203028
Family Applications (1)
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---|---|---|---|
JP2005085818A Pending JP2006266893A (ja) | 2005-03-24 | 2005-03-24 | プローブユニット |
Country Status (1)
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JP (1) | JP2006266893A (ja) |
Cited By (2)
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---|---|---|---|---|
WO2008136395A1 (ja) * | 2007-04-27 | 2008-11-13 | Nhk Spring Co., Ltd. | プローブカード |
JP2020115155A (ja) * | 2020-05-07 | 2020-07-30 | 日置電機株式会社 | 測定装置 |
-
2005
- 2005-03-24 JP JP2005085818A patent/JP2006266893A/ja active Pending
Cited By (2)
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WO2008136395A1 (ja) * | 2007-04-27 | 2008-11-13 | Nhk Spring Co., Ltd. | プローブカード |
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