JPH076531Y2 - 測定用プローブ - Google Patents
測定用プローブInfo
- Publication number
- JPH076531Y2 JPH076531Y2 JP1988115901U JP11590188U JPH076531Y2 JP H076531 Y2 JPH076531 Y2 JP H076531Y2 JP 1988115901 U JP1988115901 U JP 1988115901U JP 11590188 U JP11590188 U JP 11590188U JP H076531 Y2 JPH076531 Y2 JP H076531Y2
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- JP
- Japan
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- probe
- probes
- measuring
- shaped
- contact
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
- Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
- Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 〔概要〕 プリント配線基板等の導体間の抵抗を測定する場合に用
いる可動２点プローブ式自動計測装置に適した測定用プ
ローブに関し、微細間隔の配線パターンをもって高密度
化されたプリント基板に対する高精度の測定を可能とす
ることを目的とし、横Ｕ字状をなし、その上方の脚部に
取付部を有し、下方の脚部先端に下方に突出する刃先状
の接触部を有する弾性薄片でプローブを構成し、自動計
測装置の１対の可動ヘッドに装着したとき、前記刃先状
の接触部が互いに最前位置で対向可能となるようになっ
ている。
いる可動２点プローブ式自動計測装置に適した測定用プ
ローブに関し、微細間隔の配線パターンをもって高密度
化されたプリント基板に対する高精度の測定を可能とす
ることを目的とし、横Ｕ字状をなし、その上方の脚部に
取付部を有し、下方の脚部先端に下方に突出する刃先状
の接触部を有する弾性薄片でプローブを構成し、自動計
測装置の１対の可動ヘッドに装着したとき、前記刃先状
の接触部が互いに最前位置で対向可能となるようになっ
ている。
本考案は、プリント配線基板等の導体間の抵抗を測定す
るための可動２点プローブ方式の自動計測装置に用いる
測定用プローブの改良に関するものである。
るための可動２点プローブ方式の自動計測装置に用いる
測定用プローブの改良に関するものである。
近年、プリント配線基板では、信号処理の高速化に伴っ
て布線間の信号伝播速度に多大の影響を与える導体抵抗
の精密な測定が必要となっている。また配線パターンの
高密度化が進み測定点に対して微細な位置決めの可能な
計測装置が要求されている。
て布線間の信号伝播速度に多大の影響を与える導体抵抗
の精密な測定が必要となっている。また配線パターンの
高密度化が進み測定点に対して微細な位置決めの可能な
計測装置が要求されている。
一方、かかるプリント配線基板用の抵抗測定用自動計測
装置としては、あらかじめ各測定点に固定的に対応した
多数の接触ピンをマトリクス状に配列して成るいわゆる
ピングリッドアレイ方式の装置が多く用いられていた
が、これはプリント配線基板の多品種化への対応コスト
が高いという難があり、最近ではこれに代わって測定点
対応位置に順次２個の接触ピンを移動させて測定する可
動２点プローブ方式の装置が用いられるようになってき
た。
装置としては、あらかじめ各測定点に固定的に対応した
多数の接触ピンをマトリクス状に配列して成るいわゆる
ピングリッドアレイ方式の装置が多く用いられていた
が、これはプリント配線基板の多品種化への対応コスト
が高いという難があり、最近ではこれに代わって測定点
対応位置に順次２個の接触ピンを移動させて測定する可
動２点プローブ方式の装置が用いられるようになってき
た。
上記可動２点プローブ方式の自動計測装置は、プローブ
の移動制御を自動化して任意に位置決めができるため多
品種小量品の検査に極めて好都合であるが、接触ピンと
して働くプローブの構造上の原因から高密度基板への対
応に次のような問題を生じていた。
の移動制御を自動化して任意に位置決めができるため多
品種小量品の検査に極めて好都合であるが、接触ピンと
して働くプローブの構造上の原因から高密度基板への対
応に次のような問題を生じていた。
すなわち、第３図は従来のプローブの構成を示してお
り、外筒１と、その中を摺動できるプローブピン２と、
該プローブピンを押圧するスプリング３とを具備したス
プリングコンタクトプローブが用いられていた。然るに
かかる従来のプローブでは、これを自動計測装置の可動
アーム上の測定ヘッドに装着した場合、２つの可動プロ
ーブの接触点間の距離がスプリング３を内蔵した外筒１
の径によって制約を受け、微細間隔の測定ができないわ
けである。
り、外筒１と、その中を摺動できるプローブピン２と、
該プローブピンを押圧するスプリング３とを具備したス
プリングコンタクトプローブが用いられていた。然るに
かかる従来のプローブでは、これを自動計測装置の可動
アーム上の測定ヘッドに装着した場合、２つの可動プロ
ーブの接触点間の距離がスプリング３を内蔵した外筒１
の径によって制約を受け、微細間隔の測定ができないわ
けである。
また上記従来のプローブでは、２端子法で測定する場合
には被測定物とプローブの先端の接触抵抗のばらつきに
より測定精度が悪く、さらに４端子法で測定する場合に
は片方に２本のプローブを使用せねばならず、高密度基
板の場合、同一導体に２本のプローブを接触させること
が困難になる等の問題があった。
には被測定物とプローブの先端の接触抵抗のばらつきに
より測定精度が悪く、さらに４端子法で測定する場合に
は片方に２本のプローブを使用せねばならず、高密度基
板の場合、同一導体に２本のプローブを接触させること
が困難になる等の問題があった。
本考案は、上記のような従来の状況から、可動２点プロ
ーブ方式の自動計測装置に好適な測定用プローブの提供
を目的とするものであり、さらに具体的にはより狭い間
隔での測定が可能な新しい構成のプローブを提供し、も
って高密度基板に対する測定精度の向上を図ろうとする
ものである。
ーブ方式の自動計測装置に好適な測定用プローブの提供
を目的とするものであり、さらに具体的にはより狭い間
隔での測定が可能な新しい構成のプローブを提供し、も
って高密度基板に対する測定精度の向上を図ろうとする
ものである。
上記目的を達成するために、本考案の測定用プローブ
は、共通の平面上で夫々Ｘ方向およびＹ方向に移動可能
に配設された対向する１対の測定ヘッドに装着されるプ
ローブであって、前記移動平面に垂直な板面を有する横
Ｕ字状の弾性薄片から成り、上側に位置する一方の脚部
に取付部を設けると共に、下側に位置する他方の脚部先
端に下方に突出する刃先状の接触部を設け、１対のプロ
ーブの前記刃先状接触部同士が最前位置で対向可能に装
着されることを特徴とするものである。
は、共通の平面上で夫々Ｘ方向およびＹ方向に移動可能
に配設された対向する１対の測定ヘッドに装着されるプ
ローブであって、前記移動平面に垂直な板面を有する横
Ｕ字状の弾性薄片から成り、上側に位置する一方の脚部
に取付部を設けると共に、下側に位置する他方の脚部先
端に下方に突出する刃先状の接触部を設け、１対のプロ
ーブの前記刃先状接触部同士が最前位置で対向可能に装
着されることを特徴とするものである。
また本考案のプローブは、４端子抵抗測定用のプローブ
として構成することができ、その場合には２枚の横Ｕ字
状弾性薄片から成るプローブを間に絶縁薄板を介して各
測定ヘッドに２枚づつ共通に取付け、Ｕ字状弾性薄片の
ばね作用により組となるプローブの接触部が夫々独立し
て動けるようにした構成を特徴とするものである。
として構成することができ、その場合には２枚の横Ｕ字
状弾性薄片から成るプローブを間に絶縁薄板を介して各
測定ヘッドに２枚づつ共通に取付け、Ｕ字状弾性薄片の
ばね作用により組となるプローブの接触部が夫々独立し
て動けるようにした構成を特徴とするものである。
本考案ではＵ字状の弾性薄片でプローブを構成したこと
により、該プローブ自体がばね作用を持ってたわむこと
ができ、しかも接触部を当該横Ｕ字状弾性薄片の下側の
脚部先端から下方に刃先状に突出する形で設けているた
め対向する１対の可動プローブ同士を狭い間隔で位置決
めすることが可能となる。また４端子抵抗測定用のプロ
ーブを構成した場合でも組となる２個のプローブを間に
はさむ絶縁板の厚さだけの微小間隔で配置でき、かつ夫
々のプローブを独立してたわませることができるので、
測定対象となる基板の表面形状の影響を受けることなく
高密度化された基板への対応が可能となる。
により、該プローブ自体がばね作用を持ってたわむこと
ができ、しかも接触部を当該横Ｕ字状弾性薄片の下側の
脚部先端から下方に刃先状に突出する形で設けているた
め対向する１対の可動プローブ同士を狭い間隔で位置決
めすることが可能となる。また４端子抵抗測定用のプロ
ーブを構成した場合でも組となる２個のプローブを間に
はさむ絶縁板の厚さだけの微小間隔で配置でき、かつ夫
々のプローブを独立してたわませることができるので、
測定対象となる基板の表面形状の影響を受けることなく
高密度化された基板への対応が可能となる。
第１図は本考案によるプローブの１実施例を示す図であ
り、（ａ）は４端子抵抗測定用プローブとして自動計測
装置の測定ヘッドに装着されたプローブの組立斜視図
（ｂ）は同プローブの分解斜視図である。
り、（ａ）は４端子抵抗測定用プローブとして自動計測
装置の測定ヘッドに装着されたプローブの組立斜視図
（ｂ）は同プローブの分解斜視図である。
同図において、10及び11は被測定基板の共通の導体に対
して電流供給および電圧測定用に機能分担して接触させ
る１組のプローブであり、12は絶縁板、13,14はプロー
ブガイド、15はガイドホルダである。
して電流供給および電圧測定用に機能分担して接触させ
る１組のプローブであり、12は絶縁板、13,14はプロー
ブガイド、15はガイドホルダである。
プローブ10,11は（ｂ）図に示すように被測定基板の載
置面に対して垂直な板面を有するベリリウム銅（BeCu）
等の弾性のある金属薄板から形成され、その形状は、ば
ね作用を行う横Ｕ字状の部分Ａと、該Ｕ字状薄片の上側
に位置する一方の脚部に連続して設けた取付部Ｂと、下
側に位置する他方の脚部先端から下方に突出するように
形成した接触部Ｃからなる。接触部Ｃは第１図（ｂ）か
ら明らかなようにその前端縁下端が刃先形状の接触点を
構成するように下端縁を後ろに向かって斜めにカットさ
れており、かくして刃先状の接触点はプローブ先端縁に
一致して最前部に位置する形となる。また絶縁板12はプ
ローブ10,11とほぼ同形状（Ｕ字状部分のスリットはな
い）をなし、厚さ0.1mm程度の薄い絶縁板で形成されて
いる。
置面に対して垂直な板面を有するベリリウム銅（BeCu）
等の弾性のある金属薄板から形成され、その形状は、ば
ね作用を行う横Ｕ字状の部分Ａと、該Ｕ字状薄片の上側
に位置する一方の脚部に連続して設けた取付部Ｂと、下
側に位置する他方の脚部先端から下方に突出するように
形成した接触部Ｃからなる。接触部Ｃは第１図（ｂ）か
ら明らかなようにその前端縁下端が刃先形状の接触点を
構成するように下端縁を後ろに向かって斜めにカットさ
れており、かくして刃先状の接触点はプローブ先端縁に
一致して最前部に位置する形となる。また絶縁板12はプ
ローブ10,11とほぼ同形状（Ｕ字状部分のスリットはな
い）をなし、厚さ0.1mm程度の薄い絶縁板で形成されて
いる。
この１組のプローブ10,11は絶縁板12を挟み（ａ）図に
示すように、プローブガイド13,14を介して測定ヘッド
の一部を構成するガイドホルダ15に取付けられている。
プローブガイド13,14の左右のガイドホルダ15に接する
面13C,14Cにはテーパーを有し、ねじ16でガイドホルダ1
5に締付けることによりプローブガイド13,14は、そのa,
a部でプローブ10,11の取付部Ｂ及び絶縁板12を左右から
押圧し保持するようになっている。またプローブ10,11
の接触部Ｃを保持するプローブガイド13,14のb,b部はプ
ローブ10,11との間にすきまを設けて各プローブの接触
部が独立して摺動できるようにしている。
示すように、プローブガイド13,14を介して測定ヘッド
の一部を構成するガイドホルダ15に取付けられている。
プローブガイド13,14の左右のガイドホルダ15に接する
面13C,14Cにはテーパーを有し、ねじ16でガイドホルダ1
5に締付けることによりプローブガイド13,14は、そのa,
a部でプローブ10,11の取付部Ｂ及び絶縁板12を左右から
押圧し保持するようになっている。またプローブ10,11
の接触部Ｃを保持するプローブガイド13,14のb,b部はプ
ローブ10,11との間にすきまを設けて各プローブの接触
部が独立して摺動できるようにしている。
次に本考案によるプローブの使用法の１例を第２図によ
り説明する。同図は可動２点プローブ方式の自動計測装
置の概略構成を示す平面図であり、被測定基板21を載置
する測定用テーブルの上に夫々Ｘ方向に移動可能な１対
の可動アーム19,20が設けられ、さらにこれら可動アー
ム上でＹ方向に移動可能となるように夫々上述のプロー
ブで17,18を装着した測定用ヘッドが取付けられてい
る。１対の抵抗測定用プローブ17,18は、その接触部が
最前部で向かい合うような関係に取付けられ、Ｘ方向及
びＹ方向に移動できるようになっている。そしてプロー
ブ17,18の接触部を基板21の導体抵抗を測定すべき２点
に接触させて２点間の抵抗を測定することができる。１
対のプローブ17,18の夫々が前出のように４端子抵抗測
定用プローブとして２個のプローブ片をもって構成され
ている場合にはそれぞれの一方のプローブ10又は11を電
流供給用に用い、他方のプローブ11又は10間の電圧を測
定することにより４端子法による抵抗測定を行うことが
できる。
り説明する。同図は可動２点プローブ方式の自動計測装
置の概略構成を示す平面図であり、被測定基板21を載置
する測定用テーブルの上に夫々Ｘ方向に移動可能な１対
の可動アーム19,20が設けられ、さらにこれら可動アー
ム上でＹ方向に移動可能となるように夫々上述のプロー
ブで17,18を装着した測定用ヘッドが取付けられてい
る。１対の抵抗測定用プローブ17,18は、その接触部が
最前部で向かい合うような関係に取付けられ、Ｘ方向及
びＹ方向に移動できるようになっている。そしてプロー
ブ17,18の接触部を基板21の導体抵抗を測定すべき２点
に接触させて２点間の抵抗を測定することができる。１
対のプローブ17,18の夫々が前出のように４端子抵抗測
定用プローブとして２個のプローブ片をもって構成され
ている場合にはそれぞれの一方のプローブ10又は11を電
流供給用に用い、他方のプローブ11又は10間の電圧を測
定することにより４端子法による抵抗測定を行うことが
できる。
第１図に示したように横Ｕ字状のプローブ片２枚を１組
として４端子抵抗測定用プローブ17,18を構成した場合
には第２図（ｂ）のように組となるプローブ10,11の前
端縁に外側から鋭角な角度を付けてナイフエッジ状にし
ておくことにより、対向するプローブ17,18の接触部同
士を傾けることなく接近させることが可能となる。従っ
て自動計測装置の構造を簡素化し、高密度なプリント配
線基板への対応が容易となる。
として４端子抵抗測定用プローブ17,18を構成した場合
には第２図（ｂ）のように組となるプローブ10,11の前
端縁に外側から鋭角な角度を付けてナイフエッジ状にし
ておくことにより、対向するプローブ17,18の接触部同
士を傾けることなく接近させることが可能となる。従っ
て自動計測装置の構造を簡素化し、高密度なプリント配
線基板への対応が容易となる。
以上説明したように、本考案によれば横Ｕ字状の弾性薄
片でプローブを構成し、その下側脚部の先端に下方に突
出する刃先状の接触部を設けているので、可動プローブ
方式の自動計測装置に適用した場合、プローブ自体の寸
法上の制約を受けることなく狭い間隔の測定点に位置づ
けることができ、被測定基板の高密度化に対応可能とな
る。また４端子抵抗測定用のプローブを構成した場合に
は２個の板状プローブで薄い絶縁板を挟み、その接触部
をそれぞれ独立して動けるようにしたことにより、被測
定基板の接触部表面形状に凹凸があっても、組となるプ
ローブをその凹凸に追従させて完全に接触させることが
できる。
片でプローブを構成し、その下側脚部の先端に下方に突
出する刃先状の接触部を設けているので、可動プローブ
方式の自動計測装置に適用した場合、プローブ自体の寸
法上の制約を受けることなく狭い間隔の測定点に位置づ
けることができ、被測定基板の高密度化に対応可能とな
る。また４端子抵抗測定用のプローブを構成した場合に
は２個の板状プローブで薄い絶縁板を挟み、その接触部
をそれぞれ独立して動けるようにしたことにより、被測
定基板の接触部表面形状に凹凸があっても、組となるプ
ローブをその凹凸に追従させて完全に接触させることが
できる。
よって本考案は可動２点プローブ方式の自動計測装置に
適用して高密度基板の測定精度の向上にきわめて有益で
ある。
適用して高密度基板の測定精度の向上にきわめて有益で
ある。
第１図は本考案によるプローブの実施例を示す図、 第２図は本考案の実施例によるプローブを装着した自動
計測装置の概略構成を示す平面図、 第３図は従来のスプリングコンタクトプローブ、 を示す断面図である。 図において、 10,11はプローブ、12は絶縁板、13,14はプローブガイ
ド、15はガイドホルダ、 を示す。
計測装置の概略構成を示す平面図、 第３図は従来のスプリングコンタクトプローブ、 を示す断面図である。 図において、 10,11はプローブ、12は絶縁板、13,14はプローブガイ
ド、15はガイドホルダ、 を示す。
Claims (3)
- 【請求項１】共通の平面上で夫々Ｘ方向およびＹ方向に
移動可能に配設された対向する１対の測定ヘッドに装置
されるプローブであって、 前記移動平面に垂直な板面を有する横Ｕ字状の弾性薄片
から成り、上側に位置する一方の脚部に取付部を設ける
と共に、下側に位置する他方の脚部先端に下方に突出す
る刃先状の接触部を設け、当該刃先状の接触部同士が最
前位置で対向可能に装着されることを特徴とする測定用
プローブ。 - 【請求項２】上記横Ｕ字状の弾性薄片から成るプローブ
を、２個１組としてそれらの間に絶縁薄板を介して共通
のプローブガイドに固定し、各プローブの接触部が絶縁
薄板の両側でそれぞれ独立して動けるように前記プロー
ブガイドに案内溝を設けたことを特徴とする請求項１記
載の測定用プローブ。 - 【請求項３】上記２個１組となるプローブの各接触部前
端縁が外側から鋭角となるナイフエッジ状に形成されて
成ることを特徴とする請求項２記載の測定用プローブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988115901U JPH076531Y2 (ja) | 1988-09-05 | 1988-09-05 | 測定用プローブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988115901U JPH076531Y2 (ja) | 1988-09-05 | 1988-09-05 | 測定用プローブ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0237383U JPH0237383U (ja) | 1990-03-12 |
| JPH076531Y2 true JPH076531Y2 (ja) | 1995-02-15 |
Family
ID=31357966
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988115901U Expired - Lifetime JPH076531Y2 (ja) | 1988-09-05 | 1988-09-05 | 測定用プローブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH076531Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6218362B2 (ja) * | 2012-07-13 | 2017-10-25 | 日置電機株式会社 | 測定治具 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0692983B2 (ja) * | 1984-10-08 | 1994-11-16 | 第一精工株式会社 | 液晶板、プリント基板テスタ−用ヘッド |
-
1988
- 1988-09-05 JP JP1988115901U patent/JPH076531Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0237383U (ja) | 1990-03-12 |
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