TWI596345B - Inspection fixture and its manufacturing method - Google Patents

Description

檢查治具及其製造方法

本發明係關於一種，在檢查例如半導體積體電路等之被測定裝置時所使用的檢查治具及其製造方法。

在對半導體積體電路等之檢查對象物進行檢查時，為了將檢查對象物與測定器側之檢查用基板電性連接，一般使用接觸式探針。

圖15為，以絕緣支撐體831支撐習知之接觸式探針800的檢查治具900之正剖面圖；(A)顯示待機狀態(彈簧緩解狀態)，(B)顯示四端子式量測狀態(彈簧壓縮狀態)。另，本圖中，各接觸式探針800的第1柱塞801及第2柱塞802，以非剖面顯示。

本圖所示之檢查治具900為四端子式量測(Kelvin measurement)用。四端子式量測，係使電流供給用探針及電壓監視用探針抵接於檢查對象物5之電極，例如電極凸塊5a而測定電氣特性(視需求參考下述專利文獻1或2)。檢查治具900，使互為相同構成之2根接觸式探針800的一方為電流供給用探針，使另一方為電壓監視用探針。

各接觸式探針800，具備第1柱塞801、第2柱塞802、彈簧803、以及管件804。第1柱塞801為與檢查對象物5連接之連接零件，第2柱塞802為與檢查用基板6(與未圖示之測定機器相連接)連接之連接零件。第1柱塞801之凸緣部812為，直徑較前端側圓柱部824更大之圓板形狀，係為了防止在圖15(A)所示的狀態下之接觸式探針800的鬆脫及使前端側圓柱部824之突出長度一致而設置。前端側圓柱部824之前端面，為分割山形(此處為8分割)，山之頂點係以等角度間隔自中心起存在於外周。

圖15所示之接觸式探針800中，凸緣部812往相鄰之接觸式探針800側突出，故無法將相鄰之接觸式探針800的前端側圓柱部824彼此接近配置。因此，無法將以下說明之連結間距縮小。

圖16(A)為，圖15(B)之A-A’箭視圖。圖16(B)為，圖15(B)之B-B’剖面圖。圖17為，圖15的第1柱塞801之前端周邊部放大圖。參考此等附圖，針對相鄰之接觸式探針800的連結間距P1加以說明。

連結間距P1，如下式所示。

P1=E+(F×2)+(G×2)+(H×2)…式1

E：絕緣支撐體831之最小壁厚

F：絕緣支撐體831與凸緣部812之側面的間隙

G：凸緣部812與前端側圓柱部824的半徑差

H：自前端側圓柱部824之側面(與相鄰之前端側圓柱部824距離最接近的側面)至前端面的山之頂點的距 離。※距離為，沿著將相鄰之接觸式探針800彼此連結的方向之距離。隨著前端側圓柱部824之旋轉角度的不同，亦有成為零的情形，但此處為最大距離(圖16(A)之狀態)。

如同上述，凸緣部812的突出，對連結間距P1有直接影響，會妨礙間距縮小化。另，上述的長度E~H中之E與F，在設計上不可能為零(存在無法更進一步縮小之下限值)。

習知技術文獻 專利文獻

專利文獻1 日本特開2008-45986號公報

專利文獻2 日本特開2010-38837號公報

本案申請人，已於日本特願2011-7332號中，提出一種與習知相較可將連結間距縮窄之接觸式探針(圖18~圖20)。此一接觸式探針，藉由使凸緣部714為非圓柱形而不往鄰接之接觸式探針側突出，將鄰接的接觸式探針之前端側圓柱部719彼此的距離縮窄。此外，利用凸緣部714的停止旋轉效果，而與鄰接的接觸式探針之前端側圓柱部719的接觸部719a保持為山之頂點彼此成為最短距離的角度。藉由此等手段，實現下式所示之連結間距P2。

P2=E+(F×2)…式2

E：絕緣支撐體731之最小壁厚

F：絕緣支撐體731與前端側圓柱部719之側面的間隙

以式2表示之連結間距P2，較以式1表示之習知的連結間距P1縮窄△P=(G×2)+(H×2)的距離。此處，如同上述長度E與F無法縮到比既定的下限值更小，故為了進一步的間距縮小化，需要來自其他觀點的手段。

本發明鑒於認知到此等狀況而研發，本發明之目的在於提供一種，施行與過去相較下將連結間距縮窄之嶄新手段之檢查治具及其製造方法。

本發明之一態樣為一種檢查治具。此一檢查治具，具備複數支接觸式探針、以及將該複數支接觸式探針串聯地支撐之絕緣支撐體；各個接觸式探針，具有：第1及第2柱塞，一方為與檢查對象物連接用而另一方為與檢查用基板連接用；以及彈簧，將該第1及第2柱塞往互相分離的方向賦予勢能；該絕緣支撐體，具有該複數支接觸式探針分別往內側延伸之複數個貫通孔部；各個貫通孔部，包含將各個接觸式探針的第1柱塞之前端部以任意滑動的方式導引之導引孔部；於相鄰之既定的2個導引孔部間之壁部，以較該第1柱塞之該前端部的外徑更小之寬度設置往該第1柱塞的長度方向延伸之連結部，將該2個導引孔部相互連通。

該2個導引孔部亦可在互不重疊的範圍接近。

該連結部之內面亦可為圓孔之側面的一部分。

該絕緣支撐體，亦可係將形成有該導引孔部之第1絕緣支撐體、以及形成有在各個導引孔部自軸方向連通而收納各個接觸式探針之一部分的收納孔部之第2絕緣支撐體加以組合而成。

本發明之另1態樣為，檢查治具之製造方法。此方法包含如下步驟：於絶緣體形成複數個互不重疊的大徑貫通孔，並在該2個大徑貫通孔之間形成與相鄰之既定的2個大徑貫通孔雙方部分重疊的小徑貫通孔，而構成第1絕緣支撐體之步驟；將接觸式探針插入第2絕緣支撐體之複數個貫通孔的每一個的步驟；以及，以使各個接觸式探針中之自該第2絕緣支撐體突出的部分貫通各個大徑貫通孔之方式，將該第1絕緣支撐體組裝在該第2絕緣支撐體之步驟。

另，以上之構成要素的任意組合、將本發明之展現在系統等間轉換者，作為本發明之態樣亦有效。

依本發明，實現施加與過去相較將連結間距縮窄之嶄新手段之檢查治具及其製造方法。

1、801‧‧‧第1柱塞

2、802‧‧‧第2柱塞

3‧‧‧螺旋彈簧

4、804‧‧‧管件

5‧‧‧檢查對象物

5a‧‧‧電極凸塊

6‧‧‧檢查用基板

11、21、411、421‧‧‧基端側圓柱部

11d‧‧‧斂縫部

12‧‧‧第1小徑部

13‧‧‧第2小徑部

14、714、812‧‧‧凸緣部

14a、14b‧‧‧側面部分

17‧‧‧第3小徑部

19、29、719、824‧‧‧前端側圓柱部

19a、29a、719a‧‧‧接觸部

19b、19c‧‧‧一部分

22‧‧‧小徑部

30、900‧‧‧檢查治具

31、731、831‧‧‧絕緣支撐體

31a‧‧‧第1層

31b‧‧‧第2層

32‧‧‧貫通孔部

33‧‧‧第1導引孔部

33a‧‧‧壁部

33b‧‧‧狹縫

34‧‧‧第2導引孔部

35‧‧‧中間孔部

100、300、400、500、800‧‧‧接觸式探針

141~144‧‧‧側面

190‧‧‧前端側半圓柱部

197‧‧‧穴部

311‧‧‧主孔部

312、313‧‧‧凸緣用穴部

401、402‧‧‧縮緊部

412、422‧‧‧棒狀部

803‧‧‧彈簧

圖1係本發明的第1實施形態之檢查治具30的正剖面圖；(A)為待機狀態(彈簧緩解狀態)，(B)為四端子式量測狀態(彈簧壓縮狀態)。

圖2係圖1(A)之H-H’剖面圖(彈簧緩解狀態)。

圖3(A)係圖1(B)之G-G’箭視圖。(B)係圖1(B)之J-J’剖面圖。(C)係自前端方向觀察第1柱塞1的圖。

圖4係圖1的第1柱塞1之前端周邊部放大圖。

圖5係在尺寸說明用上將圖3(A)放大之放大圖。

圖6係圖5中相鄰之前端側圓柱部19彼此最接近的情況之狀態說明圖。

圖7係圖5中的更詳細之尺寸說明用放大圖。

圖8係絕緣支撐體31之第2層31b的形狀說明圖。

圖9係自Z軸方向觀察本發明的第2實施形態之檢查治具所使用的絕緣支撐體31之第1層31a的圖。

圖10係本發明的第3實施形態之檢查治具的說明圖；(A)係待機狀態(彈簧緩解狀態)，(B)係四端子式量測狀態(彈簧壓縮狀態)，(C)係(B)之K-K’剖面圖。

圖11係本發明的第4實施形態之檢查治具的說明圖；(A)係待機狀態(彈簧緩解狀態)，(B)係四端子式量測狀態(彈簧壓縮狀態)。

圖12(A)係本發明的第5實施形態之檢查治具中的第1柱塞1之前端周邊部放大圖。(B)係第1柱塞1之前端部側視圖。

圖13係本發明的第6實施形態之檢查治具的四端子式量測狀態(彈簧壓縮狀態)之正剖面圖。

圖14(A)係圖13之A-A’箭視圖。(B)係圖13之B-B’剖面圖。

圖15係以絕緣支撐體831支撐習知之接觸式探針800的檢查治具900之正剖面圖；(A)係待機狀態(彈簧緩解狀態)，(B)係四端子式量測狀態(彈簧壓縮狀態)。

圖16(A)係圖15(B)之A-A’箭視圖。(B)係圖15(B)之B-B’剖面圖。

圖17係圖15的第1柱塞801之前端周邊部放大圖。

圖18係日本特願2011-7332號的檢查治具之前端周邊部放大圖。

圖19係圖18之C-C’箭視圖。

圖20係圖18之D-D’剖面圖。

以下，參考附圖並對本發明之最佳實施形態加以詳述。另，對各附圖中所示之相同或同等的構成要素、構件等附加同一符號，並適當省略重複的說明。此外，實施形態並未限定本發明而為例示，實施形態所記述之全部的特徵或其組合不一定必須為發明之本質。

圖1為，本發明的第1實施形態之檢查治具30的正剖面圖；(A)顯示待機狀態(彈簧緩解狀態)，(B)顯示四端子式量測狀態(彈簧壓縮狀態)。圖2為，圖1(A)之H-H’剖面圖(彈簧緩解狀態)。此等圖中，各接觸式探針100之第1柱塞1及第2柱塞2，以非剖面顯示。圖 3(A)為，圖1(B)之G-G’箭視圖。圖3(B)為，圖1(B)之J-J’剖面圖。圖3(C)為，自前端方向觀察第1柱塞1的圖。圖4為，圖1的第1柱塞1之前端周邊部放大圖。圖5為，為了說明尺寸而將圖3(A)放大之放大圖。圖6為，圖5中相鄰之前端側圓柱部19彼此最接近的情況之狀態說明圖。圖7為，圖5中的更詳細之尺寸說明用放大圖。

本實施形態之檢查治具30為四端子式量測用，使互為相同構成之2根接觸式探針100的一方為電流供給用探針，使另一方為電壓監視用探針。如下定義垂直3軸(X軸、Y軸、Z軸)：如圖1(A)所示，使接觸式探針100的軸方向為Z軸方向、後述之凸緣部14突出的方向為X軸方向、與Z軸方向及X軸方向雙方垂直的方向為Y軸方向。

接觸式探針100，同軸地具備：第1柱塞1、第2柱塞2、作為彈簧之螺旋彈簧3、以及管件4。第1柱塞1為，與檢查對象物5連接之連接零件。第2柱塞2為，與檢查用基板6連接之連接零件。係銅或銅合金等導電性金屬體之管件4，以可任意滑動的方式保持第1柱塞1與第2柱塞2，將第1柱塞1與第2柱塞2之基端側與螺旋彈簧3收納於內部。藉例如鋼琴線或不鏽鋼線等一般的導體金屬材質形成之螺旋彈簧3，係以將第1柱塞1與第2柱塞2往互相分離的方向賦予勢能之方式相對於第1柱塞1與第2柱塞2設置，對第1柱塞1與第2柱塞2給予與檢查對象物5及檢查用基板6接觸的 力。檢查對象物5為，例如將電極以既定間隔配置的半導體積體電路，圖示之情況，將電極凸塊5a以既定間隔配置。檢查用基板6，對應於電極凸塊5a隔著既定間隔具有與測定器側連接之電極銲墊(未圖示)。

係銅或銅合金等導電性金屬體之第1柱塞1，自基端側起，依序具有基端側圓柱部11、第1小徑部12、第2小徑部13、凸緣部14、第3小徑部17、及前端側圓柱部19。同樣係銅或銅合金等導電性金屬體之第2柱塞2，自基端側起，依序具有基端側圓柱部21、小徑部22、及前端側圓柱部29。螺旋彈簧3，設置於第1柱塞1與第2柱塞2之基端側圓柱部11、21的端面間，對各端面給予分離方向的賦勢力。圓筒狀之管件4，在軸方向相異的2處之中間部側面，為了防止第1柱塞1與第2柱塞2的鬆脫而具有環狀地往內側凹陷之縮緊部401、402。

第1柱塞1中，基端側圓柱部11，其直徑大於縮緊部401的內徑。圓柱狀之第1小徑部12，其直徑小於縮緊部401的內徑。在軸方向上縮緊部401位於第1小徑部12的存在範圍內。因此，基端側圓柱部11卡在縮緊部401，防止第1柱塞1自管件4的鬆脫。圓柱狀之第2小徑部13，其直徑大於縮緊部401的內徑，一部分恆常地位於管件4內部。

凸緣部14的形狀，如圖3(B)、(C)所示，係將直徑大於前端側圓柱部19的圓板之側面，四面裁切成自軸方向(Z方向)觀察成為例如略菱形的形狀。另，本圖 之例子中，自軸方向觀察相當於凸緣部14的X方向兩端之頂點的側面部分14a、14b，未被切割而呈圓弧面。換而言之，凸緣部14，具有係4面平面、即側面141~144，自軸方向觀察以側面141~144(及與該等平面為同一平面的延長面)包圍之區域成為略菱形的形狀。而凸緣部14，如圖1(A)所示，自X方向觀察時，寬度較前端側圓柱部19更窄，且位於前端側圓柱部19之存在寬度內，亦即未較前端側圓柱部19之側面往更外側(往與軸方向垂直的方向)延伸。另一方面，如圖2所示，自Y方向觀察時，寬度較前端側圓柱部19更寬，且較前端側圓柱部19之側面往更外側(往與軸方向垂直的方向)延伸(突出)。亦即，如圖3(C)所示，凸緣部14，自軸方向觀察，自前端側圓柱部19之側面的一部分19b、19c往外側延伸；另一方面，未自除了該一部分19b、19c以外的部分往外側延伸。另，如圖3(C)所示，前端側圓柱部19之側面中自軸方向觀察凸緣部14往外側延伸的一部分19b、19c之範圍，各自為自軸方向觀察中心角θ為90°以內則可。此外，凸緣部14，自軸方向觀察，以自中心軸起越往X方向前進寬度越縮窄的方式延伸(向前端逐漸變窄地延伸)則可。

圓柱狀之第3小徑部17，其基端與凸緣部14之前端側端面相連接。前端側圓柱部19，其直徑大於管件4的外徑，因此相鄰之前端側圓柱部19、19的間隔變得比管件4、4的間隔更窄。前端側圓柱部19之前端，成為與檢查對象物5之電極凸塊5a接觸的接觸部19a。 接觸部19a，為分割山形(此處為8分割)，山之頂點係以等角度間隔(此處為45°間隔)自中心起存在於外周。另，圖3(A)、(C)，圖示山的稜線(凸部的稜線)，另一方面，省略谷線的圖示。

第2柱塞2中，基端側圓柱部21，其直徑大於縮緊部402的內徑。圓柱狀之小徑部22，其直徑小於縮緊部402的內徑。在軸方向上縮緊部402位於小徑部22的存在範圍內。因此，基端側圓柱部21卡在縮緊部402，防止第2柱塞2自管件4的鬆脫。前端側圓柱部29，其直徑大於縮緊部402的內徑，其基端側一部分位於管件4內部。前端側圓柱部29之前端，成為與檢查用基板6之電極銲墊(未圖示)接觸的接觸部29a。接觸部29a，例如為圓錐狀。

檢查治具30具備絕緣支撐體31，該絕緣支撐體31係以既定間隔具有供將複數支接觸式探針100平行配置所用之貫通孔部32，在各貫通孔部32插入配置接觸式探針100。具體而言，將一體化地組裝第1柱塞1、第2柱塞2、螺旋彈簧3及管件4而構成之接觸式探針100，插入配置於絕緣支撐體31之貫通孔部32。另，為了將接觸式探針100納入貫通孔部32內，絕緣支撐體31的構造係分割為第1層31a及第2層31b。

形成在貫通孔部32之第1層31a的第1導引孔部33，為徑部較第1柱塞1之前端側圓柱部19略大的圓孔而以可任意滑動的方式支撐第1柱塞1之前端側圓柱部19。形成在貫通孔部32之第2層31b下端部的 第2導引孔部34，為徑部較第2柱塞2之前端側圓柱部29略大的圓孔而以可任意滑動的方式支撐第2柱塞2之前端側圓柱部29。在貫通孔部32之第2層31b中第2導引孔部34以外之部分形成的中間孔部35(收納孔部)，該中間孔部35的直徑小於第1導引孔部33且略大於管件4，且在與第1層31a之邊界附近(凸緣部14的可移動用之空間)如圖2所示地往X方向擴展。第1導引孔部33，與凸緣部14接合而限制接觸式探針100的鬆脫。第2導引孔部34，其直徑小於管件4，與接觸式探針100之一端卡合而限制管件4的鬆脫。

如圖1(A)、(B)、圖3(A)及圖4所示，在2個第1導引孔部33、33(相鄰之2個第1導引孔部33、33)間之壁部33a，設置作為連通部之狹縫33b，第1導引孔部33係分別以可任意滑動之方式支撐相鄰之2個第1柱塞1、1的前端側圓柱部19、19以使其等與1個電極凸塊5a接觸。狹縫33b，係較第1柱塞1之前端側圓柱部19的外徑更小之寬度K(圖3(A))，延伸於第1柱塞1的長邊方向(Z軸方向)遍及第1導引孔部33之全長。狹縫33b的寬度方向(X軸方向)之中心位置與前端側圓柱部19的同方向之中心位置宜相互一致。藉由狹縫33b使相鄰之2個第1導引孔部33相互地連通。

檢查治具30中，相鄰之接觸式探針100、100，前端側圓柱部19之側面中自軸方向觀察凸緣部14未往外側延伸的部分(圖3(C)中以符號19b、19c表示之部分以外的部分)彼此相對面。本實施形態中，相鄰之接 觸式探針100、100的連結間距P4，以下式表示(參考圖3(A)、圖4及圖5)。

P4=E3+(F×2)…式3

E3：假定為不具有狹縫33b之情況的2個第1導引孔部33、33之側面間距離

F：第1導引孔部33與前端側圓柱部19之側面的間隙

式3的E3，可縮至較絕緣支撐體31之製造技術上的最小壁厚E(式1及式2)更小，故本實施形態之連結間距P4，可較式1及式2所示之連結間距P1及P2更縮窄。然則，如圖6所示地在相鄰之前端側圓柱部19、19彼此最接近時仍必須使兩者不接觸(下述之P6具有正的值)。最接近時之間距P6如下式所示。

P6=P4-F2×2…式4

P4：一般時的連結間距(式3)

F2：位於第1導引孔部33之中心的前端側圓柱部19與相鄰之前端側圓柱部19最接近時的移動距離(圖5)

式4中的F2，係以下式求算(亦參考圖7)。

R1：前端側圓柱部19的半徑

R2：第1導引孔部33的半徑

K：狹縫33b的寬度

將式5的F2代入式4，則成為以下。亦即，K設定為P6>0。

※P4=(R2-R1)+E3+(R2-R1)

檢查治具30之製造流程如同下述。首先，於絶緣體形成複數個互不重疊的大徑貫通孔(與第1導引孔部33對應)，並在該2個大徑貫通孔之間形成與相鄰之2個大徑貫通孔雙方部分地重疊的小徑貫通孔(與狹縫33b對應)，而構成絕緣支撐體31之第1層31a。另一方面，如圖8所示，構成絕緣支撐體31之第2層31b。圖8中，主孔部311係收納圖1所示的第1柱塞1與第2柱塞2之基端側、螺旋彈簧3及管件4。與主孔部311相連接而存在於主孔部311的X方向兩側之既定深度的凸緣用穴部312、313，其直徑小於主孔部311，確保凸緣部14中自軸方向觀察由前端側圓柱部19之側面往外側延長的部分往Z方向移動之空間。加工順序為首先進行凸緣用穴部312、313的加工，其後將主孔部311進行加工。接著，將接觸式探針100分別插入於絕緣支撐體31之第2層31b的複數個貫通孔(複數個中間孔部35與導引孔部 34)，以各個接觸式探針100中自絕緣支撐體31之第2層31b突出的部分貫通各個第1導引孔部33的方式將絕緣支撐體31之第1層31a與第2層31b組合。

使用檢查治具30施行檢查之情況，將檢查治具30於檢查用基板6上定位載置，此一結果，螺旋彈簧3僅壓縮既定長度而第2柱塞2之前端側圓柱部29的接觸部29a與檢查用基板6之電極銲墊彈性接觸。在不具半導體積體電路等檢查對象物5的狀態，第1柱塞1往突出方向移動至凸緣部14受到第1導引孔部33限制為止，前端側圓柱部19的突出量成為最大。藉由使檢查對象物5對檢查治具30之絕緣支撐體31以既定間隔對向配置，前端側圓柱部19後退而進一步壓縮螺旋彈簧3，其結果，前端側圓柱部19與檢查對象物5之電極凸塊5a彈性接觸。在此一狀態實行對檢查對象物5的檢查。

依本實施形態，可達到下述效果。

(1)藉由在相鄰之2個第1導引孔部33之間的壁部33a設置狹縫33b的嶄新手段，與過去相較可將連結間距縮窄。

(2)相鄰之接觸式探針100，前端側圓柱部19之側面中的自軸方向觀察凸緣部14未往外側延伸之部分彼此相對面，故與習知的圓柱形之凸緣的情況比較可將連結間距縮窄。

(3)凸緣部14成為第1柱塞1的停止旋轉件，故可將相鄰之接觸式探針100其前端側圓柱部19的接觸部19a，保持為使山之頂點彼此成為最短距離的角度。此點亦有利於與過去相較將連結間距縮窄。

圖9為，自Z軸方向觀察本發明的第2實施形態之檢查治具所使用的絕緣支撐體31之第1層31a的圖。本實施形態之檢查治具，與第1實施形態之檢查治具比較，差異在於在絕緣支撐體31之第1層31a中狹縫33b之內面係為圓孔之側面的一部分，其他部分則一致。因為狹縫33b之內面為圓孔之側面的一部分，故與其他貫通孔同樣地狹縫33b的加工上亦可使用一般的通用鑽頭而為較佳態樣。

圖10為，本發明的第3實施形態之檢查治具的說明圖；(A)係待機狀態(彈簧緩解狀態)，(B)係四端子式量測狀態(彈簧壓縮狀態)，(C)係(B)之K-K’剖面圖。本實施形態之檢查治具，與第1實施形態之檢查治具比較，差異在於不具管件4，其他部分則一致。亦即，接觸式探針300之第1柱塞1的構成為：將圖1等所示之第1實施形態之基端側圓柱部11、第1小徑部12、第2小徑部13置換為直徑與管件4略同之基端側圓柱部411，並自基端側圓柱部411之基端側端面的中央部起使直徑小於基端側圓柱部411之棒狀部412往軸方向突出。基端側圓柱部411之基端側端面的邊緣部與螺旋彈簧3抵接。棒狀部412往螺旋彈簧3之內側延伸。接觸式探針300之第2柱塞2的構成為：將第1實施形態之基端側圓柱部21、小徑部22置換為直徑與管件4略同之基端側圓柱部421，並自基端側圓柱部421之基端側端面的中央部起使直徑小於基端側圓柱部421之棒狀部422往軸方向突出。基端側圓柱部421之基端側端面的 邊緣部與螺旋彈簧3抵接。棒狀部422往螺旋彈簧3之內側延伸。螺旋彈簧3，其直徑比第1前端側圓柱部19更小，對基端側圓柱部411、421之基端側端面給予分離方向的賦勢力。第1柱塞1、第2柱塞2及螺旋彈簧3構成接觸式探針300。複數支接觸式探針300的配置，與第1實施形態同即可。

圖11為，本發明的第4實施形態之檢查治具的說明圖；(A)係待機狀態(彈簧緩解狀態)，(B)係四端子式量測狀態(彈簧壓縮狀態)。本實施形態之檢查治具，與圖1等所示之第1實施形態之檢查治具比較，差異在於不具接觸式探針400的第1柱塞1之凸緣部14，其他部分則一致。此一情況，管件4之縮緊部401具有防止第1柱塞1之往上方的鬆脫之功能，與凸緣部14產生之防脫落功能比較，雖鬆脫防止力弱，但應用在例如不將檢查治具上下反轉使用的製品上則沒有問題。

圖12(A)為，本發明的第5實施形態之檢查治具中的第1柱塞1之前端周邊部放大圖。圖12(B)為，第1柱塞1之前端部側視圖。本實施形態之檢查治具，與圖1等所示的第1實施形態之檢查治具比較，差異在於第1柱塞1之前端側圓柱部19的接觸部29a的形狀與專利文獻1同樣地相對於軸方向成傾斜、且進一步在與此一傾斜相異的方向互相往反方向傾斜之2個面切斷而於切斷面之中央部設置稜線，其他部分則一致。

圖13為，本發明的第6實施形態之檢查治具的四端子式量測狀態(彈簧壓縮狀態)之正剖面圖。圖 14(A)為，圖13之A-A’箭視圖。圖14(B)為，圖13之B-B’剖面圖(省略螺旋彈簧)。

本實施形態之檢查治具，與圖1等所示的第1實施形態之檢查治具比較，將第1柱塞1之前端側圓柱部19改為剖面半圓形之前端側半圓柱部190，與其配合亦將導引孔部33的形狀自圓孔更改為剖面半圓形。將前端側半圓柱部190之前端相對於軸方向斜向地挖切。相鄰之前端側半圓柱部190，以圓弧側彼此互相面對，且斜向地挖切之傾斜面互相背向的方式配置。此外，狹縫33b不僅往絕緣支撐體31之第1層31a亦往第2層31b延伸(不僅往相鄰之第1導引孔部33間，亦往相鄰之中間孔部35間延伸)。

此外，第1柱塞1之基端側圓柱部11，其直徑與前端側半圓柱部190相同並自前端側半圓柱部190往基端側延伸，成為兼具管件4之形狀。亦即，自基端側圓柱部11之基端側端面涵蓋既定深度形成有穴部197，螺旋彈簧3與第2柱塞2之基端側圓柱部21位於穴部197內。穴部197，其開口側例如藉由斂縫(caulking)加工而直徑縮小，亦即將第1柱塞1之基端側圓柱部11的基端斂縫而形成斂縫部11d，防止第2柱塞2之基端側圓柱部21的鬆脫。導引孔部34，其直徑更小於第1柱塞1之基端側圓柱部11，且更大於第2柱塞2之前端側圓柱部29。螺旋彈簧3，設置於第2柱塞2之基端側圓柱部21的端面與穴部197的底面之間，對各端面給予分離方向的賦勢力。第1柱塞1、第2柱塞及螺旋彈簧3構成接觸式探針500。

圖13顯示，將本實施形態之檢查治具設置於檢查用基板6(端子為未圖示)上的狀態。使檢查用基板6抵接於絕緣支撐體31之第2層31b底面，則第1柱塞1之基端側圓柱部11往上方的移動在抵接於第1層31a處受到阻止，壓縮螺旋彈簧3，藉此，使第2柱塞2與檢查用基板6之端子(未圖示)彈性接觸，對第1柱塞1朝向絕緣支撐體31之外側(上方)賦予勢能。

本實施形態中，藉由使絕緣支撐體31之第1層31a的導引孔部33與前端側半圓柱部190的剖面形狀配合而呈半圓形，可防止第1柱塞1旋轉，並可防止第1柱塞1自絕緣支撐體31之第2層31b鬆脫。

以上，雖以實施形態為例對本發明加以說明，但所屬技術領域中具有通常知識者，理解於申請專利範圍所記載之範圍可對實施形態之各構成要素與各處理過程進行各種變形。以下提及關於變形例之內容。

四端子式量測用之一組接觸式探針，可不為同一形狀，例如使電流供給用之接觸式探針的直徑較電壓監視用之接觸式探針更大亦可。

接觸式探針及插座之用途不限於四端子式量測，亦可電極凸塊5a存在與接觸式探針相同之數目。

1‧‧‧第1柱塞

2‧‧‧第2柱塞

3‧‧‧螺旋彈簧

4‧‧‧管件

5‧‧‧檢查對象物

5a‧‧‧電極凸塊

6‧‧‧檢查用基板

11、21‧‧‧基端側圓柱部

12‧‧‧第1小徑部

13‧‧‧第2小徑部

14‧‧‧凸緣部

17‧‧‧第3小徑部

19、29‧‧‧前端側圓柱部

19a、29a‧‧‧接觸部

22‧‧‧小徑部

30‧‧‧檢查治具

31‧‧‧絕緣支撐體

31a‧‧‧第1層

31b‧‧‧第2層

32‧‧‧貫通孔部

33‧‧‧第1導引孔部

33a‧‧‧壁部

33b‧‧‧狹縫

34‧‧‧第2導引孔部

35‧‧‧中間孔部

100‧‧‧接觸式探針

Claims (4)

1. 一種檢查治具，具備複數支接觸式探針、以及將該複數支接觸式探針串聯地支撐之絕緣支撐體；各個接觸式探針，具有：第1及第2柱塞，一方為與檢查對象物連接用而另一方為與檢查用基板連接用；以及彈簧，將該第1及第2柱塞往互相分離的方向賦予勢能；該絕緣支撐體，具有該複數支接觸式探針分別往內側延伸之複數個貫通孔部；各個貫通孔部，包含將各個接觸式探針的第1柱塞之前端部以任意滑動的方式導引之導引孔部；於相鄰之既定的2個導引孔部間之壁部，以較該第1柱塞之該前端部的外徑更小之寬度設置往該第1柱塞的長度方向延伸之連結部，將該2個導引孔部相互連通，該2個導引孔部在互不重疊的範圍接近。
2. 如申請專利範圍第1項之檢查治具，其中，該連結部之內面為圓孔之側面的一部分。
3. 如申請專利範圍第1或2項之檢查治具，其中，該絕緣支撐體，係將形成有該導引孔部之第1絕緣支撐體、以及形成有在各個導引孔部自軸方向連通而收納各個接觸式探針之一部分的收納孔部之第2絕緣支撐體加以組合而成。
4. 一種檢查治具之製造方法，包含如下步驟：於絕緣體形成複數個互不重疊的將接觸式探針的前端部以任意滑動的方式導引之成為導引孔部的大徑貫通孔，並在該2個大徑貫通孔之間形成與相鄰之既定的2個大 徑貫通孔雙方部分重疊的小徑貫通孔，而構成第1絕緣支撐體之步驟；將該接觸式探針插入第2絕緣支撐體之複數個貫通孔的每一個的步驟；以及，以使各個接觸式探針中之自該第2絕緣支撐體突出的部分貫通各個大徑貫通孔之方式，將該第1絕緣支撐體組裝在該第2絕緣支撐體之步驟。