JPH10313196A

JPH10313196A - 基板供給装置

Info

Publication number: JPH10313196A
Application number: JP9119534A
Authority: JP
Inventors: Yukihiro Tsuge; 幸宏柘植
Original assignee: Matsushita Electric Works Ltd
Current assignee: Panasonic Electric Works Co Ltd
Priority date: 1997-05-09
Filing date: 1997-05-09
Publication date: 1998-11-24

Abstract

(57)【要約】【課題】基板を吸着した後、その基板を積載台に残る
べき基板から確実に分離でき、そのため基板にキズを発
生させることの少ない基板供給装置の提供。【解決手段】基板積載台１と、この基板積載台１に積
み重ねた複数の基板３，３から基板３を１枚ずつ吸着し
て分離し、この分離した基板３をコンベヤ上に吸着しな
がら搬送する基板搬送手段２を備える基板供給装置にお
いて、基板積載台１が、上下及び前後に移動可能であっ
て、基板を傾斜させて載置できる断面Ｌ字状の基板収納
部４を有していて、基板搬送手段２が吸着した基板３の
基板面を所定方向に向ける基板旋回手段５を有している
ことを特徴とする。また、Ｌ字状の基板収納部４の背も
たれ部１０の角度が可変であることを特徴とする。ま
た、基板搬送手段２が基板吸着パッド６を複数有してい
て、吸着パッド６による基板３の吸着開始時点に時間差
を持たせる機構を有していることを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、プリント配線板の
製造ラインなどにおいて使用される、積載台に積み重ね
た基板を１枚ずつコンベヤ上に搬送する基板供給装置に
関する。

【０００２】

【従来の技術】プリント配線板を製造する際の研磨工程
やエッチング工程等の製造ラインなどにおいて、積載台
に積み重ねた基板を１枚づつ分離し、コンベヤ上に搬送
する基板供給装置が使用されている。従来の基板供給装
置としては、複数の基板を平積みして載置する積載台
と、この積載台に積み重ねた複数の基板から基板を１枚
ずつ吸着して分離し、この分離した基板を吸着しながら
搬送する基板搬送手段を備えているものがある。しか
し、このような平積みした基板を吸着・分離する方式で
は、基板を１枚ずつ確実に分離できないトラブルが発生
しやすく、このトラブルが発生した場合には、２枚取り
してコンベヤ上に２枚同時に搬送してしまったり、搬送
中に２枚が分離して基板表面にキズが発生する等の問題
が生じていた。特に、近年のプリント配線板の高密度化
に伴い、小さな擦りキズでもプリント配線板に断線等の
欠点が生じやすいので、キズの発生防止は重要な課題で
となっている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】本発明は上記のような
事情に鑑みてなされたものであって、その目的とすると
ころは、複数の基板を載置する積載台と、この積載台に
積み重ねた複数の基板から基板を１枚ずつ吸着して分離
し、この分離した基板をコンベヤ上に吸着しながら搬送
する基板搬送手段を備える基板供給装置であって、基板
を吸着した後、その基板を積載台に残るべき基板から確
実に分離でき、そのため基板にキズを発生させることの
少ない基板供給装置を提供することにある。

【０００４】

【課題を解決するための手段】請求項１に係る発明の基
板供給装置は、基板積載台と、この基板積載台に積み重
ねた複数の基板から基板を１枚ずつ吸着して分離し、こ
の分離した基板をコンベヤ上に吸着しながら搬送する基
板搬送手段を備える基板供給装置において、前記基板積
載台が、上下及び前後に移動可能であって、基板を傾斜
させて載置できる断面Ｌ字状の基板収納部を有してい
て、且つ、前記基板搬送手段が吸着した基板の基板面を
所定方向に向ける基板旋回手段を有していることを特徴
とする。

【０００５】請求項２に係る発明の基板供給装置は、請
求項１記載の基板供給装置において、Ｌ字状の基板収納
部の背もたれ部の角度が可変であることを特徴とする。

【０００６】請求項３に係る発明の基板供給装置は、請
求項１又は請求項２記載の基板供給装置において、基板
搬送手段が基板吸着パッドを複数有していて、且つ、吸
着パッドによる基板の吸着開始時点に時間差を持たせる
機構を有していることを特徴とする請求項１又は請求項
２記載の基板供給装置。

【０００７】請求項４に係る発明の基板供給装置は、請
求項１から請求項３までの何れかに記載の基板供給装置
において、Ｌ字状の基板収納部に基板残りを検知する検
知センサーを有し、この検知センサーからの信号で基板
搬送手段の動作を制御する制御手段を備えていることを
特徴とする。

【０００８】本発明では、上下及び前後に移動可能であ
り、基板を傾斜させて載置できる断面Ｌ字状の基板収納
部を有していて、且つ、基板搬送手段が吸着した基板の
基板面を所定方向に向ける基板旋回手段を有しているの
で、傾斜させて載置している複数の基板から表面の基板
のみを吸着して分離して搬送できる。すなわち、本発明
の基板供給装置によれば、平積みした基板を吸着・分離
する方式に比べ、基板を吸着した後、この吸着した基板
を積載台の基板収納部に残るべき基板から確実に分離で
きるので、２枚取りしたときに起こる基板へのキズ発生
が防止される。さらに、基板搬送手段が基板吸着パッド
を複数有していて、且つ、吸着パッドによる基板の吸着
開始時点に時間差を持たせる機構を有している場合に
は、より確実に２枚取りを防止することが可能となり、
従って基板にキズを発生させることがさらに少なくな
る。

【０００９】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図１に基づ
いて説明する。図１は本発明の基板供給装置をモデル的
に示す側面図である。図１に示すように、本発明の基板
供給装置は、基板積載台１と、この基板積載台１上に積
み重ねた複数の基板３，３から基板３を１枚ずつ吸着し
て分離し、この分離した基板３をコンベヤ（図示せず）
上に吸着しながら搬送して供給する基板搬送手段２を備
えている。なお、ここでいうコンベヤはこの図１には図
示していないが、研磨加工、エッチング加工等の各種加
工工程において基板を搬送するコンベヤを表している。
そして、基板積載台１は、上下及び前後に移動可能であ
って、基板３，３を傾斜させて載置できる断面Ｌ字状の
基板収納部４を有している。図１に示す実施の形態では
基板収納部４の上下方向の移動はシリンダー８によって
行い、前後方向の移動はベルトコンベヤ９によって行う
構造になっている。

【００１０】また、基板搬送手段２は、吸着した基板３
の基板面を所定方向に向ける基板旋回手段５を有してい
る。図１に示す実施の形態ではこの基板旋回手段５は回
転運動をして、基板３を吸着するための吸着パット６、
６を固定しているアーム７を旋回させることにより基板
面を所望の方向に向けることができる構造になってい
る。吸着パット６、６を固定しているアーム７は基板旋
回手段５の回転運動を制御することにより、傾斜して載
置している基板３と平行する方向に向けたり、あるいは
水平方向に向けたりできる。また、この実施の形態で
は、傾斜させて載置している基板３を吸着することがで
きるように、基板搬送手段２全体を移動することによ
り、アーム７を所望の位置に移動できるようにしてい
る。

【００１１】上記の構成を備えている基板供給装置によ
れば、基板３は傾斜させて載置しているので、基板３を
基板搬送手段２で吸着した後、この吸着した基板３を基
板収納部４にある基板３，３からより確実に分離するこ
とができるので、２枚取りすることが少なくなり、２枚
取りしたときに起こる基板へのキズ発生が防止される。
そして、吸着した基板３は基板旋回手段５により、基板
面を所定方向（例えばコンベヤ面と同一方向）に向けた
後、横行するホイストである基板搬送手段２で吸着され
た状態で加工工程のコンベヤ上に搬送することができ
る。

【００１２】さらに、Ｌ字状の基板収納部４の背もたれ
部１０の角度が可変であると、板厚が薄い基板の場合に
も、基板が倒れない角度に背もたれ部１０の角度を調整
することができるので望ましい。具体的な背もたれ部１
０の角度としては、特に限定するものではないが、水平
面に対し１００〜１１０度であると、板厚が０．１ｍｍ
と薄い基板の場合でも基板が倒れないので好ましい。

【００１３】また、基板搬送手段２が基板吸着パッド６
を複数有していて、且つ、吸着パッド６，６による基板
３の吸着開始時点に時間差を持たせる機構を有している
と、より確実に２枚取りを防止することが可能となり、
従って基板にキズを発生させることがさらに少なくな
る。

【００１４】また、Ｌ字状の基板収納部４の背もたれ部
１０に基板残りを検知する検知センサーを取り付け、こ
の検知センサーからの信号で基板搬送手段２の動作を制
御する制御手段を備えるようにすると、基板を残らず搬
送したときに自動的に基板搬送手段２を停止できるの
で、監視作業を軽減できるので好ましい。

【００１５】

【発明の効果】本発明の基板供給装置は、上下及び前後
に移動可能であり、基板を傾斜させて載置できる断面Ｌ
字状の基板収納部を有していて、且つ、基板搬送手段が
吸着した基板の基板面を所定方向に向ける基板旋回手段
を有しているので、傾斜させて載置している複数の基板
から表面の基板のみを吸着して分離して搬送できる。す
なわち、本発明の基板供給装置によれば、平積みした基
板を吸着・分離する方式に比べ、基板を吸着した後、こ
の吸着した基板を積載台の基板収納部に残るべき基板か
ら確実に分離できるので、本発明の基板供給装置は２枚
取りしたときに起こる基板へのキズ発生を少なくできる
効果を奏する。

【００１６】また、請求項２に係る発明の基板供給装置
は、Ｌ字状の基板収納部の背もたれ部の角度が可変であ
るので、板厚が薄い基板の場合にも、基板が倒れない角
度に背もたれ部の角度を調整することにより、基板が倒
れるというトラブルを防止することができる。

【００１７】また、請求項３に係る発明の基板供給装置
は、基板搬送手段が基板吸着パッドを複数有していて、
且つ、吸着パッドによる基板の吸着開始時点に時間差を
持たせる機構を有しているので、より確実に２枚取りを
防止することが可能となり、従って基板にキズを発生さ
せることがさらに少なくなる。

【００１８】また、請求項４に係る発明の基板供給装置
は、Ｌ字状の基板収納部に基板残りを検知する検知セン
サーを有し、この検知センサーからの信号で基板搬送手
段の動作を制御する制御手段を備えているので、基板を
残らず搬送したときに自動的に基板搬送手段を停止する
ことができ、監視作業を軽減するという効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態を説明するための側面図で
ある。

【符号の説明】

１基板積載台２基板搬送手段３基板４基板収納部５基板旋回手段６吸着パット７アーム８シリンダー９ベルトコンベヤ１０背もたれ部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】基板積載台と、この基板積載台に積み重
ねた複数の基板から基板を１枚ずつ吸着して分離し、こ
の分離した基板をコンベヤ上に吸着しながら搬送する基
板搬送手段を備える基板供給装置において、前記基板積
載台が、上下及び前後に移動可能であって、基板を傾斜
させて載置できる断面Ｌ字状の基板収納部を有してい
て、且つ、前記基板搬送手段が吸着した基板の基板面を
所定方向に向ける基板旋回手段を有していることを特徴
とする基板供給装置。
【請求項２】Ｌ字状の基板収納部の背もたれ部の角度
が可変であることを特徴とする請求項１記載の基板供給
装置。
【請求項３】基板搬送手段が基板吸着パッドを複数有
していて、且つ、吸着パッドによる基板の吸着開始時点
に時間差を持たせる機構を有していることを特徴とする
請求項１又は請求項２記載の基板供給装置。
【請求項４】Ｌ字状の基板収納部に基板残りを検知す
る検知センサーを有し、この検知センサーからの信号で
基板搬送手段の動作を制御する制御手段を備えているこ
とを特徴とする請求項１から請求項３までの何れかに記
載の基板供給装置。