KR20190001939A

KR20190001939A - 컨택트 프로브 및 검사 지그

Info

Publication number: KR20190001939A
Application number: KR1020180073844A
Authority: KR
Inventors: 츠기오 야마모토
Original assignee: 가부시키가이샤 요코오
Priority date: 2017-06-28
Filing date: 2018-06-27
Publication date: 2019-01-07
Also published as: KR102498454B1; TW201905466A; CN109143024A; TWI796338B; JP7021874B2; US10585117B2; US20190004090A1; CN109143024B; JP2019007925A

Abstract

컨택트 프로브는, 도전성의 제1 플런저와, 도전성의 제2 플런저와, 제1 플런저의 외측에 배치되어 제1 플런저 및 제2 플런저를 서로 이격되는 방향으로 압박하는 도전성의 코일 스프링을 구비한다. 제1 플런저와 제2 플런저는, 서로 슬라이딩 가능하게 감합된다. 제1 플런저는, 대직경부와, 대직경부의 기단측에 설치되는 소직경부를 가진다. 소직경부는 제2 플런저에 끼워진다. 코일 스프링은, 제2 플런저측에 조밀 감김부를 가진다. 적어도 코일 스프링의 압축 상태에서는, 조밀 감김부의 인접하는 선끼리 서로 밀착하고 전기적으로 접촉하여, 통형상 도체부를 구성한다.

Description

컨택트 프로브 및 검사 지그{CONTACT PROBE AND INSPECTION JIG}

본 발명은, 반도체 집적 회로 등의 검사 대상물을 검사하는 컨택트 프로브 및 이것을 구비하는 검사 지그에 관한 것이다. 본 발명은, 특히 대전류를 통전 시킬 수 있는 컨택트 프로브 및 검사 지그에 관한 것이다.

튜브의 양단부에 플런저를 설치하고, 튜브 내에 코일 스프링이 배치되는 내스프링형의 컨택트 프로브와, 서로 슬라이딩 가능하게 감합되는 플런저의 외측에 코일 스프링이 배치되는 외스프링형의 컨택트 프로브가 있다.

외스프링형의 컨택트 프로브는, 코일 스프링의 선직경을 굵게 하는 데 유리하다. 일반적으로, 대전류 용도에는 외스프링형의 컨택트 프로브가 채용된다.

도 8의 (A), (B), (C) 내지 도 10에서 종래예의 외스프링형의 컨택트 프로브 및 이것을 구비하는 검사 지그를 설명한다. 검사 지그(1B)는, 컨택트 프로브(10B)와, 컨택트 프로브(10B)를 관통 상태로 유지하는 절연 수지제의 소켓(5)을 구비한다. 소켓(5)에 지지되는 컨택트 프로브(10B)의 수는, 도시예에서는 하나이지만, 복수이어도 좋다. 소켓(5)에서는, 제1 절연 지지체(6), 제2 절연 지지체(7) 및 제3 절연 지지체(8)가, 조합되어 나사 고정 등에 의해 서로 일체화되어 있다. 제1 절연 지지체(6)의 소직경 구멍부(6a) 및 대직경 구멍부(6b)와, 제2 및 제3 절연 지지체(7, 8)의 구멍부(7a, 8a)가, 컨택트 프로브(10B)를 유지하는 관통 구멍을 구성한다. 구멍부(7a, 8a)의 내경은, 대직경 구멍부(6b)의 내경과 동일하다.

컨택트 프로브(10B)는, 서로 접촉 상태에서 슬라이딩 가능하게 감합되는 제1 플런저(20) 및 제2 플런저(30)와, 제1 플런저(20)의 외측에 배치되어 제1 및 제2 플런저(20, 30)를 서로 이격되는 방향으로 압박하는 코일 스프링(60)을 가진다. 제1 플런저(20)는, 도 8의 (B), (C)에 나타내는 검사 대상물(70)과의 접속 부품이다. 또한, 제2 플런저(30)는, 도 8의 (B), (C)에 나타내는 검사용 기판(80)과의 접속 부품이다. 제1 플런저(20) 및 제2 플런저(30)는, 모두 구리 또는 구리 합금 등의 도전성 금속체로 이루어진다. 코일 스프링(60)은, 예컨대 피아노선이나 스테인레스선 등의 일반적인 도체 금속 재질로 형성된다. 코일 스프링(60)은, 제1 플런저(20) 및 제2 플런저(30)를 서로 멀어지는 방향으로 압박하여, 제1 플런저(20) 및 제2 플런저(30)에 대하여 검사 대상물(70) 및 검사용 기판(80)과의 접촉력을 부여한다. 검사 대상물(70)은, 예컨대 전극이 소정 간격으로 배열되는 반도체 집적 회로이다. 검사 대상물(70)에서는, 도시의 경우, 전극 패드(71)가 소정 간격으로 배열되어 있다. 검사용 기판(80)은, 도시하지 않은 측정기쪽에 접속되는 전극 패드(81)를 소정 간격으로 가진다.

제1 플런저(20)는, 선단측(검사 대상물(70)로 향하는 쪽을 선단측으로 함)으로부터 순서대로, 선단측 막대형부로서의 선단측 원기둥부(21), 빠짐 방지용의 대직경부로서의 플랜지부(22), 대직경부(23), 테이퍼부(24), 소직경부(25), 및, 소직경부(25)보다 대직경의 기단측 원기둥부(26)를 가진다. 선단측 원기둥부(21)는, 제1 절연 지지체(6)의 소직경 구멍부(6a)를 관통하여, 제1 절연 지지체(6)의 표면으로부터 돌출된다. 선단측 원기둥부(21)는, 선단에 테이퍼형(원추형)으로 끝이 뾰족한 형상으로 된 접촉부(21a)를 가진다. 플랜지부(22)는, 선단측 원기둥부(21)보다 대직경이다. 플랜지부(22)는, 제1 절연 지지체(6)의 대직경 구멍부(6b)의 내측에 수용된다. 플랜지부(22)의 외경은, 소직경 구멍부(6a)의 내경보다 대직경이다. 이 때문에, 플랜지부(22)가 소직경 구멍부(6a)와 대직경 구멍부(6b)의 경계가 되는 단차면과 결합함으로써, 제1 플런저(20)의 제1 절연 지지체(6)로부터의 빠짐이 방지된다. 플랜지부(22)는, 제1 플런저(20)의 길이 방향과 수직인 단면이 원형이다. 플랜지부(22)의 외경은, 대직경 구멍부(6b)의 내경보다 약간 작다. 플랜지부(22)보다 기단측에, 제2 플런저(30)를 향해, 대직경부(23), 테이퍼부(24), 소직경부(25) 및 기단측 원기둥부(26)가 형성된다. 기단측 원기둥부(26)가, 제2 플런저(30)의 튜브형부(바닥이 있는 원통형부)(32)의 내측에 항상 슬라이딩 가능하게 끼워져 있다. 도 8의 (A)와 같이, 소직경부(25)는, 코일 스프링(60)의 비압축 상태에서는, 일부만이 튜브형부(32)의 내측에 끼워진다. 도 8의 (C)의 코일 스프링(60)의 압축 상태에서는, 소직경부(25) 대부분이 튜브형부(32)의 내측에 끼워진다.

제2 플런저(30)는, 검사용 기판(80)으로 향하는 방향을 선단측으로 했을 때, 선단측으로부터 순서대로, 선단측 원기둥부(31) 및 기단측의 튜브형부(32)를 가진다. 제2 플런저(30)는, 제1 절연 지지체(6)의 대직경 구멍부(6b) 및 제2 및 제3 절연 지지체(7, 8)의 구멍부(7a, 8a) 내를 슬라이딩 가능하게 이동 가능하다. 제2 플런저(30)는, 구멍부(7a, 8a)를 관통하여 제3 절연 지지체(8)의 표면으로부터 돌출된다. 선단측 원기둥부(31)의 선단은, 테이퍼형(원추형)으로 끝이 뾰족한 형상으로 된 접촉부(31a)로 이루어진다. 제1 플런저(20)의 기단측 원기둥부(26)를 튜브형부(32)에 끼워 넣은 상태로, 튜브형부(32)의 기단측에, 드로잉 가공에 의해 소직경부(32a)가 형성된다. 튜브형부(32)의 내측을 슬라이딩하는 제1 플런저(20)의 기단측 원기둥부(26)는, 튜브형부(32)의 소직경부(32a)의 내경보다 직경이 크다. 이 때문에, 기단측 원기둥부(26)가 소직경부(32a)와 결합함으로써, 제1 플런저(20)의 튜브형부(32)로부터의 빠짐이 방지된다. 제1 플런저(20)로부터 제2 플런저(30)가 빠지지 않는다.

코일 스프링(60)은, 제1 플런저(20)의 외측이자 제1 절연 지지체(6)의 대직경 구멍부(6b)의 내측에서, 제1 플런저(20)의 플랜지부(22)와, 제2 플런저(30)의 기단측 단부면(튜브형부(32)의 기단측 단부면) 사이에 배치된다. 코일 스프링(60)은 전체적으로 선 사이에 간극이 있는 성긴 감김(粗卷)으로 이루어진다.

도 8의 (A)의 초기 상태에서는, 제1 플런저(20) 및 제2 플런저(30) 모두 소켓(5)으로부터 돌출된다. 도 8의 (B)의 셋팅 상태와 같이 소켓(5)을 검사용 기판(80) 상에 설치하면, 제2 플런저(30) 선단의 접촉부(31a)가, 검사용 기판(80)의 전극 패드(81)에 접촉한다. 이 상태로부터 도 8의 (C)의 검사 상태와 같이 검사 대상물(70)의 전극 패드(71)를 제1 플런저(20) 선단의 접촉부(21a)에 대고 누르면, 코일 스프링(60)이 압축된다. 그 결과, 컨택트 프로브(10B)는, 충분한 접촉압으로 검사 대상물(70)의 전극 패드(71)와 검사용 기판(80)의 전극 패드(81)에 접촉한다. 이에 따라, 전극 패드(71)와 전극 패드(81)가 전기적으로 접속되어, 전극 패드(71)와 전극 패드(81) 사이에 전류를 흘리는 것이 가능해진다.

종래예의 컨택트 프로브(10B)에서는, 도 8의 (C)의 검사 상태에서, 전류통로의 단면적이 작아지는 부분이 존재한다. 즉, 도 8의 (C)의 IX-IX 단면에서의 전류통로를 나타내는 설명도인 도 9에서는, 제1 플런저(20)의 대직경부(23)의 단면적 및 코일 스프링(60)의 선재 단면적의 총합이 통전에 기여할 수 있다. 한편, 도 8의 (C)의 X-X 단면에서의 전류통로를 나타내는 설명도인 도 10에서는, 코일 스프링(60)의 선재 단면적은 변화하지 않지만, 제1 플런저(20)의 소직경부(25) 근처의 테이퍼부(24)의 단면적은 대직경부(23)에 비교해서 상당히 작아져 버린다. 이 때문에, 컨택트 프로브(10B)에 통전 시킬 수 있는 전류 최대치는 도 10의 전류통로의 단면적으로 제약된다. 특히 도 10의 단면 부근에서는 코일 스프링(60)의 발열이 커져, 코일 스프링(60)이 녹아 버리는 일이 발생한다.

도 4의 실선 J는 종래예의 컨택트 프로브(10B)의 통전 전류[A]와, 스프링력의 저하 비율[%]의 관계를 나타낸다. 0.4 A에서 스프링력이 20% 저하되고, 1 A에서는 40% 이상 저하되었다.

측정 조건은 이하와 같다.

제1 플런저(20)의 대직경부(23)의 직경 : 0.053 mm

제1 플런저(20)의 소직경부(25)의 직경 : 0.033 mm

제2 플런저(30)의 튜브형부(32)의 두께 : 0.025 mm

코일 스프링(60)의 외경 : 0.106 mm

코일 스프링(60)의 내경 : 0.066 mm

코일 스프링(60)의 선직경 : 0.02 mm

최근, 대전류 용도의 컨택트 프로브에서도 소직경화가 요구되고 있어, 코일 스프링의 선직경을 크게 할 수 없는 제약이 있다. 이 때문에, 대전류의 통전에 의해 코일 스프링의 용융 단절이 발생하는 문제가 생겼다.

일본 특허 공개 제2010-151732는, 외스프링형의 프로브 핀의 일례를 나타낸다. 튜브 형상의 외측에 코일 스프링를 배치하고 있기 때문에, 프로브 핀의 소직경화에는 적합하지 않다.

실시예는, 외경을 증가시키지 않고 큰 전류를 흘릴 수 있는 컨택트 프로브 및 검사 지그에 관한 것이다.

실시예에 의하면, 컨택트 프로브는, 도전성의 제1 플런저와, 도전성의 제2 플런저와, 제1 플런저의 외측에 배치되어 제1 플런저 및 제2 플런저를 서로 이격되는 방향으로 압박하는 도전성의 코일 스프링을 구비한다. 제1 플런저(20)와 제2 플런저(30)는 서로 슬라이딩 가능하게 감합된다. 제1 플런저는, 대직경부와, 대직경부의 기단측에 설치되는 소직경부를 가진다. 소직경부는 제2 플런저에 끼워진다. 코일 스프링은 제2 플런저측에 조밀 감김(密卷)부를 가진다. 적어도 코일 스프링의 압축 상태에서는, 조밀 감김부의 인접하는 선끼리 서로 밀착하고 전기적으로 접촉하여, 통형상 도체부를 구성한다.

도 1의 (A)는, 실시형태 1의 컨택트 프로브 및 검사 지그의 초기 상태를 나타내는 측단면도이다.
도 1의 (B)는, 실시형태 1의 컨택트 프로브 및 검사 지그의 셋팅 상태(검사용 기판에 설치한 상태)를 나타내는 측단면도이다.
도 1의 (C)는, 실시형태 1의 컨택트 프로브 및 검사 지그의 검사 상태를 나타내는 측단면도이다.
도 2는, 도 1의 (C)의 II-II 단면 위치에서의 전류통로를 나타내는 설명도.
도 3은, 도 1의 (C)의 III-III 단면 위치에서의 전류통로를 나타내는 설명도.
도 4는, 실시형태 1과 종래예의 경우의 컨택트 프로브의 통전 전류[A]와, 스프링력의 저하 비율[%]의 관계를 나타내는 그래프.
도 5의 (A)는, 실시형태 2의 컨택트 프로브 및 검사 지그의 초기 상태를 나타내는 측단면도.
도 5의 (B)는, 실시형태 2의 컨택트 프로브 및 검사 지그의 셋팅 상태(검사용 기판에 설치한 상태)를 나타내는 측단면도.
도 5의 (C)는, 실시형태 2의 컨택트 프로브 및 검사 지그의 검사 상태를 나타내는 측단면도.
도 6은, 도 5의 (C)의 VI-VI 단면 위치에서의 전류통로를 나타내는 설명도.
도 7은, 도 5의 (C)의 VII-VII 단면 위치에서의 전류통로를 나타내는 설명도.
도 8의 (A)는, 종래예의 컨택트 프로브 및 검사 지그의 초기 상태를 나타내는 측단면도.
도 8의 (B)는, 종래예의 컨택트 프로브 및 검사 지그의 셋팅 상태(검사용 기판에 설치한 상태)를 나타내는 측단면도.
도 8의 (C)는, 종래예의 컨택트 프로브 및 검사 지그의 검사 상태를 나타내는 측단면도.
도 9는, 도 8의 (C)의 IX-IX 단면 위치에서의 전류통로를 나타내는 설명도.
도 10은, 도 8의 (C)의 X-X 단면 위치에서의 전류통로를 나타내는 설명도.

이하, 도면을 참조하면서 실시형태를 상세히 설명한다. 또, 각 도면에 도시되는 동일 또는 동등한 구성 요소, 부재, 처리 등에는 동일한 부호를 붙이고, 적절하게 중복 설명은 생략한다. 또한, 실시형태는 발명을 한정하는 것이 아니라 예시이며, 실시형태에 기술되는 모든 특징이나 그 조합은 꼭 발명의 본질적인 것은 아니다.

<실시형태 1>

도 1의 (A) 내지 도 1의 (C)는, 실시형태 1의 컨택트 프로브 및 검사 지그를 나타내는 측단면도이다. 도 1의 (A)는 초기 상태, 도 1의 (B)는 셋팅 상태(검사용 기판에 설치한 상태), 도 1의 (C)는 검사 상태를 각각 나타낸다. 도 2는, 도 1의 (C)의 II-II 단면 위치에서의 전류통로를 나타내는 설명도이다. 도 3은, 도 1의 (C)의 III-III 단면 위치에서의 전류통로를 나타내는 설명도이다. 검사 지그(1)는, 컨택트 프로브(10)와, 컨택트 프로브(10)를 관통 상태로 유지하는 절연 수지제의 소켓(5)을 구비한다. 소켓(5)에 지지되는 컨택트 프로브(10)의 수는, 도시예에서는 하나이지만, 복수이어도 좋다.

컨택트 프로브(10)는, 서로 접촉 상태에서 슬라이딩 가능하게 감합되는 제1 플런저(20) 및 제2 플런저(30)와, 제1 플런저(20)의 외측에 배치되어 제1 및 제2 플런저(20, 30)를 서로 이격되는 방향으로 압박하는 코일 스프링(40)을 가진다.

코일 스프링(40)은, 성긴 감김부(41) 및 조밀 감김부(42)를 가진다. 성긴 감김부(41)의 제2 플런저(30)측에 조밀 감김부(42)가 형성된다. 조밀 감김부(42)의 인접하는 선끼리 서로 밀착하고 전기적으로 접촉하여 통형상 도체부를 구성한다. 코일 스프링(40)으로는 피아노선이나 스테인레스선 등의 일반적인 도체 금속 선재를 이용한다. 조밀 감김부(42)의 인접하는 선끼리의 전기적 접촉을 확실하게 하기 위해, 코일 스프링(40)에 Au 등의 금속 도금층을 형성하는 것이 바람직하다. 코일 스프링(40)의 조밀 감김부(42)의 가공후에 Au 등의 금속 도금층을 형성해도 좋고, 미리 Au 등의 금속 도금층을 형성한 선을 조밀 감김부(42)를 갖는 코일 스프링(40)으로서 가공해도 좋다.

코일 스프링(40)은, 제1 플런저(20)의 외측이자 제1 절연 지지체(6)의 대직경 구멍부(6b)의 내측에서, 제1 플런저(20)의 플랜지부(22)와, 제2 플런저(30)의 기단측 단부면(튜브형부(32)의 기단측 단부면) 사이에 배치된다. 코일 스프링(40)에 압축력이 가해지면, 코일 스프링(40)이 휘어서 통형상 도체부를 구성하고 있는 조밀 감김부(42)의 내주가 제1 플런저(20)의 대직경부(23)의 외주에 전기적으로 접촉한다. 이것을 확실하게 하기 위해(보다 적극적으로 휘게 하기 위해), 코일 스프링(40)의 제2 플런저(30)에 접촉하는 쪽의 단부면을 경사지게 했다.

코일 스프링(40) 이외의 구성은 도 8의 (A), (B), (C)의 종래예와 동일하기 때문에 설명을 생략한다.

실시형태 1의 구성에 있어서, 도 1의 (A)의 초기 상태에서는, 제1 플런저(20) 및 제2 플런저(30)가 소켓(5)으로부터 돌출된다. 도 1의 (B)의 셋팅 상태와 같이 소켓(5)을 검사용 기판(80) 상에 설치하면, 제2 플런저(30) 선단의 접촉부(31a)가 검사용 기판(80)의 전극 패드(81)에 접촉한다. 셋팅 상태에서는, 제1 플런저(20)의 테이퍼부(24)가, 코일 스프링(40)의 조밀 감김부(42) 내에 들어간 상태로 되어, 다음 단계의 검사 상태로 이행하기 위한 제1 플런저(20)의 조밀 감김부(42) 내로의 삽입을 원활하게 행할 수 있도록 한다. 셋팅 상태로부터 도 1의 (C)의 검사 상태와 같이 검사 대상물(70)의 전극 패드(71)를 제1 플런저(20) 선단의 접촉부(21a)에 대고 누르면, 코일 스프링(40)이 압축된다. 이 때문에, 컨택트 프로브(10)는, 충분한 접촉압으로 검사 대상물(70)의 전극 패드(71)와 검사용 기판(80)의 전극 패드(81)에 접촉한다. 그 결과, 컨택트 프로브(10)는, 전극 패드(71)와 전극 패드(81)를 전기적으로 접속하여, 전극 패드(71)와 전극 패드(81) 사이에 전류를 흘리는 것이 가능해진다. 도 1의 (C)의 검사 상태에서는, 코일 스프링(40)에 있어서, 통형상 도체부를 구성하는 조밀 감김부(42)의 성긴 감김부(41)에 가까운 쪽이, 제1 플런저(20)의 대직경부(23)에 전기적으로 접촉한다.

종래예의 컨택트 프로브(10B)에서는, 검사 상태에 있어서, 전류통로의 단면적이 작아지는 부분이 존재하여 통전 전류에 제약을 받았다. 한편, 실시형태 1의 컨택트 프로브(10)의 경우에는, 전류통로의 단면적의 변화가 작아졌다. 즉, 도 1의 (C)의 II-II 단면 위치에서의 전류통로를 나타내는 설명도인 도 2에서는, 제1 플런저(20)의 대직경부(23)의 단면적 및 코일 스프링(40)의 선재 단면적의 총합이 통전에 기여할 수 있고, 충분히 큰 전류에 견딜 수 있다. 또한, 도 1의 (C)의 III-III 단면 위치에서의 전류통로를 나타내는 설명도인 도 3에서는, 코일 스프링(40)의 조밀 감김부(42)(인접하는 선끼리 서로 밀착하여 전기적으로 접촉하고 있음)가 통형상 도체부로 이루어지고, 제1 플런저(20)의 소직경부(25) 근처의 테이퍼부(24)의 단면적이 작은 것을 보충하도록 단면적이 큰 전류 경로를 구성한다. 따라서, 필요한 전류 범위에서 코일 스프링(40)의 용융 단절은 발생하지 않고, 컨택트 프로브(10)에 통전 시킬 수 있는 전류 최대치는, 종래예의 컨택트 프로브(10B)보다 크게 할 수 있다.

도 4의 실선 K는 실시형태 1의 컨택트 프로브(10)의 통전 전류[A]와, 스프링력의 저하 비율[%]의 관계를 나타낸다. 1.3 A 정도라도 스프링력의 저하는 매우 작고(20% 미만), 대전류 용도에 충분히 대응할 수 있는 성능이다.

측정 조건은 이하와 같다(조밀 감김부(42)가 있는 점을 제외하고 종래예와 동일).

제1 플런저(20)의 대직경부(23)의 직경 : 0.053 mm

제1 플런저(20)의 소직경부(25)의 직경 : 0.033 mm

제2 플런저(30)의 튜브형부(32)의 두께 : 0.025 mm

코일 스프링(40)의 외경 : 0.106 mm

코일 스프링(40)의 내경 : 0.066 mm

코일 스프링(40)의 선직경 : 0.02 mm

실시형태 1에 의하면, 컨택트 프로브(10) 및 이것을 구비하는 검사 지그(1)에 있어서, 코일 스프링(40)이, 제2 플런저(30)에 접촉하는 쪽의 선끼리 밀착하여 전기적으로 접촉하는 조밀 감김부(42)(즉 통형상 도체부)를 가진다. 조밀 감김부(42)가, 제1 플런저(20)의 축부분이 되는 대직경부(23)에 직접 접촉한다. 이 때문에, 전류통로의 단면적을 확대하여 종래품보다 큰 전류를 흘리는 것이 가능해진다.

코일 스프링(40)의 제2 플런저(30)에 접촉하는 쪽의 단부면이 경사져 있다. 이 때문에, 압축력으로 코일 스프링(40)이 휘었을 때, 조밀 감김부(42)의 내주가 제1 플런저(20)의 대직경부(23)의 외주에 한층 더 확실하게 전기적으로 접촉한다.

코일 스프링(40)의 소재로서, 피아노선이나 스테인레스선 등의 일반적인 도체 금속 선재를 이용한다. 코일 스프링(40)에 Au 등의 금속 도금층이 형성된다. 이 때문에, 조밀 감김부(42)의 인접하는 선끼리의 전기적 접촉을 한층 더 확실하게 할 수 있다.

<실시형태 2>

도 5의 (A) 내지 도 5의 (C)는, 실시형태 2의 컨택트 프로브 및 검사 지그의 측단면도이다. 도 5의 (A)는 초기 상태, 도 5의 (B)는 셋팅 상태(검사용 기판에 설치한 상태), 도 5의 (C)는 검사 상태를 각각 나타낸다. 도 6은 도 5의 (C)의 VI-VI 단면 위치에서의 전류통로를 나타내는 설명도이다. 도 7은 도 5의 (C)의 VII-VII 단면 위치에서의 전류통로를 나타내는 설명도이다. 검사 지그(1A)는, 컨택트 프로브(10A)와, 컨택트 프로브(10A)를 관통 상태로 유지하는 절연 수지제의 소켓(5)을 구비한다. 소켓(5)에 지지되는 컨택트 프로브(10A)의 수는, 도시예에서는 하나이지만, 복수이어도 좋다.

컨택트 프로브(10A)는, 서로 접촉 상태에서 슬라이딩 가능하게 감합되는 제1 플런저(20) 및 제2 플런저(30)와, 제1 플런저(20)의 외측에 배치되어 제1 및 제2 플런저(20, 30)를 서로 이격되는 방향으로 압박하는 코일 스프링(50)을 가진다. 실시형태 2에서의 컨택트 프로브(10A)와 실시형태 1에 나타낸 컨택트 프로브(10)의 상이점은 코일 스프링의 구조에 있기 때문에, 코일 스프링(50)에 관해 설명한다.

코일 스프링(50)은, 성긴 감김부(51) 및 조밀 감김부(52)를 가진다. 성긴 감김부(51)의 제2 플런저(30)측에 조밀 감김부(52)가 형성된다. 조밀 감김부(52)에 있어서, 도 5의 (A)의 초기 상태에서는, 조밀 감김부(52)의 인접하는 선 사이에 미세한 간극이 존재하고 있지만(확대 부분 참조), 도 5의 (C)의 검사 상태에 이르는 과정에서는, 코일 스프링(50)이 압축됨으로써, 조밀 감김부(52)의 인접하는 선 사이가 서로 밀착하고 전기적으로 접촉하여 통형상 도체부가 구성된다. 따라서, 실제로 통전하는 검사 상태에서는 코일 스프링(50)은 실시형태 1의 코일 스프링(40)과 동일하게 기능한다. 코일 스프링(50)의 소재로는 피아노선이나 스테인레스선 등의 일반적인 도체 금속 선재를 이용한다. 조밀 감김부(52)의 인접하는 선끼리의 전기적 접촉을 확실하게 하기 위해, 코일 스프링(50)에 Au 등의 금속 도금층을 형성하는 것이 바람직하다.

실시형태 2에서 이용하는 코일 스프링(50)의 경우, 압축된 검사 상태에서 조밀 감김부(52)의 인접하는 선 사이가 서로 밀착하여 통형상 도체부를 구성하면 된다. 이 때문에, 코일 스프링(50)의 제조가 용이하다. 그 밖의 구성 및 작용 효과는 실시형태 1과 동일하다.

이상, 실시형태를 예로 본 발명을 설명했지만, 실시형태의 각 구성 요소나 각 처리프로세스에는 여러가지 변형이 가능한 것은 당업자에게 이해되는 바이다. 이하, 변형예에 관해 설명한다.

검사 대상물에 따라서, 컨택트 프로브의 제1 및 제2 플런저의 선단 형상은 변경 가능하다.

실시예에 의하면, 컨택트 프로브(10, 10A)는, 도전성의 제1 플런저(20)와, 도전성의 제2 플런저(30)와, 제1 플런저(20)의 외측에 배치되어 제1 플런저(20) 및 제2 플런저(30)를 서로 이격되는 방향으로 압박하는 도전성의 코일 스프링(40, 50)을 구비한다. 제1 플런저(20)와 제2 플런저(30)는, 서로 슬라이딩 가능하게 감합된다. 제1 플런저(20)는, 대직경부(23)와, 대직경부(23)의 기단측에 설치되는 소직경부(25)를 가진다. 소직경부(25)는 제2 플런저(30)에 끼워진다. 코일 스프링(40, 50)은 제2 플런저(30)측에 조밀 감김부(42, 52)를 가진다. 적어도 코일 스프링(40, 50)의 압축 상태에서는, 조밀 감김부(42, 52)의 인접하는 선끼리 서로 밀착하고 전기적으로 접촉하여, 통형상 도체부를 구성한다.

코일 스프링(40, 50)은, 조밀 감김부의 인접하는 선끼리 전기적으로 접촉시키는 금속 도금층을 가져도 좋다. 조밀 감김부(42, 52)가 통형상 도체부를 구성해도 좋다.

코일 스프링(40, 50)의 압축 상태에서는, 통형상 도체부가 제1 플런저의 대직경부(23)에 전기적으로 접촉해도 좋다.

코일 스프링(40, 50)의 제2 플런저(30)에 접촉하는 쪽의 단부면이 경사져도 좋다.

실시예에 의하면, 검사 지그(1, 1A)는, 상기 컨택트 프로브(10, 10A)와, 컨택트 프로브를 관통 상태로 유지하는 절연 수지제의 소켓(5)을 구비한다.

또, 이상의 구성 요소의 임의의 조합, 본 발명의 표현을 방법이나 시스템 등의 사이에서 변환한 것도 또한 본 발명의 양태로서 유효하다.

실시예에 의하면, 코일 스프링에 조밀 감김부를 형성함으로써, 적어도 검사 상태에 있어서 상기 조밀 감김부의 인접하는 선끼리 서로 밀착하고 전기적으로 접촉하여 통형상 도체부를 구성할 수 있고, 상기 통형상 도체부를 전류통로로서 이용함으로써, 컨택트 프로브의 외경을 증가시키지 않고 종래품보다 큰 전류를 흘릴 수 있다.

1, 1A, 1B : 검사 지그 5 : 소켓
10, 10A, 10B : 컨택트 프로브 20 : 제1 플런저
23 : 대직경부 25 : 소직경부
30 : 제2 플런저 40, 50, 60 : 코일 스프링
41, 51 : 성긴 감김부 42, 52 : 조밀 감김부
70 : 검사 대상물 71, 81 : 전극 패드
80 : 검사용 기판

Claims

컨택트 프로브로서,
도전성의 제1 플런저와,
도전성의 제2 플런저와,
상기 제1 플런저의 외측에 배치되어 상기 제1 플런저 및 제2 플런저를 서로 이격되는 방향으로 압박하는 도전성의 코일 스프링
을 구비하고,
상기 제1 플런저와 상기 제2 플런저는, 서로 슬라이딩 가능하게 감합되고,
상기 제1 플런저는, 대직경부와, 상기 대직경부의 기단측에 설치되는 소직경부를 가지며,
상기 소직경부는, 상기 제2 플런저에 끼워지고,
상기 코일 스프링은, 상기 제2 플런저측에 조밀 감김부를 가지며,
적어도 상기 코일 스프링의 압축 상태에서는, 상기 조밀 감김부의 인접하는 선끼리 서로 밀착하고 전기적으로 접촉하여, 통형상 도체부를 구성하는 것인, 컨택트 프로브.
제 1항에 있어서,
상기 코일 스프링은, 상기 조밀 감김부의 인접하는 선끼리 전기적으로 접촉시키는 금속 도금층을 가지며,
상기 조밀 감김부가 통형상 도체부를 구성하는 것인, 컨택트 프로브.
제 1항 또는 제 2항에 있어서,
상기 코일 스프링의 압축 상태에서는, 상기 통형상 도체부가, 상기 제1 플런저의 상기 대직경부에 전기적으로 접촉하는 것인, 컨택트 프로브.
제 1항 또는 제 2항에 있어서,
상기 코일 스프링의 상기 제2 플런저에 접촉하는 측의 단부면이 경사져 있는 것인, 컨택트 프로브.
검사 지그로서,
제 1항 또는 제 2항에 기재된 컨택트 프로브와,
상기 컨택트 프로브를 관통 상태로 유지하는 절연 수지제의 소켓을 구비하는 것인, 검사 지그.