TW200938642A - Film forming mask and mask adhesion method - Google Patents

Description

200938642 九、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種成膜用遮罩及遮罩密接方法。 【先前技術】 近年來，例如專利文獻1之揭示，已提出一種所謂4 邊固定輕微張力遮罩，其作爲由具有容許成膜材料通過之 ❹ 開口圖案的遮罩本體、及保持該遮罩本體之保持框體所構 成的成膜用遮罩，將如第1圖圖示之遮罩本體21的4邊 藉框狀框體22加以圍繞，藉由該框狀框體22，一面不會 由4邊施加張力或施加極弱的張力，一面保持遮罩本體21 〇 該4邊固定輕微張力遮罩係具有溫度變化小且輕量的 優點，由於溫度變化小，因此在藉由蒸鍍裝置進行蒸鍍中 ’不易發生圖案偏移，此外，由於較輕，因此可抑制搬送 © 系統的成本。 (專利文獻1)日本特開2007-138256號公報 【發明內容】 (發明所欲解決之課題） 但是，如上所述之4邊固定輕微張力遮罩與基板的密 接性差，在利用例如蒸鏟等進行成膜時，無法按照遮罩本 體的開口圖案進行成膜，而會有基板上的成膜圖案模糊的 問題點。 -5- 200938642 此外，例如第2圖之圖示，以細長狀的遮罩本體31 不會撓曲的方式，在由2邊施加張力（tension )的狀態下 保持在保持框體32的構成亦已被提出，但是在如上所示 之構成中，如第3圖之圖示，因張力而使遮罩本體31的 中央部33變形，與基板的密接性仍差，難以良好地進行 成膜。 本發明係用以解決上述之問題點者，僅將遮罩本體相 對向的2邊在遮罩本體因本身重量而可撓曲的狀態下固定 Q 在保持框體的保持部，藉此解除遮罩本體的撓曲不均而可 與基板良好地密接，而且溫度變化小且輕量的優點，提供 一種與基板良好地密接而可進行成膜圖案精度佳的成膜之 極具優異實用性的成膜用遮罩及遮罩密接方法。 (解決課題之手段） 參照所附圖示，說明本發明之要旨。 係關於一種成膜用遮罩，係由具有容許成膜材料通過 © 之開口圖案的遮罩本體1、及保持該遮罩本體1的保持框 體2所構成，且層積經由前述開口圖案被附著有前述成膜 材料的基板6的成膜用遮罩，其特徵爲：前述保持框體2 係構成爲：具備有沿著前述遮罩本體1之4邊中相對向的 一對邊部3而分別配設，分別保持該一對邊部3的一對保 持部4，僅藉由該一對保持部4來保持前述遮罩本體1, 在藉由前述一對保持部4所保持的前述一對邊部3間，以 前述遮罩本體1因本身重量而撓曲而且前述撓曲量在該一 -6 - 200938642 對邊部3相對向方向產生變化的方式，將該一對邊部3固 定在前述一對保持部4。 此外，如申請專利範圍第1項之成膜用遮罩者，其中 ，將前述遮罩本體1的前述一對邊部3在該遮罩本體1因 本身重量而自然撓曲的狀態下分別固定在前述一對保持部 4 〇 此外，如申請專利範圍第2項之成膜用遮罩者，其中 〇 ，構成爲：將前述一對保持部4形成爲沿著藉由該保持部 4所被保持的前述一對邊部3而具有長度的長邊構件，該 一對邊部3分別得以同樣地固定在前述一對保持部4。 此外，如申請專利範圍第2項之成膜用遮罩者，其中 ’在以前述遮罩本體1而言爲與前述基板6表面相對向的 背面之相反側的表面側，設置補正前述遮罩本體1之撓曲 的撓曲補正體。 此外，如申請專利範圍第3項之成膜用遮罩者，其中 Ο ’在以前述遮罩本體1而言爲與前述基板6表面相對向的 背面之相反側的表面側，設置補正前述遮罩本體i之撓曲 的撓曲補正體。 此外’如申請專利範圍第4項之成膜用遮罩者，其中 ’前述撓曲補正體爲棒體7，將該棒體7設成與被固定在 前述保持部4之一對邊部3大致平行。 此外’如申請專利範圍第5項之成膜用遮罩者，其中 ’前述撓曲補正體爲棒體7，將該棒體7設成與被固定在 前述保持部4之一對邊部3大致平行。 200938642 此外’如申請專利範圍第6項之成膜用遮罩者，其中 ，前述撓曲補正體係設在以前述遮罩本體1而言爲撓曲的 最下點部位置。 此外，如申請專利範圍第7項之成膜用遮罩者，其中 ，前述撓曲補正體係設在以前述遮罩本體1而言爲撓曲的 最下點部位置。 此外，係關於一種遮罩密接方法，係使申請專利範圍 第1項至第9項中任一項之成膜用遮罩密接於基板的遮罩 @ 密接方法，其特徵爲：在前述成膜用遮罩5上層積基板6 ，在該基板6上層積片狀重物構件8，藉由該重物構件8 ，使基板6強制性地撓曲，而使前述成膜用遮罩5密接於 基板表面。 此外，如申請專利範圍第10項之遮罩密接方法者， 其中，採用鎢片作爲前述重物構件8。 此外，如申請專利範圍第11項之遮罩密接方法者， 其中，採用玻璃、塑膠或金屬製者作爲前述基板6。 ◎ (發明之效果） 本發明係構成爲如上所述，因此可解決遮罩本體的撓 曲不均而與基板良好地密接，溫度變化小且爲輕量的優點 ，形成爲與基板良好地密接而可進行成膜圖案精度佳的成 膜之極具優異實用性的成膜用遮罩及遮罩密接方法。 【實施方式】 -8 - 200938642 根據圖示，顯示本發明之作用而簡單說明較佳之本發 明之實施形態（要如何實施發明）。 一對邊部3分別被固定在一對保持部4，被保持在保 持框體2的遮罩本體1因本身重量而撓曲，因此若爲了進 行例如成膜而使基板6(及磁鐵等）層積時，該基板6與 遮罩本體1的撓曲會追隨而使兩者良好地密接。 例如4邊固定輕微張力遮罩由於未施加張力（或非常 © 小），因此乍見會覺得追隨基板撓曲而撓曲彎曲而良好地 密接，但是由於固定4邊而使撓曲量在縱向及橫向之2個 方向發生變化，雙方的撓曲會相干擾而在遮罩本體的撓曲 形成不均，遮罩本體會發生變形，而且該變形較爲複雜， 因此無法獲得良好的密接性。 關於此，本發明係將相對向的一對邊部3 ( 2邊）固 定在一對保持部4的構成，遮罩本體1係在該一對邊部3 間，遮罩本體1因本身重量而撓曲而且前述撓曲量僅在該 〇 一對邊部3相對向的方向（1方向）產生變化，由於不會 干擾撓曲，因此不易形成不均，因此，遮罩本體1的變形 單純且較小，可良好地追隨基板6的撓曲而良好地密接。 亦即，可實現更爲自然的撓曲，因此即使基板6大型 化而使撓曲變得較大，遮罩本體1亦可柔軟地追隨基板6 的撓曲而密接。因此，在與基板6等層積而進行成膜時， 藉由與基板6良好地密接，基板6上的成膜圖案不會模糊 而可按照開口圖案來進行成膜。 此外，與以遮罩本體1不會撓曲的方式維持一定程度 -9- 200938642 的張力的情形相比較，可減小保持部4所需強度，就可將 保持框體2形成爲較薄且爲輕量。因此，搬送等變得較爲 容易，就可提升作業性。 尤其，因遮罩本體1變形以致密接性降低或保持框體 2厚壁化或重量化係隨著遮罩（基板）的大型化而更加明 顯，但是藉由本發明，即使爲大型的遮罩，亦可爲薄壁· 輕量而且可與基板良好地密接。 此外，例如，在以遮罩本體1而言爲與基板6表面相 φ 對向的背面之相反側的表面側，設置與被固定在保持部4 的一對邊部3呈大致平行的棒體7，而補正遮罩本體1之 撓曲時，係使遮罩本體1同樣地撓曲，可解除遮罩本體1 之形成有開口圖案的區域與除此以外的區域之撓曲量的差 ，而更加提升與基板6的密接性。尤其，當將棒體7設在 以遮罩本體1而言爲撓曲的最下點部位置時，可良好地解 除撓曲量的差。 以上所示之成膜用遮罩5係在例如成膜用遮罩5上層 〇 積基板6’在該基板6上層積片狀（sheet)的重物構件8 ，藉由該重物構件8，強制性地使基板6撓曲，藉此可良 好地密接於基板表面。此時，以重物構件8而言，若採用 具柔軟性且爲分量重的鎢片，可更加良好地使基板6撓曲 而與遮罩本體密接。 (實施例） 根據第4至7圖，說明本發明之具體實施例。 -10- 200938642 如第4、5圖之圖示，本實施例係由具有容許成膜材 料通過之開口圖案的遮罩本體1;及保持該遮罩本體1的 保持框體2所構成，且層積經由前述開口圖案被附著有前 述成膜材料的基板6的成膜用遮罩’前述保持框體2係構 成爲具備有：沿著前述遮罩本體1之4邊中相對向的一對 邊部3而分別配設，分別保持該一對邊部3的一對保持部 4，僅藉由該一對保持部4來保持前述遮罩本體1 ’在藉由 0 前述一對保持部4所保持的前述一對邊部3間，以前述遮 罩本體1因本身重量而撓曲而且前述撓曲量在該一對邊部 3相對向方向產生變化的方式，將該一對邊部3固定在前 述一對保持部4者。 具體說明各部。 遮罩本體1係以因鋼材（invar )等金屬材料爲素材之 —般的方形狀金屬遮罩。該遮罩本體1係具有：由開口圖 案（省略圖示）與開口圖案以外的框體部分（省略圖示） 〇 所形成而配設在成膜裝置內之成膜材料之通過區域的成膜 區域；及設在該成膜區域外側（外周）的非成膜區域。 具體而言，在成膜區域的左右分別設有作爲非成膜區 域的耳部9，該耳部9被固定在保持框體2的保持部4。 其中，耳部9亦可連設在遮罩本體1之成膜區域的長邊側 •短邊側的任一側。 保持框體2係由因鋼（invar )材等金屬材料所成之框 體。在本實施例中，將該框體相對向的一對對向邊部10 設定在保持部4。此外’保持部以外之另外—對對向邊部 -11 - 200938642 11係以不與遮罩本體1之（未被保持部4保持之）另外一 對邊部12相接觸的方式作配設。該對向邊部1〇與對向邊 部Π係透過角部而連設。 該保持框體2係構成爲：以不在遮罩本體1之成膜區 域的方式使開口部至少大於遮罩本體1的成膜區域，在作 爲保持部4的一對對向邊部1〇固定有遮罩本體〗的耳部9 〇 在本實施例中’係以不對該遮罩本體1施加張力而且 0 遮罩本體1會因本身重量而自然撓曲的方式將遮罩本體1 的一對邊部3固定在保持框體2的一對保持部4。 具體而言，遮罩本體1尙未被固定在保持部4，以大 致平行的狀態下之自然最大撓曲量B爲基準，在以大致平 行支持遮罩本體1的狀態下，將左右耳部9的其中一側固 定在其中一方保持部4，以另一側的固定位置不會過於接 近其中一側的固定位置而強制性地使其凹彎而且不會被拉 伸地過遠的方式（中央部不會變形的方式），將該另一側 〇 的固定位置適當設定調整而固定在其他保持部4。 該遮罩本體1的一對邊部3 (耳部9)與保持部4 (對 向邊部10)係藉由接著劑而強固地接著。 具體而言，框體的一對對向邊部10係遍及遮罩本體1 之耳部9的全長而作接觸，將該遮罩本體1之耳部9的下 面與框體之對向邊部10的上面遍及長度方向的大致全域 而藉由接著劑大致同樣地予以固定。 其中，耳部9的下面與對向邊部10的上面係可全面 -12- 200938642 接著，亦可僅接著一部分。此外，在本實施例中，耳部9 與保持部4係遍及長度方向的大致全域而大致一樣地接著 ，但是亦可隔著預定間隔作接著（亦可隔著間隔設置多數 接著部分）。此外，不限於藉由接著劑所進行的接著，亦 可藉由熔接等其他方法來將遮罩本體1的邊部3固定在保 持部4。 此外，以對遮罩本體1不作用張力（拉伸力及按壓力 〇 )的方式，亦即在不施加張力的狀態下，將前述一對邊部 3固定在保持部4，因此遮罩本體1係在前述一對邊部3( 耳部9)間會因本身重量而自然地撓曲成彎曲圓弧狀，撓 曲量會在一對邊部3的相對向方向產生變化。因此，在本 實施例中，係距離一對邊部3分別爲等距離的位置會成爲 撓曲最下點位置而使撓曲量成爲最大。 其中，撓曲量B在圖示中爲說明起見而誇大描繪，但 其實際上非常小，相對於厚度數mm的遮罩本體1，一般 ❹ 爲數十至數百μηι程度。此外，保持框體2的厚度亦依據 撓曲量Β而誇大描繪，但實際上爲數mm程度。 此外，在本實施例中，在以遮罩本體1而言爲與前述 基板表面密接的背面的相反側的表面側，設置與被固定在 前述保持部4的一對邊部3呈大致平行的棒體7，而補正 遮罩本體1之撓曲。 具體而言，前述棒體7係與保持框體2相同爲因鋼材 等金屬材料製，設置1支在以前述遮罩本體1而言爲撓曲 的最下點部位置（撓曲量爲最大的位置）。 -13- 200938642 此係在遮罩本體1之中，與該遮罩本體1的耳部9呈 平行的方向中，會在遮罩本體1的撓曲形成不均，因此藉 由在不會阻礙自然撓曲之範圍之程度的重量物，來拉伸撓 曲量較小的部分而補正撓曲不均之故。藉由該棒體7，遮 罩本體1與基板表面的密接性變得更加良好。亦即，本實 施例係構成爲：撓曲量僅在一對邊部3的相對向方向產生 變化，撓曲量在平行方向並不會產生變化。 其中，在本實施例中係在遮罩本體1的撓曲最下點部 Q 位置配設1支棒體7，但是並不限於最下點部，可配設在 其他部位，亦可配設複數支。此外，亦可藉由棒體7，使 遮罩本體1的撓曲形狀變形爲波狀等其他形狀，而非爲彎 曲圓弧形狀。此外，棒體7亦可設置在被固定在前述保持 部4之一對邊部3的相對向方向。此外，在上述實施例中 ，列舉棒體7作爲撓曲補正體的具體例，但是並非侷限於 此，亦可爲板狀或網目狀。但是，爲了不會阻礙成膜，必 須以至少不會閉塞開口圖案的方式而設在框體部分。 〇 此外，在本實施例中，係未施加張’力而將遮罩本體1 固定在保持部4，但是亦可稍微施加張力加以固定（亦可 形成爲所謂輕微張力遮罩）。 本實施例之成膜用遮罩5係例如設置在成膜裝置的遮 罩保持具13上，在該成膜用遮罩5上層積玻璃基板6，在 該玻璃基板6上層積具柔軟性之片狀的重物構件8，藉由 該重物構件8，使玻璃基板6強制性地撓曲而使前述成膜 用遮罩5密接於基板表面，此外，層積可使遮罩本體1以 -14- 200938642 磁性吸引靠近基板側的磁鐵14，藉由該磁鐵14，另外使 成膜用遮罩5與玻璃基板6密接（參照第6圖），由下方 藉由蒸鍍、CVD或濺鍍等成膜手段使成膜材料飛濺，而在 玻璃基板6上進行成膜時使用。 以重物構件8而言，以具柔軟性而且具有一定程度重 量的構件爲佳。具體而言，以由鎢與彈性體所成的鎢片較 爲合適。若使用鎢片，藉由該鎢片，使基板6隨著該鎢片 〇 的彎曲而彎曲，被按壓在遮罩本體1而與該遮罩本體1良 好地密接（參照第7圖（b))。 關於此點，即使將例如鋁或玻璃等堅硬物質作爲重物 構件8’，如第7圖（a)之圖示，未良好地撓曲而無法使基 板6’撓曲，基板6’與成膜用遮罩5’的密接性會變得不良 。其中，以重物構件8而言，不限於鎢片，亦可使用氟橡 膠或砍片。 此外，若使用膠磁（rubber magnet)作爲磁鐵14，則 © 成膜用遮罩5、基板6、重物構件8、磁鐵14會分別良好 地撓曲而密接，故較爲合適。 此外，以基板6而言，並不限於玻璃基板6，即使爲 塑膠或金屬（箔）等其他基板，亦可同樣良好地進行成膜 〇 本實施例係構成爲如上所述，因此一對邊部3分別被 固定在一對保持部4,被保持在保持框體2的遮罩本體1 係因本身重量而撓曲，因此爲了進行例如成膜而使基板6 (及磁鐵等）層積時，該基板6與遮罩本體1的撓曲會追 -15- 200938642 隨而使兩者良好地密接。 例如4邊固定輕微張力遮罩並未施加張力（或非常小 )，因此乍見會覺得追隨基板的撓曲而撓曲彎曲而良好地 密接，但是由於固定4邊而使撓曲量在縱向及橫向之2個 方向發生變化，雙方的撓曲會相干擾而使遮罩本體的撓曲 形成不均，遮罩本體會發生變形，而且該變形較爲複雜， 因此無法獲得良好的密接性。 關於此，本實施例係將相對向的一對邊部3(2邊） @ 固定在一對保持部4的構成，遮罩本體1係在該一對邊部 3間，遮罩本體1因本身重量而撓曲成圓弧狀，而且前述 撓曲量僅在該一對邊部3相對向的方向（1方向）產生變 化，由於不會干擾撓曲，因此不易形成不均，因此，遮罩 本體1的變形較爲單純而且較小，可良好地追隨基板6的 撓曲而良好地密接。 亦即，可實現更爲自然的撓曲，因此即使基板6大型 化而使撓曲變得較大，遮罩本體1亦可柔軟地追隨基板6 〇 的撓曲而密接。因此，在與基板6等層積而進行成膜時， 藉由與基板6良好地密接，基板6上的成膜圖案不會模糊 而可按照開口圖案來進行成膜。 此外，與以遮罩本體1不會撓曲的方式維持一定程度 的張力的情形相比較，可減小保持部4所需強度，就可將 保持框體2形成爲較薄且爲輕量。因此，搬送等變得較爲 容易，就可提升作業性。 尤其，因遮罩本體1變形以致密接性降低或保持框體 -16- 200938642 2厚壁化或重量化係隨著遮罩（基板）的大型化而更加明 顯，但是藉由本實施例，即使爲大型的遮罩，亦可爲薄壁 •輕量而且可與基板良好地密接。 此外，以遮罩本體1而言在與基板表面密接之背面之 相反側的表面側，設置與被固定在保持部4之一對邊部3 呈大致平行的棒體7而補正遮罩本體1的撓曲，因此使遮 罩本體1同樣地撓曲，可解除遮罩本體1之形成有開口圖 φ 案的區域與除此以外之區域之撓曲量的差，而更加提升與 基板6的密接性。尤其，將棒體7設在以遮罩本體1而言 爲撓曲的最下點部位置，因此可更加良好地解除撓曲量的 差。 因此，本實施例係可解決遮罩本體的撓曲不均而與基 板良好地密接，溫度變化小且爲輕量的優點，形成爲與基 板良好地密接而使基板上的蒸鍍圖案不會模糊而可按照開 口圖案良好地進行成膜之極具優異實用性者。 〇 本發明並不限於本實施例，各構成要件之具體構成可 作適當設計。 【圖式簡單說明】 第1圖係習知例的槪略說明圖。 第2圖係習知例的槪略說明圖。 第3圖係第2圖之主要部位的放大槪略說明剖面圖。 第4圖係本實施例之遮罩本體的槪略說明斜視圖。 第5圖係本實施例的槪略說明斜視圖。 -17- 200938642 第6圖係顯示本實施例之使用狀態的槪略說明剖面圖 〇 第7圖係說明因重物構件的不同以致層積狀態不同的 槪略說明剖面圖。 【主要元件符號說明】 1 :遮罩本體 2 :保持框體 3、12 :(—對）邊部 4 :保持部 5、 5’ ：成膜用遮罩 6、 6’ ：基板 7 :棒體 8、8 ’ ：重物構件 9 :耳部 10、11:( 一對）對向邊部 13 :遮罩保持具 14 :磁鐵 21、 31 :遮罩本體 22、 32 :框狀框體 B:自然最大撓曲量 -18-

Claims (1)

1. 200938642 十、申請專利範園 1. 一種成膜用遮罩，係由具有容許成膜材 開口圖案的遮罩本體、及保持該遮罩本體的保持 成，且層積經由前述開口圖案被附著有前述成膜 板的成膜用遮罩，其特徵爲：前述保持框體係構 備有沿著前述遮罩本體之4邊中相對向的一對邊 配設，分別保持該一對邊部的一對保持部，僅藉 0 保持部來保持前述遮罩本體，在藉由前述一對保 持的前述一對邊部間，以前述遮罩本體因本身重 而且前述撓曲量在該一對邊部相對向方向產生變 ，將該一對邊部固定在前述一對保持部。 2. 如申請專利範圍第1項之成膜用遮罩， 前述遮罩本體的前述一對邊部在該遮罩本體因本 自然撓曲的狀態下分別固定在前述一對保持部。 3. 如申請專利範圍第2項之成膜用遮罩， 〇 成爲：將前述一對保持部形成爲沿著藉由該保持 持的前述一對邊部而具有長度的長邊構件，該一 別得以同樣地固定在前述一對保持部。 4. 如申請專利範圍第2項之成膜用遮罩， 以前述遮罩本體而言爲與前述基板表面相對向的 反側的表面側，設置補正前述遮罩本體之撓曲的 體。 5. 如申請專利範圍第3項之成膜用遮罩， 以前述遮罩本體而言爲與前述基板表面相對向的 料通過之 框體所構 材料的基 成爲·具 部而分別 由該一對 持部所保 量而撓曲 化的方式 其中，將 身重量而 其中，構 部所被保 對邊部分 其中，在 背面之相 撓曲補正 其中，在 背面之相 -19- 200938642 反側的表面側，設置補正前述遮罩本體之撓曲的撓曲補正 體。 6. 如申請專利範圍第4項之成膜用遮罩，其中，前 述撓曲補正體爲棒體，將該棒體設成與被固定在前述保持 部之一對邊部大致平行。 7. 如申請專利範圍第5項之成膜用遮罩，其中，前 述撓曲補正體爲棒體，將該棒體設成與被固定在前述保持 部之一對邊部大致平行。 @ 8. 如申請專利範圍第6項之成膜用遮罩，其中，前 述撓曲補正體係設在以前述遮罩本體而言爲撓曲的最下點 部位置。 9. 如申請專利範圍第7項之成膜用遮罩，其中，前 述撓曲補正體係設在以前述遮罩本體而言爲撓曲的最下點 部位置。 10. —種遮罩密接方法，係使申請專利範圍第1項至 第9項中任一項之成膜用遮罩密接於基板的遮罩密接方法 〇 ，其特徵爲：在前述成膜用遮罩上層積基板，在該基板上 層積片狀重物構件，藉由該重物構件，使基板強制性地撓 曲，而使前述成膜用遮罩密接於基板表面。 11. 如申請專利範圍第10項之遮罩密接方法，其中 ，採用鎢片作爲前述重物構件。 12. 如申請專利範圍第11項之遮罩密接方法，其中 ，採用玻璃、塑膠或金屬製者作爲前述基板。 -20-