KR100618314B1

KR100618314B1 - 회로기판 시험장치용 탐침

Info

Publication number: KR100618314B1
Application number: KR1020027004764A
Authority: KR
Inventors: 오트벨드; 프로코프맨프레드
Original assignee: 에이티지 테스트 시스템즈 게엠베하
Priority date: 1999-10-26
Filing date: 2000-09-05
Publication date: 2006-08-31
Also published as: DE50004369D1; KR20020057974A; CN1384921A; EP1224476B1; DE19951501A1; US20020118030A1; US6720781B2; WO2001031348A1; ATE253731T1; CN1180264C; EP1224476A1; TW530948U

Abstract

본 발명은 어댑터 및 회로기판 시험장치는 물론 회로기판 시험장치용 탐침에 관한것이다. 탐침은 바늘과 슬리브로 구성되고, 바늘은 슬리브에서 이동 가능하게 안내되며, 바늘은 슬리브로부터 최소한 10mm, 특히 20mm이상 돌출된다.

제1실시예에서 바늘은 슬리브로부터 돌출하는 부분에서 접촉 선단부까지 원추형으로 테이퍼져 있다.

본 발명에 따른 탐침에 대하여 회로기판용 어댑터는 고밀도로 접촉부를 포함하도록 제조될 수 있으며, 탐침은 동시에 탄성적으로 작용한다.

탐침, 어댑터, 회로기판 시험장치

Description

회로기판 시험장치용 탐침{Probe for a circuit board tester}

본 발명은 어댑터 및 회로기판 시험장치는 물론 회로기판 시험장치용 탐침에 관한 것이다.

회로기판 시험장치에 사용하기 위한 여러가지 유형의 핀 또는 바늘 형태의 탐침은 공지되어 있다. 종래 기술의 회로기판 시험장치는 도6에서 알 수 있으며, 이 경우 격자 패턴 배열(G)의 예정된 규칙적인 격자 패턴이 패턴 어댑터(R)의 도움으로 시험하고자 하는 회로기판(P)의 시험 지점(T)의 불규칙적인 배열로 이동되어 있다. 패턴 어댑터(R)는 일반적으로 서로 일정 간격 이격된 수개의 안내층(F)을 포함하는데 이 경우 안내 구멍이 탐침(N)을 수용하도록 형성되어 있다. 탐침(N)은 기본 패턴의 규칙적인 배열로 부터 벗어나 있기 때문에 회로기판 시험 지점(T)에 규칙적인 격자 패턴의 접촉점을 전기적으로 연결시킬 수 있도록 견고하고 경사지게 어댑터(R)에 배열되어 있다.

시험하고자 하는 회로기판의 회로기판 시험 지점에서 불규칙성을 보상하기 위하여, 그리고 격자 패턴 배열(G)과 전기적으로 신뢰할 만한 접촉을 위하여, 패턴 어댑터(R)는 격자 패턴 배열의 대응하는 패턴에서 탄성 탐침(S)이 설치되어 있는 완전 패턴 카세트(V)와 접촉하고 있다. 완전 패턴 카세트는 완전 배열의 탐침을 갖 고 있는 반면에 통상적으로 패턴 어댑터는 회로기판이 시험하고자 하는 회로기판 시험지점(T)를 포함하는 만큼의 탐침만을 포함한다. 탐침(N)의 형태는 통상 봉상형이며, 특히 EP O 149 776 B2 및 DE G 90 14 236.5 U1에 의하여 발표된 바와 같은 보스 또는 두꺼운 단부를 특징으로 한다.

현대의 회로기판은 다수의 내부 배선 평면으로 구성되거나 또는 고도로 집적된 IC를 직접 수용하도록 제공된다. 특히 고밀도 단자 배열, 예컨대 볼 격자 배열(BGA) 같은 고밀도 단자 배열을 이용함으로서, 회로기판에 접촉되어 검지될 접촉점의 수에 대한 요건이 실질적으로 증가된다. 동시에 그와 같은 회로기판에 대한 접점 사이의 간격은 약 0.25mm(10밀)까지 감소되었다. 본 적용 분야에서 그와 같은 어댑터에 대하여 예컨대 0.1mm 또는 0.2mm의 직경을 갖는 아주 얇은 탐침이 사용된다. 그러나 이들 탐침은 아주 불안정하므로 많은 안내층이 탐침을 신뢰성 있게 안내하도록 어댑터에 제공될 필요가 있다. 이는 언급된 요건으로 인하여 시험하고자 하는 회로기판의 각각의 형태로 되게 시험장치를 제작하는 것이 매우 복잡하게 되었다.
페인 베르크테크닉 및 메스테크닉(정밀 기계학 및 도량형학) 98, 7/8, 317-318 페이지에서 "SMD 기술변화 시험장치"라는 논문에는 탐침 슬리브 및 상기 탐침 슬리브에서 활주할 수 있는 플런저를 갖는 SMD 회로기판용 접촉 탐침이 발표되어 있다. 플런저의 직경은 1.3mm이다. 상기 논문은 낮은 벽 두께의 탐침 슬리브 및 적은 생크 직경의 플런저를 갖는 탐침을 단점으로 기술하고 있다.
미국 특허 제4 896 107호는 원추형으로 테이퍼진 선단부를 갖는 접촉 탐침을 보여주고 있다. 생크 대역에서 이들 접촉 탐침은 1.3-1.4mm의 최대 두께를 갖는 반면에 접촉 탐침에 형성된 헤드는 2mm의 직경을 갖고 있다.
DE 36 43 305 A1은 슬리브로서 작용하는 세장된 금속 실린더, 및 슬리브에서 활주할 수 있는 접촉 탐침을 형성토록 슬리브에 삽입되는 단일편 금속 튜브-나사-스프링 부품을 갖는 스프링 접촉 탐침을 보여주고 있다.
DE 34 26 295 A1에는 다른 접촉 탐침이 발표되어 있다. 이 접촉 탐침은 슬리브 및 플런저를 갖고 있다. 플런저에는 슬리브의 크림프 슬로트가 계합되는 평탄부분이 형성되어 있다. 그와 같은 윤곽의 설비는 사용되는 플런저가 본 발명에 따른 탐침보다 상당히 두껍다는 것을 보여준다.
미국 특허 제4 633 176호는 외향으로 회전될 수 있는 시험 탐침이 제공된 회로기판의 시험용 어댑터에 관한 것이다. 시험 탐침은 외향 회전되며 원추형 선단부 및 상기 원추형 선단부와 공동으로 작용하는 구멍에 의하여 시험될 회로기판에서 예정된 접촉 지점과 정렬된다.

따라서 본 발명의 목적은 현대의 회로기판을 시험하거나 또는 접촉함에 있어서 고밀도 배열로 항상 증가하는 단자의 수의 요건을 만족시키는 탐침을 제공하는데 있다. 또한 본 발명의 목적은 어댑터 및 개량된 회로기판 시험장치를 제공하는데 있다.

상기와 같은 본 발명의 목적은 청구항 11의 특징을 갖는 어댑터 및 청구항 14의 특징을 갖는 회로기판 시험장치는 물론 청구항 1의 특징을 갖는 탐침을 제공함으로서 달성된다. 이들의 유리한 특징은 각각의 경우 종속항의 주제이다.

회로기판 시험장치용의 본 발명에 따른 탐침은 이것이 바늘 및 슬리브로 구성되어 있고 바늘은 슬리브에서 이동 가능하게 안내되고 슬리브로 부터 최소한 10mm, 특히 20mm 이상 돌출됨을 특징으로 한다. 바늘은 슬리브로부터 돌출하는 대역에서 접촉 선단부까지 점진적으로 그리고 원추상으로 테이퍼져 있다.

바늘은 슬리브에서 안내되기 때문에, 탐침의 향상된 고유 강성은 동시에 그의 탄성 보정에 의하여 달성된다. 이외에 본 발명에 따른 탐침은 접촉면 사이의 공간을 거의 갖지 않는 고밀도 접촉 배열을 스트로보 하기 위하여 어댑터에 통합하는 것이 용이하다.
따라서 접촉 선단부까지 점진적으로 테이퍼진 바늘 및 상기 바늘의 상당한 부분이 돌출되는 슬리브의 조합은 그들의 접촉 선단부의 대역에서 수개의 시험 탐침의 밀집한 배열을 가능하게 한다. 또한 이는 필요한 강성을 가지며 디자인이 간단하다.

더욱이 본 발명에 따른 어댑터는 상술한 유형의 탄성 탐침이 통공에 설치되는 평행한 최소한 두개의 층으로 구성되며 탐침은 시험 물체를 접촉토록 탐침의 접촉 선단부를 돌출시키면서 부분적으로 경사지게 배치됨은 물론 시험 물체의 대향 하는 어댑터의 측부의 탐침은 접촉의 규칙적인 배열을 갖는 격자 패턴 배열과 접촉하도록 형성되어 있다. 따라서 본 발명에 따른 어댑터는 통상적으로 시험 물체의 임의의 패턴으로 격자 패턴 배열을 갖는 규칙적인 패턴을 적응시키기 위하여 탄성 탐침과 강성 바늘 어댑터를 갖는 완전한 패턴 카세트로의 분리 배열을 배제한다. 이 경우 슬리브는 내부층의 개수가 최소화 될 수 있도록 실질적인 지지 및 안내 기능을 한다. 어댑터에서 각각의 층의 구멍 패턴은 절약된 각각의 층이 상당한 비용 절감에 기여하는 한편 재고 요건을 상당히 절감시키도록 컴퓨터에 의하여 단독으로 계산되고 고정밀 CNC 기계공구에 의하여 천공된 기계 패턴으로 기계가공될 필요가 있다.

더욱이 본 발명에 따른 회로기판 시험장치는 규칙적인 격자 패턴 배열을 포함하는 형상, 시험 배열에 대한 접촉 배열에 적합한 탐침과 전기적 접촉을 이루는 접촉을 제1 상측부에 포함하며 수개의 탐침을 포함하는 어댑터, 및 제2 상측부로 부터 돌출하는 탐침의 접촉 선단부에 의하여 특징이 있으며 접촉 선단부의 각각은 시험 물체의 특수 회로기판 시험 지점에 할당되어 있고 또 시험장치에 삽입된 시험물체의 회로기판 시험지점과 전기적 접촉을 이루고 있다. 이 시험장치는 상술한 바와 같이 본 발명에 따른 부품으로 형성되며 폐쇄 시스템으로서 언급된 장점 모두를 제공한다.

<도면의 간단한 설명>

도1은 탐침의 제1실시예의 개략도.

도2는 탐침의 다른 실시예의 개략도.

도3은 바늘의 다른 실시예의 개략도.

도4는 삽입된 시험물체와 시험장치의 개략적 측면도.

도5는 도4의 부분 확대 상세도.

도6은 공지 시험장치의 예시도.

도1은 스프링(4)이 장착된 슬리브(3) 및 바늘(2)로 구성되는 탐침(1)을 나타낸것으로서, 바늘(2)은 전장(ℓ)이 약 40-70mm이고, 슬리브는 전장(L)이 약 70-100mm이다.

바늘(2)은 종방향 중심선을 따라 슬리브(3)에서 안내부분(5)에 의하여 이동가능하게 설치되어 있고, 바늘(2)은 안내부분(5)에 인접한 외측부분(6)에 의하여 슬리브(3)로 부터 자유로히 돌출한다. 외측부분(6)은 일측 자유단부에 접촉 선단부 (7)를 갖고 있다.

외경(d2)으로서 외측부분(6) 및 안내부분(5)에서 바늘(2)의 외경(d1)은 약 0.15-0.30mm 이며, 0.2-0.25mm가 바람직하다. 외측부분(6)의 외경(d2)은 슬리브 (3)를 통하여 안내함으로서 바늘(2)의 강성을 향상시키면서 슬리브(3)에서 바늘(2)의 낮은 마찰이동을 확실하게 하기 위하여 슬리브(3)의 내경(D)에 적합하도록 되어 있어 가는 바늘(2)의 이용을 가능하게 한다. 이는 접촉 선단부(7)에 인접한 외측부 분(6)이 매우 가늘고 최소한 10mm의 길이로 구성되어 있기 때문에 상술한 탐침(1)이 매우 밀집한 중앙공간에서 어댑터에 배치되게 한다. 더욱이, 바늘(2)은 상술한 탐침(1)에서 탄성적으로 배치되기 때문에 시험 물체에 대한 허용 오차가 자동적으로 보정된다. 따라서 이는 본 발명에 따른 탐침에 공지의 강성 바늘(밀집한 배치)과 공지의 탐침(탄성이 있는)의 기능을 결합하여 준다.

도2는 바늘(2)과 슬리브(3)를 갖는 본 발명에 따른 탐침(1)의 제1 실시예를 나타낸 것으로서, 바늘(2)은 기부부분(8)과 인접하는 접촉부분(8)으로 구성되어 있다. 기부부분(8)은 원형 단면과 일정한 직경(d2)을 갖는 봉상형 부분을 형성하며 접촉부분(9)은 자유단부에서 접촉 선단부(7)를 포함하도록 자유단부에 대하여 원추형으로 테이퍼져 형성되어 있다. 접촉 선단부(7)의 직경은 밀집한 중앙 공간에서 회로기판 시험지점이 접촉될 수 있도록 0.2mm 이하이거나 또는 동일하며, 0.1mm가 바람직하다. 접촉 선단부(7)에 대향하는 기부부분(8)의 단부부분(12)은 기부부분(8)의 직경과 동일한 직경(d2)을 갖고 있어, 단부부분(12)이 또한 슬리브(3)의 외측에 위치될 수도 있다.

슬리브(3)에 배치되는 스프링(4)이 바늘(2)에 인접하여 설치되어 있다(도1 및 도2).

본 발명의 제2 실시예(도3)에서, 바늘(2)의 기부부분(8)의 단부부분(14)은 레이저 절개부(15)에 의하여 스프링(4)처럼 형성되어 있다. 이들 레이저 절개부(15)는 도3에 도시한 바와 같은 평면에서 종방향 중심라인(M)에 대하여 수직으로 배향될 수도 있다. 레이저 절개부(15)의 배열을 교대로 함으로서 예정된 스프링 강성을 갖는 꼬불꼬불한 형태의 구조가 전부 실현되며, 꼬불꼬불한 구조의 길이는 탄성 이동을 증가 시키도록 적합되어 있다. 또한 스프링 강성은 레이저 절개부(15) 사이에 남아있는 웨브의 물성 및 물질강도에 의하여 결정된다. 스프링 특성을 향상시키기 위하여 레이저 절개부(15a)가 종방향 중심라인(M)(도3)에 대하여 90°이하의 각도로 배치될 수도 있다.

다른 실시예에서 스프링은 가변 피치 및 물질 강도를 갖는 나선형 바늘(2)을 제조하기 위하여 종방향 중심라인(M)을 중심으로 하여 바늘(2)을 회전하면서 레이저 공급장치에 의하여 기계 가공된다. 레이저 공정 이외에 바늘(2) 및 스프링(4)을 제조하는 다른 유사한 방법(예컨대 에칭)이 사용될 수도 있다.

스프링(4)을 따로따로 제조하는 것에 비하여, 바늘(2)과 스프링(4)을 일체로 제작하면 다음과 같이 몇 개의 이점이 있다. 첫째로, 바늘(2)은 제조시 하나의 단계로 제조되거나 어닐링 되고 스프링(4)은 그 직후에 재세공의 필요성이나 가동을 중지하여 세공을 변경시킴이 없이 제조함으로서 추가적인 재료, 시간 및 다른 공구를 절약하면서 조작이 용이하도록 바늘(2)과 스프링(4)의 내부 배치를 달성하도록 레이저 기계 가공에 의하여 제조될 수도 있다. 이외에 바늘(2)과 스프링(4)의 일체 형상은 바늘(2)과 스프링(4) 사이의 이상적인 전기 접촉, 및 바늘(2)과 스프링(4) 사이의 접촉 경계 대역의 발생에 도움이 되며, 이들의 접촉저항은 본 실시예에서 회피된다.

바늘(2)은 그 자체에 의하여 또는 슬리브(3)에 스프링(4)과의 일체적 연결에 의하여 안전하다. 이 목적을 위하여, 도1로 부터 명백한 바와같이 스프링(4)이 슬리브(3)에서 납땜, 용접 또는 크림핑에 의하여 접촉 선단부(7)로 부터 멀리 떨어져 면하는 슬리브(3)의 단부에 적절히 고정되어 있다.

하나의 바람직한 실시예에서 스프링(4)은 부적절하게 이동되거나 또는 이탈되는 것이 방지되도록 슬리브(3)의 단부부분에 오목부(16)를 통하여 적절히 고정되어 있다. 이 배치에서 스프링 부분이 일측 단부에 유지되도록 고정구가 슬리브(3)의 단부로 부터 약간 멀리 떨어져 배치되어 있다. 단부 부분에 형성되어 있는 것은 접촉 본체(20)가 정해진 스프링 속도를 갖는 특히 배럴형 외측면이 형성된 단부 부분(18)이다. 이 접촉본체(20)는 상기 배럴형 외측면으로 인하여 하술하는 바와같이 심지어 탐침(1)이 여전히 경사진 경우에도 격자 패턴 배열(도3)의 접촉부와 양호한 전기적 접촉을 언제나 확실하게 한다.

시험하고자 하는 회로기판(22)을 시험하기 위하여, 탐침(1)은 어댑터(24)

(도3)에 배치되어 있으며, 이와 함께 시험장치 또는 기부 패턴 배열(26)의 규칙적인 기부패턴은 어댑터(24)에서 부분적으로 경사져 있는 탐침(1)에 의하여 회로기판 시험지점(28)의 불규칙한 배열로 이동된다. 특히 그와 같은 어댑터(24)는 기부 패턴 배열(26)의 대부분을 커버하는 대응하는 수의 탐침(1)이 밀집 접촉공간에서 회로기판 시험지점(28)의 대부분에 향하게 함으로서 밀집 중앙공간에 위치한 많은 회로기판 시험지점(28)을 시험하는 것을 가능하게 한다. 따라서 이들 탐침(1)은 빛의 비임처럼 밀집한 피치로 회로기판 시험지점(28)에 집중된다.

탐침(1)은 서로 일정 간격 이격되어 배치된 두개의 층(30) 및 회로기판(22)에 인접 위치된 층(31)에 의하여 어댑터(24)에 유지되며, 이 경우 탐침(1)이 연장되는 안내구멍(32)이 형성되어 있다. 안내구멍(32)은 천공, 레이저 작용 또는 에칭 에 의하여 기계 가공되어 있다. 안내구멍(32)의 종방향 중심라인은 대응하는 층(30,31)(도5)의 평면에 대하여 수직으로부터 일탈될 수도 있다.

탐침(1)의 바늘(2)은 슬리브로부터 약간 돌출되기 때문에, 시험 물체에 인접한 층(31)의 구멍(22)은 슬리브(3)에 의해서가 아니라 얇은 바늘(2)에 의해서만 관통되는데, 그 이유는 바늘(2)이 층(31)의 대역에 밀집하게 위치되어 배치될 수 있기 때문이다.

특히 접촉 선단부(7)에 인접한 탐침(1) 사이의 최소 공간은 서로에 대하여 너무 밀접하게 안내구멍을 천공하는데 한계가 있고, 이외에 리지는 구멍 천공을 실현하여 자동적으로 일정한 공간이 되기 때문에 임의로 감소시킬 수 없음은 물론이다. 탐침의 공간 배치로 인하여, 단지 작고 짧은 선단부를 갖는 비교적 두꺼운 탐침을 제공하는 것이 불가능한바, 그 이유는 이들 바늘은 대응하는 대형 천공구멍으로 인해 밀집 피치로 배치될 수 없고 또한 접촉 선단부에 인접한 부분과 접촉하게 되는 위험이 있기 때문이다. 본 발명에 따른 바늘에 의하여 이들 문제는 예정된 길이(ℓ)에 걸쳐 점진적으로 원추형으로 테이퍼진 자유 접촉부분(9)의 긴 길이(ℓ)에 의하여 회피된다.

이들 제한은 본 발명에 따른 탐침(1)의 치수를 한정할 때 더욱 고려될 필요가 있다. 그러나 이들 제한은 공지 기술에 따른 탐침을 사용하는 공지의 시험장치에서보다 상당히 적다. 시험장치의 기부 패턴 배열(26)이 탐침(1)의 공간 배치 및 어댑터에서 탐침(1)을 경사시키고 회전시키는데 따른 제한으로 인한 시험 선단부의 최소 공간에 상당한 영향을 미침에도 불구하고, 그렇지 않으면 탐침은 도3(도4)의 확대 상세도에 도시된 바와 같이 본 발명에 따른 어댑터(24)에서 서로 접촉하게 되기 때문에, 경사진 바늘(2)의 접촉 선단부(7)의 일정한 감소된 강성 또는 유연성은 시험 물체에 인접하여 위치된 안내 구멍(32)을 통하여 거꾸로 만곡시키므로서 접촉 선단부(7)의 각각을 그의 종방향 중심라인(M)으로부터 편향시키는데 이용될 수 있다. 이는 함께 더욱 근접 위치한 회로기판 시험지점의 접촉 선단부(7)가 공지 기술에서는 불가능한 것과 같은 전기적 단락이 발생하는 일이 없이 확실한 접촉이 이루어 지게 한다. 특히 접촉 선단부(7)는 각각의 경우에 접촉될 회로기판 시험 지점 (28)에 대하여 직립하므로 전기적 연결이 기술된 바와 같은 배치에 의하여 더욱 확실하게 이루어진다.

특히 어댑터(24)에서 층(30,31)의 형성은 어댑터(24)의 각각의 층(30,31)의 천공 패턴이 컴퓨터에서 개별적으로 계산되고 안내구멍(32)의 개개의 구멍 패턴으로 CNC 제어 정밀 기계공구에 의하여 천공될 필요가 있기 때문에, 완전한 시험장치를 제조하는 비용의 점에서 현저한 비용 인자를 나타냄은 물론이다. 본 발명에 따른 어댑터(24)에서, 공지의 탐침에 비하여 본 발명에 따른 탐침(1)의 증가된 고유 강성 때문에 슬리브(3)를 갖는 상술한 본 발명에 따른 탐침(1)의 사용으로 인하여 보다 소수의 층(30,31)이 요구되고 있다.

특히 본 발명에 따른 어댑터(24)는 평소와 같이 격자 패턴 배열에 대한 규칙적인 패턴을 시험 물체의 임의의 패턴에 적합시키기 위하여 탄성 탐침을 갖는 완전 패턴 카세트 및 강성 바늘 어댑터를 대신함으로서 시험장치에서 완전한 부품 즉 완전한 패턴 카세트 또는 패턴 어댑터를 절약할 수도 있다.

본 발명에 따른 탐침은 여러 산업분야에서 널리 사용되고 있는 회로기판의 시험장치용으로서 산업상 중요한 위치를 점하고 있는 실정이다.

Claims

외측벽을 갖는 바늘(2) 및 슬리브 내측벽을 갖는 슬리브(3)로 구성되며, 슬리브 내측벽과 접촉하는 외측벽을 갖는 상기 바늘(2)은 상기 슬리브(3)에서 이동 가능하게 안내되고, 상기 바늘(2)의 이동을 방해하는 스프링(4)이 상기 슬리브(3)에 설치되며, 상기 바늘(2)은 상기 슬리브(3)로 부터 10mm이상, 특히 20mm이상 돌출되고 0.30mm의 최대 직경(d2)을 가지며 상기 바늘(2)은 상기 슬리브(3)로 부터 돌출되는 대역으로 부터 접촉 선단부(7)까지 점진적으로 원추형으로 테이퍼진것을 특징으로 하는 회로기판 시험장치용 탐침.
제1항에 있어서, 상기 바늘(2)은 0.15mm이상의 직경(d2)을 가짐을 특징으로 하는 회로기판 시험장치용 탐침.
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 슬리브(3)는 관상으로 형성되며 그의 내경(D)에서 상기 바늘(2)의 일정한 외경(d1, d2)에 적합하도록 구성되고, 상기 바늘(2)은 기부부분(8)의 접촉부분(9)으로부터 상기 접촉 선단부(7)까지 원추형으로 테이퍼진 것을 특징으로 하는 회로기판 시험장치용 탐침.
제1항 또는 제3항에 있어서, 상기 접촉 선단부는 0.2mm 이하 또는 이와 동일한 직경(d)을 가지며 상기 접촉 선단부(7)에 대향하는 상기 접촉부분(9)의 단부부분은 상기 접촉 선단부(7)의 직경보다 최소한 0.1mm 큰 직경(d2)으로 구성됨을 특징으로 하는 회로기판 시험장치용 탐침.
제3항에 있어서, 상기 기부부분(8)은 최소한 30mm의 길이(ℓ1)를 가짐을 특징으로 하는 회로기판 시험장치용 탐침.
제1항에 있어서, 상기 스프링(4)은 상기 슬리브(3)에 위치된 상기 바늘(2)의 안내부분(5)의 상기 접촉 선단부(7)에 대향하는 단부로부터 형성되고 이로부터 레이저 작용에 의하여 레이저 절개부(15)의 형태로 기계 가공됨을 특징으로 하는 회로기판 시험장치용 탐침.
제6항에 있어서, 상기 스프링(4)은 꼬불꼬불하거나 나선형 부분으로서 종방향 중심라인에 대하여 직립하거나 또는 상기 종방향 중심라인에 대하여 90°이하의 각도로 레이저 절개부(15)에 의하여 상기 바늘(2)의 상기 안내부분(5)의 부분으로부터 형성됨을 특징으로 하는 회로기판 시험장치용 탐침.
제7항에 있어서, 상기 접촉 선단부(7)에 대향하는 상기 바늘(2)의 상기 안내부분(5)의 단부에서 상기 스프링(4)은 슬리브(3)의 단부에 일체로 연결되어 레이저에 의하여 적절히 용접됨을 특징으로 하는 회로기판 시험장치용 탐침.
제1항 또는 제8항에 있어서, 상기 접촉 선단부(7)까지 상기 접촉부분(9)은 그의 강성이 정해지거나 또는 위치의 함수인 강성 프로필이 정해짐을 특징으로 하는 회로기판 시험장치용 탐침.
제1항에 있어서, 상기 바늘(2)은 크림핑, 절첩 및/또는 납땜에 의하여 상기 슬리브(3)에 적절히 고정됨을 특징으로 하는 회로기판 시험장치용 탐침.
제1항에 있어서, 디자인된 탐침(1)이 통공(33)에 설치되는 평행한 최소한 두개의 층(30)을 포함하며, 상기 탐침(1)이 시험 물체(22)를 접촉토록 상기 탐침(1)의 접촉 선단부(7)가 돌출되면서 부분적으로 경사지게 배치됨은 물론 상기 시험 물체(22)에 대향하는 상기 어댑터의 측부에서 상기 탐침(1)은 접촉부의 규칙적인 배치를 갖는 격자 패턴 배열(26)과 접촉하도록 형성됨을 특징으로 하는 어댑터.
제11항에 있어서, 상기 접촉 선단부(7)는 약0.25mm의 공간 및 약0.1mm의 직경(d)을 포함함을 특징으로 하는 어댑터.
제11항 또는 제12항에 있어서, 상기 접촉 선단부(7)의 대역에서 상기 어댑터(24)에서 최소한 하나의 탐침(1)은 최소한 하나의 편향기에 의하여 특히 바람직하기로는 반대로 만곡된 상기 탐침(1)의 종방향 중심라인(M)으로부터 층(31)에 의하여 편향됨을 특징으로 하는 어댑터.
제13항에 있어서, 규칙적인 격자 패턴 배열(26) 및 어댑터가 디자인되어 있으며 수개의 탐침(1)을 포함하는 어댑터(24)로 구성되며, 상기 어댑터(24)는 상기 격자 패턴 배열(26)에서 접촉 배치에 적합하도록 된 상기 탐침(1)과 전기적 접촉 상태에 있는 접촉부(20)를 제1 상측부에 포함하고 있고, 상기 탐침(1)의 상기 접촉 선단부(7)는 제2 상측부로부터 돌출하고 있어, 상기 접촉 선단부(7)의 각각이 시험 물체(22)의 특수 회로기판 시험지점(28)에 할당되어 상기 시험장치에 삽입된 시험 물체(22)의 상기 회로기판 시험지점(28)과 전기적 접촉을 이루도록 구성된 것을 특징으로 하는 회로기판 시험장치.
제14항에 있어서, 상기 어댑터(24)의 상기 제2 상측부에서 상기 접촉 선단부(7)는 0.3mm이하 또는 이와 동일한 크기의 공간, 바람직 하기로는 0.25mm의 공간을 포함함을 특징으로 하는 회로기판 시험장치.
제15항에 있어서, 상기 접촉 선단부(7)의 대역에서 상기 어댑터(24)에서 최소한 하나의 탐침(1)은 최소한 편향기에 의하여 특히 바람직하기로는 반대로 만곡된 상기 탐침의 종방향 중심라인(M)으로부터 층(31)에 의하여 편향됨을 특징으로 하는 회로기판 시험장치.
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