JPH0622218Y2 - 半導体用プローブヘッド - Google Patents
半導体用プローブヘッドInfo
- Publication number
- JPH0622218Y2 JPH0622218Y2 JP1969289U JP1969289U JPH0622218Y2 JP H0622218 Y2 JPH0622218 Y2 JP H0622218Y2 JP 1969289 U JP1969289 U JP 1969289U JP 1969289 U JP1969289 U JP 1969289U JP H0622218 Y2 JPH0622218 Y2 JP H0622218Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe
- hole
- probe head
- needle guide
- needle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は半導体用プローブヘッドに関し、特にプローブ
ニードル支持部の構造に関する。
ニードル支持部の構造に関する。
従来、この種のプローブヘッドはマニピュレータ１台に
対してプローブニードルと、プローブニードルを固定
し、電気信号を通す板バネが１セットのみ設置され、ケ
ルビン測定時、半導体素子の１つの電極パッドに対し
て、２台のプローブヘッドによりプロービングを行なっ
ていた。
対してプローブニードルと、プローブニードルを固定
し、電気信号を通す板バネが１セットのみ設置され、ケ
ルビン測定時、半導体素子の１つの電極パッドに対し
て、２台のプローブヘッドによりプロービングを行なっ
ていた。
上述した従来のプローブヘッドは、１台のマニピュレー
タに対して１つしかプローブニードルが設置されていな
いため、ケルビン測定時、１つの電極に対して２台のプ
ローブヘッドか必要であった。したがって、プローブヘ
ッド設置スペースが広くなり、多点測定時にプローブヘ
ッドが必要数設置できない。また、通常半導体の電極パ
ッド（約□100μｍ）に２本のプローブニードルを立て
る際、別々に位置調整を行なう必要があり、プローブニ
ードルの位置調整に時間がかかるという欠点があった。
タに対して１つしかプローブニードルが設置されていな
いため、ケルビン測定時、１つの電極に対して２台のプ
ローブヘッドか必要であった。したがって、プローブヘ
ッド設置スペースが広くなり、多点測定時にプローブヘ
ッドが必要数設置できない。また、通常半導体の電極パ
ッド（約□100μｍ）に２本のプローブニードルを立て
る際、別々に位置調整を行なう必要があり、プローブニ
ードルの位置調整に時間がかかるという欠点があった。
本考案の目的は前記課題を解決した半導体用プローブヘ
ッドを提供することにある。
ッドを提供することにある。
上述した従来のプローブヘッドに対し、本考案は半導体
素子の各サイズの電極パッドに対して、プローブヘッド
１台で２本のプローブニードルを立てられるという相違
点を有する。
素子の各サイズの電極パッドに対して、プローブヘッド
１台で２本のプローブニードルを立てられるという相違
点を有する。
前記目的を達成するため、本考案に係る半導体プローブ
ヘッドはプローブニードル用孔及びプローブニードル調
整用孔並びに電極を有する導電性の２枚の板バネと、プ
ローブニードル用ガイド孔を有する絶縁性ニードルガイ
ドと、中心に板バネ位置調整用長孔を有する絶縁性ベー
スとを含むものである。
ヘッドはプローブニードル用孔及びプローブニードル調
整用孔並びに電極を有する導電性の２枚の板バネと、プ
ローブニードル用ガイド孔を有する絶縁性ニードルガイ
ドと、中心に板バネ位置調整用長孔を有する絶縁性ベー
スとを含むものである。
次に、本考案について図面を参照して説明する。
（実施例１） 第１図(a)は本考案の実施例１を示す平面図、(b)は同正
面図である。
面図である。
第１図において、１，２は電極１ａ，２ａ、位置調整用
ネジ孔１ｂ，２ｂ、プローブニードル用孔１ｃ，２ｃを
各々有する導電性の板バネであり、３は板バネ１，２の
位置調整用の長孔４を有する絶縁性ベースであり、長孔
４と板バネ１，２の位置調整用ネジ孔１ｂ，２ｂでネジ
１ｄ，２ｄにより、板バネ１，２をベース３上に固定し
ている。５はプローブニードル用ガイド孔５ａ，５ｂを
有するニードルガイドで、ベース３の先端に接着されて
いる。また、プローブニードル用ガイド孔５ａ，５ｂは
内部でプローブニードル６ａ，６ｂが約50μｍ程度移動
可能な程度の径となっている。プローブニードル６ａ，
６ｂはニードルガイド孔５ａ，５ｂからプローブニード
ル用孔１ｃ，２ｃに通され、板バネ１，２の復元力によ
り固定されている。また、ベース３はマニピュレータ部
（図示せず）に接続され、プローブヘッド全体の位置調
整が行なわれる。
ネジ孔１ｂ，２ｂ、プローブニードル用孔１ｃ，２ｃを
各々有する導電性の板バネであり、３は板バネ１，２の
位置調整用の長孔４を有する絶縁性ベースであり、長孔
４と板バネ１，２の位置調整用ネジ孔１ｂ，２ｂでネジ
１ｄ，２ｄにより、板バネ１，２をベース３上に固定し
ている。５はプローブニードル用ガイド孔５ａ，５ｂを
有するニードルガイドで、ベース３の先端に接着されて
いる。また、プローブニードル用ガイド孔５ａ，５ｂは
内部でプローブニードル６ａ，６ｂが約50μｍ程度移動
可能な程度の径となっている。プローブニードル６ａ，
６ｂはニードルガイド孔５ａ，５ｂからプローブニード
ル用孔１ｃ，２ｃに通され、板バネ１，２の復元力によ
り固定されている。また、ベース３はマニピュレータ部
（図示せず）に接続され、プローブヘッド全体の位置調
整が行なわれる。
プロービング前、予め、ベース３と板バネ１，２を固定
しているネジ１ｄ，２ｄをゆるめ、板バネ１と２を長孔
４内でスライドさせ、プローブニードル６ａ，６ｂの先
端間隔の調整を電極パッドの大きさに合せて行なう。調
整後、ネジ１ｄ，２ｄをしめて、板バネ１，２をベース
３に固定し、プロービングを行なう。電気信号は電極１
ａ，２ａ、板バネ１，２、プローブニードル６ａ，６ｂ
を通して入出力され、ケルビン測定時は、一方の電極を
フォース電極とし、他方をセンス電極として測定を行な
う。
しているネジ１ｄ，２ｄをゆるめ、板バネ１と２を長孔
４内でスライドさせ、プローブニードル６ａ，６ｂの先
端間隔の調整を電極パッドの大きさに合せて行なう。調
整後、ネジ１ｄ，２ｄをしめて、板バネ１，２をベース
３に固定し、プロービングを行なう。電気信号は電極１
ａ，２ａ、板バネ１，２、プローブニードル６ａ，６ｂ
を通して入出力され、ケルビン測定時は、一方の電極を
フォース電極とし、他方をセンス電極として測定を行な
う。
（実施例２） 第２図(a)は本考案の実施例２を示す平面図、(b)は同側
面図である。
面図である。
図において、７は表面が曲面のベースであり、８は表面
が曲面で、かつ曲面に沿って内部がくり抜かれたプロー
ブニードル用ガイド孔８ａを有するニードルガイドであ
る。この実施例では、ベース７、ニードルガイド８の表
面が曲面であるため、プローブニードル６ａ，６ｂの被
測定物へのプロービング角度を変化させることができる
ため、プローブニードル６ａ，６ｂの先端テーパ角に影
響をされることなく、プローブニードル６ａ，６ｂ先端
の間隔を狭くでき、小さいサイズの極性パッドに対して
もプロービングできるという利点がある。
が曲面で、かつ曲面に沿って内部がくり抜かれたプロー
ブニードル用ガイド孔８ａを有するニードルガイドであ
る。この実施例では、ベース７、ニードルガイド８の表
面が曲面であるため、プローブニードル６ａ，６ｂの被
測定物へのプロービング角度を変化させることができる
ため、プローブニードル６ａ，６ｂの先端テーパ角に影
響をされることなく、プローブニードル６ａ，６ｂ先端
の間隔を狭くでき、小さいサイズの極性パッドに対して
もプロービングできるという利点がある。
以上説明したように本考案は、１台のプローブヘッドに
２つのプローブニードルを設置しているため、ケルビン
測定の場合には、１台のプローブヘッドでプロービング
可能となり、プローブヘッド設置スペースが従来の半分
で済み、かつ、プロービング位置調整も１つの電極パッ
ドに対して、１つのマニピュレータ調整で済むため、位
置調整が短時間で行なえるという効果がある。
２つのプローブニードルを設置しているため、ケルビン
測定の場合には、１台のプローブヘッドでプロービング
可能となり、プローブヘッド設置スペースが従来の半分
で済み、かつ、プロービング位置調整も１つの電極パッ
ドに対して、１つのマニピュレータ調整で済むため、位
置調整が短時間で行なえるという効果がある。
第１図(a)は本考案の実施例１を示す平面図、(b)は同正
面図、第２図(a)は本考案の実施例２を示す平面図、(b)
は同側面図である。 １，２……板バネ、１ａ，２ａ……電極 １ｂ，２ｂ……ネジ孔 １ｃ，２ｃ……プローブニードル用孔 １ｄ，２ｄ……ネジ、３……ベース ４……長孔、５……ニードルガイド ５ａ，５ｂ……プローブニードル用ガイド孔 ６ａ，６ｂ……プローブニードル ７……表面が曲面のベース ８……表面が曲面のニードルガイド ８ａ……プローブニードル用ガイド孔
面図、第２図(a)は本考案の実施例２を示す平面図、(b)
は同側面図である。 １，２……板バネ、１ａ，２ａ……電極 １ｂ，２ｂ……ネジ孔 １ｃ，２ｃ……プローブニードル用孔 １ｄ，２ｄ……ネジ、３……ベース ４……長孔、５……ニードルガイド ５ａ，５ｂ……プローブニードル用ガイド孔 ６ａ，６ｂ……プローブニードル ７……表面が曲面のベース ８……表面が曲面のニードルガイド ８ａ……プローブニードル用ガイド孔
Claims (1)
- 【請求項１】プローブニードル用孔及びプローブニード
ル調整用孔並びに電極を有する導電性の２枚の板バネ
と、プローブニードル用ガイド孔を有する絶縁性ニード
ルガイドと、中心に板バネ位置調整用長孔を有する絶縁
性ベースとを含むことを特徴とする半導体用プローブヘ
ッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1969289U JPH0622218Y2 (ja) | 1989-02-22 | 1989-02-22 | 半導体用プローブヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1969289U JPH0622218Y2 (ja) | 1989-02-22 | 1989-02-22 | 半導体用プローブヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02110876U JPH02110876U (ja) | 1990-09-05 |
| JPH0622218Y2 true JPH0622218Y2 (ja) | 1994-06-08 |
Family
ID=31235427
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1969289U Expired - Lifetime JPH0622218Y2 (ja) | 1989-02-22 | 1989-02-22 | 半導体用プローブヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0622218Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5344213B2 (ja) * | 2008-06-23 | 2013-11-20 | 横河電機株式会社 | プローブアクセサリ |
-
1989
- 1989-02-22 JP JP1969289U patent/JPH0622218Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02110876U (ja) | 1990-09-05 |
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