JPH05215773A - 多点測定用導電性接触子ユニット - Google Patents
多点測定用導電性接触子ユニットInfo
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- JPH05215773A JPH05215773A JP4047833A JP4783392A JPH05215773A JP H05215773 A JPH05215773 A JP H05215773A JP 4047833 A JP4047833 A JP 4047833A JP 4783392 A JP4783392 A JP 4783392A JP H05215773 A JPH05215773 A JP H05215773A
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- Japan
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- guide
- tip
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
- G01R1/067—Measuring probes
- G01R1/073—Multiple probes
- G01R1/07307—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card
- G01R1/07357—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card with flexible bodies, e.g. buckling beams
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 多点測定用導電性接触子ユニットに於ける組
立及び交換作業を容易に行うと共に、導電性針状体のた
わみを防止する。 【構成】 複数の導電性接触子の各リセプタクル２をリ
セプタクル支持体１に並列に設け、各針状体３の先端部
を、リセプタクル２のピッチＰ２よりも小さいピッチＰ
１にて先端部ガイド体１１に配設された各先端部ガイド
孔１１ａによりガイドして、プリント配線板４の各導電
パターン５に対応させる。リセプタクル２及び先端部ガ
イド体１１の両者間に複数枚の中間ガイド体６〜１０を
一体的に積層する。各中間ガイド体６〜１０に、針状体
３をガイドするための各ガイド孔６ａ〜１０ａを設け
る。各ガイド孔６ａ〜１０ａのピッチＰ３を、ピッチＰ
２よりも小さくピッチＰ１よりも大きくしかつ先端部ガ
イド孔１１ａに向かうに伴って順次小さくしていくこと
により、針状体３を円滑にガイドし得る。
立及び交換作業を容易に行うと共に、導電性針状体のた
わみを防止する。 【構成】 複数の導電性接触子の各リセプタクル２をリ
セプタクル支持体１に並列に設け、各針状体３の先端部
を、リセプタクル２のピッチＰ２よりも小さいピッチＰ
１にて先端部ガイド体１１に配設された各先端部ガイド
孔１１ａによりガイドして、プリント配線板４の各導電
パターン５に対応させる。リセプタクル２及び先端部ガ
イド体１１の両者間に複数枚の中間ガイド体６〜１０を
一体的に積層する。各中間ガイド体６〜１０に、針状体
３をガイドするための各ガイド孔６ａ〜１０ａを設け
る。各ガイド孔６ａ〜１０ａのピッチＰ３を、ピッチＰ
２よりも小さくピッチＰ１よりも大きくしかつ先端部ガ
イド孔１１ａに向かうに伴って順次小さくしていくこと
により、針状体３を円滑にガイドし得る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、多点測定用導電性接触
子ユニットに関し、特に、プリント配線板の導体パター
ンの接続状態や電子素子の信号を電気的に検査する際に
複数の導電性針状体を用いて多点同時に測定を行うため
の多点測定用導電性接触子ユニットに関する。
子ユニットに関し、特に、プリント配線板の導体パター
ンの接続状態や電子素子の信号を電気的に検査する際に
複数の導電性針状体を用いて多点同時に測定を行うため
の多点測定用導電性接触子ユニットに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、プリント配線板の導体パターンや
電子素子などの電気的検査を行うためのコンタクトプロ
ーブに用いられる導電性接触子には、導電性針状体と、
その針状体を軸線方向に変位自在に受容する筒状のリセ
プタクルとを有し、針状体の先端をリセプタクルの前端
から突出させる向きに弾発付勢しておき、針状体の先端
を検査対象に弾発的に接触させるようにしたものがあ
る。
電子素子などの電気的検査を行うためのコンタクトプロ
ーブに用いられる導電性接触子には、導電性針状体と、
その針状体を軸線方向に変位自在に受容する筒状のリセ
プタクルとを有し、針状体の先端をリセプタクルの前端
から突出させる向きに弾発付勢しておき、針状体の先端
を検査対象に弾発的に接触させるようにしたものがあ
る。
【０００３】上記したような導電性接触子を複数用いて
多点同時測定を行うようにした多点測定用導電性接触子
ユニットでは、各導電性接触子のリセプタクルを絶縁性
の合成樹脂材からなるリセプタクル保持体に並列に配設
している。ところで、近年の配線密度が高くなったプリ
ント配線板に於いては、互いに隣合う測定点の間隔が極
めて狭められているため、各導電性接触子の各先端部同
士の間隔をできるだけ狭めて配設したものを用いること
が望ましい。
多点同時測定を行うようにした多点測定用導電性接触子
ユニットでは、各導電性接触子のリセプタクルを絶縁性
の合成樹脂材からなるリセプタクル保持体に並列に配設
している。ところで、近年の配線密度が高くなったプリ
ント配線板に於いては、互いに隣合う測定点の間隔が極
めて狭められているため、各導電性接触子の各先端部同
士の間隔をできるだけ狭めて配設したものを用いること
が望ましい。
【０００４】各導電性接触子の各先端部同士の間隔をで
きるだけ狭めて配設した多点測定用導電性接触子ユニッ
トに於いて、例えば図２に示されるようにしたものがあ
る。図に於いて、絶縁性のリセプタクル保持板２１に、
各導電性接触子の各リセプタクル２２が、各軸線を互い
に平行にして貫通するように固着されている。各リセプ
タクル２２には、それぞれ軸線方向に変位自在に細径の
導電性針状体２３が受容されている。なお、リセプタク
ル２２内には、針状体２３の先端をリセプタクル２２の
前端（図の下端）から突出させる向きに付勢するべく、
図示されない例えば圧縮コイルばねが同軸的に設けられ
ている。
きるだけ狭めて配設した多点測定用導電性接触子ユニッ
トに於いて、例えば図２に示されるようにしたものがあ
る。図に於いて、絶縁性のリセプタクル保持板２１に、
各導電性接触子の各リセプタクル２２が、各軸線を互い
に平行にして貫通するように固着されている。各リセプ
タクル２２には、それぞれ軸線方向に変位自在に細径の
導電性針状体２３が受容されている。なお、リセプタク
ル２２内には、針状体２３の先端をリセプタクル２２の
前端（図の下端）から突出させる向きに付勢するべく、
図示されない例えば圧縮コイルばねが同軸的に設けられ
ている。
【０００５】また、リセプタクル保持体２１には、所定
の間隔をおいて平行に対峙するように、支柱２４を介し
て一体的に先端部ガイド体２５が組み付けられている。
そして、針状体２３のリセプタクル２２の前端から延出
する部分の先端部が、先端部ガイド体２５に設けられた
複数のガイド孔２５ａに軸線方向に変位し得るようにガ
イドされている。さらに、上記各ガイド孔２５ａの軸線
間ピッチは、対応するリセプタクル２２の軸線間ピッチ
よりも狭められている。なお、リセプタクル２２の後端
側に受容されている針状体２３の各基端は、それぞれリ
ード線２６を介して図示されないテスタと接続されてい
る。このようにして、被測定物である例えばプリント配
線板２７の高密度化により間隔を狭められた各導電パタ
ーン２７ａに対して、多点同時測定を行うことができ
る。
の間隔をおいて平行に対峙するように、支柱２４を介し
て一体的に先端部ガイド体２５が組み付けられている。
そして、針状体２３のリセプタクル２２の前端から延出
する部分の先端部が、先端部ガイド体２５に設けられた
複数のガイド孔２５ａに軸線方向に変位し得るようにガ
イドされている。さらに、上記各ガイド孔２５ａの軸線
間ピッチは、対応するリセプタクル２２の軸線間ピッチ
よりも狭められている。なお、リセプタクル２２の後端
側に受容されている針状体２３の各基端は、それぞれリ
ード線２６を介して図示されないテスタと接続されてい
る。このようにして、被測定物である例えばプリント配
線板２７の高密度化により間隔を狭められた各導電パタ
ーン２７ａに対して、多点同時測定を行うことができ
る。
【０００６】しかしながら、上記した構造の測定ユニッ
トでは、リセプタクル保持体２１と先端部ガイド体２５
との間が空洞化されているため、各導電性接触子を直線
的に１列に配設する場合には組立が容易であるが、平面
的に縦横に配設する場合には組立が困難になるばかりで
なく、メンテナンスなどで導電性接触子を交換する場合
には、さらにその作業が困難性を増すという問題が生じ
る。また、測定時には針状体２３が弾発付勢力に抗して
押し戻されるため、そのリセプタクル２２と先端部ガイ
ド体２５との間の部分がたわみ易く、図の想像線に示さ
れるように、各針状体２３間の先端位置を揃えることが
困難であるという問題もあり、たわみ量が大きい場合に
は隣合うもの同士が接触するという問題も生じてしま
う。
トでは、リセプタクル保持体２１と先端部ガイド体２５
との間が空洞化されているため、各導電性接触子を直線
的に１列に配設する場合には組立が容易であるが、平面
的に縦横に配設する場合には組立が困難になるばかりで
なく、メンテナンスなどで導電性接触子を交換する場合
には、さらにその作業が困難性を増すという問題が生じ
る。また、測定時には針状体２３が弾発付勢力に抗して
押し戻されるため、そのリセプタクル２２と先端部ガイ
ド体２５との間の部分がたわみ易く、図の想像線に示さ
れるように、各針状体２３間の先端位置を揃えることが
困難であるという問題もあり、たわみ量が大きい場合に
は隣合うもの同士が接触するという問題も生じてしま
う。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】このような従来技術の
問題点に鑑み、本発明の主な目的は、組立及び交換作業
を容易に行い得ると共に、導電性針状体のたわみを防止
し得る改良された多点測定用導電性接触子ユニットを提
供することにある。
問題点に鑑み、本発明の主な目的は、組立及び交換作業
を容易に行い得ると共に、導電性針状体のたわみを防止
し得る改良された多点測定用導電性接触子ユニットを提
供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】このような目的は、本発
明によれば、複数の導電性針状体と、前記複数の導電性
針状体をそれぞれ軸線方向に変位自在に受容するための
複数の筒状リセプタクルと、前記各リセプタクルを並列
に保持するリセプタクル保持体と、前記各針状体の先端
部同士の第１のピッチを前記各リセプタクル同士の第２
のピッチよりも狭めかつ当該各先端部をそれぞれ軸線方
向に変位自在にガイドする複数の孔を設けられた先端部
ガイド体とを有する多点測定用導電性接触子ユニットで
あって、前記リセプタクルの前端と前記先端部ガイド体
との両者間に、前記各針状体を軸線方向に変位自在にガ
イドすると共に前記第１のピッチよりも小さくかつ前記
第２のピッチよりも大きい第３のピッチをもって配設さ
れた複数の孔を有する少なくとも１つの中間ガイド体を
設けたことを特徴とする多点測定用導電性接触子ユニッ
トを提供することにより達成される。
明によれば、複数の導電性針状体と、前記複数の導電性
針状体をそれぞれ軸線方向に変位自在に受容するための
複数の筒状リセプタクルと、前記各リセプタクルを並列
に保持するリセプタクル保持体と、前記各針状体の先端
部同士の第１のピッチを前記各リセプタクル同士の第２
のピッチよりも狭めかつ当該各先端部をそれぞれ軸線方
向に変位自在にガイドする複数の孔を設けられた先端部
ガイド体とを有する多点測定用導電性接触子ユニットで
あって、前記リセプタクルの前端と前記先端部ガイド体
との両者間に、前記各針状体を軸線方向に変位自在にガ
イドすると共に前記第１のピッチよりも小さくかつ前記
第２のピッチよりも大きい第３のピッチをもって配設さ
れた複数の孔を有する少なくとも１つの中間ガイド体を
設けたことを特徴とする多点測定用導電性接触子ユニッ
トを提供することにより達成される。
【０００９】
【作用】このようにすれば、針状体のリセプタクルから
先端部ガイド体に至る部分が、中間ガイド体により軸線
方向に変位自在にガイドされることから、針状体のたわ
みを防止できる。特に、リセプタクル保持体と先端部ガ
イド体との間を積層された複数の中間ガイド体により埋
めて、針状体をガイドするべく各中間ガイド体に設けた
各孔のピッチを先端部ガイド体に向かうに伴って順次小
さくしていくことにより、組立時に針状体の先端部を先
端部ガイド体の対応する孔に向けて連続的に円滑にガイ
ドし得ることから、組立を容易に行うことができる。
先端部ガイド体に至る部分が、中間ガイド体により軸線
方向に変位自在にガイドされることから、針状体のたわ
みを防止できる。特に、リセプタクル保持体と先端部ガ
イド体との間を積層された複数の中間ガイド体により埋
めて、針状体をガイドするべく各中間ガイド体に設けた
各孔のピッチを先端部ガイド体に向かうに伴って順次小
さくしていくことにより、組立時に針状体の先端部を先
端部ガイド体の対応する孔に向けて連続的に円滑にガイ
ドし得ることから、組立を容易に行うことができる。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の好適実施例を添付の図面につ
いて詳しく説明する。図１は、本発明が適用された多点
測定用導電性接触子ユニットを示す要部破断側面図であ
る。図に於いて、絶縁性の合成樹脂材からなる板状のリ
セプタクル保持体１には、その厚さ方向に貫通するよう
に固着された複数（図では５本）の導電性接触子の円筒
状リセプタクル２が互いの軸線を平行にして配設されて
いる。リセプタクル２は、その前端をリセプタクル保持
体１の図に於ける下面と一致させ、かつその後端部をリ
セプタクル保持体１の図に於ける上方に突出させるよう
に設けられている。なお、リセプタクル２を極力細径に
形成するには、精密加工し得ると共に耐疲労性を有する
洋白を用いると良い。
いて詳しく説明する。図１は、本発明が適用された多点
測定用導電性接触子ユニットを示す要部破断側面図であ
る。図に於いて、絶縁性の合成樹脂材からなる板状のリ
セプタクル保持体１には、その厚さ方向に貫通するよう
に固着された複数（図では５本）の導電性接触子の円筒
状リセプタクル２が互いの軸線を平行にして配設されて
いる。リセプタクル２は、その前端をリセプタクル保持
体１の図に於ける下面と一致させ、かつその後端部をリ
セプタクル保持体１の図に於ける上方に突出させるよう
に設けられている。なお、リセプタクル２を極力細径に
形成するには、精密加工し得ると共に耐疲労性を有する
洋白を用いると良い。
【００１１】各リセプタクル２内には、それぞれ導電性
針状体３の基端部側が軸線方向に変位自在に受容されて
いる。針状体３の先端部側は、図に示されるようにリセ
プタクル２の前端から突出する向きに所定長延出するよ
うに設けられており、針状体３の先端は、被測定物であ
る例えばプリント配線板４の各導電パターン５に的確に
当接し得るように先鋭に形成されている。なお、リセプ
タクル２内には、従来例と同様に針状体３を突出方向に
付勢するための図示されない例えば圧縮コイルばねが同
軸的に設けられている。
針状体３の基端部側が軸線方向に変位自在に受容されて
いる。針状体３の先端部側は、図に示されるようにリセ
プタクル２の前端から突出する向きに所定長延出するよ
うに設けられており、針状体３の先端は、被測定物であ
る例えばプリント配線板４の各導電パターン５に的確に
当接し得るように先鋭に形成されている。なお、リセプ
タクル２内には、従来例と同様に針状体３を突出方向に
付勢するための図示されない例えば圧縮コイルばねが同
軸的に設けられている。
【００１２】また、本ユニットに於いては、リセプタク
ル保持体１の下側には、絶縁性合成樹脂材からなる複数
枚の板状の中間ガイド体６〜１０が積層状態に固着され
ており、その最下端の中間ガイド体１０の下面には板状
の先端部ガイド体１１が固着されている。先端部ガイド
体１１には各針状体３の先端部をガイドするための復数
の先端部ガイド孔１１ａが設けられている。
ル保持体１の下側には、絶縁性合成樹脂材からなる複数
枚の板状の中間ガイド体６〜１０が積層状態に固着され
ており、その最下端の中間ガイド体１０の下面には板状
の先端部ガイド体１１が固着されている。先端部ガイド
体１１には各針状体３の先端部をガイドするための復数
の先端部ガイド孔１１ａが設けられている。
【００１３】ところで、高密度化されたプリント配線板
４に於いて各導電パターン５が互いに極めて接近して配
設されている場合には、それら密集している各導電パタ
ーン５に対して多点同時測定し得るように、各針状体３
の先端部を集中させる必要がある。そのため、第１のピ
ッチとしての先端部ガイド体１１の各先端部ガイド孔１
１ａのピッチＰ１が第２のピッチとしての各リセプタク
ル２のピッチＰ２よりも小さくされている。
４に於いて各導電パターン５が互いに極めて接近して配
設されている場合には、それら密集している各導電パタ
ーン５に対して多点同時測定し得るように、各針状体３
の先端部を集中させる必要がある。そのため、第１のピ
ッチとしての先端部ガイド体１１の各先端部ガイド孔１
１ａのピッチＰ１が第２のピッチとしての各リセプタク
ル２のピッチＰ２よりも小さくされている。
【００１４】また、中間ガイド体６〜１０には、各針状
体３の延出部を、先端部ガイド体１１の対応する各先端
部ガイド孔１１ａに向けて円滑にガイドするための複数
のガイド孔６ａ〜１０ａがそれぞれ設けられている。第
３のピッチとしての中間ガイド体６〜１０の各ガイド孔
６ａ〜１０ａの各ピッチＰ３（図では中間ガイド体８に
於けるピッチを代表して示している）は、リセプタクル
２のピッチＰ２よりも小さくかつ先端部ガイド孔１１ａ
のピッチＰ１よりも大きく配設されている。さらに、各
中間ガイド体６〜１０毎の各ピッチＰ３が、リセプタク
ル保持体１から先端部ガイド体７に向かうに伴って、徐
々に小さくなるようにされている。従って、各針状体３
をそれぞれ対応する各先端部ガイド孔１１ａに向けて円
滑にガイドし得る。なお、リセプタクル２の後端側に受
容されている針状体３の各基端は、それぞれリード線１
２を介して図示されないテスタと接続されている。
体３の延出部を、先端部ガイド体１１の対応する各先端
部ガイド孔１１ａに向けて円滑にガイドするための複数
のガイド孔６ａ〜１０ａがそれぞれ設けられている。第
３のピッチとしての中間ガイド体６〜１０の各ガイド孔
６ａ〜１０ａの各ピッチＰ３（図では中間ガイド体８に
於けるピッチを代表して示している）は、リセプタクル
２のピッチＰ２よりも小さくかつ先端部ガイド孔１１ａ
のピッチＰ１よりも大きく配設されている。さらに、各
中間ガイド体６〜１０毎の各ピッチＰ３が、リセプタク
ル保持体１から先端部ガイド体７に向かうに伴って、徐
々に小さくなるようにされている。従って、各針状体３
をそれぞれ対応する各先端部ガイド孔１１ａに向けて円
滑にガイドし得る。なお、リセプタクル２の後端側に受
容されている針状体３の各基端は、それぞれリード線１
２を介して図示されないテスタと接続されている。
【００１５】このようにして構成された多点測定用導電
性接触子ユニットでは、リセプタクル２から先端部ガイ
ド体１１に至る中間部分に中間ガイド体６〜１０の各ガ
イド孔６ａ〜１０ａが連続的に設けられており、導電性
接触子の組立の際に、リセプタクル２から延出する針状
体３の先端を先端部ガイド孔１１ａに向けて通す作業を
容易に行うことができる。また、針状体３の延出中間部
のたわみが抑制されるため、各針状体３の先端の位置精
度を向上し得ると共に、針状体３の中間部同士の干渉を
回避し得る。従って、導電性接触子の絶縁性を向上し得
る。
性接触子ユニットでは、リセプタクル２から先端部ガイ
ド体１１に至る中間部分に中間ガイド体６〜１０の各ガ
イド孔６ａ〜１０ａが連続的に設けられており、導電性
接触子の組立の際に、リセプタクル２から延出する針状
体３の先端を先端部ガイド孔１１ａに向けて通す作業を
容易に行うことができる。また、針状体３の延出中間部
のたわみが抑制されるため、各針状体３の先端の位置精
度を向上し得ると共に、針状体３の中間部同士の干渉を
回避し得る。従って、導電性接触子の絶縁性を向上し得
る。
【００１６】なお、本実施例では、リセプタクル保持体
１と先端部ガイド体１１との間の中間部分を中間ガイド
体６〜１０により埋めつくしたが、各中間ガイド体６〜
１０を隙間を設けて配設したり、例えば中間点に１枚の
中間ガイド体を配置するのみであっても良い。また、実
施例のように中間ガイド体６〜１０の面に直交する向き
にガイド孔６ａ〜１０ａを開けることにより、その制作
を容易に行うことができるが、例えば斜めの向きに孔開
け加工を行うようにしても良く、その場合には針状体を
より一層円滑にガイドし得る。
１と先端部ガイド体１１との間の中間部分を中間ガイド
体６〜１０により埋めつくしたが、各中間ガイド体６〜
１０を隙間を設けて配設したり、例えば中間点に１枚の
中間ガイド体を配置するのみであっても良い。また、実
施例のように中間ガイド体６〜１０の面に直交する向き
にガイド孔６ａ〜１０ａを開けることにより、その制作
を容易に行うことができるが、例えば斜めの向きに孔開
け加工を行うようにしても良く、その場合には針状体を
より一層円滑にガイドし得る。
【００１７】
【発明の効果】このように本発明によれば、被測定物の
複数の測定点が高密度化しているものに対して多点同時
測定するべく複数の導電性接触子を設けたものに於い
て、各リセプタクルのピッチよりも針状体の先端部のピ
ッチが小さくなるが、中間ガイド体のガイド孔により針
状体を好適にガイドし得るため、リセプタクルと先端部
ガイド体との間にて針状体がたわむことを防止できる。
従って、針状体同士の干渉を回避し得ると共に、組立や
交換作業を容易に行うことができ、特に、針状体の先端
を平面的に配設するものに於いて、その効果は極めて大
である。
複数の測定点が高密度化しているものに対して多点同時
測定するべく複数の導電性接触子を設けたものに於い
て、各リセプタクルのピッチよりも針状体の先端部のピ
ッチが小さくなるが、中間ガイド体のガイド孔により針
状体を好適にガイドし得るため、リセプタクルと先端部
ガイド体との間にて針状体がたわむことを防止できる。
従って、針状体同士の干渉を回避し得ると共に、組立や
交換作業を容易に行うことができ、特に、針状体の先端
を平面的に配設するものに於いて、その効果は極めて大
である。
【図１】本発明に基づく多点測定用導電性接触子ユニッ
トを示す要部破断側面図。
トを示す要部破断側面図。
【図２】従来例を示す多点測定用導電性接触子ユニット
を示す要部破断側面図。
を示す要部破断側面図。
１ リセプタクル保持体 ２ リセプタクル ３ 針状体 ４ プリント配線板 ５ 導電パターン ６〜１０ 中間ガイド体 ６ａ〜１０ａ ガイド孔 １１ 先端部ガイド体 １１ａ 先端部ガイド孔 １２ リード線 ２１ リセプタクル保持板 ２２ リセプタクル ２３ 針状体 ２４ 支柱 ２５ 先端部ガイド体 ２５ａ ガイド孔 ２６ リード線 ２７ プリント配線板 ２７ａ 導電パターン
Claims (1)
- 【請求項１】 複数の導電性針状体と、前記複数の導電
性針状体をそれぞれ軸線方向に変位自在に受容するため
の複数の筒状リセプタクルと、前記各リセプタクルを並
列に保持するリセプタクル保持体と、前記各針状体の先
端部同士の第１のピッチを前記各リセプタクル同士の第
２のピッチよりも狭めかつ当該各先端部をそれぞれ軸線
方向に変位自在にガイドする複数の孔を設けられた先端
部ガイド体とを有する多点測定用導電性接触子ユニット
であって、 前記リセプタクルの前端と前記先端部ガイド体との両者
間に、前記各針状体を軸線方向に変位自在にガイドする
と共に前記第１のピッチよりも小さくかつ前記第２のピ
ッチよりも大きい第３のピッチをもって配設された複数
の孔を有する少なくとも１つの中間ガイド体を設けたこ
とを特徴とする多点測定用導電性接触子ユニット。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4047833A JPH05215773A (ja) | 1992-02-04 | 1992-02-04 | 多点測定用導電性接触子ユニット |
| US08/013,465 US5394099A (en) | 1992-02-04 | 1993-02-04 | Electroconductive contact probe with intermediately supported, spring urged converging needles having parallel free ends |
Applications Claiming Priority (1)
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