TW200933715A - Method for the production and control of plates for electronics and related apparatus - Google Patents

Description

200933715 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種生產與控制電子元件之板或晶圓的 方法與相關設備。 具體而言，本方法被（較佳但非絕對）應用於例如藉 由絲網印刷方法在例如陶瓷基板之平板上沈積金屬或其他 材料’或在矽晶圓上或類似材料上沈積，或者用於以大體 ❹ 自動之方式，應用於如此所製造之平板及晶圓之其他操作 及控制。 【先前技術】 在電子元件板生產線中之生產及控制方法（大體自動 之方法）為吾人所習知。習知方法通常包括一第一步驟， 其一平板被定位在一印刷台上。該方法包括一第二步驟， 其將藉由一印刷單元在該平板上沈積金屬或其他材料。 該方法還包括一第三步驟，其將該平板自該印刷台移 動到一控制及退出台，在此控制及退出台中，對該平板進 行符合性測試’既用於控制其中沒有裂縫或微小破裂還 用於控制已經根據期望沈積對金屬或其他材料進行了正確 沈積® 該方法包括一第四步驟’其將該平板移向一退出台以 200933715 進行後續處理，或者，如果 識別出其令存在缺陷，則 例如以手動方式去除該等缺 料㈣在-適當容器 ❿ 藉由-適當之移動構件移向-材料回收裝置。 習知方法之一缺點是：即使該平板例如由於微小破裂 :陷，最終會被拋棄，也會向其沈積金屬。如此既 2在金屬沈積期間導致材料與能量之浪費，亦會由於在有 、心千板上進行沈積所耗費之時間，而導致生產率降低。 習知方法之另一缺點是：要去除有缺陷之平板需要使 用特定之移動構件，或者有能夠從事收集之人員。 本發明之一目的係改進一種用於電子元件之板或晶圓 之生產與控制方法，以允許減少能量與材料之耗用。 本發月之另-目的係改進一種方法，其允許提高在該 等平板或晶圓上沈積金屬及其他材料之生產率。 ❹ 本發明之一另一目的是改進一種方法，其允許以大體 自動之方式去除有缺陷之平板。 本案申請人已經設計、測試及實施本發明，以克服現 有技術中之缺點’以獲得此等及其他目的與優點。 【發明内容】 在獨立請求項中列出本發明且描述其特徵，而附屬請 求項描述本發明之其他特徵或主要發明思想之變體。 200933715 根據以上目的，一種生產與控制電子元件之板的方法 包括-第-步驟’其藉由一定位構件將—平板定位於一加 載台中》 該方法包括一第二步驟，其將該平板移至一沈積台， 該沈積台與-用於沈積金屬或其他材料之單元相結合該 單元被致動α在該平板上沈積金屬或其他材料以便根 據一期望及預定拓撲佈置產生導電及非導電線路。 ❹ 纟方法包括—第三步驟’其將該平板從該沈積台移至 一退出台，一偵測構件被致動，以摘測該平板中是否存在 缺陷。其目的是驗證該平板之支撐的實體完整性，债測在 沈積金屬期間或者向該退出台移動期間意外產生之可能裂 缝。 該方法包括-第四步驟，其從該退出台中釋出該平板。 ㈣本發明之特徵，在第—步驟中，蚊位在該加载 台中之平板由該债測構件控制，以驗證在該平板中是否存 在缺陷。採用此方式，有可能事先在該平板之結構中痛測 到任意可能破裂或裂縫，此等破裂或裂縫可能是在移動期 間產生的。在第二步驟中，當偵測構件未在平板上摘測到 缺陷時，致動一用於沈積金屬或其他材料之單元。採用此 方式，有可能阻止在一有缺陷平板上沈積纟屬，從而既可 以節省沈積材料，也可以節省在該平板上沈積材料所耗費 200933715 之工作時間。 根據—特徵’在第四步驟中，如果該平板沒有缺陷， 則藉由該定位構件在第一釋出方向上釋出該平板。但是， 如果在平板上至少偵測到一缺陷，則由該定位構件在—第 釋出方向上釋出該平板。採用此方式，有可能清除有缺 陷之平板，將其移動到例如一收集裝置中，採用同一方式， 將沒有缺陷之平板移向後續處理位置。 B s據另-特徵，帛四步驟在從該退出台中釋出該平板 之後還包括-子步驟，在此子步驟中，對該定位構件進行 清潔，以清除雜質。 根據一變體，該清潔步驟係由抽吸構件執行。 本發明還係關於-種生產及控帝J電子元件之板的設 備其包括平板加載台、平板退出台，以及至少一中間插 》入口用於, 尤積金屬或其他材料，其與用於沈積金屬或其 他材料之相應單元相結合。該沈積單元適合於根據一預定 及期望拓撲沈積在平板上沈積金屬或其他材料之線路。 該設備還包括一傳;. 得送構件’其能夠將平板從加載台穿 過該沈積台，傳送至退出台。 該設備還包括定位構件，其能夠將一平板定位在該加 載平台中，以及從退出台中釋出該平板。 ^備還包括请測構件，其能夠偵測被佈置在該退出 7 200933715 台_之平板上的缺陷，在马·L 1卜 在該千板上已經沈積了金屬或其他 材料’用於產生該等線路。 該設備包括-被連接至該偵測構件之控制單元’其能 夠致動該金屬沈積單元、傳送構件，以及定位構件。 根據本發明之一特徵，該馈測構件適合於偵測被定位 在該加载台中之平板上的缺 ^ 採用此方式，有可能偵測 該平板結構中之缺陷’例如 ❹ ❹ 技縫及/或破裂，其係在該定位 構件移動平板之過程中產士 生°如果該偵測構件沒有在該平 板或晶圓中偵測到缺陷，則該制 徑制單兀致動該金屬沈積單 元。 根據一變體，該彳貞測播 谓判構件包括-電視攝影機。 根據另一變體’該備測構件包括一對電視攝影機。該 電視攝影機對之第一電視攝影機與該加載台相結合該電 視攝影機對之第二電視攝影機與該退出台相結合。 根據本發明之另一特 該控制單元致動該傳送構件 及該定位構件，以便在一— 第—方向上將無缺陷平板移出退 出台。採用此方式，可能 能將無缺陷平板移向一後續處理線。 根據本發明之另一特 特徵’該控制單元致動該傳送構件 及該定位構件，以便在一 一 乐一方向上將有缺陷平板移出退 出σ，且能夠釋出該平板。 根據一變化，該設偫包括 巴括用於清除雜質之構件，其適 8 200933715 合於清潔該定位構件，且由該控制單元致動。 根據一變體’用於清除雜質之構件包括一空氣柚吸裝 置。 【實施方式】 參考該等隨附圖式，根據本發明生產及控制平板之方 法可以被用於在一平板（下文中將被稱為晶圓12)上沈積 ❹ 金屬或其他材料，用於根據一期望拓撲產生線路。 該方法包括一第一步驟（第i圖及第2圖），在該步驟 中，將晶圓12 (例如來自一傳入傳送帶14)從該傳送帶14 上卸載至一加載台16中。藉由定位構件將晶圓12定位在 該加載台16中之-預定位置，例如藉由與該加載台16相 結合之滑動帶34定位。 在第一步驟中，還藉由一第一電視攝影機3〇 (其與一 控制單το 36相結合）對晶圓12進行檢查（第2圖），以偵 測該晶圓12中可能存在之缺陷。此等缺陷可包括裂縫及/ 或破裂或其他損壞’其可能在該晶圓之易碎結晶結構中發 生’可能是在該傳入帶14上移動晶圓過程中產生，或者是 在從該傳人帶14向該加載台16中傳送時產生。在該第一 步驟中’向該控制單元36發訊’通知該晶圓中存在缺陷。 該方法包括一第二步驟，其將該晶圓12從該加載台16 9 200933715 移動至一與沈積單元20相結合之金屬沈積台18(第3圖及 第6圖），例如藉由一絲網印刷技術，其能夠藉由該控制單 元36致動。在該第二步驟中，只有在該第—步驟中，沒有 發出有關目前定位在該沈積台18中之晶圓12上存在缺陷 之訊號時，才會致動該沈積單元2〇,在該晶圓12上沈積金 屬。相反，如果在該第一步驟中，該電視攝影機已經發出 訊號’表不定位在該沈積台18中之晶圓12存在缺陷則 Φ 不會致動該金屬沈積單元20 (第6圖）。 採用此方式，可以防止在一有缺陷晶圓12上沈積金 屬從而避免浪費金屬材料，且允許顯著縮短有缺陷晶圓 12在沈積台上之停留時間。 該方法包括一第二步驟，其將該晶圓12從該沈積台is 移至一退出台24 (第4圖及第7圖）。如果該沈積單元2〇 在該第二步驟中未被致動，即如果在該第一步驟中，在位 ® 於該退出纟24巾之晶® 12上至少偵測到一缺陷，則該第 二電視攝影機130不被致動（第7圖）。相反，如果該沈積 單元20在該第二步驟中被致動’則一第二電視攝影機130 被致動（第4圖），以偵測該晶圓12中之任意缺陷。 該方法包括一第四步驟，在該步驟中，藉由該定位構 件34將晶圓12從退出台24中釋出。如果在該第一或第三 步驟中没有在該晶圓丨2中偵測到缺陷，則藉由該定位構件 200933715 34將定位在該退出台24中之晶圓（第4圖及第$圖）傳送 至例如一鄰近退出傳送帶4〇，以供後續處理。如果在該第 或第一步驟中，已經在該晶圓丨2上至少偵測到一缺陷’ 則定位在該退出台24中之晶圓12(第7圖）被移向一釋出 台，且以—大體自動方式藉由該定位構件34傳送至用於有 缺陷晶圓12之鄰近收集容器34。 本發明亦係關於一種設備1〇，其可被應用於在一矽晶 ❹ 圓上沈積金屬。 該认備10(第10圖）包括一用於晶圓12之加載台16、 一退出台24及一中間插入沈積台18(其與一金屬沈積單元 20相結合）’適於根據一預定及期望拓撲佈置在一晶圓Q 上沈積金屬線路。 該設備10包括一旋轉架28，其適於將晶圓12從加載 台16穿過沈積台18傳送至退出台24。 該設備10還包括習知類型之定位帶34,其能夠 曰 Θ0 圓12定位在加載台16中，以及將晶圓12從該退出台μ 釋出至一退出傳送帶40。該等定位帶34與該旋轉架28 結合。 目 該設備10還包括與該退出台24相結合之電視攝影機 130,適於偵測被佈置於該退出台16中之晶圓12中之缺 陷。此等缺陷包括該晶圓12矽結構中之裂縫及/或破裂，戋 200933715 者在該金屬線路沈積期間產生之缺陷，或者在㈣晶圓η 從沈積台18向退出台24移動期間所產生之缺陷。 該設備ίο還包括一連接至該電視攝影機13〇之控制單 元36,其適於致動該沈積單元2〇及該旋轉架28，以及定 位帶34。 根據一特徵，該設備還包括一電視攝影機3〇,其與該 加載σ 16結交，且連接至該控制單元36，以偵測放置在該 ❹ 加載台16中之晶圓12 t的缺陷。 現在將該設備10之功能描述如下。 藉由該等定位帶34將晶圓12(例如來自一傳入傳送帶 M)加載至放置該晶圓之加載台16上，置於一預定位置。 該晶圓12將由該電視攝影機3〇進行檢查，以識別其 中可能存在之可能缺陷。以發訊方式向該控制單元％通知 可能缺陷。 藉由該旋轉架12將該晶圓12由該加載台16傳送至該 金屬沈積台18。如果在晶圓12中沒有偵測到缺陷，則該沈 積單元20被控制單元36致動。相反，如果該電視攝影機 30已經發出訊號，通知該晶圓12中存在缺陷，則該金屬沈 積單元20不被致動❶ 採用此方式，可以防止在一有缺陷晶圓丨2上沈積金 屬從而避免浪費金屬材料，且允許顯著縮短一有缺陷晶 12 200933715 圓12在沈積台上之停留時間。 該晶圓12被旋轉架28由沈積台以移至一退出2《第 4圖及第7圖）。 如果未横測到缺陷’則該定位帶34將放置在該退出台 24中之晶圓12傳送至一鄰近退出傳送帶4〇。 如果已經制到至少—缺陷，則該旋轉架28將放置在 該退出台24.中之晶圓12移動至該釋出台％，且籍由該定 ❹ 位構件34以自動方式將其傳向一用於收集該缺陷晶圓12 之鄰近容器。 顯然，在不背離本發明領域及範圍之情況下可以向 本文所述之方法及設備10修改及/或增加部件。例如，在本 發明之領域及範圍内，可以提供單一電視攝影機3〇來偵測 缺陷，其可以在與該加載台16相關聯之第一位置以及與該 退出台24相關聯之第二位置之間移動。該電視攝影機 ©藉由一習知類型之滑動構件移動，且由該控制單元％發出 指令，其實施方式與本方法之步驟及/或待控制晶圓12之位 置相協調。 還可看出，儘管已經參考一些特定實例描述了本發 明，但對於生產與控制矽晶圓之方法及相關設備，習知此 項技術者當然能夠實現其許多其他等價形式，該等形式具 有申請專利範圍中所列之特徵’因此均屬於該申請專利範 圍所界定之保護領域。 13 200933715 f圖式簡單說明 ❹ 由以上對具體實施例之較佳把以明瞭本發明之此等及其他 工，參考隨附圖式 他特徵，此等較佳 作為一種非限制性實例給出，在該等圖式中··、體實施名 第1圖係根據本發明之方法第一步驟的示咅圖· 第2圖係該方法第一步驟之示意圖； 第3圖係該方法第二步驟之示意圖； ，可 i係 ❹ 第4圖係該方法第三步驟之示意圖； 第5圖係該方法第四步驟之示意圖； 第ό圖係該方法第二步驟之細節的示意圖； 第7圖係該方法第三步驟之細節的示意圖； 第8圖係該方法第四步驟之細節的示意圖； 第9圖係該方法第四步驟之細節的示意圖； 第1〇圖係根據本發明之一設備之示意圖。 【主要元件符號說明】 12 平板 28 傳送構件 14 傳送帶 30 债測構件 16 加載台 34 滑動帶 18 沈積台 36 控制單元 200933715 20 沈積單元 40 退出傳送帶 24 退出台 130 電視攝影機 26 釋出台 〇 ❿ 15

Claims (1)

1. 200933715 七、申請專利範圍： 1· 一種生產及控制電子元件之板（12)之方法，包括： 一第一步驟，其藉由定位構件（34)將一平板（12)定位於 一加載台（16); 一第二步驟，其放置該平板（12)於一沈積台（18)，該沈 積台（18)與用於沈積金屬或其他材料之一單元（2〇)相結合， 在該單元（20)中，在該平板（12)上沈積該金屬或其他材料， ❹以根據-預定及期望拓撲佈置，在該等平板（12)上產生由金 屬或其他材料製成之線路； 一第三步驟’其放置該平板⑽於-退出台（24)，且致 動-偵測構件⑽，則貞測該平板（12)中是否存在缺陷；以 及 -第四步驟’其將該平板（12)從該退出台（Μ)釋出， ❹ 其特徵在於：在該第—步驟中致動該偵測構件⑽，以 識別放置在該加載台（16)之該平板（12)中之缺陷；及兑特徵 在於：當該摘測構件（30)在該第一步驟中未在該平板⑽上 偵測到任何缺陷，則在該第二步財致動該沈積單元（20)， 以在該平板(12)上沈積該金屬或其他材料。 2.如申請專利範圍第】項所述之方法，其特徵在於:在該第 四步驟中，藉以位構件（34)在—第—释出方向上釋出無缺 200933715 陷之該平板（12)。 其特徵在於：在該第 二釋出方向上釋出有 3.如申請專利範圍第〗項所述之方法， 四步驟中，藉由該定位構件（34)在1 缺陷之該平板（12)。 4·如申請專利範圍上述任所 ❹ &t i 疋之方法，其特徵在於： 該第四步驟在從該退出台（24 釋出該平板（12)之後還包括— 子步驟，其清潔該定位構件㈣1清除雜質。 5.如申請專利範圍第4項所述之方法，其特徵在於:藉由空 氣抽吸清潔該定位構件（34)。 6.如申凊專利ϋ圍上述任一項所述之方法，纟特徵在於： ❿該偵測構件包括至少-電視攝影機（30)。 7· 一種生產與控制電子元件之板（12)之設備，包括： 一加栽台（16); 一退出台（24); 至少一中間插入沈積台（18)，其與用於沈積金屬或其他 材料之一相應單元（20)相結合，適於根據一預定佈置，在該 17 200933715 平板（12)上沈積金屬線路或其他材料； 一傳送構件（28)，纟能夠將平板（12)穿過該沈積台（18) 從該加載台傳送至該退出台（24); 摘測構件（30)，其與該退出台（24)相結合，㈣測構件 (30)能夠偵測被放置在該退出台（24)上之一平板中之缺 陷；以及 一控制單元（36)，其適於致動用於沈積金屬或其他材料 〇 之該單元（2〇)，還可以致動該傳送構件（28)及該定位構件 (34)，其特徵在於：該偵測構件（3〇)適於觀察被放置在該加 載台（16)之一平板（12)，以偵測缺陷，且致動該金屬沈積單 元（20)，以在該偵測構件（30)未在一平板〇2)上發現任何缺 陷時’在該平板（12)上沈積金屬或其他材料。 8. 如申請專利範圍第7項所述之設備，其特徵在於：該傳送 ^ 構件（28)及該定位構件（34)被致動，以在一第一釋出方向上 從該退出台（24)移動一無缺陷平板〇2)。 9. 如申請專利範圍第8項所述之設備，其特徵在於：該傳送 構件（28)及該定位構件（34)被致動，以在一第二释出方向上 從該退出台（24)移動一有缺陷平板（丨2)。 18 200933715 10.如申請專利範圍第7項所述之設備，其特徵在於：該偵測 構件包括一電視攝影機（30)。 11.如申請專利範圍第7項所述之設備，其特徵在於：該偵測 構件包括一對電視攝影機（3〇，丨3〇)，該對電視攝影機〇， 130)中之一第一電視攝影機（3〇)與該加載台（16)相結合，且 該對電視攝影機（30，130)中之一第二電視攝影機（13〇)與該 退出台相結合。 12.如申請專利範圍第7至11項中任一項所述之設備，其特徵 在於·其包含清除雜質之構件，適於清潔該定位構件（34)〇 13·如申請專利範圍第 除雜質之構件包括一 12項所述之設備，其特徵在於：該 空氣抽吸裝置。 清