JP6071633B2 - 接触子、検査治具、及び接触子の製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、プリント配線基板や電子部品等に備えられた電極端子に接触される接触子及び検査治具に関するものである。

近年、プリント配線基板の微細、高密度に対応したビルドアップ工法による多層製品が定在化している。この製造工法による基板には、層間の配線である微細なビアホールなどが多数存在することになる。その信頼性試験の１つとして、検査端子間の内部配線抵抗を正確に測定して良否を判定する４端子測定（ケルビン法）が増加している。
４端子測定は１つの検査端子に２本の接触子を導電接触させるために、接触子の個数が２倍になる。微細な検査端子には２本の接触点の間隔が小さいことが必要になる。

上記に対応した先行技術として、特許文献１に４端子測定用の細径の導電性接触子がある。特許文献１の図１５には、両端においてコイル径と中心軸が異なるコイルばね（ばね部材、特許文献１の符号３３）に、先端が斜めに成形された第２プランジャ（特許文献１の符号１４２）と、円錐端の第１プランジャ（特許文献１の符号３１）とを装着してなっている。基端部（特許文献１の符号３１ｄ）がコイルばねを内側から伸縮を案内して、測定電流の高容量を確保している。そして、斜め断面の２本の第２プランジャを対向して配置させて先端の接触点の間隔を小さくしている。しかし、異なる２つのコイル径の大きい径が導電性接触子の外径となるので、導電性接触子の配置密度を下げることになる問題がある。

文献１の図１６には、略針状の先端部１８２ａとフランジ部１８２ｂを有する第２プランジャ１８２を採用して、両端の接触点（中心軸）を移動している。文献１の図１５と比較してコイルばねの径が小さくできる。これで導電性接触子の配置密度が改善される。しかし、第２プランジャ１８２の製作は径が小さくなると容易ではない。又、先端部１８２ａとフランジ部１８２ｂを分離した構成の先行技術として、特許文献２のプローブユニットがある。しかし、部品点数が増えることになりコスト高となる。

特許文献３には、ケルビンコンタクトプローブおよびケルビン検査治具がある。特許文献３の図２には、コンタクトプローブ（特許文献３の符号１０，２０）の接触点が半円柱の傾斜面の先端となっている。２つのコンタクトプローブを左右対称に対向して配置させて、接触点の間隔を最少にしている。両端コンタクトプローブに連結した円柱棒、円筒棒と、その外側にコイルばねを同軸に配置して伸縮を案内している。しかし、コンタクトプローブの形状が複雑であり、製作は容易ではない。
上記のように、２本の接触子の接触点の間隔を小さくする各種の工夫がなされているが、それぞれに問題点を有している。

再公ＷＯ２００８／１３３２０９号公報 再公ＷＯ２００９／０９６３１８号公報 特開２０１２−１１２７０９号公報

プリント配線基板の４端子測定を行う場合、接触子の数が２倍となり、これに検査点の増加が相乗することにより、検査治具の全体価格が騰貴する。このように検査治具の製造コストが問題となっている。本発明は、上記の課題に鑑みてなされたもので、製造が容易であり、安価に製造でき、加えて保守も容易であって、高密度のプリント配線板への通電に好適であり、かつ４端子測定に好適な検査治具及び接触子を提供することを目的とする。
本発明はさらに、当該接触子の製造方法を提供することを目的とする。

本発明の第１の手段は、電子部品の検査に用いられる検査治具に組み込まれて使用される接触子であって、導電性の接触部材と中継部材からなり、接触部材は円形線材であって、螺旋をなすことにより、ばね特性を有する本体部と、本体部の一端に続いて、螺旋の円周上にあって、螺旋の中心軸に平行となるまで方向を変える立ち上げ部と、立ち上げ部に続く軸状部分であり、螺旋の円周上にあって、螺旋の中心軸に平行な突出部と、突出部に続く先端であって、検査対象電子部品の検査部位に接触する先端と、本体部の他端のである他端部とを含んでおり、中継部材は、軸状部材であって、本体部の内側に配置されて本体部の伸縮を案内する案内軸と、案内軸に続く案内軸よりも径の大きい大径部と、大径部に続く中継部材の中心軸に中継端のある中継部とを含んでいる。

本発明の第２の手段は、第１の手段において、上述の先端の形状が、検査部位と接触する接触点が接触子の外周となる斜め断面である。
本発明の第３の手段は、第１又２の手段において、上述の接触部材がコイル巻線機において押出し加工により形成されている。
本発明の第４の手段は、第１乃至３の何れかの手段において、上述の接触部材の立ち上げ部の曲げ半径が、実質的に本体部の曲げ半径より縮小することなく形成されている。
本発明の第５の手段は、第１乃至４の何れかの手段において、上述の本体部のコイル径が、最小巻線径以上、かつ最小巻線径の２倍の径以下の範囲にある。
本発明の第６の手段は、第１乃至５の何れかの手段において、上述の本体部が、立ち上げ部の側に密巻部を有している。
本発明の第７の手段は、第１乃至６の何れかの手段において、上述の中継部材の大径部と中継部の径は案内軸と同径であって、大径部の位置において、他端部と連結されてなる。

本発明の第８の手段は、電子部品の検査に用いられる検査治具であって、第１乃至７の何れかの手段による接触子と、当該接触子を保持する接触子保持体と、当該接触子保持体に連結された電極部とを備えている。接触子保持体は、先端が露出するように突出部を軸方向に摺動可能に支持する案内部と、立ち上げ部又は本体部に係合することにより先端の所定以上の突出を係止する係止部と、接触子の本体部から大径部を収納する筒状空洞部とを含んでいる。電極部は、接触子保持体に連結された電気絶縁性の電極板と、電極板を貫通するように電極板に固定され一端面が中継部材の中継部に当接することにより中継部に電気的に接続されるとともに、本体部を付勢する軸状の導電性の電極とを含んでいる。
本発明の第９の手段は、第８の手段において、電極板には、電極を支持する筒状空洞部と同軸の同径又は同径未満の貫通孔が形成されており、電極は接触子の最大径よりも径が小さい。

本発明の第１の手段に依れば、接触子は２個の製造が容易な部品からなるため、製造コストが低減される。本体部の伸縮を中継部材の案内軸が内側を摺動して案内するので、伸縮と荷重特性が良く、適切な突出量（すなわち、導電接触の可動範囲）を確保できる。これは、面積が大きい、検査端子に凹凸がある等のプリント配線板であっても、安定した導電接触がえられる。
接触子の中心軸に中継端があり、突出部の位置が本体部の円周上にあるので、検査の接触点が接触部材において外側に移動する。これは、４端子測定用の接触子として好都合な形状である。

本発明の第２の手段に依れば、先端の形成が容易であり、接触点が外周にあるので、２本の接触点の間隔が最小となる。
本発明の第３の手段に依れば、コイル巻線機おいて巻線にて、自動で製作できるので、製作が容易であって生産性が良い。
本発明の第４の手段に依れば、急激に曲げられることがなく、集中応力が分散するので、寿命短縮が回避される。
本発明の第５の手段に依れば、接触子の外径を小さくして、配置密度を上げることが出来る。
本発明の第６の手段に依れば、密巻部が係止を容易にする。又、密巻部は、本体部の伸縮を案内軸と摺動して案内し、それにより接触子の内部抵抗を改善する。
本発明の第７の手段に依れば、軸状の円形線材を使用してコスト低減ができる。

本発明の第８の手段に依れば、常時、接触子は電極の中心近傍を付勢しているので、検査治具の内部接続が確実となり、検査の信頼性が確保される。案内部と中心軸が異なる筒状空洞部に保持された接触子は回転することがなく、接触点は外周であっても良く接触点の位置を確保する。
本発明の第９の手段に依れば、電極の径を小さくできるので、細径のエナメル線などを使用し製造容易にコストを低減することが出来る。また電極部が配置密度を下げることもない 。
各々の手段に依って上述した効果は、第１の手段が共通しているので、他の手段に係るものの効果になることがある。

図１は本発明の実施形態を示す検査治具の全体の構成を示す説明図。 図２は本発明の実施の形態１における検査治具の断面図。 図３（ａ）、図３（ｂ）、図３（ｃ）、図３（ｄ）は本発明の部材を拡大した説明図。 図４（ａ）、図４（ｂ）、図４（ｃ）は本発明の接触部材を拡大した説明図。

プリント配線板の検査に適用可能な検査治具の例について、図１を参照しつつ説明する。検査治具１は、被検査プリント配線板と検査装置との間に配置されることにより、導電を確保し、抵抗値などの電気特性を検査する接続装置である。検査治具１は、被検査プリント配線板の検査端子に導電接触する複数の接触子１０を保持する接触子保持体３０と、この接触子保持体３０を着脱可能に支持して接触子１０と導電接触する電極４１を有する電極部４０とを有している。電極部４０は、コネクタ４５を介して検査装置と接続されている。この接触子保持体３０と電極部４０とを分離可能にする構成は、製作と保守に有効である。

本発明は特に４端子測定用の接触子をコイルばね（接触部材）と中継ピン（中継部材）で構成することで、製造容易であって、保守も容易な検査治具を実現した。以下、本発明の実施形態に係る検査治具１及び接触子１０について、関連する添付図面を参照しながら説明する。
（実施の形態１）

本実施の形態による接触子１０を使用する検査治具１は、図１に示すように、複数の接触子１０が接触子保持体３０に保持されて、電極板４２に着脱可能に装着されている。電極板４２には図２に示す電極４１が、接触子１０の本体部１４と同軸に配設されて支持体４３に固着されている。支持体４３はコネクタ４５と共に治具ベース板４６に固着されている。電極４１とコネクタ４５はリード線４４で配線されて電極部４０を形成している。検査治具１が検査装置に搭載されて、コネクタ４５を介して電気的に接続される。接触子１０の先端１１１が被検査プリント配線板の検査端子に圧接することにより、電気特性を測定することが可能となる。４端子測定においては１つの検査端子に左右対称に対向して 、２つの接触子１０が配置されることになる。

図２を参照しつつ、内部の構成を説明する。接触部材１１は導電性金属のコイルばねからなる。断面円形の線材は連続して先端１１１、突出部１１２、立ち上げ部１１３、本体部１１４、他端部１１５からなっている。
先端１１１は、２つの接触子１０の接触点の間隔を最少にするために４５度の断面となっている。突出部１１２は接触子保持体３０の案内板３１の第１案内孔３１１から伸縮可能に突出することにより、被検査プリント配線板の検査端子との圧接を確保している。立ち上げ部１１３は、接触子保持体３０に保持されるために、本体部（コイルばね）１１４の円周上１１４ｃへ垂直方向に方向を変えることにより、係止孔３２２に係止されている。この係止板３２の立ち上げ部１１３の所定部分を含む係止孔３２２は、本発明の「係止部」の一具体例に相当する。係止板３２には、第１案内孔３１１と同軸に第２案内孔３２１があり、突出部１１２と本体部１１４の垂直な運動と伸縮を案内している。この２層の案内孔は本発明の「案内部」の一具体例に相当する。２層の細径の案内孔の間に、径の大きい間隔孔３１２を設けることにより、垂直な運動の案内と位置精度を確実にしている。
本体部１１４は、コイル保持板３３のコイル保持孔３３１に伸縮可能に保持されている。コイル保持孔３３１は、本発明の「筒状空洞部」の一具体例に相当する。他端部１１５は、座巻き１回のクローズドエンドである。

中継部材１２は、図３（ｂ）に示す。形状が軸状の導電性の金属部材であって、案内軸１２１、大径部１２３、中継部１２４からなる。案内軸１２１が本体部１１４の伸縮を内側から案内している。大径部１２３の径は本体部１１４の外径と略同径であって、他端部１１５と当接して本体部１１４の圧縮の反力を受けている。中継部１２４は中継板３４の中継孔３４１に保持されて、中継端１２４ａが電極４１と接触子１０の中心軸１０ｂに位置合わせされる。中継板３４の厚さは電極４１に反力が架かる様に中継部１２４の長さより薄くなっている。

絶縁性の案内板３１、係止板３２、コイル保持板３３及び、中継板３４は一体に固定されることにより、接触子保持体３０を構成している。図２は、多数の接触子１０を接触子保持体３０に実装し、接触子保持体３０を電極板４２に着脱可能に固定した状態を示している。立ち上げ部１１３は、係止孔３２２によって押圧され、それにより本体部１１４は圧縮する。その結果、初期荷重が電極４１に架るので、導電接続が確実なものとなる。

図４（ｃ）を参照しつつ、係止部３２２の詳細を説明する。接触部材１１を上面から観た平面の拡大図である。２点鎖線は係止板３２を重ねた場合の係止孔３２２の状態を示している。接触部材１１の線材の円周１１４ｃ（コイル中心径）と係止孔３２２とが交差して係止していることが解る。そして、円周上１１４ｃに突出部１１２と先端１１１が有って、接触部材１１の外周に接触点１１１ａが位置している。係止孔３２２の径は、例えばコイル保持孔３３１の約３／４から約１／２である。本体部１１４の円周１１４ｃの径（コイル径）は、ばね指数Ｃ（Ｄ／ｄ）が約３の最小コイル径になっている。

電極部４０について、図２を参照しつつ説明する。絶縁性の電極板４２にコイル保持孔３３１と同軸の電極孔４１１が形成されている。この電極孔４１１にエナメル線などのリード線４４が挿入され、かつ接着剤４１１ａによりで固定された後に、平面加工されることによって、電極４１が形成されている。中継端１２４ａと電極４１とが同軸の中心近傍で導電接触している。電極４１の表面処理は、導電接触を確実にするために金めっきが望ましい。

電極４１の製作において、細径のリード線４４と電極孔４１１との間のクリアランスを大きくすると、挿入と接着は容易になるが電極４１の位置ずれは大きくなる。この製作法によれば、製作に適正なクリアランスに相当する位置ずれが発生するが、電極４１として個別部品は要らずコストを低減することが出来る。

本実施の形態の接触子１０について、図３、４を参照しつつ詳細を説明する。接触部材１１の材料は、ピアノ線などの導電性の金属の断面円形の線材である。接触部材１１は、コイル巻線機を用いて押出し加工することにより製作される。先端１１１から突出部１１２までは曲げることなく押出し軸（孔）から押し出される。立ち上げ部１１３から曲げが開始される。押出し長さに合わせて曲げ半径と曲げ方向を連動して変えることにより立ち上げ部１１３が形成される。これにより、押出し軸と突出部１１２とが約直角となるように、本体部１１４の円周１１４ｃの上に突出部１１２が形成される。続いて本体部１１４の密着巻１１４ａが所定回行われる。続いてばね特性を有する疎巻きがを所定回の間行われる。終端の他端部１１５は、座（密着）巻き１回のクローズドエンドの無研磨としている。

図４の（ａ）は接触部材１１の正面図であり、図４（ｂ）は右側面図である。これらの図は、接触部材１１の立体的な（３次元の）形状を示している。突出部１１２は、２層の案内孔に案内されることにより、垂直運動を確実にするために、所定の長さを有している。立ち上げ部１１３は、本体部１１４の円周上１１４ｃにおいて滑らかに方向を約９０度変えて垂直になり、突出部１１２に続いている。突出部１１２は、本体部１１４の中心軸１１４ｂから軸が円周上１１４ｃに移動した軸状部分であり、中心軸１１４ｂとは平行になっている。

本体部１１４の立ち上げ部１１３の側に密着巻１１４ａが設けられることに依り、係止孔３２２による接触部材１１の係止が容易にしている。又、密着巻１１４ａは、案内軸１２１に摺動して本体部１１４の伸縮を容易にする。又、本体部１１４に流れる測定電流は案内軸１２１にバイパスされて本体部１１４の抵抗が改善される。疎巻きによって所要のばね定数が得られる。他端部１１５は、座巻き１回のクローズドエンドとして嵌合部１２２と連結を確実にしている。
突出部１１２は円周上１１４ｃの何れの位置であっても良く、巻線の巻き始めと巻終わりとの間の円周角に特異性がないので、巻線が容易となる。接触部材１１の表面処理は、導電接触を確実にするために金めっきが望ましい。

コイル巻線機の押出し軸（押し出し長）、曲げ半径、曲げ方向（ピッチ角も含む）を連動して制御することにより、突出部１１２、立ち上げ部１１３、密着巻１１４ａ、疎巻き、他端部１１５を連続して、押出し加工により形成することができる。それにより、生産効率を高め、製造コストを低減することができる。

接触部材１１が押出し加工により形成されるので、コイル巻線機に依って最小曲げ半径（１．２５から１．５＊ｄ）が制限される。このため、急激に曲げられることがなく、集中応力が分散する。また、本体部１１４のコイル径が最小巻線径であっても、密着巻１１４ａから疎巻きに連続的に変わるのと同様に、曲げ方向が変わることにより、立ち上げ部１１３は、曲げ半径を同一に保ちつつ形成することも可能である。それにより、微細径の接触子１０を高密度に配置することが可能になる。

中継部材１２について、図３を参照しつつ説明する。中継部材１２が図３（ｂ）に示されている。案内軸１２１の径は本体部１１４の内径より少し小さい。端部は本体部１１４の案内を容易にする３０度の面取りをしている。嵌合部１２２の径の径は本体部１１４の内径より少し大きく、他端部１１５に圧入されて嵌合して、一体の接触子１０となる。大径部１２３の径は本体部１１４の外径に約同径である。中継部１２４の径は大径部１２３より小さい。接触子１０の挿入された接触子保持体３０を取り扱う場合、大径部１２３が径のコイル保持孔３３１より小さい中継孔３４１に係止されて、接触子１０が接触子保持体３０に保持される。中継部１２４の端部は９０度の円錐である。中継部材１２の長さは係止板３２と干渉しない長さとする。

組立と保守の手順について、図１、２、３を参照しつつ説明する。前もって、接触部材１１の他端部１１５に中継部材１２の案内軸１２１を挿入して、嵌合部１２２を圧入して連結した接触子１０を準備する。
案内板３１、係止板３２、コイル保持板３３を重ねて螺子止めし、コイル保持板３３を上側にして、かつ接触子１０の先端１１１を前方にして（すなわち下方にして）、全てのコイル保持孔３３１から係止孔３２２の第２案内孔３２１と第１案内孔３１１に、接触子１０を挿入する。そして、中継板３４を整合して重ねて螺子止めする。次に、電極４１の形成も含めて組立完了した電極部４０に接触子１０が装着された接触子保持体３０を電極板４２に整合させ、螺子により互いを固定する。これにより組立は完了する。

不良の接触子１０の交換は、接触子保持体３０を取り外して接触子１０を取り出し、良品に交換する。各板を整合する場合、図には示していないが、複数の位置合わせピンと位置合わせ孔を整合することにより機械的な位置が決まる構成になっている。
（実施の形態２）

図３（ｄ）の中継部材１２ｄは、素材が円形の導電性の線材を実施の形態１と同様に両端加工したものである。線径は接触部材１１の本体部１１４の内径より少し小さく、本体部１１４の伸縮を摺動して案内する径が望ましい。中継部材１２ｄの案内軸１２１を接触部材１１の本体部１１４に挿入する。そして、他端部１１５を所定の位置（大径部１２３）において、溶接などによって接合（連結）する。これで、一体の接触子１０ｄとなる。大径部１２３の機能を他端部１１５が行っている。結果として、実施の形態１の接触子１０と同等の接触子１０ｄが得られることになる。接合の工程が増えるが、接触部材１２ｄの加工が容易であり、コストを低減する。又、他端部１１５の座巻き数を増やすことで、接触子１０と全長も同じにするこが出来る。図示しないが、図２において大径部１２３が他端部１１５の座巻きになった外観となる。
（その他の実施形態）

図３（ｃ）の中継部材１２ａについて説明する。大径部１２３ａが中継部材１２ｄをカシメ加工して形成されている。嵌合部１２２がなく、接触部材１１と連結は出来ないので、接触子１０ａは一体として取り扱いが出来ないが測定機能には特に問題はない。中継部材１２のコストを低減できる。

中継板３４を無くしても良い。ただし、接触子１０の挿入された接触子保持体３０を取り扱う場合、中継板３４がないので、コイル保持板３３を下側にすると全ての接触子１０が落下するので注意を要する。この場合、中継部材１２の中継部１２４の径は大径部１２３と同径であっても良い。

先端１１１の形状、を突出部１２の軸と直角に交差する平面にしても良い。この形態は、例えば、検査端子が半球の半田バンプの接触に適応する。平面にする加工では、研磨が容易である。先端１１１の平面形状は、直角のほかに、４５度、多角錐などのその他の形状であっても良い。

案内板３１を無くして第２案内孔３２１のみとしても良い。ただし、接触子１０に荷重のアンバランスがあるので、案内板３１を設ける方が望ましい。
係止孔３２２は、立ち上げ部１３又は本体部１４を係止し、第２案内孔３２１を内側に含めば良いので、図に示さないが、対向する係止孔と重なっても良い。また、対向する２つの係止孔３２２を１つにしても良い。この場合は加工工数が減る。間隔孔３１２も同様である。案内孔以外は径が大きく孔加工は容易である。

上述した例では、接触部材１１の形成は押出し加工を突出部１１２から開始し他端部１１５で終了しているが、反対の方向の他端部１１５から開始し突出部１１２で終了しても良い。コイル巻線機の機能に合わせることが好ましい。
図２乃至４の接触部材１１を、コイル巻線加工に折り曲げ加工を追加することにより製造しても良い。但し、コイル巻線加工のみによって接触部材１１を製造する方が、通常はコストを著しく低減することができ、より好ましい。

本接触子１０は４端子測定に適応するが、通常の２端子測定に使用しても良い。接触子１０を共用化すると、製造と保守が容易になる。また、接触子１０は、他の種類の接触子の併用を妨げるものではない。必要に依り併用が可能である。

本発明の特定の実施形態についての上述の説明は、例示を目的として提示したものである。それらは、網羅的であったり、記載した形態そのままに本発明を制限したりすることを意図したものではない。数多くの変形や変更が、上述の記載内容に照らして可能であることは当業者に自明である。

本発明の接触子は、プリント配線基板、ＩＣパッケージ、ＩＣ等の電子部品に備えられた検査端子に導電接触させる通電治具と通電装置全般に用いることができる。

１・・・・検査治具
１０，１０ａ，１０ｄ・接触子
１１・・・接触部材（コイルばね）
１１１・・先端
１１２・・突出部
１１３・・立ち上げ部
１１４・・本体部（コイルばね）
１１４ｂ，１０ｂ，１２ｂ・中心軸
１１４ｃ・円周（円周上、コイル径）
１２，１２ａ，１２ｄ・中継部材（中継ピン）
１２１・・案内軸
１２３，１２３ａ・大径部
１２４・・中継部
３０・・・接触子保持体
３１・・・案内板
３２・・・係止板
３２２・・係止孔、係止部
３３・・・コイル保持板
４０・・・電極部
４１・・・電極

Claims (8)

1. 電子部品の検査に用いられる検査治具に組み込まれて使用される接触子であって、導電性の接触部材と中継部材からなり、
   前記接触部材は断面円形の線材であって、螺旋をなすことにより、ばね特性を有する本体部と、当該本体部の一端に続いて、螺旋の円周上にあって、螺旋の中心軸に平行となるまで方向を変える立ち上げ部と、当該立ち上げ部に続く軸状部分であり、螺旋の円周上にあって、螺旋の中心軸に平行な突出部と、当該突出部に続く先端であって、検査対象電子部品の検査部位に接触する先端と、前記本体部の他端である他端部と、を含み、
   前記本体部のコイル径は、線径の３倍以上、かつ６倍以下の範囲にあり、
   前記本体部側から前記突出部側に至る前記立ち上げ部の全体にわたって、変わってゆく立体的な曲げの方向に応じた方向からみた曲げ半径は、前記本体部の曲げ半径より小さくはなく、
   前記中継部材は、軸状部材であって、前記本体部の内側に配置されて前記本体部の伸縮を案内する案内軸と、当該案内軸に続き、前記接触部材の前記他端部を止めかつ当該他端部と電気的に接続される連結部と、当該連結部に続き、前記中継部材の中心軸に中継端のある中継部と、を含む接触子。
2. 前記先端の形状が、検査部位と接触する接触点が接触子の外周となる斜め断面である、請求項１に記載の接触子。
3. 前記本体部が、前記立ち上げ部の側に密巻部を有している、請求項１又は２に記載の接触子。
4. 前記中継部材の前記連結部は、前記案内軸よりも径方向外方に張り出した拡幅部を有し、当該拡幅部が前記接触部材の前記他端部と当接することにより、当該他端部を止めかつ当該他端部と電気的に接続される、請求項１乃至３の何れかに記載の接触子。
5. 電子部品の検査に用いられる検査治具であって、請求項１乃至４の何れかに記載の接触子と、当該接触子を保持する接触子保持体と、当該接触子保持体に連結された電極部とを備え、
   前記接触子保持体は、前記先端が露出するように前記突出部を軸方向に摺動可能に支持する案内部と、前記立ち上げ部又は前記本体部に係合することにより前記先端の所定以上の突出を係止する係止部と、前記接触子の前記本体部から前記連結部を収納する筒状空洞部と、を含み、
   前記電極部は、前記接触子保持体に連結された電気絶縁性の電極板と、当該電極板を貫通するように当該電極板に固定され、一端面が前記中継部材の前記中継部に当接することにより、前記中継部に電気的に接続されるとともに、前記本体部を付勢する軸状の導電性の電極と、を含む検査治具。
6. 前記電極板には、前記電極を支持する前記筒状空洞部と同軸の同径又は同径未満の貫通孔が形成されており、前記電極は接触子の最大径よりも径が小さい、請求項５に記載の検査治具。
7. 電子部品の検査に用いられる検査治具であって、
   各々が請求項１乃至４の何れかに記載の接触子である複数の接触子と、当該複数の接触子を保持する接触子保持体と、当該接触子保持体に連結された電極部とを備え、
   前記接触子保持体は、前記先端が露出するように前記突出部を軸方向に摺動可能に支持する案内部と、前記立ち上げ部又は前記本体部に係合することにより前記先端の所定以上の突出を係止する係止部と、前記本体部と前記他端部とを収納する筒状空洞部と、を前記複数の接触子に個別に対応して含み、
   前記電極部は、前記接触子保持体に連結された電気絶縁性の電極板を含み、
   前記電極部は更に、当該電極板を貫通するように当該電極板に固定され、一端面が前記中継部材の中継部に当接することにより、前記中継部に電気的に接続されるとともに、前記本体部を付勢する軸状の導電性の電極を、前記複数の接触子に個別に対応して含み、
   前記複数の接触子は、互いに隣接する一対の接触子を含み、
   当該一対の接触子の各々は、請求項２に記載の接触子であり、
   前記一対の接触子は、各々の前記螺旋の中心軸まわりの位置が、各々の前記突出部同士が互いに対向して近接し合う位置となるように、保持されている、検査治具。
8. 請求項１から４の何れかに記載の接触子の製造方法であって、
   前記接触子の接触部材は、コイル巻線機を用い、当該コイル巻線機の押し出し長さに合わせて、曲げ半径と曲げ方向を連動して変える押出し加工により形成される、接触子の製造方法。
   

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