JPH0723284U - ファインピッチ用プローブユニット - Google Patents
ファインピッチ用プローブユニットInfo
- Publication number
- JPH0723284U JPH0723284U JP5830893U JP5830893U JPH0723284U JP H0723284 U JPH0723284 U JP H0723284U JP 5830893 U JP5830893 U JP 5830893U JP 5830893 U JP5830893 U JP 5830893U JP H0723284 U JPH0723284 U JP H0723284U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- contact
- probe
- tip
- portions
- holding
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ファインピッチ測定時の接触安定性を確保す
る。 【構成】 保持筒13と、この保持筒13からその突端
部18に先鋭接触部19を設けた先端部15を突出付勢
して進退自在に挿通保持されるプローブ杆14とからな
る一対のコンタクトプローブ12を先端部15のスペー
サ挟持部16相互間に絶縁性のスペーサ26を介在させ
て平行に隔置し、保持筒13を絶縁性ホルダ27で一体
的に抱持させたプローブユニット11において、プロー
ブ杆14の先端部15相互は、少なくともいずれか一方
の先鋭接触部19がコンタクトプローブ12の軸方向で
の中心位置Oより内側となるように近接配置し、突端部
18とスペーサ挟持部16との間に形成される細径部2
3をチューブ状保持部材25で摺動自在に保持させた。
なお、先端部15は、相互に近接して平行する線状の、
もしくは、相互に近接して平行する点状に配列された先
鋭接触部19を設けて形成するのが好ましい。
る。 【構成】 保持筒13と、この保持筒13からその突端
部18に先鋭接触部19を設けた先端部15を突出付勢
して進退自在に挿通保持されるプローブ杆14とからな
る一対のコンタクトプローブ12を先端部15のスペー
サ挟持部16相互間に絶縁性のスペーサ26を介在させ
て平行に隔置し、保持筒13を絶縁性ホルダ27で一体
的に抱持させたプローブユニット11において、プロー
ブ杆14の先端部15相互は、少なくともいずれか一方
の先鋭接触部19がコンタクトプローブ12の軸方向で
の中心位置Oより内側となるように近接配置し、突端部
18とスペーサ挟持部16との間に形成される細径部2
3をチューブ状保持部材25で摺動自在に保持させた。
なお、先端部15は、相互に近接して平行する線状の、
もしくは、相互に近接して平行する点状に配列された先
鋭接触部19を設けて形成するのが好ましい。
Description
【0001】
この考案はファインピッチ用プローブユニットに係り、さらに詳しくは、イン サーキットテスタ等の基板検査装置が備えるコンタクトプローブによるファイン ピッチ測定時の接触安定性を確保することができるファインピッチ用プローブユ ニットに関する。
【0002】
多数の電子部品等をプリント基板上に半田付けしてなる実装基板は、その実装 状態の良否が検査され、予め良品であることが確認された上で使用に供されてい る。
【0003】 その際の実装状態の良否は、通常、インサーキットテスタ等の基板検査装置を 用いて行われており、実装基板の必要部位にコンタクトプローブを接触させて電 気的な測定を行い、その測定結果を判定することで行われている。
【0004】 特に、上記基板検査装置が被検査基板を載置する測定台上にX−Yユニットを 設置してなるX−Yインサーキットテスタであるときは、X軸方向への移動が自 在なプローブ支持部を備えており、このプローブ支持部にコンタクトプローブが Z軸方向への移動を自在にして支持されている。
【0005】 このため、X−Yユニットの作動を制御することで、コンタクトプローブを被 検査基板の上方からX,Y,Zの各軸方向に適宜移動させることができ、したが って、予め設定されている各測定ポイントに順次接触させることで測定作業を実 行させることができる。
【0006】 ところで、プリント基板に実装されれる電子部品等は、技術の進展とともに急 速にその微小化の傾向を強めており、これに伴ってコンタクトプローブによる被 測定ポイントへの的確な接触も次第に困難になってきている。
【0007】 図5は、上記状況に対処すべく本出願人が既に提案しているファインピッチ用 プローブユニット(実願平4−58976号)を示すものである。
【0008】 同図によれば、コンタクトプローブ2は、保持筒3と、この保持筒3からその 突端部に先鋭接触部6を設けてなる先端部5を突出させ、かつ、図示しない圧縮 用コイルバネによりその突出方向に付勢されて進退自在に挿通保持されるプロー ブ杆4とで形成されている。
【0009】 上記構成からなる各コンタクトプローブ2は、それぞれのプローブ杆4の前記 先端部5に形成されるスペーサ挟持部7,7相互間に絶縁性のスペーサ8を介在 させることで相互に平行に離間配置され、保持筒3,3の側を絶縁性ホルダ9で 抱持することで一体化されている。
【0010】 この場合、それぞれの先端部5の突端に設けられる先鋭接触部6,6相互は、 いずれもコンタクトプローブ2の軸方向での中心位置よりも内側に位置するよう に近接させて平行する線状となって形成されている。
【0011】 このため、各コンタクトプローブ2は、先端部5のスペーサ挟持部7,7相互 間に配置されるスペーサ8を介することで相互に導通しない離間距離を保った状 態のもとで一体化されたプローブユニット1を形成することになる。
【0012】 したがって、上記プローブユニット1を用いることで、各コンタクトプローブ 2の軸方向での中心位置相互間の距離よりも先鋭接触部6相互間の間隔Tを短く することができるので、ファインピッチの要請にも対応することができ、しかも 、各プローブ杆4の進退方向も被検査基板の板面に対し直交する位置関係をとり 、したがって、それぞれの先端部5を被検査基板の板面に対し垂直方向から接触 させることができるので、位置出しを容易化することができるほか、測定時にお ける接触状況も良好な安定性を確保することができることになる。
【0013】
ところで、上記プローブユニット1によっても、各コンタクトプローブ2の軸 方向での中心位置相互間に形成される距離よりも先鋭接触部6,6相互間の間隔 Tを短くすることができるので、ファインピッチへの要請に十分に対応すること はできる。
【0014】 しかし、上記プローブユニット1による場合には、成形加工時における先端部 5の加工公差のほか、保持筒3を抱持するために絶縁性ホルダ9に形成される挿 通孔の寸法公差などが影響して必ずしも当初の設計どおりの仕様を備えるには至 らず、先端部5,5相互にガタツキが生じたり、プローブ杆4に付与される突出 方向への付勢力が測定時における先端部5,5相互の間隔Tを微小ながらも拡開 させる方向に作用するなどして、被測定ポイントに各先鋭接触部6を接触させた 際に相互の間隔Tを所望する一定間隔に正確に保持させることができなくなる不 都合があった。
【0015】
この考案は従来技術にみられた上記課題に鑑みなされたもので、その構成上の 特徴は、保持筒と、この保持筒からその突端部に先鋭接触部を設けてなる先端部 を突出させ、かつ、その突出方向に付勢されて進退自在に挿通保持されるプロー ブ杆とで形成される一対のコンタクトプローブを前記先端部に形成されるスペー サ挟持部相互間に絶縁性のスペーサを介在させることで平行に隔置し、保持筒の 側を絶縁性ホルダで一体的に抱持させてなるプローブユニットにおいて、各プロ ーブ杆の前記先端部相互は、少なくともいずれか一方の先端部の先鋭接触部が当 該コンタクトプローブの軸方向での中心位置よりも内側に位置するようにして近 接配置するとともに、軸方向での先鋭接触部とスペーサ挟持部との間に形成され る細径部を介して配設されるチューブ状保持部材によりその摺動を自在にして一 体的に保持させたことにある。なお、各プローブ杆の前記先端部は、相互に近接 して平行する線状の先鋭接触部を設け、もしくは、相互に近接して平行する点状 に配列された先鋭接触部を設けて形成するのが好ましい。
【0016】
このため、一対のコンタクトプローブにおける各プローブ杆の先端部相互は、 細径部に配設されるチューブ状保持部材により一体的に保持させることができる ので、仮に先端部の加工公差や保持筒を抱持する絶縁性ホルダの寸法公差が影響 してその測定時に先端部相互に拡開させる方向への力が作用することがあったと しても、前記スペーサを介して先端部の先鋭接触部相互間に確保される間隔を常 に一定に保持させることができる。
【0017】 しかも、一対のコンタクトプローブにおける各プローブ杆の先端部相互は、チ ューブ状保持部材によりその摺動を自在にして保持されているので、各別となっ ての軸方向への跛行移動性を確保することができ、例えば各被測定ポイントの半 田付け部位に高低差があるような場合であっても、対応する先鋭接触部を確実に 接触させることができる。
【0018】 なお、先鋭接触部が線状に、もしくは点状に配列されて形成されている場合に は、フラックスや酸化膜を容易に突き破ることができ、接触不良の原因を除去し 、安定した測定が可能になる。特に、先鋭接触部が点状に配列されて形成されて いる場合には、検査基板の被測定ポイントへの接触を多点接触として応力集中を 分散することができるので、被測定ポイントに形成されている半田付け部位を削 り取ってしまうなどといったダメージを検査基板に与えることもなくすことがで きる。
【0019】
以下、図面に基づいてこの考案の実施例を説明する。
【0020】 図1は、この考案の一実施例についての要部を拡大し、その一部を切り欠いて 示す説明図である。
【0021】 同図によれば、コンタクトプローブ12は、保持筒13と、この保持筒13か らその突端部18に先鋭接触部19を設けてなる先端部15を突出させ、かつ、 保持筒13内に収納される図示しない圧縮用コイルバネによりその突出方向に付 勢されて進退自在に挿通保持されるプローブ杆14とで形成されている。
【0022】 上記構成からなる各コンタクトプローブ12は、それぞれのプローブ杆14の 前記先端部15における上部側に形成されるスペーサ挟持部16,16相互間に 平板状となって形成されている絶縁性のスペーサ26を介在させることで、この スペーサ26の肉厚分の間隔Tを有して相互に導通することなく平行に隔置され 、これら保持筒13,13の側を絶縁性ホルダ26で抱持することで一体化され ている。なお、前記絶縁性ホルダ27は、インサート成形法により形成されるも のであり、その際、一対のコンタクトプローブ12,12のほぼ中央部から先端 部15,15のほぼ上半分までをプラスチック樹脂で被われることになる。また 、前記スペーサ26は、例えばいずれか一方のスペーサ挟持部16に穴を設け、 この穴を利用して固着され、もしくは、いずれか一方のスペーサ挟持部16の側 に接着剤を用いて接合固着されるものであり、他方のスペーサ挟持部16との間 の滑りを良くし、かつ、耐摩耗性に優れた絶縁材料である超高分子量ポリエチレ ン系樹脂、フッ素樹脂、ポリアセタール等を用いて形成するのが好ましい。
【0023】 この場合、各プローブ杆14の前記先端部15,15相互は、少なくともいず れか一方の突端部18に設けられる先鋭接触部19が当該コンタクトプローブ1 2の軸方向での中心位置Oよりも内側に位置するようにして近接配置されている 。
【0024】 これを図示例に即してより詳しく説明すれば、各プローブ杆14の前記先端部 15,15相互は、面一となって平行に対面し得る垂直面17をそれぞれ備えて おり、突端部18の側に位置する垂直面17の先端縁の側に先鋭接触部19が形 成されているので、これら先鋭接触部19,19はそのいずれもが当該コンタク トプローブ12の軸方向での中心位置Oよりも内側に位置して近接配置されるこ とになる。
【0025】 図2は、このような配置関係のもとで形成される先鋭接触部19を備える先端 部15の具体的な形状の一例を示すものであり、先鋭接触部19を有する突端部 18は、その開放端面に外側から内側方向へと傾斜させた斜面20を設け、この 斜面20に対し傾斜方向に沿わせて2条のVカット溝21を刻設することで、計 3条の稜線部22が形成されている。
【0026】 また、このようにして形成される先端部15における突端部18と前記スペー サ挟持部16との間には、これらと同一の前記垂直面17を形成している内側面 を除く部位を断面が方形や略半円形など、内側面を除く周面が適宜形状を呈する 細径部23を設けることにより先端部15の全体が形成されている。
【0027】 したがって、この場合、先端部15における突端部18に形成される先鋭接触 部19は、計3条の稜線部22がその最突端に点状となって配列させる計3個の 接点19aにより形成されることになる。
【0028】 なお、前記先鋭接触部19は、刻設されるVカット溝21の数により接点19 aの数を自由に選択することができ、さらには、図示は省略してあるが、突端部 18の開放端面に形成される前記斜面20にVカット溝21を刻設することなく 、1本の線状に形成するものであってもよい。
【0029】 図3は、この考案を構成するプローブ杆14の先端部形状の他例を示す斜視図 であり、この場合の先端部15は、軸方向での突端部18とスペーサ挟持部16 との間に細径部23が設けられていることは図2の場合と同様であるが、突端部 18,18相互の対向面、つまり、図2の場合は垂直面17となっていた内側面 をコンタクトプローブ12の軸方向での中心位置Oの側に後退させた切削面24 とすることで、先鋭接触部19,19相互間の間隔Tを図2の場合より広くとる ことができるようになっている。
【0030】 しかも、前記先端部15,15相互は、前記細径部23に対し例えば熱収縮チ ューブなどを用いて形成されるチューブ状保持部材25を抱持させて一体的に保 持させることで、それぞれに軸方向への跛行移動性を確保させるべくその摺動を 自在にして一体化されている。
【0031】 つまり、コンタクトプローブ12,12相互は、先端部15におけるスペーサ 挟持部16,16の垂直面17,17相互間に配置されるスペーサ26を介する ことで相互に導通しない間隔Tを確保して一体化されたプローブユニット11を 形成することになる。
【0032】 この考案は上述したようにして構成されているので、一対のコンタクトプロー ブ12,12における各プローブ杆14,14の先端部15,15相互は、細径 部23に配設されるチューブ状保持部材25により一体的に保持させることがで きるので、仮に先端部15の加工公差や保持筒13を抱持する絶縁性ホルダ27 の寸法公差が影響してその測定時に先端部15,15相互に拡開させる方向への 力が作用することがあったとしても、前記スペーサ26を介して先端部15,1 5の先鋭接触部19,19相互間に確保される間隔Tを常に一定に保持させるこ とができる。
【0033】 しかも、一対のコンタクトプローブ12,12における各プローブ杆14,1 4の先端部15,15相互は、チューブ状保持部材25によりその摺動を自在に して保持されているので、各別となっての軸方向への跛行移動性を確保すること ができ、例えば各被測定ポイントの半田付け部位に高低差があるような場合であ っても、対応する先鋭接触部19を確実に接触させることができる。
【0034】 なお、先鋭接触部19が線状に形成され、もしくは点状に配列された接点19 aにより形成されている場合には、比較的広い面で接触する従来タイプのものに 比べフラックッスや酸化膜を容易に突き破ることができ、接触不良の原因を除去 し、安定した測定が可能になる。
【0035】 特に、前記先鋭接触部19が点状に配列された接点19aにより形成されてい る場合には、図4の(イ)に示す線状に形成されている場合の打痕パターン28 とは異なり、図4の(ロ)に示す打痕パターン29のように検査基板の被測定ポ イントへの接触を多点接触として応力集中を分散することができるので、被測定 ポイントに形成されている半田付け部位を削り取ってしまうなどといったダメー ジを検査基板に与えることもなくすことができる。
【0036】
以上述べたようにこの考案によれば、一対のコンタクトプローブにおける各プ ローブ杆の先端部相互を細径部に配設されるチューブ状保持部材により一体的に 保持させることができるので、仮に先端部の加工公差や保持筒を抱持する絶縁性 ホルダの寸法公差が影響してその測定時に先端部相互に拡開させる方向への力が 作用することがあったとしても、前記スペーサを介して先端部の先鋭接触部相互 間に確保される間隔を常に一定に保持させることができる。
【0037】 しかも、一対のコンタクトプローブにおける各プローブ杆の先端部相互は、チ ューブ状保持部材によりその摺動を自在にして保持されているので、各別となっ ての軸方向への跛行移動性を確保することができ、例えば各被測定ポイントの半 田付け部位に高低差があるような場合であっても、先鋭接触部を確実に接触させ ることができる。
【0038】 なお、先鋭接触部が線状に、もしくは点状に配列されて形成されている場合に は、フラックスや酸化膜を容易に突き破ることができ、接触不良の原因を除去し 、安定した測定が可能になる。特に、先鋭接触部が点状に配列されて形成されて いる場合には、検査基板の被測定ポイントへの接触を多点接触として応力集中を 分散することができるので、被測定ポイントに形成されている半田付け部位を削 り取ってしまうなどといったダメージを検査基板に与えることもなくすことがで きる。
【図1】この考案の一実施例ついての要部を拡大し、そ
の一部を切り欠いて示す説明図である。
の一部を切り欠いて示す説明図である。
【図2】この考案を構成するプローブ杆の先端部構造の
一例を示す斜視図である。
一例を示す斜視図である。
【図3】この考案を構成するプローブ杆の先端部構造の
他例を示す斜視図である。
他例を示す斜視図である。
【図4】従来のコンタクトプローブと本考案のコンタク
トプローブを説明するための打痕図である。
トプローブを説明するための打痕図である。
【図5】ファインピッチ用プローブユニットの従来例を
示す全体正面図である。
示す全体正面図である。
11 プローブユニット 12 コンタクトプローブ 13 保持筒 14 プローブ杆 15 先端部 16 スペーサ挟持部 17 垂直面 18 突端部 19 先鋭先端部 19a 接点 20 斜面 21 Vカット溝 22 稜線部 23 細径部 24 切削面 25 チューブ状保持部材 26 スペーサ 27 絶縁性ホルダ 28,29 打痕パターン
Claims (3)
- 【請求項1】 保持筒と、この保持筒からその突端部に
先鋭接触部を設けてなる先端部を突出させ、かつ、その
突出方向に付勢されて進退自在に挿通保持されるプロー
ブ杆とで形成される一対のコンタクトプローブを前記先
端部に形成されるスペーサ挟持部相互間に絶縁性のスペ
ーサを介在させることで平行に隔置し、保持筒の側を絶
縁性ホルダで一体的に抱持させてなるプローブユニット
において、各プローブ杆の前記先端部相互は、少なくと
もいずれか一方の先端部の先鋭接触部が当該コンタクト
プローブの軸方向での中心位置よりも内側に位置するよ
うにして近接配置するとともに、軸方向での先鋭接触部
とスペーサ挟持部との間に形成される細径部を介して配
設されるチューブ状保持部材によりその摺動を自在にし
て一体的に保持させたことを特徴とするファインピッチ
用プローブユニット。 - 【請求項2】 各プローブ杆の前記先端部は、相互に近
接して平行する線状の先鋭接触部を設けて形成したこと
を特徴とする請求項1記載のファインピッチ用プローブ
ユニット。 - 【請求項3】 各プローブ杆の前記先端部は、相互に近
接して平行する点状に配列された先鋭接触部を設けて形
成したことを特徴とする請求項1記載のファインピッチ
用プローブユニット。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1993058308U JP2606481Y2 (ja) | 1993-10-01 | 1993-10-01 | ファインピッチ用プローブユニット |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1993058308U JP2606481Y2 (ja) | 1993-10-01 | 1993-10-01 | ファインピッチ用プローブユニット |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0723284U true JPH0723284U (ja) | 1995-04-25 |
JP2606481Y2 JP2606481Y2 (ja) | 2000-11-06 |
Family
ID=13080618
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1993058308U Expired - Fee Related JP2606481Y2 (ja) | 1993-10-01 | 1993-10-01 | ファインピッチ用プローブユニット |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2606481Y2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005283359A (ja) * | 2004-03-30 | 2005-10-13 | Kiyota Seisakusho:Kk | ケルビンプローブ |
WO2012070188A1 (ja) * | 2010-11-22 | 2012-05-31 | ユニテクノ株式会社 | ケルビンコンタクトプローブおよびそれを備えたケルビン検査治具 |
WO2013157033A1 (ja) * | 2012-04-17 | 2013-10-24 | ユニテクノ株式会社 | ケルビンコンタクトプローブおよびそれを備えたケルビン検査治具 |
KR101439343B1 (ko) * | 2013-04-18 | 2014-09-16 | 주식회사 아이에스시 | 포고핀용 탐침부재 |
KR20230029238A (ko) * | 2021-08-24 | 2023-03-03 | 윌테크놀러지(주) | 미세피치 대응이 가능한 프로브 카드 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101555330B1 (ko) * | 2014-04-04 | 2015-09-30 | 주식회사 에이티테크놀러지 | Pcb 기판 전기 검사용 니들 조립체 |
-
1993
- 1993-10-01 JP JP1993058308U patent/JP2606481Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005283359A (ja) * | 2004-03-30 | 2005-10-13 | Kiyota Seisakusho:Kk | ケルビンプローブ |
JP4562122B2 (ja) * | 2004-03-30 | 2010-10-13 | 有限会社清田製作所 | 半田ボール検査用2探針ケルビンプローブ |
WO2012070188A1 (ja) * | 2010-11-22 | 2012-05-31 | ユニテクノ株式会社 | ケルビンコンタクトプローブおよびそれを備えたケルビン検査治具 |
JP2012112709A (ja) * | 2010-11-22 | 2012-06-14 | Unitechno Inc | ケルビンコンタクトプローブおよびそれを備えたケルビン検査治具 |
WO2013157033A1 (ja) * | 2012-04-17 | 2013-10-24 | ユニテクノ株式会社 | ケルビンコンタクトプローブおよびそれを備えたケルビン検査治具 |
JPWO2013157033A1 (ja) * | 2012-04-17 | 2015-12-21 | ユニテクノ株式会社 | ケルビンコンタクトプローブおよびそれを備えたケルビン検査治具 |
US9476912B2 (en) | 2012-04-17 | 2016-10-25 | Unitechno, Inc. | Kelvin contact probe structure and a Kelvin inspection fixture provided with the same |
KR101439343B1 (ko) * | 2013-04-18 | 2014-09-16 | 주식회사 아이에스시 | 포고핀용 탐침부재 |
TWI512299B (zh) * | 2013-04-18 | 2015-12-11 | Isc Co Ltd | 彈簧針用探針部材 |
KR20230029238A (ko) * | 2021-08-24 | 2023-03-03 | 윌테크놀러지(주) | 미세피치 대응이 가능한 프로브 카드 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2606481Y2 (ja) | 2000-11-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5600883A (en) | Method of tip formation for spring probe with piloted and headed contact | |
US7868635B2 (en) | Probe | |
JP2006234428A (ja) | コンタクトプローブおよび検査装置 | |
JPH0723284U (ja) | ファインピッチ用プローブユニット | |
TWI427297B (zh) | 基板檢查用之檢查治具 | |
JP2645095B2 (ja) | バリ高さ測定法及び測定具 | |
JP2000046870A (ja) | 端子接続装置 | |
JP4462732B2 (ja) | プローブヘッド | |
US6369592B1 (en) | Probe for testing and repairing printed circuit features | |
JP2004061194A (ja) | コンタクトプローブ装置 | |
JP4713332B2 (ja) | コンタクトプローブ装置および回路基板検査装置 | |
CN219552551U (zh) | 一种电阻测量辅助治具 | |
JP3335098B2 (ja) | 形状測定機の位置精度検査装置 | |
JPS6244328Y2 (ja) | ||
JPH0628699Y2 (ja) | プローブコンタクト | |
JP3005496U (ja) | 電気特性検査用プローブ | |
JP2540157Y2 (ja) | 電子部品の測定装置 | |
JP3187208B2 (ja) | 回路基板検査機の部品有無検出プローブ | |
JP3947357B2 (ja) | 位置決め装置 | |
JPH0810233B2 (ja) | コンタクトプローブ | |
JP2513563Y2 (ja) | 位置測定装置 | |
US6593762B1 (en) | Apparatus for testing electronic components | |
JPH05322929A (ja) | 導通検査用ヘッド | |
JPH10300822A (ja) | Icテスタのプローブコンタクトピンのストローク測定法 | |
JPH0422248Y2 (ja) |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 8 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080908 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |