TWI796338B - 接觸探針及檢查輔助具 - Google Patents

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Abstract

接觸探針係具備有：導電性的第一柱塞、導電性的第二柱塞、以及配置於第一柱塞的外側且朝將第一柱塞及第二柱塞相互離間的方向彈推的導電性的線圈彈簧。第一柱塞與第二柱塞係相互滑動自如地嵌合。第一柱塞係具有：大徑部、以及設置於大徑部的基端側的小徑部。小徑部係嵌入於第二柱塞。線圈彈簧係於第二柱塞側具有密捲繞部。至少在線圈彈簧的壓縮狀態，密捲繞部中之鄰接的線部彼此係以相互密接且電性連接的方式構成筒狀導體部。

Description

接觸探針及檢查輔助具
本發明係關於一種用以檢查半導體積體電路等檢查對象物的接觸探針及具備有該接觸探針的檢查輔助具。本發明特別是關於一種可通電大電流的接觸探針及檢查輔助具。
以往接觸探針係在管體的兩端部設置柱塞，且會有線圈彈簧配置在管體內的內彈簧型的接觸探針、及線圈彈簧配置在以相互滑動自如方式嵌合的柱塞的外側的外彈簧型的接觸探針。
外彈簧型的接觸探針有助於線圈彈簧的線徑的加粗。一般而言，在大電流用途係採用外彈簧型的接觸探針。
利用第8圖(A)、(B)、(C)至第10圖說明習知例的外彈簧型的接觸探針及具備有該外彈簧型的接觸探針的檢查輔助具。檢查輔助具1B係具備有：接觸探針10B、以及以貫通狀態保持接觸探針10B的絕緣樹脂製的插座5。被插座5所支撐的接觸探針10B的數量，在圖示的例子中為一根，但亦可為複數。在插座5中，第一絕緣支撐體6、 第二絕緣支撐體7及第三絕緣支撐體8係相結合並藉由螺絲鎖固等而彼此一體化。第一絕緣支撐體6的小徑孔部6a及大徑孔部6b、以及第二及第三絕緣支撐體7、8的孔部7a、8a係構成保持接觸探針10B的貫穿孔。孔部7a、8a的內徑係與大徑孔部6b的內徑相同。
接觸探針10B係具有：以在相互接觸狀態滑動自如的方式嵌合的第一柱塞20及第二柱塞30、以及配置在第一柱塞20的外側並朝將第一柱塞20及第二柱塞30予以相互離間的方向彈推的線圈彈簧60。第一柱塞20係與第8圖(B)、(C)所示之檢查對象物70的連接零件。而且，第二柱塞30係與第8圖(B)、(C)所示之檢查用基板80的連接零件。第一柱塞20及第二柱塞30均為由銅或銅合金等導體性金屬體所構成。線圈彈簧60係例如以鋼琴線或不鏽鋼線等一般性的導體金屬材質所形成。線圈彈簧60係將第一柱塞20及第二柱塞30予以朝互相分離的方向彈推，並對第一柱塞20及第二柱塞30賦予與檢查對象物70及檢查用基板80的接觸力。檢查對象物70係例如電極以預定間隔排列的半導體積體電路。在檢查對象物70中，圖式的情形係電極墊71以預定間隔排列。檢查用基板80係在預定間隔具有要連接於未圖式的量測器側的電極墊81。
第一柱塞20係從前端側(朝向檢查對象物70之側為前端側)依序具有：作為前端側棒狀部的前端側圓柱部21、作為定位器用之大徑部的凸緣部22、大徑部23、錐部24，小徑部25、以及較小徑部25還大徑的基端側圓 柱部26。前端側圓柱部21係貫穿第一絕緣支撐體6的小徑孔部6a，且從第一絕緣支撐體6的表面突出。前端側圓柱部21係於前端具有錐狀(圓錐狀)地尖細形狀的接觸部21a。凸緣部22係較前端側圓柱部21還大徑。凸緣部22係收容於第一絕緣支撐體6的大徑孔部6b的內側。凸緣部22的外徑係較小徑孔部6a的內徑還大徑。因此，凸緣部22係以小徑孔部6a與大徑孔部6b中之成為交界的階差面的卡合，從而防止第一柱塞20從第一絕緣支撐體6的脫落。凸緣部22中之與第一柱塞20長度方向成垂直的剖面為圓形。凸緣部22的外徑係較大徑孔部6b的內徑還略小。大徑部23、錐部24、小徑部25及基端側圓柱部26係以較凸緣部22還靠基端側，且朝向第二柱塞30的方式形成。基端側圓柱部26係以常時滑動自如地嵌入至第二柱塞30的管狀部(有底圓筒狀部)32的內側。如第8圖(A)所示，在線圈彈簧60的非壓縮狀態下，小徑部25係僅一部分嵌入至管狀部32的內側。在第8圖(C)的線圈彈簧60的壓縮狀態下，小徑部25係大部分嵌入至管狀部32的內側。
第二柱塞30係以朝向檢查用基板80的方向為前端側時，從前端側依序具有：前端側圓柱部31、以及基端側的管狀部32。第二柱塞30係可在第一絕緣支撐體6的大徑孔部6b及第二絕緣支撐體7的孔部7a及第三絕緣支撐體8的孔部8a中滑動自如地移動。第二柱塞30係貫穿孔部7a、8a，且從第三絕緣支撐體8的表面突出。前端側圓柱部31的前端係形成為錐狀(圓錐狀)地尖細形狀的接 觸部31a。在將第一柱塞20的基端側圓柱部26嵌入至管狀部32的狀態下，在管狀部32的基端側，以縮徑加工的方式形成有小徑部32a。滑動在管狀部32內側的第一柱塞20的基端側圓柱部26係較管狀部32的小徑部32a的內徑還大徑。因此，藉由基端側圓柱部26與小徑部32a卡合，從而防止第一柱塞20的從管狀部32的脫落。第二柱塞30不會有從第一柱塞20脫落的情形。
線圈彈簧60係在第一柱塞20的外側且為第一絕緣支撐體6的大徑孔部6b的內側，配置在第一柱塞20的凸緣部22、與第二柱塞30的基端側端面(管狀部32之基端側端面)之間。線圈彈簧60係形成為全體線間具有間隙的疏捲繞。
在第8圖(A)的初始狀態下，第一柱塞20及第二柱塞30皆從插座5突出。如第8圖(B)的設置狀態，當插座5設置於檢查用基板80上時，第二柱塞30前端的接觸部31a就會與檢查用基板80的電極墊81接觸。從該狀態，如第8圖(C)的檢查狀態，將檢查對象物70的電極墊71按壓到第一柱塞20前端的接觸部21a時，就會壓縮線圈彈簧60。其結果，接觸探針10B係利用充分的接觸壓而接觸檢查對象物70的電極墊71與檢查用基板80的電極墊81。藉此，電極墊71與電極墊81被電性連接，而在電極墊71與電極墊81之間能夠流通電流。
在習知例的接觸探針10B中，在第8圖(C)的檢查狀態中，會存在著電流路徑截面積縮小的部分。也 就是，在屬於顯示第8圖(C)的IX-IX剖面中之電流路徑的說明圖的第9圖中，第一柱塞20的大徑部23的截面積及線圈彈簧60的線材截面積的總和有利於通電。另一方面，在屬於顯示第8圖(C)的X-X剖面中之電流路徑的說明圖的第10圖中，雖然線圈彈簧60的線材截面積未有變化，但靠近第一柱塞20中之小徑部25的錐部24的截面積會比大徑部23顯著變小。因此，電流可流過接觸探針10B的電流最大值會因第10圖的電流路徑的截面積受到限制。特別是，在第10圖的剖面附近中，線圈彈簧60的發熱變大，會發生線圈彈簧60融化的現象。
第4圖的實線J係顯示習知例中的接觸探針10B的通電電流[A]與彈簧力的下降比率[%]的關係。在0.4A彈簧力下降20%，而在1A下降40%以上。
量測條件如下：第一柱塞20中之大徑部23的直徑：0.053mm
第一柱塞20中之小徑部25的直徑：0.033mm
第二柱塞30中之管狀部32的壁厚：0.025mm
線圈彈簧60的外徑：0.106mm
線圈彈簧60的內徑：0.066mm
圈彈簧60的線徑：0.02mm
近年，在大電流用途的接觸探針中，漸漸也要求小徑化，而會有無法放大線圈彈簧之線徑的限制。因此，產生因大電流的通電而發生線圈彈簧溶斷的問題。
日本特開2010-151732係顯示外彈簧型的探 針的一例。由於在管狀形狀的外側配置線圈彈簧，所以非適用於探針的小徑化。
實施例係關於一種不增加外徑，即可流通較大的電流接觸探針及檢查輔助具。
根據實施例，接觸探針係具備有：導電性的第一柱塞、導電性的第二柱塞、以及配置於第一柱塞的外側且朝將第一柱塞及第二柱塞相互離間的方向彈推的導電性的線圈彈簧。第一柱塞20與第二柱塞30係相互滑動自如地嵌合。第一柱塞係具有大徑部、以及設置於大徑部的基端側的小徑部。小徑部係嵌入於第二柱塞。線圈彈簧係於第二柱塞側具有密捲繞部。至少在線圈彈簧的壓縮狀態，密捲繞部中之鄰接的線部彼此係以相互密接且電性接觸的方式構成筒狀導體部。
1、1A、1B‧‧‧檢查輔助具
5‧‧‧插座
6‧‧‧第一絕緣支撐體
6a‧‧‧小徑孔部
6b‧‧‧大徑孔部
7‧‧‧第二絕緣支撐體
7a、8a‧‧‧孔部
8‧‧‧第三絕緣支撐體
10、10A、10B‧‧‧接觸探針
20‧‧‧第一柱塞
21‧‧‧前端側圓柱部
21a‧‧‧接觸部
22‧‧‧凸緣部
23‧‧‧大徑部
24‧‧‧錐部
25‧‧‧小徑部
26‧‧‧基端側圓柱部
30‧‧‧第二柱塞
31‧‧‧前端側圓柱部
31a‧‧‧接觸部
32‧‧‧管狀部
32a‧‧‧小徑部
40、50、60‧‧‧線圈彈簧
41、51‧‧‧疏捲繞部
42、52‧‧‧密捲繞部
70‧‧‧檢查對象物
71、81‧‧‧電極墊
80‧‧‧檢查用基板
第1圖(A)係顯示實施形態1的接觸探針及檢查輔助具的初始狀態的側視剖面圖。
第1圖(B)係顯示實施形態1的接觸探針及檢查輔助具的設置狀態(設置於檢查用基板的狀態)的側視剖面圖。
第1圖(C)係顯示實施形態1的接觸探針及檢查輔助具的檢查狀態的側視剖面圖。
第2圖係顯示第1圖(C)之II-II剖面位置中的電流路徑的說明圖。
第3圖係顯示第1圖(C)之III-III剖面位置中的電流路徑的說明圖。
第4圖係顯示實施形態1、及習知例的情形的：接觸探針的通電電流[A]、與彈簧力的下降比率[%]的之關係的曲線圖。
第5圖(A)係顯示實施形態2的接觸探針及檢查輔助具的初始狀態的側視剖面圖。
第5圖(B)係顯示實施形態2的接觸探針及檢查輔助具的設置狀態(設置於檢查用基板的狀態)的側視剖面圖。
第5圖(C)係顯示實施形態2的接觸探針及檢查輔助具的檢查狀態的側視剖面圖。
第6圖係顯示第5圖(C)之VI-VI剖面位置中的電流路徑的說明圖。
第7圖係顯示第5圖(C)之VII-VII剖面位置中的電流路徑的說明圖。
第8圖(A)係顯示習知例的接觸探針及檢查輔助具的初始狀態的側視剖面圖。
第8圖(B)係顯示習知例的接觸探針及檢查輔助具的設置狀態(設置於檢查用基板的狀態)的側視剖面圖。
第8圖(C)係顯示習知例的接觸探針及檢查輔助具的檢查狀態的側視剖面圖。
第9圖係顯示第8圖(C)之IX-IX剖面位置中的電流路徑的說明圖。
第10圖係顯示第8圖(C)之X-X剖面位置中的電流路 徑的說明圖。
(發明之最佳實施形態)
以下，一面參照圖式一面詳述實施形態。另外，顯示於各圖式中的相同或相等的構成要素、構件、處理等係標示相同的符號，且適當省略重複的說明。此外，實施形態並不限定本發明，為一例示，於實施形態所記載的所有特徵及/或其組合，本發明的本質不一定是必要的。
<實施形態1>
第1圖(A)至第1圖(C)係顯示實施形態1的接觸探針及檢查輔助具的側視剖面圖。第1圖(A)係顯示初始狀態、第1圖(B)係顯示設置狀態(設置於檢查用基板的狀態)、第1圖(C)係顯示檢查狀態。第2圖係顯示第1圖(C)之II-II剖面位置中的電流路徑的說明圖。第3圖係顯示第1圖(C)之III-III剖面位置中的電流路徑的說明圖。檢查輔助具1係具備有：接觸探針10、以貫穿狀態保持接觸探針10的絕緣樹脂製的插座5。支撐插座5所支撐的接觸探針10的數量，在圖示的例中為一根，亦可為複數根。
接觸探針10係具有：以在相互接觸狀態滑動自如的方式嵌合的第一柱塞20及第二柱塞30、以及配置在第一柱塞20的外側並將第一柱塞20及第二柱塞30朝相互離間的方向彈推的線圈彈簧40。
線圈彈簧40係具有：疏捲繞部41及密捲 繞部42。於疏捲繞部41的第二柱塞30側形成有密捲繞部42。密捲繞部42中之鄰接的線部彼此係以相互密接且電性接觸的方式構成筒狀導體部。就線圈彈簧40而言，係採用鋼琴線或不鏽鋼線等一般性的導體金屬線材。為了確保密捲繞部42中之鄰接的線部彼此的電性接觸，對線圈彈簧40設置Au等的金屬鍍覆層為佳。亦可在線圈彈簧40中的密捲繞部42的加工後設置Au等地金屬鍍覆層，亦可將預先設置有Au等的金屬鍍覆層的線予以加工為具有密捲繞部42的線圈彈簧40。
線圈彈簧40係在第一柱塞20的外側且為第一絕緣支撐體6的大徑孔部6b的內側，並且配置在第一柱塞20的凸緣部22、與第二柱塞30的基端側端面(管狀部32的基端側端面)之間。當對線圈彈簧40施加壓縮力時，使壓彎線圈彈簧40而構成筒狀導體部的密捲繞部42的內周與第一柱塞20的大徑部23的外周電性接觸。
為了確保該接觸(為了更積極地壓彎)，使線圈彈簧40之與第二柱塞30抵接之側的端面傾斜。
線圈彈簧40以外的構成係與第8圖(A)、(B)、(C)的習知例相同，故省略說明。
實施形態1的構成中，在第1圖(A)的初始狀態下，第一柱塞20及第二柱塞30係從插座5突出。如第1圖(B)的設置狀態，使插座5設置在檢查用基板80上時，第二柱塞30前端的接觸部31a就會與檢查用基板80的電極墊81接觸。在設置狀態下，第一柱塞20的錐部24 形成進入至線圈彈簧40的密捲繞部42內的狀態，使用於遷移至下一步驟的檢查狀態的第一柱塞20之往密捲繞部42內的插入順利地進行。如設置狀態至第1圖(C)的檢查狀態的方式，將檢查對象物70的電極墊71按壓在至第一柱塞20前端的接觸部21a時，就會壓縮線圈彈簧40。因此，接觸探針10會以充分的接觸壓力，接觸在檢查對象物70的電極墊71與檢查用基板80的電極墊81。結果，接觸探針10係將電極墊71、與電極墊81電性連接，可在電極墊71與電極墊81之間流通電流。在第1圖(C)的檢查狀態，在線圈彈簧40中，靠近構成筒狀導體部的密捲繞部42的疏捲繞部41側係與第一柱塞20的大徑部23電性接觸。
習知例的接觸探針10B，在檢查狀態下，存在有電流路徑的截面積縮小的部分而使通電電流受到限制。另一方案，實施形態1的接觸探針10的情形，電流路徑的截面積的變化縮小。亦即，在屬於顯示第1圖(C)之II-II剖面位置中的電流路徑的說明圖的第2圖中，第一柱塞20的大徑部23的截面積及線圈彈簧40的線材截面積的總和有利於通電，且可承受足夠大的電流。再者，在屬於顯示第1圖(C)之III-III剖面位置中的電流路徑的說明圖的第3圖中，線圈彈簧40的密捲繞部42(鄰接的線部的彼此相互密接且電性接觸)成為筒狀導體部，並構成截面積較大的電流路徑，以補償靠近第一柱塞20的小徑部25的錐部24的截面積較小。因此，在所需的電流範圍中未發生線圈彈簧40的熔斷，可對接觸探針10通電的電流最大值係可較 習知例的接觸探針10B還大。
第4圖的實線K係顯示實施形態1的接觸探針10的通電電流[A]、與彈簧力的下降比率[%]的關係。即使是在1.3A左右，彈簧力的降低也為稍許(未滿20%)，屬於可充分對應大電流用途的性能。
量測條件如下(除具有密捲繞部42點之外，其他與習知例相同)。
第一柱塞20中之大徑部23的直徑：0.053mm
第一柱塞20中之小徑部25的直徑：0.033mm
第二柱塞30中之管狀部32的壁厚：0.025mm
線圈彈簧40的外徑：0.106mm
線圈彈簧40的內徑：0.066mm
線圈彈簧40的線徑：0.02mm
根據實施形態1，在接觸探針10及具備有該接觸探針10的檢查輔助具1中，線圈彈簧40係具有密捲繞部42(亦即筒狀導體部)，該密捲繞部42係與第二柱塞30接觸之側的線部彼此密接並電性接觸者。密捲繞部42係與成為第一柱塞20的軸部分的大徑部23直接接觸。因此，可擴大電流路徑的截面積並較習知品流通較大的電流。
線圈彈簧40之與第二柱塞30抵接之側的端面呈傾斜。因此，當利用壓縮力壓彎線圈彈簧40時，使密捲繞部42的內周與第一柱塞20的大徑部23的外周更進一步確實地電性接觸。
就線圈彈簧40的原材料而言，採用鋼琴線及/或不鏽鋼線等之一般性的導體金屬線材。於線圈彈簧40設置Au等地金屬鍍覆層。因此，可進一步確保密捲繞部42中之鄰接的線部彼此的電性連接。
<實施形態2>
第5圖(A)至第5圖(C)係實施形態2的接觸探針及檢查輔助具的側視剖面圖。第5圖(A)係顯示初始狀態、第5圖(B)係顯示設置狀態(設置於檢查用基板的狀態)、第5圖(C)係顯示檢查狀態。第6圖係顯示第5圖(C)中之VI-VI剖面位置的電流路徑的說明圖。第7圖係顯示第5圖(C)中之VII-VII剖面位置的電流路徑的說明圖。檢查輔助具1A係具備有：接觸探針10A、以貫穿狀態保持接觸探針10A的絕緣樹脂製的插座5。被插座5所支撐撐的接觸探針10A的數量，在圖示的例子中為一根，但亦可為複數根。
接觸探針10A係具有：以在相互接觸狀態滑動自如的方式嵌合的第一柱塞20及第二柱塞30、以及配置在第一柱塞20的外側並將第一柱塞20及第二柱塞30朝相互離間的方向彈推的線圈彈簧50。由於實施形態2中的接觸探針10A與實施形態1所示的接觸探針10的不同點在於線圈彈簧的構造，因此針對線圈彈簧50加以說明。
線圈彈簧50係具有疏捲繞部51及密捲繞部52。在疏捲繞部51的第二柱塞30側形成有密捲繞部52。密捲繞部52中，第5圖(A)的初始狀態下，密捲繞部52 中之鄰接的線部間存在有微小的間隙(參照擴大部分)。在達至第5圖(C)的檢查狀態的過程中，藉由壓縮線圈彈簧50，從而使密捲繞部52中之鄰接的線部彼此以相互密接且電性接觸的方式構成筒狀導體部。因此，實際通電的檢查狀態下，線圈彈簧50係與實施形態1的線圈彈簧40同樣的地發揮功能。就線圈彈簧50的原材料而言，採用鋼琴線及/或不鏽鋼線等的一般性的導體金屬線材。為了確保密捲繞部52中之鄰接的線部彼此的電性接觸，對線圈彈簧40設置Au等的金屬鍍覆層為佳。
在實施形態2使用的線圈彈簧50的情形，只要在被壓縮的檢查狀態下，密捲繞部52中之鄰接的線部彼此以相互密接的方式構成筒狀導體部即可。因此，線圈彈簧50的製造容易。其他的構成及作用效果係與實施形態1同樣。
以上，以實施形態為例說明了本發明，惟本發明所屬技術領域具有通常知識者，應可理解實施形態的各構成要素及/或各處理過程可進行各種的變形。以下，涉及變形例。
接觸探針的第一柱塞及第二柱塞的前端形狀，可因應檢查對象物而變化。
根據實施例，接觸探針10、10A係具備有：導電性的第一柱塞20、導電性的第二柱塞30、以及配置於第一柱塞20的外側，且將第一柱塞20及第二柱塞30朝相互離間的方向彈推的導電性的線圈彈簧40、50。第一柱塞 20與第二柱塞30係相互滑動自如地嵌合。第一柱塞20係具有大徑部23、以及設置於大徑部23的基端側的小徑部25。小徑部25係嵌入至第二柱塞30。線圈彈簧40、50中的靠第二柱塞30側係具有密捲繞部42、52。至少在線圈彈簧40、50的壓縮狀態下，使密捲繞部42、52中之鄰接的線部彼此以相互密接且電性連接的方式構成筒狀導體部。
線圈彈簧40、50，亦可具有使密捲繞部中之鄰接的線部彼此電性接觸的金屬鍍覆層。密捲繞部42、52亦可構成筒狀導體部。
在線圈彈簧40、50的壓縮狀態下，筒狀導體部亦可與第一柱塞的大徑部23電性接觸。
與線圈彈簧40、50的第二柱塞30抵接之側的端面亦可呈傾斜。
根據實施形態，檢查輔助具1、1A係具備有：上述的接觸探針10、10A、以及以貫穿狀態保持接觸探針的絕緣樹脂製的插座5。
另外，以上構成要素的任意組合、以及在方法及/或系統之間變換本發明的表現後的構成要素，作為本發明的態樣至為有效。
根據實施例，能夠藉由在線圈彈簧設置密捲繞部，從而至少在檢查狀態中，使前述密捲繞部中之鄰接的線部彼此以相互密接且電性接觸的方式構成筒狀導體部，且將前述筒狀導體部作為電流路徑加以利用，藉此不增加 接觸探針的外徑即可較習知品流通較大的電流。
1‧‧‧檢查輔助具
5‧‧‧插座
6‧‧‧第一絕緣支撐體
6a‧‧‧小徑孔部
6b‧‧‧大徑孔部
7‧‧‧第二絕緣支撐體
7a、8a‧‧‧孔部
8‧‧‧第三絕緣支撐體
10‧‧‧接觸探針
20‧‧‧第一柱塞
21‧‧‧前端側圓柱部
21a‧‧‧接觸部
22‧‧‧凸緣部
23‧‧‧大徑部
24‧‧‧錐部
25‧‧‧小徑部
26‧‧‧基端側圓柱部
30‧‧‧第二柱塞
31‧‧‧前端側圓柱部
31a‧‧‧接觸部
32‧‧‧管狀部
32a‧‧‧小徑部
40‧‧‧線圈彈簧
41‧‧‧疏捲繞部
42‧‧‧密捲繞部
70‧‧‧檢查對象物
71、81‧‧‧電極墊
80‧‧‧檢查用基板

Claims (9)

  1. 一種接觸探針，係具備有：導電性的第一柱塞；導電性的第二柱塞；以及導電性的線圈彈簧，係配置於前述第一柱塞的外側，且朝將前述第一柱塞及第二柱塞相互離間的方向彈推；前述第一柱塞與前述第二柱塞係相互滑動自如地嵌合，前述第一柱塞係具有大徑部、以及設置於前述大徑部的基端側的小徑部，前述小徑部係嵌入於前述第二柱塞，前述第二柱塞係具有供前述小徑部嵌入的管狀部，前述線圈彈簧係於前述第二柱塞側具有密捲繞部，至少在前述線圈彈簧的壓縮狀態，前述密捲繞部中之鄰接的線部彼此係以相互密接且電性接觸的方式構成筒狀導體部。
  2. 如申請專範圍第1項所述之接觸探針，其中，前述第一柱塞係依序具有：比朝向檢查對象物之前端側更大徑之凸緣部、連續於前述凸緣部之大徑部、及設於前述大徑部的基端側之小徑部；前述第二柱塞係與前述第一柱塞個別地形成；前述線圈彈簧係被前述第一柱塞插通，且配置在前述凸緣部與前述第二柱塞的管狀部的基端側端面之 間；前述小徑部係滑動自如地嵌入於前述管狀部而不從前述第二柱塞脫落；前述線圈彈簧係於前述第一柱塞側包圍前述大徑部的外側。
  3. 如申請專範圍第1項所述之接觸探針，其中，在前述線圈彈簧的壓縮狀態，前述筒狀導體部係與前述第一柱塞的前述大徑部電性接觸。
  4. 如申請專範圍第1項所述之接觸探針，其中，在前述線圈彈簧的壓縮狀態，前述筒狀導體部係與前述第一柱塞的前述大徑部接觸。
  5. 如申請專範圍第1項所述之接觸探針，其中，前述第一柱塞係具有位於前述大徑部與前述小徑部之間的錐部。
  6. 如申請專範圍第1至5項中任一項所述之接觸探針，其中前述線圈彈簧係具有使前述密捲繞部中之鄰接的線部彼此電性接觸的金屬鍍覆層，前述密捲繞部係構成筒狀導體部。
  7. 如申請專範圍第2或5項所述之接觸探針，其中，在前述線圈彈簧的壓縮狀態，前述筒狀導體部係與前述第一柱塞的前述大徑部電性接觸。
  8. 如申請專範圍第1至5項中任一項所述之接觸探針，其中，前述線圈彈簧中之與前述第二柱塞抵接之側的端 面呈傾斜。
  9. 一種檢查輔助具，係具備有：申請專範圍第1至第8項中任一項所述的接觸探針；以及以貫穿狀態保持前述接觸探針的絕緣樹脂製的插座。
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Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7098886B2 (ja) * 2017-07-04 2022-07-12 日本電産リード株式会社 接触端子、検査治具、及び検査装置
US20220082588A1 (en) * 2019-01-29 2022-03-17 Yokowo Co., Ltd. Plunger and contact probe
KR102623659B1 (ko) * 2019-03-13 2024-01-10 닛폰 하츠죠 가부시키가이샤 컨택트 프로브 및 신호 전송 방법
JP7372194B2 (ja) * 2020-04-06 2023-10-31 株式会社日本マイクロニクス プローブおよび電気的接続装置
CN111969345B (zh) * 2020-07-06 2022-02-11 中航光电科技股份有限公司 一种新结构平行电路板间用电源信号混装连接器

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1436306A (zh) * 2000-06-16 2003-08-13 日本发条株式会社 微型接触器探针和电探针单元
CN101243323A (zh) * 2005-08-31 2008-08-13 日本发条株式会社 探针卡
TW201428110A (zh) * 2012-08-03 2014-07-16 Yamamoto Precious Metal Co Ltd 合金材料、接觸探針及連接端子
US20140253163A1 (en) * 2013-03-01 2014-09-11 Yamaichi Electronics Co., Ltd. Inspection probe and an ic socket with the same
TW201502526A (zh) * 2013-04-18 2015-01-16 Isc Co Ltd 彈簧針用探針部材

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2003087854A1 (en) * 2002-04-16 2003-10-23 Nhk Spring Co., Ltd Conductive contact
CN101454676B (zh) * 2006-04-28 2011-12-07 日本发条株式会社 导电性触头支架
JP5008582B2 (ja) * 2008-02-04 2012-08-22 株式会社ヨコオ コンタクトプローブ
WO2009102030A1 (ja) * 2008-02-14 2009-08-20 Nhk Spring Co., Ltd. プローブユニット
JP2010151732A (ja) 2008-12-26 2010-07-08 Masashi Okuma プローブピン
JP5361518B2 (ja) * 2009-04-27 2013-12-04 株式会社ヨコオ コンタクトプローブ及びソケット
WO2010140184A1 (ja) * 2009-06-01 2010-12-09 有限会社電材マート プローブ及びプローブ装置
JP5624746B2 (ja) * 2009-10-23 2014-11-12 株式会社ヨコオ コンタクトプローブ及びソケット
KR20110065047A (ko) * 2009-12-09 2011-06-15 이재학 테스트 소켓, 그 테스트 소켓의 제작방법 및 포고핀
KR101020025B1 (ko) * 2010-06-01 2011-03-09 주식회사 엔티에스 전자부품 검침 프로브
WO2011162362A1 (ja) * 2010-06-25 2011-12-29 日本発條株式会社 コンタクトプローブおよびプローブユニット
JPWO2013061486A1 (ja) * 2011-10-26 2015-04-02 ユニテクノ株式会社 コンタクトプローブおよびそれを備えた検査ソケット
JP6011103B2 (ja) * 2012-07-23 2016-10-19 山一電機株式会社 コンタクトプローブ及びそれを備えた半導体素子用ソケット
JP2014119435A (ja) * 2012-12-19 2014-06-30 Enplas Corp プローブピンユニット及びｉｃソケット
JP2014173914A (ja) * 2013-03-07 2014-09-22 Sankei Engineering:Kk コンタクトピン
WO2015122472A1 (ja) * 2014-02-13 2015-08-20 日本発條株式会社 プローブユニット
JP6442668B2 (ja) * 2014-04-21 2018-12-26 株式会社ネバーグ プローブピンおよびｉｃソケット
JP2016008904A (ja) * 2014-06-25 2016-01-18 株式会社ミタカ コンタクトプローブ

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1436306A (zh) * 2000-06-16 2003-08-13 日本发条株式会社 微型接触器探针和电探针单元
CN101243323A (zh) * 2005-08-31 2008-08-13 日本发条株式会社 探针卡
TW201428110A (zh) * 2012-08-03 2014-07-16 Yamamoto Precious Metal Co Ltd 合金材料、接觸探針及連接端子
US20140253163A1 (en) * 2013-03-01 2014-09-11 Yamaichi Electronics Co., Ltd. Inspection probe and an ic socket with the same
TW201502526A (zh) * 2013-04-18 2015-01-16 Isc Co Ltd 彈簧針用探針部材

Also Published As

Publication number Publication date
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