JP4562122B2 - 半田ボール検査用2探針ケルビンプローブ - Google Patents
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Description
尚、絶縁性熱収縮チューブは、プローブを束ね、外径が大きくなるのを防止する役割をしている。
2,2´・・………金属線状体
3,3´・・………ダミー部材(ダミー線状体)
4,4´・・………ニードル部
5・・………半田ボール
6,6´・・………先端斜面
7,7´・・………リード線
Claims (4)
- 直径0.3〜1.0mmの絶縁性熱収縮チューブ内に、2本の細い金属線状体を嵌合させ、該チューブから突出した部分をニードル部としてなり、該チューブ内には線状のダミー部材を嵌合させ前記熱収縮チューブの熱収縮によりこれらを一体化させ、前記チューブが略円形を保持するように構成し、前記両線状体の両ニードル部先端コンタクト部は、両先端コンタクト部が一緒になって山形の凹部を形成するような斜面に形成し、該山形の凹部斜面が半田ボールに当接して前記一体化した略円形チューブが一体として上下動し得るように構成したことを特徴とする半田ボール検査用2探針ケルビンプローブ。
- 前記両線状体の先端コンタクト部を、半田の付着を拒否する材料で構成してなる請求項1記載のプローブ。
ーブ。 - 板体に多数の貫通孔を穿設し、該貫通孔に請求項1に記載のプローブを嵌合固定したことを特徴とするプローブ。
- 前記板体と対向してプローブ後方に、第2の板体を設け、両板体をバネで連結して、前記プローブが上下動し得るように構成してなる請求項3に記載のプローブ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2004098274A JP4562122B2 (ja) | 2004-03-30 | 2004-03-30 | 半田ボール検査用2探針ケルビンプローブ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004098274A JP4562122B2 (ja) | 2004-03-30 | 2004-03-30 | 半田ボール検査用2探針ケルビンプローブ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005283359A JP2005283359A (ja) | 2005-10-13 |
JP4562122B2 true JP4562122B2 (ja) | 2010-10-13 |
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ID=35181909
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004098274A Expired - Fee Related JP4562122B2 (ja) | 2004-03-30 | 2004-03-30 | 半田ボール検査用2探針ケルビンプローブ |
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Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4562122B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4574588B2 (ja) * | 2006-04-19 | 2010-11-04 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | ケルビンコンタクト測定装置および測定方法 |
JP4313827B2 (ja) | 2007-05-25 | 2009-08-12 | 東光株式会社 | 球状外部電極を有する半導体装置の検査方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
2004
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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Publication number | Publication date |
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JP2005283359A (ja) | 2005-10-13 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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