JP2606481Y2 - ファインピッチ用プローブユニット - Google Patents
ファインピッチ用プローブユニットInfo
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- JP2606481Y2 JP2606481Y2 JP1993058308U JP5830893U JP2606481Y2 JP 2606481 Y2 JP2606481 Y2 JP 2606481Y2 JP 1993058308 U JP1993058308 U JP 1993058308U JP 5830893 U JP5830893 U JP 5830893U JP 2606481 Y2 JP2606481 Y2 JP 2606481Y2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この考案はファインピッチ用プロ
ーブユニットに係り、さらに詳しくは、インサーキット
テスタ等の基板検査装置が備えるコンタクトプローブに
よるファインピッチ測定時の接触安定性を確保すること
ができるファインピッチ用プローブユニットに関する。
ーブユニットに係り、さらに詳しくは、インサーキット
テスタ等の基板検査装置が備えるコンタクトプローブに
よるファインピッチ測定時の接触安定性を確保すること
ができるファインピッチ用プローブユニットに関する。
【０００２】
【従来の技術】多数の電子部品等をプリント基板上に半
田付けしてなる実装基板は、その実装状態の良否が検査
され、予め良品であることが確認された上で使用に供さ
れている。
田付けしてなる実装基板は、その実装状態の良否が検査
され、予め良品であることが確認された上で使用に供さ
れている。
【０００３】その際の実装状態の良否は、通常、インサ
ーキットテスタ等の基板検査装置を用いて行われてお
り、実装基板の必要部位にコンタクトプローブを接触さ
せて電気的な測定を行い、その測定結果を判定すること
で行われている。
ーキットテスタ等の基板検査装置を用いて行われてお
り、実装基板の必要部位にコンタクトプローブを接触さ
せて電気的な測定を行い、その測定結果を判定すること
で行われている。
【０００４】特に、上記基板検査装置が被検査基板を載
置する測定台上にＸ−Ｙユニットを設置してなるＸ−Ｙ
インサーキットテスタであるときは、Ｘ軸方向への移動
が自在なプローブ支持部を備えており、このプローブ支
持部にコンタクトプローブがＺ軸方向への移動を自在に
して支持されている。
置する測定台上にＸ−Ｙユニットを設置してなるＸ−Ｙ
インサーキットテスタであるときは、Ｘ軸方向への移動
が自在なプローブ支持部を備えており、このプローブ支
持部にコンタクトプローブがＺ軸方向への移動を自在に
して支持されている。
【０００５】このため、Ｘ−Ｙユニットの作動を制御す
ることで、コンタクトプローブを被検査基板の上方から
Ｘ，Ｙ，Ｚの各軸方向に適宜移動させることができ、し
たがって、予め設定されている各測定ポイントに順次接
触させることで測定作業を実行させることができる。
ることで、コンタクトプローブを被検査基板の上方から
Ｘ，Ｙ，Ｚの各軸方向に適宜移動させることができ、し
たがって、予め設定されている各測定ポイントに順次接
触させることで測定作業を実行させることができる。
【０００６】ところで、プリント基板に実装されれる電
子部品等は、技術の進展とともに急速にその微小化の傾
向を強めており、これに伴ってコンタクトプローブによ
る被測定ポイントへの的確な接触も次第に困難になって
きている。
子部品等は、技術の進展とともに急速にその微小化の傾
向を強めており、これに伴ってコンタクトプローブによ
る被測定ポイントへの的確な接触も次第に困難になって
きている。
【０００７】図５は、上記状況に対処すべく本出願人が
既に提案しているファインピッチ用プローブユニット
（実願平４−５８９７６号）を示すものである。
既に提案しているファインピッチ用プローブユニット
（実願平４−５８９７６号）を示すものである。
【０００８】同図によれば、コンタクトプローブ２は、
保持筒３と、この保持筒３からその突端部に先鋭接触部
６を設けてなる先端部５を突出させ、かつ、図示しない
圧縮用コイルバネによりその突出方向に付勢されて進退
自在に挿通保持されるプローブ杆４とで形成されてい
る。
保持筒３と、この保持筒３からその突端部に先鋭接触部
６を設けてなる先端部５を突出させ、かつ、図示しない
圧縮用コイルバネによりその突出方向に付勢されて進退
自在に挿通保持されるプローブ杆４とで形成されてい
る。
【０００９】上記構成からなる各コンタクトプローブ２
は、それぞれのプローブ杆４の前記先端部５に形成され
るスペーサ挟持部７，７相互間に絶縁性のスペーサ８を
介在させることで相互に平行に離間配置され、保持筒
３，３の側を絶縁性ホルダ９で抱持することで一体化さ
れている。
は、それぞれのプローブ杆４の前記先端部５に形成され
るスペーサ挟持部７，７相互間に絶縁性のスペーサ８を
介在させることで相互に平行に離間配置され、保持筒
３，３の側を絶縁性ホルダ９で抱持することで一体化さ
れている。
【００１０】この場合、それぞれの先端部５の突端に設
けられる先鋭接触部６，６相互は、いずれもコンタクト
プローブ２の軸方向での中心位置よりも内側に位置する
ように近接させて平行する線状となって形成されてい
る。
けられる先鋭接触部６，６相互は、いずれもコンタクト
プローブ２の軸方向での中心位置よりも内側に位置する
ように近接させて平行する線状となって形成されてい
る。
【００１１】このため、各コンタクトプローブ２は、先
端部５のスペーサ挟持部７，７相互間に配置されるスペ
ーサ８を介することで相互に導通しない離間距離を保っ
た状態のもとで一体化されたプローブユニット１を形成
することになる。
端部５のスペーサ挟持部７，７相互間に配置されるスペ
ーサ８を介することで相互に導通しない離間距離を保っ
た状態のもとで一体化されたプローブユニット１を形成
することになる。
【００１２】したがって、上記プローブユニット１を用
いることで、各コンタクトプローブ２の軸方向での中心
位置相互間の距離よりも先鋭接触部６相互間の間隔Ｔを
短くすることができるので、ファインピッチの要請にも
対応することができ、しかも、各プローブ杆４の進退方
向も被検査基板の板面に対し直交する位置関係をとり、
したがって、それぞれの先端部５を被検査基板の板面に
対し垂直方向から接触させることができるので、位置出
しを容易化することができるほか、測定時における接触
状況も良好な安定性を確保することができることにな
る。
いることで、各コンタクトプローブ２の軸方向での中心
位置相互間の距離よりも先鋭接触部６相互間の間隔Ｔを
短くすることができるので、ファインピッチの要請にも
対応することができ、しかも、各プローブ杆４の進退方
向も被検査基板の板面に対し直交する位置関係をとり、
したがって、それぞれの先端部５を被検査基板の板面に
対し垂直方向から接触させることができるので、位置出
しを容易化することができるほか、測定時における接触
状況も良好な安定性を確保することができることにな
る。
【００１３】
【考案が解決しようとする課題】ところで、上記プロー
ブユニット１によっても、各コンタクトプローブ２の軸
方向での中心位置相互間に形成される距離よりも先鋭接
触部６，６相互間の間隔Ｔを短くすることができるの
で、ファインピッチへの要請に十分に対応することはで
きる。
ブユニット１によっても、各コンタクトプローブ２の軸
方向での中心位置相互間に形成される距離よりも先鋭接
触部６，６相互間の間隔Ｔを短くすることができるの
で、ファインピッチへの要請に十分に対応することはで
きる。
【００１４】しかし、上記プローブユニット１による場
合には、成形加工時における先端部５の加工公差のほ
か、保持筒３を抱持するために絶縁性ホルダ９に形成さ
れる挿通孔の寸法公差などが影響して必ずしも当初の設
計どおりの仕様を備えるには至らず、先端部５，５相互
にガタツキが生じたり、プローブ杆４に付与される突出
方向への付勢力が測定時における先端部５，５相互の間
隔Ｔを微小ながらも拡開させる方向に作用するなどし
て、被測定ポイントに各先鋭接触部６を接触させた際に
相互の間隔Ｔを所望する一定間隔に正確に保持させるこ
とができなくなる不都合があった。
合には、成形加工時における先端部５の加工公差のほ
か、保持筒３を抱持するために絶縁性ホルダ９に形成さ
れる挿通孔の寸法公差などが影響して必ずしも当初の設
計どおりの仕様を備えるには至らず、先端部５，５相互
にガタツキが生じたり、プローブ杆４に付与される突出
方向への付勢力が測定時における先端部５，５相互の間
隔Ｔを微小ながらも拡開させる方向に作用するなどし
て、被測定ポイントに各先鋭接触部６を接触させた際に
相互の間隔Ｔを所望する一定間隔に正確に保持させるこ
とができなくなる不都合があった。
【００１５】
【課題を解決するための手段】この考案は従来技術にみ
られた上記課題に鑑みなされたもので、その構成上の特
徴は、保持筒と、この保持筒からその突端部に先鋭接触
部を設けてなる先端部を突出させ、かつ、その突出方向
に付勢されて進退自在に挿通保持されるプローブ杆とで
形成される一対のコンタクトプローブを前記先端部に形
成されるスペーサ挟持部相互間に絶縁性のスペーサを介
在させることで平行に隔置し、保持筒の側を絶縁性ホル
ダで一体的に抱持させてなるプローブユニットにおい
て、各プローブ杆の前記先端部相互は、それぞれの開放
先端面に外側から内側方向へと前下がりに傾斜させた斜
面を設け、この斜面に対し傾斜方向に沿わせた複数条の
Ｖカット溝を刻設して相互に近接して平行する点状に配
列された先鋭接触部を設けて形成するとともに、少なく
ともいずれか一方の先端部の先鋭接触部が当該コンタク
トプローブの軸方向での中心位置よりも内側に位置さ
せ、かつ、軸方向での先鋭接触部とスペーサ挟持部との
間に形成される細径部を介して配設されるチューブ状保
持部材によりその摺動を自在にして一体的に保持させた
ことにある。この場合、各プローブ杆の前記先端部は、
相互に対面する内側面をコンタクトプローブの軸方向で
の中心位置寄りに後退させて設けた垂直切削面をそれぞ
れの突端部側に具備させることもできる。
られた上記課題に鑑みなされたもので、その構成上の特
徴は、保持筒と、この保持筒からその突端部に先鋭接触
部を設けてなる先端部を突出させ、かつ、その突出方向
に付勢されて進退自在に挿通保持されるプローブ杆とで
形成される一対のコンタクトプローブを前記先端部に形
成されるスペーサ挟持部相互間に絶縁性のスペーサを介
在させることで平行に隔置し、保持筒の側を絶縁性ホル
ダで一体的に抱持させてなるプローブユニットにおい
て、各プローブ杆の前記先端部相互は、それぞれの開放
先端面に外側から内側方向へと前下がりに傾斜させた斜
面を設け、この斜面に対し傾斜方向に沿わせた複数条の
Ｖカット溝を刻設して相互に近接して平行する点状に配
列された先鋭接触部を設けて形成するとともに、少なく
ともいずれか一方の先端部の先鋭接触部が当該コンタク
トプローブの軸方向での中心位置よりも内側に位置さ
せ、かつ、軸方向での先鋭接触部とスペーサ挟持部との
間に形成される細径部を介して配設されるチューブ状保
持部材によりその摺動を自在にして一体的に保持させた
ことにある。この場合、各プローブ杆の前記先端部は、
相互に対面する内側面をコンタクトプローブの軸方向で
の中心位置寄りに後退させて設けた垂直切削面をそれぞ
れの突端部側に具備させることもできる。
【００１６】
【作用】このため、一対のコンタクトプローブにおける
各プローブ杆の先端部相互は、細径部に配設されるチュ
ーブ状保持部材により一体的に保持させることができる
ので、仮に先端部の加工公差や保持筒を抱持する絶縁性
ホルダの寸法公差が影響してその測定時に先端部相互に
拡開させる方向への力が作用することがあったとして
も、前記スペーサを介して先端部の先鋭接触部相互間に
確保される間隔を常に一定に保持させることができる。
各プローブ杆の先端部相互は、細径部に配設されるチュ
ーブ状保持部材により一体的に保持させることができる
ので、仮に先端部の加工公差や保持筒を抱持する絶縁性
ホルダの寸法公差が影響してその測定時に先端部相互に
拡開させる方向への力が作用することがあったとして
も、前記スペーサを介して先端部の先鋭接触部相互間に
確保される間隔を常に一定に保持させることができる。
【００１７】しかも、一対のコンタクトプローブにおけ
る各プローブ杆の先端部相互は、チューブ状保持部材に
よりその摺動を自在にして保持されているので、各別と
なっての軸方向への跛行移動性を確保することができ、
例えば各被測定ポイントの半田付け部位に高低差がある
ような場合であっても、対応する先鋭接触部を確実に接
触させることができる。
る各プローブ杆の先端部相互は、チューブ状保持部材に
よりその摺動を自在にして保持されているので、各別と
なっての軸方向への跛行移動性を確保することができ、
例えば各被測定ポイントの半田付け部位に高低差がある
ような場合であっても、対応する先鋭接触部を確実に接
触させることができる。
【００１８】また、先鋭接触部が点状に配列されて形成
されているので、フラックスや酸化膜を容易に突き破る
ことができ、接触不良の原因を除去し、安定した測定が
可能になるばかりでなく、検査基板の被測定ポイントへ
の接触を多点接触として応力集中を分散することができ
るので、被測定ポイントに形成されている半田付け部位
を削り取ってしまうなどといったダメージを検査基板に
与えることもなくすことができる。
されているので、フラックスや酸化膜を容易に突き破る
ことができ、接触不良の原因を除去し、安定した測定が
可能になるばかりでなく、検査基板の被測定ポイントへ
の接触を多点接触として応力集中を分散することができ
るので、被測定ポイントに形成されている半田付け部位
を削り取ってしまうなどといったダメージを検査基板に
与えることもなくすことができる。
【００１９】
【実施例】以下、図面に基づいてこの考案の実施例を説
明する。
明する。
【００２０】図１は、この考案の一実施例についての要
部を拡大し、その一部を切り欠いて示す説明図である。
部を拡大し、その一部を切り欠いて示す説明図である。
【００２１】同図によれば、コンタクトプローブ１２
は、保持筒１３と、この保持筒１３からその突端部１８
に先鋭接触部１９を設けてなる先端部１５を突出させ、
かつ、保持筒１３内に収納される図示しない圧縮用コイ
ルバネによりその突出方向に付勢されて進退自在に挿通
保持されるプローブ杆１４とで形成されている。
は、保持筒１３と、この保持筒１３からその突端部１８
に先鋭接触部１９を設けてなる先端部１５を突出させ、
かつ、保持筒１３内に収納される図示しない圧縮用コイ
ルバネによりその突出方向に付勢されて進退自在に挿通
保持されるプローブ杆１４とで形成されている。
【００２２】上記構成からなる各コンタクトプローブ１
２は、それぞれのプローブ杆１４の前記先端部１５にお
ける上部側に形成されるスペーサ挟持部１６，１６相互
間に平板状となって形成されている絶縁性のスペーサ２
６を介在させることで、このスペーサ２６の肉厚分の間
隔Ｔを有して相互に導通することなく平行に隔置され、
これら保持筒１３，１３の側を絶縁性ホルダ２６で抱持
することで一体化されている。なお、前記絶縁性ホルダ
２７は、インサート成形法により形成されるものであ
り、その際、一対のコンタクトプローブ１２，１２のほ
ぼ中央部から先端部１５，１５のほぼ上半分までをプラ
スチック樹脂で被われることになる。また、前記スペー
サ２６は、例えばいずれか一方のスペーサ挟持部１６に
穴を設け、この穴を利用して固着され、もしくは、いず
れか一方のスペーサ挟持部１６の側に接着剤を用いて接
合固着されるものであり、他方のスペーサ挟持部１６と
の間の滑りを良くし、かつ、耐摩耗性に優れた絶縁材料
である超高分子量ポリエチレン系樹脂、フッ素樹脂、ポ
リアセタール等を用いて形成するのが好ましい。
２は、それぞれのプローブ杆１４の前記先端部１５にお
ける上部側に形成されるスペーサ挟持部１６，１６相互
間に平板状となって形成されている絶縁性のスペーサ２
６を介在させることで、このスペーサ２６の肉厚分の間
隔Ｔを有して相互に導通することなく平行に隔置され、
これら保持筒１３，１３の側を絶縁性ホルダ２６で抱持
することで一体化されている。なお、前記絶縁性ホルダ
２７は、インサート成形法により形成されるものであ
り、その際、一対のコンタクトプローブ１２，１２のほ
ぼ中央部から先端部１５，１５のほぼ上半分までをプラ
スチック樹脂で被われることになる。また、前記スペー
サ２６は、例えばいずれか一方のスペーサ挟持部１６に
穴を設け、この穴を利用して固着され、もしくは、いず
れか一方のスペーサ挟持部１６の側に接着剤を用いて接
合固着されるものであり、他方のスペーサ挟持部１６と
の間の滑りを良くし、かつ、耐摩耗性に優れた絶縁材料
である超高分子量ポリエチレン系樹脂、フッ素樹脂、ポ
リアセタール等を用いて形成するのが好ましい。
【００２３】この場合、各プローブ杆１４の前記先端部
１５，１５相互は、少なくともいずれか一方の突端部１
８に設けられる先鋭接触部１９が当該コンタクトプロー
ブ１２の軸方向での中心位置Ｏよりも内側に位置するよ
うにして近接配置されている。
１５，１５相互は、少なくともいずれか一方の突端部１
８に設けられる先鋭接触部１９が当該コンタクトプロー
ブ１２の軸方向での中心位置Ｏよりも内側に位置するよ
うにして近接配置されている。
【００２４】これを図示例に即してより詳しく説明すれ
ば、各プローブ杆１４の前記先端部１５，１５相互は、
面一となって平行に対面し得る垂直面１７をそれぞれ備
えており、突端部１８の側に位置する垂直面１７の先端
縁の側に先鋭接触部１９が形成されているので、これら
先鋭接触部１９，１９はそのいずれもが当該コンタクト
プローブ１２の軸方向での中心位置Ｏよりも内側に位置
して近接配置されることになる。
ば、各プローブ杆１４の前記先端部１５，１５相互は、
面一となって平行に対面し得る垂直面１７をそれぞれ備
えており、突端部１８の側に位置する垂直面１７の先端
縁の側に先鋭接触部１９が形成されているので、これら
先鋭接触部１９，１９はそのいずれもが当該コンタクト
プローブ１２の軸方向での中心位置Ｏよりも内側に位置
して近接配置されることになる。
【００２５】図２は、このような配置関係のもとで形成
される先鋭接触部１９を備える先端部１５の具体的な形
状の一例を示すものであり、先鋭接触部１９を有する突
端部１８は、その開放先端面に外側から内側方向へと傾
斜させた斜面２０を設け、この斜面２０に対し傾斜方向
に沿わせて２条のＶカット溝２１を刻設することで、計
３条の稜線部２２が形成されている。
される先鋭接触部１９を備える先端部１５の具体的な形
状の一例を示すものであり、先鋭接触部１９を有する突
端部１８は、その開放先端面に外側から内側方向へと傾
斜させた斜面２０を設け、この斜面２０に対し傾斜方向
に沿わせて２条のＶカット溝２１を刻設することで、計
３条の稜線部２２が形成されている。
【００２６】また、このようにして形成される先端部１
５における突端部１８と前記スペーサ挟持部１６との間
には、これらと同一の前記垂直面１７を形成している内
側面を除く部位を断面が方形や略半円形など、内側面を
除く周面が適宜形状を呈する細径部２３を設けることに
より先端部１５の全体が形成されている。
５における突端部１８と前記スペーサ挟持部１６との間
には、これらと同一の前記垂直面１７を形成している内
側面を除く部位を断面が方形や略半円形など、内側面を
除く周面が適宜形状を呈する細径部２３を設けることに
より先端部１５の全体が形成されている。
【００２７】したがって、先端部１５における突端部１
８に形成される先鋭接触部１９は、計３条の稜線部２２
がその最突端に点状となって配列させる計３個の接点１
９ａにより形成されることになる。
８に形成される先鋭接触部１９は、計３条の稜線部２２
がその最突端に点状となって配列させる計３個の接点１
９ａにより形成されることになる。
【００２８】なお、前記先鋭接触部１９は、刻設される
Ｖカット溝２１の数により接点１９ａの数を自由に選択
することができる。
Ｖカット溝２１の数により接点１９ａの数を自由に選択
することができる。
【００２９】図３は、この考案を構成するプローブ杆１
４の先端部形状の他例を示す斜視図であり、この場合の
先端部１５は、軸方向での突端部１８とスペーサ挟持部
１６との間に細径部２３が設けられていることは図２の
場合と同様であるが、突端部１８，１８相互の対向面、
つまり、図２の場合は垂直面１７となっていた内側面を
コンタクトプローブ１２の軸方向での中心位置Ｏの側に
後退させた垂直切削面２４とすることで、先鋭接触部１
９，１９相互間の間隔Ｔを図２の場合より広くとること
ができるようになっている。
４の先端部形状の他例を示す斜視図であり、この場合の
先端部１５は、軸方向での突端部１８とスペーサ挟持部
１６との間に細径部２３が設けられていることは図２の
場合と同様であるが、突端部１８，１８相互の対向面、
つまり、図２の場合は垂直面１７となっていた内側面を
コンタクトプローブ１２の軸方向での中心位置Ｏの側に
後退させた垂直切削面２４とすることで、先鋭接触部１
９，１９相互間の間隔Ｔを図２の場合より広くとること
ができるようになっている。
【００３０】しかも、前記先端部１５，１５相互は、前
記細径部２３に対し例えば熱収縮チューブなどを用いて
形成されるチューブ状保持部材２５を抱持させて一体的
に保持させることで、それぞれに軸方向への跛行移動性
を確保させるべくその摺動を自在にして一体化されてい
る。
記細径部２３に対し例えば熱収縮チューブなどを用いて
形成されるチューブ状保持部材２５を抱持させて一体的
に保持させることで、それぞれに軸方向への跛行移動性
を確保させるべくその摺動を自在にして一体化されてい
る。
【００３１】つまり、コンタクトプローブ１２，１２相
互は、先端部１５におけるスペーサ挟持部１６，１６の
垂直面１７，１７相互間に配置されるスペーサ２６を介
することで相互に導通しない間隔Ｔを確保して一体化さ
れたプローブユニット１１を形成することになる。
互は、先端部１５におけるスペーサ挟持部１６，１６の
垂直面１７，１７相互間に配置されるスペーサ２６を介
することで相互に導通しない間隔Ｔを確保して一体化さ
れたプローブユニット１１を形成することになる。
【００３２】この考案は上述したようにして構成されて
いるので、一対のコンタクトプローブ１２，１２におけ
る各プローブ杆１４，１４の先端部１５，１５相互は、
細径部２３に配設されるチューブ状保持部材２５により
一体的に保持させることができるので、仮に先端部１５
の加工公差や保持筒１３を抱持する絶縁性ホルダ２７の
寸法公差が影響してその測定時に先端部１５，１５相互
に拡開させる方向への力が作用することがあったとして
も、前記スペーサ２６を介して先端部１５，１５の先鋭
接触部１９，１９相互間に確保される間隔Ｔを常に一定
に保持させることができる。
いるので、一対のコンタクトプローブ１２，１２におけ
る各プローブ杆１４，１４の先端部１５，１５相互は、
細径部２３に配設されるチューブ状保持部材２５により
一体的に保持させることができるので、仮に先端部１５
の加工公差や保持筒１３を抱持する絶縁性ホルダ２７の
寸法公差が影響してその測定時に先端部１５，１５相互
に拡開させる方向への力が作用することがあったとして
も、前記スペーサ２６を介して先端部１５，１５の先鋭
接触部１９，１９相互間に確保される間隔Ｔを常に一定
に保持させることができる。
【００３３】しかも、一対のコンタクトプローブ１２，
１２における各プローブ杆１４，１４の先端部１５，１
５相互は、チューブ状保持部材２５によりその摺動を自
在にして保持されているので、各別となっての軸方向へ
の跛行移動性を確保することができ、例えば各被測定ポ
イントの半田付け部位に高低差があるような場合であっ
ても、対応する先鋭接触部１９を確実に接触させること
ができる。
１２における各プローブ杆１４，１４の先端部１５，１
５相互は、チューブ状保持部材２５によりその摺動を自
在にして保持されているので、各別となっての軸方向へ
の跛行移動性を確保することができ、例えば各被測定ポ
イントの半田付け部位に高低差があるような場合であっ
ても、対応する先鋭接触部１９を確実に接触させること
ができる。
【００３４】また、先鋭接触部１９は、点状に配列され
た接点１９ａにより形成されているので、比較的広い面
で接触する従来タイプのものに比べフラックッスや酸化
膜を容易に突き破ることができ、接触不良の原因を除去
し、安定した測定が可能になる。
た接点１９ａにより形成されているので、比較的広い面
で接触する従来タイプのものに比べフラックッスや酸化
膜を容易に突き破ることができ、接触不良の原因を除去
し、安定した測定が可能になる。
【００３５】さらに、前記先鋭接触部１９を点状に配列
された接点１９ａにより形成したことにより、図４の
（イ）に示す線状に形成されている場合の打痕パターン
２８とは異なり、図４の（ロ）に示す打痕パターン２９
のように検査基板の被測定ポイントへの接触を多点接触
として応力集中を分散することができるので、被測定ポ
イントに形成されている半田付け部位を削り取ってしま
うなどといったダメージを検査基板に与えることもなく
すことができる。
された接点１９ａにより形成したことにより、図４の
（イ）に示す線状に形成されている場合の打痕パターン
２８とは異なり、図４の（ロ）に示す打痕パターン２９
のように検査基板の被測定ポイントへの接触を多点接触
として応力集中を分散することができるので、被測定ポ
イントに形成されている半田付け部位を削り取ってしま
うなどといったダメージを検査基板に与えることもなく
すことができる。
【００３６】
【考案の効果】以上述べたようにこの考案によれば、一
対のコンタクトプローブにおける各プローブ杆の先端部
相互を細径部に配設されるチューブ状保持部材により一
体的に保持させることができるので、仮に先端部の加工
公差や保持筒を抱持する絶縁性ホルダの寸法公差が影響
してその測定時に先端部相互に拡開させる方向への力が
作用することがあったとしても、前記スペーサを介して
先端部の先鋭接触部相互間に確保される間隔を常に一定
に保持させることができる。
対のコンタクトプローブにおける各プローブ杆の先端部
相互を細径部に配設されるチューブ状保持部材により一
体的に保持させることができるので、仮に先端部の加工
公差や保持筒を抱持する絶縁性ホルダの寸法公差が影響
してその測定時に先端部相互に拡開させる方向への力が
作用することがあったとしても、前記スペーサを介して
先端部の先鋭接触部相互間に確保される間隔を常に一定
に保持させることができる。
【００３７】しかも、一対のコンタクトプローブにおけ
る各プローブ杆の先端部相互は、チューブ状保持部材に
よりその摺動を自在にして保持されているので、各別と
なっての軸方向への跛行移動性を確保することができ、
例えば各被測定ポイントの半田付け部位に高低差がある
ような場合であっても、先鋭接触部を確実に接触させる
ことができる。
る各プローブ杆の先端部相互は、チューブ状保持部材に
よりその摺動を自在にして保持されているので、各別と
なっての軸方向への跛行移動性を確保することができ、
例えば各被測定ポイントの半田付け部位に高低差がある
ような場合であっても、先鋭接触部を確実に接触させる
ことができる。
【００３８】また、先鋭接触部は、点状に配列されて形
成されているので、フラックスや酸化膜を容易に突き破
ることができ、接触不良の原因を除去し、安定した測定
が可能になるほか、検査基板の被測定ポイントへの接触
を多点接触として応力集中を分散することもできるの
で、被測定ポイントに形成されている半田付け部位を削
り取ってしまうなどといったダメージを検査基板に与え
ることもなくすことができる。
成されているので、フラックスや酸化膜を容易に突き破
ることができ、接触不良の原因を除去し、安定した測定
が可能になるほか、検査基板の被測定ポイントへの接触
を多点接触として応力集中を分散することもできるの
で、被測定ポイントに形成されている半田付け部位を削
り取ってしまうなどといったダメージを検査基板に与え
ることもなくすことができる。
【図１】この考案の一実施例ついての要部を拡大し、そ
の一部を切り欠いて示す説明図である。
の一部を切り欠いて示す説明図である。
【図２】この考案を構成するプローブ杆の先端部構造の
一例を示す斜視図である。
一例を示す斜視図である。
【図３】この考案を構成するプローブ杆の先端部構造の
他例を示す斜視図である。
他例を示す斜視図である。
【図４】従来のコンタクトプローブと本考案のコンタク
トプローブを説明するための打痕図である。
トプローブを説明するための打痕図である。
【図５】ファインピッチ用プローブユニットの従来例を
示す全体正面図である。
示す全体正面図である。
１１ プローブユニット １２ コンタクトプローブ １３ 保持筒 １４ プローブ杆 １５ 先端部 １６ スペーサ挟持部 １７ 垂直面 １８ 突端部 １９ 先鋭接触部 １９ａ 接点 ２０ 斜面 ２１ Ｖカット溝 ２２ 稜線部 ２３ 細径部 ２４ 垂直切削面 ２５ チューブ状保持部材 ２６ スペーサ ２７ 絶縁性ホルダ ２８，２９ 打痕パターン
Claims (2)
- 【請求項１】 保持筒と、この保持筒からその突端部に
先鋭接触部を設けてなる先端部を突出させ、かつ、その
突出方向に付勢されて進退自在に挿通保持されるプロー
ブ杆とで形成される一対のコンタクトプローブを前記先
端部に形成されるスペーサ挟持部相互間に絶縁性のスペ
ーサを介在させることで平行に隔置し、保持筒の側を絶
縁性ホルダで一体的に抱持させてなるプローブユニット
において、各プローブ杆の前記先端部相互は、それぞれ
の開放先端面に外側から内側方向へと前下がりに傾斜さ
せた斜面を設け、この斜面に対し傾斜方向に沿わせた複
数条のＶカット溝を刻設して相互に近接して平行する点
状に配列された先鋭接触部を設けて形成するとともに、
少なくともいずれか一方の先端部の先鋭接触部が当該コ
ンタクトプローブの軸方向での中心位置よりも内側に位
置させ、かつ、軸方向での先鋭接触部とスペーサ挟持部
との間に形成される細径部を介して配設されるチューブ
状保持部材によりその摺動を自在にして一体的に保持さ
せたことを特徴とするファインピッチ用プローブユニッ
ト。 - 【請求項２】 各プローブ杆の前記先端部は、相互に対
面する内側面をコンタクトプローブの軸方向での中心位
置寄りに後退させて設けた垂直切削面をそれぞれの突端
部側に有することを特徴とする請求項１記載のファイン
ピッチ用プローブユニット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1993058308U JP2606481Y2 (ja) | 1993-10-01 | 1993-10-01 | ファインピッチ用プローブユニット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1993058308U JP2606481Y2 (ja) | 1993-10-01 | 1993-10-01 | ファインピッチ用プローブユニット |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0723284U JPH0723284U (ja) | 1995-04-25 |
| JP2606481Y2 true JP2606481Y2 (ja) | 2000-11-06 |
Family
ID=13080618
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1993058308U Expired - Fee Related JP2606481Y2 (ja) | 1993-10-01 | 1993-10-01 | ファインピッチ用プローブユニット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2606481Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101555330B1 (ko) * | 2014-04-04 | 2015-09-30 | 주식회사 에이티테크놀러지 | Pcb 기판 전기 검사용 니들 조립체 |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4562122B2 (ja) * | 2004-03-30 | 2010-10-13 | 有限会社清田製作所 | 半田ボール検査用２探針ケルビンプローブ |
| JP2012112709A (ja) * | 2010-11-22 | 2012-06-14 | Unitechno Inc | ケルビンコンタクトプローブおよびそれを備えたケルビン検査治具 |
| JP6009544B2 (ja) * | 2012-04-17 | 2016-10-19 | ユニテクノ株式会社 | ケルビンコンタクトプローブおよびそれを備えたケルビン検査治具 |
| KR101439343B1 (ko) * | 2013-04-18 | 2014-09-16 | 주식회사 아이에스시 | 포고핀용 탐침부재 |
| KR102597311B1 (ko) * | 2021-08-24 | 2023-11-02 | 윌테크놀러지(주) | 미세피치 대응이 가능한 프로브 카드 |
-
1993
- 1993-10-01 JP JP1993058308U patent/JP2606481Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101555330B1 (ko) * | 2014-04-04 | 2015-09-30 | 주식회사 에이티테크놀러지 | Pcb 기판 전기 검사용 니들 조립체 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0723284U (ja) | 1995-04-25 |
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